JP2002037907A - プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法 - Google Patents

プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法

Info

Publication number
JP2002037907A
JP2002037907A JP2000222572A JP2000222572A JP2002037907A JP 2002037907 A JP2002037907 A JP 2002037907A JP 2000222572 A JP2000222572 A JP 2000222572A JP 2000222572 A JP2000222572 A JP 2000222572A JP 2002037907 A JP2002037907 A JP 2002037907A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plastic member
electron beam
plastic
irradiation
modifying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000222572A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Hosoda
隆志 細田
Keisuke Takada
敬介 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2000222572A priority Critical patent/JP2002037907A/ja
Publication of JP2002037907A publication Critical patent/JP2002037907A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】プラスチック部材のコーティング膜の密着性や
染色の均一性を得るため、アルカリエッチングや表面研
磨を行っていたが、洗浄工程が必要など工程が複雑であ
った。 【解決手段】プラスチック部材表面に電子ビームを照射
することによって、短時間で無洗浄の処理が可能にな
る。また、コーティング膜の密着性や染色の均一性も向
上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はプラスチック部材の
製造方法に関する。詳しくは、プラスチック部材の表面
改質の方法、装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プラスチック部材の表面は、一般的に摩
擦、引っ掻き等の外力により容易に傷がついてしまう。
傷をつきにくくするために、コーティングにより、表面
硬度を向上させている。また、透明なプラスチック部
材、例えば、プラスチックレンズや液晶表示体のカバー
部材等の場合、光の反射等による透過性の低下を防ぐた
めに、反射防止加工を施している。さらに、プラスチッ
ク眼鏡レンズなどの場合には、主にファッション性を高
めることを目的に、染色による色付けができることもプ
ラスチック部材の特徴であり、多様な色に染めることが
多い。このように、コーティング層および/または反射
防止層の密着性や外観の確保および染色の均一性を向上
させるためには、プラスチック部材表面の清浄化、活性
化をおこなう表面改質が必要である。
【0003】表面改質の方法としては、大きく分けて、
化学的手法と物理的手法がある。まず、化学的手法とし
てはアルカリや酸、溶剤に浸漬させるウエットエッチン
グがある。アルカリ処理では、プラスチック部材表面の
ケン化を行い、酸処理では、表面の酸化を行い、濡れ性
の向上を行っている。溶剤処理では、プラスチック部材
表面もしくは内部に存在する未重合物等を溶解し、表面
状態の均一化を行っている。
【0004】一方、物理的手法としては、プラズマ処理
やオゾン洗浄などによるドライエッチングをはじめ、研
磨剤を介在させ、スポンジ等の柔軟性のあるもので表面
を擦る表面研磨、研磨剤・砥剤・研磨液等を圧空、ポン
プ等によってプラスチック部材表面に吹き付けるブラス
トなどがあげられる。プラズマやオゾンによる処理で
は、表面を酸化させ、濡れ性が向上する。また、表面研
磨処理やブラスト処理では、表面の不純物を取り除くと
共に、表面を荒らし接触表面積を増やすことでプラスチ
ック部材表面とコーティング膜との密着性を向上させる
ことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の表面改質方法にはいくつかの問題点がある。ま
ず、ウエットエッチングでは、エッチングの条件は、液
の濃度、温度、時間等でコントロールされるが、エッチ
ングスピードを速くして処理状態を常に一定にすること
は難しく、結局、エッチングスピードを落として、時間
で管理することが多くなる。このため、エッチングに時
間がかかってしまう。また、液の劣化があるため、使用
経過時間と共に使用条件を調整する必要があり、これも
処理が安定しない原因となる。
【0006】エッチング液に浸漬してエッチングした
後、エッチング液を表面に残さないように十分なリンス
を行い、リンス後のシミを残さないように乾燥工程を行
う必要がある。このため、設備が大掛かりになり、リン
スや乾燥に関わる熱量やクリーン度を管理するエネルギ
ーも膨大になる。
【0007】さらに、処理時間もかかるため、枚葉処理
に向かない。また、使用した液の処理や処理に関わる安
全性の確保も必要である。
【0008】一方、真空プラズマによるドライエッチン
グは、真空度を確保するために時間がかかることや、プ
ラズマ処理によって発生するオゾン等の有毒な気体に対
して所定の処置を行い、排出する大掛かりな設備が必要
となることから枚葉処理に向かない。
【0009】表面研磨やブラストでは、枚葉処理が可能
であるが、表面に付着した研磨剤や砥剤の除去に、洗浄
工程が必要となり、後加工のために乾燥工程も必要であ
る。また、ブラストでは、表面を適度に荒らすための条
件がシビアであり、プラスチックの破片などを吹き付け
てしまった場合は、大きく傷がついてしまい外観不良と
なることもある。さらに、研磨廃液等の処理も、コスト
や手間がかかってしまう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく鋭意研究を行った結果、電子ビームを有効に
照射することで、プラスチック部材表面を改質できるこ
とを知見した。
【0011】電子ビームは、インクの硬化や医療用具の
殺菌に使用されることが多いが、プラスチック部材表面
に照射すると、電子が該表面の分子構造のうちC−C結
合を分断する。この分断した結合部分に酸素(O)が結
合し、親水基を形成することにより、濡れ性が向上す
る。さらに、電子ビームは、処理の雰囲気中の窒素や酸
素をプラズマ化し、プラズマ化した雰囲気がプラスチッ
ク部材表面に微細な粗さを生じさせるため、プラスチッ
ク部材表面とコーティング剤との接触表面積が拡大し、
密着性が確保できる。
【0012】一方、プラスチック部材表面の状態にもよ
るが、一般的な湿式の洗浄では、落とすことができない
有機物の薄膜状の汚れが、コーティング膜との密着性を
阻害している場合がある。この汚れは、空気中の有機物
質であったり、プラスチック部材の性能向上や製造作業
性向上のために原料中に添加している紫外線吸収剤、酸
化防止剤や未重合モノマーおよび離型剤などが表面上に
存在しているものであると考えられる。電子ビームを照
射することにより、C−C結合を分断し、有機物質を分
解することができる。また、上述のプラズマによる酸化
効果により、汚れが酸化して取り除かれ、表面に阻害物
が無くなるためコーティングの密着性が確保できる。
【0013】また、プラスチック部材表面全体が同様な
変化を起こすため、表面状態が均一化され、濡れ性も向
上するので、分散染料を溶解した溶液に浸漬して染色す
る場合に、効率よく、むらのない染色が可能となる。
【0014】これらの改質方法は、プラスチック表面に
電子ビームを大気圧下で照射するだけで処理できるた
め、処理時間は非常に短く、枚葉処理に適した処理方法
である。また、処理による汚れの発生もなく、特別な洗
浄工程も必要としないため、工程は非常に簡素である。
さらに、他の表面改質の方法にくらべ、エネルギーの使
用量が少なく、洗浄用の水も必要とせず、廃棄物も発生
しない、環境にやさしい処理方法である。しかるに、製
造コストも削減できる。
【0015】したがって、請求項1記載の発明は、プラ
スチック部材表面に、電子ビームを照射すること特徴と
するプラスチック部材の改質方法を提供する。
【0016】請求項2記載の発明は、請求項1記載のプ
ラスチック部材の改質方法において、電子ビームの照射
面がプラスチック部材表面と所定の距離になるように制
御して、電子ビームを照射することを特徴とするプラス
チック部材の改質方法を提供する。
【0017】請求項3記載の発明は、前記プラスチック
部材がプラスチックレンズであることを特徴とする請求
項1または2記載のプラスチック部材の改質方法を提供
する。
【0018】請求項4記載の発明は、プラスチック部材
を保持する保持手段と、プラスチック部材表面に電子ビ
ームを照射する電子ビーム照射手段と、プラスチック部
材表面の所定の位置情報を取得する位置情報取得手段
と、電子ビーム照射手段の照射面とプラスチック部材表
面とが、所定の距離になるように位置決めする相対位置
決め手段と、プラスチック部材を反転する反転手段とを
備えることを特徴とするプラスチック部材の改質装置を
提供する。
【0019】請求項5記載の発明は、前記プラスチック
部材がプラスチックレンズであることを特徴とする請求
項4記載のプラスチック部材の改質装置を提供する。
【0020】請求項6記載の発明は、プラスチック部材
表面に電子ビームを照射する照射工程と、プラスチック
部材表面にコーティング膜を形成するコーティング工程
と、プラスチック部材に染色を施す染色工程と、プラス
チック部材を洗浄する洗浄工程と、プラスチック部材に
反射防止膜を形成する成膜工程とを有することを特徴と
するプラスチック部材の製造方法を提供する。
【0021】請求項7記載の発明は、前記プラスチック
部材がプラスチックレンズであることを特徴とする請求
項6記載のプラスチック部材の製造方法を提供する。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳しく説明するが、本発明は、下記の実施の形態に制
限されるものではない。
【0023】図面を参考に、本発明の装置の概要を説明
する。図1は、本発明によるプラスチック部材表面への
電子ビーム照射の一例を示す図である。電子ビーム照射
手段3より発生した電子ビーム4をプラスチック部材2
に照射する。照射の方式としては、図1の例で示すよう
に移動方向1にプラスチック部材2を移動させる電子カ
ーテン方式や図には示さないが、電子ビーム照射手段3
を移動させるタイプの電子カーテン方式、プラスチック
部材2表面全面に一括して照射するチャンバー式などが
挙げられる。インラインで処理するのであれば、電子カ
ーテン方式が望ましい。照射方向は、プラスチック部材
2の上側からでも下側からでも、上下両面からでもよ
い。
【0024】照射する電子ビーム4の加速電圧は、30
0KeV以下のいわゆる低加速電圧の電子ビーム4が好
ましい。プラスチック部材2の種類にもよるが、基材の
比重を考慮すると、35KeV以上150KeV以下が
好ましい。
【0025】照射線量は、加速電圧と処理時間によって
決定する。最適な照射線量は、プラスチック部材2の種
類や後工程の染色やコーティング剤の種類にもよるが、
1KGy以上300KGy以下が好ましい。さらに好ま
しくは、10KGy以上200KGy以下が好ましい。
【0026】図2は、本発明によるプラスチック部材の
改質装置の一例を示す図である。図2に示す照射装置
は、保持手段9、電子ビーム照射手段3、位置情報取得
手段6、相対位置決め手段5、反転手段8で構成されて
いる。
【0027】まず、保持手段9にプラスチック部材2を
装着させる。保持の方法としては、テーブル上に載せる
方法、リング状のもので保持する方法、プラスチック部
材外周を掴む方法、真空吸着による方法等が挙げられ
る。部材の形状や電子ビーム照射手段3の方法などによ
り決定される。
【0028】次に、位置情報取得手段6により、プラス
チック部材2の基準となる位置の情報を取得する。基準
となる位置は、例えば、プラスチック眼鏡レンズであれ
ば、凸面側の中心部や凹面側の周辺部などで良く、その
位置情報は、センサーや画像処理を用いた非接触式の測
定やダイヤルゲージを用いた接触式の測定によって取得
しても良いし、あらかじめ用意されている部材形状デー
タをデータベースから取得しても良い。
【0029】取得した位置情報から、相対位置決め手段
5により、プラスチック部材2の表面と電子ビーム照射
手段3の相対的な距離を最適に設定する。照射に最適な
距離は、電子ビームの加速電圧にもよるが、20mm以
下が望ましい。さらに、効率を考慮に入れると、5mm
以下が望ましい。相対位置決め手段5は、電子ビーム照
射手段3とプラスチック部材保持手段9の一方、もしく
は両方を動作させて、所定の位置関係を作ることができ
る。
【0030】最後に、電子ビーム4の照射を行う。照射
に際しては、プラスチック部材2を保持している保持手
段9と電子ビーム照射手段3の一方、もしくは両方を移
動させて全面を照射する。
【0031】さらに、必要に応じ反転手段8によりプラ
スチック部材2を反転させる。表裏両面同時に電子ビー
ム4を照射する場合は必要ないが、片面照射の場合は、
反転手段8により、プラスチック部材2を反転させ、残
りの片面の照射を行う。反転方法は、保持手段9自体が
回転する方法や保持手段9からプラスチック部材2を反
転手段8に移動し、反転後ふたたび保持手段9に戻す方
法などが例示できる。
【0032】図3は、本発明によるプラスチック部材の
改質装置のその他の例を示す図である。
【0033】図3に示す照射装置は、保持手段9、電子
ビーム照射手段3、位置情報取得手段6、相対位置決め
手段5で構成されている。
【0034】この例では、相対位置決めは、プラスチッ
ク部材2の保持手段9のみを移動させて最適な位置に位
置決めを行う。また、電子ビーム4の照射も保持手段9
を移動させ、全面に照射する構成になっている。さらに
は図示しない反転手段でプラスチック部材2を反転させ
ることも可能な構造になっている。
【0035】表面改質するプラスチック部材2の種類と
しては、アクリル系、チオウレタン系、チオエポキシ
系、アリルカーボネート系、エポキシ系、ウレタン系、
アリルイタコネート系、ポリカーボネート系、ABS樹
脂系等が挙げられる。
【0036】表面改質後に行うコーティングに使用する
コーティングの材料の種類としては、シランカップリン
グ剤を用いたゾルゲル法によるコーティング剤の他、紫
外線、電子ビーム硬化型のアクリル系、エポキシ系、エ
ン−チオール系、有機無機ハイブリッド系などの種類が
考えられる。
【0037】反射防止膜には、有機系のものと無機系の
ものがある。密着性確保のための電子ビームの照射は、
基材に対してでもコーティング膜に対してでも構わな
い。
【0038】プラスチック部材の製造方法としては、電
子ビームを照射した後、染色を施し、洗浄後コーティン
グおよび反射防止加工を施しても良いし、染色を施した
後洗浄を行い、電子ビームを照射し、コーティングおよ
び反射防止を行っても良い。また、反射防止加工の前に
電子ビームの照射を行っても良い。染色性、コーティン
グ膜や反射防止層の密着性が向上すればこれらの工程の
順番は、どのように行っても構わない。
【0039】以下にプラスチックレンズで行った実験の
結果を例として示す。
【0040】[実施例1]チオウレタン系のプラスチッ
クレンズに次の条件で、電子ビームを照射した。
【0041】照射条件 ・加速電圧:80KeV ・照射線量:10KGy 電子ビーム照射後、以下の条件でハードコート剤の塗布
を行った。 ・ハードコート剤:シランカップリング剤をベースとし
たコーティング剤 ・塗布方法:ディッピング方式 ・硬化条件:135℃で2時間 密着性能試験:JIS K5400に準じてクロスカッ
トテープ試験によって評価した。すなわち、ナイフを用
い基板表面に1mm間隔に切れ目を入れ、1mm 2マス
目を100個形成する。次にその上へセロハン粘着テー
プ(JIS Z1522に準ずる)を強く押しつけて、
すばやく表面から90°方向へ引っ張り剥離した後、コ
ーティング被膜の残ったマス目をもって密着性評価指標
とした。この密着性試験の結果、残った個数が100/
100であり、十分な密着性が得られた。
【0042】[比較例1]実施例1記載の条件のうち電
子ビームの照射を行わなかった。実施例1記載の密着性
能試験では、残った個数が68/100で、密着性は十
分ではなかった。
【0043】[実施例2]アクリル系のプラスチックレ
ンズに次の条件で、電子ビームを照射した。
【0044】照射条件 ・加速電圧:100KeV ・照射線量:30KGy 電子ビーム照射後、以下の条件でハードコート剤の塗布
を行った。 ・ハードコート剤:シランカップリング剤をベースとし
たコーティング剤 ・塗布方法:スピンコーティング方式 ・硬化条件:135℃で2時間 実施例1記載の密着性能試験を行ったところ、残った個
数が100/100で十分な密着性がえられた。
【0045】[比較例2]実施例2記載の条件のうち電
子ビームの照射を行わなかった。実施例1記載の密着性
能試験では、残った個数が62/100で、密着性は十
分ではなかった。
【0046】[実施例3]チオウレタン系のプラスチッ
クレンズ表面に実施例1記載の条件で、電子ビームを照
射した後、以下の条件で染色を行った。
【0047】使用染料:アントラキノン系赤色染料 染色方法:純水に染料を0.3%分散させたものに浸漬
する 染色温度:95℃ 染色時間:3分 染色後、目視にて確認をしたところ、染色むらは確認さ
れず良品レベルであった。
【0048】[比較例3]実施例3記載の条件のうち電
子ビームの照射のみ行わず、染色を行ったところ、染色
むらが有り不良となった。
【0049】[実施例4]実施例3記載のレンズに実施
例1記載の条件でコーティング膜を形成した。次に実施
例1記載の密着性能試験を行ったところ、残った個数は
100/100で、密着性がえられた。
【0050】[比較例4]比較例3記載のレンズに実施
例1記載の条件でコーティング膜を形成した。つぎに実
施例1記載の密着性能試験を行ったところ、残った個数
が58/100で、密着性は十分ではなかった。
【0051】[実施例5]実施例2のレンズに実施例3
の条件で染色を施した。目視で外観を確認したところ、
染色むらはなく、良品であった。
【0052】[比較例5]比較例2のレンズに実施例3
の条件で染色を施した。目視で外観を確認したところ、
染色むらが有り不良となった。
【0053】
【発明の効果】本発明によれば、プラスチック部材に電
子線を照射することによって、均一な染色性とコーティ
ング膜の密着性がえられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるプラスチック部材表面への電子
ビーム照射の一例を示す図である。
【図2】 本発明によるプラスチック部材の改質装置の
一例を示す図である。
【図3】 本発明によるプラスチック部材の改質装置の
その他の例を示す図である。
【符号の説明】
1 移動方向 2 プラスチック部材 3 電子ビーム照射手段 4 電子ビーム 5 相対位置決め手段 6 位置情報取得手段 7 相対位置決め移動方向 8 反転手段 9 保持手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 1/11 C08L 101:00 1/10 G02B 1/10 A // C08L 101:00 Z Fターム(参考) 2K009 AA02 AA15 BB14 BB23 BB24 BB25 CC01 CC21 DD02 DD05 DD07 DD08 EE01 4F006 AA22 AA36 AA37 AB39 BA02 BA14 CA05 DA04 EA03 4F073 AA01 AA15 BA18 BA22 BA26 BA28 BA34 BB02 CA42

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プラスチック部材表面に、電子ビームを照
    射すること特徴とするプラスチック部材の改質方法。
  2. 【請求項2】請求項1記載のプラスチック部材の改質方
    法において、電子ビームの照射面がプラスチック部材表
    面と所定の距離になるように制御して、電子ビームを照
    射することを特徴とするプラスチック部材の改質方法。
  3. 【請求項3】前記プラスチック部材がプラスチックレン
    ズであることを特徴とする請求項1または2記載のプラ
    スチック部材の改質方法。
  4. 【請求項4】プラスチック部材を保持する保持手段と、 プラスチック部材表面に電子ビームを照射する電子ビー
    ム照射手段と、 プラスチック部材表面の所定の位置情報を取得する位置
    情報取得手段と、 電子ビーム照射手段の照射面とプラスチック部材表面と
    が、所定の距離になるように位置決めする相対位置決め
    手段と、 プラスチック部材を反転する反転手段とを備えることを
    特徴とするプラスチック部材の改質装置。
  5. 【請求項5】前記プラスチック部材がプラスチックレン
    ズであることを特徴とする請求項4記載のプラスチック
    部材の改質装置。
  6. 【請求項6】プラスチック部材表面に電子ビームを照射
    する照射工程と、 プラスチック部材表面にコーティング膜を形成するコー
    ティング工程と、 プラスチック部材に染色を施す染色工程と、 プラスチック部材を洗浄する洗浄工程と、 プラスチック部材に反射防止膜を形成する成膜工程とを
    有することを特徴とするプラスチック部材の製造方法。
  7. 【請求項7】前記プラスチック部材がプラスチックレン
    ズであることを特徴とする請求項6記載のプラスチック
    部材の製造方法。
JP2000222572A 2000-07-24 2000-07-24 プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法 Withdrawn JP2002037907A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000222572A JP2002037907A (ja) 2000-07-24 2000-07-24 プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000222572A JP2002037907A (ja) 2000-07-24 2000-07-24 プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002037907A true JP2002037907A (ja) 2002-02-06

Family

ID=18716797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000222572A Withdrawn JP2002037907A (ja) 2000-07-24 2000-07-24 プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002037907A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012123236A (ja) * 2010-12-09 2012-06-28 Sun-Lux Optical Co Ltd プラスチック光学部材の着色方法およびこの方法により着色したプラスチック光学部材
JP2013068963A (ja) * 2012-11-29 2013-04-18 Japan Atomic Energy Agency 着色した光透過性プラスチック部材および光透過性プラスチック部材の着色方法
JP2014153620A (ja) * 2013-02-12 2014-08-25 Sun-Lux Optical Co Ltd 光透過性プラスチック部材の青色光カット方法および光透過性プラスチック部材
JP2016068480A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 大日本印刷株式会社 複合容器の製造方法、複合容器の充填方法および複合容器の充填装置
JP2017014618A (ja) * 2016-06-01 2017-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated フレキシブル基板を処理する方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012123236A (ja) * 2010-12-09 2012-06-28 Sun-Lux Optical Co Ltd プラスチック光学部材の着色方法およびこの方法により着色したプラスチック光学部材
JP2013068963A (ja) * 2012-11-29 2013-04-18 Japan Atomic Energy Agency 着色した光透過性プラスチック部材および光透過性プラスチック部材の着色方法
JP2014153620A (ja) * 2013-02-12 2014-08-25 Sun-Lux Optical Co Ltd 光透過性プラスチック部材の青色光カット方法および光透過性プラスチック部材
JP2016068480A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 大日本印刷株式会社 複合容器の製造方法、複合容器の充填方法および複合容器の充填装置
JP2017014618A (ja) * 2016-06-01 2017-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated フレキシブル基板を処理する方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1669795A1 (en) Stainproof eyeglass lens and method for production thereof
JP2011516392A (ja) ガラスの製造及び製品への処理のための保護コーティング
JP2006126782A (ja) 光学物品の防汚層処理方法
CN100411105C (zh) 晶片背表面处理方法以及半导体器件的制造方法
KR101898559B1 (ko) 세정 용이성이 우수하여 포토리소그래피 수율을 향상시킬 수 있는 친환경 포토마스크 및 이의 제조방법
JP2002037907A (ja) プラスチック部材の改質方法および改質装置、プラスチック部材の製造方法
KR20110087217A (ko) 광학 필름 제조용 롤 금형의 세정 방법 및 방현 필름의 제조 방법
JPS62136030A (ja) シリコンウエ−ハ−の研磨方法
JPWO2011111611A1 (ja) 樹脂膜の除去方法、および積層体の製造方法
EP1448340B1 (en) Assembly system for stationing semiconductor wafer and process for manufactoring semiconductor wafer
TW469479B (en) Method of wet etching and apparatus thereof
JP5194381B2 (ja) 表面処理装置
CN107531016A (zh) 长条状气体阻隔性膜及其制造方法以及短条状气体阻隔性膜及其制造方法
JP2002088178A (ja) 透明プラスチック部材の表面改質方法および表面改質装置、透明プラスチック部材の製造方法
JP5216483B2 (ja) プラスチックレンズ成形型用洗浄剤組成物
JP3189288B2 (ja) 洗浄方法
JP2002131889A (ja) フォトマスク用石英基板の洗浄方法及び洗浄装置
CN109226044B (zh) 光学元件的处理方法
JP5116592B2 (ja) プラスチックレンズの染色方法
JPH0957184A (ja) 表面改質方法
JPS60141727A (ja) 防曇性透明体の製造方法
JPH10216657A (ja) 有機光学要素の積層塗膜除去方法
JP2001195732A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスク用ガラス基板
JPH11316302A (ja) プラスチックレンズの製造方法
JP2001040123A (ja) プラスチックの表面改質方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20071002