JPH09243467A - 温度検出回路およびその試験方法 - Google Patents

温度検出回路およびその試験方法

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JPH09243467A
JPH09243467A JP4755396A JP4755396A JPH09243467A JP H09243467 A JPH09243467 A JP H09243467A JP 4755396 A JP4755396 A JP 4755396A JP 4755396 A JP4755396 A JP 4755396A JP H09243467 A JPH09243467 A JP H09243467A
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resistor
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 MOS製造プロセスで製造可能で、温度係
数を容易に変えることができる温度検出回路と、実際に
温度を変えることなく試験することができる温度検出回
路の試験方法とを提供する。 【解決手段】 PNP型バイポーラトランジスタ3
1,32,43,44は、コレクタがすべて負電源33
に接続されているので、P型半導体基板をコレクタ、N
−ウェル領域をベース、P+ 領域をエミッタとしたサブ
ストレートPNPを用い、MOS製造プロセスで製造可
能である。演算増幅回路40は、出力がPチャネルMO
Sトランジスタ33のゲート・ドレイン間を通じて負帰
還され、PチャネルMOSトランジスタ34のドレイン
電流ID は絶対温度Tに比例する。第4抵抗41の抵抗
値を変えれば出力電圧VO の温度係数を変えることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路
(以下、「IC」と略称することもある)として、特に
MOSプロセスで製造可能な温度検出回路、および半導
体集積回路として形成される温度検出回路の試験方法と
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、半導体集積回路には、温度検
出回路を組み込む場合がある。半導体集積回路はその構
成によって多大な熱を発生することがあり、その熱によ
って回路の特性が大きく変化し、誤動作を引き起こした
り、甚だしい場合は発火に至るおそれもある。半導体集
積回路に温度検出回路を組み込むことによって、これら
の誤動作や発火が起こる前に回路の動作などを停止され
るシステムを形成することができる。また、各種回路を
良好な状態で動作させるための温度補償にも利用するこ
とができる。
【0003】温度を検出し、その変化を電圧の変化とし
て出力する温度検出回路のようなアナログ回路は、主と
してバイポーラ素子を集積するバイポーラ技術によって
実現されている。しかしながら、近年、アナログ回路お
よびデジタル回路を混在させたアナログ・デジタル混在
ICの需要増加に伴って、低消費電力で大規模集積化が
可能なMOS技術によってアナログ回路を集積回路化す
ることが必要になってきている。
【0004】図13は、一般に知られている温度検出回
路として、たとえば特開平4−315932に開示され
ている第1の先行技術の構成を示す。この先行技術で
は、PNP型バイポーラトランジスタ1,2,3および
各PNP型バイポーラトランジスタ1,2,3のエミッ
タ側に一端がんそれぞれ接続される定電流源4,5,6
を含む。定電流源4,5,6の他端は正電源7に接続さ
れる。各PNP型バイポーラトランジスタ1,2,3の
コレクタは、負電源8に共通接続される。PNP型バイ
ポーラトランジスタ1,2,3のコレクタが全て負電源
8に接続されているので、P型半導体基板をコレクタ、
N−ウェル領域をベース、P+ 領域をエミッタとしたサ
ブストレートPNP型バイポーラトランジスタを用いれ
ば、MOS製造プロセスで実現可能である。
【0005】各バイポーラトランジスタ1,2,3のベ
ース・エミッタ間電圧をVBE、負電源電圧をVSSとする
と、出力端子9の出力電圧VO は次の第1式で表され
る。
【0006】 VO = VSS+3VBE …(1) ここで、VBEは、次の第2式のように表される。
【0007】 VBE =(kT/q)ln(IC/IS) …(2) k:ボルツマン定数 T:絶対温度 q:電子の電荷 IC :コレクタ電流 IS :逆方向飽和電流 第1式および第2式から、出力電圧VO は、絶対温度T
に比例して変化する電圧となることもわかる。しかしな
がら、半導体製造過程において、逆方向飽和電流IS
大きくばらつくため、同じ温度でも半導体集積回路のチ
ップ毎に出力電圧VO が異なるという問題点が生じる。
特開平4−315932にもVBEを検出する同様な回路
が開示されているけれども、このような問題点は解決さ
れていない。
【0008】この問題点を解決する先行技術として、セ
ンサーズ・アンド・アクチュエーターズ(Sensors and
Actuators:発行元 Elsevier Sequoia)誌の第6巻、
1984年、191〜200頁には、第2の先行技術と
して、第14図に示すような回路が開示されている。す
なわち、接合面積の異なる2つのダイオード11,1
2、これらの定電流源として働くMOSトランジスタ1
3,14、およびそのMOSトランジスタ13,14に
バイアス電圧を供給するバイアス用のMOSトランジス
タ15〜18を含む回路から成る。電源として共通接続
されるカソードをP型半導体基板のN−ウェル領域、ア
ノードをP+拡散領域として、ダイオード11,12を
形成するようにすれば、MOS製造プロセスで実現可能
である。
【0009】ダイオード11,12の順方向電圧降下を
1,V2とすると、次の第3式が得られる。
【0010】 V1 =(kT/q)ln(I1/IS1) V2 =(kT/q)ln(I2/IS2) …(3) ここで、I1,I2は、ダイオード11,12のそれぞれ
順方向電流であり、IS1,IS2はダイオード11,12
の逆方向飽和電流である。第3式から、出力端子19,
20間に得られるダイオード11,12の順方向電圧降
下の差(V2−V1)は、次の第4式のようになる。
【0011】 V2−V1=(kT/q)ln(nI2/I1) …(4) ここでnは、ダイオード11,12の逆方向飽和電流
S1,IS2の比であり、PN接合の面積比である。逆方
向飽和電流IS1,IS2の値はチップ毎のばらつきが大き
いけれども、同一半導体チップ内のIS1,IS2の比nは
チップによるばらつきがほとんどないことが知られてい
る。また順方向電流I1,I2はMOSトランジスタ1
3,14の縦横比(W/L比)によって決定される。し
たがって、V2−V1はIS1,IS2のばらつきの影響を受
