JPH09246296A - 対象物への荷重機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 対象物に加わる荷重の低減化を図ることがで
きる対象物への荷重機構を提供する。 【構成】 ダイボンディング装置の可動アームに、機構
支持部材２、荷重制御手段３、荷重伝達手段４からなる
荷重機構１を設ける。荷重伝達手段４は、回動アーム６
と、回動アーム６の右腕部７に吊り下げらた荷重伝達部
材１３を有し、荷重伝達部材１３はチップ２５に当接す
るコレット２３を備えている。荷重制御手段３は、付勢
手段４１と反付勢手段４２を備え、付勢手段４１の荷重
調節ナット５１を締め付けると、荷重スプリング４９の
付勢力Ｆ１が回動アーム６へ伝達される。反付勢手段４
２は、ケーブル６６を介してコントローラーに接続され
たリニアモーター６１からなり、リニアモーター６１は
反付勢力Ｆ２を発生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップなど
の対象物に、荷重を加える対象物への荷重機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイボンディング装置には、対象
物としてのチップを吸着する際、または、このチップを
搬送してリードフレーム上に載置する際に、前記チップ
に荷重を加える荷重機構が設けられている。

【０００３】この荷重機構は、図４に示すように、ダイ
ボンディング装置より延出する可動アームの先端に設け
られたガイド部８１と、該ガイド部８１に摺動自在に内
嵌されたコレット８２を保持したコレットホルダー８３
と、該コレットホルダー８３の上部に固定された固定部
８４とにより構成されている。前記ガイド部８１には、
上端部に荷重調整ナット８５及び固定ナット８６が設け
られた起立バー８７が、前記固定部８４を貫通して設け
られており、該固定部８４と前記荷重調節ナット８５と
の間には、荷重スプリング８８が設けられている。

【０００４】すなわち、前記コレットホルダー８３は、
コレットホルダー８３に固定された前記固定部８４を介
して荷重スプリング８８により下方に付勢されており、
コレットホルダー８３に保持されたコレット８２は、前
記チップに当接した際に、このチップに荷重を加わえる
ように構成されている。そして、この荷重は、前記荷重
調整ナット８５を調整することにより、任意の値に設定
できるように構成されている。

【０００５】また、前記固定部８４には、下方に延出し
た延出バー８９が設けられており、この延出バー８９
は、前記ガイド部８１に起立する突出量調整ナット９０
を有したストッパー９１の上端に当接している。つま
り、前記コレットホルダー８３は、固定部８４より延出
する延出バー８９が、前記ストッパー９１に当接するこ
とにより、下方への移動範囲が規制されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記コ
レット８２が当接するチップには、前記コレット８２の
重量と、前記コレットホルダー８３の重量と、前記固定
部８４の重量と、前記延出バー８９の重量とが常時加え
られており、前記チップには、前記荷重スプリング８８
の付勢力に加えて、これらの各重量が加わてしまう。こ
のため、チップには、前記荷重スプリング８８による付
勢力より前記各重量分大きな荷重が加えられてしまい、
例えば、硬質のコレットを使用した場合においては、こ
のコレットがチップに当接する際に、チップの表面にダ
メージを与える恐れがあった。

【０００７】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、対象物に加わる荷重の低減化を図
ることができる対象物への荷重機構を提供することを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明にあっては、支点を中心として回動自在に支持
されたアームと、該アームの自由端部側に磁着された状
態で吊り下げられるとともに、対象物の上方より該対象
物に当接する当接部材と、該当接部材が前記対象物に荷
重を加える方向に、前記当接部材を付勢する付勢手段
と、前記当接部材が吊り上げられる方向に前記アームを
付勢するとともに、この付勢力の大きさを調節可能な反
付勢手段と、を備えている。

【０００９】すなわち、対象物には、該対象物に当接す
る当接部材の重量と、前記当接部材を付勢する付勢手段
の付勢力との合成力が荷重として加えられるが、前記当
接部材は、前記アームの自由端部に吊り下げられてお
り、前記アームは、反付勢手段によって前記当接部材を
吊り上げる方向に付勢されているので、前記合成力は減
少される。

