JP4585343B2 - 超音波モータの駆動方法 - Google Patents
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Description
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には所定値以上の電圧を常に印加し、他方の圧電素子に印加する電圧値を変化させることで、前記被駆動体の速度を制御することを特徴とする超音波モータの駆動方法、が提供される。
比較例として、先に図7および図8を参照して説明した駆動方法を用いて、超音波モータ10を超音波振動子11aのみを所定周波数のsin波で駆動することにより、1kgのステージを移動させた。この比較例では、超音波振動子11aを駆動するためのチャンネルCH0の電圧値を0Vから40Vに直線的にスイープさせ後に0Vに戻し、超音波振動子11bには電圧を印加しなかった(チャンネルCH1=0V)。表1にチャンネルCH0の電圧スイープ時の所定ポイントにおける電圧値とステージの移動速度との関係を示す。
先に説明した第1の駆動方法を用いて、上記比較例と同じ1kgのステージを移動させた。この実施例1では、チャンネルCH0の電圧値を30Vに保持した状態でチャンネルCH1の電圧値を30Vから0Vに直線的にスイープさせ、その後、チャンネルCH1の電圧値を0Vで保持した状態でチャンネルCH0の電圧値を30Vから40Vに直線的にスイープさせた。次いで、この電圧制御を逆向きに行うことで初期状態に戻した。表2にチャンネルCH0・CH1の電圧スイープ時の所定ポイントにおける各電圧値とステージの移動速度との関係を示す。
先に説明した第2の駆動方法を用いて、上記比較例と同じ1kgのステージを移動させた。この実施例2では、チャンネルCH0の電圧値を30Vから50Vに直線的にスイープさせると同時に、チャンネルCH1の電圧値を30Vから10Vに直線的にスイープさせた。次いで、この電圧制御を逆向きに行うことで初期状態に戻した。表3にチャンネルCH0・CH1の電圧スイープ時の所定ポイントにおける各電圧値とステージの移動速度との関係を示す。
先に説明した第3の駆動方法を用いて、上記比較例と同じ1kgのステージを移動させた。この実施例3では、チャンネルCH0の電圧値を30Vから70Vに直線的にスイープさせ、チャンネルCH1の電圧値は30Vで不変とした。次いで、この電圧制御を逆向きに行うことで初期状態に戻した。表4にチャンネルCH0の電圧スイープ時の所定ポイントにおける各電圧値とステージの移動速度との関係を示す。
11a・11b;超音波振動子
12;保持部材
13;ヘッド
13a;当接部
13b・13b′;連結部
13c・13c′;ネック部
14;押圧機構
15;被駆動体
21・21′;ボルト
22・22′;袋ナット
23a・23b・23a′・23b′;圧電板
24a〜24c;24a′〜24c′;電極板
100;超音波モータ
101a・101b;超音波振動子
102;保持部材
103;ヘッド
104a・104b;圧電素子
105;スライダ
106;リニアガイド
Claims (7)
- 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子に位相が90度ずれた同じ値の電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、他方の圧電素子に印加する電圧値を変化させることで、前記被駆動体の速度を制御することを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子に位相が90度ずれた同じ値の電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子の一方に印加する電圧の値を一定に保持して、他方に印加する電圧の値を降下させることにより、前記被駆動体の速度を下げることを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子に位相が90度ずれた同じ値の電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子の一方に印加する電圧の値を上昇させながら、他方に印加する電圧の値を降下させることにより、前記被駆動体の速度を下げることを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子のいずれか一方に電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、他方の圧電素子に印加する電圧値を変化させることで、前記被駆動体の速度を制御することを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子のいずれか一方に電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子の一方に印加する電圧の値を一定に保持して、他方に印加する電圧の値を降下させることにより、前記被駆動体の速度を下げることを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 圧電素子を備えたランジュバン型の2個の超音波振動子と、略V字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部でそれぞれ前記超音波振動子を保持するヘッド部材と、を備えた超音波モータの駆動方法であって、
前記2個の超音波振動子が具備する圧電素子にそれぞれ同位相の電圧を印加し、その際に、一方の圧電素子には前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子のいずれか一方に電圧を印加した場合の超音波モータの始動電圧の値以上の電圧を常に印加し、前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子の一方に印加する電圧の値を上昇させながら、他方に印加する電圧の値を降下させることにより、前記被駆動体の速度を下げることを特徴とする超音波モータの駆動方法。 - 前記2個の超音波振動子がそれぞれ具備する圧電素子に同じ大きさの電圧を印加することにより、超音波モータを静止状態に維持することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の超音波モータの駆動方法。
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