JPH09281323A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH09281323A JPH09281323A JP9806896A JP9806896A JPH09281323A JP H09281323 A JPH09281323 A JP H09281323A JP 9806896 A JP9806896 A JP 9806896A JP 9806896 A JP9806896 A JP 9806896A JP H09281323 A JPH09281323 A JP H09281323A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- producing
- cleaning liquid
- filter according
- ozone
- Prior art date
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 現像後の感光性樹脂残渣の残留を抑制し、且
つ制御して、カラーフィルターの製造歩留りを向上す
る。 【解決手段】 透明支持体上にブラックマトリックスを
形成した後、該支持体上に、赤、緑、青の顔料を分散さ
せた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィーによりカ
ラー画素を形成させカラーフィルターを製造する方法に
おいて、感光性樹脂の塗布前に被塗布面をオゾン処理し
た後、非イオン系界面活性剤を含有してなる洗浄液で処
理する。
つ制御して、カラーフィルターの製造歩留りを向上す
る。 【解決手段】 透明支持体上にブラックマトリックスを
形成した後、該支持体上に、赤、緑、青の顔料を分散さ
せた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィーによりカ
ラー画素を形成させカラーフィルターを製造する方法に
おいて、感光性樹脂の塗布前に被塗布面をオゾン処理し
た後、非イオン系界面活性剤を含有してなる洗浄液で処
理する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
装置、その他、精密電子機器の電気光学表示装置用カラ
ーフィルターの製造方法に関する。
装置、その他、精密電子機器の電気光学表示装置用カラ
ーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイ装置などに用いられる
カラーフィルターの製造方法には、顔料分散法、染色
法、電着法、印刷法があるが、分光特性、耐久性、パタ
ーン形状及び精度等の点で平均的に優れた特性を有する
顔料分散法が最も広範に用いられている。
カラーフィルターの製造方法には、顔料分散法、染色
法、電着法、印刷法があるが、分光特性、耐久性、パタ
ーン形状及び精度等の点で平均的に優れた特性を有する
顔料分散法が最も広範に用いられている。
【０００３】以下に顔料分散法の概要を説明する。通
常、最初にクロムや酸化クロム等の金属遮光膜によりガ
ラス基板等の透明支持体上にブラックマトリックスを形
成し、次いで例えば赤の顔料を分散させた感光性樹脂を
スピンコートで全面に塗布し、マスクを介して露光す
る。露光後に現像を行うと赤の画素が得られる。これと
同様の工程をを緑、青の画素についても行うと３色の画
素が形成される。各画素間はブラックマトリックス部が
凹部となるので、平滑化のためエポキシ樹脂、アクリル
樹脂等の透明樹脂のオーバーコート膜で被覆する。オー
バーコート膜は設けない場合もある。更に、オーバーコ
ート膜上にスパッタリングや真空蒸着等でＩＴＯ膜等の
透明導電膜を形成する。
常、最初にクロムや酸化クロム等の金属遮光膜によりガ
ラス基板等の透明支持体上にブラックマトリックスを形
成し、次いで例えば赤の顔料を分散させた感光性樹脂を
スピンコートで全面に塗布し、マスクを介して露光す
る。露光後に現像を行うと赤の画素が得られる。これと
同様の工程をを緑、青の画素についても行うと３色の画
素が形成される。各画素間はブラックマトリックス部が
凹部となるので、平滑化のためエポキシ樹脂、アクリル
樹脂等の透明樹脂のオーバーコート膜で被覆する。オー
バーコート膜は設けない場合もある。更に、オーバーコ
ート膜上にスパッタリングや真空蒸着等でＩＴＯ膜等の
透明導電膜を形成する。
【０００４】又、上記ブラックマトリックスの形成方法
としては、上記金属遮光膜による方法以外に、カーボン
ブラック等の黒色顔料を分散させた感光性樹脂を用いる
方法が提案されている。この方法によれば、スパッタリ
ング等の設備、電力の削減、クロム含有廃液処理等、大
幅なコスト低減が実現でき且つ環境保全面での利点が大
である。
としては、上記金属遮光膜による方法以外に、カーボン
ブラック等の黒色顔料を分散させた感光性樹脂を用いる
方法が提案されている。この方法によれば、スパッタリ
ング等の設備、電力の削減、クロム含有廃液処理等、大
幅なコスト低減が実現でき且つ環境保全面での利点が大
である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターの製
造プロセスにおける問題点として、欠陥と感光性樹脂膜
の残渣が挙げられる。欠陥の一種である白欠陥のうち画
素の欠け、剥がれについては通常感光性樹脂と透明支持
体との密着性を上げることにより改善される。一方、感
光性樹脂膜の残渣については逆に通常感光性樹脂と透明
支持体の密着性を下げることによって改善される。即
ち、画素の欠け、剥がれと感光性樹脂膜の残渣はいわゆ
るトレードオフ（二者択一）の関係にある。
造プロセスにおける問題点として、欠陥と感光性樹脂膜
の残渣が挙げられる。欠陥の一種である白欠陥のうち画
素の欠け、剥がれについては通常感光性樹脂と透明支持
体との密着性を上げることにより改善される。一方、感
光性樹脂膜の残渣については逆に通常感光性樹脂と透明
支持体の密着性を下げることによって改善される。即
ち、画素の欠け、剥がれと感光性樹脂膜の残渣はいわゆ
るトレードオフ（二者択一）の関係にある。
【０００６】感光性樹脂と透明支持体の密着性について
は、通常、樹脂の組成改良等によって最適化され、画素
の欠け、剥がれと樹脂膜残渣の双方が最適となるような
条件で管理される。しかし、特に１色以上の画素が形成
された後に次の画素を形成する場合、前の色の樹脂膜残
渣が次の画素と支持体との間に強い接着作用を示すた
め、次の色の感光性樹脂と透明支持体の密着性が非常に
高くなり、次の色の樹脂膜残渣が大きく増加し、樹脂の
組成改良だけではコントロールが困難なレベルに達す
る。又、ブラックマトリックスに感光性樹脂を用いる際
には、塗布から露光、現像のプロセスが一工程増えるこ
とにより、残渣がより一層増幅され、最終的には目視で
はっきり確認できる程度の樹脂膜残渣が残留してしま
う。
は、通常、樹脂の組成改良等によって最適化され、画素
の欠け、剥がれと樹脂膜残渣の双方が最適となるような
条件で管理される。しかし、特に１色以上の画素が形成
された後に次の画素を形成する場合、前の色の樹脂膜残
渣が次の画素と支持体との間に強い接着作用を示すた
め、次の色の感光性樹脂と透明支持体の密着性が非常に
高くなり、次の色の樹脂膜残渣が大きく増加し、樹脂の
組成改良だけではコントロールが困難なレベルに達す
る。又、ブラックマトリックスに感光性樹脂を用いる際
には、塗布から露光、現像のプロセスが一工程増えるこ
とにより、残渣がより一層増幅され、最終的には目視で
はっきり確認できる程度の樹脂膜残渣が残留してしま
う。
【０００７】こうした残渣が残留した場合、ＴＦＴアレ
イとの貼り付け時の接着性を低下させ、シールが悪化す
るという問題が生じる。又、残渣上に他の色の画素を重
ねることになるので、画素の色調が変わる恐れがある。
カラーフィルターの製造方法において、感光性樹脂の塗
布前に被塗布面にＵＶ光を照射し表面改質を行った後、
塗布に供する方法が特開平２−２９４６０２に提案され
ている。しかしながら、この方法では基板上の有機物汚
染を除去することに主眼が置かれているため、ＵＶ照射
時間が長く、感光性樹脂の密着性が低下して、欠け、剥
がれ等の白欠陥が逆に増加してしまい好ましくなかっ
た。
イとの貼り付け時の接着性を低下させ、シールが悪化す
るという問題が生じる。又、残渣上に他の色の画素を重
ねることになるので、画素の色調が変わる恐れがある。
カラーフィルターの製造方法において、感光性樹脂の塗
布前に被塗布面にＵＶ光を照射し表面改質を行った後、
塗布に供する方法が特開平２−２９４６０２に提案され
ている。しかしながら、この方法では基板上の有機物汚
染を除去することに主眼が置かれているため、ＵＶ照射
時間が長く、感光性樹脂の密着性が低下して、欠け、剥
がれ等の白欠陥が逆に増加してしまい好ましくなかっ
た。
【０００８】又、カラーフィルターをＵＶ照射により洗
浄し、表面改質を行う方法が特開昭６３−１６２０３
８、特開平５−１３４３９７及び特開平５−２２４１６
７に提案されている。これらの方法によれば、ＵＶ照射
後の「ぬれ性」が改善されるため、微粒子、有機物等の
汚染物質の洗浄効果は向上するが、逆に後工程における
感光性樹脂の密着性については先述同様低下するため、
欠け、剥がれ等の白欠陥が増加する傾向にあった。
浄し、表面改質を行う方法が特開昭６３−１６２０３
８、特開平５−１３４３９７及び特開平５−２２４１６
７に提案されている。これらの方法によれば、ＵＶ照射
後の「ぬれ性」が改善されるため、微粒子、有機物等の
