JPH09289160A

JPH09289160A - 露光装置

Info

Publication number: JPH09289160A
Application number: JP8126415A
Authority: JP
Inventors: Katsuya Machino; 勝弥町野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-04-23
Filing date: 1996-04-23
Publication date: 1997-11-04

Abstract

(57)【要約】【課題】マスク上の大面積の回路パターンを基板上に
高スループットを維持したまま高い解像力で転写するこ
とができる低コストの露光装置を提供する。【解決手段】各直角ダハ・ミラー２８を構成する第１
ミラー２８ａと第２ミラー２８ｂとの成す角を可変調整
する角度調整手段（図２では図示せず）が設けられ、各
直角ダハ・ミラー２８の頂角の直角度が常に高精度に調
整・維持される。このように高精度に頂角の直角度が調
整された直角ダハ・ミラー２８をそれぞれ含む複数の投
影光学系２５に対し、マスクと感光基板とを同期走査す
れば、当該複数の投影光学系２５を介してマスクの照明
領域３０のパターンが感光基板上の投影領域２９に、高
スループット且つ高解像力で逐次投影される。また、製
造段階での、各直角ダハ・ミラー２８の頂角の直角度を
それほど高精度に調整する必要がなくなるので、コスト
の低減をも図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子、液晶
表示素子等の電子デバイスの製造の際のフォトリソグラ
フィ工程で使用される露光装置に係り、更に詳しくは、
マスクと感光基板とを所定の走査方向に同期して移動さ
せつつ、複数の投影光学系を介してマスクのパターンを
感光基板上に逐次転写する露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パソナルコンピュータ、ワープ
ロ、テレビ等の表示素子として液晶を用いた表示パネル
が多用されるようになってきている。また、年々、液晶
表示素子の表示範囲拡大がユーザーの間で望まれるよう
になっており、これに対応すべく、表示素子の拡大を図
ろうという要望が、各表示素子メーカから聞かれるよう
になった。

【０００３】ところで、液晶表示素子は、ガラス基板上
に透明なＩＴＯ薄膜電極と液晶分子配向素子を形成し、
その外周部を封着材で気密に封着された構造となってい
る。また、前記ガラス基板上に形成される透明なＩＴＯ
薄膜電極等は、フォトリソグラフィ工程において転写露
光等によりパターンニングされ、必要な形状、精度を得
ている。

【０００４】従来より、この種の液晶表示回路（ＩＴＯ
薄膜電極等）の製造装置として、ステッパーと呼ばれる
フォトリソグラフィ装置が使用されており、マスク（又
はレチクル）上の分割された所望のパターンをいわゆる
ステップ・アンド・リピート方式により、ガラス基板上
で継ぎ合せることがなされていた。

【０００５】この他、大形のマスク上に形成された所望
のパターンをミラープロジェクションタイプのアライナ
ーでスキャン露光することによっても、液晶表示回路の
パターンニングがなされていた。

【０００６】しかしながら、最近になって、さらなる液
晶表示領域の拡大が望まれるようになったことに伴い、
上記のステップ・アンド・リピート方式では、ショット
領域の増加によりスループットが十分でないという問題
が生じ、また、上記のミラープロジェクションタイプの
アライナーでは、大型化するマスク領域をカバーするだ
けの大形のミラーの製造の困難性と装置の大型化が問題
となって来た。

【０００７】本願出願人は、かかる問題を改善すべく、
複数の投影光学系を用い、この複数の投影光学系に対し
てマスクと感光基板を同期走査することにより、スルー
プットを低下させずに且つ装置をそれほど大型化させる
ことなく、ガラス基板上の大面積の露光領域に大型マス
クの回路パターンを転写可能な走査型露光装置を、特開
平７−５７９８６号公報として先に提案した。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図１１には、上記特開
平７−５７９８６号公報と同様の走査型露光装置のパタ
ーン転写原理が示されている。この図１１において、不
図示の照明光学系からの露光光により、上方からマスク
（原板）９１の所定形状（例えば、台形状）の照明領域
が照明されると、この照明領域（内のパターン）の像光
束は、直角プリズム９２によって光路が９０度偏向さ
れ、投影レンズ９３の上半部の領域を介して直角ダハ・
プリズム９４に導かれる。この直角ダハ・プリズム９４
によりその像光束は、再び投影光学系９３へ向けて反射
され、投影レンズ９３の下半部を透過して再び直角プリ
ズム９４にて光路が９０度偏向され、基板９５上に前記
マスク９１の台形状の照明領域内のパターンの正立像を
結像する。この露光装置においては、マスク９１と基板
９５とを一体的に図中の太矢印で示されるように同期走
査して所望の全パターンを基板９５上に転写する。そし
て、この露光装置では、実際には、このような直角プリ
ズム９２、直角ダハ・プリズム９４、投影レンズ９３か
ら成る投影光学系（投影光学系ユニット）を複数所定間
隔で且つ隣接する投影光学系の投影領域が相互に一部重
なり合う状態で千鳥状に配置して、この複数の投影光学
系に対してマスク９１と基板９５とを一体的に走査する
ことにより、大型マスクのパターン領域の全面が基板上
に転写されるようになっていた。

【０００９】上記のような複数投影光学系を備えた走査
型露光装置にあっては、投影光学系と同数の直角ダハ・
プリズムが必要であるとともに、図１１からも明らかな
ように、その性質上、直角ダハ・プリズムの直角ダハ面
の頂角の直角度は相当に高い精度（高解像力を得るため
には、０．１秒以下の角度誤差に抑えなければならな
い）が要求される。

【００１０】しかしながら、上記のような高精度の直角
ダハ・プリズムは、必要とされる直角ダハ・プリズムの
個数の十倍以上の個数を製作しても所望の精度のものを
得られないこともあり、製作が非常に困難であると共
に、非常に歩留まりが悪いことから、露光装置のコスト
・アップの大きな要因となっていた。すなわち、このよ
うな直角ダハ・プリズムを大量に研磨製造するのは、製
造コストの面から、また製造技術の面からもほとんど現
実的ではないと言える。

【００１１】一方、この直角ダハ・プリズムに代えて直
角ダハ・ミラーを使用することも考えられるが、直角ダ
ハ・ミラーは、直角調整が非常に困難であり、何個調整
しても所望の性能を得られないことがあり、同様に、大
量に製造するのは製造コストの高騰を招くという不都合
を有していた。さらに、この直角ダハ・ミラーの場合
は、経時変化により角度が変化するため、所望の解像力
を得るためには再度の調整が不可欠であり、装置の安定
性や信頼性の面でも問題があった。

【００１２】本発明は、かかる事情の下になされたもの
で、その目的は、マスク上の大面積の回路パターンを基
板上に高スループットを維持したまま高い解像力で転写
することができる低コストの露光装置を提供することに
ある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、マスクと感光基板とを所定の走査方向に同期して移
動させつつ、複数の投影光学系を介して前記マスクのパ
ターンを前記感光基板上に逐次転写する露光装置におい
て、前記各投影光学系が、少なくとも一つのダハ面を有
する第１ミラーと第２ミラーとから成る直角ダハ・ミラ
ーを有し、前記マスクのパターンの正立像を前記感光基
板上に形成する光学系であり、前記各直角ダハ・ミラー
を構成する第１ミラーと第２ミラーとが成す角度を可変
調整する角度調整手段が設けられていることを特徴とす
る。

【００１４】これによれば、角度調整手段により、各直
角ダハ・ミラーを構成する第１ミラーと第２ミラーとの
成す角を可変調整することができるので、各直角ダハ・
ミラーの頂角の直角度を常に高精度に調整・維持するこ
とができる。従って、このように高精度に頂角の直角度
が調整された直角ダハ・ミラーをそれぞれ含む複数の投
影光学系に対し、マスクと感光基板とを所定の走査方向
に同期して移動させれば、当該複数の投影光学系を介し
てマスクのパターンが感光基板上に、高スループット且
つ高解像力で逐次投影される。また、製造段階での、各
直角ダハ・ミラーの頂角の直角度をそれほど高精度に調
整する必要がなくなるので、コストの低減をも図ること
ができる。

【００１５】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の露光装置において、前記角度調整手段は、前記第１ミ
ラーと第２ミラーの基準点からの角度の変位量を検出す
る検出系と、この検出された変位量に応じて前記第１ミ
ラー及び第２ミラーの少なくとも一方を駆動して当該両
者の成す角を変更する角度変更手段とを有することを特
徴とする。これによれば、検出系により第１ミラーと第
２ミラーの基準点からの角度の変位量が検出されると、
角度変更手段ではこの検出された変位量に応じて第１ミ
ラー及び第２ミラーの少なくとも一方を駆動して当該両
者の成す角を変更する。従って、第１ミラー及び第２ミ
ラーがそれぞれ基準点にある状態で第１ミラー及び第２
ミラーが真に直交する（許容誤差範囲内で直交する）よ
うに、第１ミラーと第２ミラーの基準点を設定しておけ
ば、例えば製造段階で第１ミラーと第２ミラーの直交度
が精密に調整されていない場合や、直角ダハ・ミラーの
頂角の直角度が経時的に変化した場合であっても、角度
調整手段により第１ミラーと第２ミラーの直交度、すな
わち直角ダハ・ミラーの頂角の直角度が許容誤差範囲内
に自動的に調整される。

【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の露光装置において、前記角度調整手段による角
度の可変調整の後に、前記第１ミラーと第２ミラーとの
直交度誤差を検知し、検知された直交度誤差が許容範囲
内に収まるまで前記角度調整を行なって前記角度調整手
段を較正する自己補償手段を更に有する。これによれ
ば、角度調整手段が自己補償手段によって、較正（キャ
リブレーション）されるので、前記検出系の検出精度が
低下した場合にあっても、常に高精度に直角ダハ・ミラ
ーの頂角の直角度を維持できるので、直角ダハ・ミラー
を用いていながら、直角ダハ・プリズム使用時と同様の
安定性が確保できる。

【００１７】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の露光装置において、前記自己補償手段は、真に直角な
ダハ面を有する補正用真直プリズムを基準原器として多
重干渉の原理により前記第１ミラーと第２ミラーとの直
交度誤差を検知することを特徴とする。これによれば、
補正用真直プリズムを基準原器として多重干渉の原理に
より第１ミラーと第２ミラーとの直交度誤差が検知され
るので、例えば多重干渉により生じる干渉縞が予め定め
られた許容誤差範囲に対応する本数となるように、角度
調整手段により第１ミラーと第２ミラーの成す角を調整
することにより、結果的に第１ミラーと第２ミラーの直
交度の補正と角度調整手段のキャリブレーションとを確
実かつ容易に行なうことができる。

【００１８】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の露光装置において、前記自己補償手段は、前記補正用
真直プリズムを前記複数の投影光学系を構成する各直角
ダハ・ミラーの内部の挿入位置と退避位置との間で搬送
するプリズム搬送手段と、前記各直角ダハ・ミラーの内
部に挿入された前記補正用真直プリズムに対し平行光束
をそれぞれ照射する複数の照射光学系と、前記各直角ダ
ハ・ミラーのダハ面からの反射光を前記補正用真直プリ
ズムを介してそれぞれ受光する複数の受光手段とを有す
ることを特徴とする。

【００１９】これによれば、搬送手段により補正用真直
プリズムをいずれかの直角ダハ・ミラーの内部の挿入位
置まで搬送し、この状態で補正用真直プリズムに対し対
応する照射光学系から平行光束を照射すると、補正用真
直プリズムと直角ダハ・ミラーのダハ面との間で多重干
渉が生じ、このダハ面からの反射光が補正用真直プリズ
ムを介して対応する受光手段により受光され、その受光
面に干渉縞が結像される。

【００２０】この場合、搬送手段が補正用真直プリズム
を複数の投影光学系を構成する各直角ダハ・ミラーの内
部の挿入位置と退避位置との間で搬送するので、高精度
に頂角の直角度が製造された補正用真直プリズムは、１
つだけ用意すれば足り、コストの大幅な上昇を招くこと
がない。

【００２１】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の露光装置において、前記自己補償手段は、前記干渉縞
の画像データに基づいて前記直角ダハ・ミラーのダハ面
の汚れを検出することを特徴とする。これによれば、自
己補償手段により、直角ダハ・ミラーのダハ面の汚れ
（塵埃等の異物の附着）を検出してオペレータに通報す
ること等が可能になる。

【００２２】請求項７に記載の発明は、請求項１ないし
６のいずれか一項に記載の露光装置において、前記各投
影光学系はダイソン型光学系であることを特徴とする。

【００２３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１ないし図９に
基づいて説明する。

【００２４】図１には、一実施例に係る露光装置１０の
全体構成が概略的に示されている。この露光装置１０
は、大型のマスク１３に形成された回路パターンを感光
基板としてのガラスプレート（以下、「プレート」とい
う）１４に転写するための走査型露光装置である。