【００１０】また、前記当接部材を、前記アームの一方
の自由端部側に吊り下げる一方、前記アームの他方の自
由端部側を、前記反付勢手段により下方に付勢した。

【００１１】つまり、前記アームの一方の自由端部側に
は、吊り下げられた前記当接部材の重量が加わえられる
一方、他方の自由端部側には、前記反付勢手段による付
勢が加えられるので、該反付勢手段の付勢力は、前記当
接部材の重量を抜重するように作用する。このため、対
象物には、前記当接部材を付勢する付勢手段の付勢力
と、前記反付勢手段の付勢力により、抜重された前記当
接部材の重量が加えられる。

【００１２】さらに、前記当接部材を、鉛直方向に移動
自在に支持するとともに、該当接部材の磁着面あるい
は、該磁着面が磁着する被磁着面のうち少なくとも一方
を曲面形状にした。

【００１３】つまり、支点を中心として回動する前記ア
ームと、このアームに磁着され、鉛直方向に移動自在に
支持された前記当接部材とは、曲面を介して磁着され
る。

【００１４】好ましくは、前記反付勢手段は、供給され
る電力の変化に応じて発生する付勢力が変化するリニア
モーターにより構成されている。

【００１５】このため、前記当接部材が吊り上げられる
方向に前記アームを付勢する付勢力は、リニアモーター
に供給される電力を制御することにより変化する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にしたがって説明する。図１に示すように本実施の形態
にかかる荷重機構１は、従来例と同様に、吸着したチッ
プを、リードフレームに搬送するダイボンディング装置
の可動アームに設けられており、この荷重機構１は、前
記可動アームに固定された機構支持部材２と、該機構支
持部材２に設けられた荷重制御手段３と、前記機構支持
部材２に設けられた荷重伝達手段４とにより構成されて
いる。

【００１７】該荷重伝達手段４は、前記機構支持部材２
の上面側にて、回動軸５によって回動自在に支持された
回動アーム６を有しており、この回動アーム６は、前記
回動軸５を境にした一方側を形成する右腕部７と、他方
側を形成する左腕部８とからなる。前記右腕部７は、回
動中心より水平方向に延出しており、その先端部には押
圧部材９が固定されている。また、前記左腕部８は、前
記回動中心より、前記機構支持部材２に形成された斜面
１０に沿って延在しており、左腕部８の中途部には、内
壁面に固定用フック１１が設けられた開口部１２が形成
されている。また、前記荷重伝達手段４は、前記右腕部
７に設けられた押圧部材９より垂下する荷重伝達部材１
３を有しており、この荷重伝達部材１３は、前記機構支
持部材２の先端に設けられた揺動防止部材１４に内嵌さ
れ、横方向への揺動が防止されている。

【００１８】前記荷重伝達部材１３は、図１及び図２に
示すように、前記回動アーム６に設けられた押圧部材９
側の頭部２１と、該頭部２１に基端が内嵌されて固定さ
れた筒状のコレットホルダー２２と、該コレット２２の
下端に内嵌された状態で保持された当接部材としてのコ
レット２３とからなり、前記コレット２３には、コレッ
トホルダー２２を貫通した負圧供給用の接続プラグ２４
が設けられている。また、前記コレット２３の先端に
は、対象物としてのチップ２５に当接する縮径部２６が
形成されており、この縮径部２６の先端には、前記接続
プラグ２４に連通する吸引孔が設けられている。また、
前記コレットホルダー２２には、前記頭部２１と前記揺
動防止部材１４との間にて、側方に突出する突出部材２
７が固定されている。該突出部材２７には、垂直下方に
延出したガイドバー２８が設けられており、このガイド
バー２８は、前記揺動防止部材１４の側部に設けられた
一対のガイドベアリング２９，２９によって上下動可能
に挾持されている。

【００１９】前記荷重伝達部材１３の頭部２１には、図
２に示したように、凹部３１が設けられており、該凹部
３１には、磁着面としての上面３２及び下面３３が球面
状に形成された第１のマグネット３４が収容されてい
る。該第１のマグネット３４の上面３２は、前記頭部２
１の上端より突出しており、前記押圧部材９の裏面に、
点接触した状態で磁着されている。前記頭部２１に対向
する前記押圧部材９の先端部には、収容室３５が形成さ
れており、この収容室３５には、前述した第１のマグネ
ット３４と同形状の第２のマグネット３６が収容されて
いる。これら第１のマグネット３４と第２のマグネット
３６との相乗効果により、前記荷重伝達部材１３がより
強力に磁着されるように構成されている。なお、前記荷
重伝達部材１３は、回動アーム６に設けられた前記押圧
部材９に磁着され、吊り下げられているので、荷重伝達
部材１３の突出部材２７と、前記機構支持部材２に設け
られた揺動防止部材１４との間には、わずかな隙間Ｓが
形成されている。

【００２０】一方、前記荷重制御手段３は、前記回動ア
ーム６の左腕部８を上方に付勢する付勢手段４１と、該
付勢手段４１による付勢方向と逆向きに、前記左腕部８
を下方に付勢することができる反付勢手段４２とからな
り、前記付勢手段４１は、前記機構支持部材２に立設さ
れた支柱４３より、機構支持部材２の斜面１０に沿って
延出した平行延出部４４に設けられている。

【００２１】前記付勢手段４１は、前記平行延出部４４
に開設された取付穴４５に取り付けられた基部材４６
と、該基部材４６の中央に固定された円筒部４７とから
なり、前記基部材４６には、先端がＲ形状のストッパー
部４８が、前記回動アーム６に接する方向に膨出してい
る。また、前記円筒部４７の内部には、荷重スプリング
４９が内嵌されており、該荷重スプリング４９は、一端
が前記回動アーム６の左腕部８に設けられた固定用フッ
ク１１に固定されるとともに、他端が引張部材５０に固
定されている。該引張部材５０は、前記円筒部４７の上
端より突出しており、この突出部分には、荷重調節ナッ
ト５１が螺着されている。つまり、この荷重調節ナット
５１を締め付けると、前記荷重スプリング４９が引張さ
れ、この荷重スプリング４９の第１の付勢力Ｆ１が、前
記回動アーム６を介して前記荷重伝達部材１３へ伝達さ
れるように構成されており、この締め付け作業を行うこ
とにより、前記荷重伝達部材１３を介して前記チップ２
５に加えられる荷重ＦＳの中間値を設定できるように構
成されている。

【００２２】前記反付勢手段４２は、供給される電力
（電圧又は電流）に応じて発生する正負力が変化するリ
ニアモーター６１によって構成されており、該リニアモ
ーター６１は、前記機構支持部材２の斜面１０に固定さ
れた吸引部６２と、前記回動アーム６の左腕部８に固定
された被吸引部６３とからなる。該被吸引部６３の下面
に形成された円筒状の足部６４は、前記吸引部６２の上
面に形成された吸引溝６５に内嵌されており、前記リニ
アモーター６１に電力（電圧又は電流）が供給された際
に、前記被吸引部６３を前記吸引部６２側に吸引した
り、これと逆方向に前記被吸引部６３を付勢したりでき
るようにように構成されている。

【００２３】また、前記リニアモーター６１は、ケーブ
ル６６を介して図示しないコントローラーに接続されて
おり、このコントローラーより電力（電圧又は電流）の
供給を受けることにより、前記荷重スプリング４９によ
る第１の付勢力Ｆ１と同方向、あるいは逆方向の第２の
付勢力Ｆ２を、前記回動アーム６の左腕部８に伝達する
ように構成されている。これにより、前記コレット２３
に当接するチップ２５には、コレット２３を含む前記回
動アーム６の右腕部７側の総重量Ｇと、前記荷重スプリ
ング４９の第１の付勢力Ｆ１と、前記リニアモーター６
１の第２の付勢力Ｆ２との合成力が、前記荷重ＦＳとし
て加えられるように構成されている。

【００２４】なお、前記コントローラーは、プログラム
されたパラメーターに従って、荷重機構１が設けられた
可動アームの駆動制御、前記コレット２３に供給される
負圧制御、及びリニアモーター６１に供給される電力制
御を行うように構成されている。

【００２５】以上の構成にかかる荷重機構１の動作を、
ダイボンディング装置の動作に従って説明する。図３
は、ダイボンディング装置の可動アームの設けられたコ
レット２３の垂直位置を示すピックアップＺ位置と、前
記コレット２３に吸着されるチップを押し上げるピック
アップピンの位置を示すピックアップピンＺ位置と、コ
レット２３に加えられる荷重ＦＳとの関係を示すタイミ
ングチャートである。

【００２６】すなわち、初期動作において、コントロー
ラーは、コレット２３が設けられた可動アームを作動さ
せ、コレット２３を原点位置に移動するとともに、前記
リニアモーター６１への電力（電圧又は電流）の供給を
コントロールして前記リニアモーター６１における第２
の付勢力Ｆ２を最大値に設定し、前記コレット２３への
荷重ＦＳを設定可能な最大値にする。

【００２７】前記コントローラーは、前記アームを作動
して、原点位置にあるコレット２３を、搬送されるチッ
プ２５上に移動するとともに下降させ（ポイントＰ
１）、チップ２５上に達した時点で、移動を停止する
（Ｐ２）。そして、コレット２３がチップ２５に当接す
る際に、パラメーターにより設定された第１の電圧を、
リニアモーター６１に印加する（Ｐ３）。

【００２８】すると、図１に示したように、リニアモー
ター６１が取り付けられた回動アーム６の左腕部８に
は、前記第１の電圧に対応した第２の付勢力Ｆ２が下方
に向けて加えられ、この第２の付勢力Ｆ２によって前記
回動アーム６の右腕部７側の総重量Ｇは抜重される。こ
のため、前記コレット２３が前記チップ２５に当接する
際に、前記チップ２５には、前記第２の付勢力Ｆ２によ
って抜重された前記総重量Ｇと、前記荷重スプリング４
９による第１の付勢力Ｆ１との合成力が、荷重ＦＳとし
て加えられる（ＦＳ＝Ｇ＋Ｆ１−Ｆ２）。このように、
前記コントローラーが、前記リニアモーター６１に印加
する電圧を変化させることにより、前記チップ２５に加
えられる荷重ＦＳを制御することができるので、従来の
ように、スパナなどの工具を使用することなく、前記荷
重ＦＳを変更することができる。また、荷重ＦＳを変更
する際に、工具等による手作業が不要のため、ダイボン
ディング装置を停止させる必要がない。さらに、前記コ
レット２３がチップ２５に当接する際に、前記荷重ＦＳ
を低下させることにより、着地の際の衝撃を押えること
ができるので、着地の際に荷重ＦＳを変化させることが
できない従来の荷重機構のように、大きな荷重ＦＳがチ
ップ２５に加わることがなく、チップ２５表面にダメー
ジを与える恐れがない。

【００２９】また、このとき前記コレット２３は上動す
るが、これに伴い、コレットホルダー２２を吊り下げる
回動アーム６は回動軸５を中心に回動する。このため、
前記回動アーム６と前記コレット２３との間には傾きが
生じるが、回動アーム６の押圧部材９に磁着したコレッ
ト２３における第１のマグネット３４は、図２に示した
ように、上面３２が球面状に形成されており、前記押圧
部材９と前記第１のマグネット３４は点接触している。
このため、回動に伴う前記押圧部材９と前記コレット２
３との傾きを、第１のマグネット３４の上面３２にて吸
収することができ、前記回動アーム６と前記コレット２
３との連動をスムーズに行うことができる。

【００３０】そして、所定時間経過後に、前記第１の電
圧より高い第２の電圧を、前記リニアモーター６１に印
加して、前記コレット２３に、第１の電圧を加えた際の
荷重ＦＳより小さな荷重ＦＳを加え（Ｐ４）、コレット
２３に負圧を加えてチップ２５を吸着する（Ｐ５）。こ
のとき、前記アームの右腕部７側の総重量Ｇと、前記左
腕部８に加わえられる前記リニアモーター６１の第２の
付勢力Ｆ２とのバランスを取ることにり（Ｆ２＝Ｇ）、
前記総重量Ｇを相殺することができ、前記チップ２５
に、前記荷重スプリング４９による第１の付勢力Ｆ１の
みを荷重ＦＳとして加えることができる（ＦＳ＝Ｇ＋Ｆ
１−Ｆ２）。したがって、コレットやコレットホルダー
等の重量がチップに加えらてしまう従来の荷重機構と比
較して、荷重ＦＳを小さな値に設定することができ、硬
質なコレット２３を使用する場合であっても、このコレ
ット２３がチップ２５に当接する際のチップ２５に与え
るダメージを緩和することができる。

【００３１】次に、前記コレット２３を上昇させると同
時に、コレット２３への荷重ＦＳを増加させ（Ｐ６）、
コレット２３が所定量上昇した時点で、コレット２３を
原点位置へ移動するとともに、コレット２３への荷重Ｆ
Ｓを最大にする（Ｐ７）。つまり、この荷重機構１が設
けられた可動アームを移動する際には、前記コレット２
３は、大きな力によって付勢されているので、前記可動
アームを高速で移動し、前記コレット２３が振動してし
まう場合であっても、これを押えることができる。そし
て、このコレット２３が原点位置に達したら、コレット
２３をリードフレーム上に移動するとともに、コレット
２３を下降させ（Ｐ８）、前記コレット２３を、リード
フレーム上のボンディング位置へ移動する（Ｐ９）。

【００３２】前記コレット２３に吸着されたチップ２５
を、ボンディング位置に載置する際には、パラメーター
により設定された前記第１の電圧をリニアモーター６１
に印加して、前記荷重ＦＳを減少させてチップ２５への
ダメージを減少させ（Ｐ１０）、着地した時点で、前記
第２の電圧を前記リニアモーター６１に印加して、荷重
ＦＳをさらに減少させた後（Ｐ１１）、コレット２３へ
の負圧の供給をカットして、チップ２５をボンディング
位置に配置する。前記チップ２３がボンディング位置に
載置される際には、前記可動アームが高速で移動された
場合であっても、前述したように、コレット２３の振動
が防止されているので、コレット２３の振動によるチッ
プ２５の叩き付けを防止することができ、これによりダ
イボンディング装置の高速運転が可能となる。

【００３３】そして、コレット２３を上昇させると同時
に、荷重ＦＳを増加させ（Ｐ１２）、コレット２３を原
点位置に移動するとともに、前記荷重ＦＳを最大にする
（Ｐ１３）。これにより、前記コレット２３は、原点位
置に戻り、待機状態となる（Ｐ１４）。

【００３４】なお、本実施の形態においては、搬送され
るチップ２５にコレット２３を当接させる際と、コレッ
ト２３に吸着されたチップ２５をボンディング位置に載
置する際とにおいて、パラメーターに設定された第１の
電圧をリニアモーター６１に印加しているので、コレッ
ト２３への荷重ＦＳが同じ大きさに設定されている。し
かし、前記パラメーターの設定を変更することにより、
搬送されるチップ２５にコレット２３を当接させる場合
と、コレット２３に吸着されたチップ２５をボンディン
グ位置に載置する場合とで、コレット２３への荷重ＦＳ
を変更することができる。具体的には、コントローラー
に切り換えスイッチを設けるとともに、設定の異なるパ
ラメーターを予め複数用意しておき、前記切り換えスイ
ッチを操作することにより、パラメーターを切り替える
ように構成する。この場合には、チップ２５の種類を変
更した際や、ボンディングが行われる部材を変更した際
に、前記荷重ＦＳの変更を速やかに行うことができる。

【００３５】さらに、本実施の形態では、リニアモータ
ー６１によって前記総重量Ｇを減少させる荷重機構１を
示したが、例えば、エア圧によって作動するエアピスト
ンを用いて、前記回動アーム６の左腕部８を付勢しても
良い。

【００３６】また、本実施の形態では、回動アーム６の
左腕部８を上方に付勢して、荷重伝達部材１３に荷重Ｆ
Ｓを加えるものを例に挙げて説明したが、荷重伝達部材
１３を直接下方に付勢しても良い。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の荷重機構
にあっては、対象物に当接する当接部材の重量と、前記
当接部材を付勢する付勢手段の付勢力との合成力は、反
付勢手段の付勢力によって減少されるので、前記反付勢
手段の付勢力を高めることによって、前記当接部材より
対象物に加えられる荷重を、前記当接部材の重量と前記
付勢手段の付勢力とからなる合成力より小さな値に設定
することができる。このため、特に、ダイボンディング
装置においては、対象物としてのチップに、チップに当
接するコレットと、該コレットを保持するコレットホル
ダーなどの重量とが加えられてしまう従来の荷重機構と
比較して、小さな荷重を設定することができる。したが
って、硬質な当接部材を用いて、前記対象物に荷重を加
える場合であっても、荷重を小さく設定することによ
り、対象物へのダメージを緩和することができる。

【００３８】また、前記当接部材を、前記アームの一方
の自由端部側に吊り下げ、前記アームの他方の自由端部
側を前記反付勢手段により下方に付勢した場合には、対
象物には、前記当接部材を付勢する付勢手段の付勢力
と、前記反付勢手段の付勢力によって抜重された当接部
材の重量が加えられる。このため、前記当接部材が吊り
下げられた前記アームの一方の自由端部側と、前記反付
勢手段による付勢力が加えられる前記他方の自由端部側
とのバランスを取ることにより、荷重として加わる前記
当接部材の重量を０にすることが可能となり、前述と同
様に、小さな荷重の設定ができるとともに、前記付勢手
段による荷重の設定範囲が広くなる。

【００３９】さらに、前記当接部材を、鉛直方向に移動
自在に支持し、該当接部材の磁着面あるいは、該磁着面
が磁着する被磁着面の一方を曲面形状にしたものにあっ
ては、支点を中心に回動するアームと、このアームに磁
着された当接部材とは、曲面を介して磁着されるので、
回動に伴った前記アームと前記当接部材との傾きを、前
記曲面にて吸収することができる。したがって、前記ア
ームと前記当接部材との連動をスムーズに行うことがで
きる。

【００４０】また、前記反付勢手段をリニアモーターに
より構成したものに関しては、リニアモーターへの電力
の供給を制御することにより、前記他方の自由端部を下
方に付勢する付勢力を変化させることができるので、前
記当接部材を交換することにより、この当接部材が吊り
下げられたアームの質量が変化した場合であっても、前
記電力を制御することにより、対象物への荷重を所定の
大きさに保つことができる。

【００４１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す一部断面図である。

【図２】図１のＡ部を示す断面図である。

【図３】同実施の形態におけるダイボンディング装置の
動作を示すタイミングチャートである。

【図４】従来の荷重機構を示す正面図である。

【符号の説明】 １ 荷重機構 ３ 荷重制御手段 ４ 荷重伝達手段 ６ 回動アーム ７ 右腕部 ８ 左腕部 ２３ コレット（当接部材） ２５ チップ（対象物） ３２ 上面（磁着面） ３４ 第１のマグネット ３６ 第２のマグネット ４１ 付勢手段 ４２ 反付勢手段 ４９ 荷重スプリング ６１ リニアモーター Ｆ１ 第１の付勢力 Ｆ２ 第２の付勢力 ＦＳ 荷重

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支点を中心として回動自在に支持された
   アームと、 該アームの自由端部側に磁着された状態で吊り下げられ
   るとともに、対象物の上方より該対象物に当接する当接
   部材と、 該当接部材が前記対象物に荷重を加える方向に、前記当
   接部材を付勢する付勢手段と、 前記当接部材が吊り上げられる方向に前記アームを付勢
   するとともに、この付勢力の大きさを調節可能な反付勢
   手段と、 を備えたことを特徴とする対象物への荷重機構。
2. 【請求項２】 前記当接部材を、前記アームの一方の自
   由端部側に吊り下げる一方、前記アームの他方の自由端
   部側を、前記反付勢手段により下方に付勢したことを特
   徴とする請求項１記載の対象物への荷重機構。
3. 【請求項３】 前記当接部材を、鉛直方向に移動自在に
   支持するとともに、該当接部材の磁着面あるいは、該磁
   着面が磁着する被磁着面のうち少なくとも一方を曲面形
   状にしたことを特徴とする請求項１または２のいずれか
   に記載の対象物への荷重機構。
4. 【請求項４】 前記反付勢手段は、供給される電力の変
   化に応じて発生する付勢力が変化するリニアモーターで
   あることを特徴とした請求項１、２または３のいずれか
   に記載の対象物への荷重機構。