JPH09249974A - 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法 - Google Patents
耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法Info
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- JPH09249974A JPH09249974A JP6811496A JP6811496A JPH09249974A JP H09249974 A JPH09249974 A JP H09249974A JP 6811496 A JP6811496 A JP 6811496A JP 6811496 A JP6811496 A JP 6811496A JP H09249974 A JPH09249974 A JP H09249974A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金
製切削工具を製造する。 【解決手段】 ＷＣ基超硬合金基体の表面に、化学蒸着
法および／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 を主
成分とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を含む硬質被覆層を３
〜２０μｍの平均層厚で形成することにより表面被覆超
硬合金製切削工具を製造するに際して、前記Ａｌ2 Ｏ3
系化合物層の形成に、反応ガスとして、容量％で、Ａｌ
Ｃｌ3 ：０．５〜１０％、ＮＯx ：１〜３０％、ＴｉＣ
ｌ4 ：０．０１〜１％、ただしＡｌＣｌ3 ／ＴｉＣｌ4
＝１０〜１００、不活性ガス：残り、からなる組成を有
する不活性ガス系反応ガスを用いる。
製切削工具を製造する。 【解決手段】 ＷＣ基超硬合金基体の表面に、化学蒸着
法および／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 を主
成分とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を含む硬質被覆層を３
〜２０μｍの平均層厚で形成することにより表面被覆超
硬合金製切削工具を製造するに際して、前記Ａｌ2 Ｏ3
系化合物層の形成に、反応ガスとして、容量％で、Ａｌ
Ｃｌ3 ：０．５〜１０％、ＮＯx ：１〜３０％、ＴｉＣ
ｌ4 ：０．０１〜１％、ただしＡｌＣｌ3 ／ＴｉＣｌ4
＝１０〜１００、不活性ガス：残り、からなる組成を有
する不活性ガス系反応ガスを用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、硬質被覆層を構
成する酸化アルミニウム（以下、Ａｌ2 Ｏ3 で示す）を
主成分とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層が、これを厚膜化し
てもその層厚が均一化し、かつ他の構成層に対してすぐ
れた層間密着性を示し、したがって、例えば鋼や鋳鉄な
どの連続切削は勿論のこと、特に断続切削に用いた場合
にも、チッピング（微小欠け）などの発生なく、すぐれ
た切削性能を長期に亘って発揮する表面被覆超硬合金製
切削工具（以下、被覆超硬工具という）の製造法に関す
るものである。
成する酸化アルミニウム（以下、Ａｌ2 Ｏ3 で示す）を
主成分とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層が、これを厚膜化し
てもその層厚が均一化し、かつ他の構成層に対してすぐ
れた層間密着性を示し、したがって、例えば鋼や鋳鉄な
どの連続切削は勿論のこと、特に断続切削に用いた場合
にも、チッピング（微小欠け）などの発生なく、すぐれ
た切削性能を長期に亘って発揮する表面被覆超硬合金製
切削工具（以下、被覆超硬工具という）の製造法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、炭化タングステン基超硬合金基体
（以下、超硬基体という）の表面に、化学蒸着法および
／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 層を含む硬質
被覆層、例えばＴｉの炭化物（以下、ＴｉＣで示す）
層、窒化物（以下、同じくＴｉＮで示す）層、炭窒化物
（以下、ＴｉＣＮで示す）層、酸化物（以下、ＴｉＯ2
で示す）層、炭酸化物（以下、ＴｉＣＯで示す）層、窒
酸化物（以下、ＴｉＮＯで示す）層、および炭窒酸化物
（以下、ＴｉＣＮＯで示す）層のうちの１種または２種
以上と、Ａｌ2 Ｏ3 層とからなる硬質被覆層を３〜２０
μｍの平均層厚で形成してなる被覆超硬工具が知られて
いる。また、特に上記被覆超硬工具の硬質被覆層を構成
するＡｌ2 Ｏ3 層の形成が、反応ガスとして、容量％
（以下、％の表示は容量％を示す）で、三塩化アルミニ
ウム（以下、ＡｌＣｌ3 で示す）：１〜２０％、二酸化
炭素（以下、ＣＯ2 で示す）：０．５〜３０％、［必要
に応じて一酸化炭素（ＣＯ）または塩化水素（ＨＣ
ｌ）：１〜３０％］、水素：残り、からなる組成を有す
る水素系反応ガスを用い、 反応温度：９５０〜１１００℃、 雰囲気圧力：２０〜２００ｔｏｒｒ、 の条件で行われていることも知られている。
（以下、超硬基体という）の表面に、化学蒸着法および
／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 層を含む硬質
被覆層、例えばＴｉの炭化物（以下、ＴｉＣで示す）
層、窒化物（以下、同じくＴｉＮで示す）層、炭窒化物
（以下、ＴｉＣＮで示す）層、酸化物（以下、ＴｉＯ2
で示す）層、炭酸化物（以下、ＴｉＣＯで示す）層、窒
酸化物（以下、ＴｉＮＯで示す）層、および炭窒酸化物
（以下、ＴｉＣＮＯで示す）層のうちの１種または２種
以上と、Ａｌ2 Ｏ3 層とからなる硬質被覆層を３〜２０
μｍの平均層厚で形成してなる被覆超硬工具が知られて