【００２５】この露光装置１０は、ベース１１と、この
ベース１１上を図１におけるＸ軸方向（走査方向）に沿
って移動可能な移動ステージ１２と、この移動ステージ
１２上に固定され，マスク１３とプレート１４とを相互
に平行にかつ鉛直に保持する断面略Ｕ字状のキャリッジ
１５と、キャリッジ１５よりもＺ軸方向一側（手前側）
に配置され本体コラム１６に保持された照明光学系１７
と、Ｚ軸方向でマスク１３とプレート１４との間の位置
に配置され，本体コラム１６に保持された投影光学系ブ
ロック１８と、ベース１１上をＸ軸方向に沿って移動可
能な補正光学系ブロック１９とを備えている。

【００２６】移動ステージ１２は、ベース１１上にＸ軸
方向に沿って延設された一対のガイド部材２０Ａ、２０
Ｂ上に不図示のエアベアリングで浮上支持されている。
また、この移動ステージ１２のＺ軸方向の両サイドに
は、一対のムービングマグネット型のリニアモータ２１
が設けられ、これらのリニアモータ２１によって移動ス
テージ１２と一体的にキャリッジ１５がガイド部材２０
Ａ、２０Ｂに沿って駆動されるようになっている。な
お、リニアモータ２１は、Ｘ軸方向に沿って延設された
マグネットトラック２１ａと、移動ステージ１２側に取
り付けられたコイル２１ｂとから構成される。

【００２７】キャリッジ１５のＺ軸方向の一側の側壁
（マスクステージを構成する）の外面には、鉛直方向に
（より詳細には、ＸＹ平面に沿って）マスク１３を保持
するマスクホルダ２２が取り付けられている。また、キ
ャリッジ１５のＺ軸方向の他側の側壁（プレートステー
ジを構成する）の内面にＸＹ平面に沿ってプレート１４
を保持するプレートホルダ２３が取り付けられている。
マスクホルダ２２は、３つの駆動モータ２４Ａ〜２４Ｃ
によってＸＹ平面内で微小駆動可能に構成されており、
キャリッジ１５に対する位置・姿勢が調整可能になって
いる。

【００２８】なお、キャリッジ１５のＸＹＺ３軸方向の
位置は、干渉計Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３（図１では測長ビーム
のみを図示）を含むレーザ干渉計システムによって計測
されるようになっている。

【００２９】前記投影光学系ブロック１８は、第１〜第
７の投影光学系ユニット２５₁〜２５₇を備え、この
内、投影光学系ユニット２５₁〜２５₄と投影光学系ユ
ニット２５₅〜２５₇とは、例えば、特開平７−５７９
８６号公報に開示されるように、Ｘ方向に所定間隔隔て
て２列に且つ千鳥状に配置され、各々の露光領域（投影
領域）が適正に継ぎ露光されるように配置されている。

【００３０】図１において、キャリッジ１５が図示の状
態から−Ｘ方向に移動すると、投影光学系ブロック１８
がマスク１３とプレート１４との間に位置するようにな
る。図２には、このときの一方の列の投影光学系ユニッ
ト２５₁〜２５₄部分が示されている。この図２に示さ
れるように、各投影光学系ユニット２５は、直角プリズ
ム２６と、投影レンズ２７と、直角ダハ・ミラー２８と
を各１つ備えている。ここで、直角ダハ・ミラー２８
は、相互に直交する第１ミラー２８ａと第２ミラー２８
ｂとから成り、それぞれの内面が反射面とされている。

【００３１】なお、図２において、仮想線２９で示され
るのは、投影光学系ユニット２５₁〜２５₇の露光フィ
ールド（プレート１４上の領域）を模式的に示したもの
で、仮想線３０で示される領域は、露光フィールドに対
応するマスク１３上の照明領域を模式的に示したもので
ある。

【００３２】各投影光学系ユニット２５では、照明光学
系１７（図２では図示せず、図１参照）からの露光光に
よってマスク１３上の所定形状（例えば、台形状）の照
明領域が図２における上方から照明されると、この台形
状の領域の像（光束）は、直角プリズム２６によって光
路が９０度偏光され、投影レンズ２７の上半部を介して
直角ダハ・ミラー２８に至り、この直角ダハ・ミラー２
８により投影レンズ２７へ向けて反射され、投影レンズ
２７の下半部を通って再び直角プリズム２６にて光路が
９０度偏光されプレート１４上にマスク１３上の所望の
パターンの像（等倍正立正像）を結像する。このよう
に、本実施例では、各投影光学系ユニット２５としてマ
スク１３上のパターンの正立正像をプレート１４上に形
成する光学系、例えばダブルダイソン光学系が使用され
ている。

【００３３】投影光学系ユニット２５₅〜２５₇は、投
影光学系ユニット２５₁〜２５₄と丁度走査方向を示す
太矢印と反対側に言わば背中合わせに配置されており、
かつ、それぞれの光軸は、投影光学系ユニット２５₅の
光軸が投影光学系ユニット２５₁と投影光学系ユニット
２５₂の間に、また、投影光学系ユニット２５₆の光軸
は、投影光学系ユニット２５₂と投影光学系ユニット２
５₃の間に、投影光学系ユニット２５₇の光軸は、投影
光学系ユニット２５₃と投影光学系ユニット２５₄の間
に、配置されてされている。そして、相隣合う投影光学
系ユニット（例えば、ユニット２５₁と２５₅、ユニッ
ト２５₂と２５₅等）の投影領域は走査方向に相互に一
部重なり合い、継ぎ露光が可能となっている。従って、
この露光装置１０においては、キャリッジ１５を駆動し
てマスク１３とプレート１４とを図１のＸ軸方向に走査
すれば、１回の走査でマスク１３上の全パターンをプレ
ート１４上に転写できる。

【００３４】図３には、投影光学系ユニット２５₁〜２
５₇を構成する各直角ダハ・ミラー２８のダハ面の頂角
を調整する角度調整手段の一構成例の平面図が示されて
いる。この図３に示される角度調整手段３１は、直角ダ
ハ・ミラーを構成する第１ミラー２８ａ，第２ミラー２
８ｂの基準点からの角度の変位量を検出する角度検知手
段が、透過光を利用するタイプのものである。

【００３５】この角度調整手段３１は、大きく分けて直
角ダハ・ミラー２８を構成する第１ミラー２８ａと第２
ミラー２８ｂのそれぞれの角度を変更する角度変更手段
としての一対の角度可変ユニット３２Ａ，３２Ｂと、Ｘ
軸駆動ユニット３３と、Ｙ軸駆動ユニット３４と、検出
系としての一対の角度検知手段３５ａ、３５ｂとから構
成されている。

【００３６】第１ミラー２８ａ用の角度可変ユニット３
２Ａは、Ｘ軸ステージ３６上に配置され，第１ミラー２
８ａを保持するミラーハウジング３７と、このミラーハ
ウジング３７をミラーハウジング・ピボット３８を支点
として回動させる駆動機構３９とから構成されている。

【００３７】駆動機構３９は、ミラーハウジング３７の
回動端に取り付けられた駆動用ローラ４０と、この駆動
用ローラ４０に結合用コイルばね４１の付勢力により常
時圧接されたガイド用テーパ部材４２と、このガイド用
テーパ部材４２を連結部材４３を介してその軸方向に駆
動する駆動スクリュ４４と、この駆動スクリュ４４を回
転駆動するモータ４５とを備えている。前記連結部材４
３には、常時加圧用のコイルバネ４６によって所定の加
圧力が加えられている。

【００３８】この角度可変ユニット３２Ａによれば、駆
動モータ４５により駆動スクリュ４４が回転されると、
この回転による推進力（雄ねじと雌ねじの螺合による）
によりガイド用テーパー部材４２が駆動スクリュ４４の
スラスト方向に駆動される。

【００３９】この時、コイルバネ４１により、ガイド用
テーパー部材４２の斜面上に押しつけられている駆動ロ
ーラ４０は、ガイド用テーパー部材４２のスラスト方向
と垂直な方向へ、駆動スクリュ４４のリードｌとガイド
用テーパー部材４２の斜面の勾配θにより一義的に定ま
る微少量変位させられ、ミラーハウジング３７は、ミラ
ーハウジング・ピボット３８を支点として微小量回転さ
せられ、このようにして第１ミラー２８ａの角度が変更
（可変）される。第２ミラー２８ｂ用の角度可変ユニッ
ト３２Ｂは、この角度可変ユニット３２Ａと同様にして
構成されている。但し、各構成要素の配置は角度可変ユ
ニット３２Ａとは左右対称となっている。

【００４０】例えば、テーパー部材４２の斜面の勾配を
θ、ミラーハウジング・ピボット３８の中心から駆動ロ
ーラ４０の中心までの距離をＬとすると、第１ミラー２
８ａ又は第２ミラー２８ｂの角度変位量φは、次式で表
わされる。

【００４１】

【数１】φ≒（ＬＳｉｎθ）／（ＬＣｏｓ２θ）

【００４２】前記Ｘ軸駆動ユニット３３は、ミラーハウ
ジング３７、ミラーハウジング・ピボット３８、及び駆
動機構３９等が搭載されたＸ軸ステージ３６をＸ軸ガイ
ド４７に沿って微小量駆動するためのものである。図３
からも明らかなように、Ｘ軸駆動ユニット３３の構成及
び駆動原理は、前述した駆動機構３９と同様なのでその
詳細な説明は省略する。

【００４３】また、Ｙ軸駆動ユニット３４は、Ｘ軸駆動
ユニット３３が搭載されたＹ軸ステージ４８をＹ軸ガイ
ド４９に沿って微小駆動するためのものである。Ｙ軸駆
動ユニット３４の構成及び駆動原理は、前述した駆動機
構３９と同様なのでその詳細な説明は省略する。

【００４４】Ｘ軸駆動ユニット３３とＹ軸駆動ユニット
３４は、角度可変ユニット３２Ａ，３２Ｂを用いて第１
ミラー２８ａ、第２ミラー２８ｂの角度を変更した際
に、これらのミラー２８ａ，２８ｂ対する、投影レンズ
２７からの入射光束、及び投影レンズ２７への反射光束
の光軸の位置がシフトするので、このシフト量を補正す
るために、設けられている。

【００４５】なお、角度可変ユニット３２Ａ，３２Ｂ、
Ｘ軸駆動ユニット３３、Ｙ軸駆動ユニット３４は、基本
的に同様の構造を持っているが、これらの各ユニットに
代えてピエゾ電気素子等の微少変位駆動装置を設け、こ
れによりミラーハウジング３７、Ｘ軸ステージ３６、Ｙ
軸ステージ４８を直接駆動することも可能である。

【００４６】次に、直角ダハ・ミラー２８を構成する第
１ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂの基準点からの角度
の変位量（又はこれらのミラーの角度を微少量可変する
駆動系の変位量）を検出する検出系としての角度検知手
段３５ａ，３５ｂについて説明する。

【００４７】一方の角度検知手段３５ａは、不図示の安
定した架台に固着された発光部５１と、この発光部直角
５１から射出したレーザ光を第１ミラー２８ａに向けて
偏向する折り曲げミラー５２と、この偏向後の光を第１
ミラー２８ａの背面側で受光する受光部５３とを備えて
いる。受光部５３には、ＣＣＤ又は４分割受光素子等の
位置検出センサが配置されている。

【００４８】すなわち、本実施例の角度検知手段３５ａ
では、発光部５１から射出したレーザ光が、微少角度変
位を受けた直角ダハ・ミラー２８ａを透過する際に受け
る変位量（ビームシフト量）を受光部５３内のＣＣＤ又
４分割受光素子等で検出し、不図示の制御系ではこの変
位量に応じて角度可変ユニット３２Ａの駆動量を決定す
る。ここで、本実施例では、折り曲げミラー５２は、投
影レンズ２７の光軸に直交して配置され、この折り曲げ
ミラー５２に対する発光部５１からのレーザ光の入射角
αが４５度に設定されている。また、受光部５３は、折
り曲げミラー５２の光軸上にＣＣＤ又４分割受光素子の
検出中心（基準点に対応する）が位置するように配置さ
れている。

【００４９】他方の角度検知手段３５ｂは、この角度検
知手段３５ａと同様に構成されているが、各構成要素が
左右対称に配置されている。このため、図３から明らか
なように、第１ミラー２８ａと第２ミラー２８ｂとが正
確に直交している場合には、それぞれの受光部５３のＣ
ＣＤ又４分割受光素子は透過光をその検出中心で受光す
るようになっている。従って、角度検知手段３５ａ、３
５ｂでは、それぞれの受光部５３で基準点からの第１ミ
ラー２８ａ、第２ミラー２８ｂの角度の変位量を検出
し、この変位量が零となるように角度可変ユニット３２
Ａ、３２Ｂを駆動することにより、直角ダハ・ミラー２
８の直角度が補正される。

【００５０】Ｘ軸駆動ユニット３３及び、Ｙ軸駆動ユニ
ット３４の変位量検出も、前記角度検知手段３５ａ，３
５ｂを用いて行なうことは可能であるが、本実施例で
は、Ｘ軸、Ｙ軸ともに、別個の不図示の直線変位検出装
置、例えばリニヤエンコーダ、差動トランス等の変位検
出センサが用いられている。

【００５１】上記のようにして構成された角度調整手段
３１によると、角度検知手段３５ａ、３５ｂにより直角
ダハ・ミラー２８の直交度のずれを検知できることか
ら、この検知結果に基づいて角度可変ユニット３２Ａ、
３２Ｂを駆動制御することにより、直角ダハ・ミラー２
８のダハ面頂角の直交度補正を容易に行なうことができ
る。従って、直角ダハ・ミラーを製造する場合において
必要とされる角度調整の困難さや、製造コストの上昇を
防止することができる。

【００５２】また、投影レンズ２７の光軸に対して、Ｘ
軸駆動ユニット３３、及びＹ軸ユニット３４により直角
ダハ・ミラー２８をＸ軸とＹ軸の両方向について微小駆
動が可能であるとともに、これらのＸ軸駆動ユニット３
３、及びＹ軸駆動ユニット３４による駆動量を検知する
手段を有していることから、直角ダハ・ミラー２８を構
成する第１ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂの角度を変
更しても何等の問題も生じない。従って、事前の精密な
直角度の調整が不要となる。

【００５３】ところで、前述した角度調整手段３５ａ、
３５ｂによる第１ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂの角
度調整方法は、受光部５３ａ、５３ｂ内のセンサである
ＣＣＤ又は４分割受光素子の精度、安定性、及び系全体
の長期安定性に依存している。従って、万一、前記安定
性が保証されない場合は、前記角度検知手段３５ａ、３
５ｂの精度を保つことが不可能となる。

【００５４】かかる場合を考慮して、本実施例では、直
角ダハ・ミラー２８のダハ面頂角の長期安定性を保証す
る自己補償手段が設けられている。

【００５５】図４には、この自己補償手段の主要部を構
成する直交度誤差検知手段６０の原理的な構成が示され
ている。この直交度誤差検知手段６０は、補正光学系照
明部６１、補正光学系投光レンズ６２、ハーフミラー６
３、補正用真直プリズム６４、補正用集光レンズ６５及
び検出器６６等を備えている。ここで、この直交度誤差
検知手段６０の上記構成各部の作用を説明する。補正光
学系照明部６１から射出した光束は、当該補正光学系照
明部６１とともに照明光学系を構成する補正光学系投光
レンズ６２を経て、ハーフミラー６３を透過した後補正
用真直プリズム６４に入射する。補正用真直プリズム６
４から出た光束は、直角ダハ・ミラー２８の第１ミラー
２８ａ（又は第２ミラー２８ｂ）により反射され、両者
間で多重干渉を受けながら、再度補正用真直プリズム６
４に入射する。入射した光束は、同様に第２ミラー２８
ｂ（又は第１ミラー２８ａ）へと導かれ、補正用真直プ
リズム６４と第２ミラー２８ｂ（又は第１ミラー２８
ａ）間で、多重干渉を受け、ハーフミラー６３により反
射され９０度偏向を受けて、補正光学系集光レンズ６５
により、受光手段としての検出器６６上に結像される。

【００５６】図７（ａ）〜（ｃ）には、図４の検出器６
６で光電変換された信号をＩＴＶモニタに表示した像の
一例がそれぞれ示されている。図４における第１ミラー
２８ａ，第２ミラー２８ｂと、補正用真直プリズム６４
との位置関係は、光軸に対して、中心振り分けの誤差と
なっているため、図７（ａ）のような像が得られる。

【００５７】しかしながら、図５に示されるように、第
１ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂと補正用真直プリズ
ム６４の相対関係が均等でない場合には、図７（ｂ）に
示されるような干渉縞の像がＩＴＶモニタの画面上に表
示される。

【００５８】また、図６に示されるように、第１ミラー
２８ａ，第２ミラー２８ｂのダハ面（反射面）上に微少
な塵埃等の異物６７が附着していた場合には、図７
（ｃ）に示されるような干渉縞の像がＩＴＶモニタの画
面上に表示される。

【００５９】本実施例では、このようなＩＴＶモニタの
画像情報を用いて、直角ダハ・ミラー２８のダハ面頂角
の直角度の自己補償を行なうものである。これについて
は後述する。

【００６０】ところで、上記直交度誤差検知手段６０を
構成する補正用真直プリズム６４は、本実施例では、１
つだけ設けられている。そして、図２中に点線矢印で示
されるように、この補正用真直プリズム６４を、第１〜
第７の投影光学系ユニット２５₁〜２５₇を構成する各
直角ダハ・ミラー２８の内部に順次挿入して（図５参
照）、全ての直角ダハ・ミラー２８の直角度の自己補償
を行なうようになっている。

【００６１】次に、直交度誤差検知手段６０の一部を構
成する補正用真直プリズム６４を搬送するプリズム搬送
手段について、図１及び図８に基づいて説明する。

【００６２】図８には、このプリズム搬送手段７０の構
成が概略的に示されている。この搬送手段７０は、図１
の補正光学系ブロック１９に固定されたＹガイド７１
と、このＹガイド７１の一端に取り付けられたモータ７
２により回転駆動されるプーリ７３と、このプーリ７３
とＹガイド７１の他端側に設けられた不図示のプーリと
に巻掛けられたベルト７４と、このベルト７４の図８に
おける上半部の一部に連結されると共にベルト７４の下
半部が摺動自在に挿通された移動ブロック７５と、この
移動ブロック７５に取り付けられたＸＺ駆動系７６と、
このＸＺ駆動系７６を介して移動ブロック７５に連結さ
れたプリズム保持部材７７とを備えている。

【００６３】前記補正用真直プリズム６４は、プリズム
保持部材７７の先端部（図８における下端部）に取り付
けられており、このプリズム保持部材７７は、ＸＺ駆動
系７６によってＺ軸方向に直線駆動されると共にＸ軸方
向に微小駆動されるようになっている。

【００６４】従って、モータ７２の回転により移動ブロ
ック７５、ＸＺ駆動系７６と共にプリズム保持部材７７
がＹガイド７１に沿って移動し、これにより補正用真直
プリズム６４が第１〜第４の投影光学系ユニット２５₁
〜２５₄、第５〜第７の投影光学系ユニット２５₅〜２
５₇に沿って搬送される。また、ＸＺ駆動系７６によっ
て、プリズム保持部材７７がＺ軸方向へ駆動されること
により補正用真直プリズムのダハ・ミラー２８への挿入
・離脱が行なわれ、ＸＺ駆動系７６によって、プリズム
保持部材７７がＸ軸方向へ微小駆動されることより補正
用真直プリズムのダハ・ミラー２８への接近・離間が行
なわれる。

