JPS61120214A - 位置決め制御装置 - Google Patents
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- JPS61120214A JPS61120214A JP59240420A JP24042084A JPS61120214A JP S61120214 A JPS61120214 A JP S61120214A JP 59240420 A JP59240420 A JP 59240420A JP 24042084 A JP24042084 A JP 24042084A JP S61120214 A JPS61120214 A JP S61120214A
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- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41029—Adjust gain as function of position error and position
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Automation & Control Theory (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野１
本発明は、ステップアンドリピート型露光装置や［Ｃボ
ンダー等の半導体製造装置、産業用ロボットおよびＮＣ
工作機械等における可動体の位置決め制御装置に関し、
特に、負荷の変動や囮勤部の摩擦力変化等の外乱の影響
を補正し、短時間に定常位置＠差なく位置決めでき、か
つ位置決め方向による定常位置偏差の差をなくすること
を可能とした位置決め制御装置に開ケる。
ンダー等の半導体製造装置、産業用ロボットおよびＮＣ
工作機械等における可動体の位置決め制御装置に関し、
特に、負荷の変動や囮勤部の摩擦力変化等の外乱の影響
を補正し、短時間に定常位置＠差なく位置決めでき、か
つ位置決め方向による定常位置偏差の差をなくすること
を可能とした位置決め制御装置に開ケる。
［従来技術の説明］
従来、この種の位置決め制御装置の制御回路は第８図の
ように構成されており、可動体の位置決めは、第９図の
ような速度曲線に従って行なわれていた。第９図におい
て、ａ〜ｅまでが速度制御区間であり、目標位置近傍の
ｅ点で位置制御に切換えて最終的な位置決めを行なって
いる。同図においてＳａはハロ速開始点、ｂは最高速度
に達して定速駆動に移行する加速終了点、Ｃは減速開始
点、ｄは終速度（達した点で減速終了点、ｅは制御モー
ド切換点、ｆｌよ位置決め完了点である。
ように構成されており、可動体の位置決めは、第９図の
ような速度曲線に従って行なわれていた。第９図におい
て、ａ〜ｅまでが速度制御区間であり、目標位置近傍の
ｅ点で位置制御に切換えて最終的な位置決めを行なって
いる。同図においてＳａはハロ速開始点、ｂは最高速度
に達して定速駆動に移行する加速終了点、Ｃは減速開始
点、ｄは終速度（達した点で減速終了点、ｅは制御モー
ド切換点、ｆｌよ位置決め完了点である。
第８図において、・速度制御時、アナログスイッチ６は
速度指令用Ｄ／Ａ変換器２を選択し、速度関数発生器１
で、第９図ａ−ｅのような速度曲線を作り、Ｄ／Ａ変換
器２で速度指令電圧を得る。
速度指令用Ｄ／Ａ変換器２を選択し、速度関数発生器１
で、第９図ａ−ｅのような速度曲線を作り、Ｄ／Ａ変換
器２で速度指令電圧を得る。
増幅器７、モータ８および速度検出器９の閉ループは速
度フィードバック制御による速度制御を行ない、Ｄ／Ａ
変換器２からの速度指令電圧に従った速度で可動体１０
を移動する。次に制御切換位置ｅにて位置制御に切換わ
り、アナログスイッチ６は位置偏差出力用Ｄ／Ａ変換器
５を選択する。現在位置カウンタ４にはじまるＤ／Ａ変
換器５、増幅器７、モータ８、可動体１０、位置検出器
１１の閉ループは位置決めフィードバック制御系を形成
する。
度フィードバック制御による速度制御を行ない、Ｄ／Ａ
変換器２からの速度指令電圧に従った速度で可動体１０
を移動する。次に制御切換位置ｅにて位置制御に切換わ
り、アナログスイッチ６は位置偏差出力用Ｄ／Ａ変換器
