JPH09290359A

JPH09290359A - テープ研磨装置

Info

Publication number: JPH09290359A
Application number: JP12925496A
Authority: JP
Inventors: Akashi Nakajima; 証中島
Original assignee: Japan Energy Corp
Current assignee: Eneos Corp
Priority date: 1996-04-26
Filing date: 1996-04-26
Publication date: 1997-11-11

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ヘッドスライダの加工量を均一に且つ精
度良く制御できるテープ研磨装置を提供する。【解決手段】テープ搬送ブロック１５の頂部にブロッ
ク平面１５ｂを設け、ブロック平面１５ｂの幅Ｗを研磨
テープ１６の幅より小さくし、且つブロック平面１５ｂ
の長さＬを、幅Ｗと共に、装置固有の研磨条件に応じて
設定する。例えば、ブロック平面１５ｂの幅Ｗは研磨テ
ープ１６の幅の６５〜７５％が最も好ましく、長さＬは
３〜５ｍｍが最も好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ヘッド
スライダのような微小加工物を加工するためのテープ研
磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッドスライダは、例えば図７に示
すように、コア半体１ａ、１ｂからなるヘッドコア１及
びハウシング２を備え、ハウジング２の上面はＡＢＳ
（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ）面４とされ
ている。さらにＡＢＳ面４は流出端４ａ及び流入端４ｂ
を有し、それぞれ傾斜面とされている。

【０００３】流出端４ａは、例えば角度２０°±３°、
長さ４０μｍ±１３μｍの傾斜面に、流入端４ｂは角度
１°未満の傾斜面に加工される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】これらの傾斜面の加工
は、従来、図８に示すようなカップ状の砥石６ａを付け
たスライサ６により行なっていた。

【０００５】すなわち流出端４ａを加工するときには、
所定角度、例えば２０°に傾けた磁気ヘッドスライダ２
を適宜手段により上記の砥石６ａに押し当てることによ
り加工を行なっていた。

【０００６】しかしながら、上記の加工方法において
は、次のような問題があった。（１）磁気ヘッドスライダ２が砥石６ａに当接した時点
の検出が難しく、そのため、ごく僅かな加工量、上記の
場合４０μｍを精度良く制御できず、不均一でばらつき
が大きく、歩留りが悪かった。（２）スライサの運転には熟練を要するため、１台／人
しか運転できなかった。（３）スライサの最初の設定が難しいため生産（加工）
能力が低かった。

【０００７】従って、本発明の目的は、磁気ヘッドスラ
イダの加工量を均一に且つ精度良く制御できるテープ研
磨装置を提供することである。

【０００８】本発明の他の目的は、熟練を要せず、誰で
も容易に運転のできるテープ研磨装置を提供することで
ある。

【０００９】本発明の更に他の目的は、最初の設定が容
易で従って生産能力の大きいテープ研磨装置を提供する
ことである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
テープ研磨装置にて達成される。要約すれば、本発明
は、走行する研磨テープをその下面より支持するテープ
搬送ブロックを有し、前記研磨テープの被支持部上面に
加工物を当接し加工を行なうテープ研磨装置において、
前記テープ搬送ブロックはその頂部に前記研磨テープを
支持する平面部を有し、前記平面部の幅が前記研磨テー
プの幅より小さく、前記平面部の長さが所定長さ以下で
あることを特徴とするテープ研磨装置である。

【００１１】前記平面部の幅は、前記研磨テープの幅の
好ましくは５０〜９０％、より好ましくは６０〜８０
％、更に好ましくは６５〜７５％である。

【００１２】前記平面部の長さは、好ましくは１〜１０
ｍｍ、より好ましくは２〜８ｍｍ、さらに好ましくは３
〜５ｍｍである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るテープ研磨装
置を図面に則して更に詳しく説明する。

【００１４】図１に、本発明に係るテープ研磨装置の一
実施例が示される。同図において、テープ研磨装置１０
０は、装置本体１０、ステッピングモーター・コントロ
ーラー３０、及びコンピューター５０から構成されてい
る。

【００１５】装置本体１０は、基台１１、その上面に配
設されたテープ供給リール１２、巻き取りリール１３、
両リール１２、１３間に配置された治具固定ホルダー１
４及びテープ搬送ブロック１５を備えており、研磨テー
プ１６がテープ供給リール１２から巻き出され、テープ
搬送ブロック１５を経て巻き取りリール１３に巻き取ら
れる。なお、両リール１２、１３間には複数の搬送ロー
ラ群１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ、１７ｆ
が配設され、研磨テープ１６にテンションを付与しつつ
搬送案内している。また、基台１１の図中前面には制御
盤１８が配置されている。

【００１６】治具固定ホルダー１４には、加工される多
数の加工物である磁気ヘッドスライダを固定するための
治具１４ａが取付けられている。また、治具固定ホルダ
ー１４の両端はベアリング固定されており、その中心軸
１４ｂに対して自由に回転できる構造となっている。

【００１７】この中心軸１４ｂは、テープ搬送ブロック
１５の頂部ブロック平面１５ｂに対して、加工したいス
ライダの傾斜面の所定角度、例えば流出端４ａの傾斜面
を加工する場合は２０°±３の°の角度を取る。

【００１８】治具１４ａには、磁気ヘッドスライダ２が
図２のように取付けられ、図３に示すようにテープ搬送
ブロック１５に下面から支持された研磨テープ１６にバ
ー毎に当接し、傾斜面の加工を行なう。

【００１９】さらに、治具固定ホルダー１４は、ステッ
ピングモーターコントローラー３０によってＸ軸方向及
びＹ軸方向に移動制御され、バー毎の連続自動加工を行
なう。

【００２０】磁気ヘッドスライダは、図２のようにバー
２２毎に配列されるが、それらの位置が多少ばらついて
いても、研磨テープの弾力性及び治具固定ホルダーのそ
の中心軸１４ｂに対する回転方向の自由度によりそれら
のばらつきを吸収できる。

【００２１】研磨テープは、本実施例において、ポリエ
ステル製、厚さ２３μｍのテープ（富士フィルム製、Ｋ
８０００ＦＵＪＩ）が使用される。

【００２２】テープ搬送ブロック１５は、図４〜図６に
示すように、ブロック本体（ステンレス製）１５ａを有
し、ブロック本体１５ａは、その頂部にあって研磨テー
プ１６を下面より支持する平面部であるブロック平面１
５ｂと、傾斜面１５ｃとを備えている。ブロック平面１
５ｂの両側部１５ｄは所定の半径ｒにて面取りがなされ
ている。

【００２３】ブロック平面１５ｂの幅Ｗと長さＬは、加
工物を加工中にブロック平面１５ｂ上の研磨テープ１６
にしわが寄らないように、幅Ｗをテープ幅より小さく
し、長さＬを所定長さ以下にする。なお、幅Ｗは矢印Ａ
で示すテープ走行方向に対して直交する方向の距離、長
さＬはテープ走行方向の距離である。

【００２４】ブロック平面１５ｂの幅Ｗについては、装
置固有の研磨条件に応じて実験的に決定すべきものであ
るが、テープ幅Ｗの５０〜９０％、好ましくは６０〜８
０％、より好ましくは６５〜７５％とされる。一般に、
使用されるテープ１６の幅は２５〜６０ｍｍである。

【００２５】ブロック平面１５ｂの幅Ｗが研磨テープの
幅に近づくと、研磨テープに対する幅方向の引張力が小
さくなり、研磨テープにしわが寄り、不均一な加工とな
る。

【００２６】一方、ブロック平面１５ｂの幅Ｗが小さす
ぎると、加工幅が小さくなり、研磨テープが有効に使わ
れず不経済となる。

【００２７】なお、上記の装置固有の研磨条件として
は、研磨テープにかける走行方向の張力（トルク）の大
きさ、テープ走行速度、テープの種類（砥粒径、材質、
厚さ）、加工物への加圧力などがある。

【００２８】ブロック平面１５ｂの長さＬについては、
１〜１０ｍｍ、好ましくは２〜８ｍｍ、より好ましくは
３〜５ｍｍとされる。１０ｍｍを超えると、研磨テープ
にしわが寄り不均一な加工となり、１ｍｍ未満では十分
な加工面積が得られないからである。ブロック平面１５
ｂの長さＬの適正値も、上記装置固有の研磨条件に応じ
て設定される。

【００２９】また図３に示すように、ブロック平面１５
ｂの研磨テープ走行方向流出端部１５ｅの角度αは、研
磨テープの下向きの張力を大きくするため、略直角とす
るのが好ましく、さらに、端部１５ｅの面取りは研磨テ
ープが擦り切れない範囲の極く微小とすることが好まし
い。又、研磨テープ走行方向流入端部を形成するブロッ
ク平面１５ｂと傾斜面１５ｃとのなす角度βは１８０°
より小さい任意の角度とすることができ、通常１５０°
程度とされる。

【００３０】上記のように構成されたテープ研磨装置に
よって、磁気ヘッドスライダに加工を施す際には、先ず
スライダにカウンタウェイトをかけ、研磨テープとの最
初の接触において軽い荷重をかけ、その後所定の荷重を
かけて加工を行なう。

【００３１】スライダが自重で落ちて止まった時点が加
工の始まりであり、その時間のばらつきは非常に小さい
ため無視することができ、トータルの時間管理で切込み
量の制御を精度よく行なうことができる。

【００３２】なお本実施例において、加工速度は、１
５．５ｓｅｃ／バー（移動時間含む）であり、実質加工
時間は９ｓｅｃ／バーである。

【００３３】図３において、テープ搬送ブロック１５
は、ブロック平面１５ｂの下部分のみを残し、テーパ部
１５ｅ下方の部分（図中一点鎖線より左側部分）を除去
した形態、即ちβ＝９０°としても効果を得ることはで
きるが、テープ搬送ブロック１５の剛性を確保するため
には、このようなテーパ部１５ｃを備えている方が有利
である。

【００３４】また、図４において、テーパ搬送ブロック
１５のブロック平面１５ｂの両Ｒ部１５ｄの下方部（図
中一点鎖線の外部）を除去した形態としても効果はあ
る。このような形態では、張力を持った研磨テープを連
続的に走行させる場合、テープ搬送ブロックの角部によ
り研磨テープが損傷を受け、切断してします危険がある
という理由から、テープ搬送ブロック１５の両端にＲ部
を設けた方が有利である。

【００３５】本実施例の説明においては、微小加工物と
して磁気ヘッドスライダを例にとり説明したが、本発明
を、他の微小加工物の面取り加工に適用できることはい
うまでもない。

【００３６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、テープ搬送ブロックがその頂部に平面部を有
し、前記平面部の幅が研磨テープの幅より小さく、且つ
前記平面部の長さと共に、装置固有の研磨条件に応じて
設定されることにより、（１）磁気ヘッドスライダの加
工量を均一に且つ精度良く制御でき、（２）熟練を要せ
ず、誰でも容易に運転ができ、そして、（３）最初の設
定が容易で従って生産能力の大きく、従って、（４）生
産性、操作性の良好な、テープ研磨装置を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るテープ研磨装置の一実施例を示す
構成図である。

【図２】図１の治具固定ホルダーの斜視図である。

【図３】図１の治具固定ホルダーとテープ搬送ブロック
との位置関係を示す説明図である。

【図４】図１のブロック研磨装置のテープ搬送ブロック
を示す斜視図である。

【図５】図１のテープ搬送ブロックの側面図である。

【図６】図１のテープ搬送ブロックの正面図である。

【図７】磁気ヘッドスライダの一例を示す斜視図であ
る。

【図８】磁気ヘッドスライダの従来の加工装置の一例を
示す説明図である。

【符号の説明】

２磁気ヘッドスライダ（加工物）１０装置本体１４治具固定ホルダー１５テープ搬送ブロック１５ｂブロック平面（平面部）１６研磨テープ１００テープ研磨装置Ｌ平面部の長さＷ平面部の幅

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】走行する研磨テープをその下面より支持
するテープ搬送ブロックを有し、前記研磨テープの被支
持部上面に加工物を当接し加工を行なうテープ研磨装置
において、前記テープ搬送ブロックはその頂部に前記研磨テープを
支持する平面部を有し、前記平面部の幅が前記研磨テー
プの幅より小さく、且つ前記平面部の長さが所定長さ以
下であることを特徴とするテープ研磨装置。
【請求項２】前記平面部の幅は、前記研磨テープの幅
の５０〜９０％であることを特徴とする請求項１のテー
プ研磨装置。
【請求項３】前記平面部の幅は、前記研磨テープの幅
の６０〜８０％であることを特徴とする請求項１のテー
プ研磨装置。
【請求項４】前記平面部の幅は、前記研磨テープの幅
の６５〜７５％であることを特徴とする請求項１のテー
プ研磨装置。
【請求項５】前記平面部の長さは、１〜１０ｍｍであ
ることを特徴とする請求項１のテープ研磨装置。
【請求項６】前記平面部の長さは、２〜８ｍｍである
ことを特徴とする請求項１のテープ研磨装置。
【請求項７】前記平面部の長さは、３〜５ｍｍである
ことを特徴とする請求項１のテープ研磨装置。