JPH09290509A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH09290509A JPH09290509A JP9040697A JP4069797A JPH09290509A JP H09290509 A JPH09290509 A JP H09290509A JP 9040697 A JP9040697 A JP 9040697A JP 4069797 A JP4069797 A JP 4069797A JP H09290509 A JPH09290509 A JP H09290509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resin
- recording head
- base
- solid layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 79
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 79
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1637—Manufacturing processes molding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49789—Obtaining plural product pieces from unitary workpiece
- Y10T29/49798—Dividing sequentially from leading end, e.g., by cutting or breaking
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 第１の固体層の上に第２の固体層を必要とせ
ず簡略な工程より成るインクジェット記録ヘッドの製造
方法を提供する。 【解決手段】 吐出圧力発生素子１４と、少なくとも液
路となる部分を占有する固体層２とが設けられた第１の
基体１の上に、硬化性樹脂８を塗布または注入した後、
前記液路となる部分の固体層２を除去する工程を有する
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記塗
布または注入した硬化樹脂８を少なくとも切削加工また
は研削加工により削って共通液室１０部分を形成するイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
ず簡略な工程より成るインクジェット記録ヘッドの製造
方法を提供する。 【解決手段】 吐出圧力発生素子１４と、少なくとも液
路となる部分を占有する固体層２とが設けられた第１の
基体１の上に、硬化性樹脂８を塗布または注入した後、
前記液路となる部分の固体層２を除去する工程を有する
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記塗
布または注入した硬化樹脂８を少なくとも切削加工また
は研削加工により削って共通液室１０部分を形成するイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置に装着し、記録液の小滴を記録媒体に向けて吐出
するインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するもの
である。
録装置に装着し、記録液の小滴を記録媒体に向けて吐出
するインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】計算機、ワードプロセッサ、ファクシミ
リ装置、複写装置、プリンター等、各種機器において、
用紙等の記録媒体に記録を行う手段として、騒音を発生
することがなく、高速の記録が可能で、しかもカラー画
像の記録も容易なことから、インクジェット記録ヘッド
を装着したインクジェット記録装置が広く利用されつつ
ある。
リ装置、複写装置、プリンター等、各種機器において、
用紙等の記録媒体に記録を行う手段として、騒音を発生
することがなく、高速の記録が可能で、しかもカラー画
像の記録も容易なことから、インクジェット記録ヘッド
を装着したインクジェット記録装置が広く利用されつつ
ある。
【０００３】従来、インクジェット記録ヘッドの製造方
法として、例えば特開昭６２−２５３４５７号公報に
は、基体上に液路となる固体層を形成し、しかる後、活
性エネルギー線硬化性材料層及び第２の基体を積層し、
その後、液室予定部位以外の領域に活性エネルギー線を
照射した後、前記液室予定部位の未硬化の活性エネルギ
ー線硬化性材料層を除去して液室を形成し、その後、液
室部位に形成された固体層を除去する方法が提案されて
いる。
法として、例えば特開昭６２−２５３４５７号公報に
は、基体上に液路となる固体層を形成し、しかる後、活
性エネルギー線硬化性材料層及び第２の基体を積層し、
その後、液室予定部位以外の領域に活性エネルギー線を
照射した後、前記液室予定部位の未硬化の活性エネルギ
ー線硬化性材料層を除去して液室を形成し、その後、液
室部位に形成された固体層を除去する方法が提案されて
いる。
【０００４】しかしながら、以上のような従来の製造方
法によれば、下記のような問題点があった。すなわち、 １．液路の壁を構成する材料は、液室部におけるパター
ニングが必要なため、活性エネルギー線硬化材料に限定
され、上記材料を選定する上で大きな制約があった。
法によれば、下記のような問題点があった。すなわち、 １．液路の壁を構成する材料は、液室部におけるパター
ニングが必要なため、活性エネルギー線硬化材料に限定
され、上記材料を選定する上で大きな制約があった。
【０００５】２．インクジェット記録ヘッドのインク滴
の吐出性能上、共通液室の高さを大きく形成したい場
合、前記活性エネルギー線硬化材料層が厚くなるため、
液室部をパターニングする際のパターニング精度が低下
することによる歩留まりの低下や、十分な露光量を確保
するために高価な露光装置を長時間占有してしまうこと
になるため、コストアップの要因となっていた。
の吐出性能上、共通液室の高さを大きく形成したい場
合、前記活性エネルギー線硬化材料層が厚くなるため、
液室部をパターニングする際のパターニング精度が低下
することによる歩留まりの低下や、十分な露光量を確保
するために高価な露光装置を長時間占有してしまうこと
になるため、コストアップの要因となっていた。
【０００６】そこで、これらの問題点に鑑みて、以下に
記載される製造方法が提案されている。
記載される製造方法が提案されている。
【０００７】図５，６は、このようなインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための説明用斜視図であ
る。図５には、基体１の上に複数本のヘッドを形成し、