５を選択する。現在位置カウンタ４にはじまるＤ／Ａ変
換器５、増幅器７、モータ８、可動体１０、位置検出器
１１の閉ループは位置決めフィードバック制御系を形成
する。
このような構成では、速度および位置の各制御系のルー
プゲインはそれぞれ一定であり、負荷の変動、）習動部
の摩擦力の変化、または系の剛性の変化等の要因により
、あるいは制御系を不安定にしないためにはループゲイ
ンを高く出来ない等の理由により、位置制御切換時に振
動が起きたり、定常位置偏差（目標位置と実際の停止位
置との偏差）が大きい、位置および移動方向により定常
位置偏差の大きさが変化するという欠点があった。
プゲインはそれぞれ一定であり、負荷の変動、）習動部
の摩擦力の変化、または系の剛性の変化等の要因により
、あるいは制御系を不安定にしないためにはループゲイ
ンを高く出来ない等の理由により、位置制御切換時に振
動が起きたり、定常位置偏差（目標位置と実際の停止位
置との偏差）が大きい、位置および移動方向により定常
位置偏差の大きさが変化するという欠点があった。
［発明の目的］
本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、位置決
め制御装置において、定常位置偏差および目標位置や移
動方向による定常位置偏差の変化を減少して位置決め精
度の向上を図るとともに、位置決め時間の短縮を図るこ
とを目的とする。
め制御装置において、定常位置偏差および目標位置や移
動方向による定常位置偏差の変化を減少して位置決め精
度の向上を図るとともに、位置決め時間の短縮を図るこ
とを目的とする。
［実施例の説明］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る位置決め制御装置の制
御系の構成を示す。同図において、３は目標位置設定器
、４は現在位置カウンタまたは位置偏差カウンタ、７は
サーボアンプである増幅器、８は可動体１０を駆動する
モータ、９はタコジェネレータ等のモータ速度検出器、
１０はスライドテーブルまたはロボットの腕等の可動体
、１１はロータリイエンコーダ、リニアスケールまたは
レーザ測長器等の位置検出器、１２は最大速度設定器、
１３は速度データと位置偏差データのどちらかを選択す
るセレクタ、１４はディジタルデータをアナログ出力に
変換するＤ／Ａ変換器、１５は乗算型Ｄ／Ａ変換器、１
６は乗算型Ｄ／Ａ変換器に設定するデータを記憶するレ
ジスタ、１１は速度データとゲインデータのどちらかを
選択するセレクタ、１８は速度曲線に応じた速度指令値
を記憶している速度曲線テーブルであるメモリ、１９は
位置偏差に応じたゲイン設定値を記憶しているゲイン設
定テーブルであるメモリ、２０は速度曲線のタイミング
クロックを発生する発振器、２１は速度曲線テーブルか
ら時間 、に応じたデータを選択指示するためのカウ
ンタである。・ 第１図の装置の作用説明に先立って本構成の原理につい
て説明する。
御系の構成を示す。同図において、３は目標位置設定器
、４は現在位置カウンタまたは位置偏差カウンタ、７は
サーボアンプである増幅器、８は可動体１０を駆動する
モータ、９はタコジェネレータ等のモータ速度検出器、
１０はスライドテーブルまたはロボットの腕等の可動体
、１１はロータリイエンコーダ、リニアスケールまたは
レーザ測長器等の位置検出器、１２は最大速度設定器、
１３は速度データと位置偏差データのどちらかを選択す
るセレクタ、１４はディジタルデータをアナログ出力に
変換するＤ／Ａ変換器、１５は乗算型Ｄ／Ａ変換器、１
６は乗算型Ｄ／Ａ変換器に設定するデータを記憶するレ
ジスタ、１１は速度データとゲインデータのどちらかを
選択するセレクタ、１８は速度曲線に応じた速度指令値
を記憶している速度曲線テーブルであるメモリ、１９は
位置偏差に応じたゲイン設定値を記憶しているゲイン設
定テーブルであるメモリ、２０は速度曲線のタイミング
クロックを発生する発振器、２１は速度曲線テーブルか
ら時間 、に応じたデータを選択指示するためのカウ
ンタである。・ 第１図の装置の作用説明に先立って本構成の原理につい
て説明する。
位置決め制御系の間ループゲインをＫｏ［１／Ｓ］、モ
ータ定格トルクをＴｐ ［Ｎ−ｍ］、モータ８が定格
回転数のときの送り速度をｌ”ｒ ［ｍ／Ｓ］、モー
タ軸換算負荷トルクをＴｄ［Ｎ−ｍ］、位置決め偏差を
ε［ｍ］とすると、負荷トルク、摺動部のａ！擦力の変
化による定常位置偏差はε 〉（［二 ｒ ／ＫＯ）
・ （丁ｄ ／Ｔｐ ）となる。また、開ルー
プゲインＫＯはサーボ系のシステム構成により一定の値
以下に上げると発振状態となり不安定となるために上げ
られない。このため従来の方法では定常位置偏差εは一
定の値以下に下げることが出来なかった。
ータ定格トルクをＴｐ ［Ｎ−ｍ］、モータ８が定格
回転数のときの送り速度をｌ”ｒ ［ｍ／Ｓ］、モー
タ軸換算負荷トルクをＴｄ［Ｎ−ｍ］、位置決め偏差を
ε［ｍ］とすると、負荷トルク、摺動部のａ！擦力の変
化による定常位置偏差はε 〉（［二 ｒ ／ＫＯ）
・ （丁ｄ ／Ｔｐ ）となる。また、開ルー
プゲインＫＯはサーボ系のシステム構成により一定の値
以下に上げると発振状態となり不安定となるために上げ
られない。このため従来の方法では定常位置偏差εは一
定の値以下に下げることが出来なかった。
ここで、ボールネジを使ったステージの位置決め制御系
での発振限界の例を第２図にゲインＫＯと位置偏差εと
の関係で示す。ａは反モータ側、ｂはモータ側の発振限
界を示す。これによると開ループゲインＫＯ１位置偏差
εの関係はＫｏ ＝Ｋ・ε−２ で表わされる。ただし、Ｋ、Ｐは比例定数であり位置に
より変化する場合がある。
での発振限界の例を第２図にゲインＫＯと位置偏差εと
の関係で示す。ａは反モータ側、ｂはモータ側の発振限
界を示す。これによると開ループゲインＫＯ１位置偏差
εの関係はＫｏ ＝Ｋ・ε−２ で表わされる。ただし、Ｋ、Ｐは比例定数であり位置に
より変化する場合がある。
従来の方法の場合、速度制御から位置決め制御に切換え
後は一定ゲインであり、粘性摩擦を持つ系での減衰波形
はゲインが低い場合は第３図にａで示すように指数関数
的に収束するとともに、ゲインが高い場合は第３図にｂ
で示すように撮動的に収束し、一方、乾燥摩擦の場合は
直線的に一定偏差値に収束する。ここで、ゲインを出来
るだけ上げ、常に安定ｆ！Ａｌで動作するように位置偏
差に応じたゲインを設定することができれば、定常位置
偏差および移動方向による定常位置偏差の差も小さくな
り、位置決め精度が向上することがわかる。本発明は、
このような位置偏差すなわち目標位置と現在位置との距
離に応じて安定領域内の出来るだけ大きなゲインで制御
を行なうことを可能にするものである。
後は一定ゲインであり、粘性摩擦を持つ系での減衰波形
はゲインが低い場合は第３図にａで示すように指数関数
的に収束するとともに、ゲインが高い場合は第３図にｂ
で示すように撮動的に収束し、一方、乾燥摩擦の場合は
直線的に一定偏差値に収束する。ここで、ゲインを出来
るだけ上げ、常に安定ｆ！Ａｌで動作するように位置偏
差に応じたゲインを設定することができれば、定常位置
偏差および移動方向による定常位置偏差の差も小さくな
り、位置決め精度が向上することがわかる。本発明は、
このような位置偏差すなわち目標位置と現在位置との距
離に応じて安定領域内の出来るだけ大きなゲインで制御
を行なうことを可能にするものである。
次に第１図の制御系の作用を説明する。
この系は、例えばマイクロプロセッサ等で構成される・
不図示の制御ｉｌＩ装置により、その動作を制御される
。該制御装置においては、演算処理により、あるいはオ
ペレータによる入力操作により、可動体の移動距離およ
び現在位置と移動距離との和である目標位置が定まると
、移動距離に応じて最大速度を最大速度設定器１２に設
定し、速度曲線テーブル１８の速度曲線を選択し、さら
に、目標位置を目標位置カウンタ３に設定するとともに
、目標位置に応じてゲイン設定テーブル１９のゲイン曲
線を選択する。
不図示の制御ｉｌＩ装置により、その動作を制御される
。該制御装置においては、演算処理により、あるいはオ
ペレータによる入力操作により、可動体の移動距離およ
び現在位置と移動距離との和である目標位置が定まると
、移動距離に応じて最大速度を最大速度設定器１２に設
定し、速度曲線テーブル１８の速度曲線を選択し、さら
に、目標位置を目標位置カウンタ３に設定するとともに
、目標位置に応じてゲイン設定テーブル１９のゲイン曲
線を選択する。
ゲイン設定テーブル１９としては、可変ゲインデータを
全ての位置で同じ値を使う１次元テーブルと、目標位置
によっても変わる２次元的なテーブルの２つが考えられ
るが、ここでは、１次元配列のものを用いた例を示す。
全ての位置で同じ値を使う１次元テーブルと、目標位置
によっても変わる２次元的なテーブルの２つが考えられ
るが、ここでは、１次元配列のものを用いた例を示す。
第１図の制御系において、上記目標位置および最大速度
等が設定され、さらに発振器２０の発振周波数の設定が
完了すると、カウンタ２１を初期化し。
等が設定され、さらに発振器２０の発振周波数の設定が
完了すると、カウンタ２１を初期化し。
セレクタ１３およびセレクタ１７を速度制御側に選択し
て第９図におけるａ−ｄ区間の速度制御を行なう。この
速度ＭＩＩｌの結果、可動体１０が目標位置近傍に到達
すると１次にセレクタ１３．１７を位置制御側に切換え
、本発明の特徴とする可変ゲインモードによる位置決め
制御を行な・う。
て第９図におけるａ−ｄ区間の速度制御を行なう。この
速度ＭＩＩｌの結果、可動体１０が目標位置近傍に到達
すると１次にセレクタ１３．１７を位置制御側に切換え
、本発明の特徴とする可変ゲインモードによる位置決め
制御を行な・う。
この位置決め制御においては、位置偏差値すなわち目標
位置カウント値と現在位置カウント値との差によりゲイ
ン設定テーブル１９のゲインデータを選択してレジスタ
１６に格納する。乗算型Ｄ／Ａ変換器１５では、Ｄ／Ａ
変換器１４から出力されるアナログ電圧をレジスタ１６
の出力値に応じて分圧し、制御系のゲインを変化させる
。このようにすることで、制御系のループゲインＫＯを
常に位置＆ｉ差に応じた最適値とすることが可能となり
、定常位置偏差は少なくなり、かつ、移動方向による定
常位置偏差の差も少なくすることが出来る。また、位置
決め制御に切換わっだ後の可動体の位置変化は、第３図
に曲線Ｃで示すように臨界制動的またはややｊＥ！動的
に定常位置に収束する。すなわら、位置決め時間が短縮
される。
位置カウント値と現在位置カウント値との差によりゲイ
ン設定テーブル１９のゲインデータを選択してレジスタ
１６に格納する。乗算型Ｄ／Ａ変換器１５では、Ｄ／Ａ
変換器１４から出力されるアナログ電圧をレジスタ１６
の出力値に応じて分圧し、制御系のゲインを変化させる
。このようにすることで、制御系のループゲインＫＯを
常に位置＆ｉ差に応じた最適値とすることが可能となり
、定常位置偏差は少なくなり、かつ、移動方向による定
常位置偏差の差も少なくすることが出来る。また、位置
決め制御に切換わっだ後の可動体の位置変化は、第３図
に曲線Ｃで示すように臨界制動的またはややｊＥ！動的
に定常位置に収束する。すなわら、位置決め時間が短縮
される。
第４図は、計算機を使用した制御回路の実施例を示す。
同図において、２２はマイクロコンピュータまたはミニ
コンピユータ等の中央演算処理装置、２３はＲＯＭ、Ｒ
ＡＭ等のメモリ装置、２４は計算機のバス、２５は速度
指令ラッチデータ１２′ と現在位置カウンタデータ４
′の１７Ｊ！指令フラグである。
コンピユータ等の中央演算処理装置、２３はＲＯＭ、Ｒ
ＡＭ等のメモリ装置、２４は計算機のバス、２５は速度
指令ラッチデータ１２′ と現在位置カウンタデータ４
′の１７Ｊ！指令フラグである。
′ここでは第１図に１７〜２１で示されるブロックの機
能が、計算機を使うことにより、プログラムで実行され
ている。
能が、計算機を使うことにより、プログラムで実行され
ている。
次に第５図のフローチャートを参照しながら第４図の制
御回路の作用を説明する。
御回路の作用を説明する。
この制御回路において、モータトルク、負荷トルクおよ
び慣性力等により最大加速度が決まっているため、移動
距離情報が与えられるとＣＰＵ２２に最大速度が求まる
。さらに、この最大速度に応じた減速時間、）５よび減
速区間移動距離を求め、減速補正値を求める。次に減速
開始位置、位置決め切換位置を求める。
び慣性力等により最大加速度が決まっているため、移動
距離情報が与えられるとＣＰＵ２２に最大速度が求まる
。さらに、この最大速度に応じた減速時間、）５よび減
速区間移動距離を求め、減速補正値を求める。次に減速
開始位置、位置決め切換位置を求める。
次に、これらのデータをメモリ２３の所定のエリアに設
定し、切換指令フラグ２５に指令して速度指令ラッチ１
２′ がＤ／Ａ変換器１４に接続されるようにセレクタ
１３を切換える。これにより、速度制御モードとなり、
加速、定速、減速という第２図ａ〜ｄ区間の速度制御を
行ない、終速度による定速区間ｄ−ｅとなり、制御切換
位置の検出を行ない、制御切換位置に達した時に、切換
指令フラグ２５に指令を与えて位置制御七−ドに切換え
る。
定し、切換指令フラグ２５に指令して速度指令ラッチ１
２′ がＤ／Ａ変換器１４に接続されるようにセレクタ
１３を切換える。これにより、速度制御モードとなり、
加速、定速、減速という第２図ａ〜ｄ区間の速度制御を
行ない、終速度による定速区間ｄ−ｅとなり、制御切換
位置の検出を行ない、制御切換位置に達した時に、切換
指令フラグ２５に指令を与えて位置制御七−ドに切換え
る。
位置制御に切換えた後、第６図に示すような目標位置に
応じてゲインを変えるような２次元的なゲインテーブル
を持っている場合は、目標位置に応じたゲインテーブル
を選択する。そして、現在位置を現在位置カウンタ４′
から読み、目標位置との差すなわち位置偏差を計算し、
位置偏差値の絶対値でゲインテーブルからゲインデータ
を読み出す。
応じてゲインを変えるような２次元的なゲインテーブル
を持っている場合は、目標位置に応じたゲインテーブル
を選択する。そして、現在位置を現在位置カウンタ４′
から読み、目標位置との差すなわち位置偏差を計算し、
位置偏差値の絶対値でゲインテーブルからゲインデータ
を読み出す。
次に、位置決めが終了したか否かを判定する。
この位置決め終了判定は、位置決め制御開始後一定時間
内であるか否か、および位置偏差値が規格値以内に入っ
たかどうかを検査して行なう。もし、位置決め制御開始
後一定時間内であり、位置偏差値が規格値以内に入って
いない場合は、位置決めは終了・していないものと判断
し、上記の位置偏差計痺、ゲインデータ読み出し、およ
び位置決め終了判定等の動作を繰り返す。一方、もし、
位置偏差値が規格値以内に入っていれば、位置決めは終
了したのであるから位置決め制御動作を終了する。
内であるか否か、および位置偏差値が規格値以内に入っ
たかどうかを検査して行なう。もし、位置決め制御開始
後一定時間内であり、位置偏差値が規格値以内に入って
いない場合は、位置決めは終了・していないものと判断
し、上記の位置偏差計痺、ゲインデータ読み出し、およ
び位置決め終了判定等の動作を繰り返す。一方、もし、
位置偏差値が規格値以内に入っていれば、位置決めは終
了したのであるから位置決め制御動作を終了する。
これにより定常位置＠差は極めて小さくなり、かつ位置
または移動方向による定常位置偏差の差は小さくなり、
位置決め精度は向上する。なお、位百−差値が規格１１
ｎ以内に入ることなく上記一定時間が経過したときは、
位置決めは不可能であるものと判断し、その旨を表示す
る等のエラー処理を行なう。
または移動方向による定常位置偏差の差は小さくなり、
位置決め精度は向上する。なお、位百−差値が規格１１
ｎ以内に入ることなく上記一定時間が経過したときは、
位置決めは不可能であるものと判断し、その旨を表示す
る等のエラー処理を行なう。
第７図は、本発明のさらに他の実施例に係る制御回路を
示す。同図の回路は、第１図のものに対し、速度制御と
位置制御のディジタル部を別々にしてアナログ部におい
て切換えるようにしたものである。また、第８図の従来
例に対しては、現在位置カウンタ４の位置偏差出力でゲ
インデータが読み出されるゲインテーブル１９を付加す
るとともに、Ｄ／Ａ変換器５の出力をゲインテーブル１
９ｈ１ら出力されるゲインデータに応じて分圧する乗算
型Ｄ／Ａ変換器１５を、Ｄ／Ａ変換器５とアナログスイ
ッチ６の位置決め制御側接点との間に接続したものであ
る。
示す。同図の回路は、第１図のものに対し、速度制御と
位置制御のディジタル部を別々にしてアナログ部におい
て切換えるようにしたものである。また、第８図の従来
例に対しては、現在位置カウンタ４の位置偏差出力でゲ
インデータが読み出されるゲインテーブル１９を付加す
るとともに、Ｄ／Ａ変換器５の出力をゲインテーブル１
９ｈ１ら出力されるゲインデータに応じて分圧する乗算
型Ｄ／Ａ変換器１５を、Ｄ／Ａ変換器５とアナログスイ
ッチ６の位置決め制御側接点との間に接続したものであ
る。
［実施例の変形例Ｊ
なお、本発明は上述の実施例に限定されることなく適宜
変形して実施することができる。例えば第４図における
セレクタ１３、切換指令フラグ２５、レジスタ１６およ
び乗算型Ｄ／Ａ変換器１５を廃止し、速度指令ラッチ１
２′をＤ／Ａ変換器１４に直接接続するとともに、位置
制御時、計算機は現在位置カウンタの内容すなわち現在
位置を読み、位置偏差に応じた指令電圧と時間変化する
ゲインデータとを乗口して得られた指令賄を速度指令ラ
ッチ１２′へ出力するように構成すれば、ハード構成部
品を大幅に省略できる。また、速度指令曲線の形として
は、上述の台形波の他、バーサイン波、サイクロイド波
、ｎ次曲線等を用いることも可能である。
変形して実施することができる。例えば第４図における
セレクタ１３、切換指令フラグ２５、レジスタ１６およ
び乗算型Ｄ／Ａ変換器１５を廃止し、速度指令ラッチ１
２′をＤ／Ａ変換器１４に直接接続するとともに、位置
制御時、計算機は現在位置カウンタの内容すなわち現在
位置を読み、位置偏差に応じた指令電圧と時間変化する
ゲインデータとを乗口して得られた指令賄を速度指令ラ
ッチ１２′へ出力するように構成すれば、ハード構成部
品を大幅に省略できる。また、速度指令曲線の形として
は、上述の台形波の他、バーサイン波、サイクロイド波
、ｎ次曲線等を用いることも可能である。
［発明の効果］
以上のように本発明によると、特に位置制御時における
各時点でのループゲインを、常に、安定領域内での最大
値またはそれに近い値に設定することが可能であるため
、定常１ｖ置偏差、および可動体の移動方向による定常
位置備差の差が減少する。すなわち位置決め精度が向上
する。また、位置決め時間が短くなり、さらに、信頼性
も向上する。
各時点でのループゲインを、常に、安定領域内での最大
値またはそれに近い値に設定することが可能であるため
、定常１ｖ置偏差、および可動体の移動方向による定常
位置備差の差が減少する。すなわち位置決め精度が向上
する。また、位置決め時間が短くなり、さらに、信頼性
も向上する。
第１図は、本発明の一実施例に係る位置決め制御装置の
電気回路構成を示すブロック図、第２図は、位置決め制
御装置における位置偏差とゲインの安定限界を示すグラ
フ、 第３図は、位置画法め制御に切換えた後の位置変化（応
答）波形図、 第４図は、本発明の他の実施例に係る制御回路のブロッ
ク図、 第５図は、第４図の制御回路の動作説明のためのフロー
チャート、 第６図は、第４図におけるメモリ内に設定されたゲイン
テーブルの説明図、 第７図は、本発明のさらに他の実施例に係る制御回路の
ブロック図、 第８図は、従来の制御回路を示すブロック図、第９図は
、速度指令曲線の一例を示す線図である。 １：速度関数発生器、３：目標位置設定器、４：現在位
置カウンタ、４′ ：現在位置カウンタデータ、６：ア
ナ［１グスイツチ、７：増幅器、８：モータ、９：速度
検出器、１０：可動体、１１：位置検出器、１２：＠大
速度設定器、１２′：速度指令ラッチデータ、１３．１
７：セレクタ、１４：Ｄ／Ａ変換器、１５：乗算型Ｄ／
Ａ変換器、１８：速度曲線テーブル、１９ニゲイン設定
テーブル、２２：中央演算処理装置、２３：メモリ装置
、２５：切換指令フラグ。
電気回路構成を示すブロック図、第２図は、位置決め制
御装置における位置偏差とゲインの安定限界を示すグラ
フ、 第３図は、位置画法め制御に切換えた後の位置変化（応
答）波形図、 第４図は、本発明の他の実施例に係る制御回路のブロッ
ク図、 第５図は、第４図の制御回路の動作説明のためのフロー
チャート、 第６図は、第４図におけるメモリ内に設定されたゲイン
テーブルの説明図、 第７図は、本発明のさらに他の実施例に係る制御回路の
ブロック図、 第８図は、従来の制御回路を示すブロック図、第９図は
、速度指令曲線の一例を示す線図である。 １：速度関数発生器、３：目標位置設定器、４：現在位
置カウンタ、４′ ：現在位置カウンタデータ、６：ア
ナ［１グスイツチ、７：増幅器、８：モータ、９：速度
検出器、１０：可動体、１１：位置検出器、１２：＠大
速度設定器、１２′：速度指令ラッチデータ、１３．１
７：セレクタ、１４：Ｄ／Ａ変換器、１５：乗算型Ｄ／
Ａ変換器、１８：速度曲線テーブル、１９ニゲイン設定
テーブル、２２：中央演算処理装置、２３：メモリ装置
、２５：切換指令フラグ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、可動体を目標位置に移動するに際し、該可動体を、
先ず速度重視の第１の制御モードで目標位置近傍まで移
動し、次いで停止位置精度重視の第２の制御モードに切
換えて目標位置に位置決めするサーボ制御系を具備する
位置決め制御装置において、 上記可動体の現在位置から目標位置までの距離を示す位
置偏差出力に応じて上記サーボ制御系のループゲインを
設定するゲイン設定手段および該ゲイン設定手段の出力
に応じて上記ループゲインを可変する利得制御手段を設
けたことを特徴とする位置決め制御装置。 ２、前記利得制御手段が、前記位置偏差出力と前記ゲイ
ン設定手段の出力とを乗算する乗算器である特許請求の
範囲第１項記載の位置決め制御装置。 ３、前記ゲイン設定手段が、前記目標位置に応じて選択
される複数の位置偏差出力対ゲイン設定テーブルを有す
る特許請求の範囲第１または２項記載の位置決め制御装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59240420A JPH0616246B2 (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 位置決め制御装置 |
| US06/797,030 US4710865A (en) | 1984-11-14 | 1985-11-12 | Control system for positioning an object using switching from a speed control mode to a position control mode with adjustable brain |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59240420A JPH0616246B2 (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 位置決め制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120214A true JPS61120214A (ja) | 1986-06-07 |
| JPH0616246B2 JPH0616246B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=17059207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59240420A Expired - Lifetime JPH0616246B2 (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-16 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616246B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62290913A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Toshiba Corp | 移動テ−ブル制御装置 |
| JPS633303A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 速度制御方式 |
| JPS6448103A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-22 | Komatsu Mfg Co Ltd | Work machine position controller for power shovel |
| JPH02115907A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Nec Corp | ディジタルサーボ方式 |
| JPH03288913A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Hitachi Ltd | 位置決め制御方法および装置 |
