JP2000290093A - 単結晶引き上げ用炭素ルツボ - Google Patents
単結晶引き上げ用炭素ルツボInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 単結晶引き上げ操作を安定に繰り返し行うこ
とのできる単結晶引き上げ用炭素ルツボを提供する。 【解決手段】 炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）か
らなるルツボであって、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌
着する凸部形状の底部部材を配設し、ルツボ底部と底部
部材とが固定用部材により固定されてなることを特徴と
する単結晶引き上げ用炭素ルツボ。
とのできる単結晶引き上げ用炭素ルツボを提供する。 【解決手段】 炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）か
らなるルツボであって、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌
着する凸部形状の底部部材を配設し、ルツボ底部と底部
部材とが固定用部材により固定されてなることを特徴と
する単結晶引き上げ用炭素ルツボ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チョコラルスキー
法（以下「ＣＺ法」という）によるシリコンなどの単結
晶引上げ装置に使用される石英ルツボを支持するために
用いられる炭素ルツボに関する。
法（以下「ＣＺ法」という）によるシリコンなどの単結
晶引上げ装置に使用される石英ルツボを支持するために
用いられる炭素ルツボに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣやＬＳＩなどの製造に用いるシリコ
ンなどの単結晶は、通常ＣＺ法により製造されている。
ＣＺ法による単結晶引上げ装置は、図７に示すように高
純度の石英ルツボ１の中にシリコン多結晶を入れ、回転
軸６により石英ルツボ１を所定速度で回転させながらヒ
ータ３により加熱溶融し、シリコン多結晶の溶融液８の
表面に引上げ軸５の先端部に取り付けられた種結晶（シ
リコン単結晶）を接触させ、引上げ軸５を所定速度で回
転させながらゆっくりと引上げることにより溶融液８を
凝固させて、シリコン単結晶９に成長させるものであ
る。
ンなどの単結晶は、通常ＣＺ法により製造されている。
ＣＺ法による単結晶引上げ装置は、図７に示すように高
純度の石英ルツボ１の中にシリコン多結晶を入れ、回転
軸６により石英ルツボ１を所定速度で回転させながらヒ
ータ３により加熱溶融し、シリコン多結晶の溶融液８の
表面に引上げ軸５の先端部に取り付けられた種結晶（シ
リコン単結晶）を接触させ、引上げ軸５を所定速度で回
転させながらゆっくりと引上げることにより溶融液８を
凝固させて、シリコン単結晶９に成長させるものであ
る。
【０００３】しかしながら、石英ルツボ１は高温におい
て軟化し強度も充分でないので、通常、石英ルツボ１を
炭素ルツボ２内に嵌合して炭素ルツボ２で石英ルツボ１
を支持することにより補強して用いられている。石英ル
ツボ１を支持する炭素ルツボ２としては高温強度が高
く、耐熱性や熱伝導率が大きい黒鉛材が一般的に使用さ
れている。しかしながら、黒鉛材は表面から黒鉛の微粉
が離脱、飛散し易いので装置内を浮遊してシリコン溶融
液８中に混入し、シリコン単結晶の品質を低下させる問
題がある。
て軟化し強度も充分でないので、通常、石英ルツボ１を
炭素ルツボ２内に嵌合して炭素ルツボ２で石英ルツボ１
を支持することにより補強して用いられている。石英ル
ツボ１を支持する炭素ルツボ２としては高温強度が高
く、耐熱性や熱伝導率が大きい黒鉛材が一般的に使用さ
れている。しかしながら、黒鉛材は表面から黒鉛の微粉
が離脱、飛散し易いので装置内を浮遊してシリコン溶融
液８中に混入し、シリコン単結晶の品質を低下させる問
題がある。
【０００４】更に、高温加熱時には、石英ルツボ１が軟
化して黒鉛製の炭素ルツボ２に密着し、一方冷却時に
は、黒鉛材と石英との熱膨張率が大きく異なるために炭
素ルツボ２の収縮量が石英ルツボ１の収縮量に比べて著
しく大きくなり、この収縮量の差に起因して炭素ルツボ
２は収縮量の少ない石英ルツボ１から内圧を受けて炭素
ルツボ２に引っ張り応力が作用することとなる。この引
っ張り応力の作用によりシリコン単結晶の引き上げ操作
を繰り返し行っている間に炭素ルツボの変形、割損など
が生じて、繰り返し使用する耐用回数が少ないという問
題点がある。特に近年、装置の大型化に伴い炭素ルツボ
２の耐用寿命の減少が著しいという問題が生じている。
化して黒鉛製の炭素ルツボ２に密着し、一方冷却時に
は、黒鉛材と石英との熱膨張率が大きく異なるために炭
素ルツボ２の収縮量が石英ルツボ１の収縮量に比べて著
しく大きくなり、この収縮量の差に起因して炭素ルツボ
２は収縮量の少ない石英ルツボ１から内圧を受けて炭素
ルツボ２に引っ張り応力が作用することとなる。この引
っ張り応力の作用によりシリコン単結晶の引き上げ操作
を繰り返し行っている間に炭素ルツボの変形、割損など
が生じて、繰り返し使用する耐用回数が少ないという問
題点がある。特に近年、装置の大型化に伴い炭素ルツボ
２の耐用寿命の減少が著しいという問題が生じている。
【０００５】そこで、強度特性に優れ、また石英との熱
膨張率の差異が少ない炭素繊維強化炭素複合材（以下
「Ｃ／Ｃ材」という）を用いて炭素ルツボ２を構成する
ことにより上記の問題点を解消する提案も行われてお
り、例えば実開昭６３−７１７４号公報には少なくとも
側壁部分が一体のＣ／Ｃ材により構成されてなる単結晶
引き上げ用ルツボが開示されている。
膨張率の差異が少ない炭素繊維強化炭素複合材（以下
「Ｃ／Ｃ材」という）を用いて炭素ルツボ２を構成する
ことにより上記の問題点を解消する提案も行われてお
り、例えば実開昭６３−７１７４号公報には少なくとも
側壁部分が一体のＣ／Ｃ材により構成されてなる単結晶
引き上げ用ルツボが開示されている。
【０００６】また、Ｃ／Ｃ材のシリコン単結晶引き上げ
用ルツボであって、ルツボ内側を炭素繊維クロス積層体
または炭素繊維フェルト積層体を用いたＣ／Ｃ材とし、
ルツボ外側をフィラメントワインディング法により成形
したＣ／Ｃ材で構成した二層よりなるシリコン単結晶引
き上げ用炭素繊維強化炭素ルツボ（特開平９−263482号
公報）、Ｃ／Ｃ材よりなる単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
において、少なくとも直胴部の内周部に水平方向に対し
て−４５〜＋４５°の角度を有する連続炭素繊維が配さ
れ、その他の部分に水平方向に対して−４５°以下、ま
たは＋４５°以上の角度を有する連続炭素繊維が配され
ていることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
（特開平９−286689号公報）、などが提案されている。
また、従来Ｃ／Ｃ複合材の接合方法として高融点の金属
材料の接合部材（ボルト、ナット、ワッシャー、当て板
など）を用いられていた方法に代えて、炭素繊維で補強
された実質的に炭素材からなる複合材料同士を接合する
に際し、その接合部分にグラファイト接着剤を介して炭
素繊維を巻回せしめたのち、熱処理を施すことを特徴と
する炭素繊維／炭素質系複合材の接合方法（特開平１−
257172号公報）が提案されている。
用ルツボであって、ルツボ内側を炭素繊維クロス積層体
または炭素繊維フェルト積層体を用いたＣ／Ｃ材とし、
ルツボ外側をフィラメントワインディング法により成形
したＣ／Ｃ材で構成した二層よりなるシリコン単結晶引
き上げ用炭素繊維強化炭素ルツボ（特開平９−263482号
公報）、Ｃ／Ｃ材よりなる単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
において、少なくとも直胴部の内周部に水平方向に対し
て−４５〜＋４５°の角度を有する連続炭素繊維が配さ
れ、その他の部分に水平方向に対して−４５°以下、ま
たは＋４５°以上の角度を有する連続炭素繊維が配され
ていることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
（特開平９−286689号公報）、などが提案されている。
また、従来Ｃ／Ｃ複合材の接合方法として高融点の金属
材料の接合部材（ボルト、ナット、ワッシャー、当て板
など）を用いられていた方法に代えて、炭素繊維で補強
された実質的に炭素材からなる複合材料同士を接合する
に際し、その接合部分にグラファイト接着剤を介して炭
素繊維を巻回せしめたのち、熱処理を施すことを特徴と
する炭素繊維／炭素質系複合材の接合方法（特開平１−
257172号公報）が提案されている。
【０００７】しかしながら、ＣＺ法により単結晶を引き
上げる際には石英ルツボ１及び炭素ルツボ２を回転させ
ながら単結晶に成長させるが、回転時にシリコンの溶融
液に不必要な動きを与えないように石英ルツボ１を嵌合
した炭素ルツボ２の底部は回転軸６の中心にあるルツボ
受け台７に嵌着させて、重心が回転軸６の中心にくるよ
うに載置する必要がある。そこで、図７に示したように
炭素ルツボ２の底部にはルツボ受け台７に嵌着する凸部
形状の底部部材１０が形成されている。
上げる際には石英ルツボ１及び炭素ルツボ２を回転させ
ながら単結晶に成長させるが、回転時にシリコンの溶融
液に不必要な動きを与えないように石英ルツボ１を嵌合
した炭素ルツボ２の底部は回転軸６の中心にあるルツボ
受け台７に嵌着させて、重心が回転軸６の中心にくるよ
うに載置する必要がある。そこで、図７に示したように
炭素ルツボ２の底部にはルツボ受け台７に嵌着する凸部
形状の底部部材１０が形成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この底部部材１０をＣ
／Ｃ材の炭素ルツボ２を作製する際にルツボ本体と一体
的に形成すると、ルツボ底部と底部部材とが剥離する欠
点がある。すなわち、Ｃ／Ｃ材は炭素繊維に熱硬化性樹
脂液を含浸したプリプレグシートを積層して成形し、加
熱硬化した後非酸化性雰囲気中で焼成炭化することによ
り作製されるが、このようにして炭素ルツボ２の底部に
凸部形状の底部部材を一体的に形成するとシリコン単結
晶の引き上げ操作を繰り返し行う間に、熱及び荷重によ
り歪みが生じ、ルツボの重心が回転中心からずれて使用
寿命が短縮化し、更に、図８に示すようにルツボ底部と
底部部材との間で剥離が起こる問題点がある。
／Ｃ材の炭素ルツボ２を作製する際にルツボ本体と一体
的に形成すると、ルツボ底部と底部部材とが剥離する欠
点がある。すなわち、Ｃ／Ｃ材は炭素繊維に熱硬化性樹
脂液を含浸したプリプレグシートを積層して成形し、加
熱硬化した後非酸化性雰囲気中で焼成炭化することによ
り作製されるが、このようにして炭素ルツボ２の底部に
凸部形状の底部部材を一体的に形成するとシリコン単結
晶の引き上げ操作を繰り返し行う間に、熱及び荷重によ
り歪みが生じ、ルツボの重心が回転中心からずれて使用
寿命が短縮化し、更に、図８に示すようにルツボ底部と
底部部材との間で剥離が起こる問題点がある。
【０００９】また、熱硬化性樹脂液を含浸した炭素繊維
糸のストランドをルツボ形状のマンドレルに巻き付けて
硬化するフィラメントワインディング法により成形体を
得たのち、切削加工によりルツボ底部に凸部形状の底部
部材を一体的に形成した場合には、底部部材の切削加工
部や内部あるいは外周部に層間亀裂が生じ、そこが起点
となって層間剥離が起こる問題点がある。更に、前記し
た特開平１−２５７１７２号公報の方法では、Ｃ／Ｃル
ツボのように複雑な形状のものに炭素繊維を巻回するこ
とが難しい問題点がある。
糸のストランドをルツボ形状のマンドレルに巻き付けて
硬化するフィラメントワインディング法により成形体を
得たのち、切削加工によりルツボ底部に凸部形状の底部
部材を一体的に形成した場合には、底部部材の切削加工
部や内部あるいは外周部に層間亀裂が生じ、そこが起点
となって層間剥離が起こる問題点がある。更に、前記し
た特開平１−２５７１７２号公報の方法では、Ｃ／Ｃル
ツボのように複雑な形状のものに炭素繊維を巻回するこ
とが難しい問題点がある。
【００１０】本発明はこれらの問題点を解消し、その目
的は単結晶の引き上げ操作を繰り返し行っても炭素ルツ
ボ底部と、底部に形成した凸部形状の底部部材とが剥離
し難く、多数回の引き上げ操作を安定に繰り返し行うこ
とが可能な単結晶引き上げ用の炭素ルツボを提供するこ
とにある。
的は単結晶の引き上げ操作を繰り返し行っても炭素ルツ
ボ底部と、底部に形成した凸部形状の底部部材とが剥離
し難く、多数回の引き上げ操作を安定に繰り返し行うこ
とが可能な単結晶引き上げ用の炭素ルツボを提供するこ
とにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明による単結晶引き上げ用炭素ルツボは、炭素
繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）からなるルツボであっ
て、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌着する凸部形状の底
部部材を配設し、ルツボ底部と底部部材とが固定用部材
により固定されてなることを構成上の特徴とする。
めの本発明による単結晶引き上げ用炭素ルツボは、炭素
繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）からなるルツボであっ
て、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌着する凸部形状の底
部部材を配設し、ルツボ底部と底部部材とが固定用部材
により固定されてなることを構成上の特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】すなわち、本発明の単結晶引き上
げ用炭素ルツボはＣ／Ｃ材で構成され、炭素ルツボ２
は、その底部に凸部形状の底部部材１０が形成されてい
る。そして炭素ルツボ２の底部と底部部材１０とはボル
トなどの固定用部材により固定されている。
げ用炭素ルツボはＣ／Ｃ材で構成され、炭素ルツボ２
は、その底部に凸部形状の底部部材１０が形成されてい
る。そして炭素ルツボ２の底部と底部部材１０とはボル
トなどの固定用部材により固定されている。
【００１３】したがって、炭素ルツボ２の底部に底部部
材１０を螺子止めする固定用部材としてのボルトなどに
は、Ｃ／Ｃ材と同様の化学的安定性や高温強度が要求さ
れ、ボルト材質としてはルツボ本体と同質のＣ／Ｃ材、
あるいは黒鉛材が好ましく用いられる。
材１０を螺子止めする固定用部材としてのボルトなどに
は、Ｃ／Ｃ材と同様の化学的安定性や高温強度が要求さ
れ、ボルト材質としてはルツボ本体と同質のＣ／Ｃ材、
あるいは黒鉛材が好ましく用いられる。
【００１４】ルツボ底部に底部部材を固定化するボルト
止めの形態の例示としては、例えば図１に示すように凸
部形状が円盤状の底部部材の外周に沿って外周内側をボ
ルト止めする形態、または図２に示すように外周に沿っ
て外周内側をボルト止めするのに加えて中心部もボルト
止めする形態、あるいは図３に示すように底部部材をリ
ング状の凸部形状に形成して固定化する形態、更に図４
に示すようにルツボ底部に底部部材を一体的に形成して
ボルトを填め込む形態、など多様なボルト止めする形態
を例示することができる。なお、底部部材の外周部は図
９に示すようにテーパ形状とすることによりルツボ受け
台との嵌着が容易となる。
止めの形態の例示としては、例えば図１に示すように凸
部形状が円盤状の底部部材の外周に沿って外周内側をボ
ルト止めする形態、または図２に示すように外周に沿っ
て外周内側をボルト止めするのに加えて中心部もボルト
止めする形態、あるいは図３に示すように底部部材をリ
ング状の凸部形状に形成して固定化する形態、更に図４
に示すようにルツボ底部に底部部材を一体的に形成して
ボルトを填め込む形態、など多様なボルト止めする形態
を例示することができる。なお、底部部材の外周部は図
９に示すようにテーパ形状とすることによりルツボ受け
台との嵌着が容易となる。
【００１５】本発明の炭素ルツボ、すなわちルツボ底部
に、ルツボ受け台に嵌着する凸部形状の底部部材を固定
部材により固定した炭素ルツボは、例えば次の方法によ
り製造することができる。炭素繊維織布を熱硬化性樹脂
液に浸漬または炭素繊維織布に熱硬化性樹脂液を塗布し
て熱硬化性樹脂液を含浸したプリプレグシートを所定枚
数積層してオートクレーブにより成形した成形体、また
は炭素繊維ストランドに熱硬化性樹脂液を含浸しフィラ
メントワインディング法により成形した成形体、を加熱
硬化したのち初期焼成してＣ／Ｃ材からなるルツボ及び
底部部材を作製する。次いでルツボ底部及び底部部材に
所定のボルト孔を切削加工してルツボ底部に底部部材を
接着剤を用いて接合し、ボルトにて螺子止めしたのち、
熱硬化性樹脂液を含浸して加熱硬化、焼成炭化して作製
することができる。または、ルツボ底部に底部部材を接
合して熱硬化性樹脂液を含浸し、加熱硬化、焼成炭化し
たのち、ボルトにて螺子止めすることにより作製するこ
ともできる。なお、塩素ガスなどのハロゲン系の精製ガ
スを流しながら１５００℃以上の温度に加熱処理して高
純度化処理することが望ましい。
に、ルツボ受け台に嵌着する凸部形状の底部部材を固定
部材により固定した炭素ルツボは、例えば次の方法によ
り製造することができる。炭素繊維織布を熱硬化性樹脂
液に浸漬または炭素繊維織布に熱硬化性樹脂液を塗布し
て熱硬化性樹脂液を含浸したプリプレグシートを所定枚
数積層してオートクレーブにより成形した成形体、また
は炭素繊維ストランドに熱硬化性樹脂液を含浸しフィラ
メントワインディング法により成形した成形体、を加熱
硬化したのち初期焼成してＣ／Ｃ材からなるルツボ及び
底部部材を作製する。次いでルツボ底部及び底部部材に
所定のボルト孔を切削加工してルツボ底部に底部部材を
接着剤を用いて接合し、ボルトにて螺子止めしたのち、
熱硬化性樹脂液を含浸して加熱硬化、焼成炭化して作製
することができる。または、ルツボ底部に底部部材を接
合して熱硬化性樹脂液を含浸し、加熱硬化、焼成炭化し
たのち、ボルトにて螺子止めすることにより作製するこ
ともできる。なお、塩素ガスなどのハロゲン系の精製ガ
スを流しながら１５００℃以上の温度に加熱処理して高
純度化処理することが望ましい。
【００１６】以下、本発明の実施例を比較例と対比して
具体的に説明する。
具体的に説明する。
【００１７】実施例１〜７ 三菱レーヨン（株）製ＰＡＮ系高強度タイプの炭素繊維
を用い、フェノール樹脂を含浸してオートクレーブまた
はフィラメントワインディングにより成形して内径８０
０mm、高さ４５０mm、直胴部の厚さ７mmの炭素ルツボ、
外径２５０mm、厚さ１５〜２４mmの底部部材、及びボル
トを作製した。この炭素ルツボの底部及び底部部材に所
定のボルト孔を切削したのちフェノール樹脂系の耐熱接
着剤により接着し、ボルトを装着して図１〜図４に示し
た形態でボルト止めして固定化し、更に温度２０００℃
で塩素ガスにより高純度化処理した。
を用い、フェノール樹脂を含浸してオートクレーブまた
はフィラメントワインディングにより成形して内径８０
０mm、高さ４５０mm、直胴部の厚さ７mmの炭素ルツボ、
外径２５０mm、厚さ１５〜２４mmの底部部材、及びボル
トを作製した。この炭素ルツボの底部及び底部部材に所
定のボルト孔を切削したのちフェノール樹脂系の耐熱接
着剤により接着し、ボルトを装着して図１〜図４に示し
た形態でボルト止めして固定化し、更に温度２０００℃
で塩素ガスにより高純度化処理した。
【００１８】このようにして作製した底部に凸部形状の
底部部材を形成した炭素ルツボ２を図７に示したＣＺ法
の単結晶引き上げ装置のルツボ受け台７に嵌着した。こ
の炭素ルツボ２内に石英ルツボ１を嵌合し、石英ルツボ
１内にシリコン多結晶原料を入れて温度１４２０℃に加
熱して溶融した。この際、シリコン溶融液が炭素ルツボ
２の深さの１／２となるように調節した。この状態で１
時間保持したのち冷却してシリコン溶融液を凝固させ
た。この加熱溶融、冷却凝固の操作を繰り返し行って、
炭素ルツボ２の耐久性を試験し、得られた結果を表１に
示した。
底部部材を形成した炭素ルツボ２を図７に示したＣＺ法
の単結晶引き上げ装置のルツボ受け台７に嵌着した。こ
の炭素ルツボ２内に石英ルツボ１を嵌合し、石英ルツボ
１内にシリコン多結晶原料を入れて温度１４２０℃に加
熱して溶融した。この際、シリコン溶融液が炭素ルツボ
２の深さの１／２となるように調節した。この状態で１
時間保持したのち冷却してシリコン溶融液を凝固させ
た。この加熱溶融、冷却凝固の操作を繰り返し行って、
炭素ルツボ２の耐久性を試験し、得られた結果を表１に
示した。
【００１９】比較例１〜４ ボルト止めせずに図５、図６に示した形態の凸部形状の
底部部材を形成した炭素ルツボを用いて実施例と同一の
条件でその耐久性を試験し、その結果を表１に併載し
た。
底部部材を形成した炭素ルツボを用いて実施例と同一の
条件でその耐久性を試験し、その結果を表１に併載し
た。
【００２０】
【表１】 （注）*1 ＡＣ：オートクレーブ ＦＷ：フィラメントワインディング
【００２１】表１から、比較例１、２では１回の加熱溶
融、冷却凝固の試験でルツボ底部に接着面剥がれが生じ
ており、また比較例３、４では２０回程度の繰り返し試
験で底部外周より層間剥離が発生して炭素ルツボの歪み
が大きくなり以後の使用に耐え得ない状態であった。こ
れに対して、ルツボ底部に底部部材をボルト止めして固
定化した実施例１〜７の炭素ルツボはいずれも５０回の
繰り返し試験でも剥離現象は認められず、更に継続使用
が可能な状態であった。
融、冷却凝固の試験でルツボ底部に接着面剥がれが生じ
ており、また比較例３、４では２０回程度の繰り返し試
験で底部外周より層間剥離が発生して炭素ルツボの歪み
が大きくなり以後の使用に耐え得ない状態であった。こ
れに対して、ルツボ底部に底部部材をボルト止めして固
定化した実施例１〜７の炭素ルツボはいずれも５０回の
繰り返し試験でも剥離現象は認められず、更に継続使用
が可能な状態であった。
【００２２】
【発明の効果】以上のとおり、本発明の単結晶引き上げ
用炭素ルツボは、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌着する
凸部形状の底部部材を備え、ルツボ底部と底部部材とが
ボルト止めにより固定化された構造からなるのでルツボ
底部と底部部材とは強固に接合し、加熱、冷却の熱冷サ
イクルを繰り返し受けても剥離などが生じ難く、安定に
シリコンなどの単結晶の引き上げ操作を行うことができ
る。したがって、耐久性に優れた長寿命の炭素ルツボを
提供することが可能となる。
用炭素ルツボは、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌着する
凸部形状の底部部材を備え、ルツボ底部と底部部材とが
ボルト止めにより固定化された構造からなるのでルツボ
底部と底部部材とは強固に接合し、加熱、冷却の熱冷サ
イクルを繰り返し受けても剥離などが生じ難く、安定に
シリコンなどの単結晶の引き上げ操作を行うことができ
る。したがって、耐久性に優れた長寿命の炭素ルツボを
提供することが可能となる。
【図１】ルツボ底部と底部部材とをボルト止めにより固
定化した形態を例示した平面図及び断面図である。
定化した形態を例示した平面図及び断面図である。
【図２】ルツボ底部と底部部材とをボルト止めにより固
定化した他の形態を例示した平面図及び断面図である。
定化した他の形態を例示した平面図及び断面図である。
【図３】ルツボ底部と底部部材とをボルト止めにより固
定化した他の形態を例示した平面図及び断面図である。
定化した他の形態を例示した平面図及び断面図である。
【図４】ルツボ底部と底部部材とを一体的に形成し、ボ
ルトを填め込んで固定化した形態を例示した断面図であ
る。
ルトを填め込んで固定化した形態を例示した断面図であ
る。
【図５】ルツボ底部と底部部材とをボルト止めすること
なく、接着して固定化した形態を例示した断面図であ
る。
なく、接着して固定化した形態を例示した断面図であ
る。
【図６】ルツボ底部と底部部材とを一体的に形成し、ボ
ルトを填め込まずに固定化した形態を例示した断面図で
ある。
ルトを填め込まずに固定化した形態を例示した断面図で
ある。
【図７】ＣＺ法による単結晶の引き上げ装置を模式的に
示した断面図である。
示した断面図である。
【図８】ボルト止めをしない場合のルツボ底部と底部部
材とが歪みにより剥離した状態を模式的に示した断面図
である。
材とが歪みにより剥離した状態を模式的に示した断面図
である。
【図９】図１の底部部材をテーパー形状とした形態を例
示した平面図及び断面図である。
示した平面図及び断面図である。
１ 石英ルツボ ２ 炭素ルツボ ３ ヒータ ４ チャンバー内壁 ５ 引き上げ軸 ６ 回転軸 ７ ルツボ受け台 ８ 溶融液 ９ シリコン単結晶 10 底部部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月１９日（１９９９．４．１
９）
９）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】実施例１〜７ 三菱レイヨン（株）製ＰＡＮ系高強度タイプの炭素繊維
を用い、フェノール樹脂を含浸してオートクレーブまた
はフィラメントワインディングにより成形して内径８０
０mm、高さ４５０mm、直胴部の厚さ７mmの炭素ルツボ、
外径２５０mm、厚さ１５〜２４mmの底部部材、及びボル
トを作製した。この炭素ルツボの底部及び底部部材に所
定のボルト孔を切削したのちフェノール樹脂系の耐熱接
着剤により接着し、ボルトを装着して図１〜図４に示し
た形態でボルト止めして固定化し、更に温度２０００℃
で塩素ガスにより高純度化処理した。
を用い、フェノール樹脂を含浸してオートクレーブまた
はフィラメントワインディングにより成形して内径８０
０mm、高さ４５０mm、直胴部の厚さ７mmの炭素ルツボ、
外径２５０mm、厚さ１５〜２４mmの底部部材、及びボル
トを作製した。この炭素ルツボの底部及び底部部材に所
定のボルト孔を切削したのちフェノール樹脂系の耐熱接
着剤により接着し、ボルトを装着して図１〜図４に示し
た形態でボルト止めして固定化し、更に温度２０００℃
で塩素ガスにより高純度化処理した。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000221122 東芝セラミックス株式会社 東京都新宿区西新宿七丁目５番25号 (72)発明者 中澤 政登 東京都港区北青山一丁目２番３号 東海カ ーボン株式会社内 (72)発明者 柳瀬 明正 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 佐々木 英彦 東京都大田区西六郷４丁目11番26号 フド ー株式会社内 (72)発明者 渡辺 正幸 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社開発研究所内 Ｆターム(参考） 4G077 AA02 BA04 CF10 EG01 EG02 PD11 PD16
Claims (3)
- 【請求項１】 炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）か
らなるルツボであって、ルツボ底部にルツボ受け台に嵌
着する凸部形状の底部部材を配設し、ルツボ底部と底部
部材とが固定用部材により固定されてなることを特徴と
する単結晶引き上げ用炭素ルツボ。 - 【請求項２】 固定用部材による固定が、ボルト止めに
より固定されたものである請求項１記載の単結晶引き上
げ用炭素ルツボ。 - 【請求項３】 固定用部材が、炭素繊維強化炭素複合材
（Ｃ／Ｃ材）または黒鉛材からなるボルトである、請求
項１記載の単結晶引き上げ用炭素ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11102678A JP2000290093A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 単結晶引き上げ用炭素ルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11102678A JP2000290093A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 単結晶引き上げ用炭素ルツボ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000290093A true JP2000290093A (ja) | 2000-10-17 |
Family
ID=14333903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11102678A Pending JP2000290093A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 単結晶引き上げ用炭素ルツボ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000290093A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030050334A (ko) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳 성장장치 |
| CN106830966A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-06-13 | 湖南金博碳素股份有限公司 | 基于碳纤维粉的碳/碳复合材料坯体及成型方法和应用 |
| KR20190024372A (ko) * | 2017-08-31 | 2019-03-08 | 한국세라믹기술원 | 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재 |
| CN114919202A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-08-19 | 云路复合材料(上海)有限公司 | 碳纤复材坩埚预成型体编织及与底座一体成型方法 |
-
1999
- 1999-04-09 JP JP11102678A patent/JP2000290093A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030050334A (ko) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 실트론 | 실리콘 잉곳 성장장치 |
| CN106830966A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-06-13 | 湖南金博碳素股份有限公司 | 基于碳纤维粉的碳/碳复合材料坯体及成型方法和应用 |
| KR20190024372A (ko) * | 2017-08-31 | 2019-03-08 | 한국세라믹기술원 | 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재 |
| KR101966696B1 (ko) | 2017-08-31 | 2019-08-13 | 한국세라믹기술원 | 용액성장법에서 단결정 성장속도를 증가시키기 위한 도가니 내장형 구조부재 |
| CN114919202A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-08-19 | 云路复合材料(上海)有限公司 | 碳纤复材坩埚预成型体编织及与底座一体成型方法 |
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|---|---|---|---|
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
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