右部に示すように分離することで、このヘッドを得る方
法が示されており、図６は、図５のＡ−Ａ断面部分にお
ける各工程を説明する工程説明図である。
録ヘッドの製造方法を説明するための説明用斜視図であ
る。図５には、基体１の上に複数本のヘッドを形成し、
右部に示すように分離することで、このヘッドを得る方
法が示されており、図６は、図５のＡ−Ａ断面部分にお
ける各工程を説明する工程説明図である。
【０００８】図６（１） まず、吐出圧発生素子１４が設けられた基体１上の液路
形成予定部位及び液室形成予定部位に、液路及び液室の
一部を形成するための第１の固体層２が、パターニング
等により選択的に形成される。
形成予定部位及び液室形成予定部位に、液路及び液室の
一部を形成するための第１の固体層２が、パターニング
等により選択的に形成される。
【０００９】図６（２） ついで、液室の容積を十分確保すべく、第１の固体層２
上の少なくとも液室予定部位に、印刷方等の方法により
第２の固体層３が形成される。
上の少なくとも液室予定部位に、印刷方等の方法により
第２の固体層３が形成される。
【００１０】図６（３） ついで、後にインク供給口となる穴４を有する第２の基
体５が、前記第２の固体層３上に載置される。このと
き、第２の基体に設けられている穴４は、第２の固体層
３によって塞がれる。
体５が、前記第２の固体層３上に載置される。このと
き、第２の基体に設けられている穴４は、第２の固体層
３によって塞がれる。
【００１１】図６（４） 前記第２の固体層３上に第２の基体５を載置する際に、
第１の基体１及び第２の基体５に反りやうねりがあった
り、第２の固体層３の平坦性や平面内の厚さが不均一で
あると、第２の固体層３と第２の基体５との接触部位に
わずかに隙間６が発生し、後の工程の液路や液室の壁と
なる硬化性樹脂８を注入する工程で、毛管現象により隙
間６に硬化性樹脂８が侵入することになる。
第１の基体１及び第２の基体５に反りやうねりがあった
り、第２の固体層３の平坦性や平面内の厚さが不均一で
あると、第２の固体層３と第２の基体５との接触部位に
わずかに隙間６が発生し、後の工程の液路や液室の壁と
なる硬化性樹脂８を注入する工程で、毛管現象により隙
間６に硬化性樹脂８が侵入することになる。
【００１２】このように硬化性樹脂８が隙間６に侵入し
た場合、隙間６に侵入した硬化性樹脂８は極めて薄いた
め、硬化した後に、第１の固体層２及び第２の固体層３
を除去する際の除去液、あるいはインクにより膨潤した
際に、第２の基体５より剥離し、ノズルを詰まらせるご
みとなったり、剥離しない場合でも、インク供給口４の
周囲にバリ状に残ってしまうと、インクのリフィル特性
を大幅に低下させるといった問題点があった。また、さ
らに甚だしい場合、前記の硬化性樹脂８が第２の固体層
３の上面にはみ出して、後に、この第２の固体層３を除
去する際に妨げとなる虞れもあった。
た場合、隙間６に侵入した硬化性樹脂８は極めて薄いた
め、硬化した後に、第１の固体層２及び第２の固体層３
を除去する際の除去液、あるいはインクにより膨潤した
際に、第２の基体５より剥離し、ノズルを詰まらせるご
みとなったり、剥離しない場合でも、インク供給口４の
周囲にバリ状に残ってしまうと、インクのリフィル特性
を大幅に低下させるといった問題点があった。また、さ
らに甚だしい場合、前記の硬化性樹脂８が第２の固体層
３の上面にはみ出して、後に、この第２の固体層３を除
去する際に妨げとなる虞れもあった。
【００１３】そこで、これらの現象を防止するため、前
記液路の壁となる硬化性樹脂８を注入するに、前記第２
の基体５と前記第２の固体層３との間隙６とを、流動性
のある物質７で予め充填する。
記液路の壁となる硬化性樹脂８を注入するに、前記第２
の基体５と前記第２の固体層３との間隙６とを、流動性
のある物質７で予め充填する。
【００１４】図６（５） ついで、第１の基体１と第２の基体５との間に不図示の
注入口より液路や液室の壁となる硬化性樹脂８を注入す
る。
注入口より液路や液室の壁となる硬化性樹脂８を注入す
る。
【００１５】図６（６） ついで、硬化性樹脂８を硬化した後に充填剤７を除去
し、対向ヘッド中央を切断し、個々のヘッドに分離す
る。
し、対向ヘッド中央を切断し、個々のヘッドに分離す
る。
【００１６】図６（７） 最後に、第１の固体層２、第２の固体層３を除去し、吐
出口９、液路、液室１０を有する記録ヘッドを得る。
出口９、液路、液室１０を有する記録ヘッドを得る。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
製造方法にも、以下のような各問題点がある。すなわ
ち、 １）第２の固体層３を形成する工程が必要である。
製造方法にも、以下のような各問題点がある。すなわ
ち、 １）第２の固体層３を形成する工程が必要である。
【００１８】２）第２の固体層３には、第１の固体層２
と不要物を形成しないこと、硬化性樹脂８と相溶しない
こと、比較的厚く（数十μｍ以上）形成でき、成型性が
よいこと、第１の固体層２と同一の除去液で除去可能で
あることが望ましい等、材料の限定条件が多い。
と不要物を形成しないこと、硬化性樹脂８と相溶しない
こと、比較的厚く（数十μｍ以上）形成でき、成型性が
よいこと、第１の固体層２と同一の除去液で除去可能で
あることが望ましい等、材料の限定条件が多い。
【００１９】３）隙間を埋める固体も必要であり、充填
剤７の材料についても、 １．流動性があり、隙間６を埋められ、かつ、第２の固
体層３からはみ出さない、 ２．樹脂注入硬化後に除去できる、 ３．注入樹脂と交じり合って樹脂の高価を妨げることが
ない、 ４．作業性が良いこと、 などの限定条件が多い。
剤７の材料についても、 １．流動性があり、隙間６を埋められ、かつ、第２の固
体層３からはみ出さない、 ２．樹脂注入硬化後に除去できる、 ３．注入樹脂と交じり合って樹脂の高価を妨げることが
ない、 ４．作業性が良いこと、 などの限定条件が多い。
【００２０】そこで、本発明は、上記従来の問題点を解
消するためになされたもので、第２の固体層を必要とし
ない簡略な工程より成るインクジェット記録ヘッドの製
造方法を提供することを目的とするものである。
消するためになされたもので、第２の固体層を必要とし
ない簡略な工程より成るインクジェット記録ヘッドの製
造方法を提供することを目的とするものである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、下
記の製造方法によって、上述の目的を達成しようとすも
のである。すなわち、インクを吐出するために用いられ
る吐出圧発生素子を備えた第１の基体の液路及び液室の
一部となる部分に固体層を形成する工程と、前記第２の
基体のインク供給口の形成予定部位に開口部を形成する
工程と、前記第１の基体上に前記第２の基体を載置する
工程と、前記第１の基体上に形成された固体層を被覆す
