JPH09260899A - 2素子マウント方法およびその装置 - Google Patents

2素子マウント方法およびその装置

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JPH09260899A
JPH09260899A JP8062357A JP6235796A JPH09260899A JP H09260899 A JPH09260899 A JP H09260899A JP 8062357 A JP8062357 A JP 8062357A JP 6235796 A JP6235796 A JP 6235796A JP H09260899 A JPH09260899 A JP H09260899A
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JP
Japan
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elements
hoop
lack
vacuum suction
mounting
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Application number
JP8062357A
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English (en)
Inventor
Kanji Kato
寛治 加藤
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品を製造するマウントでの素子欠如を
防止し、高速素子マウントが可能な2素子マウント装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 素子フープ1などの素子供給部と、吸着
ヘッド18を設けた割り出し上下テーブル9と、素子の
有無を検出しその出力信号で素子欠如処理部を制御する
素子検出器23a,23bと、素子受け台33などの真
空吸着ピン24,24aの素子2の欠如を処理および処
置する素子欠如処理部と、位置決め爪36を持つ素子位
置決め部35と、リードフレーム4の移送を制御しかつ
素子2を真空吸着ピン24,24aでマウントする素子
マウント部により構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品などの製造
工程において、電子部品を構成する素子を2個同時に吸
着取出し保持し、素子の欠如処理を行い、2個同時にマ
ウントする2素子マウント方法およびその装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来の素子マウント装置においては、上
下前後移載ユニットが一般的に用いられ、前記ユニット
中の上下前後ヘッドに真空吸着ピンを取りつけ、その真
空吸着ピンの動作作用により素子を吸着取出しかつ保持
し、必要な場所に搭載するという構成のものであった。
【0003】以下従来の素子マウント装置を図面を用い
て説明する。図12は従来の素子マウント装置の要部斜
視図である。
【0004】図12において、61は前後上下ユニット
であり、真空吸着ピン63を下部に複数本持つ前後上下
ヘッド62を前後および上下に駆動可能に保持してい
る。64は電子部品を構成する素子69を対向して配置
した素子フープであり、パルスモーター65に連結した
ピンホイール66により移送される。70は製品となす
ためのリードフレームであり、素子69を所定個所にマ
ウントされる。67は2個の素子切断ダイ、そして68
は2個の素子切断ポンチであり、素子フープ64に配置
した素子69を切断する。
【0005】以上のように構成された素子マウント装置
の動作は、ピンホイール66により移送された素子フー
プ64に対向して配置された2列の素子69を2個の素
子切断ポンチ68と2個の素子切断ダイ67により、対
向した2個の素子69が同時に切断される。次に真空吸
着ピン63により切断した素子69を吸着保持し、その
後前後上下ヘッド62が前進下降して素子69をリード
フレーム70の所定個所にマウントするのである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の素
子マウント装置においては、素子フープ64の中に不良
の素子69が混在する場合には、あらかじめ特性検査な
どで不良の素子69が切断除去されていて素子69の欠
如状態が発生しており対向する素子69の素子数は必ず
しも一致していない。
【0007】したがって、そのままリードフレーム70
にマウントすると多くの不具合状態を発生してしまうこ
とになる。素子69を1個ずつマウントする方法もある
が、方向性を合わせるのが困難であり、なおかつ生産性
も50%以下に低下することになる。さらに前後上下ユ
ニット61はマウントのための動作が多くマウント速度
を上げることができないなどの課題を有していた。
【0008】本発明は以上のような従来の欠点を除去
し、素子の欠如があっても確実に2素子ずつマウントで
きる2素子マウント方法およびその装置を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明による2素子マウント方法は、素子フープによ
り搬送される素子の欠如を検出し、この素子フープから
2素子を同時に切断し、切断した2素子を対の吸着ヘッ
ドで吸着し、素子の欠如があれば2素子揃うまで待期さ
せ、2素子が吸着ヘッドに吸着された状態で被マウント
部材にマウントさせる方法としたものである。
【0010】本発明により素子フープの素子に欠如があ
っても被マウント部材には欠如なしに2個同時で高速高
能率に素子のマウントが可能で、素子の欠如による不具
合状態の発生を防止することができ、かつマウント動作
数を少なくすることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、素子フープにより搬送される素子の欠如を検出し、
この素子フープから2素子を同時に切断し、切断した2
素子を対の吸着ヘッドで吸着し、素子に欠如があれば2
素子揃うまで待期させ、2素子が吸着ヘッドに吸着され
た状態で被マウント部材にマウントする方法であり、素
子の欠如による不具合の発生を防止できることになる。
【0012】請求項2に記載の発明は、連続して定ピッ
チで素子を供給する素子供給部と、割り出し数に対応し
た2個の素子を吸着する吸着ヘッドを円周端に配設した
割り出しテーブルと、2個の素子の欠如を検出し制御出
力信号を出す素子検出器と、マウントする素子形状に加
工する素子切断部と、素子の欠如状態に対応して前記素
子検出器の出力信号により制御され素子の欠如を処理お
よび処置する素子欠如処理部と、2個の素子を同時にマ
ウントし2個とも素子が吸着ヘッドに欠如している時に
は被マウント部材の移送を停止させる素子マウント部に
より構成したものであり、2個同時に欠如なく、動作数
が少なく高速にマウントできるという作用を有する。
【0013】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。図1は本発明の一実施の形態における
2素子マウント装置の要部斜視図、図2は同素子供給の
素子フープ斜視図、図3は同素子単体斜視図、図4は同
素子マウントのリードフレーム斜視図、図5は同素子切
断部と素子マウント部の要部断面図、図6は同素子の欠
如処理部の要部断面図、図7は同素子打抜き切断動作概
要工程図、図8は同素子欠如処理動作を説明する断面
図、図9は同素子欠如処理動作を説明する断面図、図1
0は同素子欠如処理動作を説明する断面図、そして図1
1は同真空吸引のスリップリング構成および動作を説明
する平面図である。
【0014】図2において、金属材あるいは樹脂材でな
る連続帯状の素子フープ1には各種の電子部品を構成す
る素子2が送り孔1aを設けた帯部1bに対向した形で
形成されている。そして素子2の製造工程において特性
不良により切断除去した素子2の欠如部3が、ランダム
に発生している。図3は、前記素子フープ1より打抜き
切断された素子2の単品状態例を示している。
【0015】図4は、前記素子2を電子部品とするため
にマウントされた状態を示しており、4は金属材などの
薄板帯状の移送孔5を両端部に、そして中心帯4cをは
さんで対向して素子マウント部4a,4bが打抜き加工
された被マウント部材としてのリードフレームである。
【0016】素子マウント部4a,4bにはあらかじめ
紫外線硬化あるいは熱硬化型の接着剤6,7が塗布され
ており、素子2を2列で所定個所、かつ所定方向にマウ
ントした後接着剤6,7を硬化させて素子2のマウント
を完了する。
【0017】次に2素子マウント装置の構成について説
明する。2素子マウント装置は主に、素子供給部、素子
切断部、素子欠如処理部、素子位置決め部そして素子マ
ウント部で構成されている。
【0018】図1において、8はオシレートハードラー
であり、カム軸14に固着されたタイミングプーリー1
3の回転力(駆動機構は図示せず)を動力としてタイミ
ングベルト12、タイミングプーリー10を介して駆動
される。11はテークアッププーリーであり、タイミン
グベルト12に適正な張力を与えている。
【0019】9は、矢印方向に回転かつ上下移動可能な
割り出し上下テーブルであり、オシレートハードラー8
の動作により、回転による必要な割り出し動作と上下移
動動作が与えられる。また割り出し上下テーブル9に
は、割り出し数と同じ個数とピッチの真空力により吸着
する吸着ヘッド18が上下摺動自在に円周端に設置され
ており、吸着ヘッド18には素子2を吸着するための真
空力と素子2をマウントする時必要なエアー圧力が、配
管19a,19b,19c,19dより吸着ヘッド18
の内側で、割り出し上下テーブル9の上面に設置された
スリップリング20を介して吸引あるいは供給される。
そして8aは押えバネであり、スリップリング20が割
り出し上下テーブル9から浮くのを防止している。
【0020】16はオシレートハードラー8を上部側面
に固定するブラケットであり、17はブラケット16を
上面に固定するなど装置全体を保持形成するフレームで
ある。
【0021】23a,23bは素子検出器であり、前記
図2で説明した素子フープ1の両端部をそれぞれ挟んで
上下に配設され、素子2の欠如部3を検出して記憶しそ
の出力信号を素子欠如処理部に入力される。そして素子
フープ1はパルスモーターなどの駆動用モーター32に
連結されたピンプーリー30と押えローラー31により
矢印方向に規定のピッチで移送され、不要となった帯部
1bはフレーム17の内部へ移送される。
【0022】25は素子切断ダイであり、素子検出器2
3a,23bに続いて素子フープ1の上面側に配設して
あり、それと対向して素子フレーム1の下側面に素子切
断ポンチ26が配設されている。
【0023】24,24aは吸着ヘッド18の下部先端
に取付けられた対の真空吸着ピンであり、素子切断ダイ
25に近接して素子フープ1の上面側に設置されてい
る。そして前記素子切断ダイ25と素子切断ポンチ26
により、素子フープ1より打抜き切断された素子2を吸
着し、次の割り出し位置に搬送される。
【0024】29はカム軸14の片端に固着された溝カ
ムであり、カム溝29aに摺動自在にはめ込んだ駆動ロ
ーラー15を動作させて、駆動ローラー15を一端に取
付けているレバー28を揺動駆動する。そしてレバー2
8の他端に取付けた素子切断ポンチ26をスライド軸受
27で支持かつ摺動して上下に駆動される。
【0025】33は上面片端に素子2を積載するように
した素子受け台であり、パルスモーターなどの駆動用モ
ーター34により180度回転可能としており、素子フ
ープ1の欠如部3のために真空吸着ピン24,24aに
素子2が吸着されない欠如があった時、前記素子検出器
23a,23bの信号により、180度回転や搬送一時
停止などを行って素子2の欠如が次のリードフレームへ
のマウントに支障がないように処理および処置される。
【0026】39はシリンダーであり、吸着ヘッド18
の上下駆動を行うとともに、前記の素子受け台33での
素子2の欠如処理および処置が不要な場合には吸着ヘッ
ド18の下降をさせない機構となっている。51は配管
であり真空吸引して素子2が素子受け台33の所定位置
からのずれを防止している。
【0027】35は素子位置決め部であり、上面部に設
けた位置決め孔36により精密に素子2の位置決めがな
されて、次の割り出し位置に真空吸着ピン24,24a
で吸着し搬送され、前記図4で説明したようにリードフ
レーム4の所定位置かつ所定方向にマウントされる。
【0028】リードフレーム4の移送孔5にピン40a
を挿入するピンプーリー40と、押えローラー37との
間にリードフレーム4を挟持し、ピンプーリー40と連
結したパルスモーターなどの駆動用モーター38の回転
駆動によりリードフレーム4を規定ピッチで移送する。
【0029】21は廻り止めであり、オシレートハード
ラー8とスリップリング20の間にスリップリング20
に取付けたスライド軸受22を挿通かつ摺動自在に設置
されており、スリップリング20を上下移動は自在とし
ているが回転は防止する働きをしている。
【0030】次に動作について説明する。素子フープ1
が駆動用モーター32により矢印方向に移送され素子2
の有無すなわち欠如を素子検出器23a,23bで検出
する。そして次の素子切断ダイ25と素子切断ポンチ2
6により素子2が素子フープ1より打抜き切断される。
【0031】打抜き切断された素子2は対の真空吸着ピ
ン24,24aに吸着保持され、次の割り出し位置に割
り出し上下テーブル9の回転により搬送される。
【0032】搬送された素子2は素子受け台33に到達
して、前記で説明したように素子検出器23a,23b
からの欠如信号による素子受け台33の動作により、対
の真空吸着ピン24,24aに素子2の欠如があれば補
充などの処理および処置をして、対の真空吸着ピン2
4,24aに各々素子2を吸着あるいは共に吸着してい
ない空で次の素子位置決め部35に割り出し上下テーブ
ル9の回転により搬送される。
【0033】素子位置決め部35に到達した2個の素子
2がある場合には位置決め爪36により補正などを行い
精密に位置決めされた後、前記と同様にして次の素子マ
ウント部に搬送される。
【0034】素子マウント部に達した2個の素子2は駆
動用モーター38により移送されるリードフレーム4の
所定位置かつ所定方向にマウントされるのである。
【0035】次に図5を用いて素子切断部と素子マウン
ト部について説明する。図5において、8aは押えバネ
でありスリップリング20が割り出し上下テーブル9よ
り浮き上るのを防止するために付勢しており、かつ上下
動作を規制している。
【0036】41は溝であり、上部が接続管41aを経
由して配管19a,19dに接続されており、かつスリ
ップリング20の下面部に設けられており、真空あるい
はエアーの通路となり、割り出し上下テーブル9の内部
に設けた前記と同じ通路となる配管孔42に下部が接続
されている。
【0037】43は割り出し上下テーブル9にはめ込ま
れた軸受であり、吸着ヘッド18の中央部が挿通して上
下に摺動自在に保持している。44はヘッドバネであ
り、真空吸着ピン24,24a、吸着ヘッド18を下方
向に付勢しており、48は割り出し上下テーブル9の下
面に取付けたガイドピンであり、真空吸着ピン24,2
4a、吸着ヘッド18の上下動作は可能とするが回転を
防止している。
【0038】45はフープ受けであり素子切断ポンチ2
6の中央部でかつ素子切断ダイ25と素子フープ1を挟
んで対向して設けており、素子フープ1の中央部を支え
ている。そして46はピンでありレバー28と素子切断
ポンチ26とを揺動自在に接続している。また47は素
子2がリードフレーム2にマウントされる下に設置した
リードフレーム受けであり、リードフレーム4を規制ガ
イドしている。
【0039】真空あるいはエアーは配管19aあるいは
19dからスリップリング20の接続管41a、溝4
1、配管孔42を経由して各々の真空吸着ピン24,2
4aに導かれるようになっている。
【0040】図6を用いて欠如処理部について説明す
る。図6において、49はナックルでありシリンダー3
9の駆動先端に取付けられ、吸着ヘッド18の上部には
め込まれており、シリンダー39の駆動により吸着ヘッ
ド18すなわち真空吸着ピン24,24aを上下移動さ
せる。50は真空孔であり素子受け台33内に設けら
れ、先端が素子2の積載面上に出ており、他の先端は、
真空吸引用配管51に駆動用モーター34による駆動軸
内34aを経由して接続されている。
【0041】そして割り出し上下テーブル9が降下し、
シリンダー39の駆動でナックル49が降下すると、吸
着ヘッド18も降下して真空吸着ピン24,24aの先
端は素子受け台33の上面にほぼ接する位置まで降下
し、素子受け台33の上面に積載された素子2の受け渡
しを可能とする。また逆にナックル49が上昇し、ヘッ
ドバネ44を圧縮して吸着ヘッド18が上昇すると真空
吸着ピン24,24aの先端と素子受け台33の上面の
間に隙間が形成され、素子2の受け渡しは行われないの
である。
【0042】素子受け台33の上面に積載された素子2
は真空孔50の先端で真空吸引されて、位置ずれを防止
されている。そしてまた素子受け台33は駆動用モータ
ー34により180度回転させられて一方の位置で内側
の真空吸着ピン24aに、もう一方の位置では真空吸着
ピン24に対応するように動作する。
【0043】次に図7により素子2の切断動作を説明す
る。まず、図7(a)に示すように真空吸着ピン24a
が降下し、かつ素子切断ポンチ26が上昇して素子フー
プ1を規定の位置で挟持する。次に図7(b)に示すよ
うに真空吸着ピン24,24aが上昇するとともに同期
して素子切断ポンチ26がさらに上昇し素子切断ダイ2
5との動作作用により、所定形状の素子2と帯部1bに
打抜き切断する。そして図7(c)に示すように真空吸
着ピン24,24aをさらに上昇するとともに、素子切
断ポンチ26は元の位置に降下して素子2の素子切断動
作を終了する。
【0044】次に図8〜図10により素子欠如処理部の
動作を説明する。まず図8に示すように真空吸着ピン2
4,24aの先端に素子2がともに吸着された場合には
真空吸着ピン24,24aは降下せず素子欠如処理動作
は不要で、次の素子マウント部に素子2は搬送される。
【0045】図9に示すのは一方の真空吸着ピン24に
素子2が吸着されておらず、素子受け台33の上面規定
個所に素子2が積載されている状態かつ動作であり、素
子受け台33は素子2の積載面が素子2を吸着していな
い真空吸着ピン24に180度回転した後、真空吸着ピ
ン24,24aは降下して真空吸着ピン24は素子受け
台33の素子2を吸着して、前記図8に示す状態とな
り、次の素子マウント部に搬送される。
【0046】なお真空吸着ピン24,24aが素子受け
台33に割り出し到達して素子2を吸着していない真空
吸着ピン24あるいは24aに素子受け台33の素子2
が対応している時には素子受け台33は回転せず真空吸
着ピン24,24aが降下して素子受け台33の素子2
を吸着する。なお素子2の有無すなわち欠如は前記で説
明したように素子検出器23a,23bで行われ、その
出力信号で前記の動作を制御する。
【0047】図10は一方の真空吸着ピン24に素子2
が吸着されておらず、また素子受け台33にも素子2が
積載されていない状態かつ動作を示しており、真空吸着
ピン24,24aは降下して素子受け台33の素子積載
面に真空吸着ピン24aに吸着している素子2を搭載し
預ける(もし素子2を吸着している真空吸着ピン24a
と素子受け台33の素子積載面と対応していない時は、
事前に素子受け台33を180度回転させて対応させ
る)。その後真空吸着ピン24,24aを上昇させるの
である。
【0048】すなわち真空吸着ピン24,24aともに
素子2を吸着していない空の場合であり、この場合かあ
るいは前工程の素子切断部で素子2が2個ともなく同じ
く真空吸着ピン24,24aが空の場合には、次のマウ
ント部に割り出し到達かつマウント動作の真空吸着ピン
24,24aがリードフレーム4に向って降下しても、
駆動用モーター38を停止させてリードフレーム4の定
ピッチ移送を止めることにより、リードフレーム4内に
発生する素子2の欠如を防止するのである。
【0049】図11により、真空吸引あるいはエアー供
給系のスリップリングについて説明する。41b,41
c,41d,41eはスリップリング20の下面部に設
けられた溝であり、それぞれ配管19a,19b,19
c,19dに対応して接続管41a(図示せず)により
接続されている。
【0050】まず、素子切断位置では配管19dと溝4
1eを経由して吸着ヘッド18に接続され真空吸引して
素子2を吸着保持可能としている。
【0051】次の素子欠如処理位置では配管19cと溝
41dを経由して真空吸引している。そして素子欠如処
理および処置が必要で、前記で説明したように素子2を
素子受け台33に積載する場合には吸着ヘッド18が降
下した時真空吸引回路を遮断し、吸着ヘッド18が再び
上昇した時に再び真空吸引回路を接続する(遮断接続機
構は図示せず)。
【0052】配管19bと溝41cは素子欠如処理位置
より素子マウント位置まで吸着ヘッド18に接続し真空
吸引して、素子2を真空吸着ピン24,24aの先端に
吸着保持する。
【0053】配管19aと溝41bは素子マウント位置
で吸着ヘッド18が降下してマウントを終了し吸着ヘッ
ド18が元の位置に上昇し、終るまで真空吸引回路を遮
断し、吸着ヘッド18が再び上昇する時に素子2を吸着
持ち上げるのを防止するのである。
【0054】なお、本発明の実施の形態においては、上
下動作にオシレートハードラーによる割り出し上下テー
ブル全体を上下させたが、上下別個の駆動源を使用して
吸着ヘッドのみを必要個所にて上下動作させる構成とし
てもよい。
【0055】本発明の実施の形態においては、素子の方
向を一定とした説明をしたが2本の真空吸着ピンにそれ
ぞれ回転機構を付加すれば自由に素子の方向を設定でき
る。
【0056】また、素子位置決め部において2個の素子
間あるいはピッチを変更できるようにすれば、素子供給
部(素子切断部)における素子間あるいはピッチに限定
されずに素子マウント部で自由に変更することが可能と
なる。
【0057】なおまた、素子の有無すなわち欠如を素子
の真空吸着ピンに吸着される前に行っているが、吸着し
た後素子の欠如処理および処置を行う前に新規に素子の
有無すなわち欠如や特性検査の機構を設けて、不良品の
素子を除去してから素子の欠如処理および処置を行って
もよい。
【0058】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、割り出し
上下テーブルの割り出し数に対応してその円周端に吸着
ヘッドが配置され、その吸着ヘッド先端で2個の素子を
吸着できる吸着ヘッドを設けた構造となし、素子供給部
において2列で素子が供給され、その素子のある素子フ
ープにランダムに素子のない欠如が発生しても、素子マ
ウント部に到達する途中に設けられた素子欠如処理部の
動作作用により素子は必ず2個かまたは0に揃えられ、
2個揃った時はそのままマウントし、0の時はマウント
されるマウント部材の移送を停止することにより、マウ
ント製品の素子欠如不良の発生を防止することができ、
かつ2個同時の高速素子、マウントが可能となる。
【0059】さらに前後上下動作に対して割り出し上下
動作を利用しているために、往復運動が不要となり、よ
り高速な素子マウント動作を可能とすることができる効
果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態における2素子マウント
装置の要部斜視図
【図2】同素子供給の素子フープの斜視図
【図3】同素子単体の斜視図
【図4】同素子マウントのリードフレームの斜視図
【図5】同素子切断部と素子マウント部の要部断面図
【図6】同素子の欠如処理部の要部断面図
【図7】同素子打抜き切断動作の概要工程図
【図8】同素子欠如処理の動作を説明する断面図
【図9】同素子欠如処理の動作を説明する断面図
【図10】同素子欠如処理の動作を説明する断面図
【図11】同真空吸引のスリップリング構成および動作
説明図
【図12】従来の素子マウント装置の要部斜視図
【符号の説明】
1 素子フープ 1a 送り孔 1b 帯部 2 素子 3 欠如部 4 リードフレーム 4a 素子マウント部 4b 素子マウント部 4c 中心帯 5 移送孔 6 接着剤 7 接着剤 8 オシレートハードラー 8a 押えバネ 9 割り出し上下テーブル 10 タイミングプーリー 11 テークアッププーリー 12 タイミングベルト 13 タイミングプーリー 14 カム軸 15 駆動ローラー 16 ブラケット 17 フレーム 18 吸着ヘッド 19a 配管 19b 配管 19c 配管 19d 配管 20 スリップリング 21 廻り止め 22 スライド軸受 23a 素子検出器 23b 素子検出器 24 真空吸着ピン 24a 真空吸着ピン 25 素子切断ダイ 26 素子切断ポンチ 27 スライド軸受 28 レバー 29 溝カム 29a カム溝 30 ピンプーリー 31 押えローラー 32 駆動用モーター 33 素子受け台 34 駆動用モーター 34a 駆動軸内 35 素子位置決め部 36 位置決め爪 37 押えローラー 38 駆動用モーター 39 シリンダー 40 ピンプーリー 40a ピン 41 溝 41a 接続管 41b 溝 41c 溝 41d 溝 41e 溝 42 配管孔 43 軸受 44 ヘッドバネ 45 フープ受け 46 ピン 47 リードフレーム受け 48 ガイドピン 49 ナックル 50 真空孔 51 配管

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 素子フープにより搬送される素子の欠如
    を検出し、この素子フープから2素子を同時に切断し、
    切断した2素子を対の吸着ヘッドで吸着し、素子に欠如
    があれば2素子揃うまで待期させ、2素子が吸着ヘッド
    に吸着された状態で被マウント部材にマウントする2素
    子マウント方法。
  2. 【請求項2】 連続して定ピッチで素子を供給する素子
    供給部と、割り出し数に対応した2個の素子を吸着する
    吸着ヘッドを円周端に配設した割り出しテーブルと、2
    個の素子の欠如を検出し制御出力信号を出す素子検出器
    と、マウントする素子形状に加工する素子切断部と、素
    子の欠如状態に対応して前記素子検出器の出力信号によ
    り制御され素子の欠如を処理および処置する素子欠如処
    理部と、2個の素子を同時にマウントしもし2個とも素
    子が吸着ヘッドに欠如している時には被マウント部材の
    移送を停止させる素子マウント部により構成された2素
    子マウント装置。
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