JPH09263482A - シリコン単結晶引上げ用炭素繊維強化炭素ルツボ - Google Patents
シリコン単結晶引上げ用炭素繊維強化炭素ルツボInfo
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- JPH09263482A JPH09263482A JP9741596A JP9741596A JPH09263482A JP H09263482 A JPH09263482 A JP H09263482A JP 9741596 A JP9741596 A JP 9741596A JP 9741596 A JP9741596 A JP 9741596A JP H09263482 A JPH09263482 A JP H09263482A
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- silicon single
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 シリコン単結晶引上げ用のルツボにつ
き、全体が炭素繊維強化炭素で構成され生産性、強度、
化学反応に対する耐消耗性等において優れたルツボを提
供する。 【解決手段】 シリコン単結晶引上げ用の炭素繊維強化
炭素（以下Ｃ／Ｃ）製ルツボにつき、ルツボ内側をフェ
ルト又はクロス製のＣ／Ｃで構成し、外側をフィラメン
トワインディング成形によるＣ／Ｃで構成したもの。ま
た同様のＣ／Ｃルツボにおいて直胴部のＣ／ＣとＲ部と
底が一体となった底部Ｃ／Ｃとから構成してなるシリコ
ン単結晶引上げ用ルツボ。
き、全体が炭素繊維強化炭素で構成され生産性、強度、
化学反応に対する耐消耗性等において優れたルツボを提
供する。 【解決手段】 シリコン単結晶引上げ用の炭素繊維強化
炭素（以下Ｃ／Ｃ）製ルツボにつき、ルツボ内側をフェ
ルト又はクロス製のＣ／Ｃで構成し、外側をフィラメン
トワインディング成形によるＣ／Ｃで構成したもの。ま
た同様のＣ／Ｃルツボにおいて直胴部のＣ／ＣとＲ部と
底が一体となった底部Ｃ／Ｃとから構成してなるシリコ
ン単結晶引上げ用ルツボ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は炭素繊維強化炭素材（以
下Ｃ／Ｃという）のシリコン単結晶引上用ルツボに関す
る。
下Ｃ／Ｃという）のシリコン単結晶引上用ルツボに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来よりチョクラルスキー法（以下ＣＺ
法）による半導体のシリコン単結晶製造用のルツボとし
て黒鉛製ルツボが主に使用されていた。この黒鉛ルツボ
は内部に石英ルツボを収容して使用するが、黒鉛材と黒
鉛材の表面部に生成したＳｉＣとの熱膨張率の差により
黒鉛ルツボが変形、破損するなどの問題があった。近
年、ウエハーの大型化に伴い使用されるルツボも大型に
なり、黒鉛材の製造条件の制約があり、直径８″ウエハ
ーまでは現状で対応できても、１２″ウエハーさらに直
径１６″ウエハ−の時代には、直径３６″、４８″の黒
鉛ルツボ材が必要となり、ブロック材からの切削加工の
為、コスト面でデメリットが増える。この場合、高品位
な等方性黒鉛材の製造は困難となる。
法）による半導体のシリコン単結晶製造用のルツボとし
て黒鉛製ルツボが主に使用されていた。この黒鉛ルツボ
は内部に石英ルツボを収容して使用するが、黒鉛材と黒
鉛材の表面部に生成したＳｉＣとの熱膨張率の差により
黒鉛ルツボが変形、破損するなどの問題があった。近
年、ウエハーの大型化に伴い使用されるルツボも大型に
なり、黒鉛材の製造条件の制約があり、直径８″ウエハ
ーまでは現状で対応できても、１２″ウエハーさらに直
径１６″ウエハ−の時代には、直径３６″、４８″の黒
鉛ルツボ材が必要となり、ブロック材からの切削加工の
為、コスト面でデメリットが増える。この場合、高品位
な等方性黒鉛材の製造は困難となる。
【０００３】そこで石英との熱膨張率の差が少なく、ま
た高温強度によりすぐれた材料である炭素繊維強化炭素
（以下Ｃ／Ｃ）を用いたルツボが最近、黒鉛ルツボに替
えて大型化を指向して使用されてきている。
た高温強度によりすぐれた材料である炭素繊維強化炭素
（以下Ｃ／Ｃ）を用いたルツボが最近、黒鉛ルツボに替
えて大型化を指向して使用されてきている。
【０００４】このＣ／ＣはＣＺ用ルツボとしてすぐれた
材料だが次のように種々の問題もある。
材料だが次のように種々の問題もある。
【０００５】まずＣ／Ｃは炭素繊維を素材として用いて
いるので、製法、素材の形態により、製品の生産性、特
性に一長一短が生じる。すなわち大きく分けてＣ／Ｃの
ルツボはフィラメントワインディング成形法（以下ＦＷ
法）によるものとクロス系またはフェルト系の炭素繊維
を用い積層成形したものとがあるが、それぞれ次のよう
な問題がある。
いるので、製法、素材の形態により、製品の生産性、特
性に一長一短が生じる。すなわち大きく分けてＣ／Ｃの
ルツボはフィラメントワインディング成形法（以下ＦＷ
法）によるものとクロス系またはフェルト系の炭素繊維
を用い積層成形したものとがあるが、それぞれ次のよう
な問題がある。
【０００６】まず、ＦＷ法によるＣ／Ｃのルツボは機械
による成形のため、生産性は良好で品質も安定してお
り、強度特性にも優れている。
による成形のため、生産性は良好で品質も安定してお
り、強度特性にも優れている。
【０００７】しかし、繊維同志の絡みが少ないことか
ら、化学反応による消耗に対しては、脆い面がある。つ
まり、反応の進行に伴い，Ｃ／Ｃのマトリックスの炭素
材の方が速く損耗しやすいため、スケルトン化し、ルツ
ボが崩れやすくなる。
ら、化学反応による消耗に対しては、脆い面がある。つ
まり、反応の進行に伴い，Ｃ／Ｃのマトリックスの炭素
材の方が速く損耗しやすいため、スケルトン化し、ルツ
ボが崩れやすくなる。
【０００８】一方、クロス系、フェルト系の素材を用い
たＣ／Ｃルツボは、繊維同志が絡み合っているので、化
学反応による消耗性に対しては強いが、生産性や強度面
でやや難がある。つまり、クロス系のものは、積層成形
に手間を要するので、生産性の面で劣りフェルト系のも
のは強度面でやや不足する。
たＣ／Ｃルツボは、繊維同志が絡み合っているので、化
学反応による消耗性に対しては強いが、生産性や強度面
でやや難がある。つまり、クロス系のものは、積層成形
に手間を要するので、生産性の面で劣りフェルト系のも
のは強度面でやや不足する。
【０００９】このようにＣ／Ｃルツボは成形法、素材形
態の選択によって生産性、特性に一長一短が生じる。
態の選択によって生産性、特性に一長一短が生じる。
【００１０】次にＣ／Ｃルツボは、ルツボの上端部は積
層断面が露出しており、この断面から化学反応による消
耗が進行しやすい問題がある。つまりクロス系の素材を
用いたり、ＦＷ法により成形したＣ／Ｃは積層面の直角
方向（厚さ方向）と面内方向では異方性があり特性の差
が生じる。
層断面が露出しており、この断面から化学反応による消
耗が進行しやすい問題がある。つまりクロス系の素材を
用いたり、ＦＷ法により成形したＣ／Ｃは積層面の直角
方向（厚さ方向）と面内方向では異方性があり特性の差
が生じる。
【００１１】そしてガスの透過性の面で直角方向と面内
方向の差は、大きいため、特にルツボの断面端部からの
反応、劣化が進みやすい。
方向の差は、大きいため、特にルツボの断面端部からの
反応、劣化が進みやすい。
【００１２】さらにＣ／Ｃルッボは一体成形したものは
満足できる製品を得るのが難しく、生産性、成形性が良
好でなく、品質面、コスト面で問題があった。
満足できる製品を得るのが難しく、生産性、成形性が良
好でなく、品質面、コスト面で問題があった。
【００１３】ルツボの胴部と底部では反応による消耗の
度合いに差異があり、反応消耗のより多い底部の損耗に
より、使用継続ができなくなり、あらためて一体成形し
たルツボを製造することはコスト高にならざるを得な
い。
度合いに差異があり、反応消耗のより多い底部の損耗に
より、使用継続ができなくなり、あらためて一体成形し
たルツボを製造することはコスト高にならざるを得な
い。
【００１４】そこで他材料とＣ／Ｃ材を組合わせたルツ
ボが考えられ、例えば実公平３−４３２５０号や実用新
案登録第３０１２２９９号に記載のように胴部をＣ／Ｃ
材、底部を黒鉛材で構成したルツボが提案されている。
しかし、異種素材を組合わせて構成したルツボは物理特
性、熱膨張率、熱伝導率、強度の面から設計上困難が生
じる。
ボが考えられ、例えば実公平３−４３２５０号や実用新
案登録第３０１２２９９号に記載のように胴部をＣ／Ｃ
材、底部を黒鉛材で構成したルツボが提案されている。
しかし、異種素材を組合わせて構成したルツボは物理特
性、熱膨張率、熱伝導率、強度の面から設計上困難が生
じる。
【００１５】上記のようにＣ／Ｃ材は高温強度等におい
て、黒鉛材よりすぐれた素材だが、全体をＣ／Ｃ材で構
成したシリコン単結晶製造用ルツボは生産性、コスト
面、品質面等で十分満足なものを得ることは困難であっ
た。
て、黒鉛材よりすぐれた素材だが、全体をＣ／Ｃ材で構
成したシリコン単結晶製造用ルツボは生産性、コスト
面、品質面等で十分満足なものを得ることは困難であっ
た。
【００１６】
【発明の課題】上記のような問題を踏まえ本発明者は、
生産性が良好で、化学反応による耐消耗性や強度にすぐ
れ、コスト面でもメリットの多い、全体がＣ／Ｃより構
成されたシリコン単結晶引上用ルツボを提供する。
生産性が良好で、化学反応による耐消耗性や強度にすぐ
れ、コスト面でもメリットの多い、全体がＣ／Ｃより構
成されたシリコン単結晶引上用ルツボを提供する。
【００１７】
【課題解決の手段】上記のような課題を達成するために
本発明者は次のような手段を提案する。まず炭素繊維強
化炭素材（以下Ｃ／Ｃ）のシリコン単結晶引上用ルツボ
であって、ルツボ内側を炭素繊維クロス積層体または炭
素繊維フェルト積層体を用いたＣ／Ｃ材とし、ルツボ外
側をフィラメントワインデイング法により成形したＣ／
Ｃで構成した二層よりなるシリコン単結晶引上げ用炭素
繊維強化炭素ルツボである。
本発明者は次のような手段を提案する。まず炭素繊維強
化炭素材（以下Ｃ／Ｃ）のシリコン単結晶引上用ルツボ
であって、ルツボ内側を炭素繊維クロス積層体または炭
素繊維フェルト積層体を用いたＣ／Ｃ材とし、ルツボ外
側をフィラメントワインデイング法により成形したＣ／
Ｃで構成した二層よりなるシリコン単結晶引上げ用炭素
繊維強化炭素ルツボである。
【００１８】次にＣ／Ｃ製シリコン単結晶引上用ルツボ
において、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露
出のないＣ／Ｃ材で構成したことを特徴とするシリコン
単結晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボである。
において、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露
出のないＣ／Ｃ材で構成したことを特徴とするシリコン
単結晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボである。
【００１９】そしてＣ／Ｃ材より構成されたシリコン単
結晶引上用ルツボであって、ルツボの直胴部分とＲ部と
底が一体となった底部分の２分割にしたことを特徴とす
るシリコン単結晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボであ
る。
結晶引上用ルツボであって、ルツボの直胴部分とＲ部と
底が一体となった底部分の２分割にしたことを特徴とす
るシリコン単結晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボであ
る。
【００２０】次にＣ／Ｃ材より構成されたシリコン単結
晶引上げ用ルツボであってルツボ直胴部分とＲ部と底が
一体となった底部分を別個に成形して、接合した後更に
焼成、必要に応じて含浸緻密化、黒鉛化して一体化した
ことを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボである。
晶引上げ用ルツボであってルツボ直胴部分とＲ部と底が
一体となった底部分を別個に成形して、接合した後更に
焼成、必要に応じて含浸緻密化、黒鉛化して一体化した
ことを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボである。
【００２１】さらにＣ／Ｃ材より構成されたシリコン単
結晶引上げ用ルツボであって、ルツボの内側を縦割り３
分割のＣ／Ｃ材ユニットとし、外側に一体のＣ／Ｃ製直
胴部を挿入し４部品で構成したことを特徴とする炭素繊
維強化炭素ルツボである。
結晶引上げ用ルツボであって、ルツボの内側を縦割り３
分割のＣ／Ｃ材ユニットとし、外側に一体のＣ／Ｃ製直
胴部を挿入し４部品で構成したことを特徴とする炭素繊
維強化炭素ルツボである。
【００２２】最後にＣ／Ｃ材より構成されたシリコン単
結晶引上げ用二重型ルツボであって、ルツボの内側を縦
割３分割のＣ／Ｃ材ユニットとし、外側を直胴部分とＲ
部と底が一体となった底部分とからなり、５部品で構成
したことを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボである。
結晶引上げ用二重型ルツボであって、ルツボの内側を縦
割３分割のＣ／Ｃ材ユニットとし、外側を直胴部分とＲ
部と底が一体となった底部分とからなり、５部品で構成
したことを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボである。
【００２３】以下に本発明のＣ／Ｃルツボについて図面
とともに詳細に説明する。図１は本発明において、請求
項１に記載のＣ／Ｃルツボで内側にクロス系またはフェ
ルト系Ｃ／Ｃ材１を用い、外側にＦＷ成形によるＣ／Ｃ
材２を用いた二層Ｃ／Ｃルツボである。
とともに詳細に説明する。図１は本発明において、請求
項１に記載のＣ／Ｃルツボで内側にクロス系またはフェ
ルト系Ｃ／Ｃ材１を用い、外側にＦＷ成形によるＣ／Ｃ
材２を用いた二層Ｃ／Ｃルツボである。
【００２４】ルツボの内側は、化学反応による消耗が進
行しやすいので、繊維が絡みあっている炭素繊維クロス
積層体または炭素繊維フェルト積層体を用いることによ
り、化学反応に対する耐消耗性を高めることができる。
行しやすいので、繊維が絡みあっている炭素繊維クロス
積層体または炭素繊維フェルト積層体を用いることによ
り、化学反応に対する耐消耗性を高めることができる。
【００２５】一方ルツボの外側は、化学反応による消耗
を受けにくいが、高い強度を要するので、強度にすぐれ
たＦＷ法によるＣ／Ｃ材を用いて構成する。このように
全体を均質なＣ／Ｃ材で構成せず、ルツボを内外側の二
層にし、それぞれを別種のＣ／Ｃで構成することによ
り、生産性、強度、耐消耗性等を総合的に考慮してすぐ
れたＣ／Ｃルツボを得ることができる。
を受けにくいが、高い強度を要するので、強度にすぐれ
たＦＷ法によるＣ／Ｃ材を用いて構成する。このように
全体を均質なＣ／Ｃ材で構成せず、ルツボを内外側の二
層にし、それぞれを別種のＣ／Ｃで構成することによ
り、生産性、強度、耐消耗性等を総合的に考慮してすぐ
れたＣ／Ｃルツボを得ることができる。
【００２６】次に図２は請求項２に記載のＣ／Ｃルツボ
で、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露出のな
いＣ／Ｃ材で構成したものである。かかるＣ／Ｃルツボ
は、ルツボの端部をさらにＣ／Ｃ材３で覆うようにラッ
プして積層断面の露出をなくすことにより得られる。
で、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露出のな
いＣ／Ｃ材で構成したものである。かかるＣ／Ｃルツボ
は、ルツボの端部をさらにＣ／Ｃ材３で覆うようにラッ
プして積層断面の露出をなくすことにより得られる。
【００２７】積層断面は、ガス透過性が高く、化学反応
による消耗が進行しやすいが、上記のように積層断面の
露出をなくし、表面を全て積層平面とすることにより、
ルツボ端部からの消耗、劣化を軽減し、ルツボ寿命の延
長に寄与することができる。
による消耗が進行しやすいが、上記のように積層断面の
露出をなくし、表面を全て積層平面とすることにより、
ルツボ端部からの消耗、劣化を軽減し、ルツボ寿命の延
長に寄与することができる。
【００２８】図３は、請求項３のＣ／Ｃルツボで、ルツ
ボの直胴部分４とＲ部と底が一体となった底部分５とか
ら構成されたものである。直胴部と底部は単純突き合わ
せ、テーパー面の突き合せ等により嵌合される。
ボの直胴部分４とＲ部と底が一体となった底部分５とか
ら構成されたものである。直胴部と底部は単純突き合わ
せ、テーパー面の突き合せ等により嵌合される。
【００２９】このようにルツボの直胴部と底部を分割し
て、嵌合することにより、一体成形の場合よりも生産性
を向上させ、コスト的にもメリットが多いＣ／Ｃルツボ
を得ることができる。
て、嵌合することにより、一体成形の場合よりも生産性
を向上させ、コスト的にもメリットが多いＣ／Ｃルツボ
を得ることができる。
【００３０】すなわちＲ部を含み熱応力を強く受け、ま
た化学反応による消耗率の高い底部を取り替え、消耗の
少ない直胴部を継続して使用することにより、ルツボの
寿命延長を可能にできる。
た化学反応による消耗率の高い底部を取り替え、消耗の
少ない直胴部を継続して使用することにより、ルツボの
寿命延長を可能にできる。
【００３１】次に図４は、請求項４記載の発明で、やは
りルツボの直胴部６とＲ部を含んだ底部７とを分割して
成形し、これを接合した後、焼成、必要に応じて含浸、
緻密化し黒鉛化してなるルツボである。接合にあたって
は、接合部が嵌合するように適宜な形状に加工すること
が好ましい。
りルツボの直胴部６とＲ部を含んだ底部７とを分割して
成形し、これを接合した後、焼成、必要に応じて含浸、
緻密化し黒鉛化してなるルツボである。接合にあたって
は、接合部が嵌合するように適宜な形状に加工すること
が好ましい。
【００３２】かかるルツボは請求項３の発明と同様、生
産性、コスト、寿命の面でメリットがあるが、加えて接
合部の気密性を十分ならしめ、接合部の化学反応による
消耗を防止し、ライフ延長に一層寄与することができ
る。
産性、コスト、寿命の面でメリットがあるが、加えて接
合部の気密性を十分ならしめ、接合部の化学反応による
消耗を防止し、ライフ延長に一層寄与することができ
る。
【００３３】図５は、請求項５記載の発明で、ルツボの
内側を縦割り３分割ユニット８とし、外側に一体のＣ／
Ｃ製直胴部９を挿入して、４部品で構成したルツボであ
る。
内側を縦割り３分割ユニット８とし、外側に一体のＣ／
Ｃ製直胴部９を挿入して、４部品で構成したルツボであ
る。
【００３４】外側に一体の直胴部を設けることにより、
内側の３分割ユニットを拘束し、ルツボの開きを防止す
ることが可能になる。４部品で構成することにより、一
体成形の場合よりも成形が容易で、生産性が向上する。
内側の３分割ユニットを拘束し、ルツボの開きを防止す
ることが可能になる。４部品で構成することにより、一
体成形の場合よりも成形が容易で、生産性が向上する。
【００３５】内側の３分割ユニットは損耗が多く、これ
を取り替え、外側の損耗の少ない直胴部は継続して使用
することにより、ルツボ寿命を延長することができる。
を取り替え、外側の損耗の少ない直胴部は継続して使用
することにより、ルツボ寿命を延長することができる。
【００３６】図６は請求項６記載の発明で、ルツボ内側
は縦割り３分割のユニット１０とし、ルツボ外側は直胴
部分１１とＲ部と底が一体となった底部分１２とからな
り、５部品で構成されたルツボである。
は縦割り３分割のユニット１０とし、ルツボ外側は直胴
部分１１とＲ部と底が一体となった底部分１２とからな
り、５部品で構成されたルツボである。
【００３７】これは、上記請求項５の４部品よりなるル
ツボと同様、一体成形よりも生産が性が大きく、内側の
３分割ユニットの開きを防止できる。また内側のユニッ
トを交換し、外側を継続使用していくことにより、ルツ
ボ寿命を高めることができる。
ツボと同様、一体成形よりも生産が性が大きく、内側の
３分割ユニットの開きを防止できる。また内側のユニッ
トを交換し、外側を継続使用していくことにより、ルツ
ボ寿命を高めることができる。
【００３８】さらに、この部品により構成したルツボ
は、内側の３分割ユニットの接合部を完全に覆うことが
でき、これによりガスの通気性を軽減させ、化学反応に
よる消耗を低減させるのにより効果が大きく、ルツボの
寿命延長に一層寄与できる。
は、内側の３分割ユニットの接合部を完全に覆うことが
でき、これによりガスの通気性を軽減させ、化学反応に
よる消耗を低減させるのにより効果が大きく、ルツボの
寿命延長に一層寄与できる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によると、全体をＣ／Ｃ材で構成
したシリコン単結晶引上げ用ルツボにつき、高温強度に
すぐれ、化学反応による耐消耗にも対しても寿命延長に
効果が高いルツボが得られる。製品特性、生産性、コス
ト面を総合的に考慮してすぐれたＣ／Ｃルツボを提供で
き、工業上きわめて有用である。
したシリコン単結晶引上げ用ルツボにつき、高温強度に
すぐれ、化学反応による耐消耗にも対しても寿命延長に
効果が高いルツボが得られる。製品特性、生産性、コス
ト面を総合的に考慮してすぐれたＣ／Ｃルツボを提供で
き、工業上きわめて有用である。
【図１】本発明の請求項１記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、内側にクロス系またはフェルト系Ｃ／Ｃ材を用
い、外側にはＦＷ成形によるＣ／Ｃ材を用いた二層のル
ツボである。
ので、内側にクロス系またはフェルト系Ｃ／Ｃ材を用
い、外側にはＦＷ成形によるＣ／Ｃ材を用いた二層のル
ツボである。
【図２】本発明の請求項２記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露出の
ないＣ／Ｃ材で構成したルツボである。
ので、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露出の
ないＣ／Ｃ材で構成したルツボである。
【図３】本発明の請求項３記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、ルツボの直胴部分とＲ部と底が一体となった底部
分とから構成されたルツボである。
ので、ルツボの直胴部分とＲ部と底が一体となった底部
分とから構成されたルツボである。
【図４】本発明の請求項４記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、ルツボの直胴部とＲ部を含んだ底部とを分割して
成形し、嵌合したルツボである。
ので、ルツボの直胴部とＲ部を含んだ底部とを分割して
成形し、嵌合したルツボである。
【図５】本発明の請求項５記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、ルツボの内側を縦割３分割ユニットとし、ルツボ
外側はＣ／Ｃ製直胴部を挿入したルツボである。
ので、ルツボの内側を縦割３分割ユニットとし、ルツボ
外側はＣ／Ｃ製直胴部を挿入したルツボである。
【図６】本発明の請求項６記載のＣ／Ｃルツボを示すも
ので、ルツボ内側は縦割３分割ユニットとし、外側は、
直胴部分とＲ部と底が一体となった底部分とからなるル
ツボである。
ので、ルツボ内側は縦割３分割ユニットとし、外側は、
直胴部分とＲ部と底が一体となった底部分とからなるル
ツボである。
１ クロス系またはフェルト系Ｃ／Ｃ材 ２ フィラメントワインディング成形によるＣ／Ｃ材 ３ ルツボ端部を覆うためのＣ／Ｃ材 ４ ルツボの直胴部分 ５ ルツボの底部分 ６ ルツボの直胴部分 ７ ルツボの底部分 ８ ルツボ内側の縦割３分割ユニット ９ ルツボの直胴部分 １０ ルツボ内側の縦割３分割ユニット １１ ルツボ外側の直胴部分 １２ ルツボ外側の底部分
Claims (6)
- 【請求項１】炭素繊維強化炭素材（以下Ｃ／Ｃ）のシリ
コン単結晶引上用ルツボであって、ルツボ内側を炭素繊
維クロス積層体または炭素繊維フェルト積層体を用いた
Ｃ／Ｃ材とし、ルツボ外側をフィラメントワインデイン
グ法により成形したＣ／Ｃで構成した二層よりなるシリ
コン単結晶引上げ用炭素繊維強化炭素ルツボ。 - 【請求項２】Ｃ／Ｃ製シリコン単結晶引上用ルツボにお
いて、ルツボ表面を全て積層平面とする積層断面露出の
ないＣ／Ｃ材で構成したことを特徴とするシリコン単結
晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボ。 - 【請求項３】Ｃ／Ｃ材より構成されたシリコン単結晶引
上用ルツボであって、ルツボの直胴部分とＲ部と底が一
体となった底部分の２分割にしたことを特徴とするシリ
コン単結晶引上用炭素繊維強化炭素ルツボ。 - 【請求項４】Ｃ／Ｃ材より構成されたシリコン単結晶引
上げ用ルツボであってルツボ直胴部分とＲ部と底が一体
となった底部分とを別個に成形して、接合した後更に焼
成、必要に応じて含浸緻密化、黒鉛化して一体化したこ
とを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボ。 - 【請求項５】Ｃ／Ｃ材より構成されたシリコン単結晶引
上げ用ルツボであって、ルツボの内側を縦割り３分割の
Ｃ／Ｃ材ユニットとし、外側に一体のＣ／Ｃ製直胴部を
挿入し４部品で構成したことを特徴とする炭素繊維強化
炭素ルツボ。 - 【請求項６】Ｃ／Ｃ材より構成されたシリコン単結晶引
上げ用二重型ルツボであって、ルツボの内側を縦割３分
割のＣ／Ｃ材ユニットとし、外側を直胴部分とＲ部と底
が一体となった底部分とからなり、５部品で構成したこ
とを特徴とする炭素繊維強化炭素ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09741596A JP3279916B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | シリコン単結晶引上げ用炭素繊維強化炭素ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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