JPH09270663A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH09270663A JPH09270663A JP13902696A JP13902696A JPH09270663A JP H09270663 A JPH09270663 A JP H09270663A JP 13902696 A JP13902696 A JP 13902696A JP 13902696 A JP13902696 A JP 13902696A JP H09270663 A JPH09270663 A JP H09270663A
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- Japan
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- resonators
- acoustic wave
- surface acoustic
- comb
- piezoelectric substrate
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好なフィルタ特性を得るとともに、小型化
を達成した弾性表面装置の提供。 【解決手段】 並列共振子９および直列共振子８、なら
びに両者共振子８、９に接続された信号線１０とを圧電
基板７上に配設し、両者共振子８、９の櫛形電極のそれ
ぞれの交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるように、
両者共振子８、９を配置するとともに、双方の共振子
８、９間を漏洩表面波の波長の１０倍以上になるように
りた弾性表面波装置６。
を達成した弾性表面装置の提供。 【解決手段】 並列共振子９および直列共振子８、なら
びに両者共振子８、９に接続された信号線１０とを圧電
基板７上に配設し、両者共振子８、９の櫛形電極のそれ
ぞれの交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるように、
両者共振子８、９を配置するとともに、双方の共振子
８、９間を漏洩表面波の波長の１０倍以上になるように
りた弾性表面波装置６。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は自動車電話および携
帯電話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面
波共振子から成る弾性表面波装置に関するものである。
帯電話などの小型移動体無線機器に搭載される弾性表面
波共振子から成る弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、ＴＶ，ＶＴＲ，移動体通信などに
は、弾性表面装置が多く使用されており、この弾性表面
装置として圧電基板上に櫛形電極が形成され、その櫛形
電極でもって電気信号を弾性表面波に変換させるラダー
型回路の装置が提案されている（特開平６−１３８３７
号参照）。
は、弾性表面装置が多く使用されており、この弾性表面
装置として圧電基板上に櫛形電極が形成され、その櫛形
電極でもって電気信号を弾性表面波に変換させるラダー
型回路の装置が提案されている（特開平６−１３８３７
号参照）。
【０００３】図７により上記弾性表面装置１を示すと、
２は圧電基板、３，４はそれぞれ圧電基板２上に配置さ
れた直列共振子，並列共振子であって、双方の共振子
３，４ともに櫛形電極と、この櫛形電極を挟む一対の反
射器電極とから成っている。また、各共振子３、４には
信号線５が接続されている。
２は圧電基板、３，４はそれぞれ圧電基板２上に配置さ
れた直列共振子，並列共振子であって、双方の共振子
３，４ともに櫛形電極と、この櫛形電極を挟む一対の反
射器電極とから成っている。また、各共振子３、４には
信号線５が接続されている。
【０００４】また、この弾性表面装置１によれば、直列
共振子３と並列共振子４の双方の櫛形電極のそれぞれの
交差幅が弾性表面波（漏洩表面波）の伝搬方向で重なら
ないように、両者共振子３、４を配置し、これにより、
両者の共振子３、４の弾性表面波の干渉による帯域外減
衰量が劣化しないようにしている。
共振子３と並列共振子４の双方の櫛形電極のそれぞれの
交差幅が弾性表面波（漏洩表面波）の伝搬方向で重なら
ないように、両者共振子３、４を配置し、これにより、
両者の共振子３、４の弾性表面波の干渉による帯域外減
