JPH09272049A - 工作物の両頭平面研削方法およびその両頭平面研削盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 工作物の板厚を精度良く測定し、寸法精度の
優れた製品を両頭平面研削し得る両頭平面研削盤を提供
する。 【解決手段】 対向配置されてなる粗砥石１２，１４を
有する粗研削機構１０と仕上砥石２２，２４を有する仕
上研削機構２０との間に、粗砥石１２，１４で粗研削さ
れた加工物２の板厚を測定する板厚測定器５，５′を配
設し、この板厚測定器５，５′で測定された板厚データ
と目標板厚との差がなくなるように、砥石間隔制御装置
６から砥石間隔を調整する粗砥石作動装置１６と仕上砥
石作動装置２６とに板厚調整信号を発信して、粗砥石作
動装置１６と仕上砥石作動装置２６とを作動させる構成
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばアルミニウ
ム基板のような薄肉円板状の工作物の平行な２平面を研
削する工作物の両頭平面研削方法および工作物の両頭平
面研削盤の技術分野に属するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、アルミニウム基板のような薄肉
円板状の工作物の２平面を精度良く仕上げる仕上方法と
しては、従来から両面研磨機の上下定盤間に工作物を挟
み込み、定盤と工作物との間に遊離砥粒を供給するか、
または定盤の代わりに砥石を取付け、この砥石を低速回
転させることにより工作物を研磨していた。このような
工作物の研磨方法によれば、表面精度や寸法精度が優れ
た製品が得られるので広く用いられているが、工作物を
搬出入するに際して両面研磨機を一旦止める必要がある
ため、極めて生産性が低かった。

【０００３】そこで、近年では、生産性の向上のため
に、円盤状または帯状のキャリヤに多数の工作物を保持
させ、キャリヤを高速回転する一対の砥石間に通過させ
て、多数の工作物の２平面を連続して研削する両頭平面
研削盤が用いられるようになってきている。しかしなが
ら、両頭平面研削盤で工作物を研削加工する場合、砥石
の切れ味の変化や砥石の磨耗の進展によって研削加工さ
れる工作物の板厚が時間と共に変化するために研削加工
後の工作物の板厚、つまり製品の板厚を高精度に維持し
続けることが極めて難しかった。

【０００４】このような実情に鑑み、従来では、研削加
工後の製品の板厚を測定し、測定された板厚が許容値以
上になると、経験的に砥石の間の間隔を調整、つまり切
込量を調整するという手法によっていた。このような手
法によれば、測定は研削加工現場から離れた別の場所で
行われるため、時間経過に起因して不良発生率が高くな
らざるを得ないという問題があった。そこで、このよう
な問題の解消を可能ならしめるようにした方法が提案さ
れている。このようなものとしては、例えば特開昭５２
−１１２８９０号公報に開示されてなる「両頭平面研削
盤用測定方法と制御方法」が公知である。

【０００５】以下、上記特開昭５２−１１２８９０号公
報に開示されてなる研削加工方法を、砥石の接線方向か
らみた説明図の図３（ａ）と、軸線に対して垂直方向か
ら見た説明図の図３（ｂ）および図３（ｃ）とを参照し
ながら、同明細書に記載されている同一名称並びに同一
符号を以て説明する。

【０００６】ワークピース３（以下、工作物という。）
は、図３（ａ）に示すように、二つの砥石１および２の
間に置かれた案内６によって、自動的に砥石１，２の間
を通過して両面が研削され、工作物３が同図における左
向きの矢印方向に押し出されて、砥石１，２から僅かに
その一部が露出すると、この露出部分の上下面に二つの
寸法測定装置の測子４，５が当てられ、図３（ｂ）に示
すように、測子４で工作物３の上面から中心線Ｘ−Ｘの
線までの距離ｄ₁ が、測子５で工作物３の下面からＸ−
Ｘの線までの距離ｄ₂ が測定される。そして、例えば、
砥石１が磨耗して二つの砥石１，２の位置がずれるとｄ
₁ ＞ｄ₂ になるので、ｄ₁ ＝ｄ₂ となるように砥石１，
２の間隔を修正しながら仕上がり寸法の制御を行うが、
工作物の厚みの測定値が許容値Ｄを越えたとき、中心線
Ｘ−Ｘから距離の大きい側の砥石を前進させるようにし
たものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例に係る両頭
平面研削方法は、板厚の測定から切込量の制御までの時
間を短縮するために、工作物が砥石から僅かにでた時点
で厚み測定しているので、工作物の状態が不安定であ
る。つまり、上記のとおり、一方の砥石が磨耗して二つ
の砥石の位置がずれると、測子による接触力がアンバラ
ンスになり、工作物の何れか一方の砥石側の負荷が大き
くなり、これに起因する連れ回り回転によって工作物の
板厚が変化したり、工作物の表面に不規則な研削痕が残
ってしまい、特に高精度が要求される加工物に対して活
用することができない。

【０００８】また、目詰まりし、局所的な磨耗により変
化した砥石は切れ味の回復と、形状の整形のためにドレ
ッシングされるが、砥石の切れ味は研削加工の継続によ
り変化し、切れ味の回復を目的とするドレッシング時期
の決定が難しいので、所定の切れ味以下になる前に、予
め設定した研削加工時間を経過または予め設定した数の
加工物を研削するとドレッシングを行うのが一般的であ
った。このようなドレッシング方法によれば、砥石の切
れ味低下による工作物の寸法精度の低下を回避し得る
が、まだ使用可能な状態にある砥石でもドレッシングさ
れる場合が多いので、砥石の消費量増による生産コスト
増やドレッシング中の研削作業の停止に伴う稼働率の低
下により生産性の向上が望めない。

【０００９】従って、本発明の第１の目的は工作物を精
度良く研削することを可能ならしめる工作物の両頭平面
研削方法およびその両頭平面研削盤を提供することであ
り、また第２の目的は適切なドレッシング時期を知るこ
とにより、砥石の消費量の低減と稼働率の向上とを可能
ならしめる工作物の両頭平面研削方法およびその両頭平
面研削盤を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】発明者等は、各種砥石お
よび研削条件で加工物の両頭平面研削試験を行い、工作
物の板厚は、研削加工時間または研削加工個数によって
は決定することができず、また目詰まりによる砥石の切
れ味の低下に伴って加工物の研削加工量が急激に減少す
ることを知見した。さらに、十分な切れ味があるという
理由でドレッシングすることなく研削を継続すると、砥
石の磨耗状況説明図の図４に示すように、砥石が局所的
に磨耗、つまり砥石の研削面の外淵付近が大きく磨耗し
てだれてしまい、このような砥石をドレッシングにより
整形する場合には、正常な大部分を占める中央部分を除
去しなければならず、結果的に砥石の消耗量が増大する
ということを知見して、本発明をなしたものである。

【００１１】従って、本発明の請求項１に係る工作物の
両頭平面研削方法の要旨は、同一軸心を回転中心として
回転する対向配設されてなる砥石の間にキャリヤを通過
させて、このキャリヤに保持されている工作物の平行な
２面を研削する工作物の両頭平面研削方法において、前
記工作物の全体が前記砥石からでたときに、この工作物
の板厚を板厚測定器で測定することを特徴とする。

【００１２】また、本発明の請求項２に係る工作物の両
頭平面研削方法の要旨は、請求項１に記載の工作物の両
頭平面研削方法において、前記板厚測定器からの板厚デ
ータと、入力装置に入力されている目標板厚を含む設定
データとを研削盤制御装置に入力し、この研削盤制御装
置により前記板厚データと設定データとから工作物の切
込量を求めると共に、求めた切込量に基づいて前記砥石
の間隔を制御することを特徴とする。

【００１３】また、本発明の請求項３に係る工作物の両
頭平面研削方法の要旨は、所定間隔を隔てて配設され、
同一軸心を回転中心として回転する対向配設されてなる
複数段の砥石の間にキャリヤを通過させて、このキャリ
ヤに保持されている工作物の平行な２面を研削する工作
物の両頭平面研削方法において、前記工作物の全体が最
終段の砥石の前段の砥石からでたとき、または最終段の
砥石からでたときに、この工作物の板厚を板厚測定器で
測定することを特徴とする。

【００１４】また、本発明の請求項４に係る工作物の両
頭平面研削方法の要旨は、請求項３に記載の工作物の両
頭平面研削方法において、前記板厚測定器からの板厚デ
ータと、入力装置に入力されている目標板厚を含む設定
データとを研削盤制御装置に入力し、この研削盤制御装
置により前記板厚データと設定データとから工作物の切
込量を求めると共に、求めた切込量に基づいて前記最終
段の砥石および最終段の砥石の前段の砥石の間隔を制御
することを特徴とする。

【００１５】また、本発明の請求項５に係る工作物の両
頭平面研削方法の要旨は、請求項２または４に記載の工
作物の両頭平面研削方法において、前記板厚測定器から
の板厚データの増分値が砥石の種類と研削条件とにより
決定されるある特定のしきい値を越えるか、または砥石
の移動量合計が砥石の種類と研削条件とにより決定され
るある特定の他のしきい値を越えると、前記砥石をドレ
ッシングすることを特徴とする。

【００１６】また、本発明の請求項６に係る工作物の両
頭平面研削盤の構成は、所定間隔を隔てて配設され、同
一軸心を回転中心として回転する対向配設されてなる複
数段の砥石と、これら複数段の砥石の間に通され、長手
方向に工作物を保持する多数の工作物保持部を有する帯
状のキャリヤと、最終段の砥石の前段の砥石のキャリヤ
の出口側に配設され、この前段の砥石からでたときの工
作物の板厚を測定する板厚測定器と、この板厚測定器か
らの板厚データと、入力装置に入力されている目標板厚
を含む設定データとが入力され、これら板厚データと設
定データとから工作物の切込量を求めると共に、求めた
切込量に基づいて前記最終段の砥石および最終段の砥石
の前段の砥石の間隔を制御する研削盤制御装置とからな
ることを特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の工作物の両頭平面
研削方法を実現する実施の形態に係る両頭平面研削盤
を、２段の砥石（１段目の砥石が粗砥石であり、２段目
の砥石が仕上砥石である。）を持つ場合を例として、そ
の概略平面構成説明図の図１と、加工物の板厚測定から
砥石のドレッシング時期を決定するフロー図の図２とを
参照しながら説明する。

【００１８】先ず、両頭平面研削盤の構成を図１を参照
しながら説明すると、同図に示す符号１は、図示しない
キャリヤ移動機構によって、同図において右向きの矢印
８方向に移動され、長手方向に所定の間隔で加工物２が
掛合される複数のポケット部１ａを有する帯状金属から
なるキャリヤである。このキャリヤ１の同図の左側の一
方側にはポケット部１ａに順次加工物２を掛合させるロ
ーディング機構３が、また右側の他方側にはポケット部
１ａから研削加工終了後の加工物２を取外すアンロード
機構４が設けられている。なお、前記キャリヤ移動機構
としては、例えばキャリヤが巻回されてなる巻出しロー
ルと、巻出しロールに巻回されているキャリヤを巻取る
巻取りロールとからなる構成であっても良く、また駆動
輪と従動輪とに無端状に形成したキャリヤを掛装した構
成であっても良い。

【００１９】そして、前記ローディング機構３とアンロ
ード機構４との間のローディング機構３側寄りには、前
記キャリヤ１に掛合している加工物２の両面を粗研削す
る後述する構成になる粗研削機構１０が、またアンロー
ド機構４側寄りには、粗研削機構１０で粗研削された加
工物２の両面を仕上げ研削する後述する構成になる仕上
研削機構２０が配設されている。

【００２０】即ち、前記粗研削機構１０は、移動テーブ
ル１１の上部部分に配設され、砥石回転装置１３で回転
されてキャリヤ１に掛合している加工物２の一方の面を
粗研削する粗砥石１２と、同じく移動テーブル１１の上
部部分に配設され、砥石回転装置１５で回転されて加工
物２の他方の面を粗研削する粗砥石１４と、移動テーブ
ル１１に設けられ、後述する砥石間隔制御装置６で作動
が制御されることにより粗砥石１２と粗砥石１４との間
の間隔を調整する粗砥石作動装置１６とから構成されて
いる。

【００２１】また、前記仕上研削機構２０は、移動テー
ブル２１の上部部分に配設され、砥石回転装置２３で回
転されて粗研削機構１０の粗砥石１２で粗研削された加
工物２の一方の面を仕上げ研削する仕上砥石２２と、同
じく移動テーブル２１の上部部分に配設され、砥石回転
装置２５で回転されて粗研削機構１０の粗砥石１４で粗
研削された加工物２の他方の面を仕上げ研削する仕上砥
石２４と、移動テーブル２１に設けられ、後述する砥石
間隔制御装置６で作動が制御されることにより仕上砥石
２２と仕上砥石２４との間の間隔を調整する仕上砥石作
動装置２６とから構成されている。

【００２２】前記砥石間隔制御装置６は、粗砥石１２，
１４のキャリヤ１の出口側に配設され、この粗砥石１
２，１４からでたときの工作物２の板厚を測定するキャ
リヤ１を挟むように配設されてなる板厚測定器５，５′
から粗研削後の工作物２の板厚データが入力されると共
に、入力装置７に入力されている目標板厚を含む設定デ
ータが入力されると、これら板厚データと設定データと
から工作物２の切込量を求めると共に、求められた切込
量に基づいて前記粗砥石作動装置１６と仕上砥石作動装
置２６とに、前記粗砥石１２，１４と仕上砥石２２，２
４との間の間隔を調整するようにという板厚調整信号を
発するものである。ところで、板厚測定器５，５′を粗
砥石１２，１４のキャリヤ１の出口側に配設したのは、
工作物２の板厚が粗研削によりほぼ決定されるからであ
る。なお、前記板厚測定器５，５′としては、例えば差
動変位移型接触式変位計を用いることができる。なお、
静電容量型変位計等の非接触式測長器を用いれば、工作
物に傷が付かないという利点がある。しかしながら、工
作物の表面が研削加工に伴う研削液で濡れており、非接
触式測長器の出力が不安定になるので、接触式測定器の
方が好ましい。

【００２３】以下、上記両頭平面研削盤の作用態様を説
明すると、先ずローディング機構３の作動によりポケッ
ト１ａに工作物２が掛合されると共に、キャリヤ１の移
動により工作物２が粗研削機構１０の粗砥石１２，１４
の間に搬入される。両面が粗研削された工作物２が粗砥
石１２，１４からでると、粗研削された工作物２の板厚
が直ちに板厚測定器５，５′により測定され、板厚デー
タが砥石間隔制御装置６に入力される。この砥石間隔制
御装置６は、入力された板厚データと、入力装置７から
入力される目標板厚との差をなくするのに必要な工作物
２の切込量を求め、求めた切込量だけ粗砥石１２，１４
と仕上砥石２２，２４との間隔を狭めるようにという板
厚調整信号を粗砥石作動装置１６と仕上砥石作動装置２
６とに出力する。

【００２４】このように、砥石間隔制御装置６から板厚
調整信号が粗砥石作動装置１６と仕上砥石作動装置２６
とに出力されるので、例え粗研削機構１０による工作物
２の粗仕上寸法精度に問題があったとしても仕上研削機
構２０の仕上砥石２２，２４により精度を満足する板厚
に研削加工することができる。

【００２５】そして、本実施の形態に係る両頭平面研削
盤によれば、従来例のように、工作物の板厚の測定から
切込量の制御までの時間を短縮するために、工作物が砥
石から僅かにでた時点で厚み測定するのではなく、上記
のとおり、粗砥石１２，１４からでた直後の安定状態に
ある工作物２の板厚を測定するので、精度良く測定する
ことができる。また、板厚測定器が接触式であるために
工作物２の研削面に例え傷が発生したとしても、工作物
２は仕上研削機構２０の仕上砥石２２，２４による仕上
研削により傷が除去されるので、寸法精度が優れると共
に傷のない最終製品を得ることができる。

【００２６】以上では、粗砥石１２，１４と、仕上砥石
２２，２４との２段の砥石を有する両頭平面研削盤の例
を説明したが、例え１段の砥石を有する両頭平面研削盤
であっても、また３段以上の砥石を有する両頭平面研削
盤であっても本発明の技術的思想を適用することができ
る。即ち、１段の砥石を有する両頭平面研削盤ではその
１段の砥石のキャリヤ１の出口側に、また３段以上の砥
石を有する両頭平面研削盤では最終段の砥石の前段の砥
石のキャリヤの出口側にそれぞれ板厚測定器を配設すれ
ば良いものである。

【００２７】なお、１段の砥石を有する両頭平面研削盤
の場合には、板厚測定器の接触により工作物２の研削面
に傷が発生することがあるが、工作物２の板厚の測定精
度の向上に寄与することができる。また、３段以上の砥
石を有する両頭平面研削盤では最終段の砥石のキャリヤ
の出口側に板厚測定器を配設する場合には、上記と同様
に、板厚測定器の接触により工作物２の研削面に傷が発
生することがあるが、工作物２の板厚の測定精度の向上
に寄与することができる。

【００２８】次に、図２を参照しながら、加工物２の板
厚測定から砥石のドレッシング時期を決定するフローを
説明すると、先ず第１ステップにおいて、工作物２の板
厚測定が板厚測定器５，５′により行われ、この板厚測
定器５，５′により測定された工作物２の板厚データが
砥石間隔制御装置６に入力されてステップ２に進む。

【００２９】第２ステップにおいて、砥石間隔制御装置
６により、板厚測定器５，５′から入力された板厚デー
タの板厚値と、入力装置７から予め入力されている目標
板厚との差の増分値が求められてステップ３に進む。

【００３０】第３ステップにおいて、前記増分値が、入
力装置７から砥石間隔制御装置６に予め入力されている
実験で求められたある特定のしきい値である目詰まり限
界値と比較され、この増分値が目詰まり限界値より大き
いＹｅｓの場合には砥石が目詰まりしていると判定さ
れ、粗砥石１２，１４がドレッシングされる。一方、増
分値が目詰まり限界値より小さいＮｏの場合には、砥石
が目詰まりしていないと判定され、工作物２の研削加工
がそのまま続行されて第４ステップに進む。

【００３１】第４ステップにおいて、板厚測定器５，
５′により測定される板厚データを基に砥石が移動され
て砥石間隔が調整されるが、調整による砥石の移動量合
計が、予め実験により求められたある特定の他のしきい
値である砥石磨耗限界値より大きいＹｅｓの場合には砥
石が十分磨耗しているので、加工物２の寸法精度が確保
できなくなると判断され、粗砥石１２，１４がドレッサ
ーによりドレッシングされる。一方、砥石の移動量合計
が砥石磨耗限界値より小さいＮｏの場合には、そのまま
加工物２の研削加工が続行され、ステップ１に戻り、以
後同様のフローが繰り返される。なお、仕上砥石２２，
２４のドレッシングは、装置停止時間を短縮する観点お
よび寸法精度に対する影響が比較的少ないので、粗砥石
１２，１４と同時に行うのが好ましい。

【００３２】これにより、切れ味の回復を目的とする砥
石のドレッシング時期が確実に決定され、予め設定した
研削加工時間を経過または予め設定した数の加工物を研
削する毎にドレッシングを行う従来例のように、まだ使
用可能な状態にある砥石をドレッシングするようなこと
がなくなる。従って、砥石の消費量減による加工物の生
産コストの低減が可能になると共に、ドレッシング作業
頻度の低下による両頭平面研削盤の稼働率の向上が可能
になるので、工作物２の生産性が向上する。

【００３３】

【実施例】以下、上記実施の形態に係る両頭平面研削盤
により、外径６５ｍｍ、初期板厚０．６８ｍｍの工作物
２であるアルミニウム基板を４０ｍｍ／ｓの速度で、周
速１０００ｍ／ｍｉｎで回転している粗砥石１２，１４
と仕上砥石２２，２４との間にキャリヤ１と共に送込ん
で、後述する条件下で、粗砥石１２，１４により板厚
０．６３ｍｍに粗研削すると共に、仕上砥石２２，２４
によって粗研削したアルミニウム基板を０．６２ｍｍに
仕上研削した例を説明する。他の条件は下記のとおりで
ある。

【００３４】 粗砥石１２，１４としてはＧＣ＃６０
０ＰＶＡボンド砥石を用い、また仕上砥石２２，２４と
してはＧＣ＃３０００ＰＶＡボンド砥石を用いた。 研削液はソリュブルタイプのものを用いた。 板厚測定器５，５′としては一対の接触式変位計を
用い、板厚データを増幅器を介して砥石間隔制御装置６
に入力した。 砥石のドレッシングにはダイヤモンド単石型ドレッ
サーを用いた。 実験により求めた砥石の目詰まり限界値は０．３μ
ｍとし、砥石磨耗限界値は２００μｍとした。なお、
０．３μｍという限界値は、砥石の研削能力が低下し、
工作物２その表面の残留応力が大きくなると共に、平坦
度が極端に悪化するということから決定したものであ
る。また、２００μｍという砥石磨耗限界値は、前述の
とおり、砥石が局所的に磨耗し、ドレッシングにより整
形する場合には、正常な大部分を占める中央部分を除去
しなければならなくなり、結果的に砥石の消耗量が増大
するということから決定したものである。

【００３５】上記条件により、１万枚のアルミニウム基
板を連続研削加工し、仕上研削加工後のアルミニウム基
板１０枚毎に１枚ずつマイクロメータで板厚を測定した
ところ、アルミニウム基板の板厚のばらつきは±２μｍ
以下であり、アルミニウム基板の寸法精度が極めて良好
であることが判った。なお、１万枚のアルミニウム基板
を研削加工する間の砥石のドレッシング回数は、従来例
によれば１０回であったが、高々４回であった。

【００３６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、従
来例のように、工作物が砥石から僅かにでた時点で厚み
測定するのではなく、砥石からでた直後の安定状態にあ
る工作物の板厚を測定するので、工作物を精度良く測定
することができる。また、板厚測定器で測定される板厚
の増分値がある特定のしきい値より大きいときに砥石が
目詰まりしていると判定される一方、調整による砥石の
移動量合計がある特定の他のしきい値より大きいときは
砥石が十分磨耗していてドレッシングが必要であると判
断される。従って、必要な時期に確実に砥石をドレッシ
ングすることができ、予め設定した研削加工時間を経過
または予め設定した数の加工物を研削する毎にドレッシ
ングを行う従来例のように、まだ使用可能な状態にある
砥石をドレッシングするようなことがなくなるので、砥
石の消費量減による生産コストの低減と、ドレッシング
作業頻度の低下による稼働率の向上とが可能になり、工
作物の生産性が向上するという極めて優れた効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の工作物の両頭平面研削方法を実現する
実施の形態に係る両頭平面研削盤の概略平面構成説明図
である。

【図２】加工物の板厚測定から砥石のドレッシング時期
を決定するフロー図である。

【図３】従来例に係り、図３（ａ）は砥石の接線方向か
らみた説明図、図３（ｂ）および図３（ｃ）は軸線に対
して垂直方向から見た説明図である。

【図４】砥石の磨耗状況説明図である。

【符号の説明】

１…キャリヤ，１ａ…ポケット部，２…工作物，３…ロ
ーディング機構，４…アンロード機構，５，５′…板厚
測定器，６…砥石間隔制御装置，７…入力装置，８…キ
ャリヤの移動方向を示す矢印 １０…粗研削機構，１１…移動テーブル，１２…粗砥
石，１３…砥石回転装置，１４…粗砥石，１５…砥石回
転装置，１６…粗砥石作動装置 ２０…仕上研削機構，２１…移動テーブル，２２…仕上
砥石，２３…砥石回転装置，２４…仕上砥石，２５…砥
石回転装置，２６…仕上砥石作動装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同一軸心を回転中心として回転する対向
   配設されてなる砥石の間にキャリヤを通過させて、この
   キャリヤに保持されている工作物の平行な２面を研削す
   る工作物の両頭平面研削方法において、前記工作物の全
   体が前記砥石からでたときに、この工作物の板厚を板厚
   測定器で測定することを特徴とする工作物の両頭平面研
   削方法。
2. 【請求項２】 前記板厚測定器からの板厚データと、入
   力装置に入力されている目標板厚を含む設定データとを
   研削盤制御装置に入力し、この研削盤制御装置により前
   記板厚データと設定データとから工作物の切込量を求め
   ると共に、求めた切込量に基づいて前記砥石の間隔を制
   御することを特徴とする請求項１に記載の工作物の両頭
   平面研削方法。
3. 【請求項３】 所定間隔を隔てて配設され、同一軸心を
   回転中心として回転する対向配設されてなる複数段の砥
   石の間にキャリヤを通過させて、このキャリヤに保持さ
   れている工作物の平行な２面を研削する工作物の両頭平
   面研削方法において、前記工作物の全体が最終段の砥石
   の前段の砥石からでたとき、または最終段の砥石からで
   たときに、この工作物の板厚を板厚測定器で測定するこ
   とを特徴とする工作物の両頭平面研削方法。
4. 【請求項４】 前記板厚測定器からの板厚データと、入
   力装置に入力されている目標板厚を含む設定データとを
   研削盤制御装置に入力し、この研削盤制御装置により前
   記板厚データと設定データとから工作物の切込量を求め
   ると共に、求めた切込量に基づいて前記最終段の砥石お
   よび最終段の砥石の前段の砥石の間隔を制御することを
   特徴とする請求項３に記載の工作物の両頭平面研削方
   法。
5. 【請求項５】 前記板厚測定器からの板厚データの増分
   値が砥石の種類と研削条件とにより決定されるある特定
   のしきい値を越えるか、または砥石の移動量合計が砥石
   の種類と研削条件とにより決定されるある特定の他のし
   きい値を越えると、前記砥石をドレッシングすることを
   特徴とする請求項２または４に記載の工作物の両頭平面
   研削方法。
6. 【請求項６】 所定間隔を隔てて配設され、同一軸心を
   回転中心として回転する対向配設されてなる複数段の砥
   石と、これら複数段の砥石の間に通され、長手方向に工
   作物を保持する多数の工作物保持部を有する帯状のキャ
   リヤと、最終段の砥石の前段の砥石のキャリヤの出口側
   に配設され、この前段の砥石からでたときの工作物の板
   厚を測定する板厚測定器と、この板厚測定器からの板厚
   データと、入力装置に入力されている目標板厚を含む設
   定データとが入力され、これら板厚データと設定データ
   とから工作物の切込量を求めると共に、求めた切込量に
   基づいて前記最終段の砥石および最終段の砥石の前段の
   砥石の間隔を制御する研削盤制御装置とからなることを
   特徴とする工作物の両頭平面研削盤。