けない絶対温度に比例した電圧となる。しかしながら、
この回路では、ダイオード11,12のカソードが負電
源8に接続されているので、出力端子19,20の電位
はPN接合電圧だけ異なる負電源19の電位に近い値と
なるため、V2−V1を増幅する増幅回路の同相入力範囲
が非常に大きくとれないと、これらの電位差を増幅する
ことが難しくなる欠点がある。
【0012】図15に示す第3の先行技術は、たとえば
特開昭64−63826、特開昭64−63827およ
び特開昭64−63828に開示されており、NPN型
バイポーラトランジスタ21,22、増幅器23、抵抗
24,25,26から成り、NPN型バイポーラトラン
ジスタ21,22はコレクタが全て正電源7に接続さ
れ、ベースは共通接続されているので、N型半導体基板
をコレクタ、P−ウェル領域をベース、N+ 領域をエミ
ッタとしたサブストレートNPN型トランジスタを用い
れば、MOS製造プロセスで実現可能である。
【0013】図16は、そのようなN型半導体基板27
の断面構成を示す。N型半導体基板27中にP−ウェル
領域28が形成されており、コレクタおよびベースをそ
れぞれ共通接続するバイポーラトランジスタをMOS製
造プロセスで製造することができる。なお、エミッタは
+ 領域、ベースはP+ 領域から取り出す。
【0014】増幅器23は、NPN型バイポーラトラン
ジスタ21,22を介して負帰還がかかっていて、非反
転入力と反転入力との電位が等しくなるように動作する
ので、NPN型バイポーラトランジスタ21,22のベ
ース・エミッタ間電圧をVBE1,VBE2 、コレクタ電流
をI1,I2、抵抗24,25,26の抵抗値をR1
2,R3とすると、次の第5式が成り立つので、出力端
子9に得られる出力電圧VOは、次の第6式で表され
る。
【0015】 VBE1 =VBE2 +I23 …(5) VO =R2 ×(VBE1−VBE2 )/R3 …(6) ここで、バイポーラトランジスタ21,22の逆方向飽
和電流をIS1,IS2とすると、第3式と同様に次の第7
式が得られる。
【0016】 VBE1 =(kT/q)ln(I1/IS1) VBE2 =(kT/q)ln(I2/IS2) …(7) バイポーラトランジスタ21,22の逆方向飽和電流I
S1,IS2の比nは、エミッタ面積比と等しく、第4式と
同様に次の第8式が得られる。
【0017】 VO=(R2/R3)(kT/q)ln(nI1/I2) …(8) 出力電圧VO は、逆方向飽和電流IS1,IS2の影響を受
けない、絶対温度に比例した電圧として得られる。ま
た、図14のようにダイオード11,12によって負電
源8に近い電位に出力電圧VO がクランプされることは
なく、同相入力電圧範囲の非常に大きな増幅器23を用
いなければ増幅することができないという問題も生じな
い。I1:I2=R2:R1であるから、出力電圧VO は、
次の第9式のようにも表される。
【0018】 VO=(R2/R3)(kT/q)ln(nR2/R1) …(9)
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図15
に示す先行技術では、出力電圧VO として、はじめから
温度に比例した電圧を取り出しているため、温度に対す
る出力電圧の傾きである温度係数は一意に決まってしま
う。温度係数を変えるためには、抵抗24〜26の抵抗
値R1〜R3を変える必要がある。抵抗値R1〜R3を変え
る際には、相互の抵抗比や増幅器23の同相入力電圧範
囲に留意しなければならないなど、煩わしさがある。
【0020】また、図16に示すようなN型半導体基板
27では正の温度係数が得られ、したがってP型半導体
基板では負の温度係数が得られるけれども、温度係数を
逆にするには、特開昭64−63827に開示されてい
るように、出力に反転増幅器を追加する必要があり、構
成が複雑化し、半導体チップに占める面積が増大してし
まうという欠点がある。
【0021】さらに、図16の先行技術によるものを含
む従来の温度検出回路を備える半導体集積回路が良品で
あるか不良品であるかを試験する場合は、恒温槽などで
実際に温度を変化させて半導体集積回路を動作させる必
要がある。温度が所定温度に達して安定するまでには時
間を要し、試験に時間がかかるという欠点もある。
【0022】本発明の目的は、MOS製造プロセスで製
造可能で、温度係数を容易に変えることができる温度検
出回路と、温度検出回路を備える半導体集積回路の動作
を実際に温度を変えることなく試験することができる温
度検出回路の試験方法とを提供することである。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体基板に
集積され、温度に対応する出力を導出する温度検出回路
であって、非反転入力および反転入力を備える演算増幅
回路と、半導体基板の導電型式と同一の導電型式のコレ
クタおよびエミッタ領域を有し、コレクタが一方の電源
に接続される第1バイポーラトランジスタと、第1バイ
ポーラトランジスタと同一導電型に形成され、コレクタ
およびベースが第1バイポーラトランジスタのコレクタ
およびベースとそれぞれ共通接続され、エミッタが演算
増幅回路の反転入力に接続される第2バイポーラトラン
ジスタと、半導体基板の導電型式と同一の導電型式のチ
ャネルを有し、ソースが他方の電源に接続され、ゲート
が演算増幅回路の出力端子に接続される第1MOSトラ
ンジスタと、第1MOSトランジスタと同一導電型に形
成され、ソースおよびゲートが第1MOSトランジスタ
のドレインおよびゲートにそれぞれ共通接続される第2
MOSトランジスタと、第1および第2バイポーラトラ
ンジスタのベースに、一方の電源と他方の電源との間の
電位を与える基準電圧回路と、第1バイポーラトランジ
スタのエミッタと演算増幅回路の非反転入力との間に接
続される第1抵抗と、第1MOSトランジスタのドレイ
ンと第2バイポーラトランジスタのエミッタとの間に接
続される第2抵抗と、第1MOSトランジスタのドレイ
ンと演算増幅回路の非反転入力との間に接続される第3
抵抗とを含むことを特徴とする温度検出回路である。本
発明に従えば、第1および第2バイポーラトランジスタ
は共通接続されるコレクタが半導体基板と同一の導電型
式となるので、コレクタには半導体基板自体を利用し、
共通接続されるベースを半導体基板中に異なる導電型式
の領域として形成するウェルを利用して、MOS製造プ
ロセスで容易に製造することができる。第1MOSトラ
ンジスタのドレイン電流は、第3および第2抵抗で分割
され、それぞれ第1および第2バイポーラトランジスタ
のエミッタ電流となる。第3抵抗と第1バイポーラトラ
ンジスタのエミッタとの間には第1抵抗が挿入され、第
1抵抗と第3抵抗の接続部に演算増幅回路の非反転入力
が接続される。演算増幅回路の反転入力および出力は、
第2抵抗と第2バイポーラトランジスタのエミッタとの
接続点、および第1MOSトランジスタのゲートに、そ
れぞれ接続される。この結果、第1MOSトランジスタ
のドレインには、第1抵抗における電圧降下が第1およ
び第2バイポーラトランジスタのベース・エミッタ電圧
の差と等しくなるような電流が流れる。第1MOSトラ
ンジスタのソースおよびゲートとソースおよびゲートが
共通接続される第2MOSトランジスタは、第1MOS
トランジスタとともにカレントミラー回路を形成し、ド
レインには第1MOSトランジスタのドレイン電流と相
似な電流が流れる。この電流は、絶対温度に比例し、そ
の温度係数は各抵抗の抵抗値および各バイポーラトラン
ジスタのエミッタ面積比の関数となる。半導体集積回路
の製造過程では、抵抗値の比やエミッタ面積比を高精度
で再現することができるので、ドレイン電流の温度係数
のばらつきは小さく抑えることができる。抵抗を挿入し
て第2MOSトランジスタのドレイン電流を電圧に変換
すれば、抵抗値に応じて温度係数を変化させることがで
きる。
【0024】また本発明で前記基準電圧回路は、前記第
1バイポーラトランジスタと同一導電型に形成され、コ
レクタおよびベースが前記一方の電源に共通接続され、
エミッタから第1および第2バイポーラトランジスタの
ベースに与えるための出力を導出する第3バイポーラト
ランジスタと、第3バイポーラトランジスタのエミッタ
と前記他方の電源との間に接続される第1定電流回路と
を含むことを特徴とする。 本発明に従えば、第3バイポーラトランジスタの導電型
は第1および第2バイポーラトランジスタと同一であ
る。コレクタ同士は共通接続されるので、コレクタを半
導体基板を利用して形成し、第1および第2バイポーラ
トランジスタのベースに利用するウェルとは分離して半
導体基板とは導電型式の異なるウェルを形成してベース
領域とすれば、第3バイポーラトランジスタもMOS製
造プロセスで製造することができる。第3バイポーラト
ランジスタのベースをコレクタとともに一方の電源に接
続し、エミッタを定電流回路を介して他方の電源に接続
することによって、エミッタに他方の電源の電位よりも
ベース・エミッタ間電圧だけ一方の電源の電位に近い基
準電圧を得ることができる。
【0025】また本発明は、前記第3バイポーラトラン
ジスタのエミッタと前記第1バイポーラトランジスタの
ベースとの間に、第1バイポーラトランジスタと同一導
電型に形成され、コレクタが前記一方の電源に共通接続
されるように少なくとも1段設けられる第4バイポーラ
トランジスタであって、最前段のベースが第3バイポー
ラトランジスタのエミッタと第1定電流回路との接続点
に接続され、中間段では前段のエミッタと後段のベース
とが接続され、最終段のエミッタが第1および第2バイ
ポーラトランジスタのベースに接続される第4バイポー
ラトランジスタと、第4バイポーラトランジスタの各段
のエミッタにそれぞれ接続される第2定電流回路とを含
むことを特徴とする。 本発明に従えば、各第4バイポーラトランジスタは、第
3バイポーラトランジスタと同一導電型でコレクタが共
通接続されるので、半導体基板をコレクタ領域として利
用し、格段毎に半導体基板と導電型式の異なるウェルを
別個に形成することによって、MOS製造プロセスで製
造することができる。第4バイポーラトランジスタの段
数を変えることによって、第1および第2バイポーラト
ランジスタのベースに与える基準電圧を調整することが
できる。
【0026】また本発明は、前記第1MOSトランジス
タと異なる導電型に形成され、前記第2MOSトランジ
スタのドレインとドレインおよびゲートが接続され、ソ
ースが前記一方の電源に接続される第3MOSトランジ
スタと、第3MOSトランジスタと同一導電型に形成さ
れ、ゲートおよびソースが第3MOSトランジスタのゲ
ートおよびソースとそれぞれ共通接続される第4MOS
トランジスタとを含むことを特徴とする。 本発明に従えば、第3および第4MOSトランジスタは
ゲートおよびソースが共通接続され、ゲートが第3MO
Sトランジスタのドレインに接続されているので、第4
MOSトランジスタのドレイン電流は第3MOSトラン
ジスタのドレイン電流と相似に変化する。第3MOSト
ランジスタには第2MOSトランジスタと絶対値が同一
のドレイン電流が流れる。第3および第4MOSトラン
ジスタの導電型は第1および第2MOSトランジスタと
は異なるので、第3MOSトランジスタに流れるドレイ
ン電流の方向は第2MOSトランジスタのドレイン電流
の方向とは逆になる。したがって、第4MOSトランジ
スタのドレイン電流は、第1MOSトランジスタのドレ
イン電流を折り返した形となり、温度係数も正と負とを
反転させることができる。
【0027】また本発明は、前記第2MOSトランジス
タのドレインと前記一方の電源との間に接続される第4
抵抗と、第2MOSトランジスタのドレインに入力が接
続されるバッファ増幅回路とを含むことを特徴とする。 本発明に従えば、第2MOSトランジスタのドレイン電
流は温度に比例するので、第4抵抗の抵抗値に応じて温
度係数を変化させることができる。第4抵抗に発生した
電圧はバッファ増幅回路を介して出力されるので、第4
抵抗に大きな抵抗値を使用するような場合であっても、
負荷の影響を受けずに絶対温度に比例する電圧を得るこ
とができる。バッファ増幅回路を用いることによってイ
ンピーダンス変換され、半導体集積回路内での出力の利
用を極めて容易に行うことができる。
【0028】また本発明は、前記第2MOSトランジス
タのドレインと前記一方の電源との間に接続される第4
抵抗と、第2MOSトランジスタのドレインに非反転入
力が接続され、反転入力が前記第1および第2バイポー
ラトランジスタのベースに接続される比較回路とを含む
ことを特徴とする。 本発明に従えば、第2MOSトランジスタのドレインに
得られる絶対温度に比例する電流を、第4抵抗で電圧に
変換し、ある温度で出力の論理値を変化させることがで
きる。
【0029】また本発明は、前記第1抵抗、第2抵抗お
よび第3抵抗のうちの少なくとも1つの抵抗値を電気的
に変化させて、抵抗値が変化しない場合に予め定める温
度を検出したときと同等の出力が得られるように切換え
る切換回路を含むことを特徴とする。 本発明に従えば、実際に温度を変化させないでも、温度
変化がある場合と同等の出力が得られるので、温度検出
回路を含む半導体集積回路の動作試験を恒温槽などを使
わずに、簡便かつ迅速に行うことができる。
【0030】また本発明で前記切換回路は、抵抗値を変
化させる抵抗の一部を分割し、分割された抵抗と並列に
スイッチング素子を接続して形成されることを特徴とす
る。 本発明に従えば、分割した抵抗に並列に接続されるスイ
ッチング素子を導通させると合成された抵抗値は極めて
小さくなり、スイッチング素子を遮断させると合成され
た抵抗値はほとんど抵抗のみの抵抗値と等しくなる。す
なわち、スイッチング素子の動作によって抵抗値を変化
させることができ、異なる温度での動作状態に、容易に
切換えることができる。
【0031】さらに本発明は、半導体基板に集積され、
半導体素子および抵抗を組合わせて、温度に対応する出
力を導出する温度検出回路の試験方法であって、予め定
める試験温度に対応する出力が得られるように、抵抗の
少なくとも一部を変化させることを特徴とする温度検出
回路の試験方法である。 本発明に従えば、抵抗の少なくとも一部を変化させるこ
とによって、実際に温度を変化させて温度試験を行う場
合と同等の出力を温度検出回路から得ることができる。
これによって、温度検出回路からの出力を利用する半導
体集積回路を温度試験と同等の条件で簡便かつ迅速に動
作状態の試験を行うことができる。
【0032】また本発明は、非反転入力および反転入力
を備える演算増幅回路と、半導体基板の導電型式と同一
の導電型式のコレクタおよびエミッタ領域を有し、コレ
クタが一方の電源に接続される第1バイポーラトランジ
スタと、第1バイポーラトランジスタと同一導電型に形
成され、コレクタおよびベースが第1バイポーラトラン
ジスタのコレクタおよびベースとそれぞれ共通接続さ
れ、エミッタが演算増幅回路の反転入力に接続される第
2バイポーラトランジスタと、半導体基板の導電型式と
同一の導電型式のチャネルを有し、ソースが他方の電源
に接続され、ゲートが演算増幅回路の出力端子に接続さ
れる第1MOSトランジスタと、第1MOSトランジス
タと同一導電型に形成され、ソースおよびゲートが第1
MOSトランジスタのドレインおよびゲートにそれぞれ
共通接続される第2MOSトランジスタと、第1および
第2バイポーラトランジスタのベースに、一方の電源と
他方の電源との間の電位を与える基準電圧回路と、第1
バイポーラトランジスタのエミッタと演算増幅回路の非
反転入力との間に接続される第1抵抗と、第1MOSト
ランジスタのドレインと第2バイポーラトランジスタの
エミッタとの間に接続される第2抵抗と、第1MOSト
ランジスタのドレインと演算増幅回路の非反転入力との
間に接続される第3抵抗とを含む温度検出回路に対し、
第1抵抗、第2抵抗または第3抵抗のうちの少なくとも
一つの抵抗の抵抗値を変化させることを特徴とする。 本発明に従えば、第1抵抗、第2抵抗または第3抵抗の
うちの少なくとも一つの抵抗の抵抗値を変化させること
によって、実際に温度を変化させないでも、温度変化が
ある場合と同等の出力が得られるので、温度検出回路を
含む半導体集積回路の動作試験を、恒温槽などを使わず
に、簡便かつ迅速に行うことができる。
【0033】また本発明は、前記第1抵抗、第2抵抗ま
たは第3抵抗のうちの少なくとも一つの抵抗と直列に調
整抵抗を挿入し、調整抵抗の両端間に第1MOSトラン
ジスタと同一導電型に形成されるスイッチングMOSト
ランジスタのソースおよびドレインを接続しておき、ス
イッチングMOSトランジスタのゲートに信号を与えて
温度試験と同等な出力を温度検出回路から発生させるこ
とを特徴とする。 本発明に従えば、調整抵抗に並列に接続されるスイッチ
ングMOSトランジスタを導通させると合成された抵抗
値は極めて小さくなり、スイッチングMOSトランジス
タを遮断させると合成された抵抗値はほとんど調整抵抗
のみの抵抗値と等しくなる。スイッチングMOSトラン
ジスタの動作を切換えるによって抵抗値を変化させるこ
とができ、異なる温度での動作状態と同等の出力に、容
易に切換えることができる。
【0034】
【発明の実施の形態】図1〜図12は、本発明の実施の
各形態を示す。各図において、対応する部分には同一の
参照符を付し、重複する説明は省略する。
【0035】図1は、本発明の実施の第1形態の電気的
構成を示す。第1および第2バイポーラトランジスタで
あるPNP型バイポーラトランジスタ31,32は、コ
レクタおよびベースがそれぞれ共通接続される。コレク
タは一方の電源である負電源33に接続される。PNP
型バイポーラトランジスタ31,32のエミッタと他方
の電源である正電源34との間には、第1MOSトラン
ジスタであるPチャネルMOSトランジスタ35のソー
ス・ドレイン間が共通に接続される。PチャネルMOS
トランジスタ35は、第2MOSトランジスタであるP
チャネルMOSトランジスタ36と、ソースおよびゲー
トが共通接続され、ソースが正電源34に接続される電
流ミラー回路を形成している。PNP型バイポーラトラ
ンジスタ31,32のエミッタには、第1および第2抵
抗37,38の一端がそれぞれ接続される。第1抵抗3
7の他端は、第3抵抗39の一端に接続される。第2抵
抗38および第3抵抗39の他端は、PチャネルMOS
トランジスタ35のドレインに共通接続される。Pチャ
ネルMOSトランジスタ35,36の共通接続されたゲ
ートは、演算増幅回路40の出力に接続される。演算増
幅回路40の非反転入力および反転入力は、第1抵抗3
7の他端と第3抵抗39の一端との接続点、およびPN
P型バイポーラトランジスタ32のエミッタと第2抵抗
38の一端との接続点にそれぞれ接続されている。Pチ
ャネルMOSトランジスタ36のドレインは、第4抵抗
41を介して負電源33に接続され、PチャネルMOS
トランジスタ36のドレインと第4抵抗41との接続点
は出力端子42に接続される。
【0036】共通接続されたPNP型バイポーラトラン
ジスタ31,32のベースには、基準電圧回路を構成す
る第3および第4バイポーラトランジスタであるPNP
型バイポーラトランジスタ43,44からの電位が与え
られる。PNP型バイポーラトランジスタ43,44の
コレクタは、負電源33に共通接続される。PNP型バ
イポーラトランジスタ43のベースはコレクタとともに
負電源33に接続され、PNP型バイポーラトランジス
タ44のベースはPNP型バイポーラトランジスタ43
のエミッタに接続される。共通接続されたPNP型バイ
ポーラトランジスタ31,32のベースは、PNP型バ
イポーラトランジスタ44のエミッタに接続される。P
NP型バイポーラトランジスタ43,44のエミッタ
は、定電流回路45,46を介して正電源34にそれぞ
れ接続される。
【0037】PNP型バイポーラトランジスタ31,3
2,43,44は、コレクタがすべて負電源33に接続
されているので、P型半導体基板をコレクタ、N−ウェ
ル領域をベース、P+ 領域をエミッタとしたサブストレ
ートPNPを用いれば、図13の先行技術と同様に、M
OS製造プロセスで実現可能である。また、負電源33
に接続されるダイオードを使わないので、同相入力電圧
範囲の非常に大きな増幅回路を用いなければ出力電圧を
取り出すことができないという、図14に示す先行技術
のような欠点は解消される。
【0038】次に回路動作を説明する。演算増幅回路4
0は、出力がPチャネルMOSトランジスタ35のゲー
ト・ドレイン間を通じて負帰還され、非反転入力と反転
入力とが等しくなるように動作する。PNP型バイポー
ラトランジスタ43,44と定電流回路45,46とを
含む基準電圧回路は、PNP型バイポーラトランジスタ
31,32のベースに負電源33の電位よりもベース・
エミッタ間電圧の2倍だけ正電源34の電位に近づくバ
イアス電圧を与える。この倍数は、第4バイポーラトラ
ンジスタであるPNP型バイポーラトランジスタ44の
段数より1だけ多くなる。1段も使用しないときは、共
通接続されたPNP型バイポーラトランジスタ31,3
2のベースは、PNP型バイポーラトランジスタ43の
エミッタに接続し、定電流回路46も不要となる。複数
段使用するときは、最前段のベースをPNP型バイポー
ラトランジスタ43のエミッタに接続し、中間段のベー
スをその前段のエミッタに接続し、最終段のエミッタに
共通接続されたPNP型バイポーラトランジスタ31,
32のベースを接続し、各段のエミッタには、正電源3
4との間に段数だけの定電流回路46をそれぞれ接続す
る。
【0039】PNP型バイポーラトランジスタ31,3
2のコレクタ電流をI11,I12、ベース・エミッタ間電
圧をVBE11,VBE12、逆方向飽和電流をIS11,IS12
第1〜第4抵抗37,38,39,41の抵抗値を
11,R12,R13,R14とすれば、次の第10式が成り
立つ。
【0040】 VBE11+I1111 = VBE12 …(10) ここで、ベース・エミッタ間電圧VBE11,VBE12につい
て、次の第11式が成り立つ。
【0041】 VBE11 =(kT/q)ln(I11/IS11) VBE12 =(kT/q)ln(I12/IS12) …(11) I11:I12=R12:R13が成り立つので、PNP型バイ
ポーラトランジスタ31,32のエミッタ面積比をnと
すると、nはIS11とIS12との比であり、次の第12式
が成り立つ。
【0042】 I1111=VBE12−VBE11 =(kT/q)ln(nI12/I11) =(kT/q)ln(nR13/R12) …(12) ところで、PチャネルMOSトランジスタ33,34
は、ソースおよびゲートが共通接続されているので、同
一特性であれば、ドレイン電流は等しい。同一の半導体
基板上であれば同一に近い特性にPチャネルMOSトラ
ンジスタ33,34を製造することは比較的容易であ
る。したがって、PチャネルMOSトランジスタ34の
ドレイン電流ID は、次の第13式で表されるように、
絶対温度Tに比例する。
【0043】 ID =I11+I12 ={kT(R12+R13)/qR1112}ln(nR13/R12) …(13) 第13式から、出力端子43から得られる出力電圧VO
は、第4抵抗41の電圧降下として、負電源33の電圧
をVSSとすれば、次の第14式のように表される。
【0044】 VO =VSS+R14D =VSS +R14{kT(R12+R13)/qR1112}ln(nR13/R12) …(14) よって、出力電圧VO は負電源33の電圧VSSを基準と
して、逆方向飽和電流IS11,IS12のばらつきの影響を
受けない、絶対温度Tに比例した電圧となる。また、温
度係数は正であり、その値は、第4抵抗41の抵抗値R
14を変えるだけで容易かつ自由に設定することができ
る。
【0045】図2は、本発明の実施の第2形態の電気的
構成を示す。本実施形態では、PチャネルMOSトラン
ジスタ36のドレインが第3MOSトランジスタである
NチャネルMOSトランジスタ47のドレインおよびゲ
ートに接続される。NチャネルMOSトランジスタ47
は、第4MOSトランジスタであって、ゲートが共通接
続される同一特性のNチャネルMOSトランジスタ48
とともに電流ミラー回路を構成し、両NチャネルMOS
トランジスタ47,48ソースは負電源33に共通接続
される。NチャネルMOSトランジスタ48のドレイン
は、抵抗41を介して正電源34に接続される。出力端
子42は、NチャネルMOSトランジスタ48のドレイ
ンと抵抗41との接続点から取り出される。
【0046】PチャネルMOSトランジスタ36のドレ
イン電流ID は前述の第13式で表され、NチャネルM
OSトランジスタ47のドレイン電流はこの電流と絶対
値が等しく符号が逆になる。NチャネルMOSトランジ
スタ47,48は電流ミラー回路になっているので、両
NチャネルMOSトランジスタ47,48のドレイン電
流は等しくなる。よって、出力端子42に得られる出力
電圧は、正電源34の電圧をVDDとすると、抵抗41の
電圧降下として次の第15式のように表される。
【0047】 VO =VDD−R14D =VDD −R14{kT(R12+R13)/qR1112}ln(nR13/R12) …(15) よって、出力電圧VO は正電源34の電圧VDDを基準と
して、逆方向飽和電流IS11,IS12のばらつきの影響を
受けない、絶対温度Tに比例した電圧となる。ただし、
図1の実施形態と異なり、電流ミラー回路による折り返
しの結果、温度係数は負となる。温度係数の値は、第4
抵抗41の抵抗値R14を変えるだけで容易かつ自由に設
定することができる。
【0048】図3は、本発明の実施の第3形態の電気的
構成を示す。本実施形態は、図1の実施形態のPチャネ
ルMOSトランジスタ36のドレインおよび抵抗41の
接続点と出力端子42との間に、バッファ増幅回路50
が挿入されている。バッファ増幅回路50は、演算増幅
器の非反転入力がPチャネルMOSトランジスタ36の
ドレインおよび抵抗41の接続点に接続され、出力端子
42へは反転入力および出力が接続される。このような
バッファ増幅回路50は、入力インピーダンスが高く出
力インピーダンスが低い。したがって、抵抗41の抵抗
値が低くなくても出力端子42からは低インピーダンス
で出力信号を取り出すことができ、後処理を極めて容易
に行うことができる。
【0049】図4は、本発明の実施の第4形態の電気的
構成を示す。本実施形態では、図1の実施形態のPチャ
ネルMOSトランジスタ36のドレインおよび抵抗41
の接続点と出力端子42とに、比較回路51の非反転入
力と出力とがそれぞれ接続されている。比較回路51の
反転入力は、共通接続されたPNP型バイポーラトラン
ジスタ31,32のベースに接続されている。この電圧
は、負電源33の電圧VSSにPNP型バイポーラトラン
ジスタ43,44のベース・エミッタ間電圧を積み上げ
たものである。一般にバイポーラトランジスタのベース
・エミッタ間電圧は、負の温度係数を有している。第1
1式では、正の温度係数を有して絶対温度Tに比例する
ようにも見えるけれども、逆方向飽和電流IS11,IS12
が温度上昇とともに増加するので、結果的には負の温度
係数となる。抵抗41にPチャネルMOSトランジスタ
36のドレイン電流による電圧降下として得られる比較
回路51の非反転入力電圧は、図1の実施形態について
説明したように、正の温度係数を有する。抵抗41の抵
抗値を、ある温度より低温側で比較回路51の非反転入
力電圧が反転入力電圧よりも低く、ある温度より高温側
で比較回路51の非反転入力電圧が反転入力電圧よりも
高くなるように設定することができる。その温度の前後
で、比較回路51の出力は、ローレベルの論理出力Lと
ハイレベルの論理出力Hとの間で急速に状態遷移する。
この論理出力を利用すれば、温度の上がり過ぎや下がり
過ぎの時に警告を発生するようなシステムを容易に作成
することができる。また、比較回路51の反転入力は温
度変化の少ない基準電圧に接続したり、非反転入力と反
転入力とを入換えた回路も有効に利用することができ
る。これらの場合は、温度変化による論理出力の状態遷
移が緩和され、温度検出の精度を上げることができる。
比較回路51には、さらに正帰還をかけてヒステリシス
特性を持たせることもできる。
【0050】図5、図6、図7および図8は、本発明の
実施の第5、第6、第7および第8形態の電気的構成を
それぞれ示す。各実施形態は、実施の第1、第2、第3
および第4形態の第3抵抗39を、スイッチング素子で
あるPチャネルMOSトランジスタ60のソース・ドレ
イン間が並列に接続される抵抗61と、抵抗62とによ
ってそれぞれ分割した回路である。PチャネルMOSト
ランジスタ60のゲートに接続されるテスト端子63を
正電源34に接続してハイレベルHにすると、ソース・
ドレイン間は遮断して高インピーダンスの状態となり、
第3抵抗39の代わりに抵抗61と抵抗62との直列回
路が挿入される。第13式および第14式のPチャネル
MOSトランジスタ36のドレイン電流ID および第1
実施形態の出力電圧VO は、第3抵抗39の抵抗値R13
を抵抗61の抵抗値R15および抵抗62の抵抗値R16
和で置き換えた次の第16式および第17式で表され
る。
【0051】 ID ={kT(R12+R15+R16)/qR1112} ×ln{n(R15+R16)/R12} …(16) VO =VSS+R14{kT(R12+R15+R16)/qR1112} ×ln{n(R15+R16)/R12} …(17) テスト端子63を負電源33に接続してローレベルLに
すると、PチャネルMOSトランジスタ60のソース・
ドレイン間は導通して低インピーダンスの状態となり、
第16式および第17式におけるR15の抵抗値はほとん
ど0になって、次の第18式および第19式で表され
る。
【0052】 ID ={kT(R12+R16)/qR1112} ×ln(nR16/R12) …(18) VO =VSS+R14{kT(R12+R16)/qR1112} ×ln(nR16/R12) …(19) 図9は、図5に示す本発明の実施の第5形態の出力電圧
O と温度との関係を示す。抵抗61の抵抗値R15を適
宜選択すれば、テスト端子64がローレベルLのときに
ある温度T2になったときに得られる出力電圧VO の値
V2が、テスト端子64をハイレベルHにすることによ
って、T2より低い温度T1で得ることができるように
なる。この動作は、PNP型バイポーラトランジスタ3
1,32のエミッタ電流比を変えることによってベース
・エミッタ間の電圧の温度変化分△VBEを変化させ、P
チャネルMOSトランジスタ61のドレイン電流ID
出力電圧VO を変化させる。PNP型バイポーラトラン
ジスタ31,32や演算増幅回路40が正常に動作して
いないと計算通りの出力電圧VO が得られず、温度検出
回路の試験用テスト回路として非常に有効である。
【0053】また、テスト端子64には、PNP型バイ
ポーラトランジスタ31,32のベース電圧が得られ
る。この電圧を測定することによって、PNP型バイポ
ーラトランジスタ43,44や定電流回路45,46が
正常に動作しているか否かを判断することができる。こ
のテストを組み合わせれば、一層精度の高い温度検出回
路の試験を行うことができる。
【0054】図10は、本発明の実施の第9形態の電気
的構成を示す。本実施形態では第5実施形態に対して、
PチャネルMOSトランジスタ60および抵抗61と、
抵抗62との直列回路の接続状態を入れ換えた状態に対
応する。また、図11および図12は、本発明の実施の
第10形態および第11形態の電気的構成をそれぞれ示
す。第10形態は、第1形態の第1抵抗37を、Pチャ
ネルMOSトランジスタ70および抵抗71と、抵抗7
2との直列回路で入れ換えた状態に対応する。第11形
態は、第1形態の第2抵抗38を、PチャネルMOSト
ランジスタ80および抵抗81と、抵抗82との直列回
路で入れ換えた状態に対応する。第9〜第11形態も、
テスト端子63,73,83に与える論理レベルを切り
換えることによって、温度検出回路としての試験を行う
ことができる。
【0055】本発明の実施の第5〜第11形態では、予
め温度検出回路中にスイッチング素子と抵抗とを用意し
ているけれども、半導体集積回路の外部に、テスト用抵
抗を接続するための端子を設けるようにしてもよい。検
出温度が予め決まっているときは、2点でテストするこ
とができれば充分であり、コストアップを招かずに温度
試験の機能を付加することができる。
【0056】なお、以上説明した各実施形態では、P型
半導体基板を用いるN−ウェルMOS製造プロセスを想
定し、バイポーラトランジスタとしてはコレクタに基板
を利用することができるPNP型を用いて、各トランジ
スタのコレクタは共通接続している。図16に示すよう
に、P型半導体基板と導電型式が異なるN型半導体基板
27を用いる場合は、本実施形態とは導電型が異なるN
PN型バイポーラトランジスタを用いればよい。なお、
MOSトランジスタについても導電型をPチャネルとN
チャネルとの間で交換し、負電源33と正電源34との
役割も交換するようにすれば、各実施形態と同等な回路
が実現可能である。
【0057】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、MOS製
造プロセスで容易に製造することができる第1および第
2バイポーラトランジスタのベース・エミッタ間電圧の
差に基づいて、第1MOSトランジスタのドレイン電流
を流すことができる。第2MOSトランジスタは、第1
MOSトランジスタとともに電流ミラー回路を形成し、
ドレインには第1MOSトランジスタのドレイン電流と
相似な電流が流れる。この電流は、絶対温度に比例し、
その温度係数は各抵抗の抵抗値および各バイポーラトラ
ンジスタのエミッタ面積比の関数となる。半導体集積回
路の製造過程では、抵抗値の比やエミッタ面積比を高精
度で再現することができるので、ドレイン電流の温度係
数のばらつきは小さく抑えることができる。抵抗を挿入
して第2MOSトランジスタのドレイン電流を電圧に変
換すれば、抵抗値に応じて温度係数を変化させることが
できる。
【0058】また本発明によれば、第3バイポーラトラ
ンジスタの導電型は第1および第2バイポーラトランジ
スタと同一であるので、コレクタを半導体基板を利用し
て形成し、MOS製造プロセスで製造することができ
る。第3バイポーラトランジスタのエミッタを定電流回
路を介して他方の電源に接続することによって、エミッ
タに他方の電源の電位よりもベース・エミッタ間電圧だ
け一方の電源の電位に近い基準電圧を得ることができ
る。
【0059】また本発明によれば、各第4バイポーラト
ランジスタは、MOS製造プロセスで製造することがで
きる。第4バイポーラトランジスタの段数を変えること
によって、第1および第2バイポーラトランジスタのベ
ースに与える基準電圧を調整することができる。
【0060】また本発明によれば、第4MOSトランジ
スタのドレイン電流は第3MOSトランジスタのドレイ
ン電流と相似に変化する。第3および第4MOSトラン
ジスタの導電型は第1および第2MOSトランジスタと
は異なるので、第3MOSトランジスタに流れるドレイ
ン電流の方向は第2MOSトランジスタのドレイン電流
の方向とは逆になる。したがって、第4MOSトランジ
スタのドレイン電流は、第1MOSトランジスタのドレ
イン電流を折り返した形となり、温度係数の正と負との
切換えを容易に行うことができる。
【0061】また本発明によれば、第2MOSトランジ
スタのドレイン電流は温度に比例するので、第4抵抗の
抵抗値に応じて温度係数を変化させることができ、バッ
ファ増幅回路を介してインピーダンス変換出力されて出
力されるので、第4抵抗に大きな抵抗値を使用するよう
な場合であっても、負荷の影響を受けずに絶対温度に比
例する電圧を得ることができる。バッファ増幅回路を用
いることによって、半導体集積回路内での温度検出回路
からの出力の利用を極めて容易に行うことができる。
【0062】また本発明によれば、第2MOSトランジ
スタのドレインに得られる絶対温度に比例する電流を、
第4抵抗で電圧に変換し、所定の温度で出力の論理値を
変化させることができる。
【0063】また本発明によれば、実際に温度を変化さ
せないでも、温度変化がある場合と同等の出力が得られ
るので、温度検出回路を含む半導体集積回路の動作状態
を、実際に温度変化がある場合と同等に変化させること
ができる。これによって、温度試験を恒温槽などを使わ
ずに、簡便かつ迅速に行うことができる。
【0064】また本発明によれば、スイッチング素子の
動作によって抵抗値を変化させることができ、異なる温
度での動作状態と同等な出力を得るように、容易に切換
えることができる。
【0065】さらに本発明によれば、抵抗の少なくとも
一部の抵抗値を変化させることによって、実際に温度を
変化させて温度試験を行う場合と同等の出力を温度検出
回路から得ることができるので、恒温槽などで実際に試
験温度を変化させないでも、温度検出回路からの出力を
利用する半導体集積回路を、温度試験と同等の条件で簡
便かつ迅速に試験することができる。
【0066】また本発明によれば、第1抵抗、第2抵抗
または第3抵抗のうちの少なくとも一つの抵抗の抵抗値
を変化させることによって、実際に温度を変化させない
でも、温度変化がある場合と同等の出力が得られる。温
度検出回路を含む半導体集積回路の動作試験を、恒温槽
などを使わずに、簡便かつ迅速に行うことができる。
【0067】また本発明によれば、スイッチングMOS
トランジスタの動作を切換えるによって抵抗値を変化さ
せることができ、異なる温度での動作状態と同等の出力
に、容易に切換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の第1形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図2】本発明の実施の第2形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図3】本発明の実施の第3形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図4】本発明の実施の第4形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図5】本発明の実施の第5形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図6】本発明の実施の第6形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図7】本発明の実施の第7形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図8】本発明の実施の第8形態の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図9】本発明の実施の第5形態の温度特性の切り換え
結果を示すグラフである。
【図10】本発明の実施の第9形態の電気的構成を示す
ブロック図である。
【図11】本発明の実施の第10形態の電気的構成を示
すブロック図である。
【図12】本発明の実施の第11形態の電気的構成を示
すブロック図である。
【図13】第1の先行技術の電気的構成を示すブロック
図である。
【図14】第2の先行技術の電気的構成を示すブロック
図である。
【図15】第3の先行技術の電気的構成を示すブロック
図である。
【図16】図15の先行技術による半導体基板の断面図
である。
【符号の説明】
31,32;43,44 PNP型バイポーラトランジ
スタ 33 負電源 34 正電源 35,36;60,70,80 PチャネルMOSトラ
ンジスタ 37 第1抵抗 38 第2抵抗 39 第3抵抗 40 演算増幅回路 41 第4抵抗 42 出力端子 45,46 定電流回路 47,48 NチャネルMOSトランジスタ 50 バッファ増幅回路 51 比較回路 63,73,83;64 テスト入力端子

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板に集積され、温度に対応する
    出力を導出する温度検出回路であって、 非反転入力および反転入力を備える演算増幅回路と、 半導体基板の導電型式と同一の導電型式のコレクタおよ
    びエミッタ領域を有し、コレクタが一方の電源に接続さ
    れる第1バイポーラトランジスタと、 第1バイポーラトランジスタと同一導電型に形成され、
    コレクタおよびベースが第1バイポーラトランジスタの
    コレクタおよびベースとそれぞれ共通接続され、エミッ
    タが演算増幅回路の反転入力に接続される第2バイポー
    ラトランジスタと、 半導体基板の導電型式と同一の導電型式のチャネルを有
    し、ソースが他方の電源に接続され、ゲートが演算増幅
    回路の出力端子に接続される第1MOSトランジスタ
    と、 第1MOSトランジスタと同一導電型に形成され、ソー
    スおよびゲートが第1MOSトランジスタのドレインお
    よびゲートにそれぞれ共通接続される第2MOSトラン
    ジスタと、 第1および第2バイポーラトランジスタのベースに、一
    方の電源と他方の電源との間の電位を与える基準電圧回
    路と、 第1バイポーラトランジスタのエミッタと演算増幅回路
    の非反転入力との間に接続される第1抵抗と、 第1MOSトランジスタのドレインと第2バイポーラト
    ランジスタのエミッタとの間に接続される第2抵抗と、 第1MOSトランジスタのドレインと演算増幅回路の非
    反転入力との間に接続される第3抵抗とを含むことを特
    徴とする温度検出回路。
  2. 【請求項2】 前記基準電圧回路は、 前記第1バイポーラトランジスタと同一導電型に形成さ
    れ、コレクタおよびベースが前記一方の電源に共通接続
    され、エミッタから第1および第2バイポーラトランジ
    スタのベースに与えるための出力を導出する第3バイポ
    ーラトランジスタと、 第3バイポーラトランジスタのエミッタと前記他方の電
    源との間に接続される第1定電流回路とを含むことを特
    徴とする請求項1記載の温度検出回路。
  3. 【請求項3】 前記第3バイポーラトランジスタのエミ
    ッタと前記第1バイポーラトランジスタのベースとの間
    に、 第1バイポーラトランジスタと同一導電型に形成され、
    コレクタが前記一方の電源に共通接続されるように少な
    くとも1段設けられる第4バイポーラトランジスタであ
    って、 最前段のベースが第3バイポーラトランジスタのエミッ
    タと第1定電流回路との接続点に接続され、 中間段では前段のエミッタと後段のベースとが接続さ
    れ、 最終段のエミッタが第1および第2バイポーラトランジ
    スタのベースに接続される第4バイポーラトランジスタ
    と、 第4バイポーラトランジスタの各段のエミッタにそれぞ
    れ接続される第2定電流回路とを含むことを特徴とする
    請求項2記載の温度検出回路。
  4. 【請求項4】 前記第1MOSトランジスタと異なる導
    電型に形成され、前記第2MOSトランジスタのドレイ
    ンとドレインおよびゲートが接続され、ソースが前記一
    方の電源に接続される第3MOSトランジスタと、 第3MOSトランジスタと同一導電型に形成され、ゲー
    トおよびソースが第3MOSトランジスタのゲートおよ
    びソースとそれぞれ共通接続される第4MOSトランジ
    スタとを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか
    に記載の温度検出回路。
  5. 【請求項5】 前記第2MOSトランジスタのドレイン
    と前記一方の電源との間に接続される第4抵抗と、 第2MOSトランジスタのドレインに入力が接続される
    バッファ増幅回路とを含むことを特徴とする請求項1〜
    3のいずれかに記載の温度検出回路。
  6. 【請求項6】 前記第2MOSトランジスタのドレイン
    と前記一方の電源との間に接続される第4抵抗と、 第2MOSトランジスタのドレインに非反転入力が接続
    され、反転入力が前記第1および第2バイポーラトラン
    ジスタのベースに接続される比較回路とを含むことを特
    徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の温度検出回
    路。
  7. 【請求項7】 前記第1抵抗、第2抵抗および第3抵抗
    のうちの少なくとも1つの抵抗値を電気的に変化させ
    て、抵抗値が変化しない場合に予め定める温度を検出し
    たときと同等の出力が得られるように切換える切換回路
    を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載
    の温度検出回路。
  8. 【請求項8】 前記切換回路は、抵抗値を変化させる抵
    抗の一部を分割し、分割された抵抗と並列にスイッチン
    グ素子を接続して形成されることを特徴とする請求項7
    記載の温度検出回路。
  9. 【請求項9】 半導体基板に集積され、半導体素子およ
    び抵抗を組合わせて、温度に対応する出力を導出する温
    度検出回路の試験方法であって、 予め定める試験温度に対応する出力が得られるように、
    抵抗の少なくとも一部を変化させることを特徴とする温
    度検出回路の試験方法。
  10. 【請求項10】 非反転入力および反転入力を備える演
    算増幅回路と、 半導体基板の導電型式と同一の導電型式のコレクタおよ
    びエミッタ領域を有し、コレクタが一方の電源に接続さ
    れる第1バイポーラトランジスタと、 第1バイポーラトランジスタと同一導電型に形成され、
    コレクタおよびベースが第1バイポーラトランジスタの
    コレクタおよびベースとそれぞれ共通接続され、エミッ
    タが演算増幅回路の反転入力に接続される第2バイポー
    ラトランジスタと、 半導体基板の導電型式と同一の導電型式のチャネルを有
    し、ソースが他方の電源に接続され、ゲートが演算増幅
    回路の出力端子に接続される第1MOSトランジスタ
    と、 第1MOSトランジスタと同一導電型に形成され、ソー
    スおよびゲートが第1MOSトランジスタのドレインお
    よびゲートにそれぞれ共通接続される第2MOSトラン
    ジスタと、 第1および第2バイポーラトランジスタのベースに、一
    方の電源と他方の電源との間の電位を与える基準電圧回
    路と、 第1バイポーラトランジスタのエミッタと演算増幅回路
    の非反転入力との間に接続される第1抵抗と、 第1MOSトランジスタのドレインと第2バイポーラト
    ランジスタのエミッタとの間に接続される第2抵抗と、 第1MOSトランジスタのドレインと演算増幅回路の非
    反転入力との間に接続される第3抵抗とを含む温度検出
    回路に対し、 第1抵抗、第2抵抗または第3抵抗のうちの少なくとも
    一つの抵抗の抵抗値を変化させることを特徴とする請求
    項9記載の温度検出回路の試験方法。
  11. 【請求項11】 前記第1抵抗、第2抵抗または第3抵
    抗のうちの少なくとも一つの抵抗と直列に調整抵抗を挿
    入し、調整抵抗の両端間に第1MOSトランジスタと同
    一導電型に形成されるスイッチングMOSトランジスタ
    のソースおよびドレインを接続しておき、スイッチング
    MOSトランジスタのゲートに信号を与えて温度試験と
    同等な出力を温度検出回路から発生させることを特徴と
    する請求項10記載の温度検出回路の試験方法。
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