汚染物質の洗浄効果は向上するが、逆に後工程における
感光性樹脂の密着性については先述同様低下するため、
欠け、剥がれ等の白欠陥が増加する傾向にあった。
【０００９】又、カラーフィルター面に対する洗浄を、
非イオン系界面活性剤を用いて行う方法が特開平２−１
９８３１に提案されているが、該公報では透明導電膜形
成前にこの洗浄行っており、仮に感光性樹脂形成前に行
ったとしても残渣の改善はほとんどなされない。本発明
の目的は、前記の問題点に鑑み、前の色の樹脂膜残渣の
接着作用を弱め、次の色と支持体の間の密着性を低下さ
せると同時に、密着性の最適範囲を拡げて画素の欠け、
剥がれと樹脂膜残渣とのコントロールを容易に可能と
し、且つ樹脂膜残渣を効率的に除去することにより、ひ
いては全色形成後の画素の欠け、剥がれ及び樹脂膜残渣
を同時に制御することができるカラーフィルターの製造
方法を提供することにある。
非イオン系界面活性剤を用いて行う方法が特開平２−１
９８３１に提案されているが、該公報では透明導電膜形
成前にこの洗浄行っており、仮に感光性樹脂形成前に行
ったとしても残渣の改善はほとんどなされない。本発明
の目的は、前記の問題点に鑑み、前の色の樹脂膜残渣の
接着作用を弱め、次の色と支持体の間の密着性を低下さ
せると同時に、密着性の最適範囲を拡げて画素の欠け、
剥がれと樹脂膜残渣とのコントロールを容易に可能と
し、且つ樹脂膜残渣を効率的に除去することにより、ひ
いては全色形成後の画素の欠け、剥がれ及び樹脂膜残渣
を同時に制御することができるカラーフィルターの製造
方法を提供することにある。
【００１０】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、上述の
如き問題点を解決するために種々検討を重ねた結果、感
光性樹脂の塗布前に被塗布面に対して２つの特定の処理
を組合せることにより、密着性が低下すると同時に樹脂
膜残渣自体が除去できるので、全色形成後の画素の欠
け、剥がれと樹脂膜残渣量を同時に制御できることを見
いだし本発明に到達した。
如き問題点を解決するために種々検討を重ねた結果、感
光性樹脂の塗布前に被塗布面に対して２つの特定の処理
を組合せることにより、密着性が低下すると同時に樹脂
膜残渣自体が除去できるので、全色形成後の画素の欠
け、剥がれと樹脂膜残渣量を同時に制御できることを見
いだし本発明に到達した。
【００１１】即ち、本発明の要旨は、透明支持体上にブ
ラックマトリックスを形成した後、該支持体上に、赤、
緑、青の顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリ
ソグラフィーによりカラー画素を形成させカラーフィル
ターを製造する方法において、感光性樹脂の塗布前に被
塗布面をオゾン処理した後、非イオン系界面活性剤を含
有してなる洗浄液により処理することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造方法に存する。
ラックマトリックスを形成した後、該支持体上に、赤、
緑、青の顔料を分散させた感光性樹脂を用いてフォトリ
ソグラフィーによりカラー画素を形成させカラーフィル
ターを製造する方法において、感光性樹脂の塗布前に被
塗布面をオゾン処理した後、非イオン系界面活性剤を含
有してなる洗浄液により処理することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造方法に存する。
【００１２】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
おけるカラーフィルターは、顔料分散法によって製造さ
れるものであり、用いられる感光性樹脂としては、通
常、アクリル系樹脂もしくはポリイミド系樹脂等をバイ
ンダー成分とし、着色顔料、顔料分散剤、光照射により
重合反応を開始させる光重合開始剤、及び、希釈溶媒等
を混合してなるものである。透明支持体としては、通
常、ガラスが用いられ、好ましくは無アルカリガラスが
用いられる。又、ブラックマトリックスは、通常、クロ
ム等の金属遮光膜やカーボンブラック等の黒色成分を含
有した樹脂膜から形成され、好ましくは、黒色顔料を分
散させた感光性樹脂を用いて形成される。
おけるカラーフィルターは、顔料分散法によって製造さ
れるものであり、用いられる感光性樹脂としては、通
常、アクリル系樹脂もしくはポリイミド系樹脂等をバイ
ンダー成分とし、着色顔料、顔料分散剤、光照射により
重合反応を開始させる光重合開始剤、及び、希釈溶媒等
を混合してなるものである。透明支持体としては、通
常、ガラスが用いられ、好ましくは無アルカリガラスが
用いられる。又、ブラックマトリックスは、通常、クロ
ム等の金属遮光膜やカーボンブラック等の黒色成分を含
有した樹脂膜から形成され、好ましくは、黒色顔料を分
散させた感光性樹脂を用いて形成される。
【００１３】本発明において、オゾン処理及び洗浄剤処
理は、基本的には感光性樹脂の塗布前に行えば良く、よ
り具体的にはブラックマトリックスもしくはカラー画素
を有する表面に対して、次のカラー画素を形成する前に
行われる。従って、最も完全にはブラックマトリックス
形成後、第１色画素形成後及び第２色画素形成後の３回
行っても良く、又前回の工程で形成された非着色領域の
汚れが問題にならなければその時点での処理は省略して
も良い。なお、ブラックマトリックス形成前の支持体に
対する本発明の処理は通常不要であるが、本発明はこれ
を排除するものでもない。
理は、基本的には感光性樹脂の塗布前に行えば良く、よ
り具体的にはブラックマトリックスもしくはカラー画素
を有する表面に対して、次のカラー画素を形成する前に
行われる。従って、最も完全にはブラックマトリックス
形成後、第１色画素形成後及び第２色画素形成後の３回
行っても良く、又前回の工程で形成された非着色領域の
汚れが問題にならなければその時点での処理は省略して
も良い。なお、ブラックマトリックス形成前の支持体に
対する本発明の処理は通常不要であるが、本発明はこれ
を排除するものでもない。
【００１４】又、本発明のオゾン処理は、通常、室温に
近い温度環境下にて行われるが、好ましくは３０℃以上
の温度環境下でなされる。オゾン濃度についても、本発
明の目的が達成される限り、場合に応じて適当な濃度を
選択して良いが、好ましくは１ｐｐｍ以上、より好まし
くは３ｐｐｍ以上の濃度条件下で処理がなされる。又、
処理時間についても、適当な時間が設定されるが、好ま
しくは、３０秒以上、より好ましくは１分以上の処理が
なされる。又、欠陥等の主原因であるパーティクルの付
着を防止するために、通常、該オゾン処理はクリーンな
環境下で行われ、好ましくは、０．５μｍのパーティク
ル存在量が１立方フィート内に１０００個以下（クラス
１０００）の雰囲気下で、より好ましくは１００個以下
（クラス１００）の雰囲気下でなされる。又、被処理基
板のオゾン処理槽への導入は、通常、１枚ずつ移送でき
る移送手段によって順次槽内へ導入する枚葉搬送によっ
てなされ、且つ、該移送手段上に載せて順次移送、退出
させながら連続でオゾン処理を行う方法が工業的には好
ましく用いられるが、これに限定されるものではない。
近い温度環境下にて行われるが、好ましくは３０℃以上
の温度環境下でなされる。オゾン濃度についても、本発
明の目的が達成される限り、場合に応じて適当な濃度を
選択して良いが、好ましくは１ｐｐｍ以上、より好まし
くは３ｐｐｍ以上の濃度条件下で処理がなされる。又、
処理時間についても、適当な時間が設定されるが、好ま
しくは、３０秒以上、より好ましくは１分以上の処理が
なされる。又、欠陥等の主原因であるパーティクルの付
着を防止するために、通常、該オゾン処理はクリーンな
環境下で行われ、好ましくは、０．５μｍのパーティク
ル存在量が１立方フィート内に１０００個以下（クラス
１０００）の雰囲気下で、より好ましくは１００個以下
（クラス１００）の雰囲気下でなされる。又、被処理基
板のオゾン処理槽への導入は、通常、１枚ずつ移送でき
る移送手段によって順次槽内へ導入する枚葉搬送によっ
てなされ、且つ、該移送手段上に載せて順次移送、退出
させながら連続でオゾン処理を行う方法が工業的には好
ましく用いられるが、これに限定されるものではない。
【００１５】本発明におけるオゾンの供給法について
は、通常、２５４ｎｍ及び１８５ｎｍ、もしくは１７２
ｎｍを主波長とするＵＶ照射によって空気中の酸素を分
解することにより発生させるが、他の波長のＵＶを用い
てもよく、又、アーク放電等の他の方法により供給を行
っても何ら差し支えない。又、ＵＶ光の照射によりオゾ
ンを供給する場合には、通常、ＵＶ光源から被照射面ま
での距離は適当な距離に設定されるが、好ましくは３０
ｍｍ以下であり、より好ましくは２０ｍｍ以下に設定さ
れる。
は、通常、２５４ｎｍ及び１８５ｎｍ、もしくは１７２
ｎｍを主波長とするＵＶ照射によって空気中の酸素を分
解することにより発生させるが、他の波長のＵＶを用い
てもよく、又、アーク放電等の他の方法により供給を行
っても何ら差し支えない。又、ＵＶ光の照射によりオゾ
ンを供給する場合には、通常、ＵＶ光源から被照射面ま
での距離は適当な距離に設定されるが、好ましくは３０
ｍｍ以下であり、より好ましくは２０ｍｍ以下に設定さ
れる。
【００１６】本発明における洗浄液処理は、通常、洗浄
操作で使用される種々の方法を場合に応じて採用して良
いが、最も一般的には浸漬処理を採用すれば良く、好ま
しくは超音波との併用にてなされる。又、ブラシとの併
用も好ましく用いられる。洗浄液温度は、通常、室温以
上の温度にて処理がなされるが、好ましくは３０℃以上
にて処理がなされる。又、処理時間についても適当な時
間が設定されるが、好ましくは、２０秒以上、より好ま
しくは３０秒以上の処理がなされる。洗浄液は０．１重
量％以上の非イオン系界面活性剤を含有してなり、これ
らの非イオン系界面活性剤としては例えば、ポリオキシ
エチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキ
ルフェニルエーテル等が用いられるが、特にこれらに限
定されるものではない。又、洗浄液のｐＨは、適当に調
整して用いられるが、好ましくはｐＨ９以上のアルカリ
性に調整され、より好ましくはｐＨ１０以上に調整され
る。尚、これらの洗浄液には、非イオン系界面活性剤と
アルカリ成分以外に添加剤を含有してもよい。又、画素
欠陥等の主原因となるパーティクルの付着を防止するた
めに、洗浄液中に含まれる０．２μｍ以上のパーティク
ル存在量は１０個／ｍｌ以下、好ましくは、５個／ｍｌ
以下に管理される。又、被処理基板の洗浄エリアへの導
入は、通常、１枚ずつ移送できる移送手段によって順次
槽内へ導入する枚葉搬送によってなされ、且つ、該移送
手段上に載せて順次移送、退出させながら連続で洗浄液
処理を行う方法が工業的に好ましく用いられるが、これ
に限定されるものではない。
操作で使用される種々の方法を場合に応じて採用して良
いが、最も一般的には浸漬処理を採用すれば良く、好ま
しくは超音波との併用にてなされる。又、ブラシとの併
用も好ましく用いられる。洗浄液温度は、通常、室温以
上の温度にて処理がなされるが、好ましくは３０℃以上
にて処理がなされる。又、処理時間についても適当な時
間が設定されるが、好ましくは、２０秒以上、より好ま
しくは３０秒以上の処理がなされる。洗浄液は０．１重
量％以上の非イオン系界面活性剤を含有してなり、これ
らの非イオン系界面活性剤としては例えば、ポリオキシ
エチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキ
ルフェニルエーテル等が用いられるが、特にこれらに限
定されるものではない。又、洗浄液のｐＨは、適当に調
整して用いられるが、好ましくはｐＨ９以上のアルカリ
性に調整され、より好ましくはｐＨ１０以上に調整され
る。尚、これらの洗浄液には、非イオン系界面活性剤と
アルカリ成分以外に添加剤を含有してもよい。又、画素
欠陥等の主原因となるパーティクルの付着を防止するた
めに、洗浄液中に含まれる０．２μｍ以上のパーティク
ル存在量は１０個／ｍｌ以下、好ましくは、５個／ｍｌ
以下に管理される。又、被処理基板の洗浄エリアへの導
入は、通常、１枚ずつ移送できる移送手段によって順次
槽内へ導入する枚葉搬送によってなされ、且つ、該移送
手段上に載せて順次移送、退出させながら連続で洗浄液
処理を行う方法が工業的に好ましく用いられるが、これ
に限定されるものではない。
【００１７】本発明の処理によって、感光性樹脂と被塗
布面の密着性が低下する理由については未だ明らかでは
ないが、オゾン処理によって被塗布面が親水化され、疎
水性である感光性樹脂の密着が悪くなると同時に、水系
現像液の浸透が促進されるため、剥がれ易さが向上した
ものと推定される。又、本発明の処理によって密着性の
最適範囲が拡がる理由については未だ明らかではない
が、オゾン処理を行った後、非イオン系界面活性剤を含
有してなる洗浄液で処理することにより、残渣膜表面の
粗さ、表面官能基等が最適な状態に改質されるためと推
定される。
布面の密着性が低下する理由については未だ明らかでは
ないが、オゾン処理によって被塗布面が親水化され、疎
水性である感光性樹脂の密着が悪くなると同時に、水系
現像液の浸透が促進されるため、剥がれ易さが向上した
ものと推定される。又、本発明の処理によって密着性の
最適範囲が拡がる理由については未だ明らかではない
が、オゾン処理を行った後、非イオン系界面活性剤を含
有してなる洗浄液で処理することにより、残渣膜表面の
粗さ、表面官能基等が最適な状態に改質されるためと推
定される。
【００１８】又、本発明の処理によって、樹脂膜残渣が
効率的に除去される理由については未だ明らかではない
が、オゾン処理によって親水化された残渣表面が洗浄液
処理を受けることによって、より洗浄液が浸透しやすい
状態となり、効果的に除去されると考えられる。
効率的に除去される理由については未だ明らかではない
が、オゾン処理によって親水化された残渣表面が洗浄液
処理を受けることによって、より洗浄液が浸透しやすい
状態となり、効果的に除去されると考えられる。
【００１９】
【実施例】次に実施例を用いて、本発明の具体的態様を
説明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実
施例により何ら限定されるものではない。
説明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実
施例により何ら限定されるものではない。
【００２０】（実施例−１〜３及び比較例−１〜５）ア
クリル系樹脂を主成分とし、カーボンブラックを分散さ
せた感光性樹脂を３７０×４７０×０．７ｍｍｔのガラ
ス（旭硝子製ＡＮ−６３５）に１．０μｍの膜厚でスピ
ンコートにより均一塗布した後、露光、現像を行いブラ
ックマトリックスを形成した。該ブラックマトリックス
を完全に硬化させる目的で２００℃にて１０分間熱風乾
燥を行った。この後、１８５ｎｍ及び２５４ｎｍを主波
長とするＵＶ光の照射により５ｐｐｍのオゾン雰囲気を
作り（ＵＶ光源とガラスの間の距離は１０ｍｍ）、該ブ
ラックマトリックス付き基板を水平搬送ローラーに載せ
てこのオゾン雰囲気中の通過時間を表−１の通り変化さ
せた。その後、洗浄処理を行う場合のみ該基板は該搬送
ローラーに載せたままポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテル（ＥＯ：ｎ＝１５）を１重量％、及びＮａＯ
Ｈを０．１重量％溶解した洗浄液を入れた循環オーバー
フロー槽に導入し適当な時間浸漬させた。尚、洗浄液温
は４０℃で行い、５０ｋＨｚの超音波を併用した。
クリル系樹脂を主成分とし、カーボンブラックを分散さ
せた感光性樹脂を３７０×４７０×０．７ｍｍｔのガラ
ス（旭硝子製ＡＮ−６３５）に１．０μｍの膜厚でスピ
ンコートにより均一塗布した後、露光、現像を行いブラ
ックマトリックスを形成した。該ブラックマトリックス
を完全に硬化させる目的で２００℃にて１０分間熱風乾
燥を行った。この後、１８５ｎｍ及び２５４ｎｍを主波
長とするＵＶ光の照射により５ｐｐｍのオゾン雰囲気を
作り（ＵＶ光源とガラスの間の距離は１０ｍｍ）、該ブ
ラックマトリックス付き基板を水平搬送ローラーに載せ
てこのオゾン雰囲気中の通過時間を表−１の通り変化さ
せた。その後、洗浄処理を行う場合のみ該基板は該搬送
ローラーに載せたままポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテル（ＥＯ：ｎ＝１５）を１重量％、及びＮａＯ
Ｈを０．１重量％溶解した洗浄液を入れた循環オーバー
フロー槽に導入し適当な時間浸漬させた。尚、洗浄液温
は４０℃で行い、５０ｋＨｚの超音波を併用した。
【００２１】表−１に該処理基板（実施例−１〜３）及
び上記のオゾン処理と洗浄液処理の両方、もしくはいず
れか一方を行わなかった基板（比較例−１〜５）のそれ
ぞれの処理条件を示す。これらの基板に、アクリル系樹
脂を主成分とし、赤の顔料を分散させた感光性樹脂を
１．５μｍの膜厚でスピンコートにより塗布し、露光、
現像を行い赤色の画素を形成した。表−２に赤色画素上
の１０００μｍ2 以上の面積を有する白欠け及び剥がれ
の個数と、感光性樹脂の残渣量を示す。尚、表３には実
施例−１、２及び比較例−３、５の赤色感光性樹脂塗布
前の黒色感光性樹脂残渣量を示す。
び上記のオゾン処理と洗浄液処理の両方、もしくはいず
れか一方を行わなかった基板（比較例−１〜５）のそれ
ぞれの処理条件を示す。これらの基板に、アクリル系樹
脂を主成分とし、赤の顔料を分散させた感光性樹脂を
１．５μｍの膜厚でスピンコートにより塗布し、露光、
現像を行い赤色の画素を形成した。表−２に赤色画素上
の１０００μｍ2 以上の面積を有する白欠け及び剥がれ
の個数と、感光性樹脂の残渣量を示す。尚、表３には実
施例−１、２及び比較例−３、５の赤色感光性樹脂塗布
前の黒色感光性樹脂残渣量を示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】
【表３】
【００２５】（実施例−４〜６及び比較例−６〜１０）
３７０×４７０×０．７ｍｍｔのガラス（旭硝子製ＡＮ
−６３５）に酸化クロム膜をスパッタリングにより成膜
し、ブラックマトリックスを形成した後、アクリル系樹
脂を主成分とし、赤色顔料を分散させた感光性樹脂を
１．０μｍの膜厚でスピンコートにより均一塗布し、露
光、現像を行い赤色の画素を形成した。該赤色画素を硬
化させる目的で２００℃にて１０分間熱風乾燥を行っ
た。この後、１８５ｎｍ及び２５４ｎｍを主波長とする
ＵＶ光の照射により５ｐｐｍのオゾン雰囲気を作り（Ｕ
Ｖ光源とガラスの間の距離は１０ｍｍ）、該ブラックマ
トリックス付き基板を水平搬送ローラーに載せて３分間
通過させた。その後、該基板は該搬送ローラーに載せた
ままポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル（Ｅ
Ｏ：ｎ＝１５）を１重量％、及びＮａＯＨを０．１重量
％溶解した洗浄液を入れた循環オーバーフロー槽に導入
し１分間浸漬させた。尚、洗浄液温は４０℃で行い、５
０ｋＨｚの超音波を併用した。
３７０×４７０×０．７ｍｍｔのガラス（旭硝子製ＡＮ
−６３５）に酸化クロム膜をスパッタリングにより成膜
し、ブラックマトリックスを形成した後、アクリル系樹
脂を主成分とし、赤色顔料を分散させた感光性樹脂を
１．０μｍの膜厚でスピンコートにより均一塗布し、露
光、現像を行い赤色の画素を形成した。該赤色画素を硬
化させる目的で２００℃にて１０分間熱風乾燥を行っ
た。この後、１８５ｎｍ及び２５４ｎｍを主波長とする
ＵＶ光の照射により５ｐｐｍのオゾン雰囲気を作り（Ｕ
Ｖ光源とガラスの間の距離は１０ｍｍ）、該ブラックマ
トリックス付き基板を水平搬送ローラーに載せて３分間
通過させた。その後、該基板は該搬送ローラーに載せた
ままポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル（Ｅ
Ｏ：ｎ＝１５）を１重量％、及びＮａＯＨを０．１重量
％溶解した洗浄液を入れた循環オーバーフロー槽に導入
し１分間浸漬させた。尚、洗浄液温は４０℃で行い、５
０ｋＨｚの超音波を併用した。
【００２６】表−４に該処理基板（実施例−４〜６）及
びオゾン処理と洗浄液処理の両方もしくはいずれか一方
を行わなかった基板（比較例−６〜１０）のそれぞれの
処理条件を示す。これらの基板に、アクリル系樹脂を主
成分とし、緑の顔料を分散させた感光性樹脂を１．５μ
ｍの膜厚でスピンコートにより塗布し、露光、現像を行
い赤色の画素を形成した。表−５に赤色画素上の１００
０μｍ2 以上の面積を有する白欠け及び剥がれの個数
と、感光性樹脂の残渣量を示す。尚、表−６には実施例
−４、５及び比較例−８、１０の赤色感光性樹脂塗布前
の赤色感光性樹脂残渣量を示す。
びオゾン処理と洗浄液処理の両方もしくはいずれか一方
を行わなかった基板（比較例−６〜１０）のそれぞれの
処理条件を示す。これらの基板に、アクリル系樹脂を主
成分とし、緑の顔料を分散させた感光性樹脂を１．５μ
ｍの膜厚でスピンコートにより塗布し、露光、現像を行
い赤色の画素を形成した。表−５に赤色画素上の１００
０μｍ2 以上の面積を有する白欠け及び剥がれの個数
と、感光性樹脂の残渣量を示す。尚、表−６には実施例
−４、５及び比較例−８、１０の赤色感光性樹脂塗布前
の赤色感光性樹脂残渣量を示す。
【００２７】
【表４】
【００２８】
【表５】
【００２９】
【表６】
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、感光性樹脂の塗布前に
被塗布面をオゾン処理した後、引き続き非イオン系界面
活性剤を含有してなる洗浄液にて処理することにより、
現像後の感光性樹脂残渣の残留が抑制、且つ制御される
ため、カラーフィルターの製造歩留りが向上し、工業生
産上利するところ大である。
被塗布面をオゾン処理した後、引き続き非イオン系界面
活性剤を含有してなる洗浄液にて処理することにより、
現像後の感光性樹脂残渣の残留が抑制、且つ制御される
ため、カラーフィルターの製造歩留りが向上し、工業生
産上利するところ大である。
Claims (14)
- 【請求項１】 透明支持体上にブラックマトリックスを
形成した後、該支持体上に、赤、緑、青の顔料を分散さ
せた感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィーによりカ
ラー画素を形成させカラーフィルターを製造する方法に
おいて、感光性樹脂の塗布前に被塗布面をオゾン処理し
た後、非イオン系界面活性剤を含有してなる洗浄液で処
理することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項２】 上記ブラックマトリックスは黒色の着色
剤を含有した樹脂を用いて形成されることを特徴とする
請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項３】 上記オゾン処理は１ｐｐｍ以上のオゾン
濃度雰囲気下において３０℃以上の温度環境下で３０秒
以上なされることを特徴とする請求項１〜２記載のカラ
ーフィルターの製造方法。 - 【請求項４】 上記オゾン処理は０．５μｍ以上のパー
ティクル存在量が１立方フィート中に１０００個以下の
環境下においてなされることを特徴とする請求項１〜３
記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項５】 上記オゾン処理は被処理基板を１枚ずつ
移送する移送手段によって順次オゾン雰囲気下へ導入、
移送、退出させながら行うことを特徴とする請求項１〜
４記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項６】 上記オゾンの供給は、２５４ｎｍ及び１
８５ｎｍ、もしくは１７２ｎｍを主波長とするＵＶ光
を、ＵＶ光源から被照射面までの距離を３０ｍｍ以下に
設置して照射することによってなされることを特徴とす
る請求項１〜５記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項７】 上記洗浄液処理は、超音波を併用するこ
とを特徴とする請求項１〜６記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項８】 上記洗浄液処理は、ブラシを併用するこ
とを特徴とする請求項１〜６記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項９】 上記洗浄液処理は、３０℃以上の温度に
加温されている洗浄液を用いて２０秒以上なされること
を特徴とする請求項１〜８記載のカラーフィルターの製
造方法。 - 【請求項１０】 上記洗浄液は、０．１重量％以上の非
イオン系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項
１〜９記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項１１】 上記洗浄液は、ｐＨ９以上のアルカリ
性であることを特徴とする請求項１〜１０記載のカラー
フィルターの製造方法。 - 【請求項１２】 上記洗浄液中に含まれる０．２μｍ以
上のパーティクル存在量は１０個／ｍｌ以下であること
を特徴とする請求項１〜１１記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項１３】 上記洗浄液処理は、被処理基板を１枚
ずつ移送する移送手段によって順次洗浄エリアへ導入、
移送、退出させながら洗浄液処理を行うことを特徴とす
る請求項１〜１２記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項１４】 上記透明支持体はガラスであることを
特徴とする請求項１〜１３記載のカラーフィルターの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806896A JPH09281323A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9806896A JPH09281323A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281323A true JPH09281323A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14210029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9806896A Pending JPH09281323A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09281323A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162881A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Sharp Corp | 表示装置用基板の製造方法 |
| JP2013210542A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法、並びにこれを用いて製造されるカラーフィルタ、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
-
1996
- 1996-04-19 JP JP9806896A patent/JPH09281323A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162881A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Sharp Corp | 表示装置用基板の製造方法 |
| JP2013210542A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法、並びにこれを用いて製造されるカラーフィルタ、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050401 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050419 |
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