いる。また、特に上記被覆超硬工具の硬質被覆層を構成
するＡｌ2 Ｏ3 層の形成が、反応ガスとして、容量％
（以下、％の表示は容量％を示す）で、三塩化アルミニ
ウム（以下、ＡｌＣｌ3 で示す）：１〜２０％、二酸化
炭素（以下、ＣＯ2 で示す）：０．５〜３０％、［必要
に応じて一酸化炭素（ＣＯ）または塩化水素（ＨＣ
ｌ）：１〜３０％］、水素：残り、からなる組成を有す
る水素系反応ガスを用い、 反応温度：９５０〜１１００℃、 雰囲気圧力：２０〜２００ｔｏｒｒ、 の条件で行われていることも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年の切削加工
のＦＡ化はめざましく、かつ省力化に対する要求も強
く、これに伴い、被覆超硬工具には使用寿命のさらなる
延命化が求められ、これに対応する手段として、これを
構成する硬質被覆層のうち、特に耐酸化性と熱的安定性
にすぐれ、さらに高硬度を有するＡｌ2 Ｏ3 層の厚膜化
が広く検討されているが、前記Ａｌ2 Ｏ3 層は、これを
厚くすると、上記の従来Ａｌ2 Ｏ3 層形成手段では層厚
が局部的に不均一になり、切刃の逃げ面、すくい面、お
よび前記逃げ面とすくい面の交わるエッジ部の間には層
厚に著しいバラツキが発生するようになるばかりでな
く、他の構成層との密着性（層間密着性）も低下し、こ
れらが原因で、例えば鋼や鋳鉄などの断続切削に用いた
場合に切刃にチッピングが発生し易く、比較的短時間で
使用寿命に至るのが現状である。
のＦＡ化はめざましく、かつ省力化に対する要求も強
く、これに伴い、被覆超硬工具には使用寿命のさらなる
延命化が求められ、これに対応する手段として、これを
構成する硬質被覆層のうち、特に耐酸化性と熱的安定性
にすぐれ、さらに高硬度を有するＡｌ2 Ｏ3 層の厚膜化
が広く検討されているが、前記Ａｌ2 Ｏ3 層は、これを
厚くすると、上記の従来Ａｌ2 Ｏ3 層形成手段では層厚
が局部的に不均一になり、切刃の逃げ面、すくい面、お
よび前記逃げ面とすくい面の交わるエッジ部の間には層
厚に著しいバラツキが発生するようになるばかりでな
く、他の構成層との密着性（層間密着性）も低下し、こ
れらが原因で、例えば鋼や鋳鉄などの断続切削に用いた
場合に切刃にチッピングが発生し易く、比較的短時間で
使用寿命に至るのが現状である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、被覆超硬工具の製造に際して、
特に硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 層の形成に着目
し、層厚を厚くした場合の層厚の局部的バラツキの減少
と、層間密着性の向上を図るべく研究を行った結果、以
下の（ａ）および（ｂ）に示す研究結果を得たのであ
る。 （ａ） 従来の水素系反応ガスを用いて形成されるＡｌ
2 Ｏ3 層においては、反応雰囲気中で、反応ガスの構成
成分であるＣＯ2 と水素（Ｈ2 ）が、 ＣＯ2 ＋Ｈ2 →ＣＯ＋Ｈ2 Ｏ （１） 上記反応式（１）にしたがって反応し、この結果生成し
たＨ2 Ｏと、ＡｌＣｌ3が、 ＡｌＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ→Ａｌ2 Ｏ3 ＋ＨＣｌ （２） 上記反応式（２）にしたがって反応し、ＡｌＣｌ3 が加
水分解されてＡｌ2 Ｏ3を生成し、この場合上記（１）
式の反応に比して上記（２）式の反応がきわめて速く、
したがって上記（１）式で生成したＨ2 Ｏは、すばやく
反応雰囲気中に存在するＡｌＣｌ3 と反応することか
ら、ほとんどのＡｌ2 Ｏ3 は反応雰囲気中での生成とな
り、これが反応表面に堆積することによりＡｌ2 Ｏ3 層
が形成される反応機構をとるものであるため、反応ガス
の流れや反応表面の形状にも影響されることと相まっ
て、例えば切削工具であるスローアウエイチップを反応
ガス流中にどのような状態で配置しても、切刃の逃げ
面、すくい面、および前記逃げ面とすくい面の交わるエ
ッジ部の相互間に均一な層厚のＡｌ2 Ｏ3 層を形成する
ことは困難で、大きな層厚のバラツキの発生は避けられ
ないこと。
上述のような観点から、被覆超硬工具の製造に際して、
特に硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 層の形成に着目
し、層厚を厚くした場合の層厚の局部的バラツキの減少
と、層間密着性の向上を図るべく研究を行った結果、以
下の（ａ）および（ｂ）に示す研究結果を得たのであ
る。 （ａ） 従来の水素系反応ガスを用いて形成されるＡｌ
2 Ｏ3 層においては、反応雰囲気中で、反応ガスの構成
成分であるＣＯ2 と水素（Ｈ2 ）が、 ＣＯ2 ＋Ｈ2 →ＣＯ＋Ｈ2 Ｏ （１） 上記反応式（１）にしたがって反応し、この結果生成し
たＨ2 Ｏと、ＡｌＣｌ3が、 ＡｌＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ→Ａｌ2 Ｏ3 ＋ＨＣｌ （２） 上記反応式（２）にしたがって反応し、ＡｌＣｌ3 が加
水分解されてＡｌ2 Ｏ3を生成し、この場合上記（１）
式の反応に比して上記（２）式の反応がきわめて速く、
したがって上記（１）式で生成したＨ2 Ｏは、すばやく
反応雰囲気中に存在するＡｌＣｌ3 と反応することか
ら、ほとんどのＡｌ2 Ｏ3 は反応雰囲気中での生成とな
り、これが反応表面に堆積することによりＡｌ2 Ｏ3 層
が形成される反応機構をとるものであるため、反応ガス
の流れや反応表面の形状にも影響されることと相まっ
て、例えば切削工具であるスローアウエイチップを反応
ガス流中にどのような状態で配置しても、切刃の逃げ
面、すくい面、および前記逃げ面とすくい面の交わるエ
ッジ部の相互間に均一な層厚のＡｌ2 Ｏ3 層を形成する
ことは困難で、大きな層厚のバラツキの発生は避けられ
ないこと。
【０００５】（ｂ） 上記（ａ）の検討結果から、でき
るだけ反応表面でのＡｌ2 Ｏ3 生成による層形成を行え
ば、層厚の均一化が可能になるという結論に達し、これ
を可能ならしめる反応ガスの開発に努めたところ、反応
ガスとして、ＡｌＣｌ3 ：０．５〜１０％、窒素酸化物
（以下、ＮＯx で示す）：１〜３０％、四塩化チタン
（以下、ＴｉＣｌ4 で示す）：０．０１〜１％、［但
し、ＴｉＣｌ4 に対するＡｌＣｌ3 の割合：１０〜１０
０）、不活性ガス：残り、からなる組成を有する不活性
ガス系反応ガスを用いると、反応表面上でＮＯx がＴｉ
Ｃｌ4 の触媒作用により、 ＮＯx →Ｎ2 ＋Ｏ （ａ） 上記（ａ）式にしたがって分解し（この場合、ＴｉＣｌ
4 が存在しないと、ＮＯx →Ｎ2 ＋Ｏ2 の反応となり、
この反応はきわめて遅い反応である）、上記（ａ）式の
反応で生成したＯは反応表面に吸着し、したがってこの
ＯとＡｌＣｌ 3 の反応が、 ＡｌＣｌ3 ＋Ｏ→Ａｌ2 Ｏ3 ＋Ｃｌ2 （ｂ） 上記（ｂ）式の反応式にしたがって反応表面で行われる
ようになり、したがって、層形成は、生成Ａｌ2 Ｏ3 の
反応表面への移動堆積がなく、かつ反応ガスの流れや反
応表面形状に全く影響されることなく行われることにな
ることから、この結果形成された蒸着層は、その層厚が
厚くなっても局部的バラツキがきわめて少なく、その上
反応表面に対する密着性も一段と向上したものになり、
さらに前記蒸着層は、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分とする、すな
わちＡｌおよび酸素以外の反応ガス構成成分の含有量が
１５％以下、望ましくは１０％以下のＡｌ2 Ｏ3 系化合
物層からなるので、Ａｌ2 Ｏ3 の具備する特性と同等の
耐酸化性、熱的安定性、および高硬度を有すること。
るだけ反応表面でのＡｌ2 Ｏ3 生成による層形成を行え
ば、層厚の均一化が可能になるという結論に達し、これ
を可能ならしめる反応ガスの開発に努めたところ、反応
ガスとして、ＡｌＣｌ3 ：０．５〜１０％、窒素酸化物
（以下、ＮＯx で示す）：１〜３０％、四塩化チタン
（以下、ＴｉＣｌ4 で示す）：０．０１〜１％、［但
し、ＴｉＣｌ4 に対するＡｌＣｌ3 の割合：１０〜１０
０）、不活性ガス：残り、からなる組成を有する不活性
ガス系反応ガスを用いると、反応表面上でＮＯx がＴｉ
Ｃｌ4 の触媒作用により、 ＮＯx →Ｎ2 ＋Ｏ （ａ） 上記（ａ）式にしたがって分解し（この場合、ＴｉＣｌ
4 が存在しないと、ＮＯx →Ｎ2 ＋Ｏ2 の反応となり、
この反応はきわめて遅い反応である）、上記（ａ）式の
反応で生成したＯは反応表面に吸着し、したがってこの
ＯとＡｌＣｌ 3 の反応が、 ＡｌＣｌ3 ＋Ｏ→Ａｌ2 Ｏ3 ＋Ｃｌ2 （ｂ） 上記（ｂ）式の反応式にしたがって反応表面で行われる
ようになり、したがって、層形成は、生成Ａｌ2 Ｏ3 の
反応表面への移動堆積がなく、かつ反応ガスの流れや反
応表面形状に全く影響されることなく行われることにな
ることから、この結果形成された蒸着層は、その層厚が
厚くなっても局部的バラツキがきわめて少なく、その上
反応表面に対する密着性も一段と向上したものになり、
さらに前記蒸着層は、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分とする、すな
わちＡｌおよび酸素以外の反応ガス構成成分の含有量が
１５％以下、望ましくは１０％以下のＡｌ2 Ｏ3 系化合
物層からなるので、Ａｌ2 Ｏ3 の具備する特性と同等の
耐酸化性、熱的安定性、および高硬度を有すること。
【０００６】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、超硬基体の表面に、化学蒸着法お
よび／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分
とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を含む硬質被覆層、例えば
ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＯ2 層、ＴｉＣ
Ｏ層、ＴｉＮＯ層、およびＴｉＣＮＯ層のうちの１種ま
たは２種以上と、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層とからなる
硬質被覆層を３〜２０μｍの平均層厚で形成することに
より被覆超硬工具を製造する方法にして、前記硬質被覆
層を構成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成を、反応ガス
として、ＡｌＣｌ3 ：０．５〜１０％、ＮＯx ：１〜３
０％、ＴｉＣｌ4 ：０．０１〜１％、［但し、ＴｉＣｌ
4 に対するＡｌＣｌ3 の割合：１０〜１００］、不活性
ガス：残り、からなる組成を有する不活性ガス系反応ガ
スを用いて行うことにより、厚膜化層の層厚均一化およ
び層間密着性の向上をはかり、この結果としてすぐれた
耐チッピング性を示すようになる被覆超硬工具を製造す
る方法に特徴を有するものである。
されたものであって、超硬基体の表面に、化学蒸着法お
よび／または物理蒸着法を用いて、Ａｌ2 Ｏ3 を主成分
とするＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を含む硬質被覆層、例えば
ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＯ2 層、ＴｉＣ
Ｏ層、ＴｉＮＯ層、およびＴｉＣＮＯ層のうちの１種ま
たは２種以上と、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層とからなる
硬質被覆層を３〜２０μｍの平均層厚で形成することに
より被覆超硬工具を製造する方法にして、前記硬質被覆
層を構成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成を、反応ガス
として、ＡｌＣｌ3 ：０．５〜１０％、ＮＯx ：１〜３
０％、ＴｉＣｌ4 ：０．０１〜１％、［但し、ＴｉＣｌ
4 に対するＡｌＣｌ3 の割合：１０〜１００］、不活性