るように液路及び液室の壁となる硬化性樹脂あるいは熱
可塑性樹脂を設ける工程と、第１の基体と第２の基体と
の間に前記樹脂が介在した状態で前記樹脂を固化させる
工程と、前記第２の基体に設けられた開口部の上方から
前記固体層に到るまで前記固化された樹脂を切削加工し
てインク供給口及び共通液室の少なくとも一部を設ける
工程と、前記固体層を除去して前記第１の基体、第２の
基体及び樹脂から成る液路を形成する工程と、を有する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
記の製造方法によって、上述の目的を達成しようとすも
のである。すなわち、インクを吐出するために用いられ
る吐出圧発生素子を備えた第１の基体の液路及び液室の
一部となる部分に固体層を形成する工程と、前記第２の
基体のインク供給口の形成予定部位に開口部を形成する
工程と、前記第１の基体上に前記第２の基体を載置する
工程と、前記第１の基体上に形成された固体層を被覆す
るように液路及び液室の壁となる硬化性樹脂あるいは熱
可塑性樹脂を設ける工程と、第１の基体と第２の基体と
の間に前記樹脂が介在した状態で前記樹脂を固化させる
工程と、前記第２の基体に設けられた開口部の上方から
前記固体層に到るまで前記固化された樹脂を切削加工し
てインク供給口及び共通液室の少なくとも一部を設ける
工程と、前記固体層を除去して前記第１の基体、第２の
基体及び樹脂から成る液路を形成する工程と、を有する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【００２２】
【作用】以上のような本発明方法によれば、従来の第２
の固体層を必要としない、簡略な工程より成るインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法を提供できる。そして、共
通液室の形成に、型材を使用しないため、型材使用に伴
う隙間の充填作業も必要とせず、また、液路及び液室の
壁を形成する硬化性樹脂の材料選択性に富み、簡単な工
程で信頼性の高いインクジェト記録ヘッドが得られる。
の固体層を必要としない、簡略な工程より成るインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法を提供できる。そして、共
通液室の形成に、型材を使用しないため、型材使用に伴
う隙間の充填作業も必要とせず、また、液路及び液室の
壁を形成する硬化性樹脂の材料選択性に富み、簡単な工
程で信頼性の高いインクジェト記録ヘッドが得られる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を複数
の実施例に基づいて詳細に説明する。
の実施例に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
【実施例】以下、本発明のインクジェット記録ヘッドの
製造方法の複数の実施例を、図面を参照して説明する。
製造方法の複数の実施例を、図面を参照して説明する。
【００２５】（実施例１）図１は、本実施例１に係るイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を説明するための工
程説明断面図である。
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を説明するための工
程説明断面図である。
【００２６】図１（１） まず、吐出圧発生素子１４が設けられた第１の基板１上
の液路形成部位及びそれと連通する液室形成予定部位に
第１の固体層２を形成する。ここで、本実施例１におい
ては第１の基体１として耐蝕コートを施したアルミ基板
を用いた。なお、本実施例１では、第２固体層はないの
で、以下、第１の固体層２を単に固体層２と記すことと
する。
の液路形成部位及びそれと連通する液室形成予定部位に
第１の固体層２を形成する。ここで、本実施例１におい
ては第１の基体１として耐蝕コートを施したアルミ基板
を用いた。なお、本実施例１では、第２固体層はないの
で、以下、第１の固体層２を単に固体層２と記すことと
する。
【００２７】上記固体層２は、後述する各工程を経て後
に除去され、残された空間部分が少なくとも液路とな
る。ここでは、固体層２としてポジ型のフォトレジスタ
である東京応化（株）製ＭＦ−５８（商品名）を用い
た。
に除去され、残された空間部分が少なくとも液路とな
る。ここでは、固体層２としてポジ型のフォトレジスタ
である東京応化（株）製ＭＦ−５８（商品名）を用い
た。
【００２８】図１（２） ついで、第１の基体１上に、第２の基体５を載置するた
めのスペーサを、切断分離後不要部となる部位に約１０
０μｍ厚で設けた（不図示）のち、固体層２を被覆する
ように、硬化性樹脂８を第１の基体上に塗布した。この
時硬化性樹脂の塗布厚を、スペーサの厚みと同様に約１
００μｍとした。なお、スペーサとしては、ダイシング
テープを用いた。
めのスペーサを、切断分離後不要部となる部位に約１０
０μｍ厚で設けた（不図示）のち、固体層２を被覆する
ように、硬化性樹脂８を第１の基体上に塗布した。この
時硬化性樹脂の塗布厚を、スペーサの厚みと同様に約１
００μｍとした。なお、スペーサとしては、ダイシング
テープを用いた。
【００２９】図１（３） ついで、インク供給口４を有する第２の基体５を、スペ
ーサ及び硬化性樹脂８を介して第１の基体１上に載置し
た。なお、第２の基体５としては、表面に耐蝕処理を施
したアルミ天板を用いた。
ーサ及び硬化性樹脂８を介して第１の基体１上に載置し
た。なお、第２の基体５としては、表面に耐蝕処理を施
したアルミ天板を用いた。
【００３０】図１（４） ダイヤモンドソーによって、インク供給口下部の硬化製
樹脂８を固体層２に至るまで切削する。硬化製樹脂８の
切削された部分が液室１０となる。
樹脂８を固体層２に至るまで切削する。硬化製樹脂８の
切削された部分が液室１０となる。
【００３１】また、Ｂ部に他の機器との接続パッドがあ
る場合には、この上部も切削により除去する。
る場合には、この上部も切削により除去する。
【００３２】図１（５） ダイヤモンドソーで対向するヘッドを分離する。
【００３３】図１（６） 固体層２を、除去液エチルセロソルブで除去し、吐出口
及びインク液路を得る。
及びインク液路を得る。
【００３４】このようにして本実施例１に係るインクジ
ェット記録ヘッドを得た。
ェット記録ヘッドを得た。
【００３５】なお、本発明で切削加工によってインク供
給口及び液室の一部を形成するものであるが、液路形成
部分に固体層が設けられているため、固体層に到るまで
切削加工を行えば良く、切削加工によって第１の基体を
損傷することがない。
給口及び液室の一部を形成するものであるが、液路形成
部分に固体層が設けられているため、固体層に到るまで
切削加工を行えば良く、切削加工によって第１の基体を
損傷することがない。
【００３６】（実施例２）第２の実施例２の製造固定説
明断面図を図２に示す。前記図１との違いは、第２のイ
ンク供給口となる開口４に、予め硬化性樹脂８を充填し
ておくことである。
明断面図を図２に示す。前記図１との違いは、第２のイ
ンク供給口となる開口４に、予め硬化性樹脂８を充填し
ておくことである。
【００３７】まず、実施例１と同様に、吐出圧発生素子
１４が設けられた第１の基板１上の液路形成部位及びそ
れと連通する液室形成予定部位に、第１の固定層２を形
成し（図２（１））、この第１の基体上に、第２の基体
を載置するためのスペーサを設置する（図２（２））。
なお、図２（２）では、スペーサ１３をヘッド近傍に配
置したが、第１の基体端部に設けてもよい。その他、第
１の基体または第２の基体５に凸部を設け、スペーサと
してもよい。
１４が設けられた第１の基板１上の液路形成部位及びそ
れと連通する液室形成予定部位に、第１の固定層２を形
成し（図２（１））、この第１の基体上に、第２の基体
を載置するためのスペーサを設置する（図２（２））。
なお、図２（２）では、スペーサ１３をヘッド近傍に配
置したが、第１の基体端部に設けてもよい。その他、第
１の基体または第２の基体５に凸部を設け、スペーサと
してもよい。
【００３８】そして、図２（３）に示すように、本実施
例では、インク供給口となる開口４に予め硬化性樹脂８
を充填しておいている。そして、実施例１と同様に、第
１の基体と第２の基体との間の間隙に硬化性樹脂を注入
し（図２（４））、この樹脂を硬化させた後、第２の基
体の開口部端面に触れないように、開口部幅より狭い幅
でダイヤモンドソーによって固体層に到るまで切削する
ことにより、インク供給口部及び液室部を形成する（図
２（５））。ついで、実施例１と同様に、基板を切断分
離し（図２（６））、固体層２とスペーサ１３とを、エ
チロセルソブルで同時に除去する（図２（７））。これ
により、Ｂ部の接続パッドが表面に出る。
例では、インク供給口となる開口４に予め硬化性樹脂８
を充填しておいている。そして、実施例１と同様に、第
１の基体と第２の基体との間の間隙に硬化性樹脂を注入
し（図２（４））、この樹脂を硬化させた後、第２の基
体の開口部端面に触れないように、開口部幅より狭い幅
でダイヤモンドソーによって固体層に到るまで切削する
ことにより、インク供給口部及び液室部を形成する（図
２（５））。ついで、実施例１と同様に、基板を切断分
離し（図２（６））、固体層２とスペーサ１３とを、エ
チロセルソブルで同時に除去する（図２（７））。これ
により、Ｂ部の接続パッドが表面に出る。
【００３９】このようにすることにより、第２の基板に
アルミニウムのような腐食し易い金属基板を用いた場合
にも、第２基板のインク供給口部分が露出することがな
いため、耐蝕コートのような特別な処理を施さなくて
も、この端面のインクによる腐食を防止することもでき
るものである。
アルミニウムのような腐食し易い金属基板を用いた場合
にも、第２基板のインク供給口部分が露出することがな
いため、耐蝕コートのような特別な処理を施さなくて
も、この端面のインクによる腐食を防止することもでき
るものである。
【００４０】なお、除去可能なスペーサを基体に設ける
ことにより、Ｂ部上に第２の基体が及ばないようにでき
るため、Ｂ部を露出するために第２の基体を切削する必
要もない。
ことにより、Ｂ部上に第２の基体が及ばないようにでき
るため、Ｂ部を露出するために第２の基体を切削する必
要もない。
【００４１】また、本実施例２では、インク供給口とな
る開口部４を、第１の基体に載置する前に予め形成して
いたが、図３に示すように、第１の基体と第２の基体と
の間隙に硬化性樹脂８を注入後に、第２の基体のインク
供給口となる部分を切削加工して開口部を形成してもよ
い。このときも、開口部に硬化性樹脂を充填した後にイ
ンク供給口部及び液室部の切削加工を行うのはもちろん
のことである。
る開口部４を、第１の基体に載置する前に予め形成して
いたが、図３に示すように、第１の基体と第２の基体と
の間隙に硬化性樹脂８を注入後に、第２の基体のインク
供給口となる部分を切削加工して開口部を形成してもよ
い。このときも、開口部に硬化性樹脂を充填した後にイ
ンク供給口部及び液室部の切削加工を行うのはもちろん
のことである。
【００４２】（実施例３）図４（１）から（７）は、本
発明の実施例３の製造工程を説明する断面図であり、こ
れを基に本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造
方法の本実施例３を工程順に説明する。
発明の実施例３の製造工程を説明する断面図であり、こ
れを基に本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造
方法の本実施例３を工程順に説明する。
【００４３】図４（１）に示す如く、吐出圧発生素子が
設けられたアルミ基板（第１の基板１）上に、液路形成
部位及びそれと連通する液室形成予定部位に第１の固体
層２を形成する。
設けられたアルミ基板（第１の基板１）上に、液路形成
部位及びそれと連通する液室形成予定部位に第１の固体
層２を形成する。
【００４４】上記固体層２は、後述する各工程を経た後
に除去され、残された空間部分が、少なくとも液路とな
る。ここでは、固体層２として東京応化（株）製ＰＭＥ
Ｒ−９００（商品名）を用いた。
に除去され、残された空間部分が、少なくとも液路とな
る。ここでは、固体層２として東京応化（株）製ＰＭＥ
Ｒ−９００（商品名）を用いた。
【００４５】図４（２）に示す如く、前記第１の基板の
不要部分（インクジェットヘッドの有効部分の外部）
に、例えば５０μｍ〜２００μｍ程度の所望の厚さのス
ペーサ１３を配設する。
不要部分（インクジェットヘッドの有効部分の外部）
に、例えば５０μｍ〜２００μｍ程度の所望の厚さのス
ペーサ１３を配設する。
【００４６】例えば本実施例においては、基板厚２００
μｍのテープを基板の端分の不要部分に設けた。
μｍのテープを基板の端分の不要部分に設けた。
【００４７】図４（３）に示す如く、予めインク供給口
及び共通液室形成予定部位に、前記インク供給口及び共
通液室より０．１mm〜０．５mm程度大きい開口部４を有
するアルミよりなる第２の基板５を載置する。
及び共通液室形成予定部位に、前記インク供給口及び共
通液室より０．１mm〜０．５mm程度大きい開口部４を有
するアルミよりなる第２の基板５を載置する。
【００４８】図４（４）に示す如く、前記第２の基板５
に設けられた開口部４の一方より、エポキシ系常温硬化
型樹脂８がディスペンサー等の周知の手段により滴下さ
れ、毛細管力によって、前記第１の基板１と第２の基板
５とによって構成される空隙に注入される。前記ディス
ペンサーは、滴下を継続しながらノズル配列方向に走査
され、前記硬化性樹脂８を滴下した開口部４に対向する
もう一方の第２の開口部４′の少なくとも一部が充填さ
れるまで、前記硬化性樹脂８の滴下及びディスペンサー
の走査が継続される。しかる後、前記第２の開口部４′
が完全に前記硬化性樹脂８で充填されるよう、前記第２
の開口部４′側にも前記硬化性樹脂８を滴下する。しか
る後、常温放置あるいは加熱により、前記樹脂８を硬化
させる。
に設けられた開口部４の一方より、エポキシ系常温硬化
型樹脂８がディスペンサー等の周知の手段により滴下さ
れ、毛細管力によって、前記第１の基板１と第２の基板
５とによって構成される空隙に注入される。前記ディス
ペンサーは、滴下を継続しながらノズル配列方向に走査
され、前記硬化性樹脂８を滴下した開口部４に対向する
もう一方の第２の開口部４′の少なくとも一部が充填さ
れるまで、前記硬化性樹脂８の滴下及びディスペンサー
の走査が継続される。しかる後、前記第２の開口部４′
が完全に前記硬化性樹脂８で充填されるよう、前記第２
の開口部４′側にも前記硬化性樹脂８を滴下する。しか
る後、常温放置あるいは加熱により、前記樹脂８を硬化
させる。
【００４９】図４（５）に示す如く、ダイヤモンドソー
によって、インク供給口下部の硬化性樹脂を固体層２に
到るまで切削する。これにより、インク供給口及び共通
液室１０を形成する。
によって、インク供給口下部の硬化性樹脂を固体層２に
到るまで切削する。これにより、インク供給口及び共通
液室１０を形成する。
【００５０】また、Ｂ部に他の機器との接続パッドがあ
る場合には、この上部も切削により除去する。
る場合には、この上部も切削により除去する。
【００５１】図４（６）に示す如く、ダイヤモンドソー
で対向ヘッドを分離する。
で対向ヘッドを分離する。
【００５２】図４（７）に示す如く、固体層２を除去液
エチルセロソルブで除去し、吐出口及び液路を得る。
エチルセロソルブで除去し、吐出口及び液路を得る。
【００５３】以上の工程により、本発明によるインクジ
ェット記録ヘッドが完成する。
ェット記録ヘッドが完成する。
【００５４】（実施例４）前記実施例３においては、前
記常温硬化型樹脂８を、毛細管現象を利用して前記空隙
部に注入したが、前記第２の開口部より吸引する方法
も、好ましい注入方法である。
記常温硬化型樹脂８を、毛細管現象を利用して前記空隙
部に注入したが、前記第２の開口部より吸引する方法
も、好ましい注入方法である。
【００５５】例えば、前記第１の開口部４に前記常温硬
化型樹脂８を充分滴下後、前記第２の開口部４′よりゴ
ムキャップ等の簡単な密閉手段を有した治具の後方に、
ダイヤフラム式等の簡便な真空ポンプを接続し、リーク
弁等で吸引力を調整しながら、この常温硬化型樹脂８を
吸引する。
化型樹脂８を充分滴下後、前記第２の開口部４′よりゴ
ムキャップ等の簡単な密閉手段を有した治具の後方に、
ダイヤフラム式等の簡便な真空ポンプを接続し、リーク
弁等で吸引力を調整しながら、この常温硬化型樹脂８を
吸引する。
【００５６】しかる後、前記吸引により前記第１の開口
部４内の前記常温硬化型樹脂８の液面が低下した分を、
前記第１の開口部４より補充する。
部４内の前記常温硬化型樹脂８の液面が低下した分を、
前記第１の開口部４より補充する。
【００５７】上記の方法によれば、極めて粘度の高い硬
化性樹脂でも前記空隙部に注入が可能であり、硬化性樹
脂が外部へ漏出することもない。
化性樹脂でも前記空隙部に注入が可能であり、硬化性樹
脂が外部へ漏出することもない。
【００５８】また、前記硬化性樹脂８として常温硬化型
樹脂を用いたが、該樹脂に特に限定されるものではな
く、後に硬化するものであれば、いかなるものでも使用
可能であり、例えば熱硬化型樹脂、熱可塑性樹脂、光硬
化性樹脂等も好適に使用できる。
樹脂を用いたが、該樹脂に特に限定されるものではな
く、後に硬化するものであれば、いかなるものでも使用
可能であり、例えば熱硬化型樹脂、熱可塑性樹脂、光硬
化性樹脂等も好適に使用できる。
【００５９】なお、本発明の各実施例の説明において
は、硬化性樹脂として常温硬化型樹脂を用いたが、前記
第２の基板材料を例えばガラス、アクリル樹脂等の紫外
線透過材料で構成し、前記硬化性樹脂として、例えばエ
ポキシ系の紫外線硬化性樹脂を注入後、紫外光を前記第
２の基板の上面より照射して硬化させる方法も、短時間
で硬化でき、樹脂のポットライフ等の制約がない好まし
いインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
は、硬化性樹脂として常温硬化型樹脂を用いたが、前記
第２の基板材料を例えばガラス、アクリル樹脂等の紫外
線透過材料で構成し、前記硬化性樹脂として、例えばエ
ポキシ系の紫外線硬化性樹脂を注入後、紫外光を前記第
２の基板の上面より照射して硬化させる方法も、短時間
で硬化でき、樹脂のポットライフ等の制約がない好まし
いインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
【００６０】また、前記インク供給口及びインク共通液
室を形成するための切削手段として、ダイヤモンドソー
を用いたが、エンドミル等の切削ツールも好適に使用で
きるものである。
室を形成するための切削手段として、ダイヤモンドソー
を用いたが、エンドミル等の切削ツールも好適に使用で
きるものである。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来の第２の固体層を必要としない簡略な工程より成る
インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供できる。
従来の第２の固体層を必要としない簡略な工程より成る
インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供できる。
【００６２】詳しくは、 １．共通液室に、型材を使用しないこと、そして型材使
用に伴う隙間の充填作業も必要とせず、簡単な工程で信
頼性の高いインクジェット記録ヘッドが得られる。
用に伴う隙間の充填作業も必要とせず、簡単な工程で信
頼性の高いインクジェット記録ヘッドが得られる。
【００６３】２．硬化性樹脂の露光、現像等の工程が不
要なため、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが
得られる。
要なため、安価で高精度のインクジェット記録ヘッドが
得られる。
【００６４】３．硬化性樹脂の粘度、濡れ等に関わりな
く、自由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱製
等に優れた高信頼性を有するインクジェット記録ヘッド
が得られる。
く、自由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性、耐熱製
等に優れた高信頼性を有するインクジェット記録ヘッド
が得られる。
【００６５】４．硬化性樹脂の極めて薄い部分が発生し
ないため剥離後に遊離して液路を塞ぐごみとなったり、
インクのリフィル特性を悪化させたりすることなく、高
速応答が可能なインクジェット記録ヘッドを高歩留まり
で製造することができる。
ないため剥離後に遊離して液路を塞ぐごみとなったり、
インクのリフィル特性を悪化させたりすることなく、高
速応答が可能なインクジェット記録ヘッドを高歩留まり
で製造することができる。
【００６６】５．第２の基体の開口部端面を、硬化性樹
脂で被覆することができるため、第２の基体としてアル
ミニウム等の腐食し易い金属基板を用いても、腐食性材
料のインクの溶出による吐出圧発生素子の寿命の低下
や、腐食によるインクジェットヘッドの故障のない高い
信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。
脂で被覆することができるため、第２の基体としてアル
ミニウム等の腐食し易い金属基板を用いても、腐食性材
料のインクの溶出による吐出圧発生素子の寿命の低下
や、腐食によるインクジェットヘッドの故障のない高い
信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。
【００６７】６．また、開口部から樹脂を注入するよう
にすることにより、開口部を塞ぐための樹脂充填工程を
新たに必要とせず、簡略な工程で安価なインクジェット
記録ヘッドを作成することができる。さらに、硬化性樹
脂の注入口（開口部）から出口間の距離が短いため、フ
ルマルチアレイタイプのようなノイズ配列方向に長いい
わゆる長尺ヘッドでも、容易に硬化性樹脂を注入でき、
かつ気泡の混入等のない高品質なヘッドを高い歩留まり
で得ることができる。
にすることにより、開口部を塞ぐための樹脂充填工程を
新たに必要とせず、簡略な工程で安価なインクジェット
記録ヘッドを作成することができる。さらに、硬化性樹
脂の注入口（開口部）から出口間の距離が短いため、フ
ルマルチアレイタイプのようなノイズ配列方向に長いい
わゆる長尺ヘッドでも、容易に硬化性樹脂を注入でき、
かつ気泡の混入等のない高品質なヘッドを高い歩留まり
で得ることができる。
【００６８】そして、インクジェット記録ヘッドの有効
部分外に、別途硬化樹脂の注入口を設ける必要がないた
め、基板サイズを小さくしたり、１基板内におけるイン
クジェット記録ヘッドの採り個数を増やすことができる
ため、大幅なコストダウンを実現できる。
部分外に、別途硬化樹脂の注入口を設ける必要がないた
め、基板サイズを小さくしたり、１基板内におけるイン
クジェット記録ヘッドの採り個数を増やすことができる
ため、大幅なコストダウンを実現できる。
【図１】 実施例１の工程説明断面図
【図２】 実施例２の工程説明断面図
【図３】 実施例２の別形態を示す工程説明断面図
【図４】 実施例３の工程説明断面図
【図５】 従来のエッジシューター型インクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための説明よう者図
録ヘッドの製造方法を説明するための説明よう者図
【図６】 従来のインクジェット記録ヘッド製造方法の
工程説明断面図
工程説明断面図
【符号の説明】 １ 第１の基体 ２ 第１の固体層 ３ 第２の固体層 ４ インクの供給口 ５ 第２の基体 ５′ アルミ天板 ６ 第２の固体層と第２の基体の隙間 ７ 流動性のある物質 ８ 硬化性樹脂 ９ 吐出口 １０ 液室 １１ 対向ヘッド １２ 切断線 １３ スペーサ １４ 吐出圧発生素子
Claims (9)
- 【請求項１】 インクを吐出するために用いられる吐出
圧発生素子を備えた第１の基体の液路及び液室の一部と
なる部分に固体層を形成する工程と、 前記第２の基体のインク供給口の形成予定部位に開口部
を形成する工程と、 前記第１の基体上に前記第２の基体を載置する工程と、 前記第１の基体上に形成された固体層を被覆するように
液路及び液室の壁となる硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹
脂を設ける工程と、 前記第１の基体と第２の基体との間に前記樹脂が介在し
た状態で前記樹脂を固化させる工程と、 前記第２の基体に設けられた開口部の上方から前記固体
層に到るまで前記固化された樹脂を切削加工してインク
供給口及び共通液室の少なくとも一部を設ける工程と、 前記固体層を除去して前記第１の基体、第２の基体及び
樹脂から成る液路を形成する工程と、を有することを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記開口部は、前記第２の基体を第１の
基体に載置する前に設けられることを特徴とする請求項
１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記樹脂は、前記第１の基体上にスペー
サを介して第２の基体を載置した後に、第１の基体と第
２の基体との間隙に注入されることを特徴とする請求項
１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記開口部は、前記切削工程における切
削幅より大きい幅を有する長穴形状となっていることを
特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド
の製造方法。 - 【請求項５】 前記樹脂は、前記第１の基体上にスペー
サを介して第２の基体を載置した後に、前記第１の基体
と第２の基体との間隙に前記開口部より注入されること
を特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項６】 前記切削工程前に、前記開口部に前記樹
脂を充填し、前記開口部を塞ぐ工程を有することを特徴
とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製
造方法。 - 【請求項７】 前記第２の基体が金属であると共に、前
記切削は、前記開口部端面に前記樹脂が残るように行わ
れることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項８】 前記樹脂の注入は、毛細管現象により行
われることを特徴とする請求項５に記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項９】 前記樹脂の注入は、減圧注入により行わ
れることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4069797A JP3595641B2 (ja) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
| JP9040897A JPH10235022A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | ミニゲーム機用操作カバー |
| US08/807,595 US6041501A (en) | 1996-02-29 | 1997-02-27 | Process for producing ink-jet recording head |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4287896 | 1996-02-29 | ||
| JP8-42878 | 1996-02-29 | ||
| JP4069797A JP3595641B2 (ja) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09290509A true JPH09290509A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3595641B2 JP3595641B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=26380202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4069797A Expired - Fee Related JP3595641B2 (ja) | 1996-02-29 | 1997-02-25 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6041501A (ja) |
| JP (1) | JP3595641B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6241335B1 (en) * | 1997-12-24 | 2001-06-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing ink jet recording head and ink jet recording head produced by the method |
| US6218730B1 (en) * | 1999-01-06 | 2001-04-17 | International Business Machines Corporation | Apparatus for controlling thermal interface gap distance |
| JP3592172B2 (ja) | 1999-01-27 | 2004-11-24 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製法によって製造されたインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置 |
| JP4669138B2 (ja) * | 2001-02-22 | 2011-04-13 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US6409312B1 (en) | 2001-03-27 | 2002-06-25 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printer nozzle plate and process therefor |
| US6698092B2 (en) * | 2001-10-31 | 2004-03-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Methods and systems for forming a die package |
| US7051426B2 (en) * | 2002-01-31 | 2006-05-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method making a cutting disk into of a substrate |
| US6911155B2 (en) * | 2002-01-31 | 2005-06-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Methods and systems for forming slots in a substrate |
| US20030140496A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Shen Buswell | Methods and systems for forming slots in a semiconductor substrate |
| US20050036004A1 (en) * | 2003-08-13 | 2005-02-17 | Barbara Horn | Methods and systems for conditioning slotted substrates |
| WO2006001531A1 (en) * | 2004-06-28 | 2006-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head manufacturing method, and liquid discharge head obtained using this method |
| JP4614383B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド |
| US7254890B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-08-14 | Lexmark International, Inc. | Method of making a microfluid ejection head structure |
| US20060209123A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-21 | Eastman Kodak Company | High density reinforced orifice plate |
| JP5279355B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2013-09-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置の製造方法 |
| JP2010052149A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Canon Inc | 記録ヘッドの製造方法 |
| JP4942218B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2012-05-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04191053A (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-09 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
| JP3285601B2 (ja) * | 1991-11-27 | 2002-05-27 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
| US5365645A (en) * | 1993-03-19 | 1994-11-22 | Compaq Computer Corporation | Methods of fabricating a page wide piezoelectric ink jet printhead assembly |
| US5408739A (en) * | 1993-05-04 | 1995-04-25 | Xerox Corporation | Two-step dieing process to form an ink jet face |
| US5560837A (en) * | 1994-11-08 | 1996-10-01 | Hewlett-Packard Company | Method of making ink-jet component |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP4069797A patent/JP3595641B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-27 US US08/807,595 patent/US6041501A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6041501A (en) | 2000-03-28 |
| JP3595641B2 (ja) | 2004-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3595641B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド | |
| JP4881081B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP5143274B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| KR100849745B1 (ko) | 액체 토출 소자 및 그 제조 방법 | |
| JP2012126124A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| US8091235B2 (en) | Method for manufacturing a substrate for a liquid ejection element | |
| JPS58224760A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| US8083314B2 (en) | Ink jet head and production process thereof | |
| US8632163B2 (en) | Liquid ejecting head and method for manufacturing the same | |
| JP2007301886A (ja) | インクジェット式プリントヘッドおよびその製造方法 | |
| JPS59194858A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP7134831B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| US6382780B1 (en) | Inkjet head formed of divided pressure-chamber plate, method for manufacturing the same, and recording device having the inkjet head | |
| KR101292493B1 (ko) | 액체 토출 헤드 및 그 제조 방법 | |
| JPH0278560A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP2006130766A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板及びその製造方法 | |
| US20060181574A1 (en) | Method of manufacturing nozzle plate and method of manufacturing liquid droplet ejection head | |
| US8152278B2 (en) | Liquid jet head chip and manufacturing method therefor | |
| JP2001018392A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2014136429A (ja) | 圧電変換器を保護する方法 | |
| JP3466827B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2008018712A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH07266567A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH11129465A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH10217486A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040203 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040405 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040727 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040831 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040906 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |