JPH09285787A - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
- Publication number
- JPH09285787A JPH09285787A JP10000496A JP10000496A JPH09285787A JP H09285787 A JPH09285787 A JP H09285787A JP 10000496 A JP10000496 A JP 10000496A JP 10000496 A JP10000496 A JP 10000496A JP H09285787 A JPH09285787 A JP H09285787A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- pure water
- activated carbon
- oxygen
- recovered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
Abstract
装置において、装置設備の小型化及び簡略化を図る。 【解決手段】 回収純水と原水との混合水に活性炭を添
加した後、酸素を供給して膜分離処理し、透過水を1次
純水システムII及び2次純水システムIII で処理する。 【効果】 原水と回収純水との混合水に、粉末活性炭を
供給し、更に酸素を供給して有機物を効率的に吸着ない
し分解除去した水を膜分離装置で固液分離して粉末活性
炭を除去することにより、1次純水システムの被処理水
として十分に高い水質の透過水を得ることができる。
Description
り、特に、半導体製造工程から排出される回収純水を、
河川水、工業用水、水道水などの原水と混合して再処理
することにより超純水を製造する装置であって、装置構
成を小型化、簡略化して処理コストの低減及び処理効率
の向上を図る超純水製造装置に関する。
ら、半導体製造工程等で使用される超純水を製造する場
合の一般的な製造システムを図6に示す。図6(a),
(b)に示す如く、従来の超純水製造システムは、前処
理システムI,1次純水システムII及び2次純水システ
ムIII からなる。
を凝集槽51,浮上槽52及び二層濾過器53で構成さ
れる前処理システムIで処理した後、多床式イオン交換
装置54、脱気塔55及びRO装置(逆浸透膜分離装
置)56で構成される1次純水システムIIで処理し、得
られた純水を更に低圧UV(紫外線)酸化装置57、イ
オン交換装置58及び外圧UF装置(限外濾過膜分離装
置)59で構成される2次純水システムIII で処理し、
得られた超純水をユースポイントに送給する。
は、原水をUF濾過装置60よりなる前処理システムI
で処理した後、2段に設けたRO装置56A,56B、
脱気塔55及びイオン交換脱塩装置61で構成される1
次純水システムIIで処理し、得られた純水を更に低圧U
V酸化装置57、イオン交換装置58及び外圧UF装置
59で構成される2次純水システムIII で処理し、得ら
れた超純水をユースポイントに送給する。
体製造工程において、半導体の洗浄等に使用された後、
回収及び処理され、超純水として再使用される。
方法として、本出願人は先に、回収純水を活性炭生物流
動層に通水処理して、回収純水中のTOC成分を活性炭
の表面に生息する貧栄養細菌により生物分解させる方法
を提案した(特開平1−28637号公報)。また、こ
の活性炭生物流動層の流出水に塩素を加えて滅菌した後
膜分離処理することにより、流出水中の剥離菌体を効率
的に分離して処理水中のTOC成分を低減する装置を開
発した(特開平5−329477号公報)。
組み込んだ超純水製造システムを示す系統図であり、ユ
ースポイントからの回収純水は、生物活性炭流動層62
に通水され、流出水はUF膜分離装置63で膜分離処理
される。そして、UF膜分離装置63の透過水が、前処
理システムIを経た原水の前処理水と共に、1次純水シ
ステムII及び2次純水システムIII で処理され、ユース
ポイントに送給される。
る超純水の不足量を補う補給水量分だけ導入される。
水製造システムでは、原水の処理のために、凝集槽や濾
過手段等からなる前処理システムが設けられ、また、回
収純水の処理のために生物活性炭流動層及び膜分離装置
が設けられており、工程数及び部材数が多く、装置が複
雑である。
等の最大補給水量に対応した設計とされているため、定
常運転となって補給水量が低減した場合においても、最
大補給水量に対応して設計された前処理システムにより
少量の補給原水を処理することとなり、装置が必要以上
に大型化するという欠点がある。
が含有されているため、生物活性炭流動層に流入した回
収純水中の過酸化水素により、流動層の菌が悪影響を受
け、生物活性が阻害されるという問題もある。
純水の処理工程を組み込んだ超純水製造装置において、
装置設備の小型化及び簡略化を図ると共に、回収純水中
の過酸化水素による不具合等を解消する超純水製造装置
を提供することを目的とする。
は、半導体製造工程から排出される回収純水と原水とを
混合した水を1次純水システム及び2次純水システムに
順次通水して超純水を製造する超純水製造装置におい
て、該回収純水と原水とを混合した水に粉末活性炭を供
給する手段、活性炭を添加した水に酸素を供給する手
段、酸素を供給した水を固液分離する膜分離装置を設
け、該膜分離装置の透過水を1次純水システムに供給す
るようにしたことを特徴とする。
処理するため、原水量(補給水量)に左右されることな
く、常に一定量の水を処理するように設備を設ければ良
い。
生物活性炭流動層に代えて、粉末活性炭を用いているの
で、流動層を形成する反応塔を省略することができる。
着と生物作用による原水及び回収純水の処理であり、主
として水中に含まれる有機物を除去するものである。
れた粉末活性炭は、原水(補給水)及び回収純水中の有
機物を吸着する。また、この粉末活性炭の添加後、更
に、酸素が供給され好気条件とされるため、粉末活性炭
の表面には微生物(貧栄養細菌:微量有機物を資化する
細菌)が付着、生育し、この微生物が粉末活性炭の表面
に吸着された有機物を分解する。このため、活性炭は吸
着能力を失うことなく、常に有機物を吸着して、微生物
によりこれを分解することができる。
末活性炭を供給し、更に酸素を供給して有機物を効率的
に吸着ないし分解除去した水を膜分離装置で固液分離し
て粉末活性炭を除去することにより、1次純水システム
の被処理水として十分に高い水質の透過水を得ることが
できる。
は、一般に、濃縮水を循環水として循環処理する。本発
明においても、この濃縮水が循環水として膜分離装置と
酸素供給手段との間を循環させるようにした場合には、
該濃縮水が循環する間に、粉末活性炭表面に貧栄養細菌
が増殖し、回収純水及び原水中の有機物を効率的に分解
してTOCの低い処理水とすることができる。また、こ
のように、濃縮水が循環させることにより、この循環時
間も有機物分解のための滞留時間に含めることができ、
有機物分解のための反応槽として大きな槽を設ける必要
がなくなる。
純水中の有機物濃度が増大して必要酸素量が増えた場合
でも循環系内を安定に好気条件に維持することができる
ため、有機物分解効率を高く維持することが可能とな
る。
れ、この濃縮水中に含有される活性炭も系外へ排水され
る。このため、この活性炭の排出量に見合う量の粉末活
性炭を回収純水と原水との混合水に補給することになる
が、この補給された活性炭による分解作用で、回収純水
中の過酸化水素は効率的に分解除去される。そして、こ
の過酸化水素が分解除去された水に酸素が供給されて上
述のような生物分解を受けることとなる。即ち、本発明
では、貧栄養細菌が付着した後の粉末活性炭が過酸化水
素に接触することがないため、過酸化水素により生物活
性が阻害されることはない。しかも後段の膜分離装置が
過酸化水素により劣化することもない。
入した粉末活性炭が、分離膜の表面に懸濁された状態で
存在し、膜面と接触することで、膜表面の汚れ成分を掃
流除去することができ、これにより膜汚染が防止され
る。
施の形態について詳細に説明する。
態を示す系統図である。
からの回収純水をまずフッ素吸着塔1で処理してフッ素
を除去した後、原水(河川水、工業用水、水道水等)と
混合する。
も必要とされないが、回収純水中にフッ素が含まれる場
合にはフッ素吸着塔等のフッ素除去手段を設け、原水と
混合する前に回収純水中からフッ素を除去するのが好ま
しい。この場合、フッ素除去手段としては特に制限はな
いが、炭酸カルシウム充填層を有するフッ素吸着塔が好
適である。このようなフッ素吸着塔であれば、回収純水
中のフッ素イオンは炭酸カルシウム粒子と反応してフッ
化カルシウムを生成し、これが未反応の炭酸カルシウム
粒子の表面に析出する。そして、炭酸カルシウム粒子の
表面から順次炭酸カルシウムとフッ化カルシウムとが置
換する形で反応が進行し、炭酸カルシウム粒子は最終的
にはフッ化カルシウム粒子となる。従って、常時薬品添
加の必要もなく、また、沈殿槽のような大型の設備を用
いることなく、小型の吸着塔を用いて簡単な操作でフッ
素を効率的に除去することができる。
カルシウム粉やフッ化カルシウム粉が流出する場合があ
るが、これらは後段の膜分離装置3で固液分離されるた
め、1次純水システムIIに流入することはなく、後段の
RO装置等でフッ化カルシウムが析出するなどの問題を
引き起こすことはない。
純水は原水と混合されるが、この回収純水と原水との混
合水量は、ユースポイントで使用する超純水量であり、
ほぼ一定の水量であることから、この混合水が流入する
酸素溶解槽2及び膜分離装置3は、この一定の水量を処
理する設備容量となるように設計することができる。
に粉末活性炭を添加する。ここで、粉末活性炭は、後段
の循環系内の粉末活性炭の濃度が100〜3000mg
/L程度となるように添加するのが好ましい。即ち、後
述の如く、膜分離装置3の濃縮水の一部が排出水として
系外へ排出されることにより、循環系内の粉末活性炭の
一部が系外へ排出されることとなる。従って、この排出
される粉末活性炭量に見合う量の粉末活性炭を添加して
循環系内の粉末活性炭濃度を100〜3000mg/L
となるようにする。
150μm以下のものが好ましい。この粉末活性炭は、
必ずしも粒子状である必要はなく、繊維状活性炭であっ
ても良い。この場合においても、その繊維長さが150
μm以下であることが好ましい。
如く、回収純水中に含まれる過酸化水素を効率的に分解
除去し、過酸化水素による生物活性阻害及び膜劣化の問
題を解消する。
溶解槽2に導入され、空気吹き込みにより酸素が供給さ
れる。これにより、好気条件下、混合水中の有機物が生
物処理される。なお、この酸素溶解槽2(酸素溶解槽2
の流入水又は後述の循環水)には、原水中の有機成分の
組成に応じて炭素源や窒素源等の微量の栄養源を供給し
ても良い。
置3で膜分離処理され、透過水は、常法に従って、1次
純水システムII及び2次純水システムIII で処理され、
得られた超純水はユースポイントに送給される。
水として系外へ排出され、残部は循環水として酸素溶解
槽2に循環される。
溶解槽2と膜分離装置3との間を循環されることで、こ
の循環系内滞留時間が生物反応時間となるが、通常の場
合、この滞留時間は15分〜3時間の範囲となるように
設定するのが好ましい。
ては、MF(精密濾過)、UF(限外濾過)、NF(ナ
ノ濾過)膜等を用いることができ、また、膜モジュール
の形状は平膜、スパイラル、チューブラ、中空糸等を膜
の種類及び膜分離装置の形式に応じて選定使用すること
ができる。
駆動圧の付与手段としても、加圧供給ポンプで圧送する
形式、エアリフト循環流で給水する形式、槽内に膜モジ
ュールを浸漬して水頭差や透過水側からの吸引負圧で透
過水を得るものなどを採用することができる。
供給手段と膜分離装置の好適例を説明する。
る散気管11を備える酸素溶解槽10を設け、酸素溶解
槽10の流出水をポンプPでクロスフロー型の膜分離装
置20に供給して処理するものである。クロスフロー型
膜分離装置20では膜面の原水側は常時流れており、一
部が透過水として膜を通過し、残部は濃縮水として循環
される。
の膜分離装置21を設けた点が図2に示すものと異な
り、その他は同様の構成である。デッドエンド型の膜分
離装置21では、通水中、膜分離装置21に流入して膜
を通過した水を透過水として取り出すのみで、原水側が
所定の濃度となるまで膜分離を継続し、通水停止後、バ
ルブVを開として濃縮水及び膜逆洗水を循環する。
装置22を設けたものであり、水頭圧又は透過水側に設
けた減圧ポンプにより、透過水を取り出す。
型膜分離装置23を設け、循環槽30から膜分離装置2
3に原水を供給する配管にブロワBで酸素を供給するよ
うにしたものである。この膜分離装置23は、ポンプで
加圧注入する代わりに吹き込んだ空気のエアリフト効果
で膜面に流速を与えるものであり、圧力に限界がある
が、エアリフト用の空気の吹き込みと酸素供給とを兼用
できるという利点がある。
系内(図4においては酸素溶解槽10内)で生物分解が
効率的に進行し、膜分離装置からは高水質の透過水を得
ることができる。
水システムII及び2次純水システムIII で処理すること
により、高純度の超純水を得ることができる。
説明する。
工程からの回収純水をフッ素吸着塔で処理し、これを原
水(工業用水)と回収純水:原水=50:50(容量
比)の割合で混合した後、粉末活性炭を添加し、酸素溶
解槽及び膜分離装置で処理し、透過水を1次純水システ
ム及び2次純水システムで処理した。
は、図6(b)に示す構成のものを採用した。また、各
工程の装置仕様及び処理条件は次の通りとした。なお、
流量は50m3 /Hrとした。
充填したもの 通水条件:SV=0.6(1/Hr) 粉末活性炭供給 平均粒径100メッシュの粉末活性炭を、循環系内の活
性炭濃度が500mg/Lとなるように添加 酸素溶解槽 容量:25m3 循環系内の滞留時間:20分(充填材当りの滞留時間) 膜分離装置 スパイラルUF型膜分離装置 膜の種類:ポリスルホン膜 供給圧力:2.5kg/cm2 流入水量:200m3 /Hr 透過水量:50m3 /Hr 循環水量:150m3 /Hr 排出水量:2.5m3 /Hr 原水、回収純水及び各工程の処理水の水質を表1に示
す。
原水を簡易な装置で容易かつ効率的に処理することによ
り、高純度の超純水を製造することができることがわか
る。
装置によれば、回収純水及び原水を処理する超純水製造
システムにおいて、設備の小型化及び簡略化を図ること
ができ、高純度超純水を低コストにて効率的に製造する
ことができる。
図である。
実施例を示す系統図である。
の実施例を示す系統図である。
の実施例を示す系統図である。
なる実施例を示す系統図である。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体製造工程から排出される回収純水
と原水とを混合した水を1次純水システム及び2次純水
システムに順次通水して超純水を製造する超純水製造装
置において、該回収純水と原水とを混合した水に粉末活
性炭を供給する手段、活性炭を添加した水に酸素を供給
する手段、酸素を供給した水を固液分離する膜分離装置
を設け、該膜分離装置の透過水を1次純水システムに供
給するようにした超純水製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10000496A JP3387311B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10000496A JP3387311B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 超純水製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09285787A true JPH09285787A (ja) | 1997-11-04 |
JP3387311B2 JP3387311B2 (ja) | 2003-03-17 |
Family
ID=14262440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10000496A Expired - Fee Related JP3387311B2 (ja) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3387311B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000202481A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置におけるtoc成分除去装置 |
JP2003024754A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-28 | Maezawa Ind Inc | 膜モジュールの洗浄方法 |
JP2005288410A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Japan Organo Co Ltd | 電子部品部材類製造装置用水処理システム |
WO2006057249A1 (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Hitachi Zosen Corporation | 逆浸透膜法海水淡水化装置 |
JP2009530100A (ja) * | 2006-03-20 | 2009-08-27 | ビー.ピー.ティー.−バイオ ピュア テクノロジ エルティーディー. | 工業廃水を処理するためのハイブリッド膜モジュール、システム及び工程 |
-
1996
- 1996-04-22 JP JP10000496A patent/JP3387311B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000202481A (ja) * | 1999-01-12 | 2000-07-25 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置におけるtoc成分除去装置 |
JP4696326B2 (ja) * | 1999-01-12 | 2011-06-08 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置におけるtoc成分除去装置 |
JP2003024754A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-28 | Maezawa Ind Inc | 膜モジュールの洗浄方法 |
JP2005288410A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Japan Organo Co Ltd | 電子部品部材類製造装置用水処理システム |
JP4508701B2 (ja) * | 2004-04-05 | 2010-07-21 | オルガノ株式会社 | 電子部品部材類製造装置用水処理システム |
WO2006057249A1 (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Hitachi Zosen Corporation | 逆浸透膜法海水淡水化装置 |
JP2009530100A (ja) * | 2006-03-20 | 2009-08-27 | ビー.ピー.ティー.−バイオ ピュア テクノロジ エルティーディー. | 工業廃水を処理するためのハイブリッド膜モジュール、システム及び工程 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3387311B2 (ja) | 2003-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106132518B (zh) | 使用膜的水处理方法以及水处理装置 | |
US7641797B2 (en) | Method of treating waste liquid from production plant for hydrocarbons or oxygen-containing compounds | |
JP2008264772A (ja) | 膜分離活性汚泥装置及び有機物含有水の処理方法 | |
JP2007509740A (ja) | 酸化および膜濾過により水性廃液を精製する装置および方法 | |
JP2009172462A (ja) | 水質改質装置、及び水処理システム、並びに排水の再利用システム | |
JPH11309480A (ja) | 浸漬型膜分離装置の運転方法 | |
JP4073072B2 (ja) | 膜法による原水の脱塩方法および脱塩設備 | |
JPH05329477A (ja) | 膜分離方法 | |
JP3721871B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
JP3387311B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP2007196137A (ja) | 生物処理水の処理方法および装置 | |
JP3712110B2 (ja) | 下水2次処理水の浄化方法 | |
JPH10192851A (ja) | 浄水処理装置 | |
JP3417052B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
JP3651306B2 (ja) | 微量有機物含有水の処理方法及び処理装置 | |
JP4412474B2 (ja) | 水処理方法及び水処理装置 | |
JPH0857273A (ja) | 浸漬型膜分離装置 | |
JP2002355683A (ja) | 超純水製造方法及び超純水製造装置 | |
JP3221801B2 (ja) | 水処理方法 | |
JP2001300576A (ja) | 汚水処理方法 | |
JP3444202B2 (ja) | 水処理装置 | |
JP2002336887A (ja) | 超純水製造装置及び超純水製造方法 | |
JP3896687B2 (ja) | マンガン含有水処理装置 | |
KR101054613B1 (ko) | 생물처리공정과 막분리공정이 결합된 단일반응조를 이용한 하폐수 재활용수 생산장치 | |
WO2014087991A1 (ja) | 有機性汚水の処理方法および処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080110 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090110 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090110 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100110 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110110 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110110 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120110 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120110 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130110 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130110 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140110 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |