JPH09280618A - クリーンルーム用格子 - Google Patents
クリーンルーム用格子Info
- Publication number
- JPH09280618A JPH09280618A JP8203400A JP20340096A JPH09280618A JP H09280618 A JPH09280618 A JP H09280618A JP 8203400 A JP8203400 A JP 8203400A JP 20340096 A JP20340096 A JP 20340096A JP H09280618 A JPH09280618 A JP H09280618A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- clean room
- transparent plate
- lattice
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/02—Ducting arrangements
- F24F13/06—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser
- F24F13/068—Outlets for directing or distributing air into rooms or spaces, e.g. ceiling air diffuser formed as perforated walls, ceilings or floors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Sewage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームの床の下に設置されるユーテ
ィリティ・ラインの設置状態や異常の有無の点検を容易
に行える格子を提供する。 【解決手段】 単位格子を複数配列して半導体素子製造
設備用クリーンルームの床を形成する格子であって、前
記単位格子は、所定の大きさの開口部１２ｃを有し、床
支持体に固定されるフレーム１２と、前記フレームの開
口部を覆うように前記フレームに固定される透明プレー
ト１３とから構成される。
ィリティ・ラインの設置状態や異常の有無の点検を容易
に行える格子を提供する。 【解決手段】 単位格子を複数配列して半導体素子製造
設備用クリーンルームの床を形成する格子であって、前
記単位格子は、所定の大きさの開口部１２ｃを有し、床
支持体に固定されるフレーム１２と、前記フレームの開
口部を覆うように前記フレームに固定される透明プレー
ト１３とから構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子製造設備
用クリーンルームの床を形成する格子(grating)に関
し、特に、クリーンルームの二重床の下部空間に配設さ
れるユーティリティ・ライン(Utility Line)の設置状態
や異常の有無を点検できるようにしたクリーンルーム用
格子に関する。
用クリーンルームの床を形成する格子(grating)に関
し、特に、クリーンルームの二重床の下部空間に配設さ
れるユーティリティ・ライン(Utility Line)の設置状態
や異常の有無を点検できるようにしたクリーンルーム用
格子に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子は多くの工程を経て
製造されるが、製造工程中の周辺環境による汚染は製品
の品質及び歩留まりに悪影響を及ぼすので、清浄に維持
されたクリーンルーム内で各工程が行われる。
製造されるが、製造工程中の周辺環境による汚染は製品
の品質及び歩留まりに悪影響を及ぼすので、清浄に維持
されたクリーンルーム内で各工程が行われる。
【０００３】図３及び図４は従来のクリーンルームの床
構造を示している。図示のように、従来のクリーンルー
ムにおいては、所定の大きさの方形の格子１が複数配列
されて１つの床を形成している。クリーンルームの床を
構成する格子１は、その上面に配置される各種の半導体
素子製造装備の荷重に耐え得るように、構造的強度を有
するアルミニウム材からなり、また、適切な厚みを有す
る。
構造を示している。図示のように、従来のクリーンルー
ムにおいては、所定の大きさの方形の格子１が複数配列
されて１つの床を形成している。クリーンルームの床を
構成する格子１は、その上面に配置される各種の半導体
素子製造装備の荷重に耐え得るように、構造的強度を有
するアルミニウム材からなり、また、適切な厚みを有す
る。
【０００４】そして、格子１の下部空間にはクリーンル
ーム内の各種の製造装備に必要なユーティリティ・ライ
ン２が配設される。ユーティリティ・ライン２は、例え
ば、製造装備のための電気配線、製造工程に必要なガス
や洗浄液の供給ライン、各種の排気及び真空ラインなど
を含む。このようなユーティリティ・ライン２は各種の
製造装備の運転に直接関連するので、定期的な点検、例
えば、各ラインの要所に設置されたゲージやバルブのチ
ェック、各ライン連結部位の設置状態や異常の有無のチ
ェックが必要とされる。
ーム内の各種の製造装備に必要なユーティリティ・ライ
ン２が配設される。ユーティリティ・ライン２は、例え
ば、製造装備のための電気配線、製造工程に必要なガス
や洗浄液の供給ライン、各種の排気及び真空ラインなど
を含む。このようなユーティリティ・ライン２は各種の
製造装備の運転に直接関連するので、定期的な点検、例
えば、各ラインの要所に設置されたゲージやバルブのチ
ェック、各ライン連結部位の設置状態や異常の有無のチ
ェックが必要とされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ユーテ
ィリティ・ライン２はクリーンルームの床を構成する格
子１の下部空間に設置されており、また、従来の格子１
は不透明なアルミニウム材で作られているので、ユーテ
ィリティ・ライン２を点検をするためにはその都度所定
の位置の格子１を取り外さなければならないという煩わ
しさがあった。
ィリティ・ライン２はクリーンルームの床を構成する格
子１の下部空間に設置されており、また、従来の格子１
は不透明なアルミニウム材で作られているので、ユーテ
ィリティ・ライン２を点検をするためにはその都度所定
の位置の格子１を取り外さなければならないという煩わ
しさがあった。
【０００６】また、格子１を取り外さなければユーティ
リティ・ライン２の状態を点検できないので、頻繁に点
検管理しなければならず、もし異常が生じた場合でもす
ぐに適切な処置をなすことができず、不測の事故が生じ
たりまた不良品の発生率が高くなるという問題があっ
た。
リティ・ライン２の状態を点検できないので、頻繁に点
検管理しなければならず、もし異常が生じた場合でもす
ぐに適切な処置をなすことができず、不測の事故が生じ
たりまた不良品の発生率が高くなるという問題があっ
た。
【０００７】本発明はかかる従来の問題点を解決するた
めになされたものであって、その目的は半導体素子製造
設備用クリーンルームの床の下部空間に設置されるユー
ティリティ・ラインの設置状態や異常の有無を容易に点
検することが可能なクリーンルーム用格子を提供するこ
とにある。
めになされたものであって、その目的は半導体素子製造
設備用クリーンルームの床の下部空間に設置されるユー
ティリティ・ラインの設置状態や異常の有無を容易に点
検することが可能なクリーンルーム用格子を提供するこ
とにある。
【０００８】本発明の他の目的は、ユーティリティ・ラ
インの異常の有無を常に視覚的に確認できるようにし
て、異常が生じたときに直ちに適切な処置をなすことを
可能にするクリーンルーム用格子を提供することにあ
る。
インの異常の有無を常に視覚的に確認できるようにし
て、異常が生じたときに直ちに適切な処置をなすことを
可能にするクリーンルーム用格子を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に基づく格子は、単位格子を複数配列して半
導体素子製造設備用クリーンルームの床を形成する格子
であって、単位格子は、所定の大きさの開口部を有し、
床支持体に固定されるフレームと、このフレームの開口
部を覆うようにフレームに固定される透明プレートとか
ら構成されたことを特徴とする。フレームは、四角形状
であって、開口部の周囲に所定の深さの段部を形成して
なり、透明プレートは、フレームの開口部を覆うように
フレームの段部に固定されるようにするとよい。
に、本発明に基づく格子は、単位格子を複数配列して半
導体素子製造設備用クリーンルームの床を形成する格子
であって、単位格子は、所定の大きさの開口部を有し、
床支持体に固定されるフレームと、このフレームの開口
部を覆うようにフレームに固定される透明プレートとか
ら構成されたことを特徴とする。フレームは、四角形状
であって、開口部の周囲に所定の深さの段部を形成して
なり、透明プレートは、フレームの開口部を覆うように
フレームの段部に固定されるようにするとよい。
【００１０】フレームはステンレススチール材からな
り、透明プレートは帯電防止樹脂材からなることが好ま
しい。また、透明プレートはＰＶＣもしくはアクリル樹
脂材からなることが好ましい。また、フレームの上面と
透明プレートの上面は同一平面となるようにするとよ
い。
り、透明プレートは帯電防止樹脂材からなることが好ま
しい。また、透明プレートはＰＶＣもしくはアクリル樹
脂材からなることが好ましい。また、フレームの上面と
透明プレートの上面は同一平面となるようにするとよ
い。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるクリーンルー
ム用格子を添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
ム用格子を添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１２】図１及び図２は本発明に基づく格子の設置
状態を示しており、所定の厚さを有する四角形状の単位
格子が複数配列されてクリーンルームの床を構成してい
る。複数の単位格子１０によって構成されたクリーンル
ームの床の上面には各種の半導体素子製造装備が載せら
れ、床の下部空間には各種の半導体素子製造装備に必要
なユーティリティ・ライン１１が配設される。
状態を示しており、所定の厚さを有する四角形状の単位
格子が複数配列されてクリーンルームの床を構成してい
る。複数の単位格子１０によって構成されたクリーンル
ームの床の上面には各種の半導体素子製造装備が載せら
れ、床の下部空間には各種の半導体素子製造装備に必要
なユーティリティ・ライン１１が配設される。
【００１３】本発明の格子１０は下部空間に配設された
ユーティリティ・ライン１１の設置状態や異常の有無を
視覚的に確認できるように構成されている。すなわち、
格子１０は、床支持体に固定され、開口部１２ｃを有す
るフレーム１２と、その開口部１２ｃを覆うように固定
される透明プレート１３とからなる。フレーム１２に
は、開口部１２ｃの周囲に側面１２ａと棚面１２ｂによ
り規定される段部が所定の深さに形成されている。すな
わち、段部はフレーム上面の全体の面積よりも小さい面
積を有するように形成され、また、開口部１２ｃは段部
の面積より少なくとも小さい開口面積を有する。なお、
フレーム１２は半導体素子製造装備の荷重を考慮して構
造的強度の高いステンレススチールで製造されることが
好ましい。
ユーティリティ・ライン１１の設置状態や異常の有無を
視覚的に確認できるように構成されている。すなわち、
格子１０は、床支持体に固定され、開口部１２ｃを有す
るフレーム１２と、その開口部１２ｃを覆うように固定
される透明プレート１３とからなる。フレーム１２に
は、開口部１２ｃの周囲に側面１２ａと棚面１２ｂによ
り規定される段部が所定の深さに形成されている。すな
わち、段部はフレーム上面の全体の面積よりも小さい面
積を有するように形成され、また、開口部１２ｃは段部
の面積より少なくとも小さい開口面積を有する。なお、
フレーム１２は半導体素子製造装備の荷重を考慮して構
造的強度の高いステンレススチールで製造されることが
好ましい。
【００１４】また、透明プレート１３はフレーム１２の
段部と同一の面積及び形状を有するプレートであって、
帯電防止材料、例えばＰＶＣまたはアクリル樹脂で製造
される。透明プレート１３は段部の側面１２ａに圧入し
て棚面１２ｂ上に固定する。また、フレーム１２を金型
内におき、プラスチック材料を射出成型することによっ
て透明プレートをフレームの段部に直接固定するように
してもよい。なお、透明プレート１３は、段部の棚面１
２ｂに係止されたとき、フレーム１２の上面と同一の平
面となるようにその厚さを設定する。
段部と同一の面積及び形状を有するプレートであって、
帯電防止材料、例えばＰＶＣまたはアクリル樹脂で製造
される。透明プレート１３は段部の側面１２ａに圧入し
て棚面１２ｂ上に固定する。また、フレーム１２を金型
内におき、プラスチック材料を射出成型することによっ
て透明プレートをフレームの段部に直接固定するように
してもよい。なお、透明プレート１３は、段部の棚面１
２ｂに係止されたとき、フレーム１２の上面と同一の平
面となるようにその厚さを設定する。
【００１５】このように構成された本発明の格子１０に
よれば、上部から透明プレート１３を介して床の下部空
間を見ることができる。従って、図１及び図２に示すよ
うに、クリーンルームの床を構成するに際して、ユーテ
ィリティ・ライン１１の管理ポイントに該当する部分ま
たはユーティリティ・ライン１１が配設される部分の上
に透明プレート１３を備えた格子１０を設置することに
より、透明プレート１３を介してユーティリティ・ライ
ン１１の設置状態や異常の有無を視覚的に点検すること
が可能となる。
よれば、上部から透明プレート１３を介して床の下部空
間を見ることができる。従って、図１及び図２に示すよ
うに、クリーンルームの床を構成するに際して、ユーテ
ィリティ・ライン１１の管理ポイントに該当する部分ま
たはユーティリティ・ライン１１が配設される部分の上
に透明プレート１３を備えた格子１０を設置することに
より、透明プレート１３を介してユーティリティ・ライ
ン１１の設置状態や異常の有無を視覚的に点検すること
が可能となる。
【００１６】なお、本発明の格子１０は使用者の要求に
応じてクリーンルームの床全体もしくは必要な部分だけ
部分的に設置できるように、既存の格子と同一の規格に
製造するのが好ましい。
応じてクリーンルームの床全体もしくは必要な部分だけ
部分的に設置できるように、既存の格子と同一の規格に
製造するのが好ましい。
【００１７】なお、フレームと透明プレートの形状は図
示のものに限られず、開口部を有するフレームの上面に
溝または孔を形成し、このような溝または孔を透明プレ
ートの底面に形成した凸部または突起部と密閉状態に係
合させてもよい。
示のものに限られず、開口部を有するフレームの上面に
溝または孔を形成し、このような溝または孔を透明プレ
ートの底面に形成した凸部または突起部と密閉状態に係
合させてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルーム用格子によれば、床の下部空間に配設されるユー
ティリティ・ラインの設置状態や異常の有無を視覚的に
確認し得るので、ユーティリティ・ラインの点検が容易
となり、ユーティリティ・ラインに異常が発生すると直
ちに適切な処置をとることができるので、不測の事故や
不良品の発生を未然に防ぐことができる。
ルーム用格子によれば、床の下部空間に配設されるユー
ティリティ・ラインの設置状態や異常の有無を視覚的に
確認し得るので、ユーティリティ・ラインの点検が容易
となり、ユーティリティ・ラインに異常が発生すると直
ちに適切な処置をとることができるので、不測の事故や
不良品の発生を未然に防ぐことができる。
【図１】本発明による格子の設置状態を示すクリーンル
ームの床構造の部分切欠斜視図である。
ームの床構造の部分切欠斜視図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ’線に沿った拡大断面図である。
【図３】従来の格子の設置状態を示すクリーンルームの
床構造の部分切欠斜視図である。
床構造の部分切欠斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ’線に沿った拡大断面図である。
１０ 格子 １１ ユーティリティ・ライン １２ フレーム １２ａ 段部の側面 １２ｂ 段部の棚面 １２ｃ 開口部 １３ 透明プレート
Claims (5)
- 【請求項１】 単位格子を複数配列して半導体素子製造
設備用クリーンルームの床を形成する格子であって、前
記単位格子は、所定の大きさの開口部を有し、床支持体
に固定されるフレームと、前記フレームの開口部を覆う
ように前記フレームに固定される透明プレートとから構
成されたことを特徴とするクリーンルーム用格子。 - 【請求項２】 前記フレームは、四角形状であって、前
記開口部の周囲に所定の深さの段部を形成してなり、前
記透明プレートは、前記フレームの開口部を覆うように
前記フレームの段部に固定されることを特徴とする請求
項１記載のクリーンルーム用格子。 - 【請求項３】 前記フレームはステンレススチール材か
らなり、前記透明プレートは帯電防止樹脂材からなるこ
とを特徴とする請求項１または２記載のクリーンルーム
用格子。 - 【請求項４】 前記透明プレートはＰＶＣもしくはアク
リル樹脂材からなることを特徴とする請求項３記載のク
リーンルーム用格子。 - 【請求項５】 前記フレームの上面と透明プレートの上
面は同一平面となるようにしたことを特徴とする請求項
１または２記載のクリーンルーム用格子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1996-8379 | 1996-04-17 | ||
| KR2019960008379U KR200143673Y1 (ko) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 반도체소자 제조설비용 그레이팅 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09280618A true JPH09280618A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=19453992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8203400A Pending JPH09280618A (ja) | 1996-04-17 | 1996-08-01 | クリーンルーム用格子 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09280618A (ja) |
| KR (1) | KR200143673Y1 (ja) |
| TW (1) | TW301015B (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102556065B1 (ko) | 2022-10-31 | 2023-07-19 | (주)에스지유테크 | 추락방지용 그레이팅과 그레이팅에 장착되는 케이블관 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436861A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-07 | Naka Kogyo Kk | Floor panel |
-
1996
- 1996-04-17 KR KR2019960008379U patent/KR200143673Y1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-07-16 TW TW085108641A patent/TW301015B/zh active
- 1996-08-01 JP JP8203400A patent/JPH09280618A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436861A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-07 | Naka Kogyo Kk | Floor panel |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW301015B (en) | 1997-03-21 |
| KR200143673Y1 (ko) | 1999-06-15 |
| KR970059802U (ko) | 1997-11-10 |
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