JPH09250883A - 高集積型熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 処理物品の高集積化を図る。 【解決手段】 物品の出入口１４〜１７を２か所に設
け、その高さ位置をゴンドラ５のほぼ中間部分と最上部
分とにすると共に、ゴンドラの上部にはその半分の部分
の上昇が可能な空間部を設ける。 【効果】 従来の出入口が１つのものに較べて、同じ試
験室高さに対して物品の積載数がほぼ４／３倍になり、
高集積化が図られる。又、ゴンドラの昇降高さが低くな
るので、ゴンドラの下部昇降方式を採用できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品の入口及び出
口を備えた熱処理室内に積載部を設け、板状の物品を積
載部でほぼ等ピッチに第１段から最終段まで多段に積層
支持し、前記積載部を積層方向の一方側から他方側に進
行と停止とを繰り返しつつ移動させ、熱処理時間の経過
後の停止時に前記物品を前記出口から出し前記入口から
入れる熱処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のゴンドラ昇降式の熱処理装置とし
ては、例えば特開平６−６６７１５号公報に示す如く、
熱処理室の高さ方向のほぼ中心の一か所に物品の入口／
出口を設け、物品を多段に積載して昇降可能なゴンドラ
を各段毎に出入口の位置で停止させ、ロボット等でその
段の物品を熱処理室から出すと共に未処理物品を入れ、
この動作を繰り返し、ゴンドラをそれ自体の高さ分だけ
上昇させた後初期位置まで下降させ、再び一連の動作を
繰り返し、物品を連続的に必要な時間だけ熱処理できる
ようにした装置が知られている。

【０００３】しかしながら、この装置では、熱処理室の
高さに対して略その１／２の物品集積率しか得られな
い。又、これを別の面から見ると、一定の物品の集積率
に対して熱処理室の高さを高くしなければならない。更
に、ゴンドラが熱処理室の高さのほぼ１／２の距離を往
復移動しなければならないため、その距離が長い。その
結果、ゴンドラの駆動部をゴンドラの下方に配置すると
すれば、その部分の高さが高くなって装置全体の高さが
高くなる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、積載部の積載段数が多いと共
に、積載部の移動行程が短縮され、高集積化された熱処
理装置を提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、物品の入口及び出口を備えた熱処理室内に
積載部を設け、板状の物品を積載部でほぼ等ピッチに第
１段から最終段まで多段に積層支持し、前記積載部を積
層方向の一方側から他方側又は他方側から一方側に進行
と停止とを繰り返しつつ移動させ、熱処理時間の経過後
の停止時に前記物品を前記出口から出し前記入口から入
れる熱処理装置において、前記物品入口及び物品出口は
前記積載部が前記一方側にあるときに前記最終段位置に
対応する位置及び前記第１段から前記最終段までの距離
をほぼ等間隔に分割した位置に対応する位置から成る複
数の位置に設けられ、前記熱処理室は前記最終段から前
記第１段とは反対の方向に少なくとも前記１間隔分の空
間部を持つ広さになっていることを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明を適用した
熱処理装置の全体構造の一例を示す。熱処理装置である
オーブンは、断熱壁１、扉２、これらで囲われた熱処理
室３、下部構造４、ガラス基板等の板状の物品Ｗを積載
するゴンドラ５、送風機やヒータ等が配設された熱風を
循環させるための空調部６等を備えている。

【０００７】Ｘ方向の両側部分の断熱壁１は部分的に開
口していて、それぞれの側に物品入口１４、１５及び物
品出口１６、１７が設けられている。これらの出入口
は、熱処理装置の奥行方向であるＹ方向に、処理する最
大幅の物品が通過できる幅を備えている。なお上記で
は、説明の便宜上口１４、１５を物品入口、１６、１７
を物品出口にしているが、装置使用時の配置等によって
は、口１４、１５を物品出口、１６、１７を物品入口に
してもよいことは言うまでもない。又、図１では物品入
口及び出口がそれぞれ別個に設けられている例を示した
が、例えば図１において左側の口１４、１５のみが設け
られていて、これらが入口と出口とに兼用されているよ
うな装置に対しても本発明を適用することができる。

【０００８】下部構造４は、上部構造体を支持するＬ
型、溝型又は箱型等の部材や板材で形成された下部構造
体４１や、昇降装置を支持する支持構造体４２等によっ
て形成されている。この部分には、ゴンドラ５の昇降装
置、ゴンドラの物品支持間隔調整装置、制御盤、電装
品、その他備品等が設けられ、これらは下部構造４又は
これに固定された適当な支持台や支持板によって支持さ
れる。

【０００９】図３、図４及び図９の一部分はゴンドラ５
の構造例を示す。ゴンドラ５は、上下の天板及び底板５
１並びにこれを一体的に結合する支持枠５１ａ、物品出
入口１４〜１７の幅方向であるＹ方向の両側に相対向し
てそれぞれ２組み設けられた旋回軸５２、これらの上下
端に固定された中間部材５３、これらに嵌め込まれ支持
された旋回アーム５４、上下の対向する旋回アーム５４
の自由端側に支持された支持軸５５及び中間連結部材５
６（図９参照）、支持軸５５にスペーサー５７を介して
間隔をおいて本例では第１段である５８−１から最終段
である５８−４０まで上下方向であるＺ方向に４０段に
等ピッチで支持された基板受５８、等で構成されてい
る。基板受５８の平坦な物品載せ部５８ａには物品Ｗが
載せられる。図４（ｂ）では、相対向する基板受５８の
間隔が最大であるＢになっている状態を示している。旋
回軸５２は、上下でそれぞれ天板及び底板５１に取り付
けられた軸受５９ａ及び５９ｂによって回転自在に支持
されている。

【００１０】図１に示す物品入口１４、１５及び物品出
口１６、１７は、図示の如くゴンドラ５が一方側である
最下段にあるときに、最終段の基板受５８−４０の位置
に対応する位置、及び、図３に示す第１段の基板受５８
−１から最終段の基板受５８−４０までの距離をほぼ等
間隔であるＬ₁ 、Ｌ₂ に分割した位置である基板受５８
−２０の位置に対応する位置の２箇所に設けられてい
る。本例では、入口、出口１４、１６の位置Ｈ₁ が２０
段目で、入口、出口１５、１７の位置Ｈ₂ が４０段目に
なっていて、Ｌ₁ とＬ₂ とは前者が後者より基板受１ピ
ッチ分だけ短くなっている。

【００１１】熱処理室３は、最終段から前記第１段とは
反対の方向即ち上方であるＺ₁ 方向に少なくとも前記１
間隔分である長さＬ₁ の空間部を持つ広さになってい
て、実際には、Ｌ₁ にゴンドラ５の上下板や支持枠等の
寸法と更に余裕を見た寸法である長さＬ３の空間部を持
つ広さになっている。

【００１２】なお、図１（ａ）では入口及び出口がそれ
ぞれ２か所の例を示したが、更に高集積化を図るため
に、同図（ｂ）に示す３か所又はそれ以上の出入口数に
することも可能である。出入口が３か所の例では、図示
の如く、ほぼ同じ間隔であるＬ₁ 、Ｌ₂ （Ｌ₁ ＋１ピッ
チ）、Ｌ₂ の間隔で出入口を設け、熱処理室の上部には
Ｌ₁ ＋α（余裕）の空間高さを設けるようにする。

【００１３】図５、図６及び図７の一部分はゴンドラの
昇降装置の構成を示し、それぞれ、図１と同様の正面
図、平面図、及び側面方向の断面図である。昇降装置
は、積載部であるゴンドラ５の底板５１に取り付けられ
昇降方向であるＺ方向に熱処理室３を貫通して延設され
た管状部材としての外管６１、熱処理室３の外に設けら
れ外管６１を昇降させる昇降機構７０、昇降を案内する
案内機構８０等を備えている。

【００１４】外管６１の内側には内管６２が挿入され、
内外管は上下の蓋６３で一体的に結合され、内外管の間
には断熱材６４が充填され、本例ではこれらが一体とな
って昇降軸６０を形成している。蓋６３の上側のもの
は、ボルト等によってゴンドラの底板５１に取り付けら
れる。下側の外部空間と試験室３とは、図１にも示した
ように断熱壁１で仕切られていて、これらの間は、ガス
ケット６６を外管６１に接触させるようにしたシール構
造６５によって仕切られ、熱処理室３内の高温空気の外
部への漏洩が防止されている。なお、昇降軸６０は、ゴ
ンドラ５のほぼ重心直下の位置に結合されている。

【００１５】昇降機構７０は、サーボモータ７１、その
出力軸に取り付けられた歯付駆動プーリ７２、歯付従動
プーリ７３、これらの間に巻き掛けられた歯付ベルト７
４、一端側が歯付従動プーリ７３に結合されたボールネ
ジ軸７５、これを回転自在に支持する上下の軸受７６、
ボールネジ軸７５と螺合するナット７７、ナット７７及
び昇降軸６０に固定されボルトで結合されたスラスト伝
達部材７８等を備えている。上下の軸受７６は、支持構
造体４２に固定された支持板４２ａ、４２ｂに取り付け
られる。スラスト伝達部材７８は、昇降軸６０の２か所
の位置に強固に固定されている。サーボモータ７１は、
ベルトのテンションを調整できるように据え付けられて
いる。

【００１６】案内機構８０は、昇降軸６０の両側に対称
に配設され、それぞれが、昇降軸に固定された連結部材
８１、これに取り付けられたリニアガイドの移動体８
２、これの移動をガイドするリニアガイド軸８３等によ
って構成されている。リニアガイド軸８３は支持構造体
４２の上下方向に延設されている支持板部４２ｃに固定
されている。

【００１７】図７乃至図９及び図３、図４の一部分は、
物品支持間隔調整装置の構成例を示す。本装置は、回転
駆動部としてのサーボモータ９０、回転軸１００、外部
回転伝達機構１１０、内部回転伝達機構１２０、外筒で
ある昇降軸の内管６２、等で構成されている。サーボモ
ータ９０は、熱処理室３の外に配設され、下部構造体４
１のベースプレート４１ａに固定された支持台９２に位
置調整可能に据え付けられていて、回転力を発生する出
力端としての出力軸９１を備えている。

【００１８】回転軸１００は、下部軸１０１、カップリ
ング１０２、上部軸１０３等によって構成され、熱処理
室３の外部から内部まで延設されていて、ゴンドラ５の
底板５１に軸受構造部１０４を介して回転自在に支持さ
れていて、外部側に回転力の入力部となる前記下部軸１
０１と内部側に回転力の出力部となる前記上部軸１０３
の軸端部１０３ａを備えている。

【００１９】外部回転伝達機構１１０は、出力軸９１と
前記下部軸１０１との間に介在してサーボモータ９０の
回転力を下部軸１０１に伝達するように構成されてい
て、出力軸９１に取り付けられた駆動歯車１１１、これ
と噛み合っている従動歯車１１２、これに固定された回
転伝達管１１３、この軸端に嵌め込まれたボールスプラ
インのハウジング１１４等を備えている。下部軸１０１
にはスプライン溝１０１ａが切られている。従動歯車１
１２は、ベースプレート４１ａに固定された軸受構造体
１１５に回転自在に支持されている。

【００２０】外筒６２には、本例では昇降装置の昇降軸
６０の内管６２が兼用されている。内管６２は、回転軸
１００を囲うようにゴンドラ５の底板５１に取り付けら
れていて、ゴンドラ５が熱処理室３内で最も上昇した位
置にあるときに、一端側である昇降軸６０の下端側が外
部に突出するように延設されている（図５参照）。

【００２１】内部回転伝達機構１２０は、上部軸１０３
から伝達された回転力を、基板受５８の相対向する間隔
Ｂ（図４（ｂ））が変わるように、支持軸５５に伝達す
るように構成されていて、上部軸の軸端１０３ａに嵌め
込まれた中間リング１２１、これに嵌め込まれＹ方向の
両側に伸びた揺動ビーム１２２、連接棒１２３、揺動ア
ーム１２４、連接棒の両端に取り付けられた自動調心型
軸受１２５、１２６、揺動アーム１２４が固定された歯
車１２７、このボス部に嵌め込まれた旋回軸５２（以下
図３、図４の説明参照）、中間部材５３、旋回アーム５
４等で構成されている。符号５９ａ、５９ｂは、旋回軸
５２を回転自在に支持する軸受である。歯車１２７に
は、これと同じ歯車である同じ側の他の歯車１２７（１
２７´）を噛み合わせて、同じ側の他の旋回軸５２（５
２´）等を介して、他の旋回アーム５４（５４´）を旋
回アーム５４と同期して回転させるようにしている。図
８では内部伝達機構１２０として右側のものを示してい
るが、左側にも同様の機構が設けられている。

【００２２】図１０は基板受の他の例を示す。この基板
受５８´は、図９に示す基板受５８と同様の構造で支持
軸５５に支持されているが、物品載せ面５８´ａの輪郭
及び物品位置規制面５８´ｂの大部分がインボリュート
曲線になっている。その結果、図示の如く支持軸５５の
初期位置で最大幅Ｂの物品Ｗを支持できると共に、例え
ば支持軸５５を９０°回転させることにより、最小幅Ｂ
´の物品Ｗ´を支持でき、その間の任意の回転角度で任
意の幅の物品を支持できることになる。

【００２３】そしてこの場合、物品載せ面５８´ａの輪
郭及び物品位置規制面５８´ｂをインボリュート曲線に
しているので、支持軸５５の回転角度と物品支持間隔と
の関係式が線形になり、図７に示すサーボモータ９０の
制御のための数値計算が簡単になる。又、インボリュー
ト曲線は工作機械等に多用されているので、これらのも
のの数値制御のソフトを利用することも可能になる。

【００２４】図８及び図９の物品支持間隔調整装置で
は、基板受５８を円形にしてその中心を支持軸５５で支
持し、旋回アーム５４で支持軸５５の位置を旋回させる
ことにより、支持間隔を変更できるようにしているた
め、別の旋回軸５２を必要とした。図１０の基板受を用
いると、調整装置の外部回転伝達機構１２０のうちの旋
回軸５２及び旋回アーム５４を省略して、直接支持軸５
５を旋回させることにより物品支持間隔を調整でき、物
品支持間隔調整装置の外部回転伝達機構１２０の構造を
簡素化することができる。なおこの場合には、数値計算
は複雑になるが、基板受として段付きの偏心円板等を用
いてもよい。

【００２５】以上のような熱処理装置は次のように使用
される。熱処理装置の開口の両側には、図示していない
が、例えばガラス基板等の物品を搬送するコンベアライ
ンが導設されると共に、コンベアラインと熱処理装置と
の間で物品を移載するロボット等が配設される。熱処理
室３内では、ゴンドラ５が最も下降した位置にあり、空
調部６内の送風機やヒータ等が運転され、例えば３００
°Ｃ程度まで加熱された熱風が熱処理室３と空調部６と
の間で循環している。この状態では、図示していないが
出入口１４〜１７はシャッターによって閉鎖されてい
て、物品が搬入されるときにのみシャッターが開くよう
になっている。

【００２６】まず、ロボットはそのハンドによって搬送
された物品Ｗを入口１４から入れて第２０段目の基板受
５８−２０に載せ、次に別の物品Ｗを入口１５から入れ
て、第４０段目の基板受５８−４０に載せる。このロボ
ットの動作が終了すると、サーボモータ７１が一定角度
回転し、この回転が歯付プーリ及びベルト７２〜７４を
介してボールネジ軸７５に伝達され、これが一定角度回
転する。

【００２７】この回転により、昇降軸６０に固定された
スラスト伝達部材７８と一体となって回転を拘束された
ナット７７が、ネジ軸７５のネジ溝に案内されて、基板
受１段分の高さである１ピッチだけ上昇し、一体化され
た昇降軸６０を同じ高さだけ上昇させる。このとき、リ
ニアガイドの連結部材８１を介して昇降軸６０に固定さ
れたリニアガイドの移動体８２は、リニアガイド軸８３
によって案内されてこれに沿って上昇し、昇降軸６０を
正確に昇降方向であるＺ方向にガイドする。このように
して、ゴンドラ５は１ピッチだけ上昇する。なお、ゴン
ドラの上昇に伴って、物品支持間隔調整装置の回転軸１
００も上昇するが、下部回転軸１０１と回転伝達管１１
３とのトルク伝達にボールスプラインを用いているの
で、そのボールの回転により、昇降方向には両者が円滑
に相対移動する。

【００２８】次に、上記と全く同じ動作により、ロボッ
トは、１ピッチ上昇して入口１４、１５に到達した基板
受５８−１９及び５８−３９に物品Ｗを載せる。その後
もゴンドラ５の上昇と物品の積載とを繰り返し、最後の
基板受５８−１及び５８−２１に物品を載せると、ゴン
ドラ５は初期位置まで下降する。ゴンドラ５の下降は、
サーボモータ７１が反対方向に回転するだけで、上昇時
と同様な動作になる。なお、以上のような動作は、制御
装置と各部に必要なセンサ類が設けられることにより、
通常全自動で行われる。又、ゴンドラ５を１ピッチ上昇
させる時間即ち１タクト時間は、物品の種類や物品積載
段数等によって定められ、本例では、ゴンドラ５が２０
段動く間に物品Ｗの熱処理が完了するように、１分程度
の時間になっている。

【００２９】ゴンドラ５がその基板受５８の全ての段に
物品Ｗを積載して初期位置まで下降すると、今度は、ま
ず出口側のロボットが作動し、出口１６の位置にある基
板受５８−２０の物品Ｗ２０を取り出してコンベアライ
ンに載せる。基板受５８−２０から物品が取り出される
と、続いて入口側のロボットが作動し、未処理の物品Ｗ
を同じ基板受５８−２０に載せる。又、このときには出
口側のロボットも作動していて、上の出口１７の位置に
ある基板受５８−４０の物品Ｗ４０を取り出してコンベ
アラインに載せる。基板受５８−４０から物品が取り出
されると、続いて入口側のロボットが作動し、未処理の
物品Ｗを同じ基板受５８−４０に載せる。このようにし
て出入口に対応した２段の物品の出し入れが終了する
と、最初の積載のみのときと同じ動作でゴンドラ５は１
ピッチ上昇する。そして、この動作を繰り返してゴンド
ラは最上位置まで上昇し、全段の物品の出し入れを完了
すると再び初期位置まで下降し、このような動作を繰り
返すことにより、全自動で連続的に物品の熱処理が行わ
れる。

【００３０】なお以上では、入口側及び出口側にそれぞ
れロボットが装備される場合について説明したが、１オ
ーブンに対して１台のロボットが装備され、この１台の
ロボットで物品の搬入と搬出とを行う方式が採られる場
合もある。又以上では、ゴンドラ５が最も下降した位置
を初期位置として、この位置からゴンドラ５が上昇しつ
つ物品を積載する運転方法について説明したが、ゴンド
ラ５が最も上昇した位置を初期位置として、これから下
降しつつ物品を積載するような運転方法を採用すること
も可能である。

【００３１】熱処理する物品が変更されるときには、そ
の物品のサイズを検出することによって自動的に、又は
人の操作によって、基板受の支持間隔を変更する。この
変更は、物品サイズに対応した角度だけサーボモータ９
０が回転し、その回転トルクが出力軸９１から順次、駆
動歯車１１１、従動歯車１１２、回転伝達管１１３、ボ
ールスプラインのハウジング１１４、図示しないボール
とスプライン溝１０１ａとを介して下部軸１０１、カッ
プリング１０２、上部軸１０３、中間リング１２１を介
して揺動ビーム１２２に伝達され、これを一定角度揺動
させ、この揺動を、順次、連接棒１２３、揺動アーム１
２４、歯車１２７に伝達して歯車１２７及びこれと連動
する歯車１２７（１２７´）を回転させ、この回転を旋
回軸５２に伝達し、その回転により、中間部材５３を介
して旋回アーム５４を旋回させ、これにより、最終的に
相対向する支持軸５５及びこれに支持された基板受５８
の間隔Ｂを変化させることにより行われる。図４（ａ）
では、旋回アーム５４が旋回した状態を二点鎖線で示
し、これにより、最小幅がＢ´までの物品を積載できる
状態を示している。

【００３２】以上のような熱処理装置は、次のような特
長を備えている。熱処理室の高さをＨとすると、本発明
を適用した図１（ａ）の例に示す熱処理装置では、ゴン
ドラ５の高さがほぼ２Ｈ／３になっているので、物品の
積載数が多い。これに対して従来の熱処理装置では、同
じ高さＨの熱処理室に配置するとすれば、ゴンドラの高
さがほぼＨ／２になる。従って、本例の熱処理装置で
は、従来のものよりも、ほぼ４／３倍の集積率アップが
図られている。又、本例の熱処理装置では、ゴンドラの
昇降行程がほぼＨ／３になるため、熱処理室の下方から
ゴンドラを昇降させる場合には、Ｈ／３に対応した高
さ、即ち、Ｈ／３＋ｈ（ｈは昇降移動部等の必要高さ）
がその下に必要になる。これに対して従来の熱処理装置
では、上記集積率の低下に加えて、この高さが１／２Ｈ
＋ｈ必要になり、装置全体の高さが更に高くなる。

【００３３】一方、同じ物品の積載数を持つ装置として
比較すると、従来のものでは、熱処理室の高さがほぼ４
Ｈ／３になり、ゴンドラを下部から昇降させるとする
と、その下部高さは２Ｈ／３＋ｈ必要になり、合計では
２Ｈ＋ｈの高さになる。この高さは、本例のものの４Ｈ
／３＋ｈに較べて、２Ｈ／３も高くなる。その結果、従
来の熱処理装置で同じ集積率を得ようとする場合には、
通常の工場の高さ制限を超えるため、ゴンドラの下部昇
降ができなくなることが多い。この場合には、下部昇降
に伴う種々の利点も得られないことになる。又、高さ制
限上からは下部昇降可能な場合でも、ゴンドラが高くな
ると共に昇降軸が長くなるため、安定性が悪くなり、昇
降軸の太くしなければならないという不利な点が生ず
る。

【００３４】昇降装置は、ゴンドラ５を昇降軸６０で下
方から昇降させるので、従来のようにゴンドラを横から
支持して隣接した別の場所に昇降装置を設けるものに較
べて、熱処理装置の占有スペースを縮小することができ
る。そして本例の如く、スラストを伝達するボールナッ
トを昇降軸６０に並行して昇降させれば、これらの間隔
は僅かであるから、昇降軸６０の中心線を含む面上の２
か所で昇降を案内する案内機構８０には大きなモーメン
トがかからず、従来の横抱き式のものに較べて、昇降装
置の構造が簡素化されると共に、全体的に剛性の低いも
のでよくなり、重量も大幅に軽減される。又、昇降案内
部の抵抗も減少する。なお、本例では昇降軸６０を２重
管で形成しているが、昇降軸は、単管又は必要によりこ
れを適当な補強したものでもよい。

【００３５】又、ゴンドラの昇降に昇降軸６０を使用す
るので、従来のものに較べて熱処理室を貫通する面積が
極め小さくなると共に、接触摺動式のシールを採用する
ことができるので、シール性が大幅に向上する。特に、
本例では昇降軸６０を丸軸にしているので、全周のシー
ル面圧が均一化され、特にシール性が良くなる。但し、
角形等の他の断面形状の軸を使用することもできる。こ
の場合にも、従来のものよりシール性は大幅に良くな
る。なお、このようにシールが良好になると、窒素ガス
を用いた熱処理に有利となる。

【００３６】更に、本例では、昇降等のスラスト伝達に
通常用いられる中実ロッドに代えて管を用いているの
で、伝達熱量が少ない。又、管内に断熱材を入れるのも
容易になる。その結果、熱処理室外に配置された耐熱性
のない機器やセンサ等への熱による悪影響がなくなると
共に、熱処理室内の温度分布も改善される。そして更
に、管は薄肉であるから、熱応力に伴う歪みが発生せ
ず、昇降軸及びその周辺の部材の変形等が防止される。
又、二重管の内部、もしくは単管に断熱材を取り付けた
その内部に空間部ができるので、本装置の如くこの空間
部を熱処理室の内外間の諸機構の導通スペースにするこ
とが可能になる。

【００３７】なお、ゴンドラの下部昇降方式の採用によ
り、熱処理室内では、ゴンドラの周囲が全て自由空間に
なるため、その相対向する四方のうちの二方側を熱風の
通路にし、相対向する他の二方側を熱風の戻りダクト部
にするような熱風循環系を形成することができる。その
結果、積層された板状の物品間を熱風の並行層流が通過
することになり、従来のゴンドラ横抱き式のものに較べ
て、熱処理性能が大いに改善される。

【００３８】物品支持間隔調整装置は、駆動源としてサ
ーボモータ９０を備え、その回転力を基板支持軸５５ま
で伝達し、サーボモータ９０を駆動することによって相
対向する基板受５８の間隔を変えられるので、幅の異な
った物品を熱処理する場合には、単にモータ９０を駆動
するだけでよくなり、段取り変え作業等を一切不要にす
ることができる。従って、従来の装置のように処理物品
のサイズ変更時に熱処理室を常温に戻す必要がなくな
り、熱処理装置の稼働率が向上する。

【００３９】又、昇降するゴンドラ５から熱処理室外に
保護管６２を導設し、この中に回転軸１００を配置し、
熱処理室内にはリンク機構等を設けるようにしているの
で、サーボモータ等の駆動側を熱処理室外の常温環境下
に配置して熱による悪影響を回避することができる。一
方、動力伝達を軸部分のボールスプラインで行っている
ので、動力伝達機構をゴンドラの昇降運動に追従させる
ことができる。但し、インボリュートスプラインやトル
ク伝達ピン等の他のトルク伝達手段を用いることも可能
である。更に本例では、回転軸１００の保護管に昇降装
置の駆動軸６０の内管６２を兼用しているので、これら
の装置が全体として機能的に構成されている。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、物品入口及び出口を積
載部の第１段から最終段までに第１段部分を含まず最終
段部分を含んでほぼ等間隔に複数の位置に設けると共
に、熱処理室を最終段側に少なくとも１間隔分の空間部
を持つ広さにしているので、複数をＮとすると、熱処理
室の高さのほぼ〔Ｎ／（Ｎ＋１）〕部分まで物品を積載
することができる。従来ではＮ＝１であったので、例え
ばＮ＝２にするとしても、従来の約４／３倍の集積率に
することができる。従って、本発明によれば、熱処理室
が同じ高さの場合には、物品の積載数を増やすことがで
きる。

【００４１】又、積載部の進行行程がほぼ〔（１／（Ｎ
＋１）〕であるため、積載部が昇降する形式のものであ
る場合には、熱処理室の下方から積載部を昇降させると
きに、下部スペースの高さがこれに対応して低くなる。
例えばＮを２にすると、その高さは従来の２／３にな
り、積載部を熱処理装置の下から昇降させる方式の採用
が容易になる。一方、本発明のものと従来のものとで積
載部への物品の積載数量を同じにするとすれば、従来の
ものでは、熱処理室が高くなると共に、下部昇降装置部
分の高さも高くなり、下部昇降装置の採用が不可能にな
る場合が多いが、本発明によれば、種々の利点のある下
部昇降方式の採用が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明を適用した熱処理装置の一例を
示す正面断面図で、ｂ）は熱処理室の他の例の説明図で
ある。

【図２】上記熱処理装置の奥行き方向の中心断面図であ
る。

【図３】上記熱処理装置のゴンドラの正面図である。

【図４】（ａ）は上記ゴンドラの平面図で（ｂ）は側面
図である。

【図５】上記熱処理装置の昇降装置部分を示す正面図で
ある。

【図６】上記昇降装置部分の平面図である。

【図７】上記熱処理装置の物品支持間隔調整装置部分の
断面図である。

【図８】上記調整装置の内部回転伝達機構部分を示し、
（ａ）は平面図で（ｂ）は一部断面図である。

【図９】上記内部回転伝達機構部分の正面側の断面図で
ある。

【図１０】基板受の他の例を示す平面図である。

【符号の説明】

３ 熱処理室 ５ ゴンドラ（積載部） １４、１５ 物品入口 １６、１７ 物品出口 ５８−１ 第１段基板受（第１段） ５８−４０ 最終段基板受（最終段） Ｗ 物品

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品の入口及び出口を備えた熱処理室内
   に積載部を設け、板状の物品を積載部でほぼ等ピッチに
   第１段から最終段まで多段に積層支持し、前記積載部を
   積層方向の一方側から他方側又は他方側から一方側に進
   行と停止とを繰り返しつつ移動させ、熱処理時間の経過
   後の停止時に前記物品を前記出口から出し前記入口から
   入れる熱処理装置において、 前記物品入口及び物品出口は前記積載部が前記一方側に
   あるときに前記最終段位置に対応する位置及び前記第１
   段から前記最終段までの距離をほぼ等間隔に分割した位
   置に対応する位置から成る複数の位置に設けられ、前記
   熱処理室は前記最終段から前記第１段とは反対の方向に
   少なくとも前記１間隔分の空間部を持つ広さになってい
   ることを特徴とする熱処理装置。