JPH09236151A - マウント装置 - Google Patents
マウント装置Info
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- JPH09236151A JPH09236151A JP8067468A JP6746896A JPH09236151A JP H09236151 A JPH09236151 A JP H09236151A JP 8067468 A JP8067468 A JP 8067468A JP 6746896 A JP6746896 A JP 6746896A JP H09236151 A JPH09236151 A JP H09236151A
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- exposure apparatus
- stop
- vibration
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マウント上の露光装置に対する異常な振動に
よる悪影響を防止する。 【解決手段】 露光装置１をマウントしているマウント
２と、前記露光装置の振動を検知する振動検知手段３ａ
と、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出力
する停止制御手段７と、この停止信号に応じて前記マウ
ントの動作を停止させる停止手段６とを具備する。
よる悪影響を防止する。 【解決手段】 露光装置１をマウントしているマウント
２と、前記露光装置の振動を検知する振動検知手段３ａ
と、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出力
する停止制御手段７と、この停止信号に応じて前記マウ
ントの動作を停止させる停止手段６とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マウント装置、特
に半導体リソグラフィに用いられる露光装置のマウント
装置に関する。
に半導体リソグラフィに用いられる露光装置のマウント
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光装置などのマウントとして
は、空圧を利用したいわゆるサーボマウントやサーボマ
ウントに粘性ダンパを付加したもの等がパッシブマウン
トとして知られている。さらに、近年になって、空圧や
油圧、あるいはボイスコイルモータ、圧電素子などの電
気的アクチュエータを用いたアクティブマウントが登場
してきている。
は、空圧を利用したいわゆるサーボマウントやサーボマ
ウントに粘性ダンパを付加したもの等がパッシブマウン
トとして知られている。さらに、近年になって、空圧や
油圧、あるいはボイスコイルモータ、圧電素子などの電
気的アクチュエータを用いたアクティブマウントが登場
してきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなマウントや
マウントに支持されている被支持物が何らかの原因で異
常な振動を起こした場合、マウント上の被支持物が揺れ
て破壊に至ったり、周辺の装置と衝突するという事態を
引き起こすことがある。アクティブマウントにおいては
その制御回路に異常が発生した場合に異常な振動が生じ
る場合がある。また、地震等の外乱による異常は、パッ
シブマウントにおいてもアクティブマウントにおいても
発生しうると考えられる。
マウントに支持されている被支持物が何らかの原因で異
常な振動を起こした場合、マウント上の被支持物が揺れ
て破壊に至ったり、周辺の装置と衝突するという事態を
引き起こすことがある。アクティブマウントにおいては
その制御回路に異常が発生した場合に異常な振動が生じ
る場合がある。また、地震等の外乱による異常は、パッ
シブマウントにおいてもアクティブマウントにおいても
発生しうると考えられる。
【０００４】そこで本発明の目的は、マウント上の露光
装置に対する、異常な振動による悪影響を防止すること
にある。
装置に対する、異常な振動による悪影響を防止すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のマウント装置は、露光装置をマウントしている
マウントと、前記露光装置の振動を検知する振動検知手
段と、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出
力する停止制御手段と、この停止信号に応じて前記マウ
ントの動作を停止させる停止手段とを具備することを特
徴とする。
本発明のマウント装置は、露光装置をマウントしている
マウントと、前記露光装置の振動を検知する振動検知手
段と、この振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出
力する停止制御手段と、この停止信号に応じて前記マウ
ントの動作を停止させる停止手段とを具備することを特
徴とする。
【０００６】前記マウントは、アクティブマウントおよ
び機械式バネ、空気バネ等を使用したパッシブマウント
のいずれも該当する。前記マウントが空圧マウントであ
る場合は、前記停止手段はその空圧回路を遮断すること
によりマウントの動作を停止させることができる。電気
アクチュエータで制御されるマウントの場合は、前記停
止手段はこの電気アクチュエータを制御して停止すれば
よい。
び機械式バネ、空気バネ等を使用したパッシブマウント
のいずれも該当する。前記マウントが空圧マウントであ
る場合は、前記停止手段はその空圧回路を遮断すること
によりマウントの動作を停止させることができる。電気
アクチュエータで制御されるマウントの場合は、前記停
止手段はこの電気アクチュエータを制御して停止すれば
よい。
【０００７】前記振動検知手段としては例えば、加速度
センサを使用することができ、この加速度センサを露光
装置、マウント、床等に設置することができる。また、
変位センサを使用する場合は、マウントと露光装置との
間の変位、露光装置と床あるいは床に固定された設置物
との間の変位、露光装置とその周辺装置との間の変位等
を検知するようにすればよい。
センサを使用することができ、この加速度センサを露光
装置、マウント、床等に設置することができる。また、
変位センサを使用する場合は、マウントと露光装置との
間の変位、露光装置と床あるいは床に固定された設置物
との間の変位、露光装置とその周辺装置との間の変位等
を検知するようにすればよい。
【０００８】さらに、前記マウントの動作の停止と同時
に、露光装置とマウントとを固定する手段を有するよう
にしてもよい。
に、露光装置とマウントとを固定する手段を有するよう
にしてもよい。
【０００９】
［実施形態１］図１は本発明の第１の実施形態に係る空
圧アクティブマウント装置を備えた露光装置を示すブロ
ック図である。同図において、１は露光装置本体、２は
露光装置本体１を支持し、空圧によって除振および制振
機能を提供する空圧アクティブマウント、３ａは露光装
置本体１上に設置され、露光装置本体１の加速度を検出
するための加速度センサ、７は加速度センサ３ａの出力
に基づき停止信号を出力する停止制御部、６は停止制御
部７が出力する停止信号に応じて空圧アクティブマウン
ト２の空圧回路を遮断するための空圧遮断部である。
圧アクティブマウント装置を備えた露光装置を示すブロ
ック図である。同図において、１は露光装置本体、２は
露光装置本体１を支持し、空圧によって除振および制振
機能を提供する空圧アクティブマウント、３ａは露光装
置本体１上に設置され、露光装置本体１の加速度を検出
するための加速度センサ、７は加速度センサ３ａの出力
に基づき停止信号を出力する停止制御部、６は停止制御
部７が出力する停止信号に応じて空圧アクティブマウン
ト２の空圧回路を遮断するための空圧遮断部である。
【００１０】図２は、この空圧遮断部の詳細図である。
同図において、１５は空圧アクティブマウント２に空圧
を提供するための吸排気ポート、１６はアクティブマウ
ント２に高圧の空気を供給するための１次吸気路、１７
はアクティブマウント２からの排気を吸排気ポート１５
へ排気するための１次排気路、１８はマニホールド、１
９は２つのソレノイド１９ａ，１９ｂを有するソレノイ
ドバルブ、２０はソレノイド２０ａを有するソレノイド
バルブ、２１はアクティブマウント２へ接続された２次
吸気路、２２はアクティブマウント２からの排気側に接
続された２次排気路、２３は停止制御部７が出力する停
止信号２４を受けてソレノイドバルブ１９のソレノイド
１９ａ，１９ｂおよびソレノイドバルブ２０のソレノイ
ド２０ａを駆動するソレノイドバルブドライバ、２５は
管路を排気路１７にバイパスするための環流路、２６、
２７はそれぞれソレノイドバルブ１９とソレノイドバル
ブ２０を中継する排気中継路と吸気中継路である。
同図において、１５は空圧アクティブマウント２に空圧
を提供するための吸排気ポート、１６はアクティブマウ
ント２に高圧の空気を供給するための１次吸気路、１７
はアクティブマウント２からの排気を吸排気ポート１５
へ排気するための１次排気路、１８はマニホールド、１
９は２つのソレノイド１９ａ，１９ｂを有するソレノイ
ドバルブ、２０はソレノイド２０ａを有するソレノイド
バルブ、２１はアクティブマウント２へ接続された２次
吸気路、２２はアクティブマウント２からの排気側に接
続された２次排気路、２３は停止制御部７が出力する停
止信号２４を受けてソレノイドバルブ１９のソレノイド
１９ａ，１９ｂおよびソレノイドバルブ２０のソレノイ
ド２０ａを駆動するソレノイドバルブドライバ、２５は
管路を排気路１７にバイパスするための環流路、２６、
２７はそれぞれソレノイドバルブ１９とソレノイドバル
ブ２０を中継する排気中継路と吸気中継路である。
【００１１】上記構成で、露光装置本体１の振動は加速
度センサ３ａにより検知され、その出力が停止制御部７
に入力されている。通常動作においては、ソレノイドバ
ルブ２０のソレノイド２０ａはアクティブであって管路
はオープンであり、かつソレノイドバルブ１９はソレノ
イド１９ｂ側がアクティブであり、１次吸気路１６は２
次吸気路２１と、１次排気路１７は２次排気路２２と、
それぞれ管路を形成している。なお、１次排気路は大気
開放である。ここで、露光装置自身の駆動系の異常によ
る過大な振動や、地震などによる過大な床振動によって
露光装置本体１が異常に振動するなどして加速度センサ
３ａからの出力が一定値を越えたとき、停止制御部７は
空圧遮断部６に停止信号２４を出力する。この停止信号
２４を受け取ると、ソレノイドドライバ２３はソレノイ
ド２０ａをインアクティブにして管路をクローズする。
この時点でアクティブマウント２に対する空気の流入お
よび流出が途絶えて、アクティブマウント２の動作は停
止する。さらに、本実施形態では、ソレノイドバルブ２
０による前記管路のクローズに加え、ソレノイドバルブ
２０のリークを防止するために、ソレノイド１９ｂをイ
ンアクティブにし、また、ソレノイド１９ａをアクティ
ブにして、吸気中継路２７と環流路２５、および排気中
継路２６と１次吸気路１６とで、それぞれ管路を形成さ
せ、ソレノイドバルブ２０の各ポートの流れ方向に対し
て逆向きの圧力がかかるようにしている。
度センサ３ａにより検知され、その出力が停止制御部７
に入力されている。通常動作においては、ソレノイドバ
ルブ２０のソレノイド２０ａはアクティブであって管路
はオープンであり、かつソレノイドバルブ１９はソレノ
イド１９ｂ側がアクティブであり、１次吸気路１６は２
次吸気路２１と、１次排気路１７は２次排気路２２と、
それぞれ管路を形成している。なお、１次排気路は大気
開放である。ここで、露光装置自身の駆動系の異常によ
る過大な振動や、地震などによる過大な床振動によって
露光装置本体１が異常に振動するなどして加速度センサ
３ａからの出力が一定値を越えたとき、停止制御部７は
空圧遮断部６に停止信号２４を出力する。この停止信号
２４を受け取ると、ソレノイドドライバ２３はソレノイ
ド２０ａをインアクティブにして管路をクローズする。
この時点でアクティブマウント２に対する空気の流入お
よび流出が途絶えて、アクティブマウント２の動作は停
止する。さらに、本実施形態では、ソレノイドバルブ２
０による前記管路のクローズに加え、ソレノイドバルブ
２０のリークを防止するために、ソレノイド１９ｂをイ
ンアクティブにし、また、ソレノイド１９ａをアクティ
ブにして、吸気中継路２７と環流路２５、および排気中
継路２６と１次吸気路１６とで、それぞれ管路を形成さ
せ、ソレノイドバルブ２０の各ポートの流れ方向に対し
て逆向きの圧力がかかるようにしている。
【００１２】［実施形態２］図３は本発明の第２の実施
形態を示す。各部の構成および動作は第１の実施形態と
同様であるが、加速度センサ３ｂはアクティブマウント
２の上に載置されている。この場合は、主に床振動や露
光装置本体１の動作反力による振動を検知して、露光装
置の動作を停止する。
形態を示す。各部の構成および動作は第１の実施形態と
同様であるが、加速度センサ３ｂはアクティブマウント
２の上に載置されている。この場合は、主に床振動や露
光装置本体１の動作反力による振動を検知して、露光装
置の動作を停止する。
【００１３】［実施形態３］図４は本発明の第３の実施
形態を示す。各部の構成および動作は第１の実施形態と
同様であるが、加速度センサ３ｃは床に設置されてい
る。この場合は、主に地震などによる異常な床振動を検
知して、露光装置の動作を停止する。
形態を示す。各部の構成および動作は第１の実施形態と
同様であるが、加速度センサ３ｃは床に設置されてい
る。この場合は、主に地震などによる異常な床振動を検
知して、露光装置の動作を停止する。
【００１４】［実施形態４］図５は本発明の第４の実施
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２は空
圧アクティブマウント、５ａは空圧アクティブマウント
２に固定されたセンサターゲット、４ａは露光装置本体
１上に設置され、センサターゲット５ａに対する変位を
計測するための変位センサのセンタヘッド、７はセンサ
ヘッド４ａの出力に基づいて停止信号を出力する停止制
御部、６は停止制御部７が出力する停止信号に応じて空
圧アクティブマウント２の空圧回路を遮断するための空
圧遮断部である。
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２は空
圧アクティブマウント、５ａは空圧アクティブマウント
２に固定されたセンサターゲット、４ａは露光装置本体
１上に設置され、センサターゲット５ａに対する変位を
計測するための変位センサのセンタヘッド、７はセンサ
ヘッド４ａの出力に基づいて停止信号を出力する停止制
御部、６は停止制御部７が出力する停止信号に応じて空
圧アクティブマウント２の空圧回路を遮断するための空
圧遮断部である。
【００１５】上記構成において、センサヘッド４ａによ
り、センサヘッド４ａとセンサターゲット５ｂ間の変位
が検出され、その出力が停止制御部７に入力されてい
る。ここで、地震などによる過大な床振動によって露光
装置本体１が異常に振動して前記変位が大きくなると、
すなわち変位センサのセンサヘッド４ａからの出力が一
定値を越えると、停止制御部７は空圧遮断部６に対し
て、停止信号を出力する。この停止信号を受け取ると、
空圧遮断部６は、第１の実施形態と同様な動作で空圧ア
クティブマウント２の動作を停止させる。
り、センサヘッド４ａとセンサターゲット５ｂ間の変位
が検出され、その出力が停止制御部７に入力されてい
る。ここで、地震などによる過大な床振動によって露光
装置本体１が異常に振動して前記変位が大きくなると、
すなわち変位センサのセンサヘッド４ａからの出力が一
定値を越えると、停止制御部７は空圧遮断部６に対し
て、停止信号を出力する。この停止信号を受け取ると、
空圧遮断部６は、第１の実施形態と同様な動作で空圧ア
クティブマウント２の動作を停止させる。
【００１６】［実施形態５］図６は本発明の第５の実施
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２は空
圧アクティブマウント、５ｂはセンサターゲット、４ｂ
は露光装置本体１上に設置され、センサターゲット５ｂ
に対する変位を計測するためのセンサヘッド、９は床に
設置されセンサターゲット５ｂを支持する支持台、７は
変位センサのセンサヘッド４ｂの出力に基づいて停止信
号を出力する停止制御部、６は停止制御部７が出力する
停止信号に応じて空圧アクティブマウント２の空圧回路
を遮断するための空圧遮断部である。
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２は空
圧アクティブマウント、５ｂはセンサターゲット、４ｂ
は露光装置本体１上に設置され、センサターゲット５ｂ
に対する変位を計測するためのセンサヘッド、９は床に
設置されセンサターゲット５ｂを支持する支持台、７は
変位センサのセンサヘッド４ｂの出力に基づいて停止信
号を出力する停止制御部、６は停止制御部７が出力する
停止信号に応じて空圧アクティブマウント２の空圧回路
を遮断するための空圧遮断部である。
【００１７】この構成における各部の動作は第４の実施
形態と同様であるが、本実施形態では、センサヘッド４
ｂとセンサターゲット５ｂ間の変位が検出され、その出
力が停止制御部６に入力されている。この場合、床と露
光装置本体１との相対振動に着目しており、特に地震な
どによる過大な床振動によって露光装置本体１が異常に
振動して床と露光装置本体１間の変位が大きくなった場
合に有効である。
形態と同様であるが、本実施形態では、センサヘッド４
ｂとセンサターゲット５ｂ間の変位が検出され、その出
力が停止制御部６に入力されている。この場合、床と露
光装置本体１との相対振動に着目しており、特に地震な
どによる過大な床振動によって露光装置本体１が異常に
振動して床と露光装置本体１間の変位が大きくなった場
合に有効である。
【００１８】［実施形態６］図７は本発明の第６の実施
形態を示す。各部の構成および動作は第５の実施形態と
同様であるが、変位センサは、露光装置本体１に載置さ
れたセンサヘッド４ｃにより、周辺装置８上に載置され
たセンサターゲット５ｃとの間の変位を計測するように
なっている。この場合、露光装置本体１の異常振動や地
震などによって装置各部と周辺装置８間に発生する変位
を検知し、空圧アクティブマウント２の動作を停止す
る。なお、周辺装置としては、レチクル交換装置、ウエ
ハ交換装置、コーター、デベロッパなどが挙げられる。
形態を示す。各部の構成および動作は第５の実施形態と
同様であるが、変位センサは、露光装置本体１に載置さ
れたセンサヘッド４ｃにより、周辺装置８上に載置され
たセンサターゲット５ｃとの間の変位を計測するように
なっている。この場合、露光装置本体１の異常振動や地
震などによって装置各部と周辺装置８間に発生する変位
を検知し、空圧アクティブマウント２の動作を停止す
る。なお、周辺装置としては、レチクル交換装置、ウエ
ハ交換装置、コーター、デベロッパなどが挙げられる。
【００１９】［実施形態７］図８は本発明の第７の実施
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２ｂは
露光装置本体１を支持し空圧によって除振機能を提供す
る空圧パッシブマウント、３ｄは露光装置本体１上に設
置され、露光装置本体１の加速度を検出するための加速
度センサ、７は加速度センサ３ｄの出力に基づいて停止
信号２４を出力する停止制御部、１０は露光装置本体１
に固定された本体アーム、１１は空圧パッシブマウント
２ｂに固定されたマウントアーム、６ｂは停止信号２４
に応じて本体アーム１０とマウントアーム１１をロック
するロック装置である。
形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２ｂは
露光装置本体１を支持し空圧によって除振機能を提供す
る空圧パッシブマウント、３ｄは露光装置本体１上に設
置され、露光装置本体１の加速度を検出するための加速
度センサ、７は加速度センサ３ｄの出力に基づいて停止
信号２４を出力する停止制御部、１０は露光装置本体１
に固定された本体アーム、１１は空圧パッシブマウント
２ｂに固定されたマウントアーム、６ｂは停止信号２４
に応じて本体アーム１０とマウントアーム１１をロック
するロック装置である。
【００２０】図９はロック装置６ｂの詳細図である。同
図において２８および２９は、それぞれ本体アーム１０
を構成し、吸着摩擦によって露光装置本体１を固定させ
るための水平吸着板および垂直吸着板、３０および３１
はそれぞれマウントアーム１１に固定された水平吸着電
磁石および垂直吸着電磁石、３２は停止制御部７の停止
信号２４に応じて水平吸着電磁石３０および垂直吸着電
磁石３１のコイルを駆動する電磁石ドライバである。
図において２８および２９は、それぞれ本体アーム１０
を構成し、吸着摩擦によって露光装置本体１を固定させ
るための水平吸着板および垂直吸着板、３０および３１
はそれぞれマウントアーム１１に固定された水平吸着電
磁石および垂直吸着電磁石、３２は停止制御部７の停止
信号２４に応じて水平吸着電磁石３０および垂直吸着電
磁石３１のコイルを駆動する電磁石ドライバである。
【００２１】記構成において、露光装置本体１の振動は
加速度センサ３ｄによって検知され、その出力は停止制
御部７に入力されている。ここで、露光装置自身の駆動
系の異常による過大な振動や、地震などによる過大な床
振動によって露光装置本体１が異常に振動するなどして
加速度センサ３ｄからの出力が一定値を越えたとき、停
止制御部７はロック装置６ｂに停止信号２４を出力す
る。この停止信号２４を受け取ると、電磁石ドライバ３
２は水平吸着電磁石３０および垂直吸着電磁石３１のコ
イルを駆動して水平吸着板２８および垂直吸着板２９を
吸着する。これによって、露光装置本体１は空圧パッシ
ブマウント２ｂに固定され、空圧による揺動が除去さ
れ、床と直結固定された状態になる。
加速度センサ３ｄによって検知され、その出力は停止制
御部７に入力されている。ここで、露光装置自身の駆動
系の異常による過大な振動や、地震などによる過大な床
振動によって露光装置本体１が異常に振動するなどして
加速度センサ３ｄからの出力が一定値を越えたとき、停
止制御部７はロック装置６ｂに停止信号２４を出力す
る。この停止信号２４を受け取ると、電磁石ドライバ３
２は水平吸着電磁石３０および垂直吸着電磁石３１のコ
イルを駆動して水平吸着板２８および垂直吸着板２９を
吸着する。これによって、露光装置本体１は空圧パッシ
ブマウント２ｂに固定され、空圧による揺動が除去さ
れ、床と直結固定された状態になる。
【００２２】なお、本実施形態においては加速度センサ
３ｄが露光装置本体１に載置されているが、床あるいは
マウントに載置してもよい。また加速度センサ３ｄの代
わりに、第４、第５、第６の実施形態のごとく変位セン
サを用いても同様な結果が得られる。
３ｄが露光装置本体１に載置されているが、床あるいは
マウントに載置してもよい。また加速度センサ３ｄの代
わりに、第４、第５、第６の実施形態のごとく変位セン
サを用いても同様な結果が得られる。
【００２３】［実施形態８］図１０は本発明の第８の実
施形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２ｃ
は露光装置本体１を支持し、電磁アクチュエータ３３ａ
および３３ｂによって除振および制振機能を提供する電
磁アクティブマウント、３ｅは露光装置本体１上に設置
され、露光装置本体１の加速度を検出するための加速度
センサ、７は加速度センサ３ｅの出力に基づいて停止信
号２４および２４ｂを出力する停止制御部、６ｂは停止
制御部７が出力する停止出力２４に応じて、露光装置本
体１に固定された本体アーム１０と電磁アクティブマウ
ント２に固定されたマウントアーム１１をロックするロ
ック装置、６ｃは電磁アクチュエータ３３ａおよび３３
ｂを制御する電磁アクチュエータ制御部である。電磁ア
クチュエータ制御部６ｃは電磁アクティブマウント２ｃ
の制御を行なうとともに、停止制御部７から出力される
停止信号２４ｂに応じて電磁アクチュエータ３３ａ、３
３ｂの停止制御を行なう。ロック装置６ｂは図９のもの
と同様のものである。
施形態を示す。同図において、１は露光装置本体、２ｃ
は露光装置本体１を支持し、電磁アクチュエータ３３ａ
および３３ｂによって除振および制振機能を提供する電
磁アクティブマウント、３ｅは露光装置本体１上に設置
され、露光装置本体１の加速度を検出するための加速度
センサ、７は加速度センサ３ｅの出力に基づいて停止信
号２４および２４ｂを出力する停止制御部、６ｂは停止
制御部７が出力する停止出力２４に応じて、露光装置本
体１に固定された本体アーム１０と電磁アクティブマウ
ント２に固定されたマウントアーム１１をロックするロ
ック装置、６ｃは電磁アクチュエータ３３ａおよび３３
ｂを制御する電磁アクチュエータ制御部である。電磁ア
クチュエータ制御部６ｃは電磁アクティブマウント２ｃ
の制御を行なうとともに、停止制御部７から出力される
停止信号２４ｂに応じて電磁アクチュエータ３３ａ、３
３ｂの停止制御を行なう。ロック装置６ｂは図９のもの
と同様のものである。
【００２４】上記構成において、露光装置本体１の振動
は加速度センサ３ｅにより検知されており、その検知出
力が停止制御部７に入力されている。ここで、露光装置
自身の駆動系の異常による過大な振動や、地震などによ
る過大な床振動によって露光装置本体１が異常に振動す
るなどして加速度センサ３ｅからの出力が一定値を越え
たとき、停止制御部７はロック装置６ｂに停止信号２４
を、電磁アクチュエータ制御部６ｃに停止信号２４ｂを
出力する。停止信号２４を受け取ると、ロック装置６ｂ
は第７の実施形態と同様の動作を行なう。一方、停止信
号２４ｂを受け取った電磁アクチュエータ制御部６ｃ
は、電磁アクチュエータ３３ａおよび３３ｂの駆動を停
止して電磁アクティブマウント２ｃを自由状態にする。
このとき、ロック装置６ｂが稼働しているため、露光装
置本体１は電磁アクティブマウント２ｃに固定され、結
果として床と直結固定された状態になる。
は加速度センサ３ｅにより検知されており、その検知出
力が停止制御部７に入力されている。ここで、露光装置
自身の駆動系の異常による過大な振動や、地震などによ
る過大な床振動によって露光装置本体１が異常に振動す
るなどして加速度センサ３ｅからの出力が一定値を越え
たとき、停止制御部７はロック装置６ｂに停止信号２４
を、電磁アクチュエータ制御部６ｃに停止信号２４ｂを
出力する。停止信号２４を受け取ると、ロック装置６ｂ
は第７の実施形態と同様の動作を行なう。一方、停止信
号２４ｂを受け取った電磁アクチュエータ制御部６ｃ
は、電磁アクチュエータ３３ａおよび３３ｂの駆動を停
止して電磁アクティブマウント２ｃを自由状態にする。
このとき、ロック装置６ｂが稼働しているため、露光装
置本体１は電磁アクティブマウント２ｃに固定され、結
果として床と直結固定された状態になる。
【００２５】なお、本実施形態においては加速度センサ
３ｅが露光装置本体１に載置されているが、床あるいは
マウントに載置してもよいこと、および、加速度センサ
３ｅの代わりに、第４、第５、第６の実施形態のごとく
変位センサを用いてもよいことは第７の実施形態の場合
と同様に明白である。
３ｅが露光装置本体１に載置されているが、床あるいは
マウントに載置してもよいこと、および、加速度センサ
３ｅの代わりに、第４、第５、第６の実施形態のごとく
変位センサを用いてもよいことは第７の実施形態の場合
と同様に明白である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マウントに支持されている露光装置が何らかの原因によ
って異常な振動、例えば地震などの異常な床振動、アク
ティブマウントにおけるその制御回路の異常による装置
自身の異常振動等が発生した場合でも、マウント上の露
光装置が揺れて破壊に至ったり、周辺の装置と衝突する
という事態を防止することができる。
マウントに支持されている露光装置が何らかの原因によ
って異常な振動、例えば地震などの異常な床振動、アク
ティブマウントにおけるその制御回路の異常による装置
自身の異常振動等が発生した場合でも、マウント上の露
光装置が揺れて破壊に至ったり、周辺の装置と衝突する
という事態を防止することができる。
【図１】 本発明の第１の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図２】 図１の装置における空圧遮断部を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】 本発明の第２の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図４】 本発明の第３の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図５】 本発明の第４の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図６】 本発明の第５の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図７】 本発明の第６の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図８】 本発明の第７の実施形態に係るマウント装置
を備えた露光装置を示すブロック図である。
を備えた露光装置を示すブロック図である。
【図９】 図８の装置におけるロック装置を示す斜視図
である。
である。
【図１０】 本発明の第８の実施形態に係るマウント装
置を備えた露光装置を示すブロック図である。
置を備えた露光装置を示すブロック図である。
１：露光装置本体、２：マウント、３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄ，３ｅ：加速度センサ、４ａ，４ｂ，４ｃ：変位セ
ンサのセンサヘッド、５ａ，５ｂ，５ｃ：センサターゲ
ット、６：停止制御部、７：本体制御部、８：周辺装
置、９：支持台。
３ｄ，３ｅ：加速度センサ、４ａ，４ｂ，４ｃ：変位セ
ンサのセンサヘッド、５ａ，５ｂ，５ｃ：センサターゲ
ット、６：停止制御部、７：本体制御部、８：周辺装
置、９：支持台。
Claims (14)
- 【請求項１】 露光装置をマウントしているマウント
と、前記露光装置の振動を検知する振動検知手段と、こ
の振動検知手段の出力に基づいて停止信号を出力する停
止制御手段と、この停止信号に応じて前記マウントの動
作を停止させる停止手段とを具備することを特徴とする
マウント装置。 - 【請求項２】 前記マウントはアクティブマウントであ
ることを特徴とする請求項１記載のマウント装置。 - 【請求項３】 前記マウントは機械式バネ、空気バネ等
を使用したパッシブマウントであることを特徴とする請
求項１記載のマウント装置。 - 【請求項４】 前記マウントは空圧マウントであり、前
記停止手段はその空圧回路を遮断するものであることを
特徴とする請求項２記載のマウント装置。 - 【請求項５】 前記マウントはモータ等を用いた電気ア
クチュエータで制御されるマウントであり、前記停止手
段はこの電気アクチュエータを制御して停止するもので
あることを特徴とする請求項２記載のマウント装置。 - 【請求項６】 前記振動検知手段は加速度センサである
ことを特徴とする請求項１〜５記載のマウント装置。 - 【請求項７】 前記加速度センサは前記露光装置に載置
されていることを特徴とする請求項６記載のマウント装
置。 - 【請求項８】 前記加速度センサは前記マウントに載置
されていることを特徴とする請求項６記載のマウント装
置。 - 【請求項９】 前記加速度センサは床に設置されている
ことを特徴とする請求項６記載のマウント装置。 - 【請求項１０】 前記振動検知手段は変位センサである
ことを特徴とする請求項１〜５記載のマウント装置。 - 【請求項１１】 前記変位センサは前記マウントと前記
露光装置との間の変位を検知するものであることを特徴
とする請求項１０記載のマウント装置。 - 【請求項１２】 前記変位センサは前記露光装置と床あ
るいは床に固定された設置物との間の変位を検知するも
のであることを特徴とする請求項１０記載のマウント装
置。 - 【請求項１３】 前記変位センサは前記露光装置とその
周辺装置との間の変位を検知するものであることを特徴
とする請求項１０記載のマウント装置。 - 【請求項１４】 前記マウントの動作の停止と同時に、
前記露光装置とマウントとを固定する手段を有すること
を特徴とする請求項１〜１３記載のマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067468A JPH09236151A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | マウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067468A JPH09236151A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | マウント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236151A true JPH09236151A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=13345827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8067468A Pending JPH09236151A (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | マウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09236151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005069355A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP8067468A patent/JPH09236151A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005069355A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
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