衰量が劣化しないようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の弾性表面装置１においては、複数個の直列共振子３
を配列し、個々の直列共振子３間に並列共振子４を配し
ているので、信号線５の占める面積が広くなり、さらに
信号線５を引き回しているので、圧電基板２が大きくな
るという問題点があった。さらに、このように共振子ど
うしが近接している場合には共振子間の相互作用が大き
く、通過帯域内でリップル（最大挿入損失−最小挿入損
失）が大きくなるといった問題がある。
成の弾性表面装置１においては、複数個の直列共振子３
を配列し、個々の直列共振子３間に並列共振子４を配し
ているので、信号線５の占める面積が広くなり、さらに
信号線５を引き回しているので、圧電基板２が大きくな
るという問題点があった。さらに、このように共振子ど
うしが近接している場合には共振子間の相互作用が大き
く、通過帯域内でリップル（最大挿入損失−最小挿入損
失）が大きくなるといった問題がある。
【０００６】したがって本発明の目的は、叙上の問題点
を解決し、良好なフィルタ特性を得るとともに、圧電基
板を小さくして、小型化を達成した弾性表面装置を提供
することにある。
を解決し、良好なフィルタ特性を得るとともに、圧電基
板を小さくして、小型化を達成した弾性表面装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、少なくとも櫛形電極から成る並列共振子および直列
共振子、ならびに両者共振子に接続された信号線とを圧
電基板上に配設した弾性表面波装置であって、両者共振
子の各櫛形電極の交差幅が漏洩表面波（リーキー波）の
伝搬方向で重なるように、両者共振子を配置するととも
に、両者共振子間の距離を漏洩表面波の波長の１０倍以
上の長さとした。ここで、両者共振子間は信号線や電極
等を設けない信号線等非形成部としている。なお、各共
振子は例えば櫛形電極と櫛形電極を挟む一対の反射器電
極とから成るものであってもよい。
は、少なくとも櫛形電極から成る並列共振子および直列
共振子、ならびに両者共振子に接続された信号線とを圧
電基板上に配設した弾性表面波装置であって、両者共振
子の各櫛形電極の交差幅が漏洩表面波（リーキー波）の
伝搬方向で重なるように、両者共振子を配置するととも
に、両者共振子間の距離を漏洩表面波の波長の１０倍以
上の長さとした。ここで、両者共振子間は信号線や電極
等を設けない信号線等非形成部としている。なお、各共
振子は例えば櫛形電極と櫛形電極を挟む一対の反射器電
極とから成るものであってもよい。
【０００８】また、上記圧電基板は単結晶のタンタル酸
リチウム（特に、３６°回転Ｙカット−Ｘ伝搬）もしく
はニオブ酸リチウム（特に、４１°回転Ｙカット−Ｘ伝
搬）から成ることを特徴とする。
リチウム（特に、３６°回転Ｙカット−Ｘ伝搬）もしく
はニオブ酸リチウム（特に、４１°回転Ｙカット−Ｘ伝
搬）から成ることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態である弾
性表面装置６を模式的に示した図１の共振子配置図によ
り説明する。同図において、７は例えば３６°回転Ｙカ
ット−Ｘ伝搬のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）や
４１°回転Ｙカット−Ｘ伝搬のニオブ酸リチウム（Ｌｉ
ＮｂＯ3 ）等の単結晶から成る圧電基板である。この圧
電基板７上にアルミニウム（Ａｌ）等の金属膜でもって
リフトオフ法などによって櫛形電極と、この櫛形電極を
挟む一対の反射器電極とから成る弾性表面波素子をいわ
ゆるラダー型に配線している。
性表面装置６を模式的に示した図１の共振子配置図によ
り説明する。同図において、７は例えば３６°回転Ｙカ
ット−Ｘ伝搬のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3 ）や
４１°回転Ｙカット−Ｘ伝搬のニオブ酸リチウム（Ｌｉ
ＮｂＯ3 ）等の単結晶から成る圧電基板である。この圧
電基板７上にアルミニウム（Ａｌ）等の金属膜でもって
リフトオフ法などによって櫛形電極と、この櫛形電極を
挟む一対の反射器電極とから成る弾性表面波素子をいわ
ゆるラダー型に配線している。
【００１０】そして、このラダー型の段数については、
櫛形電極を直列に接続した直列共振子８が３個でもっ
て、櫛形電極を並列に接続した並列共振子９が２個でも
って配された２．５段接続を成している。また、各共振
子８、９には信号線１０がそれぞれ接続されている。な
お、各共振子は必ずしも反射器を備えている必要はな
い。
櫛形電極を直列に接続した直列共振子８が３個でもっ
て、櫛形電極を並列に接続した並列共振子９が２個でも
って配された２．５段接続を成している。また、各共振
子８、９には信号線１０がそれぞれ接続されている。な
お、各共振子は必ずしも反射器を備えている必要はな
い。
【００１１】また、両者共振子８，９の配置関係につい
ては、双方の共振子８，９の櫛形電極のそれぞれの交差
幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるようにしている。こ
こで、各交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるという
意味について説明する。各交差幅が漏洩表面波の伝搬方
向で重なっていない場合は、図２（ａ）に示すように、
直列共振子１８の櫛形電極の交差幅Ｗ１が、並列共振子
１９の櫛形電極の交差幅Ｗ２と漏洩表面波の伝搬方向に
直交する方向で離れている場合、すなわち、漏洩表面波
の伝搬方向に直交する方向の距離Ｘが正となる場合をい
うものとする。一方、各交差幅が漏洩表面波の伝搬方向
で重なっている場合、図２（ｂ）に示すように、直列共
振子１８の櫛形電極の交差幅Ｗ１が、並列共振子１９の
櫛形電極の交差幅Ｗ２と漏洩表面波の伝搬方向に直交す
る方向に互いに接近している（図２（ａ）の距離Ｘは負
となる）場合をいうものとする。
ては、双方の共振子８，９の櫛形電極のそれぞれの交差
幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるようにしている。こ
こで、各交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるという
意味について説明する。各交差幅が漏洩表面波の伝搬方
向で重なっていない場合は、図２（ａ）に示すように、
直列共振子１８の櫛形電極の交差幅Ｗ１が、並列共振子
１９の櫛形電極の交差幅Ｗ２と漏洩表面波の伝搬方向に
直交する方向で離れている場合、すなわち、漏洩表面波
の伝搬方向に直交する方向の距離Ｘが正となる場合をい
うものとする。一方、各交差幅が漏洩表面波の伝搬方向
で重なっている場合、図２（ｂ）に示すように、直列共
振子１８の櫛形電極の交差幅Ｗ１が、並列共振子１９の
櫛形電極の交差幅Ｗ２と漏洩表面波の伝搬方向に直交す
る方向に互いに接近している（図２（ａ）の距離Ｘは負
となる）場合をいうものとする。
【００１２】さらに、直列共振子８と並列共振子９との
間（図２（ｂ）では長さＳ）には、漏洩表面波の波長
（λ）の１０倍（１０λ）以上になるように、信号線や
電極等を設けない信号線等非形成部１１を設けている。
ここで、１０λ以上の信号線等非形成部１１を設ける理
由は、図３に示すように、図１における共振子間の距離
を種々に変えて、その通過帯域内のリップル（最大挿入
損失−最小挿入損失）について測定したところ、共振子
間の距離を１０λ以上とすると、２．５ｄＢ以下とな
り、弾性表面波フィルタの設計及び製造プロセスによっ
て決定される通過帯域内の最小挿入損失（約１ｄＢ）
と、通過帯域内のリップルの合計である最大挿入損失
が、弾性表面波フィルタに求められる特性の３．５ｄＢ
以下を満足するからである。
間（図２（ｂ）では長さＳ）には、漏洩表面波の波長
（λ）の１０倍（１０λ）以上になるように、信号線や
電極等を設けない信号線等非形成部１１を設けている。
ここで、１０λ以上の信号線等非形成部１１を設ける理
由は、図３に示すように、図１における共振子間の距離
を種々に変えて、その通過帯域内のリップル（最大挿入
損失−最小挿入損失）について測定したところ、共振子
間の距離を１０λ以上とすると、２．５ｄＢ以下とな
り、弾性表面波フィルタの設計及び製造プロセスによっ
て決定される通過帯域内の最小挿入損失（約１ｄＢ）
と、通過帯域内のリップルの合計である最大挿入損失
が、弾性表面波フィルタに求められる特性の３．５ｄＢ
以下を満足するからである。
【００１３】かくして、上記構成の弾性表面装置６によ
れば、双方の共振子８、９の櫛形電極のそれぞれの交差
幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるようにしているの
で、各共振子８、９が近づき、これによって圧電基板７
が小さくなり、弾性表面装置６を小型化を図ることがで
き、さらに弾性表面波装置の設計も簡便に行うことが可
能となる。
れば、双方の共振子８、９の櫛形電極のそれぞれの交差
幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるようにしているの
で、各共振子８、９が近づき、これによって圧電基板７
が小さくなり、弾性表面装置６を小型化を図ることがで
き、さらに弾性表面波装置の設計も簡便に行うことが可
能となる。
【００１４】しかも、両者の共振子８、９間に１０λ以
上の間隔の信号線等非形成部１１を設けているので、双
方の共振子８、９の漏洩弾性波が相互に干渉しなくな
り、その結果、良好なフィルタ特性が得られる。
上の間隔の信号線等非形成部１１を設けているので、双
方の共振子８、９の漏洩弾性波が相互に干渉しなくな
り、その結果、良好なフィルタ特性が得られる。
【００１５】
【実施例】次に具体的な実施例について説明する。上記
弾性表面装置６について、直列共振子８の周期を４．４
μｍ、並列共振子９の周期を４．６μｍとして、さらに
信号線等非形成部１１の間隔Ｓを２０λとし、反射器電
極の本数を５０本、Ａｌ電極膜の厚みを５０００Åとし
た。
弾性表面装置６について、直列共振子８の周期を４．４
μｍ、並列共振子９の周期を４．６μｍとして、さらに
信号線等非形成部１１の間隔Ｓを２０λとし、反射器電
極の本数を５０本、Ａｌ電極膜の厚みを５０００Åとし
た。
【００１６】このＡｌ電極は以下のように成膜形成し
た。まず、３６°回転Ｙカット−Ｘ伝搬の単結晶ＬｉＴ
ａＯ3 から成り、厚さ０．５〜１mm程度の基板を用意
し、この基板の表面を鏡面研磨して圧電基板７とする。
この圧電基板７上に、図４（ａ）に示すように、ノボラ
ック樹脂系のフォトレジスト１２をスピンコート法によ
り所定厚さ（約１．５μm ）に塗布し、図４（ｂ）に示
すように、フォトリソグラフィ法によってレジストパタ
ーン１３を形成し、次いで図４（ｃ）に示すように、電
子ビーム蒸着法によりＡｌ薄膜１４を上記レジストパタ
ーン１３上に成膜し、図４（ｄ）に示すように、レジス
ト溶剤により不要部分を剥離する、いわゆるリフトオフ
法により所要とおりのＡｌ電極パターン１５を形成し
た。
た。まず、３６°回転Ｙカット−Ｘ伝搬の単結晶ＬｉＴ
ａＯ3 から成り、厚さ０．５〜１mm程度の基板を用意
し、この基板の表面を鏡面研磨して圧電基板７とする。
この圧電基板７上に、図４（ａ）に示すように、ノボラ
ック樹脂系のフォトレジスト１２をスピンコート法によ
り所定厚さ（約１．５μm ）に塗布し、図４（ｂ）に示
すように、フォトリソグラフィ法によってレジストパタ
ーン１３を形成し、次いで図４（ｃ）に示すように、電
子ビーム蒸着法によりＡｌ薄膜１４を上記レジストパタ
ーン１３上に成膜し、図４（ｄ）に示すように、レジス
ト溶剤により不要部分を剥離する、いわゆるリフトオフ
法により所要とおりのＡｌ電極パターン１５を形成し
た。
【００１７】かくして、従来の弾性表面装置１の圧電基
板２の寸法（素子面積）が１．７×２．５ｍｍであるの
に対して、本発明の弾性表面装置６の圧電基板７の寸法
（素子面積）は１．７×１．３ｍｍと、約１／２程度に
まで小型化できた。
板２の寸法（素子面積）が１．７×２．５ｍｍであるの
に対して、本発明の弾性表面装置６の圧電基板７の寸法
（素子面積）は１．７×１．３ｍｍと、約１／２程度に
まで小型化できた。
【００１８】次に、本発明の弾性表面装置６と従来の弾
性表面装置１とのフィルタ素子としての周波数特性を測
定したところ、本発明では図５に示すような結果が、従
来のものでは図６に示すような結果が得られた。いずれ
の図も、横軸は周波数が６６０〜１１００μＨｚのスパ
ンであり、縦軸は挿入損失である。
性表面装置１とのフィルタ素子としての周波数特性を測
定したところ、本発明では図５に示すような結果が、従
来のものでは図６に示すような結果が得られた。いずれ
の図も、横軸は周波数が６６０〜１１００μＨｚのスパ
ンであり、縦軸は挿入損失である。
【００１９】これらの図から明らかなように、従来構造
の弾性表面波装置では通過帯域内でリップルが発生する
など特性変化が生じる。一方、本発明では通過帯域内で
の挿入損失が少なくリップルの小さい良好な特性が得ら
れた。
の弾性表面波装置では通過帯域内でリップルが発生する
など特性変化が生じる。一方、本発明では通過帯域内で
の挿入損失が少なくリップルの小さい良好な特性が得ら
れた。
【００２０】なお、これらの測定については、まず弾性
表面波素子をＳＭＤ（Surface Mounted Device) パッケ
ージ内に実装し、測定治具にて、そのパッケージを固定
し、ついで同軸ケーブルでもってネットワークアナライ
ザ（ＨＰ８７５３Ｃ）に接続することでおこなった。そ
して、ネットワークアナライザでは、フィルタ特性のひ
とつであるＳ21（伝送特性）を測定した。
表面波素子をＳＭＤ（Surface Mounted Device) パッケ
ージ内に実装し、測定治具にて、そのパッケージを固定
し、ついで同軸ケーブルでもってネットワークアナライ
ザ（ＨＰ８７５３Ｃ）に接続することでおこなった。そ
して、ネットワークアナライザでは、フィルタ特性のひ
とつであるＳ21（伝送特性）を測定した。
【００２１】本発明は上記実施形態に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の変
更や改良などを何ら差し支えない。たとえば本実施例で
は圧電基板７として３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ3 を使用し
たが、そのほかに圧電性を有する４１°回転Ｙカット−
Ｘ伝搬のニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）基板を用い
ても良好なフィルタ特性が得られ、さらに圧電基板を小
さくして、小型化できた。
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の変
更や改良などを何ら差し支えない。たとえば本実施例で
は圧電基板７として３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ3 を使用し
たが、そのほかに圧電性を有する４１°回転Ｙカット−
Ｘ伝搬のニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）基板を用い
ても良好なフィルタ特性が得られ、さらに圧電基板を小
さくして、小型化できた。
【００２２】また、本発明は上記弾性表面波フィルタ以
外に、例えば弾性表面波共振子、弾性表面波遅延線、弾
性表面波コンボルバ、弾性表面波デュプレクサ等の各種
弾性表面波装置に適用が可能である。
外に、例えば弾性表面波共振子、弾性表面波遅延線、弾
性表面波コンボルバ、弾性表面波デュプレクサ等の各種
弾性表面波装置に適用が可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の弾性表面波装置
によれば、並列共振子および直列共振子の櫛形電極のそ
れぞれの交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるように
して、各共振子を近接させ、しかも、両者の共振子間を
１０λ以上の間隔としたので、装置の小型化が実現され
るだけでなく、両者共振子の漏洩表面波が相互に干渉し
なくなり、その結果、非常に良好なフィルタ特性を有す
る優れた弾性表面装置を提供できる。
によれば、並列共振子および直列共振子の櫛形電極のそ
れぞれの交差幅が漏洩表面波の伝搬方向で重なるように
して、各共振子を近接させ、しかも、両者の共振子間を
１０λ以上の間隔としたので、装置の小型化が実現され
るだけでなく、両者共振子の漏洩表面波が相互に干渉し
なくなり、その結果、非常に良好なフィルタ特性を有す
る優れた弾性表面装置を提供できる。
【００２４】特に、３６°Ｙ−ＸのＬｉＴａＯ3 もしく
は４１°Ｙ−ＸのＬｉＮｂＯ3 基板を弾性表面波装置の
圧電基板として採用すれば、これら圧電基板は弾性表面
波が漏洩表面波以外のモードである他の基板に比して両
者の共振子間において弾性表面波の減衰が大きく、きわ
めて良好な弾性表面波装置を提供できることになる。
は４１°Ｙ−ＸのＬｉＮｂＯ3 基板を弾性表面波装置の
圧電基板として採用すれば、これら圧電基板は弾性表面
波が漏洩表面波以外のモードである他の基板に比して両
者の共振子間において弾性表面波の減衰が大きく、きわ
めて良好な弾性表面波装置を提供できることになる。
【００２５】さらに、共振子間の幅に対する共振子間の
信号線や電極の非形成部の幅の比を大きくすることによ
り、同じ特性の場合に共振子間の幅を狭くすることが可
能となり、弾性表面波装置のチップ面積の小型化を図る
ことができる。
信号線や電極の非形成部の幅の比を大きくすることによ
り、同じ特性の場合に共振子間の幅を狭くすることが可
能となり、弾性表面波装置のチップ面積の小型化を図る
ことができる。
【図１】本発明の弾性表面装置を模式的に図示した共振
子配置図である。
子配置図である。
【図２】共振子間の態様を説明する共振子配置図であ
る。
る。
【図３】（ａ）〜（ｂ）はそれぞれ共振子間距離とリッ
プルとの関係を説明する線図である。
プルとの関係を説明する線図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の弾性表面装
置の製造工程を説明する断面図である。
置の製造工程を説明する断面図である。
【図５】本発明の弾性表面装置の周波数特性を表す線図
である。
である。
【図６】従来の弾性表面装置の周波数特性を表す線図で
ある。
ある。
【図７】従来の弾性表面装置を模式的に図示した共振子
配置図である。
配置図である。
６ ・・・ 弾性表面装置 ７ ・・・ 圧電基板 ８ ・・・ 直列共振子 ９ ・・・ 並列共振子 １０ ・・・ 信号線 １１ ・・・ 信号線等非形成部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 幹 京都府相楽郡精華町光台３丁目５番地 京 セラ株式会社中央研究所内 (72)発明者 加賀井 恵美 京都府相楽郡精華町光台３丁目５番地 京 セラ株式会社中央研究所内 (72)発明者 船見 雅之 京都府相楽郡精華町光台３丁目５番地 京 セラ株式会社中央研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板上に櫛形電極から成る並列共振
子および直列共振子、ならびに両者共振子に接続された
信号線を配設して成る弾性表面波装置であって、前記並
列共振子および直列共振子の各櫛形電極の交差幅を漏洩
表面波の伝搬方向で重ねるとともに、両者共振子間の距
離を漏洩表面波の波長の１０倍以上の長さとしたことを
特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 前記圧電基板は単結晶のタンタル酸リチ
ウムもしくはニオブ酸リチウムから成ることを特徴とす
る請求項１に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13902696A JPH09270663A (ja) | 1996-01-29 | 1996-05-31 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1285796 | 1996-01-29 | ||
| JP8-12857 | 1996-01-29 | ||
| JP13902696A JPH09270663A (ja) | 1996-01-29 | 1996-05-31 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270663A true JPH09270663A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=26348541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13902696A Pending JPH09270663A (ja) | 1996-01-29 | 1996-05-31 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09270663A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7501917B2 (en) | 2003-11-21 | 2009-03-10 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter |
| US7990234B2 (en) * | 2007-09-28 | 2011-08-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Elastic wave filter |
-
1996
- 1996-05-31 JP JP13902696A patent/JPH09270663A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7501917B2 (en) | 2003-11-21 | 2009-03-10 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave filter |
| US7990234B2 (en) * | 2007-09-28 | 2011-08-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Elastic wave filter |
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