JPH09235684A - エッチング廃液の再生処理方法 - Google Patents
エッチング廃液の再生処理方法Info
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- JPH09235684A JPH09235684A JP1542596A JP1542596A JPH09235684A JP H09235684 A JPH09235684 A JP H09235684A JP 1542596 A JP1542596 A JP 1542596A JP 1542596 A JP1542596 A JP 1542596A JP H09235684 A JPH09235684 A JP H09235684A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング廃液再生処理を化学反応を伴わな
い簡易な物理的な方法で処理して建設費及び運転費を低
減させると共に、操業の容易化を図る。 【解決手段】 エッチング廃液に塩素ガスを吹込んで、
該廃液中の塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せしめた後、
加熱、濃縮して、１０〜４０℃の温度に冷却して塩化鉄
及び塩化ニッケルを２．０〜３．５水塩の結晶として分
離し、ニッケルを結晶中に濃縮してニッケル含有量の少
ない母液を得る方法と、前記廃液をそのまま、または水
もしくは塩酸を加え、又は適量の水を除去した後、０〜
１０℃に冷却して塩化第二鉄及び塩化ニッケルを６水塩
の結晶として分離し、ニッケル含有量の少ない結晶を得
る方法。
い簡易な物理的な方法で処理して建設費及び運転費を低
減させると共に、操業の容易化を図る。 【解決手段】 エッチング廃液に塩素ガスを吹込んで、
該廃液中の塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せしめた後、
加熱、濃縮して、１０〜４０℃の温度に冷却して塩化鉄
及び塩化ニッケルを２．０〜３．５水塩の結晶として分
離し、ニッケルを結晶中に濃縮してニッケル含有量の少
ない母液を得る方法と、前記廃液をそのまま、または水
もしくは塩酸を加え、又は適量の水を除去した後、０〜
１０℃に冷却して塩化第二鉄及び塩化ニッケルを６水塩
の結晶として分離し、ニッケル含有量の少ない結晶を得
る方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は塩化第二鉄溶液を用
いるニッケルまたはニッケルを含む合金のエッチング工
程から発生する廃液を再生処理する方法に関する。
いるニッケルまたはニッケルを含む合金のエッチング工
程から発生する廃液を再生処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】陰極線管（ＣＲＴ）に使用されるＮｉ−
Ｆｅ製シャドーマスク、半導体用リードフレーム等を塩
化第二鉄溶液によりエッチングした後の溶液には塩化ニ
ッケルが溶解蓄積してエッチング能力が減退する。従っ
て、従来は、エッチング液中にニッケルが２〜６重量％
程度溶解蓄積した段階で廃棄または再生処理が一般に行
われている。この再生法の従来技術として、電解法（例
えば特開平４−２７３００号公報参照）、キレート樹脂
による吸着、分離法（例えば特開平２−２７０９７３号
公報参照）、該廃液に金属鉄、鉄粉を添加する方法（例
えば特開平１−１６７２３５号公報参照）、或は該廃液
に塩酸を添加してニッケルを析出させる方法（例えば特
公昭６３−１００９７号及び特開昭６２−２２２０８７
号公報参照）等が知られている。
Ｆｅ製シャドーマスク、半導体用リードフレーム等を塩
化第二鉄溶液によりエッチングした後の溶液には塩化ニ
ッケルが溶解蓄積してエッチング能力が減退する。従っ
て、従来は、エッチング液中にニッケルが２〜６重量％
程度溶解蓄積した段階で廃棄または再生処理が一般に行
われている。この再生法の従来技術として、電解法（例
えば特開平４−２７３００号公報参照）、キレート樹脂
による吸着、分離法（例えば特開平２−２７０９７３号
公報参照）、該廃液に金属鉄、鉄粉を添加する方法（例
えば特開平１−１６７２３５号公報参照）、或は該廃液
に塩酸を添加してニッケルを析出させる方法（例えば特
公昭６３−１００９７号及び特開昭６２−２２２０８７
号公報参照）等が知られている。
【０００３】前記エッチング廃液は、鉄及びニッケルを
主成分として含み、その他にエッチング対象となる金属
板から溶出する各種金属を含有し、また、該廃液は極め
て腐食性を有する。従って、該廃液からニッケルを主と
する望まない金属を分離する方法は技術的、コスト的に
困難な問題を包含している。
主成分として含み、その他にエッチング対象となる金属
板から溶出する各種金属を含有し、また、該廃液は極め
て腐食性を有する。従って、該廃液からニッケルを主と
する望まない金属を分離する方法は技術的、コスト的に
困難な問題を包含している。
【０００４】これらの問題として、前記の電解法には、
前記エッチング廃液中に溶解する各種の金属が夫々異な
る電極電位を有し、それらが相互に干渉、競合するため
に、除去すべき金属を効率的に陰極に析出させることが
難しく、また、装置の大型化が免かれないという問題が
ある。
前記エッチング廃液中に溶解する各種の金属が夫々異な
る電極電位を有し、それらが相互に干渉、競合するため
に、除去すべき金属を効率的に陰極に析出させることが
難しく、また、装置の大型化が免かれないという問題が
ある。
【０００５】また、キレート樹脂による吸着、分離法に
は、該廃液処理に水での希釈とこの濃縮工程を要し、装
置の大型化と使用エネルギーの増大を免かれないという
問題がある。
は、該廃液処理に水での希釈とこの濃縮工程を要し、装
置の大型化と使用エネルギーの増大を免かれないという
問題がある。
【０００６】更に、金属鉄及び金属粉を用いる方法に
は、該廃液処理に固体、粉体を扱う工程が導入されるこ
とになり、装置的、操業的に複雑となるという問題があ
る。
は、該廃液処理に固体、粉体を扱う工程が導入されるこ
とになり、装置的、操業的に複雑となるという問題があ
る。
【０００７】更にまた、該廃液に塩酸を添加する方法に
は、ニッケルの除去率が高いという利点は有るが、添加
した塩酸の処理のため装置及び運転操作は複雑となり、
且つコスト高となるという問題がある。
は、ニッケルの除去率が高いという利点は有るが、添加
した塩酸の処理のため装置及び運転操作は複雑となり、
且つコスト高となるという問題がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は前記
したエッチング廃液の従来の再生処理方法の問題点を解
決して、工程及び装置の単純化を図り、操業が容易で且
つエネルギーコストの低廉なエッチング廃液の再生処理
方法を提供することを目的とする。
したエッチング廃液の従来の再生処理方法の問題点を解
決して、工程及び装置の単純化を図り、操業が容易で且
つエネルギーコストの低廉なエッチング廃液の再生処理
方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に従えば、塩化第
二鉄を主成分とし、更に塩化第一鉄及び塩化ニッケルを
含有するエッチング廃液に塩素を吹込んで、該廃液中の
塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せしめた後、又は塩素を
吹込むことなく、該廃液を加熱濃縮し、次いで１０〜４
０℃の温度範囲に冷却して塩化第二鉄と微量の塩化第一
鉄及び塩化ニッケルの夫々を２．０〜３．５水塩として
晶析させることにより、該廃液中の塩化ニッケルを結晶
中に濃縮して該結晶を系外に除去すると共に、塩化ニッ
ケルの含有量の減少した母液をエッチング工程に戻して
循環使用することを特徴とするエッチング廃液の再生処
理方法が提供される。
二鉄を主成分とし、更に塩化第一鉄及び塩化ニッケルを
含有するエッチング廃液に塩素を吹込んで、該廃液中の
塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せしめた後、又は塩素を
吹込むことなく、該廃液を加熱濃縮し、次いで１０〜４
０℃の温度範囲に冷却して塩化第二鉄と微量の塩化第一
鉄及び塩化ニッケルの夫々を２．０〜３．５水塩として
晶析させることにより、該廃液中の塩化ニッケルを結晶
中に濃縮して該結晶を系外に除去すると共に、塩化ニッ
ケルの含有量の減少した母液をエッチング工程に戻して
循環使用することを特徴とするエッチング廃液の再生処
理方法が提供される。
【００１０】本発明に従えば、また塩化第二鉄を主成分
とし、更に塩化第一鉄及び塩化ニッケルを含有するエッ
チング廃液に塩素を吹込み、該廃液中の塩化第一鉄を塩
化第二鉄に酸化せしめた後、又は塩素を吹込むことな
く、該廃液をそのまま、または水もしくは塩酸を添加
し、又は適量の水を除去した後、０〜１０℃の温度範囲
に冷却して塩化第二鉄、塩化第一鉄及び塩化ニッケルの
夫々を６水塩として晶析させることにより、塩化ニッケ
ルを母液中に濃縮して系外に除去すると共に、塩化ニッ
ケルの含有量の減少した結晶を水に溶解し、エッチング
工程に戻して循環使用することを特徴とするエッチング
廃液の再生処理方法が提供される。
とし、更に塩化第一鉄及び塩化ニッケルを含有するエッ
チング廃液に塩素を吹込み、該廃液中の塩化第一鉄を塩
化第二鉄に酸化せしめた後、又は塩素を吹込むことな
く、該廃液をそのまま、または水もしくは塩酸を添加
し、又は適量の水を除去した後、０〜１０℃の温度範囲
に冷却して塩化第二鉄、塩化第一鉄及び塩化ニッケルの
夫々を６水塩として晶析させることにより、塩化ニッケ
ルを母液中に濃縮して系外に除去すると共に、塩化ニッ
ケルの含有量の減少した結晶を水に溶解し、エッチング
工程に戻して循環使用することを特徴とするエッチング
廃液の再生処理方法が提供される。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明者等は塩化第二鉄、塩化第
一鉄及び塩化ニッケルを主成分とし、少量のクロム、銅
等を含有するエッチング廃液から主としてニッケルを除
去すべく、電解法、樹脂による吸着法、イオン交換法及
び晶析法につき種々試験を行った。その結果、当該廃液
を特定の条件で晶析させた際にニッケルが結晶中に或は
母液中に顕著に濃縮されることを見出し、この知見にも
とづいて本発明を完成させた。
一鉄及び塩化ニッケルを主成分とし、少量のクロム、銅
等を含有するエッチング廃液から主としてニッケルを除
去すべく、電解法、樹脂による吸着法、イオン交換法及
び晶析法につき種々試験を行った。その結果、当該廃液
を特定の条件で晶析させた際にニッケルが結晶中に或は
母液中に顕著に濃縮されることを見出し、この知見にも
とづいて本発明を完成させた。
【００１２】塩化第二鉄溶液によるＮｉ−Ｆｅ合金のエ
ッチング工程において、エッチング液はＮｉ及びＦｅを
溶解し、例えばＦｅ２２０ｇ／Ｌ、Ｎｉ４５ｇ／Ｌ（Ｎ
ｉ／Ｆｅ＝０．２）でエッチング工程から排出される。
本発明は、該廃液に溶解する余剰のＮｉ及びＦｅを特定
条件の晶析により分離、除去してエッチング廃液の再生
を図るものである。以下の説明において、特にことわら
ない限り、ＦｅはＦｅ 2+及びＦｅ3+の合計を示し、Ｎｉ
はＮｉ2+を示す。本発明によれば、該廃液再生の処理工
程及び操業が簡略化され、設備費及び運転費の大幅な低
減が可能となる。
ッチング工程において、エッチング液はＮｉ及びＦｅを
溶解し、例えばＦｅ２２０ｇ／Ｌ、Ｎｉ４５ｇ／Ｌ（Ｎ
ｉ／Ｆｅ＝０．２）でエッチング工程から排出される。
本発明は、該廃液に溶解する余剰のＮｉ及びＦｅを特定
条件の晶析により分離、除去してエッチング廃液の再生
を図るものである。以下の説明において、特にことわら
ない限り、ＦｅはＦｅ 2+及びＦｅ3+の合計を示し、Ｎｉ
はＮｉ2+を示す。本発明によれば、該廃液再生の処理工
程及び操業が簡略化され、設備費及び運転費の大幅な低
減が可能となる。
【００１３】本発明の再生処理方法は、先づエッチング
廃液に塩素ガスを吹込み、該廃液中の塩化第一鉄を塩素
化して塩化第二鉄に酸化した廃液又は塩素化しない廃液
のいずれにも適用できる。しかしながら、塩素化を行っ
た方が溶液中の鉄分が単一化され、処理が容易となって
好ましい。
廃液に塩素ガスを吹込み、該廃液中の塩化第一鉄を塩素
化して塩化第二鉄に酸化した廃液又は塩素化しない廃液
のいずれにも適用できる。しかしながら、塩素化を行っ
た方が溶液中の鉄分が単一化され、処理が容易となって
好ましい。
【００１４】本発明における晶析は二つの方法で行われ
る。即ち、第一の方法は、エッチング廃液を加熱し、濃
縮してから行われる。この際、蒸発、除去される水分量
は、廃液に対して２０〜４０重量％、好ましくは３０重
量％前後であるが、これは母液に対する結晶の量比から
必要であり、これにより母液と結晶に分配されるニッケ
ル量が変化する。このように濃縮された廃液は、次いで
１０〜４０℃、好ましくは２０〜３５℃に冷却される。
この温度条件で塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケ
ルは、夫々、所望の２．０〜３．５水塩の結晶として析
出する。これによりニッケルは結晶中に濃縮され、次い
で、このニッケルに富む結晶を濾別することにより、ニ
ッケル含有量の少ない母液が得られ、この母液はエッチ
ング溶液として再利用される。また、この母液を再結晶
させることにより、ニッケル含量のより少ない溶液を得
ることができる。また、ニッケル濃度の増加した結晶は
廃棄或はニッケル回収工程に送られて別途処理される。
る。即ち、第一の方法は、エッチング廃液を加熱し、濃
縮してから行われる。この際、蒸発、除去される水分量
は、廃液に対して２０〜４０重量％、好ましくは３０重
量％前後であるが、これは母液に対する結晶の量比から
必要であり、これにより母液と結晶に分配されるニッケ
ル量が変化する。このように濃縮された廃液は、次いで
１０〜４０℃、好ましくは２０〜３５℃に冷却される。
この温度条件で塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケ
ルは、夫々、所望の２．０〜３．５水塩の結晶として析
出する。これによりニッケルは結晶中に濃縮され、次い
で、このニッケルに富む結晶を濾別することにより、ニ
ッケル含有量の少ない母液が得られ、この母液はエッチ
ング溶液として再利用される。また、この母液を再結晶
させることにより、ニッケル含量のより少ない溶液を得
ることができる。また、ニッケル濃度の増加した結晶は
廃棄或はニッケル回収工程に送られて別途処理される。
【００１５】本発明の第二の方法は、前記の塩素化し
た、或は塩素化していないエッチング廃液を濃縮せずに
０〜１０℃、好ましくは０〜５℃に冷却する。これによ
り該廃液中の塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケル
は夫々６水塩の結晶として析出する。この晶析に際して
はニッケルは母液側に濃縮され、ニッケル含量の少ない
結晶が得られる。この結晶を水に溶解し、得られた溶液
はエッチング工程に再使用する。一方、ニッケル濃度の
増加した母液は廃棄またはニッケル回収工程に送られて
別途処理する。
た、或は塩素化していないエッチング廃液を濃縮せずに
０〜１０℃、好ましくは０〜５℃に冷却する。これによ
り該廃液中の塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケル
は夫々６水塩の結晶として析出する。この晶析に際して
はニッケルは母液側に濃縮され、ニッケル含量の少ない
結晶が得られる。この結晶を水に溶解し、得られた溶液
はエッチング工程に再使用する。一方、ニッケル濃度の
増加した母液は廃棄またはニッケル回収工程に送られて
別途処理する。
【００１６】前記した本発明の晶析操作に際し、超音波
及び／又は種晶を用いることは晶析時間を短縮し、廃液
の濃度変化に対応できる等の効果が得られて望ましい。
超音波発生器としては市販のものが適用でき、また、種
晶としては塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケルの
水和物が適宜使用できる。
及び／又は種晶を用いることは晶析時間を短縮し、廃液
の濃度変化に対応できる等の効果が得られて望ましい。
超音波発生器としては市販のものが適用でき、また、種
晶としては塩化第一鉄、塩化第二鉄及び塩化ニッケルの
水和物が適宜使用できる。
【００１７】以下本発明の実施態様を添付図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第一の再生処理方法を示す
フローシートである。エッチング廃液の一例として、Ｆ
ｅ2+２０ｇ／Ｌ，Ｆｅ3+２００ｇ／Ｌ及びＮｉ４０ｇ／
Ｌを主成分とし、その他、少量のＣｕ2+，Ｃｒ3+等を含
有する廃液を例として説明する。この廃液は、約６０℃
の温度を保ったまま、エッチング槽１から塩素化槽２に
導かれ、ここで、送入される塩素ガス１５と接触して該
廃液中の塩化第一鉄は塩化第二鉄に酸化される。この反
応温度は８０℃±２０℃程度であり、反応速度も速い。
この塩素化工程により、エッチング廃液中の塩化第一鉄
の９５％以上が塩化第二鉄に酸化される。塩素化された
廃液は次いで濃縮槽３に導かれ、例えば減圧下に濃縮さ
れ、廃液の約２０〜３０重量％に相当する水分が蒸発、
除去される。次いでこの濃縮液は晶析槽４に導かれ、１
０〜４０℃の温度範囲に冷却され、塩化第一鉄、塩化第
二鉄及び塩化ニッケルのそれぞれが２．０〜３．５水塩
として存在するスラリーが得られる。この結晶スラリー
は結晶分離器５に送られ、塩化ニッケルに富む結晶と塩
化ニッケル含有量の少ない母液に分離される。次いで母
液は導管１２を介してメークアップ槽７に導かれ、成分
調整後、再生液として導管１６よりエッチング槽１に返
送されて再使用される。この際、母液の一部を導管８を
介して濃縮槽３に返送することも必要に応じて行われ、
これは母液に含まれるニッケル含有量を更に減少させる
ために効果がある。この晶析において、結晶スラリーの
重量は濃縮液全量の２０〜４０重量％で好結果が得ら
れ、１回の晶析で８０〜９０重量％のニッケルを結晶中
に濃縮分離することができる。更に、この晶析を繰り返
すことにより、ニッケル含量のより少ない再生液を得る
ことができる。
て説明する。図１は本発明の第一の再生処理方法を示す
フローシートである。エッチング廃液の一例として、Ｆ
ｅ2+２０ｇ／Ｌ，Ｆｅ3+２００ｇ／Ｌ及びＮｉ４０ｇ／
Ｌを主成分とし、その他、少量のＣｕ2+，Ｃｒ3+等を含
有する廃液を例として説明する。この廃液は、約６０℃
の温度を保ったまま、エッチング槽１から塩素化槽２に
導かれ、ここで、送入される塩素ガス１５と接触して該
廃液中の塩化第一鉄は塩化第二鉄に酸化される。この反
応温度は８０℃±２０℃程度であり、反応速度も速い。
この塩素化工程により、エッチング廃液中の塩化第一鉄
の９５％以上が塩化第二鉄に酸化される。塩素化された
廃液は次いで濃縮槽３に導かれ、例えば減圧下に濃縮さ
れ、廃液の約２０〜３０重量％に相当する水分が蒸発、
除去される。次いでこの濃縮液は晶析槽４に導かれ、１
０〜４０℃の温度範囲に冷却され、塩化第一鉄、塩化第
二鉄及び塩化ニッケルのそれぞれが２．０〜３．５水塩
として存在するスラリーが得られる。この結晶スラリー
は結晶分離器５に送られ、塩化ニッケルに富む結晶と塩
化ニッケル含有量の少ない母液に分離される。次いで母
液は導管１２を介してメークアップ槽７に導かれ、成分
調整後、再生液として導管１６よりエッチング槽１に返
送されて再使用される。この際、母液の一部を導管８を
介して濃縮槽３に返送することも必要に応じて行われ、
これは母液に含まれるニッケル含有量を更に減少させる
ために効果がある。この晶析において、結晶スラリーの
重量は濃縮液全量の２０〜４０重量％で好結果が得ら
れ、１回の晶析で８０〜９０重量％のニッケルを結晶中
に濃縮分離することができる。更に、この晶析を繰り返
すことにより、ニッケル含量のより少ない再生液を得る
ことができる。
【００１８】次に図２を参照して第二の発明を説明す
る。図２において、エッチング槽１′、塩素化槽２′を
経て、前記第一発明と同様に処理された廃液は晶析槽
４′に導かれる。この廃液は例えば晶析槽４′に付設さ
れた導管２０を流れる低温のブラインにより熱交換され
て０〜１０℃の温度に冷却される。この温度条件におい
て、廃液中の塩化第二鉄と微量の塩化第一鉄及び塩化ニ
ッケルは夫々６水塩の結晶を形成し、これらの結晶混合
物が得られる。この晶析に際し、０〜１０℃に冷却され
た廃液に超音波発生器１９による振動を加え或は種晶を
添加し、またはこれらを併用することにより、結晶の成
長を促進することができる。このようにして、廃液中の
ニッケルは母液側に濃縮され、ニッケル含量の少ない結
晶が得られ、この結晶は結晶溶解槽１８に導かれ、水で
溶解される。この溶液は、次いで導管２２を介してメー
クアップ槽７′に送られ、ここで組成の調整が行われた
後エッチング槽１′に送られてエッチング溶液として再
使用することができる。
る。図２において、エッチング槽１′、塩素化槽２′を
経て、前記第一発明と同様に処理された廃液は晶析槽
４′に導かれる。この廃液は例えば晶析槽４′に付設さ
れた導管２０を流れる低温のブラインにより熱交換され
て０〜１０℃の温度に冷却される。この温度条件におい
て、廃液中の塩化第二鉄と微量の塩化第一鉄及び塩化ニ
ッケルは夫々６水塩の結晶を形成し、これらの結晶混合
物が得られる。この晶析に際し、０〜１０℃に冷却され
た廃液に超音波発生器１９による振動を加え或は種晶を
添加し、またはこれらを併用することにより、結晶の成
長を促進することができる。このようにして、廃液中の
ニッケルは母液側に濃縮され、ニッケル含量の少ない結
晶が得られ、この結晶は結晶溶解槽１８に導かれ、水で
溶解される。この溶液は、次いで導管２２を介してメー
クアップ槽７′に送られ、ここで組成の調整が行われた
後エッチング槽１′に送られてエッチング溶液として再
使用することができる。
【００１９】
【実施例】以下実施例によって本発明を更に詳細に説明
するが、本発明の内容を以下の実施例に限定するもので
ないことはいうまでもない。
するが、本発明の内容を以下の実施例に限定するもので
ないことはいうまでもない。
【００２０】実施例１ 塩化第二鉄２００ｇ／Ｌ、塩化第一鉄１５ｇ／Ｌ及び塩
化ニッケル４５ｇ／Ｌを主成分とするエッチング廃液２
９７ｇをビーカーにとり、常圧下に加熱して約１９重量
％の水分を蒸発させて濃縮液２４１ｇを得た。この濃縮
液を恒温槽にて２５℃に冷却して晶析させた。この１回
の晶析操作で該廃液中のＮｉの６０重量％及びＦｅの３
０重量％を結晶中に分離することができた。結果は表Ｉ
に示す。
化ニッケル４５ｇ／Ｌを主成分とするエッチング廃液２
９７ｇをビーカーにとり、常圧下に加熱して約１９重量
％の水分を蒸発させて濃縮液２４１ｇを得た。この濃縮
液を恒温槽にて２５℃に冷却して晶析させた。この１回
の晶析操作で該廃液中のＮｉの６０重量％及びＦｅの３
０重量％を結晶中に分離することができた。結果は表Ｉ
に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】実施例２ 前記実施例１と同じ組成の廃液を約７０℃に加温した
後、その廃液に塩素ガスを１時間通じて廃液中のＦｅ2+
の大部分をＦｅ3+に酸化させた。この処理廃液３００ｇ
を減圧下に加熱して水分約３２重量％を蒸発させ、得ら
れた濃縮液２０４ｇを恒温槽で３５℃に冷却して晶析さ
せた。この実施例２においては、１回の晶析操作で該廃
液中のＮｉの８０重量％及びＦｅの４０重量％が結晶側
に濃縮、分離され、Ｎｉ含量の少ない母液が得られた。
この結果を表IIに示す。
後、その廃液に塩素ガスを１時間通じて廃液中のＦｅ2+
の大部分をＦｅ3+に酸化させた。この処理廃液３００ｇ
を減圧下に加熱して水分約３２重量％を蒸発させ、得ら
れた濃縮液２０４ｇを恒温槽で３５℃に冷却して晶析さ
せた。この実施例２においては、１回の晶析操作で該廃
液中のＮｉの８０重量％及びＦｅの４０重量％が結晶側
に濃縮、分離され、Ｎｉ含量の少ない母液が得られた。
この結果を表IIに示す。
【００２３】
【表２】
【００２４】実施例３ 前記実施例２と同じ組成の塩素化した廃液を、そのま
ま、或は水または塩酸を加えて濃縮せずに、０〜１０℃
に冷却させた。この実施例３においては、１回の晶析で
該廃液中のニッケルの大部分は母液側に濃縮され、ニッ
ケル含量の顕著に少ない結晶が得られた。この０〜１０
℃晶析の際の母液と結晶の割合及び母液側と結晶側に分
配されたＮｉとＦｅの量及び割合を表III に示す。
ま、或は水または塩酸を加えて濃縮せずに、０〜１０℃
に冷却させた。この実施例３においては、１回の晶析で
該廃液中のニッケルの大部分は母液側に濃縮され、ニッ
ケル含量の顕著に少ない結晶が得られた。この０〜１０
℃晶析の際の母液と結晶の割合及び母液側と結晶側に分
配されたＮｉとＦｅの量及び割合を表III に示す。
【００２５】
【表３】
【００２６】実施例４ Ｆｅ２４０ｇ／Ｌ及びＮｉ４８ｇ／Ｌを含有する廃液１
６００ｇを用い、この廃液中の水分４７５ｇを減圧下に
蒸発させた。次いで得られた濃縮液１１２５ｇを恒温槽
内で２５℃に冷却してＦｅ及びＮｉ夫々の二水塩に相当
する結晶を析出させた。この第一次晶析において結晶４
２３ｇと母液７０２ｇが得られ、廃液に含有されていた
Ｎｉの７０重量％とＦｅの３５重量％が結晶中に濃縮、
分離され、残余のＮｉとＦｅは母液側に移行した。この
結晶は次いで約１０重量％の水を加え、得られた溶液を
前記と同様に２５℃に冷却して第二次の晶析を行った。
この第二次晶析において結晶２２７ｇと母液２３８ｇが
得られ、この結晶中には廃液中に最初に存在したＮｉ及
びＦｅの量に対する百分率としてＮｉの６０重量％とＦ
ｅの１５重量％が濃縮、分離された。一方、第二次晶析
の母液中にはＮｉ１０重量％とＦｅ２０重量％が移行し
た。これらのうちＮｉ含量の多い結晶は廃液或は別途、
ニッケル回収工程に送られ、Ｎｉ含量の少ない母液は再
使用に供される。
６００ｇを用い、この廃液中の水分４７５ｇを減圧下に
蒸発させた。次いで得られた濃縮液１１２５ｇを恒温槽
内で２５℃に冷却してＦｅ及びＮｉ夫々の二水塩に相当
する結晶を析出させた。この第一次晶析において結晶４
２３ｇと母液７０２ｇが得られ、廃液に含有されていた
Ｎｉの７０重量％とＦｅの３５重量％が結晶中に濃縮、
分離され、残余のＮｉとＦｅは母液側に移行した。この
結晶は次いで約１０重量％の水を加え、得られた溶液を
前記と同様に２５℃に冷却して第二次の晶析を行った。
この第二次晶析において結晶２２７ｇと母液２３８ｇが
得られ、この結晶中には廃液中に最初に存在したＮｉ及
びＦｅの量に対する百分率としてＮｉの６０重量％とＦ
ｅの１５重量％が濃縮、分離された。一方、第二次晶析
の母液中にはＮｉ１０重量％とＦｅ２０重量％が移行し
た。これらのうちＮｉ含量の多い結晶は廃液或は別途、
ニッケル回収工程に送られ、Ｎｉ含量の少ない母液は再
使用に供される。
【００２７】以上は第一次晶析の結晶についての説明で
あるが、この第一次晶析の結晶を分離した母液は、廃液
中のＮｉの３重量％とＦｅの６５重量％を含有する。こ
の母液はＮｉ含有量を更に減少させるために第二次晶析
を行った。このため母液７０２ｇを加熱して水分３０ｇ
を蒸発させ、この濃縮液６７２ｇを前記と同様に２５℃
に冷却して第二次晶析を行い、結晶１６９ｇと母液５０
３ｇを濾別した。これらのうち結晶中にはＮｉの２６重
量％とＦｅの１６重量％を含有し、Ｎｉを濃縮したこの
結晶は廃液或は別途Ｎｉ回収工程に送られる。一方、母
液は４重量％のＮｉと４９重量％のＦｅを含有し、この
Ｎｉ含量の少ない母液は再使用に供される。
あるが、この第一次晶析の結晶を分離した母液は、廃液
中のＮｉの３重量％とＦｅの６５重量％を含有する。こ
の母液はＮｉ含有量を更に減少させるために第二次晶析
を行った。このため母液７０２ｇを加熱して水分３０ｇ
を蒸発させ、この濃縮液６７２ｇを前記と同様に２５℃
に冷却して第二次晶析を行い、結晶１６９ｇと母液５０
３ｇを濾別した。これらのうち結晶中にはＮｉの２６重
量％とＦｅの１６重量％を含有し、Ｎｉを濃縮したこの
結晶は廃液或は別途Ｎｉ回収工程に送られる。一方、母
液は４重量％のＮｉと４９重量％のＦｅを含有し、この
Ｎｉ含量の少ない母液は再使用に供される。
【００２８】実施例４の如く、液の濃度及び結晶と母液
の比を適正に選定して多段に晶析を繰り返すことによ
り、Ｎｉ含有量の顕著に減少した再生液として得られ
る。この実施例４において、第一次晶析で得られた母液
を二次晶析した母液中へのＮｉの移行率は４重量％であ
り、原廃液中に初めに存在した４８ｇ／Ｌに対して１．
９２ｇ／Ｌの濃度になる。一方、Ｆｅはエッチング工程
で増加した分を系外に除去する必要がある。この実施例
４の第一次晶析の母液を二次晶析した母液中へのＦｅの
移行率は４９重量％、第一次晶析の結晶から得られる母
液中へのＦｅの移行率は２０重量％であり、十分に満足
できる値といえる。このＦｅの移行率は晶析条件により
容易に変更できる。この実施例４の二段晶析におけるＮ
ｉとＦｅの分配状態を纏めて表IVに示す。
の比を適正に選定して多段に晶析を繰り返すことによ
り、Ｎｉ含有量の顕著に減少した再生液として得られ
る。この実施例４において、第一次晶析で得られた母液
を二次晶析した母液中へのＮｉの移行率は４重量％であ
り、原廃液中に初めに存在した４８ｇ／Ｌに対して１．
９２ｇ／Ｌの濃度になる。一方、Ｆｅはエッチング工程
で増加した分を系外に除去する必要がある。この実施例
４の第一次晶析の母液を二次晶析した母液中へのＦｅの
移行率は４９重量％、第一次晶析の結晶から得られる母
液中へのＦｅの移行率は２０重量％であり、十分に満足
できる値といえる。このＦｅの移行率は晶析条件により
容易に変更できる。この実施例４の二段晶析におけるＮ
ｉとＦｅの分配状態を纏めて表IVに示す。
【００２９】
【表４】
【００３０】
【発明の効果】上述の通り、本発明によれば、エッチン
グ廃液中に蓄積する過剰のＮｉ及びＦｅを晶析操作によ
り容易に分離することができる。更に、この晶析を多段
に行うことによって必要に応じて塩化第二鉄溶液中のＮ
ｉ濃度を１０００mg／Ｌ以下に低減することも可能であ
る。本発明の方法によればエッチング廃液の再生処理が
化学反応を伴わない簡易な物理的な方法となり、再生装
置の建設費及び運転費は大巾に低減でき、且つ操業は容
易となる。
グ廃液中に蓄積する過剰のＮｉ及びＦｅを晶析操作によ
り容易に分離することができる。更に、この晶析を多段
に行うことによって必要に応じて塩化第二鉄溶液中のＮ
ｉ濃度を１０００mg／Ｌ以下に低減することも可能であ
る。本発明の方法によればエッチング廃液の再生処理が
化学反応を伴わない簡易な物理的な方法となり、再生装
置の建設費及び運転費は大巾に低減でき、且つ操業は容
易となる。
【図１】図１はエッチング廃液を加熱、濃縮を行った
後、晶析工程を施してエッチング廃液を再生する本発明
の一実施態様を示すフローチャート図である。
後、晶析工程を施してエッチング廃液を再生する本発明
の一実施態様を示すフローチャート図である。
【図２】図２はエッチング廃液を濃縮せずに低温で晶析
を行ってエッチング廃液を再生する本発明の一実施態様
を示すフローチャート図である。
を行ってエッチング廃液を再生する本発明の一実施態様
を示すフローチャート図である。
１，１′…エッチング槽 ２，２′…塩素化槽 ３…濃縮槽 ４，４′…晶析槽 ５，５′…結晶分離器 ６…結晶洗浄槽 ７，７′…メークアップ槽 ８…導管 １０…水蒸気 １１，１２…導管 １４…廃ガス １５，１５′…塩素ガス １６，１６′，１７…導管 １８…結晶溶解槽 １９…超音波発生器 ２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６…導管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 洋 東京都世田谷区奥沢８−24−５
Claims (2)
- 【請求項１】 塩化第二鉄を主成分とし、更に塩化第一
鉄及び塩化ニッケルを含有するエッチング廃液に塩素を
吹込んで、該廃液中の塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せ
しめた後、又は塩素を吹込むことなく、該廃液を加熱濃
縮し、次いで１０〜４０℃の温度範囲に冷却して塩化第
二鉄と微量の塩化第一鉄及び塩化ニッケルの夫々を２．
０〜３．５水塩として晶析させることにより、該廃液中
の塩化ニッケルを結晶中に濃縮して該結晶を系外に除去
すると共に、塩化ニッケルの含有量の減少した母液をエ
ッチング工程に戻して循環使用することを特徴とするエ
ッチング廃液の再生処理方法。 - 【請求項２】 塩化第二鉄を主成分とし、更に塩化第一
鉄及び塩化ニッケルを含有するエッチング廃液に塩素を
吹込み、該廃液中の塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化せし
めた後、又は塩素を吹込むことなく、該廃液をそのま
ま、または水もしくは塩酸を添加し、又は適量の水を除
去した後、０〜１０℃の温度範囲に冷却して塩化第二
鉄、塩化第一鉄及び塩化ニッケルの夫々を６水塩として
晶析させることにより、塩化ニッケルを母液中に濃縮し
て系外に除去すると共に、塩化ニッケルの含有量の減少
した結晶を水に溶解し、エッチング工程に戻して循環使
用することを特徴とするエッチング廃液の再生処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01542596A JP3492067B2 (ja) | 1995-12-28 | 1996-01-31 | エッチング廃液の再生処理方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34411095 | 1995-12-28 | ||
| JP7-344110 | 1995-12-28 | ||
| JP01542596A JP3492067B2 (ja) | 1995-12-28 | 1996-01-31 | エッチング廃液の再生処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235684A true JPH09235684A (ja) | 1997-09-09 |
| JP3492067B2 JP3492067B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=26351571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01542596A Expired - Fee Related JP3492067B2 (ja) | 1995-12-28 | 1996-01-31 | エッチング廃液の再生処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3492067B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001354427A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-25 | Toagosei Co Ltd | 高純度塩化第二鉄水溶液の製造法 |
| JP2007260660A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 砒素含有体からの砒素除去方法、砒素除去装置及びその反応槽 |
| JP2008100126A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Tsurumi Soda Co Ltd | 塩化第一鉄液の製造方法 |
| CN102328982A (zh) * | 2011-09-01 | 2012-01-25 | 上海新禹固废处理有限公司 | 一种氯化铁废液再生并回收有价金属的方法 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP01542596A patent/JP3492067B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001354427A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-25 | Toagosei Co Ltd | 高純度塩化第二鉄水溶液の製造法 |
| JP2007260660A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-10-11 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 砒素含有体からの砒素除去方法、砒素除去装置及びその反応槽 |
| JP2008100126A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Tsurumi Soda Co Ltd | 塩化第一鉄液の製造方法 |
| CN102328982A (zh) * | 2011-09-01 | 2012-01-25 | 上海新禹固废处理有限公司 | 一种氯化铁废液再生并回收有价金属的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3492067B2 (ja) | 2004-02-03 |
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