JPH09287566A

JPH09287566A - クライオポンプ装置

Info

Publication number: JPH09287566A
Application number: JP9700296A
Authority: JP
Inventors: Tokuji Nishijo; 徳二西場
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1996-04-18
Filing date: 1996-04-18
Publication date: 1997-11-04

Abstract

(57)【要約】【課題】漏れた液化凝着物により気密シール部分が劣
化して極低温冷却機能を阻害することのないクライオポ
ンプ装置を提供する。【解決手段】冷却部分１２０・１１９に凝着した凝着
物Ｐ１・Ｐ２が、再生動作時に、液化凝着物Ｐ３にな
り、受け溝部分２００Ａに溜まった後に、排出路１２５
から排出される。受け溝部分２００Ａが第１シリンダ１
０５の頂部１１５よりも下方に下がった位置になってい
るので、内側遮蔽覆１１６の底部１１６Ｄと第１シリン
ダ１０５の頂部１１５との組み付け部分から液化凝着物
Ｐ３が下側に漏れ出すことがない。このため、非常に低
温の液化凝着物Ｐ３が漏れて外側遮蔽覆１１６の底部と
第１シリンダ１０５の基部との間と、駆動部分１０の上
端側と第１シリンダ１０５の下端側との間とにあるＯリ
ングＳが劣化し、外気が真空室１１４に入ったり、加圧
冷媒１０１が外気側に漏れたりすることがなくなる。受
け溝部分２００Ａを外側遮蔽覆１１６の中間部分に設け
ても同様にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ギホード・マク
マホンサイクルあるいはスターリングサイクルによる極
低温用冷凍装置などに用いるクライオポンプ装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のクライオポンプ装置として、図
６のような構成（以下、第１従来技術という）が本件特
許出願人の出願による特願平６−２４８０７９号などに
よって提案されている。

【０００３】図６において、クライオポンプ装置５００
は、駆動部分１０によって駆動される冷却部分２０と、
冷却部分２０の極低温側の外側を囲む内側容器部分３０
と、冷却部分２０の低温側の外側と内側容器部分３０の
外側とを囲む外側容器部分４０とを主体にして構成して
ある。

【０００４】駆動部分１０において、電動機１０２はク
ランク機構１０３を駆動し、クランク機構１０３は給気
弁１０４・排気弁１１１の開閉動作と往復竿１０９の往
復動作を所要の行程位相差をもって往復駆動する。

【０００５】冷却部分２０において、低温側の第１ディ
スプレーサ１０６と極低温側の第２ディスプレーサ１０
８とが駆動部分１０の往復竿１０９に連結してあり、第
１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１０８と
は、それぞれ、低温側の第１シリンダ１０５内と極低温
側の第２シリンダ１０７内を同一の行程位相をもって往
復移動する。

【０００６】第１ディスプレーサ１０５・第２ディスプ
レーサ１０８は、図の下方側に移動する行程の終点近く
から膨張冷却行程を行い、図の上方側に移動する行程に
おいて排気行程を行い、その終点近くから吸気圧縮行程
を行う。

【０００７】吸気圧縮行程では、冷媒圧縮部（図示せ
ず）で圧縮したヘリウムなどの加圧冷媒１０１が、吸気
弁１０４を介して、第１シリンダ１０５内に入り、第１
ディスプレーサ１０６の通気穴２０１から蓄冷材２０２
を通って通気穴２０３を通り、第１膨張室２０５側に入
る。

【０００８】第１膨張室２０５の加圧冷媒は、膨張冷却
行程において、上記の吸気圧縮行程の冷媒の流れと逆に
流れ、排気弁１１１を通って排出されると同時に膨張
し、蓄冷材２０２に冷却熱容量を蓄積する。

【０００９】この第１膨張冷却の行程と同行程中に、第
１膨張室２０５の冷媒は、第２ディスプレーサ１０８の
通気穴２０６から蓄冷材２０７を通り、通気穴２０８か
ら第２膨張室２０９に入り、その後、逆に流れて排気弁
１１１より排出されると同時に膨張して、第２膨張冷却
を行い、蓄冷材２０７に冷却熱容量を蓄積する。

【００１０】排気行程では、第２膨張室２０９内と第１
膨張室２０５内の膨張冷却を終えて降圧した冷媒は、上
記の膨張冷却動作時とは逆の経路を経て第２ディスプレ
ーサ１０８内と第１ディスプレーサ１０６内とを通り、
排気弁１１１を介して、クランク機構１０３の室内を通
り、降圧冷媒１１２として排出され、冷媒圧縮部（図示
せず）に戻り、再び圧縮して加圧冷媒１０１にするとい
う循環を繰り返すように動作する。

【００１１】内側容器部分３０において、内側遮蔽覆１
１６は、内側容器部分３０の外壁を形成するとともに、
第１シリンダ１０５の上端側に設けた第１ステージ１１
５の部分から第２シリンダ１０７全体に至る間を覆って
冷却室１１７、つまり、極低温側の極低温室部分を形成
し、この冷却室１１７の開口端側から、冷却負荷４００
となる装置からの冷却対象流体３００、例えば、半導体
基板製造用チャンバからの循環流体を導入する。なお、
この内側遮蔽覆１１６は、極低温側から外側への熱放射
を遮蔽する遮蔽覆になっているので、ラジエーションシ
ールドとも呼ばれている。

【００１２】冷却室１１７の開口端側には、平面鎧戸状
の通気路をもつ低温側の吸熱フィン、つまり、バッフル
１２０を配置し、第２シリンダ１０７の上端側の第２ス
テージ１１８の部分にも筒形鎧戸状の通気路をもつ極低
温側の吸熱フィン、つまり、コールドパネル１１９を配
置してあり、低温側の第１ステージ１１５で生ずる冷却
熱容量、例えば、１２０Ｋ〜６０Ｋ程度の温度の冷却熱
容量をバッフル１２０の各表面などを介して冷却対象流
体３００に与えるとともに、極低温側の第２ステージ１
１８で生ずる冷却熱容量、例えば、２０Ｋ〜１０Ｋ程度
の温度の冷却熱容量をコールドパネル１１９の各表面な
どを介して冷却対象流体３００に与えることにより所要
の冷却を行っている。なお、コールドパネル１１９は、
極低温側の冷却用パネルを形成しているため、クライオ
パネルとも呼ばれている。

【００１３】外側容器部分４０において、外側遮蔽覆１
１３は、外側容器部分４０の外壁を形成するとともに、
第１シリンダ１０５の下端側から極低温側の冷却室１１
７の開口端側までの外側を覆って真空室１１４、つま
り、低温側の低温室部分を形成し、この真空室１１４に
より、第１シリンダ１０５の外面と冷却室１１７の外面
とを外部環境から遮断して、極低温側の冷却熱容量の放
熱損失を防いでいる。

【００１４】また、各構成部材としては、蓄冷材２０２
・２０７の部分には、例えば、粒状鉛・銅製網、また
は、通気性焼結金属材を用い、コールドパネル１１９・
バッフル１２０の部分には薄い銅板を用い、その他の部
分にはステンレス鋼、つまり、ＳＵＳ材および銅材によ
る金属材を主体にして、各個別の部分を銀ろー付けまた
は溶接して形成してあり、また、分解を必要とする箇所
の各部材の組立は、各止ネジＫによって固定するととも
に、気密を要する部分には、ＯリングによるパッキンＳ
を設けてシールしている。

【００１５】そして、冷却対象流体３００に含まれた水
蒸気などの普通の低温で凝固する気体成分は低温側のバ
ッフル１２０の表面に凝着させ、アルゴンや水素のよう
な極低温で凝固または吸着する気体成分は極低温側のコ
ールドパネル１１９の表面に凝着または吸着させること
により、冷却対象流体３００から不純物を除去する浄化
を行って真空度を高めるなどの作用を行わせている。な
お、コールドパネル１１９は、極低温の冷却を行うパネ
ルを形成しているため、クライオパネルとも呼ばれてい
る。また、この発明において、上記の凝着と吸着とによ
ってコールドパネル１１９とバッフル１２０とに付着し
た付着物の総称を凝着物という。

【００１６】上記の凝着物、つまり、主としてコールド
パネル１１９の表面での凝着物Ｐ１の凝着と、バッフル
１２０の表面での凝着物Ｐ２の凝着とは、比較的短時間
で飽和状態に達して冷却動作を低下させるため、冷却対
象流体３００の流入口に設けた閉塞用シャッター４０１
を閉じて、コールドパネル１１９の表面を再生する再生
動作を行うようにしている。

【００１７】この再生動作は、クライオポンプ装置５０
０の冷却運転を一時的に停止し、つまり、電動機１０２
による第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ
１０８との行程動作を一時的に停止して、冷却対象流体
３００の流路を遮断した状態で、内部に設けた電熱体
（図示せず）と外部に設けた電熱体３０１とにより加熱
して、上記の凝着物を蒸発させるとともに、加熱吸気口
３０２から加熱排気口３０３に向けて冷却室１１７内部
と真空室１１４内部との気体を循環させるさせるように
している。

【００１８】また、上記の再生動作の過程において、凝
着物Ｐ１・Ｐ２は上記の加熱により、一旦、液化し、液
化した液化凝着物Ｐ３が冷却室１１７の底部、つまり、
内側遮蔽覆１１６の底部に貯留された後に、蒸発すると
いう過程を経るため、完全に蒸発するまでの時間は比較
的長い時間になり、クライオポンプ装置５００の運転効
率を低下させている。

【００１９】このため、図７のように、冷却室１１７の
底部に貯留された液化凝着物Ｐ３が真空室１１４側に漏
れないように構成するとともに、冷却室１１７の平らな
底部、つまり、内側遮蔽覆１１６の平らな底部に加熱排
気口３０３に代えて、内側遮蔽覆の底部に排出路１２５
を設け、この排出路１２５から液化凝着物Ｐ３と、液化
凝着物Ｐ２から蒸発物や、凝着物Ｐ１・Ｐ２からの蒸発
物とを外部に排出することにより、運転効率を向上さ
せ、また、真空室１１４の外径を小さくして、冷却効率
を向上し、さらに、加熱給気口３０２に代えて、加熱給
気を冷却室１１７の上方に近い箇所に直接的に与えるた
めの加熱給気口１２６を設けて、液化凝着物Ｐ３が加熱
給気口３０２に入り込まないようにした構成（以下、第
２従来技術という）が特開平６−１５４５０５によって
開示されている。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】上記の第２従来技術で
は、内側遮蔽覆１１６の平らな底部に液化凝着物Ｐ３を
貯留しているため、内側遮蔽覆１１６の底部分と第１ス
テージ１１５との間から液化凝着物Ｐ３が漏れないよう
に構成しなければならないので、この部分をシールする
ためにＯリングによるパッキンを用いた場合には、第１
ステージ１１５の部分が、例えば、１２０〜６０Ｋ程度
の温度領域で冷却・加温を繰り返すため、Ｏリングが短
期間で劣化してしまい、液化凝着物Ｐ３が漏れ出して、
外側遮蔽覆１１３の底部に、液化凝着物Ｐ４として、溜
まるようになるが、この液化凝着物Ｐ４も温度が非常に
低いので、外側遮蔽覆１１３の底部が、例えば、１２０
Ｋ〜常温程度の温度領域で冷却・加温を繰り返すため、
外側遮蔽覆１１３の底部と第１シリンダ１０５の基部と
の間をシールしているＯリングが短期間で劣化してしま
い、この部分から外気が侵入して、冷却対象流体３００
に外気を混入させてしまうという不都合が生ずる。

【００２１】さらに、駆動部分１０の上端側と、冷却部
分２０の下端側、つまり、第１シリンダ１０５の下端側
との間をシールしているＯリングが劣化してしまい、こ
の部分から加圧冷媒１０１、例えば、加圧したヘリウム
が外気側に放出されて、冷却機能が阻害されるという不
都合が生ずる。

【００２２】また、この不都合を避けるために、内側遮
蔽覆１１６の底部分と第１ステージ１１５との間を銀ろ
ー付けまたは溶接によってシールした場合には、銀ろー
付または溶接の際の高温の加熱によって第１シリンダ１
０５の上方部分と第２シリンダ１０７の下方部分とに熱
変形が生ずるため、銀ろー付けまたは溶接を行った後
に、第１シリンダ１０５と第２シリンダ１０７との内部
を再加工して正常の精度に仕上げなければならないなど
の不都合が生ずる。

【００２３】このため、こうした不都合のないクライオ
ポンプ装置の提供が望まれているという課題がある。

【００２４】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な極低温を得るためのコールドパネルと第２シリンダと
の外側を内側遮蔽覆によって囲んだ極低温室部分と、低
温を得るための第１シリンダと上記の内側遮蔽覆との外
側を外側遮蔽覆によって囲んだ低温室部分とを設けると
ともに、再生動作の際に生ずる液化凝着物を貯留するた
めの貯留部分と、この液化凝着物を排出するための排出
路とを設けたクライオポンプ装置において、

【００２５】上記の貯留部分として、上記の内側遮蔽覆
の底部側に上記の第１シリンダの頂部よりも下方に下が
った環状の受け溝部分を配置する貯留溝手段を設ける第
１の構成と、

【００２６】この第１の構成に加えて、上記の受け溝部
分の底部に上記の排出路を配置する排出路手段を設ける
第２の構成と、

【００２７】上記の第１の構成と同様のクライオポンプ
装置において、上記の貯留部分として、上記の外側遮蔽
覆の中間部分に上記の第１シリンダの頂部よりも下方に
下がった環状の受け溝部分を配置する貯留溝手段を設け
る第３の構成と、

【００２８】この第３の構成に加えて、上記の受け溝部
分の底部に上記の排出路を配置する排出路手段を設ける
第４の構成とにより上記の課題を解決したものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態として、上
記の図６の構成によるクライオポンプ装置に、この発明
を適用した実施例を説明する。

【００３０】

【実施例】以下、図１〜図５により実施例を説明する。
図１〜図５において、図６・図７の各符号と同一符号で
示す部分は、図６・図７により説明した同一符号の部分
と同一の機能をもつ部分である。また、図１〜図５にお
いて、同一符号で示す部分は、図１〜図５のいずれかに
おいて説明する同一符号の部分と同一の機能をもつ部分
である。

【００３１】〔第１実施例〕図１・図４により第１実施
例を説明する。図１の構成が図６の構成と異なる箇所
は、内側遮蔽覆１１６の底部側１１６Ａに、第１ステー
ジ１１５、つまり、第１シリンダ１０５の頂部よりも下
方に下がった環状の受け溝部分２００Ａを設けて液化凝
着物Ｐ３を貯留するようにした箇所と、加熱排気口３０
３に代えて、受け溝部分２００Ａの底部１１６Ｅに、液
化凝着物Ｐ３と、この液化凝着物Ｐ３からの蒸発物や、
凝着物Ｐ１・Ｐ２からの蒸発物などを排出するための排
出路１２５を設けた箇所と、加熱給気口３０２に代え
て、加熱給気を冷却室１１７の上方に近い箇所に直接的
に与えるための加熱給気口１２６を設けることにより、
液化凝着物Ｐ３が加熱給気口３０２に入り込まないよう
にした箇所である。

【００３２】そして、具体的には、内側遮蔽覆１１６の
下方を延長した延長部分１１６Ｂと、内側遮蔽覆１１６
を第１ステージ１１５に取り付けるための内側遮蔽覆１
１６の底部１１６Ｄから第１ステージ１１５の外側で下
方に下がって延長した延長部分１１６Ｃとに底部１１６
Ｅを設けて、受け溝部分２００Ａを形成するようにした
ものであり、Ａ−Ａ箇所の断面でみると、図４のよう
に、環状の受け溝部分２００Ａを形成していることにな
るものである。

【００３３】なお、受け溝部分２００Ａを構成する部分
は、所要の部材を銀ろー付けまたは溶接して形成する
か、または、プレス加工またはへら絞り加工によって形
成することができることは言うまでもない。