ガス：残り、からなる組成を有する不活性ガス系反応ガ
スを用いて行うことにより、厚膜化層の層厚均一化およ
び層間密着性の向上をはかり、この結果としてすぐれた
耐チッピング性を示すようになる被覆超硬工具を製造す
る方法に特徴を有するものである。
【０００７】つぎに、この発明の方法において、反応ガ
スの組成を上記の通りに限定した理由を説明する。 （ａ）ＡｌＣｌ3 その割合が０．５％未満では、Ａｌ2 Ｏ3 のＡｌ源が不
足してＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成が遅くなり、実用的
でなく、一方その割合が１０％を越えるとＡｌ源が供給
過剰となり、Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層の結晶性が低下する
ようになることから、その割合を０．５〜１０％、望ま
しくは２〜７％と定めた。
スの組成を上記の通りに限定した理由を説明する。 （ａ）ＡｌＣｌ3 その割合が０．５％未満では、Ａｌ2 Ｏ3 のＡｌ源が不
足してＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成が遅くなり、実用的
でなく、一方その割合が１０％を越えるとＡｌ源が供給
過剰となり、Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層の結晶性が低下する
ようになることから、その割合を０．５〜１０％、望ま
しくは２〜７％と定めた。
【０００８】（ｂ）ＮＯx その割合が１％未満では、Ａｌ2 Ｏ3 のＯ源に対してＡ
ｌ源が供給過剰となって結晶性が低下し、一方その割合
が３０％を越えると逆にＡｌ源に対して分解Ｏが過剰に
存在し、上記（ｂ）式の反応に局部的不均一性が生じ、
層厚の均一性が低下するようになることから、その割合
を１〜３０％、望ましくは５〜２０％と定めた。
ｌ源が供給過剰となって結晶性が低下し、一方その割合
が３０％を越えると逆にＡｌ源に対して分解Ｏが過剰に
存在し、上記（ｂ）式の反応に局部的不均一性が生じ、
層厚の均一性が低下するようになることから、その割合
を１〜３０％、望ましくは５〜２０％と定めた。
【０００９】（ｃ）ＴｉＣｌ4 その割合が０．０１％未満では、上記（ａ）式の反応が
十分に行われず、Ａｌ 2 Ｏ3 のＯ源の供給が不十分とな
って実用的速さでのＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成が行え
ないばかりでなく、その層厚均一性も損なわれるように
なり、一方その割合が１％を越えると反応雰囲気中に多
量のＴｉが存在するようになり、これが形成層の結晶性
低下の原因となることから、その割合を０．０１〜１
％、望ましくは０．１〜０．５％と定めた。
十分に行われず、Ａｌ 2 Ｏ3 のＯ源の供給が不十分とな
って実用的速さでのＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の形成が行え
ないばかりでなく、その層厚均一性も損なわれるように
なり、一方その割合が１％を越えると反応雰囲気中に多
量のＴｉが存在するようになり、これが形成層の結晶性
低下の原因となることから、その割合を０．０１〜１
％、望ましくは０．１〜０．５％と定めた。
【００１０】（ｄ）ＴｉＣｌ4 に対するＡｌＣｌ3 の容
量割合（ＡｌＣｌ3 ／ＴｉＣｌ4 ） その割合が１０未満では、反応雰囲気中におけるＡｌ源
に対するＴｉ源の割合が多くなりすぎ、これが結晶性低
下の原因となって、Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層に所定の特性
を確保することができず、一方その割合が１００を越え
ると、逆に反応雰囲気中のＴｉの割合が少なくなりすぎ
て、Ｔｉによる反応表面上でのＮＯx の分解作用が著し
く低下し、Ａｌ2 Ｏ3 のＯ源の供給が不足し、層形成速
度が低下することから、その割合を１０〜１００、望ま
しくは１０〜５０と定めた。
量割合（ＡｌＣｌ3 ／ＴｉＣｌ4 ） その割合が１０未満では、反応雰囲気中におけるＡｌ源
に対するＴｉ源の割合が多くなりすぎ、これが結晶性低
下の原因となって、Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層に所定の特性
を確保することができず、一方その割合が１００を越え
ると、逆に反応雰囲気中のＴｉの割合が少なくなりすぎ
て、Ｔｉによる反応表面上でのＮＯx の分解作用が著し
く低下し、Ａｌ2 Ｏ3 のＯ源の供給が不足し、層形成速
度が低下することから、その割合を１０〜１００、望ま
しくは１０〜５０と定めた。
【００１１】なお、その他の製造条件である反応温度お
よび雰囲気圧力は、反応温度：８５０〜１１００℃、望
ましくは９００〜１０５０℃、雰囲気圧力：２０〜２０
０ｔｏｒｒ、望ましくは４０〜１００ｔｏｒｒとするの
がよい。これは、反応温度が８５０℃未満ではＡｌ2 Ｏ
3 系化合物層の結晶性が低下し、一方１１００℃を越え
るとＡｌ2 Ｏ3 系化合物層が粗粒化し、耐摩耗性が低下
するようになるという理由によるものであり、また雰囲
気圧力が２０ｔｏｒｒ未満では反応が遅くなり、所定の
速さでの層形成が行われず、一方２００ｔｏｒｒを越え
ると層の表面に凹凸が生じるようになって、層厚不均一
化の原因となるという理由によるものである。また、硬
質被覆層の平均層厚を３〜２０μｍとしたのは、その層
厚が３μｍ未満では所望のすぐれた耐摩耗性を確保する
ことができず、一方その層厚が２０μｍを越えると、切
刃に欠けやチッピングが発生し易くなるという理由によ
るものである。
よび雰囲気圧力は、反応温度：８５０〜１１００℃、望
ましくは９００〜１０５０℃、雰囲気圧力：２０〜２０
０ｔｏｒｒ、望ましくは４０〜１００ｔｏｒｒとするの
がよい。これは、反応温度が８５０℃未満ではＡｌ2 Ｏ
3 系化合物層の結晶性が低下し、一方１１００℃を越え
るとＡｌ2 Ｏ3 系化合物層が粗粒化し、耐摩耗性が低下
するようになるという理由によるものであり、また雰囲
気圧力が２０ｔｏｒｒ未満では反応が遅くなり、所定の
速さでの層形成が行われず、一方２００ｔｏｒｒを越え
ると層の表面に凹凸が生じるようになって、層厚不均一
化の原因となるという理由によるものである。また、硬
質被覆層の平均層厚を３〜２０μｍとしたのは、その層
厚が３μｍ未満では所望のすぐれた耐摩耗性を確保する
ことができず、一方その層厚が２０μｍを越えると、切
刃に欠けやチッピングが発生し易くなるという理由によ
るものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の方法を実施例
により具体的に説明する。原料粉末として、平均粒径：
２．８μｍを有する中粒ＷＣ粉末、同４．９μｍの粗粒
ＷＣ粉末、同１．５μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ（重量比で、
以下同じ、ＴｉＣ／ＷＣ＝３０／７０）粉末、同１．２
μｍの（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ（ＴｉＣ／ＴｉＮ／ＷＣ＝２４
／２０／５６）粉末、同１．２μｍの（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ
（ＴａＣ／ＮｂＣ＝９０／１０）粉末、および同１．１
μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を表１に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、ＩＳＯ・ＣＮＭＧ１２０４０８（超硬
基体Ａ〜Ｄ用）および同ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１（超硬
基体Ｅ用）に定める形状の圧粉体にプレス成形し、この
圧粉体を同じく表１に示される条件で真空焼結すること
により超硬基体Ａ〜Ｅをそれぞれ製造した。さらに、上
記超硬基体Ｂに対して、１００ｔｏｒｒのＣＨ4 ガス雰
囲気中、温度：１４００℃に１時間保持後、徐冷の浸炭
を施し、処理後、超硬基体表面に付着するカーボンとＣ
ｏを酸およびバレル研磨で除去することにより、表面か
ら１１μｍの位置で最大Ｃｏ含有量：１５．９重量％、
深さ：４２μｍのＣｏ富化帯域を基体表面部に形成し
た。また、上記超硬基体ＡおよびＤには、焼結したまま
で、表面部に表面から１７μｍの位置で最大Ｃｏ含有
量：９．１重量％、深さ：２３μｍのＣｏ富化帯域が形
成されており、残りの超硬基体ＣおよびＥには、前記Ｃ
ｏ富化帯域の形成がなく、全体的に均質な組織をもつも
のであった。なお、表１には、上記超硬基体Ａ〜Ｅの内
部硬さ（ロックウエル硬さＡスケール）をそれぞれ示し
た。
により具体的に説明する。原料粉末として、平均粒径：
２．８μｍを有する中粒ＷＣ粉末、同４．９μｍの粗粒
ＷＣ粉末、同１．５μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ（重量比で、
以下同じ、ＴｉＣ／ＷＣ＝３０／７０）粉末、同１．２
μｍの（Ｔｉ，Ｗ）ＣＮ（ＴｉＣ／ＴｉＮ／ＷＣ＝２４
／２０／５６）粉末、同１．２μｍの（Ｔａ，Ｎｂ）Ｃ
（ＴａＣ／ＮｂＣ＝９０／１０）粉末、および同１．１
μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を表１に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合
し、乾燥した後、ＩＳＯ・ＣＮＭＧ１２０４０８（超硬
基体Ａ〜Ｄ用）および同ＳＥＥＮ４２ＡＦＴＮ１（超硬
基体Ｅ用）に定める形状の圧粉体にプレス成形し、この
圧粉体を同じく表１に示される条件で真空焼結すること
により超硬基体Ａ〜Ｅをそれぞれ製造した。さらに、上
記超硬基体Ｂに対して、１００ｔｏｒｒのＣＨ4 ガス雰
囲気中、温度：１４００℃に１時間保持後、徐冷の浸炭
を施し、処理後、超硬基体表面に付着するカーボンとＣ
ｏを酸およびバレル研磨で除去することにより、表面か
ら１１μｍの位置で最大Ｃｏ含有量：１５．９重量％、
深さ：４２μｍのＣｏ富化帯域を基体表面部に形成し
た。また、上記超硬基体ＡおよびＤには、焼結したまま
で、表面部に表面から１７μｍの位置で最大Ｃｏ含有
量：９．１重量％、深さ：２３μｍのＣｏ富化帯域が形
成されており、残りの超硬基体ＣおよびＥには、前記Ｃ
ｏ富化帯域の形成がなく、全体的に均質な組織をもつも
のであった。なお、表１には、上記超硬基体Ａ〜Ｅの内
部硬さ（ロックウエル硬さＡスケール）をそれぞれ示し
た。
【００１３】ついで、これらの超硬基体Ａ〜Ｅの表面
に、ホーニングを施した状態で、通常の化学蒸着装置を
用い、表２（表中のｌ−ＴｉＣＮは特開平６−８０１０
号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつものであ
り、また同ｐ−ＴｉＣＮは通常の粒状結晶組織をもつも
のである）および表３［表中のＡｌ2 Ｏ3 （ａ）〜
（ｌ）はＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を示し、Ａｌ2 Ｏ
3 （ｍ）はＡｌ2 Ｏ3 層を示す。以下、表４、５も同
じ］に示される条件にて、表４、５に示される組成およ
び目標層厚（切刃の逃げ面）の硬質被覆層を形成するこ
とにより本発明法１〜１４および従来法１〜１０をそれ
ぞれ実施し、被覆超硬工具（以下、それぞれの方法に対
応する被覆超硬工具を本発明被覆超硬工具１〜１４およ
び従来被覆超硬工具１〜１０という）を製造した。この
結果得られた各種の被覆超硬工具の硬質被覆層を構成す
るＡｌ2 Ｏ3 系化合物層およびＡｌ2 Ｏ3 層（表６、７
では、これらを総称してＡｌ2 Ｏ3 層で示す）につい
て、切刃の逃げ面とすくい面の交わるエッジ部の最大層
厚を測定し、さらに前記エッジ部からそれぞれ１mm内側
の箇所の逃げ面とすくい面における層厚を測定した。こ
の測定結果を表６，７に示した。なお、硬質被覆層を構
成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層およびＡｌ2 Ｏ3 層以外の
その他の層の層厚には、いずれも局部的バラツキがほと
んどなく、目標層厚とほぼ同じ値を示すものであった。
に、ホーニングを施した状態で、通常の化学蒸着装置を
用い、表２（表中のｌ−ＴｉＣＮは特開平６−８０１０
号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつものであ
り、また同ｐ−ＴｉＣＮは通常の粒状結晶組織をもつも
のである）および表３［表中のＡｌ2 Ｏ3 （ａ）〜
（ｌ）はＡｌ2 Ｏ3 系化合物層を示し、Ａｌ2 Ｏ
3 （ｍ）はＡｌ2 Ｏ3 層を示す。以下、表４、５も同
じ］に示される条件にて、表４、５に示される組成およ
び目標層厚（切刃の逃げ面）の硬質被覆層を形成するこ
とにより本発明法１〜１４および従来法１〜１０をそれ
ぞれ実施し、被覆超硬工具（以下、それぞれの方法に対
応する被覆超硬工具を本発明被覆超硬工具１〜１４およ
び従来被覆超硬工具１〜１０という）を製造した。この
結果得られた各種の被覆超硬工具の硬質被覆層を構成す
るＡｌ2 Ｏ3 系化合物層およびＡｌ2 Ｏ3 層（表６、７
では、これらを総称してＡｌ2 Ｏ3 層で示す）につい
て、切刃の逃げ面とすくい面の交わるエッジ部の最大層
厚を測定し、さらに前記エッジ部からそれぞれ１mm内側
の箇所の逃げ面とすくい面における層厚を測定した。こ
の測定結果を表６，７に示した。なお、硬質被覆層を構
成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層およびＡｌ2 Ｏ3 層以外の
その他の層の層厚には、いずれも局部的バラツキがほと
んどなく、目標層厚とほぼ同じ値を示すものであった。
【００１４】さらに、いずれも耐チッピング性を評価す
る目的で、上記本発明被覆超硬工具１〜６および従来被
覆超硬工具１、２については、 被削材：軟鋼の角材、 切削速度：２２０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：１．５ｍｍ、 送り：０．１８ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：２０分、 の条件で軟鋼の断続切削試験を行い、切刃の逃げ面摩耗
幅を測定した。
る目的で、上記本発明被覆超硬工具１〜６および従来被
覆超硬工具１、２については、 被削材：軟鋼の角材、 切削速度：２２０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：１．５ｍｍ、 送り：０．１８ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：２０分、 の条件で軟鋼の断続切削試験を行い、切刃の逃げ面摩耗
幅を測定した。
【００１５】また上記本発明被覆超硬工具７、８および
従来被覆超硬工具３、４については、 被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ４５０の角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件でダクタイル鋳鉄の乾式断続切削試験を行い、同
じく切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
従来被覆超硬工具３、４については、 被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ４５０の角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件でダクタイル鋳鉄の乾式断続切削試験を行い、同
じく切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
【００１６】また、同じく本発明被覆超硬工具９、１０
および従来被覆超硬工具５、６については、 被削材：ＪＩＳ・ＳＮＣＭ４３９の角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件で合金鋼の乾式断続切削試験を行い、切刃の逃げ
面摩耗幅を測定した。
および従来被覆超硬工具５、６については、 被削材：ＪＩＳ・ＳＮＣＭ４３９の角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件で合金鋼の乾式断続切削試験を行い、切刃の逃げ
面摩耗幅を測定した。
【００１７】同じく本発明被覆超硬工具１１、１２およ
び従来被覆超硬工具７、８については、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件で炭素鋼の乾式断続切削試験を行い、切刃の逃げ
面摩耗幅を測定した。
び従来被覆超硬工具７、８については、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの角材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１５分、 の条件で炭素鋼の乾式断続切削試験を行い、切刃の逃げ
面摩耗幅を測定した。
【００１８】さらに同じく本発明被覆超硬工具１３、１
４および従来被覆超硬工具９、１０については、 被削材：幅１００ｍｍ×長さ５００ｍｍの寸法をもった
軟鋼の角材、 使用条件：直径１２５ｍｍのカッターに単刃取り付け、 回転数：６００ｒ．ｐ．ｍ．、 切削速度：２８０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．２４ｍｍ／刃、 切削時間：７パス（１パスの切削時間：３．６分）、 の条件で軟鋼の乾式フライス切削（断続切削）試験を行
い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。これらの測定結果
を表６、７に示した。
４および従来被覆超硬工具９、１０については、 被削材：幅１００ｍｍ×長さ５００ｍｍの寸法をもった
軟鋼の角材、 使用条件：直径１２５ｍｍのカッターに単刃取り付け、 回転数：６００ｒ．ｐ．ｍ．、 切削速度：２８０ｍ／ｍｉｎ．、 切込み：２ｍｍ．、 送り：０．２４ｍｍ／刃、 切削時間：７パス（１パスの切削時間：３．６分）、 の条件で軟鋼の乾式フライス切削（断続切削）試験を行
い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。これらの測定結果
を表６、７に示した。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【表２】
【００２１】
【表３】
【００２２】
【表４】
【００２３】
【表５】
【００２４】
【表６】
【００２５】
【表７】
【００２６】
【発明の効果】表６，７に示される結果から、いずれも
硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 層系化合物層の形成に
不活性ガス系反応ガスを用いる本発明法１〜１４で製造
された本発明被覆超硬工具１〜１４は、いずれもこれを
構成する硬質被覆層のうちのＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の層
厚に、これを厚膜化しても局部的バラツキがきわめて少
なく、切刃の逃げ面、すくい面、および逃げ面とすくい
面の交わるエッジ部の相互間の層厚が均一化しているの
に対して、Ａｌ2 Ｏ3 層の形成に水素系反応ガスを用い
る従来法１〜１０で製造された従来被覆超硬工具１〜１
０においては、逃げ面、すくい面、およびエッジ部にお
ける層厚の相互間のバラツキが著しく、この結果として
本発明被覆超硬工具１〜１４は、鋼および鋳鉄の断続切
削で、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層がすぐれた層間密着性
を有することと相まって、従来被覆超硬工具１〜１０に
比してすぐれた耐チッピング性を示すようになることが
明らかである。上述のように、この発明の方法によれ
ば、硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の層厚
を厚膜化しても、その層厚に局部的バラツキがきわめて
少なく、かつ層間密着性の良好な被覆超硬工具を製造す
ることができ、したがって、この結果得られた被覆超硬
工具は、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層がＡｌ2 Ｏ3 と同等
の特性を具備することと相まって、例えば鋼や鋳鉄など
の連続切削は勿論のこと、断続切削においてもすぐれた
耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれた切削性能
を示すので、切削加工のＦＡ化および省力化に寄与する
など工業上有用な効果をもたらすものである。
硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 層系化合物層の形成に
不活性ガス系反応ガスを用いる本発明法１〜１４で製造
された本発明被覆超硬工具１〜１４は、いずれもこれを
構成する硬質被覆層のうちのＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の層
厚に、これを厚膜化しても局部的バラツキがきわめて少
なく、切刃の逃げ面、すくい面、および逃げ面とすくい
面の交わるエッジ部の相互間の層厚が均一化しているの
に対して、Ａｌ2 Ｏ3 層の形成に水素系反応ガスを用い
る従来法１〜１０で製造された従来被覆超硬工具１〜１
０においては、逃げ面、すくい面、およびエッジ部にお
ける層厚の相互間のバラツキが著しく、この結果として
本発明被覆超硬工具１〜１４は、鋼および鋳鉄の断続切
削で、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層がすぐれた層間密着性
を有することと相まって、従来被覆超硬工具１〜１０に
比してすぐれた耐チッピング性を示すようになることが
明らかである。上述のように、この発明の方法によれ
ば、硬質被覆層を構成するＡｌ2 Ｏ3 系化合物層の層厚
を厚膜化しても、その層厚に局部的バラツキがきわめて
少なく、かつ層間密着性の良好な被覆超硬工具を製造す
ることができ、したがって、この結果得られた被覆超硬
工具は、前記Ａｌ2 Ｏ3 系化合物層がＡｌ2 Ｏ3 と同等
の特性を具備することと相まって、例えば鋼や鋳鉄など
の連続切削は勿論のこと、断続切削においてもすぐれた
耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれた切削性能
を示すので、切削加工のＦＡ化および省力化に寄与する
など工業上有用な効果をもたらすものである。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年３月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【表３】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年４月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【表３】
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 16/36 Ｃ２３Ｃ 16/36 (72)発明者 大鹿 高歳 埼玉県大宮市北袋町１−297 三菱マテリ アル株式会社総合研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面
に、化学蒸着法および／または物理蒸着法を用いて、酸
化アルミニウムを主成分とする酸化アルミニウム系化合
物層を含む硬質被覆層を３〜２０μｍの平均層厚で形成
することにより表面被覆超硬合金製切削工具を製造する
方法にして、前記酸化アルミニウム系化合物層の形成
に、反応ガスとして、容量％で、 三塩化アルミニウム：０．５〜１０％、 窒素酸化物：１〜３０％、 四塩化チタン：０．０１〜１％、 （但し、四塩化チタンに対する三塩化アルミニウムの割
合：１０〜１００）、 不活性ガス：残り、からなる組成を有する不活性ガス系
反応ガスを用いることを特徴とする耐チッピング性のす
ぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法。 - 【請求項２】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面
に、化学蒸着法および／または物理蒸着法を用いて、Ｔ
ｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、酸化物層、炭酸
化物層、窒酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１種
または２種以上と、酸化アルミニウムを主成分とする酸
化アルミニウム系化合物層とからなる硬質被覆層を３〜
２０μｍの平均層厚で形成することにより表面被覆超硬
合金製切削工具を製造する方法にして、前記酸化アルミ
ニウム系化合物層の形成に、反応ガスとして、容量％
で、 三塩化アルミニウム：０．５〜１０％、 窒素酸化物：１〜３０％、 四塩化チタン：０．０１〜１％、 （但し、四塩化チタンに対する三塩化アルミニウムの割
合：１０〜１００）、 不活性ガス：残り、からなる組成を有する不活性ガス系
反応ガスを用いることを特徴とする耐チッピング性のす
ぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06811496A JP3265974B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-03-25 | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法 |
| EP97100089A EP0784103B1 (en) | 1996-01-10 | 1997-01-04 | Method of manufacturing coated cutting tools |
| DE69720561T DE69720561T2 (de) | 1996-01-10 | 1997-01-04 | Verfahren zur Herstellung von beschichteten Schneideinsätzen |
| US08/781,236 US5770261A (en) | 1996-01-10 | 1997-01-10 | Method of manufacturing coated cutting tool and coated cutting tool made from |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP229296 | 1996-01-10 | ||
| JP8-2292 | 1996-01-10 | ||
| JP06811496A JP3265974B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-03-25 | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09249974A true JPH09249974A (ja) | 1997-09-22 |
| JP3265974B2 JP3265974B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=26335643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06811496A Expired - Fee Related JP3265974B2 (ja) | 1996-01-10 | 1996-03-25 | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3265974B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002527629A (ja) * | 1998-10-19 | 2002-08-27 | ホーメット リサーチ コーポレーション | 過剰ｃｖｄ反応物の制御方法及びその装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3998904B2 (ja) | 2000-09-14 | 2007-10-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | 論理回路の設計方法、論理回路の設計支援システム、及びコンピュータ読取り可能な記録媒体 |
| US9158653B2 (en) | 2010-03-21 | 2015-10-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Determining impact of virtual storage backup jobs |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP06811496A patent/JP3265974B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002527629A (ja) * | 1998-10-19 | 2002-08-27 | ホーメット リサーチ コーポレーション | 過剰ｃｖｄ反応物の制御方法及びその装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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