【００６５】更に、第１〜第４の投影光学系ユニット２
５₁〜２５₄と第５〜第７の投影光学系ユニット２５₅
〜２５₇とでは、ダハ・ミラー２８の角度が逆転してい
る関係上、プリズム保持部材７７の補正用真直プリズム
６４が固定された下半部７７ａと、上半部７７ｂとの間
には、旋回部７８が設けられている。従って、旋回部７
８を介して下半部７７ａを上半部７７ｂに対して１８０
度旋回させることにより、補正用真直プリズム６４の向
きを反対にすることができ、これにより投影光学系ユニ
ット２５₁〜２５₄と投影光学係ユニット２５₅〜２５
₇のいずれのダハ・ミラー２８の補正にも対応できるよ
うになっている。

【００６６】また、投影光学系ユニット２５₁〜２５₄
と、投影光学系ユニット２５₅〜投影光学系ユニット２
５₇の測定の切替えは、図１に示されるように補正光学
系ブロック１９全体がエアガイド２０Ａと、図１の奥側
のマグネット・トラック２１ａに沿って移動することに
より、容易に行なうことができる。

【００６７】なお、ＸＺ駆動系７６のＸ駆動はピエゾ素
子によって行なわれるが、移動量が非常に少ないため、
ガイド等はなく不図示の板ばねで規制されている。

【００６８】上記搬送手段７０は、図１に示される補正
光学系ブロック１９内に収納されており、この補正光学
系ブロック１９は、補正用真直プリズム６４の非使用
時、例えば露光中は、ベース１１上の−Ｘ方向の端部
（後端）に退避しており、露光動作等を妨げることがな
いようになっている。

【００６９】一方、直角ダハ・ミラー２８の補正が補正
用真直プリズム６４により行なわれるときは、キャリッ
ジ１５はベース１１上の＋Ｘ方向の端部（前端部）に退
避し、補正光学系ブロック１９がガイド部材２０Ａ及び
マグネット・トラック２１ａに沿って投影光学系ブロッ
ク１８の位置まで移動し、搬送手段７０によって前記の
如く、補正用真直プリズム６４が投影光学系ユニット２
５₁〜２５₇を構成する各直角ダハ・ミラー２８の内部
に順次挿入される。

【００７０】なお、図１と図８との位置関係を考慮すれ
ば明らかなように、実際には、補正用真直プリズム６４
は、図２の下方から上方に向けて挿入される。また、図
５等から判断すると、補正用真直プリズム６４がダハ・
ミラー２８に挿入された状態では、プリズム保持部材７
７が測定の妨げになるように感じられるが、図５は、原
理図であって、実際には、プリズム保持部材７７は中空
とされ、その内部に光軸を折曲げるための折曲げミラー
７９が設けられている（図８参照）ので、測定上何等支
障はない。

【００７１】次に、本実施例の露光装置１０における直
角・ダハ・ミラー２８のダハ面頂角の直交度の自己補償
を中心とする処理の流れの一例について、不図示の主制
御装置内ＣＰＵの制御アルゴリズムを示す図９のフロー
チャートに沿って説明する。なお、この制御アルゴリズ
ムは、不図示のメインルーチン（露光処理ルーチン）に
おける割り込み処理により実行される。なお、以下の説
明では、説明の便宜上、単一の直角ダハ・ミラー２８の
ダハ面頂角の直交度の自己補償を行なう場合について説
明するが、実際には、前述したように、全ての直角ダハ
・ミラー２８について自己補償が行なわれる。

【００７２】この割り込みルーチンは、予め設定された
時間又は露光回数による測定インターバルが来たときに
開始される。測定インターバルの設定としては、例え
ば、１０００時間毎、１０００ショット（又はスキャ
ン）毎等である。なお、この測定インターバルは、前記
両方の条件で設定することも可能である。

【００７３】まず、ステップ１０１で、通常退避してい
た補正光学系ブロック１９を投影光学系ブロック１８の
位置まで移動させ、搬送手段７０により補正用真直プリ
ズム６４を直角ダハ・ミラー２８の第１ミラー２８ａ，
第２ミラー２８ｂ間に挿入する。

【００７４】次のステップ１０２において、直交度誤差
検知手段６０（ＩＴＶモニタを含む）用いて前述した干
渉縞による角度の測定（及びダハ面の汚染の有無の確
認）を行なう。

【００７５】この測定終了後、ステップ１０３に進ん
で、前記測定結果に基づいて第１ミラー２８ａ，第２ミ
ラー２８ｂ間の直角度が適正か、否か、及び第１ミラー
２８ａ，第２ミラー２８ｂの反斜面が塵埃等の異物によ
り汚染されていないか、否かを判断する。そして、この
ステップ１０３において、第１ミラー２８ａ、第２ミラ
ー２８ｂの角度が適正で、かつ、反射面の汚染がない場
合は、本割り込みルーチンの処理を終了してメインルー
チンにリターンする。これにより、露光処理が継続され
る。

【００７６】一方、ステップ１０３において第１ミラー
２８ａ，第２ミラー２８ｂ間の角度が適正でないか、又
は、反斜面が塵埃等により汚染されている場合は、ステ
ップ１０４に進み、予め自己補償モードが設定されてい
るか否かを判断する。この判断は、不図示の自己補償モ
ードの設定フラグの状態を見て行なう。この設定フラグ
は、予めオペレータのキーボード入力により「１」に設
定される。なお、この自己補償モードが本当に必要なの
は、角度調整手段の信頼性が低下した段階であるから、
この角度調整手段の信頼性が低下したとＣＰＵが判断し
た段階で自動設定することも可能である。

【００７７】そして、ステップ１０４において、予め自
己補償モードが設定されていない場合（すなわち、フラ
グが「０」の場合）は、ステップ１０６に移行し、不図
示の表示装置の画面上に警告表示を行なうと共に、オン
ラインでホストコンピュータに前記情報を即座に与えた
後、ステップ１０７に進む。このステップ１０７では、
オペレータ・コールを行った後、本割り込み処理ルーチ
ンの一連の処理を強制終了（中止）し、オペレータの指
示があるまで動作を行わない。

【００７８】この一方、ステップ１０４において予め自
己補償モードが設定されている場合（すなわち、フラグ
が「１」の場合）は、ステップ１０５に進み、直角ダハ
・ミラー２８を構成する第１ミラー２８ａ、第２ミラー
２８ｂの反射面に塵埃等の異物が附着して汚染いないか
否かを判断する（図７（ｃ）参照））。そして、万一、
第１ミラー２８ａ又は第２ミラー２８ｂの反射面が汚染
されている場合は、ステップ１０６に移行し、以後前述
と同様の処理を行なった後、本割り込み処理ルーチンの
一連の処理を強制終了（中止）する。

【００７９】一方、上記ステップ１０５において、第１
ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂの反射面がともに汚染
されていない場合は、ステップ１０８に移行し、補正用
真直プリズム６４を基準原器として、角度調整手段３１
の構成各部を用いて第１ミラー２８ａ，第２ミラー２８
ｂの角度微少調整、及びＸ、Ｙ方向の微少な調整を行
う。

【００８０】ステップ１０８で前記調整を行った後、ス
テップ１０９に進み、直角ダハ・ミラー２８の直角度、
位置等が精密に調整されたかどうかを確認する。この確
認は、補正用真直プリズム６４を基準原器とする直交度
誤差検知手段６０の干渉縞の画像データに基づいて、Ｉ
ＴＶモニタ上の画面上に上下対称の干渉縞が表われ、か
つそれぞれの干渉縞の数が直角度誤差の許容範囲、例え
ば０．１秒以内（従って、第１ミラー、第２ミラーのそ
れぞれについては、基準点からの角度誤差が０．０５秒
以内）になるように予め定めた本数（例えば２本以内）
となっているかどうかを確認することにより行なわれ
る。

【００８１】そして、万一、直角ダハ・ミラー２８の直
角度、位置等が精密に調整できなかった場合には、ステ
ップ１１０に移行し、予め設定された微少調整回数を越
えたか否かを判断する。ここで、設定された微少調整回
数を越えた場合は、ステップ１０６へ移行し、以後前述
と同様の処理を行なった後、本割り込み処理ルーチンの
一連の処理を強制終了（中止）する。一方、設定された
微少調整回数以内の場合は、ステップ１０８へ戻り、再
度調整を行う。

【００８２】この一方、ステップ１０９で測定結果が良
好な場合（直角度誤差が許容範囲にある場合）には、ス
テップ１１１に移行し、測定、及び自己補償に使用され
た補正用真直プリズム６４を退避位置まで後退させた
後、本割り込み処理ルーチンの一連の動作を終了し、メ
インルーチンに復帰する。

【００８３】以上の割り込み処理ルーチンの処理によ
り、万一、図３に示される角度検知手段３５ａ，３５ｂ
が、長期的に不安定な要因を持っている場合でも、主制
御装置が随時、補正用真直プリズム６４を基準原器とし
て角度検知手段３５ａ，３５ｂのキャリブレーションを
行うことから安定した光学性能を得ることができる。

【００８４】また、万一、直角ダハ・ミラー２８を構成
する第１ミラー２８ａ、第２ミラー２８ｂの反射面が、
微少な塵埃などに汚染されている場合においても補正用
真直プリズム６４を基準原器とした自己補償動作の際
に、この汚染を即座に検知して、オペレータをコールす
る。このため、直角ダハ・ミラー２８の清掃をオペレー
タが行うことにより、微少な塵埃によるパターン欠陥を
未然に防止することが可能である。この場合において、
清掃終了後に、前記補正用真直プリズム６４による自己
補償を行うようにしても良い。これまでの説明から明ら
かなように、本実施例では、直交度誤差検知手段６０、
プリズム搬送手段７０及び不図示の主制御装置の機能に
よって自己補償手段が実現されている。

【００８５】以上説明したように、本実施例によると、
角度調整手段３１を備え、この角度調整手段３１が、直
角ダハ・ミラー２８を構成する第１ミラー２８ａ，第２
ミラー２８ｂの角度を可変にする角度可変ユニット３２
Ａ，３２Ｂ、直角ダハ・ミラー２８を投影光学系２７の
光軸に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向にそれぞれ微小駆動す
るＸ軸駆動ユニット３３、及びＹ軸駆動ユニット３４、
及び角度検知手段３５ａ，３５ｂによって構成されてい
ることから、角度検知手段３５ａ，３５ｂによって第１
ミラー２８ａ，第２ミラー２８ｂの基準点からの角度の
変位量を検出し、この変位量が零となるように角度可変
ユニット３２Ａ，３２Ｂで第１ミラー２８ａ，第２ミラ
ー２８ｂの角度を変更することにより、直角ダハ・ミラ
ー２８の直角度を容易に調整することができ、これによ
り直角ダハ・プリズムを製造する場合において必要とさ
れる角度誤差による製造の困難さや、製造コストの上昇
を防止することができる。また、３種類の駆動系、角度
可変ユニット３２Ａ，３２Ｂ、Ｘ軸駆動ユニット３３、
及びＹ軸駆動ユニット３４による駆動量は、角度検知手
段３５ａ、３５ｂ及び不図示のリニアエンコーダ等によ
り検出することができるので、適正量の微小調整が可能
となり、直角ダハ・ミラー２８の直角度を精密に前もっ
て調整する必要が無くなった。

【００８６】また、長期安定性、温度安定性に関して補
償するために、自己補償手段をも包含することにより、
直角ダハ・ミラー２８のダハ面頂角の直角度に関する高
信頼性を有しているため、直角プリズム使用時と同等の
各種安定性を、製造の困難さに縛られる事無く得ること
ができる。また、自己補償手段では、単一の補正用真直
プリズム６４のみを用いて全ての直角ダハ・ミラー２８
の頂角の直角度の自己補償を実現するので、コストの上
昇を招くこともない。

【００８７】さらに、上記のように高精度に頂角の直角
度が調整された直角ダハ・ミラー２８をそれぞれ含む投
影光学系ユニット２５₁〜２５₇に対し、キャリッジ１
５を駆動してマスク１３とプレート１４とを走査方向に
同期走査すれば、投影光学系ユニット２５₁〜２５₇投
影光学系２７を介してマスク１４のパターンがプレート
１４上に、高スループット且つ高解像力で逐次投影され
る。

【００８８】また、付随的効果として、前記ダハ面の角
度の自己補償手段６０を用いることにより、ダハ面に付
着した塵埃等のゴミを検出できるので、この塵埃等が光
学系へ与える悪影響を事前に取り除く事が可能となっ
た。

【００８９】《変形例》なお、上記実施例では、角度調
整手段３１を構成する角度検知手段として、透過光を利
用する場合について例示したが、本発明がこれに限定さ
れることはなく、例えば、図１０に示されるような角度
検知手段を用いても良い。

【００９０】この図１０に示される角度検知手段は、反
射光を利用した反射型検出系であり、発光部８１を射出
したレーザ光は、送光光学系８２を経て直角ダハ・ミラ
ー２８を構成する第１ミラー２８ａで反射され、第１ミ
ラー２８ａの微少角度変化量Δψの２倍の２Δψの偏向
を受けて受光光学系８３を介して受光部８４内のＣＣＤ
又は４分割受光素子（ＱＤ）上に結像する。従って、第
１ミラー２８ａの角度の変位量は、受光部８４内のセン
サ（ＣＣＤ，ＱＤ等）での反射光の結像位置に基づいて
検出することができる。ここで、実際には、同様の構成
の第２ミラー２８ｂ用の角度検知手段も設けられている
ので、これら両角度検知手段の検出結果に基づいて角度
可変ユニット３２Ａ，３２Ｂを制御することにより、直
角ダハ・ミラー２８の頂角の直角度を調整できる。

【００９１】また、上記実施例では補正用真直プリズム
６４の搬送手段７０に旋回部７８を設け、直角ダハ・ミ
ラー２８の向きの違いに対応する場合を例示したが、本
発明がこれに限定されることはなく、移動ブロック７
５、ＸＺ駆動系７６、プリズム保持部材７７及び補正用
真直プリズム６４を各２つ設け、一方の補正用真直プリ
ズム６４は、図８の向きに取り付け、他方の補正用真直
プリズム６４は図８と逆向きに取り付けて、それぞれを
投影光学系ユニット２５₁〜２５₄、投影光学系ユニッ
ト２５₅〜２５₇の専用としても良い。あるいは、補正
用真直プリズム６４のみを２つ設け、これらを逆向きに
配置してプリズム保持部材７７の先端に取り付け、途中
にミラーを設けて光路を同一にするようにしても良い。

【００９２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高スループットを維持したまま、マスク上の大面積の回
路パターンを基板上に高い解像力で転写することがで
き、しかもコストの低減をも図ることができるという従
来にない優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例に係る露光装置の全体構成を概略的に
示す斜視図である。

【図２】図１の投影光学系ブロックの内部構成を一部を
示す斜視図である。

【図３】投影光学系ユニットを構成する各直角ダハ・ミ
ラーのダハ面の頂角を調整する角度調整手段の一構成例
を示す平面図である。

【図４】直交度誤差検知手段の原理的構成を示す図であ
って、第１ミラーと第２ミラーの角度誤差が光軸に対し
て、中心振り分けの誤差となる状態を示す図である。

【図５】図４の直交度誤差検知手段を示す図であって、
第１ミラー，第２ミラーと補正用真直プリズムの相対関
係が均等でない（中心振り分けでない）状態を示す図で
ある。

【図６】図４の直交度誤差検知手段を示す図であって、
第１ミラー２８の反射面上に異物が存在する状態を示す
図である。

【図７】上記直交度誤差検知手段を構成する検出器で光
電変換された信号をＩＴＶモニタに表示した像の一例を
示す図であって、（ａ）は図４に対応する干渉縞の像を
示す図、（ｂ）は図４に対応する干渉縞の像を示す図、
（ｃ）は図６に対応する干渉縞の像を示す図である。

【図８】プリズム搬送手段の一構成例を示す概略斜視図
である。

【図９】直角・ダハ・ミラーのダハ面頂角の直交度の自
己補償を中心とする処理の流れを説明するための図であ
って、主制御装置内ＣＰＵの制御アルゴリズムを示すフ
ローチャートである。

【図１０】変形例を示す説明図である。

【図１１】従来例を示す説明図である。

【符号の説明】

１３マスク１４プレート（感光基板）２５₁〜２５₇ 投影光学系ユニット（投影光学系）２８ａ第１ミラー２８ｂ第２ミラー２８直角ダハ・ミラー３１角度調整手段３２Ａ，３２Ｂ角度可変ユニット（角度変更手段）３５ａ，３５ｂ角度検知手段（検出系）６０直交度誤差検知手段の一部（自己補償手段の一
部）６１補正光学系照明部（照射光学系の一部）６２補正光学系投光レンズ（照射光学系の一部）６４補正用真直プリズム６６検出器（受光手段）７０プリズム搬送手段（自己補償手段の一部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マスクと感光基板とを所定の走査方向に
同期して移動させつつ、複数の投影光学系を介して前記
マスクのパターンを前記感光基板上に逐次転写する露光
装置において、前記各投影光学系が、少なくとも一つのダハ面を有する
第１ミラーと第２ミラーとから成る直角ダハ・ミラーを
有し、前記マスクのパターンの正立像を前記感光基板上
に形成する光学系であり、前記各直角ダハ・ミラーを構成する第１ミラーと第２ミ
ラーとが成す角度を可変調整する角度調整手段が設けら
れていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】前記角度調整手段は、前記第１ミラーと
第２ミラーの基準点からの角度の変位量を検出する検出
系と、この検出された変位量に応じて前記第１ミラー及
び第２ミラーの少なくとも一方を駆動して当該両者の成
す角を変更する角度変更手段とを有することを特徴とす
る請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】前記角度調整手段による角度の可変調整
の後に、前記第１ミラーと第２ミラーとの直交度誤差を
検知し、検知された直交度誤差が許容範囲内に収まるま
で前記直角度調整を行なって前記角度調整手段を較正す
る自己補償手段を更に有する請求項１又は２に記載の露
光装置。
【請求項４】前記自己補償手段は、真に直角なダハ面
を有する補正用真直プリズムを基準原器として多重干渉
の原理により前記第１ミラーと第２ミラーとの直交度誤
差を検知することを特徴とする請求項３に記載の露光装
置。
【請求項５】前記自己補償手段は、前記補正用真直プ
リズムを前記複数の投影光学系を構成する各直角ダハ・
ミラーの内部の挿入位置と退避位置との間で搬送するプ
リズム搬送手段と、前記各直角ダハ・ミラーの内部に挿
入された前記補正用真直プリズムに対し平行光束をそれ
ぞれ照射する複数の照射光学系と、前記各直角ダハ・ミ
ラーのダハ面からの反射光を前記補正用真直プリズムを
介してそれぞれ受光する複数の受光手段とを有すること
を特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】前記自己補償手段は、前記干渉縞の画像
データに基づいて前記直角ダハ・ミラーのダハ面の汚れ
を検出することを特徴とする請求項５に記載の露光装
置。
【請求項７】前記各投影光学系はダイソン型光学系で
あることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項
に記載の露光装置。