【００３４】〔第２実施例〕図２・図５により第２実施
例を説明する。図２の構成が図６の構成と異なる箇所
は、内側遮蔽覆１１６の底部１１６Ｄに液化凝着物Ｐ３
を下方の受け溝部分２００Ｂに流し入れるための小さい
貫通穴１１６Ｆを設けた箇所と、外側遮蔽覆１１３の中
間部分１１３Ａに、第１ステージ１１５、つまり、第１
シリンダ１０５の頂部よりも下方に下がった環状の受け
溝部分２００Ｂを設けて液化凝着物Ｐ３を貯留するよう
にした箇所と、加熱排気口３０３に代えて、受け溝部分
２００Ｂの底部１１３Ｅに、液化凝着物Ｐ３と、この液
化凝着物Ｐ３からの蒸発物や、凝着物Ｐ１・Ｐ２からの
蒸発物などを排出するための排出路１２５を設けた箇所
と、加熱給気口３０２に代えて、加熱給気を冷却室１１
７の上方に近い箇所に直接的に与えるための加熱給気口
１２６を設けることにより、液化凝着物Ｐ３が加熱給気
口３０２に入り込まないようにした箇所である。

【００３５】そして、具体的には、外側遮蔽覆１１３の
中間部分１１３Ａから内側に向けて張り出した張出部分
を受け溝部分２００Ｂの底部１１３Ｅとし、こり底部１
１３Ｅの内側端から第１シリンダ１０５の外側で上向き
に立ち上がる立上部分１１３Ｂとを設けて、受け溝部分
２００Ｂを形成するようにしたものであり、Ｂ−Ｂ箇所
の断面でみると、図５のように、環状の受け溝部分２０
０Ｂを形成していることになるものである。

【００３６】また、立上部分１１３Ｂの外径と第１ステ
ージ１１５の外径との寸法関係を、第１ステージ１１５
の外径の方が大きくなるようにして、内側遮蔽覆１１６
の底部１１６Ｄと第１ステージ１１５と上端との組み付
け部分の僅かな隙間を伝わって流れ落ちる液化凝着物Ｐ
３を受け溝部分２００Ｂ内に落下させるしてある。

【００３７】さらに、上記の中間部分１１３Ａは、受け
溝部分２００Ｂを設けることができる箇所であれば、第
１ステージ１１５よりも下方であって、外側遮蔽覆１１
３の底部１１３Ｆよりも上方あれば差し支えないが、受
け溝部分２００Ｂに貯留される液化凝着物Ｐ３の温度が
非常に低いので、できる限り上方の内側遮蔽覆１１６に
近付けて配置することが好ましい。

【００３８】なお、受け溝部分２００Ｂを構成する部分
は、所要の部材を銀ろー付けまたは溶接して形成する
か、または、プレス加工またはへら絞り加工によって形
成することができることは言うまでもない。そして、プ
レス加工またはへら絞り加工によって形成する場合に
は、受け溝部分２００Ｂから下方の外側遮蔽覆１１３を
構成する部分の部材を、受け溝部分２００Ｂの外側の下
方隅部に、銀ろー付けまたは溶接して形成することがで
きる。

【００３９】〔第３実施例〕図３・図５により第３実施
例を説明する。図３の構成が図２の第２実施例の構成と
異なる箇所は、外側遮蔽覆１１３の受け溝部分２００Ｂ
から下方の下方部分１１３Ｇの外径を、外気温度に対す
る第１シリンダ１０５の熱遮断に支障が生じない程度に
小さくして、真空室１１４の容積を小さく、加熱給気口
１２６からの加熱給気による加熱の行き渡りを早めると
ともに、加熱給気を遮断した後の排出路１２５からの排
気による冷却室１１７内と真空室１１４内との真空化を
早めるようにした箇所である。

【００４０】したがって、受け溝部分２００Ｂの構成
は、図２の第２実施例と同様になっているので、Ｂ−Ｂ
箇所の断面では、図５のように、環状の受け溝部分２０
０Ｂを形成していることになるものである。

【００４１】なお、受け溝部分２００Ｂを構成する部分
や、受け溝部分２００Ｂから下方の外側遮蔽覆１１３を
構成する部分は、第２実施例の場合と同様にして形成す
ることができることは言うまでもない。

【００４２】〔実施例の構成の要約〕上記の実施例の構
成を要約すると、第１実施例の構成では、極低温を得る
ためのコールドパネル１１９と第２シリンダ１０７との
外側を内側遮蔽覆１１６によって囲んだ極低温室部分、
例えば、冷却室１１７の部分と、低温を得るための第１
シリンダ１０５と上記の内側遮蔽覆１１６との外側を外
側遮蔽覆１１３によって囲んだ低温室部分、例えば、真
空室１１４の部分とを設けるとともに、再生動作の際に
生ずる液化凝着物Ｐ３を貯留するための貯留部分と、こ
の液化凝着物Ｐ３を排出するための排出路１２５とを設
けたクライオポンプ装置５００において、

【００４３】上記の貯留部分として、上記の内側遮蔽覆
１１６の底部側に上記の第１シリンダ１０５の頂部、例
えば、第１ステージ１１５よりも下方に下がった環状の
受け溝部分２００Ａを配置する貯留溝手段を設ける第１
の構成と、

【００４４】この第１の構成に加えて、上記の受け溝部
分２００Ａの底部に上記の排出路１２５を配置する排出
路手段を設ける第２の構成とを構成しており、

【００４５】第２実施例と第３実施例との構成では、上
記の第１の構成と同様のクライオポンプ装置５００にお
いて、上記の貯留部分として、上記の外側遮蔽覆１１３
の中間部分１１３Ａに上記の第１シリンダ１０５の頂
部、例えば、第１ステージ１１５よりも下方に下がった
環状の受け溝部分２００Ｂを配置する貯留溝手段を設け
る第３の構成と、

【００４６】この第３の構成に加えて、上記の受け溝部
分２００Ｂの底部に上記の排出路１２５を配置する排出
路手段を設ける第４の構成とを構成していることになる
ものである。

【００４７】〔変形実施〕この発明は次のように変形し
て実施することを含むものである。

【００４８】（１）加熱給気口１２６を設けずに、凝着
物Ｐ１・Ｐ２・Ｐ３の蒸発を電熱体３０１などの電熱の
みで蒸発させるように構成する。

【００４９】（２）排出路１２５の他に、凝着物Ｐ１・
Ｐ２・Ｐ３の蒸発物を排気路を設けて構成する。

【００５０】

【発明の効果】この発明によれば、以上のように、内側
遮蔽覆の底部または外側遮蔽覆の中間部分に液化凝着物
を貯留するための受け溝部分を設けるとともに、この受
け溝部分の底部に液化凝着物の排出路を設けて構成して
おり、内側遮蔽覆の平らな底部そのものに液化凝着物が
貯留しなくともよいため、内側遮蔽覆と第１ステージと
の組み付け部分を気密性をもたせるように、銀ろー付け
または溶接する必要がなくなり、冷却部を構成する第１
シリンダと第２シリンダの部分と冷却室を構成する内側
遮蔽覆とを別個に加工したままで済ませることができる
ので、これらの部分を簡便安価に製造することができ、
また、内側遮蔽覆と第１ステージとの組み付け部分から
漏れ出した液化凝着物が外側遮蔽覆の底部に溜まり、外
側遮蔽覆と第１シリンダの基底部との組み付け部分や駆
動部分の上端側と冷却部分の下端側との組み付け部分に
設けたＯリングなどのシールを劣化させて冷却対象流体
に外気を混入させた、または、加圧冷媒を外気側に放出
させるなどの弊害を起こすことを防止できるなどの特長
がある。

【図面の簡単な説明】

図面中、図１〜図５はこの発明の実施例を、また、図６
・図７は従来技術を示し、各図の内容は次のとおりであ
る。

【図１】全体構成縦断面図

【図２】全体構成縦断面図

【図３】全体構成縦断面図

【図４】要部横断面平面図

【図５】要部横断面平面図

【図６】全体構成縦断面図

【図７】全体構成縦断面図

【符号の説明】

１０駆動部分２０冷却部分３０内側容器部分４０外側容器部分１０１加圧冷媒１０２電動機１０３クランク機構１０４吸気弁１０５第１シリンダ１０６第１ディスプレーサ１０７第２シリンダ１０８第２ディスプレーサ１０９往復竿１１１排気弁１１２降圧冷媒１１３外側遮蔽覆１１３Ａ中間部分１１３Ｂ立上部分１１３Ｅ底部１１３Ｇ下方部分１１４真空室１１５第１ステージ１１６内側遮蔽覆１１６Ａ底部側１１６Ｂ延長部分１１６Ｃ延長部分１１６Ｄ底部１１６Ｅ底部１１６貫通穴１１７冷却室１１８第２ステージ１１９コールドパネル１２０バッフル１２５排出路１２６加熱給気口２００Ａ受け溝部分２００Ｂ受け溝部分２０１通気穴２０２蓄冷材２０３通気穴２０５第１膨張室２０６通気穴２０７蓄冷材２０８通気穴２０９第２膨張室３００冷却対象流体３０１電熱体３０２加熱吸気口３０３加熱排気口４００冷却負荷５００クライオポンプ装置Ｐ１凝着物Ｐ２凝着物Ｐ３液化凝着物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】極低温を得るためのコールドパネルと第
２シリンダとの外側を内側遮蔽覆によって囲んだ極低温
室部分と、低温を得るための第１シリンダと前記内側遮
蔽覆との外側を外側遮蔽覆によって囲んだ低温室部分と
を設けるとともに、再生動作の際に生ずる液化凝着物を
貯留するための貯留部分と、前記液化凝着物を排出する
ための排出路とを設けたクライオポンプ装置であって、前記貯留部分として、前記内側遮蔽覆の底部側に前記第
１シリンダの頂部よりも下方に下がった環状の受け溝部
分を配置する貯留溝手段を具備することを特徴とするク
ライオポンプ装置。
【請求項２】極低温を得るためのコールドパネルと第
２シリンダとの外側を内側遮蔽覆によって囲んだ極低温
室部分と、低温を得るための第１シリンダと前記内側遮
蔽覆との外側を外側遮蔽覆によって囲んだ低温室部分と
を設けるとともに、再生動作の際に生ずる液化凝着物を
貯留するための貯留部分と、前記液化凝着物を排出する
ための排出路とを設けたクライオポンプ装置であって、
再生動作の際に生ずる液化凝着物を貯留して排出するた
めの貯留部分を設けたクライオポンプ装置であって、前記貯留部分として、前記内側遮蔽覆の底部側に前記第
１シリンダの頂部よりも下方に下がった環状の受け溝部
分を配置する貯留溝手段と、前記受け溝部分の底部に前記排出路を配置する排出路手
段とを具備することを特徴とするクライオポンプ装置。
【請求項３】極低温を得るためのコールドパネルと第
２シリンダとの外側を内側遮蔽覆によって囲んだ極低温
室部分と、低温を得るための第１シリンダと前記内側遮
蔽覆との外側を外側遮蔽覆によって囲んだ低温室部分と
を設けるとともに、再生動作の際に生ずる液化凝着物を
貯留するための貯留部分と、前記液化凝着物を排出する
ための排出路とを設けたクライオポンプ装置であって、
再生動作の際に生ずる液化凝着物を貯留して排出するた
めの貯留部分を設けたクライオポンプ装置であって、前記貯留部分として、前記外側遮蔽覆の中間部分に前記
第１シリンダの頂部よりも下方に下がった環状の受け溝
部分を配置する貯留溝手段を具備することを特徴とする
クライオポンプ装置。
【請求項４】極低温を得るためのコールドパネルと第
２シリンダとの外側を内側遮蔽覆によって囲んだ極低温
室部分と、低温を得るための第１シリンダと前記内側遮
蔽覆との外側を外側遮蔽覆によって囲んだ低温室部分と
を設けるとともに、再生動作の際に生ずる液化凝着物を
貯留するための貯留部分と、前記液化凝着物を排出する
ための排出路とを設けたクライオポンプ装置であって、前記貯留部分として、前記外側遮蔽覆の中間部分に前記
第１シリンダの頂部よりも下方に下がった環状の受け溝
部分を配置する貯留溝手段と、前記受け溝部分の底部に前記排出路を配置する排出路手
段とを具備することを特徴とするクライオポンプ装置。