| JPH07261845A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Nippondenso Co Ltd | サーボモータの位置決め制御装置 |
| JP2005246541A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Taiheiyo Cement Corp | パラレルリンク装置の制御方法 |
| JP2005292769A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Yamaha Corp | 自動演奏楽器の演奏操作子の駆動装置及びその方法 |
| JP2008040779A (ja) * | 2006-08-07 | 2008-02-21 | Ricoh Co Ltd | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法 |
| JP2009245541A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Sony Corp | 情報処理装置および方法、プログラム、並びに記録再生装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151885A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-09 | Hitachi Ltd | モ−タの位置制御方法 |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP59240420A patent/JPH0616246B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151885A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-09 | Hitachi Ltd | モ−タの位置制御方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH03288913A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Hitachi Ltd | 位置決め制御方法および装置 |
| JPH07261845A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Nippondenso Co Ltd | サーボモータの位置決め制御装置 |
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| JP2005292769A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Yamaha Corp | 自動演奏楽器の演奏操作子の駆動装置及びその方法 |
| JP2008040779A (ja) * | 2006-08-07 | 2008-02-21 | Ricoh Co Ltd | 位置決め制御装置及び位置決め制御方法 |
| JP2009245541A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Sony Corp | 情報処理装置および方法、プログラム、並びに記録再生装置 |
| US8125864B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-02-28 | Sony Corporation | Information processing device and method, program, and recording/reproducing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0616246B2 (ja) | 1994-03-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |