JPH09258828A - 超精密位置決め装置 - Google Patents
超精密位置決め装置Info
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- JPH09258828A JPH09258828A JP9297196A JP9297196A JPH09258828A JP H09258828 A JPH09258828 A JP H09258828A JP 9297196 A JP9297196 A JP 9297196A JP 9297196 A JP9297196 A JP 9297196A JP H09258828 A JPH09258828 A JP H09258828A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長ストロークの駆動が可能であると共に、高
剛性かつ超精密な位置決めの可能な超精密位置決め装置
を提供する。 【解決手段】 クランプ要素１４ａ乃至１４ｃのいずれ
かで移動体１を挟持しては、送り要素１３ａ乃至１３ｃ
を伸ばして移動体１を送り、その後挟持を解き送り要素
１３ａ乃至１３ｃを縮めるという一連の動作を送りユニ
ット１乃至３毎に繰り返し行う。そして、移動体１が移
動目標位置に到達したとき、移動体１を静止したままク
ランプ要素１４ａ乃至１４ｃを交互に伸縮させる。そし
て、同時に送り要素１３ａ乃至１３ｃの送り位置を伸縮
スパンの中間位置に設定する。その後クランプ要素１４
ａ乃至１４ｃを挟持状態にする。挟持完了後、位置セン
サ２５により検出した位置信号に基づき、送り要素１３
ａ乃至１３ｃに対する位置のフィードバック制御を行
う。
剛性かつ超精密な位置決めの可能な超精密位置決め装置
を提供する。 【解決手段】 クランプ要素１４ａ乃至１４ｃのいずれ
かで移動体１を挟持しては、送り要素１３ａ乃至１３ｃ
を伸ばして移動体１を送り、その後挟持を解き送り要素
１３ａ乃至１３ｃを縮めるという一連の動作を送りユニ
ット１乃至３毎に繰り返し行う。そして、移動体１が移
動目標位置に到達したとき、移動体１を静止したままク
ランプ要素１４ａ乃至１４ｃを交互に伸縮させる。そし
て、同時に送り要素１３ａ乃至１３ｃの送り位置を伸縮
スパンの中間位置に設定する。その後クランプ要素１４
ａ乃至１４ｃを挟持状態にする。挟持完了後、位置セン
サ２５により検出した位置信号に基づき、送り要素１３
ａ乃至１３ｃに対する位置のフィードバック制御を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超精密位置決め装置
に係わり、特に長ストロークの移動及び高剛性を実現し
た超精密位置決め装置に関する。
に係わり、特に長ストロークの移動及び高剛性を実現し
た超精密位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、超精密工作機械や半導体関連装置
及び測定機器等の高精度化に伴い、それらの機械の重要
な構成要素である超精密位置決め装置及び超精密送り装
置の性能向上が強く望まれている。これらの装置の中
で、高剛性や高分解能等を必要とする装置には圧電素子
がアクチュエータとして用いられていることが多い。そ
れは圧電素子が多くの長所を持っているためであるが、
圧電素子は変位量が極めて小さいことが最大の欠点であ
ると言える。その欠点を補うために尺取り虫方式やＷａ
ｌｋｉｎｇ Ｄｒｉｖｅ、粗動アクチュエータとの組み
合わせ方式、圧電素子の急速な変形を利用する方法等が
提案されている。これらの方式は長ストロークにわたっ
て駆動させることが可能であるが、位置決め装置に用い
る場合剛性の面から見ると圧電素子の剛性を十分利用し
ていると言えない。この間の事情を尺取り虫方式に例を
取り説明する。図１７に従来行われてきた尺取り虫方式
の駆動原理を、また図１８にこの尺取り虫方式を構成す
る各圧電素子に加える駆動電圧パターンを示す。図１７
において、移動体１を挟んで対峙する空間位置に設けた
一対の支持部２に、一対の送り要素３がその中心を支持
部２で支持されるように固着されている。一対の送り要
素３の両端には一対のクランプ要素４ａ及び４ｂが、各
々他端を伸縮自在に開放した状態でその一端が固着され
ている。
及び測定機器等の高精度化に伴い、それらの機械の重要
な構成要素である超精密位置決め装置及び超精密送り装
置の性能向上が強く望まれている。これらの装置の中
で、高剛性や高分解能等を必要とする装置には圧電素子
がアクチュエータとして用いられていることが多い。そ
れは圧電素子が多くの長所を持っているためであるが、
圧電素子は変位量が極めて小さいことが最大の欠点であ
ると言える。その欠点を補うために尺取り虫方式やＷａ
ｌｋｉｎｇ Ｄｒｉｖｅ、粗動アクチュエータとの組み
合わせ方式、圧電素子の急速な変形を利用する方法等が
提案されている。これらの方式は長ストロークにわたっ
て駆動させることが可能であるが、位置決め装置に用い
る場合剛性の面から見ると圧電素子の剛性を十分利用し
ていると言えない。この間の事情を尺取り虫方式に例を
取り説明する。図１７に従来行われてきた尺取り虫方式
の駆動原理を、また図１８にこの尺取り虫方式を構成す
る各圧電素子に加える駆動電圧パターンを示す。図１７
において、移動体１を挟んで対峙する空間位置に設けた
一対の支持部２に、一対の送り要素３がその中心を支持
部２で支持されるように固着されている。一対の送り要
素３の両端には一対のクランプ要素４ａ及び４ｂが、各
々他端を伸縮自在に開放した状態でその一端が固着され
ている。
【０００３】次に図１８に基づき尺取り虫方式の動作を
説明する。図１８の上部に記した数字はタイミングを示
し、１〜６の各タイミングは図１７の１）〜６）に対応
している。また横軸には位相（尺取り虫方式の動作が一
周期完了するまでを２πラジアンとして表した。）を、
縦軸には各圧電素子に印加する電圧値を示す。図１８は
上から順にクランプ要素４ａ、送り要素３、クランプ要
素４ｂの各電圧パターンを示している。まずタイミング
１において、クランプ要素４ａは挟持を解いておりクラ
ンプ要素４ｂが移動体１の挟持を行っている。次にタイ
ミング１〜タイミング２間において、クランプ要素４ｂ
が移動体１を挟持した状態で送り要素３が伸びる。従っ
て、移動体１は右方向へ駆動される。タイミング２で送
り要素３のストロークが限界に達し、タイミング３でク
ランプ要素４ａが移動体１の挟持を行う。そして、タイ
ミング４でクランプ要素４ｂは挟持を解く。タイミング
４〜タイミング５間ではストロークを回復するため送り
要素３が元の状態に縮む。この間移動体１は更に右方向
へ駆動される。タイミング５で送り要素３の収縮が限界
に達しクランプ要素４ｂが移動体１の挟持を行う。その
後タイミング６でクランプ要素４ａは挟持を解きタイミ
ング１に戻る。以上の様な動作を繰り返すことによって
連続的な動作ではないが、移動体１は長ストロークに渡
って右方向へ駆動される。
説明する。図１８の上部に記した数字はタイミングを示
し、１〜６の各タイミングは図１７の１）〜６）に対応
している。また横軸には位相（尺取り虫方式の動作が一
周期完了するまでを２πラジアンとして表した。）を、
縦軸には各圧電素子に印加する電圧値を示す。図１８は
上から順にクランプ要素４ａ、送り要素３、クランプ要
素４ｂの各電圧パターンを示している。まずタイミング
１において、クランプ要素４ａは挟持を解いておりクラ
ンプ要素４ｂが移動体１の挟持を行っている。次にタイ
ミング１〜タイミング２間において、クランプ要素４ｂ
が移動体１を挟持した状態で送り要素３が伸びる。従っ
て、移動体１は右方向へ駆動される。タイミング２で送
り要素３のストロークが限界に達し、タイミング３でク
ランプ要素４ａが移動体１の挟持を行う。そして、タイ
ミング４でクランプ要素４ｂは挟持を解く。タイミング
４〜タイミング５間ではストロークを回復するため送り
要素３が元の状態に縮む。この間移動体１は更に右方向
へ駆動される。タイミング５で送り要素３の収縮が限界
に達しクランプ要素４ｂが移動体１の挟持を行う。その
後タイミング６でクランプ要素４ａは挟持を解きタイミ
ング１に戻る。以上の様な動作を繰り返すことによって
連続的な動作ではないが、移動体１は長ストロークに渡
って右方向へ駆動される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかる一周
期の動作においてクランプ要素は移動体１を支持するた
め少なくとも一方が必ず移動体１の挟持を行っている
が、クランプ要素４ａ及び４ｂが同時に挟持を行うのは
タイミング３〜タイミング４間及びタイミング５〜タイ
ミング６間の僅かの期間しかない。従って、位置決めを
行った後のクランプ要素の位相をみても、１つ若しくは
２つのクランプ要素が移動体１を挟持することになり高
剛性の圧電素子を用いながら十分な剛性を実現していな
いおそれがあった。移動体１を挟持するクランプ要素の
数が多くなるとそれとほぼ比例的に剛性は上昇するが、
上述した尺取り虫方式の場合殆どの時間は１つのクラン
プ要素が移動体１の挟持を行うことになるので、２つの
クランプ要素が挟持を行った場合に比較して約半分の剛
性になっている。本発明はこのような従来の課題に鑑み
てなされたもので、長ストロークの駆動が可能であると
共に、高剛性かつ超精密な位置決めの可能な超精密位置
決め装置を提供することを目的とする。
期の動作においてクランプ要素は移動体１を支持するた
め少なくとも一方が必ず移動体１の挟持を行っている
が、クランプ要素４ａ及び４ｂが同時に挟持を行うのは
タイミング３〜タイミング４間及びタイミング５〜タイ
ミング６間の僅かの期間しかない。従って、位置決めを
行った後のクランプ要素の位相をみても、１つ若しくは
２つのクランプ要素が移動体１を挟持することになり高
剛性の圧電素子を用いながら十分な剛性を実現していな
いおそれがあった。移動体１を挟持するクランプ要素の
数が多くなるとそれとほぼ比例的に剛性は上昇するが、
上述した尺取り虫方式の場合殆どの時間は１つのクラン
プ要素が移動体１の挟持を行うことになるので、２つの
クランプ要素が挟持を行った場合に比較して約半分の剛
性になっている。本発明はこのような従来の課題に鑑み
てなされたもので、長ストロークの駆動が可能であると
共に、高剛性かつ超精密な位置決めの可能な超精密位置
決め装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため本発明（請求項
１）は、移動体の挟持・挟持解除又は移動方向への送り
・戻しを行う第１の移動要素と第２の移動要素を前記移
動体の挟持方向及び移動方向の属する面内に組み合わせ
た送りユニットを前記移動体の移動方向に複数備えた送
り機構と、前記送りユニットのいずれかで移動体を挟持
しては移動方向に伸ばして移動体を送りその後挟持を解
き移動方向に縮めるという一連の動作を前記送りユニッ
ト毎に位相を変えて繰り返し行うための前記第１の移動
要素と前記第２の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶
しておく記憶手段と、該記憶手段に記憶された位相及び
振幅値から前記第１の移動要素と前記第２の移動要素に
与える位相及び振幅の指令値を算出する位相等算出手段
と、該位相等算出手段の算出結果に基づき前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に駆動指令値を出力する駆
動指令値出力手段と、前記移動体が移動完了後前記送り
ユニットの少なくとも２つ以上で移動体を挟持するクラ
ンピング手段を備えて構成した。
１）は、移動体の挟持・挟持解除又は移動方向への送り
・戻しを行う第１の移動要素と第２の移動要素を前記移
動体の挟持方向及び移動方向の属する面内に組み合わせ
た送りユニットを前記移動体の移動方向に複数備えた送
り機構と、前記送りユニットのいずれかで移動体を挟持
しては移動方向に伸ばして移動体を送りその後挟持を解
き移動方向に縮めるという一連の動作を前記送りユニッ
ト毎に位相を変えて繰り返し行うための前記第１の移動
要素と前記第２の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶
しておく記憶手段と、該記憶手段に記憶された位相及び
振幅値から前記第１の移動要素と前記第２の移動要素に
与える位相及び振幅の指令値を算出する位相等算出手段
と、該位相等算出手段の算出結果に基づき前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に駆動指令値を出力する駆
動指令値出力手段と、前記移動体が移動完了後前記送り
ユニットの少なくとも２つ以上で移動体を挟持するクラ
ンピング手段を備えて構成した。
【０００６】また、本発明（請求項２）は、前記位相等
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置及び移動速度の少なくともどちらか一方
と前記記憶手段に予め記憶された位相及び振幅値とから
算出するよう構成した。
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置及び移動速度の少なくともどちらか一方
と前記記憶手段に予め記憶された位相及び振幅値とから
算出するよう構成した。
【０００７】更に、本発明（請求項３）は、移動体の挟
持・挟持解除又は移動方向への送り・戻しを行う第１の
移動要素と第２の移動要素を前記移動体の挟持方向及び
移動方向の属する面内に組み合わせた送りユニットを前
記移動体の移動方向に複数備えた送り機構と、前記移動
体の送り方向の現在位置を検出する位置センサと、前記
送りユニットのいずれかで移動体を挟持しては移動方向
に伸ばして移動体を送りその後挟持を解き移動方向に縮
めるという一連の動作を前記送りユニット毎に位相を変
えて繰り返し行うための前記第１の移動要素と前記第２
の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶しておく記憶手
段と、前記移動体の移動目標位置と前記記憶手段に記憶
された位相及び振幅値から前記第１の移動要素と前記第
２の移動要素に与える位相及び振幅の指令値を算出する
位相等算出手段と、該位相等算出手段の算出結果に基づ
き前記第１の移動要素と前記第２の移動要素に駆動指令
値を出力する駆動指令値出力手段と、前記移動体が移動
目標位置に到達したとき、移動体を静止したまま前記送
りユニットを交互に挟持若しくは挟持解除させ挟持解除
のとき前記送りユニットの送り位置を伸縮スパンの中間
位置に設定し、その後前記送りユニットの少なくとも２
つ以上で移動体の挟持を行うつかみかえクランピング手
段と、該つかみかえクランピング手段による移動体の挟
持完了後、前記移動体の移動目標位置と前記位置センサ
から検出した前記移動体の現在位置間の位置誤差に基づ
き前記送りユニットに対し移動方向への位置のフィード
バック制御を行うフィードバック制御手段を備えて構成
した。
持・挟持解除又は移動方向への送り・戻しを行う第１の
移動要素と第２の移動要素を前記移動体の挟持方向及び
移動方向の属する面内に組み合わせた送りユニットを前
記移動体の移動方向に複数備えた送り機構と、前記移動
体の送り方向の現在位置を検出する位置センサと、前記
送りユニットのいずれかで移動体を挟持しては移動方向
に伸ばして移動体を送りその後挟持を解き移動方向に縮
めるという一連の動作を前記送りユニット毎に位相を変
えて繰り返し行うための前記第１の移動要素と前記第２
の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶しておく記憶手
段と、前記移動体の移動目標位置と前記記憶手段に記憶
された位相及び振幅値から前記第１の移動要素と前記第
２の移動要素に与える位相及び振幅の指令値を算出する
位相等算出手段と、該位相等算出手段の算出結果に基づ
き前記第１の移動要素と前記第２の移動要素に駆動指令
値を出力する駆動指令値出力手段と、前記移動体が移動
目標位置に到達したとき、移動体を静止したまま前記送
りユニットを交互に挟持若しくは挟持解除させ挟持解除
のとき前記送りユニットの送り位置を伸縮スパンの中間
位置に設定し、その後前記送りユニットの少なくとも２
つ以上で移動体の挟持を行うつかみかえクランピング手
段と、該つかみかえクランピング手段による移動体の挟
持完了後、前記移動体の移動目標位置と前記位置センサ
から検出した前記移動体の現在位置間の位置誤差に基づ
き前記送りユニットに対し移動方向への位置のフィード
バック制御を行うフィードバック制御手段を備えて構成
した。
【０００８】更に、本発明（請求項４）は、前記位相等
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置及び移動速度と前記記憶手段に予め記憶
された位相及び振幅値とから算出するよう構成した。
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置及び移動速度と前記記憶手段に予め記憶
された位相及び振幅値とから算出するよう構成した。
【０００９】更に、本発明（請求項５）は、移動体の挟
持・挟持解除又は移動方向への送り・戻しを行う第１の
移動要素と第２の移動要素を前記移動体の挟持方向及び
移動方向の属する面内に組み合わせた送りユニットを前
記移動体の移動方向に複数備えた送り機構と、前記移動
体の送り方向の現在位置を検出する位置センサと、前記
送りユニットのいずれかで移動体を挟持しては移動方向
に伸ばして移動体を送りその後挟持を解き移動方向に縮
めるという一連の動作を前記送りユニット毎に位相を変
えて繰り返し行うための前記第１の移動要素と前記第２
の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶しておく記憶手
段と、前記移動体の移動目標位置と前記位置センサから
検出した前記移動体の現在位置間の位置誤差と前記記憶
手段に記憶された位相及び振幅値から前記第１の移動要
素と前記第２の移動要素に与える位相及び振幅の指令値
を算出する位相等算出手段と、該位相等算出手段の算出
結果に基づき前記第１の移動要素と前記第２の移動要素
に駆動指令値を出力する駆動指令値出力手段と、前記位
置誤差が予め設定した誤差範囲内に入りかつ前記送りユ
ニットの送り位置が伸縮スパンの中間位置を含む予め設
定した領域に入っているか否かを判定する位置判定手段
と、該位置判定手段で前記位置誤差が誤差範囲内であり
かつ前記送りユニットの送り位置が設定領域内のときは
前記送りユニットの少なくとも２つ以上で移動体を挟持
するクランピング手段と、前記位置判定手段で前記位置
誤差は誤差範囲内であるが前記送りユニットの送り位置
が設定領域外のときは移動体を静止したまま前記送りユ
ニットを交互に挟持若しくは挟持解除させ挟持解除のと
き前記送りユニットの送り位置を伸縮スパンの中間位置
に設定し、その後前記送りユニットの少なくとも２つ以
上で移動体の挟持を行うつかみかえクランピング手段
と、前記クランピング手段若しくは前記つかみかえクラ
ンピング手段による移動体の挟持完了後に前記送りユニ
ットの送り位置が伸縮スパンの中間位置を含む予め設定
した領域内か否かを判定する制御可否判定手段と、該制
御可否判定手段による判定が設定領域内であるときは前
記移動体の移動目標位置と前記位置センサから検出した
前記移動体の現在位置間の位置誤差に基づき前記送りユ
ニットに対し移動方向への積分制御を行う位置制御手段
を備えて構成した。
持・挟持解除又は移動方向への送り・戻しを行う第１の
移動要素と第２の移動要素を前記移動体の挟持方向及び
移動方向の属する面内に組み合わせた送りユニットを前
記移動体の移動方向に複数備えた送り機構と、前記移動
体の送り方向の現在位置を検出する位置センサと、前記
送りユニットのいずれかで移動体を挟持しては移動方向
に伸ばして移動体を送りその後挟持を解き移動方向に縮
めるという一連の動作を前記送りユニット毎に位相を変
えて繰り返し行うための前記第１の移動要素と前記第２
の移動要素の位相及び振幅値を予め記憶しておく記憶手
段と、前記移動体の移動目標位置と前記位置センサから
検出した前記移動体の現在位置間の位置誤差と前記記憶
手段に記憶された位相及び振幅値から前記第１の移動要
素と前記第２の移動要素に与える位相及び振幅の指令値
を算出する位相等算出手段と、該位相等算出手段の算出
結果に基づき前記第１の移動要素と前記第２の移動要素
に駆動指令値を出力する駆動指令値出力手段と、前記位
置誤差が予め設定した誤差範囲内に入りかつ前記送りユ
ニットの送り位置が伸縮スパンの中間位置を含む予め設
定した領域に入っているか否かを判定する位置判定手段
と、該位置判定手段で前記位置誤差が誤差範囲内であり
かつ前記送りユニットの送り位置が設定領域内のときは
前記送りユニットの少なくとも２つ以上で移動体を挟持
するクランピング手段と、前記位置判定手段で前記位置
誤差は誤差範囲内であるが前記送りユニットの送り位置
が設定領域外のときは移動体を静止したまま前記送りユ
ニットを交互に挟持若しくは挟持解除させ挟持解除のと
き前記送りユニットの送り位置を伸縮スパンの中間位置
に設定し、その後前記送りユニットの少なくとも２つ以
上で移動体の挟持を行うつかみかえクランピング手段
と、前記クランピング手段若しくは前記つかみかえクラ
ンピング手段による移動体の挟持完了後に前記送りユニ
ットの送り位置が伸縮スパンの中間位置を含む予め設定
した領域内か否かを判定する制御可否判定手段と、該制
御可否判定手段による判定が設定領域内であるときは前
記移動体の移動目標位置と前記位置センサから検出した
前記移動体の現在位置間の位置誤差に基づき前記送りユ
ニットに対し移動方向への積分制御を行う位置制御手段
を備えて構成した。
【００１０】更に、本発明（請求項６）は、前記位相等
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置と現在位置間の位置誤差及び移動速度と
前記記憶手段に予め記憶された位相及び振幅値とから算
出するよう構成した。
算出手段による前記第１の移動要素と前記第２の移動要
素に与える位相及び振幅の指令値の算出は、前記移動体
の移動目標位置と現在位置間の位置誤差及び移動速度と
前記記憶手段に予め記憶された位相及び振幅値とから算
出するよう構成した。
【００１１】更に、本発明（請求項７）は、前記位置制
御手段で行う制御はＰＩＤ制御として構成した。
御手段で行う制御はＰＩＤ制御として構成した。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。本発明の第１実施形態を図１乃至図
９に示す。図１において、一対の送り要素１３ａは移動
体１の移動方向と垂直な方向の移動体１を挟んで対峙す
る空間位置に各々一端を固定されている。そして、送り
要素１３ａの他端は移動体１の移動方向に伸縮自在に開
放されている。また、一対のクランプ要素１４ａは一対
の送り要素１３ａの他端にその一端を固定されており、
クランプ要素１４ａの他端は移動体の移動方向と垂直な
方向に伸縮自在に開放され移動体１を挟持若しくは挟持
を解除出来る様になっている。送りユニット１はかかる
一対の送り要素１３ａ及び一対のクランプ要素１４ａで
構成されている。送り機構１０は移動体１の移動方向に
同様の構成の送りユニット１乃至３を備えている。送り
要素１３ａ及びクランプ要素１４ａは印加電圧を変位に
変換可能な様に、例えば圧電素子（ＰＺＴ）で構成され
ている。なお、送りユニットは例えば図２若しくは図３
の様に構成してもよい。図２において、送り要素１３の
一端は所定の空間位置に固定され、他端には移動体１を
挟持するためのクランプブロック１２の一端面が固定さ
れている。クランプブロック１２の別端面には、移動体
１の移動方向と垂直な方向にクランプ要素１４の一端が
固定されている。そして、クランプ要素１４の他端は所
定の空間位置に固定されている。また、図３において移
動要素４３は、その一端が所定の空間位置に固定され、
移動体１の挟持方向及び移動方向の属する面内にその挟
持方向と所定の角度を有して配設されている。そして、
移動要素４３の他端には移動体１を挟持するためのクラ
ンプブロック４２の一端面が固定されている。クランプ
ブロック４２の別端面には、移動要素４４の一端が固定
され、移動要素４４は移動体１の挟持方向及び移動方向
の属する面内にその挟持方向と所定の角度を有して配設
されている。移動要素４４の他端は所定の空間位置に固
定されている。ここで、送り要素１３及び移動要素４３
（若しくは移動要素４４）は第１の移動要素に、またク
ランプ要素１４及び移動要素４４（若しくは移動要素４
３）は第２の移動要素に相当する。
基づいて説明する。本発明の第１実施形態を図１乃至図
９に示す。図１において、一対の送り要素１３ａは移動
体１の移動方向と垂直な方向の移動体１を挟んで対峙す
る空間位置に各々一端を固定されている。そして、送り
要素１３ａの他端は移動体１の移動方向に伸縮自在に開
放されている。また、一対のクランプ要素１４ａは一対
の送り要素１３ａの他端にその一端を固定されており、
クランプ要素１４ａの他端は移動体の移動方向と垂直な
方向に伸縮自在に開放され移動体１を挟持若しくは挟持
を解除出来る様になっている。送りユニット１はかかる
一対の送り要素１３ａ及び一対のクランプ要素１４ａで
構成されている。送り機構１０は移動体１の移動方向に
同様の構成の送りユニット１乃至３を備えている。送り
要素１３ａ及びクランプ要素１４ａは印加電圧を変位に
変換可能な様に、例えば圧電素子（ＰＺＴ）で構成され
ている。なお、送りユニットは例えば図２若しくは図３
の様に構成してもよい。図２において、送り要素１３の
一端は所定の空間位置に固定され、他端には移動体１を
挟持するためのクランプブロック１２の一端面が固定さ
れている。クランプブロック１２の別端面には、移動体
１の移動方向と垂直な方向にクランプ要素１４の一端が
固定されている。そして、クランプ要素１４の他端は所
定の空間位置に固定されている。また、図３において移
動要素４３は、その一端が所定の空間位置に固定され、
移動体１の挟持方向及び移動方向の属する面内にその挟
持方向と所定の角度を有して配設されている。そして、
移動要素４３の他端には移動体１を挟持するためのクラ
ンプブロック４２の一端面が固定されている。クランプ
ブロック４２の別端面には、移動要素４４の一端が固定
され、移動要素４４は移動体１の挟持方向及び移動方向
の属する面内にその挟持方向と所定の角度を有して配設
されている。移動要素４４の他端は所定の空間位置に固
定されている。ここで、送り要素１３及び移動要素４３
（若しくは移動要素４４）は第１の移動要素に、またク
ランプ要素１４及び移動要素４４（若しくは移動要素４
３）は第２の移動要素に相当する。
【００１３】図４には、送り機構１０を制御するための
全体のシステム構成図を示す。コンピュータ２１はメモ
リ２２（記憶手段に相当する。図示省略）を備え、送り
要素１３ａ乃至１３ｃ及びクランプ要素１４ａ乃至１４
ｃの位相及び振幅の指令値を算出する様になっている。
Ｄ／Ａ変換器２３、及び駆動用増幅器２４は、その指令
値を電圧に変換する様に構成されている。そして、後述
する位置のフィードバック制御が行われる場合には、位
置センサ２５が設けられＡ／Ｄ変換器２６で信号変換さ
れた後コンピュータ２１に入力される様になっている。
全体のシステム構成図を示す。コンピュータ２１はメモ
リ２２（記憶手段に相当する。図示省略）を備え、送り
要素１３ａ乃至１３ｃ及びクランプ要素１４ａ乃至１４
ｃの位相及び振幅の指令値を算出する様になっている。
Ｄ／Ａ変換器２３、及び駆動用増幅器２４は、その指令
値を電圧に変換する様に構成されている。そして、後述
する位置のフィードバック制御が行われる場合には、位
置センサ２５が設けられＡ／Ｄ変換器２６で信号変換さ
れた後コンピュータ２１に入力される様になっている。
【００１４】次に、図５乃至図９に基づき送り機構１０
の制御について説明する。図５及び図７は移動体１の移
動を行うための一周期分の制御パターンを示す。図５は
図１及び図２に示す送りユニットを使用した場合の制御
パターンであり、図７は図３に示す送りユニットを使用
した場合の制御パターンである。まず図５において、タ
イミング１〜タイミング２間では、クランプ要素１４ａ
及び１４ｃは挟持状態にある。クランプ要素１４ｂは挟
持を解除されている。この状態を維持しつつ送り要素１
３ａ及び１３ｃに徐々に電圧を印加していく。その結果
移動体１を移動することが出来る。送り要素１３ｂはこ
の間にその変位を次第に小さくする。タイミング３（位
相π）ではクランプ要素１４ｂを挟持状態にし、クラン
プ要素１４ａ及び１４ｃの挟持を解除する。タイミング
４〜タイミング５間では、クランプ要素１４ｂは挟持状
態にあり、クランプ要素１４ａ及び１４ｃは挟持を解除
の状態にある。この状態を維持しつつ送り要素１３ｂに
次第に電圧を印加していく。その結果移動体１を更に移
動することが出来る。送り要素１３ａ及び１３ｃはこの
間にその変位を次第に小さくする。そして、タイミング
５〜タイミング６（位相２π）間では再びクランプ要素
１４ａ及び１４ｃを挟持状態にすることで位相０の状態
に戻る。かかる一周期の動作を繰り返し続けることで、
送り機構１０は移動体１を長ストロークに渡って駆動出
来る。
の制御について説明する。図５及び図７は移動体１の移
動を行うための一周期分の制御パターンを示す。図５は
図１及び図２に示す送りユニットを使用した場合の制御
パターンであり、図７は図３に示す送りユニットを使用
した場合の制御パターンである。まず図５において、タ
イミング１〜タイミング２間では、クランプ要素１４ａ
及び１４ｃは挟持状態にある。クランプ要素１４ｂは挟
持を解除されている。この状態を維持しつつ送り要素１
３ａ及び１３ｃに徐々に電圧を印加していく。その結果
移動体１を移動することが出来る。送り要素１３ｂはこ
の間にその変位を次第に小さくする。タイミング３（位
相π）ではクランプ要素１４ｂを挟持状態にし、クラン
プ要素１４ａ及び１４ｃの挟持を解除する。タイミング
４〜タイミング５間では、クランプ要素１４ｂは挟持状
態にあり、クランプ要素１４ａ及び１４ｃは挟持を解除
の状態にある。この状態を維持しつつ送り要素１３ｂに
次第に電圧を印加していく。その結果移動体１を更に移
動することが出来る。送り要素１３ａ及び１３ｃはこの
間にその変位を次第に小さくする。そして、タイミング
５〜タイミング６（位相２π）間では再びクランプ要素
１４ａ及び１４ｃを挟持状態にすることで位相０の状態
に戻る。かかる一周期の動作を繰り返し続けることで、
送り機構１０は移動体１を長ストロークに渡って駆動出
来る。
【００１５】なお、移動体１の戻り動作はクランプ要素
１４ａ及び１４ｃを挟持状態とし、クランプ要素１４ｂ
の挟持を解除する。この状態を維持しつつ送り要素１３
ｂにプラス電圧を印加しその変位を増加させる（伸ば
す）。この状態を維持しクランプ要素１４ｂを挟持状態
とする。そして、クランプ要素１４ａ及び１４ｃの挟持
を解除する。次に、挟持状態にある送り要素１３ｂの電
圧をプラス電圧の範囲で低下させると送り要素１３ｂの
変位は減少し、移動体１は後退する。次に挟持解除状態
にあるクランプ要素１４ａ及び１４ｃに対して同様な指
令を行うことにより連続的に戻り動作を行うことが出来
る。
１４ａ及び１４ｃを挟持状態とし、クランプ要素１４ｂ
の挟持を解除する。この状態を維持しつつ送り要素１３
ｂにプラス電圧を印加しその変位を増加させる（伸ば
す）。この状態を維持しクランプ要素１４ｂを挟持状態
とする。そして、クランプ要素１４ａ及び１４ｃの挟持
を解除する。次に、挟持状態にある送り要素１３ｂの電
圧をプラス電圧の範囲で低下させると送り要素１３ｂの
変位は減少し、移動体１は後退する。次に挟持解除状態
にあるクランプ要素１４ａ及び１４ｃに対して同様な指
令を行うことにより連続的に戻り動作を行うことが出来
る。
【００１６】次に、図６に図３に示す送りユニットを使
用して送り機構を構成した場合を示す。図７はこの送り
機構の制御パターンである。図中乃至はタイミング
を示す。移動要素４３ａと移動要素４３ｂ、移動要素４
３ｃとは移動体１を移動方向に送るため各々１２０度ず
つ位相を異ならせ正弦電圧を付与している。また、移動
要素４３ａ、移動要素４３ｂ、移動要素４３ｃと移動要
素４４ａ、移動要素４４ｂ、移動要素４４ｃとは挟持又
は挟持解除を連続的に繰り返すため各々９０度ずつ位相
を異ならせている。理解を容易にするため、図６には各
送りユニットの各タイミングにおける送り概念図を移動
体１の周辺に楕円として示した。例えば、送りユニット
１について説明すればタイミングはクランプブロック
４２ａが一番移動体１から離れた状態であり、タイミン
グはクランプブロック４２ａが一番移動体１を強く挟
持した状態を示している。各送りユニットに対しかかる
送り概念図を同様に楕円として示してみると、各タイミ
ングにより移動体１が移動方向に移動される様子が確認
出来る。なお、実際に各移動要素に印加する電圧は、図
８に示す様に所定の剛性を確保するために挟持電圧を重
畳させる。
用して送り機構を構成した場合を示す。図７はこの送り
機構の制御パターンである。図中乃至はタイミング
を示す。移動要素４３ａと移動要素４３ｂ、移動要素４
３ｃとは移動体１を移動方向に送るため各々１２０度ず
つ位相を異ならせ正弦電圧を付与している。また、移動
要素４３ａ、移動要素４３ｂ、移動要素４３ｃと移動要
素４４ａ、移動要素４４ｂ、移動要素４４ｃとは挟持又
は挟持解除を連続的に繰り返すため各々９０度ずつ位相
を異ならせている。理解を容易にするため、図６には各
送りユニットの各タイミングにおける送り概念図を移動
体１の周辺に楕円として示した。例えば、送りユニット
１について説明すればタイミングはクランプブロック
４２ａが一番移動体１から離れた状態であり、タイミン
グはクランプブロック４２ａが一番移動体１を強く挟
持した状態を示している。各送りユニットに対しかかる
送り概念図を同様に楕円として示してみると、各タイミ
ングにより移動体１が移動方向に移動される様子が確認
出来る。なお、実際に各移動要素に印加する電圧は、図
８に示す様に所定の剛性を確保するために挟持電圧を重
畳させる。
【００１７】図９は本発明の第１実施形態の動作を説明
するフローチャートである。まず、ステップ１（図中Ｓ
１と示す。以下同様）では、図５若しくは図７で説明し
た一周期分の位相及び電圧波形（振幅値）を周期関数と
してメモリ２２に記憶保持する。ステップ２では移動体
１の移動目標位置と移動速度等の変数を入力する。ステ
ップ３では入力された変数に基づき位相の増分を計算
し、ステップ４ではメモリ２２に記憶された周期関数か
ら電圧を読み込み電圧指令値を算出する。例えば、移動
体１の移動速度を遅くする様変数を入力した場合には、
位相の増分を小さくし、また移動速度を早くする様変数
を入力した場合には、位相の増分を大きくする。但し、
移動体１の移動速度を遅くする様変数を入力した場合に
は、振幅の指令値を小さくし、また移動速度を早くする
様変数を入力した場合には、振幅の指令値を大きくする
様処理を行ってもよい。ステップ３及びステップ４の処
理は、位相等算出手段に相当する。その後、ステップ５
で移動目標位置の誤差範囲内か否か判断される。ステッ
プ６の処理は移動目標位置の誤差範囲内でない場合に、
ステップ４で求めた電圧指令値に基づきコンピュータ２
１からＤ／Ａ変換器２３、及び駆動用増幅器２４を介し
電圧を各送り要素と各クランプ要素に送るもので、駆動
指令値出力手段に相当する。ステップ７の処理は、移動
目標位置の誤差範囲内ならば全クランプ要素を挟持状態
（若しくは全移動要素に等しく挟持電圧以上の電圧を印
加する）とし移動体１を挟持させる（以下クランピング
動作と呼ぶ）もので、クランピング手段に相当する。こ
の結果、長ストロークの移動を行い移動目標位置到達後
クランピング動作を行うことで、その後に続く移動体１
等による負荷制御（例えば切削加工等）時の剛性を少な
くとも２倍以上（本実施形態では約３倍）高くすること
が可能となる。本実施形態では送りユニットの数を３つ
としたが、送りユニット数を増やせばその分剛性を高め
ることが出来る。また、必ずしも送りユニットの全てに
ついてクランピング動作を行わなくても、少なくとも２
つ以上の送りユニットについて行うことで剛性を高くす
ることが可能である。移動体１の移動目標位置を変数と
して入力することで上述した様に移動目標位置まで自動
で移動体１を移動しても良いが、移動目標位置を入力せ
ず例えば作業員がプッシュボタンを押している間だけ移
動体１を移動する様にしても良い。この場合であって
も、移動速度を変数入力することでステップ３で位相等
の算出を行い移動体１の移動速度を変えることが可能で
ある。即ち、移動速度を変えるには送り要素とクランプ
要素に与える位相若しくは振幅の少なくとも一方を変え
ることで可能である。また、移動速度も変数入力されな
ければ、予めステップ１でメモリ２２に記憶保持された
周期関数に基づき移動体１が移動制御される。以上の制
御はフィードバック制御を行わずオープンループで行う
ため位置センサ２５がなくても良い。
するフローチャートである。まず、ステップ１（図中Ｓ
１と示す。以下同様）では、図５若しくは図７で説明し
た一周期分の位相及び電圧波形（振幅値）を周期関数と
してメモリ２２に記憶保持する。ステップ２では移動体
１の移動目標位置と移動速度等の変数を入力する。ステ
ップ３では入力された変数に基づき位相の増分を計算
し、ステップ４ではメモリ２２に記憶された周期関数か
ら電圧を読み込み電圧指令値を算出する。例えば、移動
体１の移動速度を遅くする様変数を入力した場合には、
位相の増分を小さくし、また移動速度を早くする様変数
を入力した場合には、位相の増分を大きくする。但し、
移動体１の移動速度を遅くする様変数を入力した場合に
は、振幅の指令値を小さくし、また移動速度を早くする
様変数を入力した場合には、振幅の指令値を大きくする
様処理を行ってもよい。ステップ３及びステップ４の処
理は、位相等算出手段に相当する。その後、ステップ５
で移動目標位置の誤差範囲内か否か判断される。ステッ
プ６の処理は移動目標位置の誤差範囲内でない場合に、
ステップ４で求めた電圧指令値に基づきコンピュータ２
１からＤ／Ａ変換器２３、及び駆動用増幅器２４を介し
電圧を各送り要素と各クランプ要素に送るもので、駆動
指令値出力手段に相当する。ステップ７の処理は、移動
目標位置の誤差範囲内ならば全クランプ要素を挟持状態
（若しくは全移動要素に等しく挟持電圧以上の電圧を印
加する）とし移動体１を挟持させる（以下クランピング
動作と呼ぶ）もので、クランピング手段に相当する。こ
の結果、長ストロークの移動を行い移動目標位置到達後
クランピング動作を行うことで、その後に続く移動体１
等による負荷制御（例えば切削加工等）時の剛性を少な
くとも２倍以上（本実施形態では約３倍）高くすること
が可能となる。本実施形態では送りユニットの数を３つ
としたが、送りユニット数を増やせばその分剛性を高め
ることが出来る。また、必ずしも送りユニットの全てに
ついてクランピング動作を行わなくても、少なくとも２
つ以上の送りユニットについて行うことで剛性を高くす
ることが可能である。移動体１の移動目標位置を変数と
して入力することで上述した様に移動目標位置まで自動
で移動体１を移動しても良いが、移動目標位置を入力せ
ず例えば作業員がプッシュボタンを押している間だけ移
動体１を移動する様にしても良い。この場合であって
も、移動速度を変数入力することでステップ３で位相等
の算出を行い移動体１の移動速度を変えることが可能で
ある。即ち、移動速度を変えるには送り要素とクランプ
要素に与える位相若しくは振幅の少なくとも一方を変え
ることで可能である。また、移動速度も変数入力されな
ければ、予めステップ１でメモリ２２に記憶保持された
周期関数に基づき移動体１が移動制御される。以上の制
御はフィードバック制御を行わずオープンループで行う
ため位置センサ２５がなくても良い。
【００１８】なお、図１０には送り機構の別構成図（送
り機構３０）として送りユニットを２つ配設した場合を
示すが、予めメモリ２２に記憶保持された周期関数に基
づき移動体１を移動制御し、移動目標位置到達後クラン
ピング動作を行うことで剛性を約２倍に出来る点は上記
と同様である。また、送りユニットを４つ以上配設した
場合の制御も基本的に同様である。送りユニット数を増
加しても制御部分は同じ構成で処理が可能である。更
に、このとき送りユニット数を増加させればさせる程、
同一工程を処理する送りユニットの数が増えるため結果
として移動体１を移動中の剛性を高めることが出来る。
り機構３０）として送りユニットを２つ配設した場合を
示すが、予めメモリ２２に記憶保持された周期関数に基
づき移動体１を移動制御し、移動目標位置到達後クラン
ピング動作を行うことで剛性を約２倍に出来る点は上記
と同様である。また、送りユニットを４つ以上配設した
場合の制御も基本的に同様である。送りユニット数を増
加しても制御部分は同じ構成で処理が可能である。更
に、このとき送りユニット数を増加させればさせる程、
同一工程を処理する送りユニットの数が増えるため結果
として移動体１を移動中の剛性を高めることが出来る。
【００１９】次に本発明の第２実施形態について図１１
のフローチャートに基づき説明する。なお、送り機構１
０及び全体のシステム構成図は第１実施形態と同じなの
で説明は省略する（以下各実施形態についても同様）。
また、フローチャートについても第１実施形態と同一要
素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
第２実施形態では、移動目標位置まではオープンループ
で駆動し、最後の位置決めは位置についてのフィードバ
ック制御を行う。
のフローチャートに基づき説明する。なお、送り機構１
０及び全体のシステム構成図は第１実施形態と同じなの
で説明は省略する（以下各実施形態についても同様）。
また、フローチャートについても第１実施形態と同一要
素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
第２実施形態では、移動目標位置まではオープンループ
で駆動し、最後の位置決めは位置についてのフィードバ
ック制御を行う。
【００２０】図１１において、ステップ２で移動体１の
移動目標位置と移動速度の変数が入力されると、ステッ
プ３では入力された変数に基づき移動目標位置に行く迄
の周期、振幅を算出する。移動目標位置と移動速度の変
数入力は必ずしも両者について行う必要は無く、全く変
数入力が無い場合であっても予めメモリ２２に周期関数
と共にこれらの変数をも記憶保持しておくことで、移動
体１を移動制御可能である。かかる移動後移動体１が移
動目標位置に到達すると、次に述べるつかみかえクラン
ピング動作を行う。ステップ６までの制御は、オープン
ループで行う。ステップ１１ではクランプ要素１４ｂ
（若しくは移動要素４３ｂ及び移動要素４４ｂに挟持電
圧Ｖ１以上の所定の電圧を印加する）を挟持状態にす
る。ステップ１２ではクランプ要素１４ａ（若しくは移
動要素４３ａ及び移動要素４４ａに印加する電圧を０と
する。ここで、挟持電圧Ｖ１以下の０ボルトとするの
は、挟持解除時に移動要素４３及び移動要素４４が移動
体１と接触することを避けるためである。以下、同旨）
及び１４ｃ（若しくは移動要素４３ｃ及び移動要素４４
ｃに印加する電圧を０とする）の挟持を解除する。そし
て、送り要素１３ａ及び１３ｃの送り位置として圧電素
子の有する伸縮スパンの中間位置（この中間位置を中心
に予め設定した所定の領域を以下コントロールバンドと
いう）に停止する様電圧を印加する（若しくは移動要素
４３ａ、移動要素４４ａ及び移動要素４３ｃ、移動要素
４４ｃに印加する電圧を０とすれば、丁度圧電素子の有
する伸縮スパンは中間位置になる）。中間位置に停止
後、ステップ１３でクランプ要素１４ａ及び１４ｃの挟
持を行う（若しくは移動要素４３ａ、移動要素４４ａ及
び移動要素４３ｃ、移動要素４４ｃに挟持電圧Ｖ１以上
の所定の電圧を印加する）。ステップ１４でクランプ要
素１４ｂの挟持を解除し、送り要素１３ｂの送り位置と
して圧電素子の有する伸縮スパンの中間位置に停止する
様電圧を印加する（若しくは移動要素４３ｂ及び移動要
素４４ｂに印加する電圧を０とする）。中間位置に停止
後、ステップ１５でクランプ要素１４ｂ（若しくは移動
要素４３ｂ及び移動要素４４ｂに挟持電圧Ｖ１以上の所
定の電圧を印加する）を挟持状態にする。ステップ１１
乃至ステップ１５の処理はつかみかえクランピング手段
に相当する。なお、つかみかえクランピング動作の手順
は本実施形態の他に、まずステップ１３乃至ステップ１
５を行った後にステップ１１乃至ステップ１２を行う様
にしてもよい。かかる場合もつかみかえクランピング手
段に含めて考える。そして、最終の位置決めはステップ
１６で位置センサ２５により検出した現在位置と移動目
標位置間の位置誤差に基づき送り要素１３ａ乃至１３ｃ
（若しくは移動要素４３及び移動要素４４）に対する位
置のフィードバック制御を行うことにより行われる。
移動目標位置と移動速度の変数が入力されると、ステッ
プ３では入力された変数に基づき移動目標位置に行く迄
の周期、振幅を算出する。移動目標位置と移動速度の変
数入力は必ずしも両者について行う必要は無く、全く変
数入力が無い場合であっても予めメモリ２２に周期関数
と共にこれらの変数をも記憶保持しておくことで、移動
体１を移動制御可能である。かかる移動後移動体１が移
動目標位置に到達すると、次に述べるつかみかえクラン
ピング動作を行う。ステップ６までの制御は、オープン
ループで行う。ステップ１１ではクランプ要素１４ｂ
（若しくは移動要素４３ｂ及び移動要素４４ｂに挟持電
圧Ｖ１以上の所定の電圧を印加する）を挟持状態にす
る。ステップ１２ではクランプ要素１４ａ（若しくは移
動要素４３ａ及び移動要素４４ａに印加する電圧を０と
する。ここで、挟持電圧Ｖ１以下の０ボルトとするの
は、挟持解除時に移動要素４３及び移動要素４４が移動
体１と接触することを避けるためである。以下、同旨）
及び１４ｃ（若しくは移動要素４３ｃ及び移動要素４４
ｃに印加する電圧を０とする）の挟持を解除する。そし
て、送り要素１３ａ及び１３ｃの送り位置として圧電素
子の有する伸縮スパンの中間位置（この中間位置を中心
に予め設定した所定の領域を以下コントロールバンドと
いう）に停止する様電圧を印加する（若しくは移動要素
４３ａ、移動要素４４ａ及び移動要素４３ｃ、移動要素
４４ｃに印加する電圧を０とすれば、丁度圧電素子の有
する伸縮スパンは中間位置になる）。中間位置に停止
後、ステップ１３でクランプ要素１４ａ及び１４ｃの挟
持を行う（若しくは移動要素４３ａ、移動要素４４ａ及
び移動要素４３ｃ、移動要素４４ｃに挟持電圧Ｖ１以上
の所定の電圧を印加する）。ステップ１４でクランプ要
素１４ｂの挟持を解除し、送り要素１３ｂの送り位置と
して圧電素子の有する伸縮スパンの中間位置に停止する
様電圧を印加する（若しくは移動要素４３ｂ及び移動要
素４４ｂに印加する電圧を０とする）。中間位置に停止
後、ステップ１５でクランプ要素１４ｂ（若しくは移動
要素４３ｂ及び移動要素４４ｂに挟持電圧Ｖ１以上の所
定の電圧を印加する）を挟持状態にする。ステップ１１
乃至ステップ１５の処理はつかみかえクランピング手段
に相当する。なお、つかみかえクランピング動作の手順
は本実施形態の他に、まずステップ１３乃至ステップ１
５を行った後にステップ１１乃至ステップ１２を行う様
にしてもよい。かかる場合もつかみかえクランピング手
段に含めて考える。そして、最終の位置決めはステップ
１６で位置センサ２５により検出した現在位置と移動目
標位置間の位置誤差に基づき送り要素１３ａ乃至１３ｃ
（若しくは移動要素４３及び移動要素４４）に対する位
置のフィードバック制御を行うことにより行われる。
【００２１】フィードバック制御のブロック線図を図１
２に示す。ここでのＣ（Ｓ）には現代制御を用いても実
現可能であるし、古典制御、例えばＰＩＤを用いても可
能である。第２実施形態によれば、移動体１が移動目標
位置に到達後どの位置にあったとしても移動体１を移動
することなく、すべての送り要素（若しくは移動要素）
の送り位置を圧電素子の有する伸縮スパンの中間位置に
いつでも停止出来る。即ち、中間位置に送り要素（若し
くは移動要素）の送り位置を定めておくことで、その後
に行う負荷に対する制御範囲（伸縮スパンの中間位置を
中心にすればこの中心を起点に制御時に必要な伸び量及
び縮み量共に片寄る事無く十分に確保出来る）を広くと
ることが出来る。また、つかみかえクランピング動作に
より本実施形態の場合、１つのクランプ要素で挟持した
位置決め制御に比べ約３倍の剛性を得ることが出来る。
しかしながらつかみかえクランピング動作で、常に全て
のクランプ要素（若しくは移動要素）を移動体１の挟持
状態にする必要はない。たとえば２つのクランプ要素
（若しくは移動要素）で十分な剛性を得ることが出来る
のであれば、２つのクランプ要素（若しくは移動要素）
のみを挟持状態にする様負荷対象に応じて変えてもよ
い。更に、剛性を要求される場合には、挟持するクラン
プ要素（若しくは移動要素）の個数を増加しさえすれば
良い。この点は送りユニットの個数を増加することで容
易に対処可能である。
２に示す。ここでのＣ（Ｓ）には現代制御を用いても実
現可能であるし、古典制御、例えばＰＩＤを用いても可
能である。第２実施形態によれば、移動体１が移動目標
位置に到達後どの位置にあったとしても移動体１を移動
することなく、すべての送り要素（若しくは移動要素）
の送り位置を圧電素子の有する伸縮スパンの中間位置に
いつでも停止出来る。即ち、中間位置に送り要素（若し
くは移動要素）の送り位置を定めておくことで、その後
に行う負荷に対する制御範囲（伸縮スパンの中間位置を
中心にすればこの中心を起点に制御時に必要な伸び量及
び縮み量共に片寄る事無く十分に確保出来る）を広くと
ることが出来る。また、つかみかえクランピング動作に
より本実施形態の場合、１つのクランプ要素で挟持した
位置決め制御に比べ約３倍の剛性を得ることが出来る。
しかしながらつかみかえクランピング動作で、常に全て
のクランプ要素（若しくは移動要素）を移動体１の挟持
状態にする必要はない。たとえば２つのクランプ要素
（若しくは移動要素）で十分な剛性を得ることが出来る
のであれば、２つのクランプ要素（若しくは移動要素）
のみを挟持状態にする様負荷対象に応じて変えてもよ
い。更に、剛性を要求される場合には、挟持するクラン
プ要素（若しくは移動要素）の個数を増加しさえすれば
良い。この点は送りユニットの個数を増加することで容
易に対処可能である。
【００２２】次に本発明の第３実施形態について図１３
のフローチャートに基づき説明する。なお、第１実施形
態及び第２実施形態と同一要素のものについては同一符
号を付して説明は省略する。第３実施形態では、移動体
１の移動をも含め全領域に渡りフィードバック制御を行
う。まず、ステップ２１で移動体１の移動目標位置と移
動速度の変数が入力される。ステップ２２では位置セン
サ２５で検出した移動体１の現在位置をコンピュータ２
１に読み込みステップ２３で移動目標位置との位置誤差
を計算する。ステップ２４でこの位置誤差が十分小さく
なったか否かが判断され、小さくなるまではステップ２
５で、メモリ２２に記憶された周期関数から位相及び振
幅を読み込み送り要素及びクランプ要素（若しくは移動
要素４３及び移動要素４４）に与える位相及び振幅の指
令値を算出し（位相等算出手段に相当する）、この算出
結果に基づき送り要素等に駆動指令値を出力する（駆動
指令値出力手段に相当する）。従って移動体１は移動す
る。そして、予め決めた位置誤差範囲に入るとステップ
２６に進み、現在の周期関数の位相がコントロールバン
ド内か否かが判断される。判断の結果コントロールバン
ド内のときは、負荷に対する制御範囲が既に十分確保さ
れているためそのままステップ７でクランピング動作を
行う。一方、コントロールバンド外のときは、ステップ
１１乃至ステップ１５によりまずつかみかえクランピン
グ動作を行い、移動体１の位置を維持しながら負荷に対
する制御範囲を十分確保した上でクランプ要素（若しく
は移動要素）を挟持する作業を行う。ステップ２４及び
ステップ２６の処理は位置判定手段に相当する。クラン
ピング動作若しくはつかみかえクランピング動作を行っ
た後、ステップ２７で再び移動目標位置と移動体１の現
在位置との位置誤差を計算する。そして、ステップ２８
で現在の周期関数の位相がコントロールバンド内か否か
が判断される。かかる判断を行うのは、クランピング動
作若しくはつかみかえクランピング動作を行った場合、
原理的には移動体１の位置は動作前と変わらない筈であ
るが挟持若しくは挟持解除の際の物理的要因により微妙
に位置がずれることも考えられるためである。従って、
かかる位置のずれが実験等により常に少ないことが確認
されたり、物理的要因が常に小さい状態にあることが確
認されればステップ２８の処理は省略してもよい。ここ
で、ステップ２８の処理は制御可否判定手段に相当す
る。判断の結果コントロールバンド外のときは、最初
（ステップ２２）からやり直してコントロールバンド内
に入る様に制御を繰り返す。一方、コントロールバンド
内のときは、ステップ２９で送り要素１３ａ乃至１３ｃ
（若しくは移動要素４３及び移動要素４４）に対する積
分制御を行う。ステップ２９の処理は位置制御手段に相
当する。図１４に積分制御のブロック線図を示す。かか
る積分制御を行うことにより超精密な位置決め（位置決
め分解能は約３ｎｍを確認している。しかし、この数値
はより高分解能な測定システムを用いて測定すれば更に
小さくなると考える。）及び高剛性、特に高い静剛性
（測定データでは１７００Ｎ／μｍ以上を達成した。）
を実現することが可能である。
のフローチャートに基づき説明する。なお、第１実施形
態及び第２実施形態と同一要素のものについては同一符
号を付して説明は省略する。第３実施形態では、移動体
１の移動をも含め全領域に渡りフィードバック制御を行
う。まず、ステップ２１で移動体１の移動目標位置と移
動速度の変数が入力される。ステップ２２では位置セン
サ２５で検出した移動体１の現在位置をコンピュータ２
１に読み込みステップ２３で移動目標位置との位置誤差
を計算する。ステップ２４でこの位置誤差が十分小さく
なったか否かが判断され、小さくなるまではステップ２
５で、メモリ２２に記憶された周期関数から位相及び振
幅を読み込み送り要素及びクランプ要素（若しくは移動
要素４３及び移動要素４４）に与える位相及び振幅の指
令値を算出し（位相等算出手段に相当する）、この算出
結果に基づき送り要素等に駆動指令値を出力する（駆動
指令値出力手段に相当する）。従って移動体１は移動す
る。そして、予め決めた位置誤差範囲に入るとステップ
２６に進み、現在の周期関数の位相がコントロールバン
ド内か否かが判断される。判断の結果コントロールバン
ド内のときは、負荷に対する制御範囲が既に十分確保さ
れているためそのままステップ７でクランピング動作を
行う。一方、コントロールバンド外のときは、ステップ
１１乃至ステップ１５によりまずつかみかえクランピン
グ動作を行い、移動体１の位置を維持しながら負荷に対
する制御範囲を十分確保した上でクランプ要素（若しく
は移動要素）を挟持する作業を行う。ステップ２４及び
ステップ２６の処理は位置判定手段に相当する。クラン
ピング動作若しくはつかみかえクランピング動作を行っ
た後、ステップ２７で再び移動目標位置と移動体１の現
在位置との位置誤差を計算する。そして、ステップ２８
で現在の周期関数の位相がコントロールバンド内か否か
が判断される。かかる判断を行うのは、クランピング動
作若しくはつかみかえクランピング動作を行った場合、
原理的には移動体１の位置は動作前と変わらない筈であ
るが挟持若しくは挟持解除の際の物理的要因により微妙
に位置がずれることも考えられるためである。従って、
かかる位置のずれが実験等により常に少ないことが確認
されたり、物理的要因が常に小さい状態にあることが確
認されればステップ２８の処理は省略してもよい。ここ
で、ステップ２８の処理は制御可否判定手段に相当す
る。判断の結果コントロールバンド外のときは、最初
（ステップ２２）からやり直してコントロールバンド内
に入る様に制御を繰り返す。一方、コントロールバンド
内のときは、ステップ２９で送り要素１３ａ乃至１３ｃ
（若しくは移動要素４３及び移動要素４４）に対する積
分制御を行う。ステップ２９の処理は位置制御手段に相
当する。図１４に積分制御のブロック線図を示す。かか
る積分制御を行うことにより超精密な位置決め（位置決
め分解能は約３ｎｍを確認している。しかし、この数値
はより高分解能な測定システムを用いて測定すれば更に
小さくなると考える。）及び高剛性、特に高い静剛性
（測定データでは１７００Ｎ／μｍ以上を達成した。）
を実現することが可能である。
【００２３】なお、変数の入力に際し、移動目標位置の
みを入力し移動速度は予めメモリ２２に記憶された周期
関数に基づいてもよいことは前述した通りである。ま
た、ステップ２３で求めた位置誤差の大きさに基づき、
移動体１の移動速度（即ち送り要素若しくはクランプ要
素（若しくは移動要素）に与える位相若しくは振幅の指
令値）を可変（段階的可変も含む）出来る様にしてもよ
い。この場合の位相若しくは振幅の指令値の算出も位相
等算出手段に含めて考える。
みを入力し移動速度は予めメモリ２２に記憶された周期
関数に基づいてもよいことは前述した通りである。ま
た、ステップ２３で求めた位置誤差の大きさに基づき、
移動体１の移動速度（即ち送り要素若しくはクランプ要
素（若しくは移動要素）に与える位相若しくは振幅の指
令値）を可変（段階的可変も含む）出来る様にしてもよ
い。この場合の位相若しくは振幅の指令値の算出も位相
等算出手段に含めて考える。
【００２４】次に本発明の第４実施形態について図１５
のフローチャートに基づき説明する。なお、第１乃至第
３実施形態と同一要素のものについては同一符号を付し
て説明は省略する。第４実施形態は、第３実施形態とス
テップ２８迄の工程は同一であり、最後の位置決め制御
をステップ３０でＰＩＤ制御を行う。かかるＰＩＤ制御
を行うことで動剛性も高めることが可能になる。図１６
にこのＰＩＤ制御を用いたブロック線図の一例を示す。
のフローチャートに基づき説明する。なお、第１乃至第
３実施形態と同一要素のものについては同一符号を付し
て説明は省略する。第４実施形態は、第３実施形態とス
テップ２８迄の工程は同一であり、最後の位置決め制御
をステップ３０でＰＩＤ制御を行う。かかるＰＩＤ制御
を行うことで動剛性も高めることが可能になる。図１６
にこのＰＩＤ制御を用いたブロック線図の一例を示す。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明（請求項１）
によれば、尺取り虫方式に基づき移動制御する送り機構
と、移動完了後移動体を挟持するクランピング手段を備
えて構成したので、移動体を長ストロークに渡って移動
可能であり、かつ移動完了後の制御は高剛性を確保する
ことが出来る。
によれば、尺取り虫方式に基づき移動制御する送り機構
と、移動完了後移動体を挟持するクランピング手段を備
えて構成したので、移動体を長ストロークに渡って移動
可能であり、かつ移動完了後の制御は高剛性を確保する
ことが出来る。
【００２６】また、本発明（請求項２）によれば、請求
項１の発明に加え移動体の移動速度の変更、移動目標位
置の変更若しくは移動速度及び移動目標位置双方の変更
を可能とすることで、移動体の移動制御に対し柔軟に対
応出来る。
項１の発明に加え移動体の移動速度の変更、移動目標位
置の変更若しくは移動速度及び移動目標位置双方の変更
を可能とすることで、移動体の移動制御に対し柔軟に対
応出来る。
【００２７】更に、本発明（請求項３）によれば、移動
目標位置に到達後つかみかえクランピング手段を行い、
その後位置のフィードバック制御を行う構成したので、
負荷に対する制御範囲を広く取った超精密な位置決め制
御が可能となり、かつ高剛性を確保することが出来る。
目標位置に到達後つかみかえクランピング手段を行い、
その後位置のフィードバック制御を行う構成したので、
負荷に対する制御範囲を広く取った超精密な位置決め制
御が可能となり、かつ高剛性を確保することが出来る。
【００２８】更に、本発明（請求項４）によれば、請求
項３の移動目標位置に加え移動速度の変更を可能とする
ことで、移動体の移動制御に対し柔軟に対応出来る。
項３の移動目標位置に加え移動速度の変更を可能とする
ことで、移動体の移動制御に対し柔軟に対応出来る。
【００２９】更に、本発明（請求項５）によれば、全領
域に渡りフィードバック制御を行い、移動目標位置に到
達後クランピング手段若しくはつかみかえクランピング
手段を行い、その後積分制御を行う構成としたので、超
精密な位置決め及び負荷に対する制御範囲を広く取るこ
とが出来、高剛性、特に高い静剛性を実現することが可
能である。
域に渡りフィードバック制御を行い、移動目標位置に到
達後クランピング手段若しくはつかみかえクランピング
手段を行い、その後積分制御を行う構成としたので、超
精密な位置決め及び負荷に対する制御範囲を広く取るこ
とが出来、高剛性、特に高い静剛性を実現することが可
能である。
【００３０】更に、本発明（請求項６）によれば、請求
項５の移動目標位置に加え移動速度の変更を可能とした
ことで、請求項４と同様の効果を得ることが出来る。
項５の移動目標位置に加え移動速度の変更を可能とした
ことで、請求項４と同様の効果を得ることが出来る。
【００３１】更に、本発明（請求項７）によれば、位置
制御手段の制御をＰＩＤ制御としたことで動剛性も高め
ることが可能になる。
制御手段の制御をＰＩＤ制御としたことで動剛性も高め
ることが可能になる。
【００３２】
【図１】 送り機構の構成図
【図２】 送りユニットの別構成図
【図３】 送りユニットの別構成図
【図４】 全体のシステム構成図
【図５】 移動体の移動を行うための一周期分の制御パ
ターン
ターン
【図６】 図３に示す送りユニットを使用した送り機構
の移動概念図
の移動概念図
【図７】 図３に示す送りユニットを使用した送り機構
の制御パターン
の制御パターン
【図８】 各移動要素に印加する電圧パターン
【図９】 本発明の第１実施形態のフローチャート
【図１０】 送り機構の別構成図
【図１１】 本発明の第２実施形態のフローチャート
【図１２】 フィードバック制御のブロック線図
【図１３】 本発明の第３実施形態のフローチャート
【図１４】 積分制御のブロック線図
【図１５】 本発明の第４実施形態のフローチャート
【図１６】 ＰＩＤ制御を用いたブロック線図の一例
【図１７】 従来の尺取り虫方式による移動制御の駆動
原理
原理
【図１８】 各圧電素子に加える駆動電圧パターン
１ 移動体 １２，４２，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ クランプブロッ
ク １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，３３ａ，３３ｂ 送り要素 １４ａ，１４ｂ，１４ｃ，３４ａ，３４ｂ クランプ要
素 １０，３０ 送り機構 ２２ メモリ ２５ 位置センサ ４３，４４，４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４４ａ，４４
ｂ，４４ｃ 移動要素
ク １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，３３ａ，３３ｂ 送り要素 １４ａ，１４ｂ，１４ｃ，３４ａ，３４ｂ クランプ要
素 １０，３０ 送り機構 ２２ メモリ ２５ 位置センサ ４３，４４，４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４４ａ，４４
ｂ，４４ｃ 移動要素
Claims (7)
- 【請求項１】 移動体の挟持・挟持解除又は移動方向へ
の送り・戻しを行う第１の移動要素と第２の移動要素を
前記移動体の挟持方向及び移動方向の属する面内に組み
合わせた送りユニットを前記移動体の移動方向に複数備
えた送り機構と、前記送りユニットのいずれかで移動体
を挟持しては移動方向に伸ばして移動体を送りその後挟
持を解き移動方向に縮めるという一連の動作を前記送り
ユニット毎に位相を変えて繰り返し行うための前記第１
の移動要素と前記第２の移動要素の位相及び振幅値を予
め記憶しておく記憶手段と、該記憶手段に記憶された位
相及び振幅値から前記第１の移動要素と前記第２の移動
要素に与える位相及び振幅の指令値を算出する位相等算
出手段と、該位相等算出手段の算出結果に基づき前記第
１の移動要素と前記第２の移動要素に駆動指令値を出力
する駆動指令値出力手段と、前記移動体が移動完了後前
記送りユニットの少なくとも２つ以上で移動体を挟持す
るクランピング手段を備えて構成したことを特徴とする
超精密位置決め装置。 - 【請求項２】 前記位相等算出手段による前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に与える位相及び振幅の指
令値の算出は、前記移動体の移動目標位置及び移動速度
の少なくともどちらか一方と前記記憶手段に予め記憶さ
れた位相及び振幅値とから算出することを特徴とする請
求項１記載の超精密位置決め装置。 - 【請求項３】 移動体の挟持・挟持解除又は移動方向へ
の送り・戻しを行う第１の移動要素と第２の移動要素を
前記移動体の挟持方向及び移動方向の属する面内に組み
合わせた送りユニットを前記移動体の移動方向に複数備
えた送り機構と、前記移動体の送り方向の現在位置を検
出する位置センサと、前記送りユニットのいずれかで移
動体を挟持しては移動方向に伸ばして移動体を送りその
後挟持を解き移動方向に縮めるという一連の動作を前記
送りユニット毎に位相を変えて繰り返し行うための前記
第１の移動要素と前記第２の移動要素の位相及び振幅値
を予め記憶しておく記憶手段と、前記移動体の移動目標
位置と前記記憶手段に記憶された位相及び振幅値から前
記第１の移動要素と前記第２の移動要素に与える位相及
び振幅の指令値を算出する位相等算出手段と、該位相等
算出手段の算出結果に基づき前記第１の移動要素と前記
第２の移動要素に駆動指令値を出力する駆動指令値出力
手段と、前記移動体が移動目標位置に到達したとき、移
動体を静止したまま前記送りユニットを交互に挟持若し
くは挟持解除させ挟持解除のとき前記送りユニットの送
り位置を伸縮スパンの中間位置に設定し、その後前記送
りユニットの少なくとも２つ以上で移動体の挟持を行う
つかみかえクランピング手段と、該つかみかえクランピ
ング手段による移動体の挟持完了後、前記移動体の移動
目標位置と前記位置センサから検出した前記移動体の現
在位置間の位置誤差に基づき前記送りユニットに対し移
動方向への位置のフィードバック制御を行うフィードバ
ック制御手段を備えて構成したことを特徴とする超精密
位置決め装置。 - 【請求項４】 前記位相等算出手段による前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に与える位相及び振幅の指
令値の算出は、前記移動体の移動目標位置及び移動速度
と前記記憶手段に予め記憶された位相及び振幅値とから
算出することを特徴とする請求項３記載の超精密位置決
め装置。 - 【請求項５】 移動体の挟持・挟持解除又は移動方向へ
の送り・戻しを行う第１の移動要素と第２の移動要素を
前記移動体の挟持方向及び移動方向の属する面内に組み
合わせた送りユニットを前記移動体の移動方向に複数備
えた送り機構と、前記移動体の送り方向の現在位置を検
出する位置センサと、前記送りユニットのいずれかで移
動体を挟持しては移動方向に伸ばして移動体を送りその
後挟持を解き移動方向に縮めるという一連の動作を前記
送りユニット毎に位相を変えて繰り返し行うための前記
第１の移動要素と前記第２の移動要素の位相及び振幅値
を予め記憶しておく記憶手段と、前記移動体の移動目標
位置と前記位置センサから検出した前記移動体の現在位
置間の位置誤差と前記記憶手段に記憶された位相及び振
幅値から前記第１の移動要素と前記第２の移動要素に与
える位相及び振幅の指令値を算出する位相等算出手段
と、該位相等算出手段の算出結果に基づき前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に駆動指令値を出力する駆
動指令値出力手段と、前記位置誤差が予め設定した誤差
範囲内に入りかつ前記送りユニットの送り位置が伸縮ス
パンの中間位置を含む予め設定した領域に入っているか
否かを判定する位置判定手段と、該位置判定手段で前記
位置誤差が誤差範囲内でありかつ前記送りユニットの送
り位置が設定領域内のときは前記送りユニットの少なく
とも２つ以上で移動体を挟持するクランピング手段と、
前記位置判定手段で前記位置誤差は誤差範囲内であるが
前記送りユニットの送り位置が設定領域外のときは移動
体を静止したまま前記送りユニットを交互に挟持若しく
は挟持解除させ挟持解除のとき前記送りユニットの送り
位置を伸縮スパンの中間位置に設定し、その後前記送り
ユニットの少なくとも２つ以上で移動体の挟持を行うつ
かみかえクランピング手段と、前記クランピング手段若
しくは前記つかみかえクランピング手段による移動体の
挟持完了後に前記送りユニットの送り位置が伸縮スパン
の中間位置を含む予め設定した領域内か否かを判定する
制御可否判定手段と、該制御可否判定手段による判定が
設定領域内であるときは前記移動体の移動目標位置と前
記位置センサから検出した前記移動体の現在位置間の位
置誤差に基づき前記送りユニットに対し移動方向への積
分制御を行う位置制御手段を備えて構成したことを特徴
とする超精密位置決め装置。 - 【請求項６】 前記位相等算出手段による前記第１の移
動要素と前記第２の移動要素に与える位相及び振幅の指
令値の算出は、前記移動体の移動目標位置と現在位置間
の位置誤差及び移動速度と前記記憶手段に予め記憶され
た位相及び振幅値とから算出することを特徴とする請求
項５記載の超精密位置決め装置。 - 【請求項７】 前記位置制御手段で行う制御はＰＩＤ制
御であることを特徴とする請求項５又は請求項６記載の
超精密位置決め装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9297196A JP2967264B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 超精密位置決め装置 |
| US08/823,213 US5984501A (en) | 1996-03-25 | 1997-03-24 | Super-precision positioning system |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9297196A JP2967264B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 超精密位置決め装置 |
| US08/823,213 US5984501A (en) | 1996-03-25 | 1997-03-24 | Super-precision positioning system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09258828A true JPH09258828A (ja) | 1997-10-03 |
| JP2967264B2 JP2967264B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=26434341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9297196A Expired - Fee Related JP2967264B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 超精密位置決め装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5984501A (ja) |
| JP (1) | JP2967264B2 (ja) |
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| JP2001334498A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-04 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | スライダ機構及びスライダ機構の駆動方法 |
| JP2006271022A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータの駆動方法 |
| JP2007530301A (ja) * | 2004-04-01 | 2007-11-01 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 工作機械または生産機械の少なくとも１つの機械軸線を移動させるための操作装置 |
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| US6192284B1 (en) * | 1998-05-15 | 2001-02-20 | Norgren Automotive, Inc. | Clamping arm position sensing apparatus |
| KR100396020B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2003-08-27 | 박희재 | 초정밀 위치결정시스템 |
| KR100396021B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2003-08-27 | 박희재 | 초정밀 이송장치 |
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| JPS63238493A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | 工業技術院長 | 移動機構 |
| JPS63238491A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | 工業技術院長 | １次元移動機構 |
| JPH05316757A (ja) * | 1991-03-20 | 1993-11-26 | Nec Corp | 移動機構 |
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1996
- 1996-03-25 JP JP9297196A patent/JP2967264B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1997
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2967264B2 (ja) | 1999-10-25 |
| US5984501A (en) | 1999-11-16 |
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