JPH0923035A - Ｌｄモジュール用自動温度制御回路 - Google Patents
Ｌｄモジュール用自動温度制御回路Info
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- JPH0923035A JPH0923035A JP7194093A JP19409395A JPH0923035A JP H0923035 A JPH0923035 A JP H0923035A JP 7194093 A JP7194093 A JP 7194093A JP 19409395 A JP19409395 A JP 19409395A JP H0923035 A JPH0923035 A JP H0923035A
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- voltage
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＬＤモジュール１０の内部温度を一定に保つた
めの自動温度制御回路の高温時と低温時の温度制御の応
答性の不均衡をなくすとともに、低消費電力化を図る。 【解決手段】ＬＤモジュール１０に内蔵されている冷却
／発熱素子であるペルチェ素子６に与える制御電流をス
イッチング素子部５から供給する。ＣＰＵ４を設けて、
温度検出器１の抵抗変化を電圧に変換しディジタル変換
した温度データをＣＰＵ４に入力し、温度データの非直
線性を線形化し、その線形変換値を用いて決定したパル
ス幅によるパルス幅変調を行った駆動電圧をスイッチン
グ部５に与えてペルチェ素子５を制御するように構成し
た。
めの自動温度制御回路の高温時と低温時の温度制御の応
答性の不均衡をなくすとともに、低消費電力化を図る。 【解決手段】ＬＤモジュール１０に内蔵されている冷却
／発熱素子であるペルチェ素子６に与える制御電流をス
イッチング素子部５から供給する。ＣＰＵ４を設けて、
温度検出器１の抵抗変化を電圧に変換しディジタル変換
した温度データをＣＰＵ４に入力し、温度データの非直
線性を線形化し、その線形変換値を用いて決定したパル
ス幅によるパルス幅変調を行った駆動電圧をスイッチン
グ部５に与えてペルチェ素子５を制御するように構成し
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＤモジュール
（レーザダイオード・モジュール）用ＡＴＣ（AutoTemp
erature Control：自動温度制御）回路に関するもので
ある。
（レーザダイオード・モジュール）用ＡＴＣ（AutoTemp
erature Control：自動温度制御）回路に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】光通信において、光源と光ファイバとの
結合回路として、半導体レーザ（ＬＤ）から出射された
光信号を効率よつく、かつ安定に光ファイバへ導く機能
を有するＬＤモジュールと呼ばれるデバイスがある。図
３はＬＤモジュール１０の一般的な内部ブロック図と周
辺回路のブロック図である。レーザ・ダイオード（Ｌ
Ｄ）は、レーザ駆動回路１１から電気信号で駆動され、
電気信号を光信号に変換する。変換された光信号は光フ
ァイバ１２に導かれて伝送される。フォトダイオード
（ＰＤ）は、レーザダイオードの出力をモニタし、モニ
タ出力をＡＰＣ（Aut Power Control ：自動出力制御）
回路１３に入力する。ＡＰＣ回路１３はＬＤの光出力が
一定になるようにレーザ駆動回路１１を制御する。
結合回路として、半導体レーザ（ＬＤ）から出射された
光信号を効率よつく、かつ安定に光ファイバへ導く機能
を有するＬＤモジュールと呼ばれるデバイスがある。図
３はＬＤモジュール１０の一般的な内部ブロック図と周
辺回路のブロック図である。レーザ・ダイオード（Ｌ
Ｄ）は、レーザ駆動回路１１から電気信号で駆動され、
電気信号を光信号に変換する。変換された光信号は光フ
ァイバ１２に導かれて伝送される。フォトダイオード
（ＰＤ）は、レーザダイオードの出力をモニタし、モニ
タ出力をＡＰＣ（Aut Power Control ：自動出力制御）
回路１３に入力する。ＡＰＣ回路１３はＬＤの光出力が
一定になるようにレーザ駆動回路１１を制御する。
【０００３】さらに、レーザダイオードの光出力は温度
依存性があるため、ＬＤモジュール１０の中に、ＬＤモ
ジュール１０内の温度を検出する温度検出器１と冷却／
加熱素子が設けられ、外部のＡＴＣ回路１４によって温
度補償が行われている。ＡＴＣ回路１４は、温度検出器
の出力から制御電流を求め、ＬＤモジュール内のクーラ
兼ヒータの機能を持つペルチェ素子と呼ばれる電子冷却
素子６を駆動し、ＬＤモジュール内部の温度が一定にな
るように制御する。ペルチェ素子６は電流の方向によっ
て熱を発生したり吸収したりするペルチェ効果を応用し
た加熱冷却素子（サーモエレクトリッククーラ：ＴＥ
Ｃ）である。
依存性があるため、ＬＤモジュール１０の中に、ＬＤモ
ジュール１０内の温度を検出する温度検出器１と冷却／
加熱素子が設けられ、外部のＡＴＣ回路１４によって温
度補償が行われている。ＡＴＣ回路１４は、温度検出器
の出力から制御電流を求め、ＬＤモジュール内のクーラ
兼ヒータの機能を持つペルチェ素子と呼ばれる電子冷却
素子６を駆動し、ＬＤモジュール内部の温度が一定にな
るように制御する。ペルチェ素子６は電流の方向によっ
て熱を発生したり吸収したりするペルチェ効果を応用し
た加熱冷却素子（サーモエレクトリッククーラ：ＴＥ
Ｃ）である。
【０００４】図４は従来のＡＴＣ回路１４のブロック図
である。以下に動作を述べる。ＬＤモジュール１０に内
蔵されている温度検出器１の出力を抵抗−電圧変換部２
で電圧に変換し、変換された出力と温度設定部１５の出
力を差動増幅器１６に入力する。差動増幅器１６は、２
つの入力の差を増幅した出力をパワーアンプ１７に出力
し、パワーアンプ１７は、ＬＤモジュール１０に内蔵さ
れているクーラ兼ヒータの機能を持つペルチェ素子６を
駆動する。このように、従来のＡＴＣ回路１４はパワー
アンプ１７としてオペアンプ（演算増幅器）を使用した
アナログ制御方式である。
である。以下に動作を述べる。ＬＤモジュール１０に内
蔵されている温度検出器１の出力を抵抗−電圧変換部２
で電圧に変換し、変換された出力と温度設定部１５の出
力を差動増幅器１６に入力する。差動増幅器１６は、２
つの入力の差を増幅した出力をパワーアンプ１７に出力
し、パワーアンプ１７は、ＬＤモジュール１０に内蔵さ
れているクーラ兼ヒータの機能を持つペルチェ素子６を
駆動する。このように、従来のＡＴＣ回路１４はパワー
アンプ１７としてオペアンプ（演算増幅器）を使用した
アナログ制御方式である。
【０００５】図５はパワーアンプ１７の回路例図であ
る。図６はパワーアンプ１７の等価回路である。図５の
トランジスタＱ１，Ｑ２は、図６の等価回路では、抵抗
Ｒ１，Ｒ２で表される。出力電圧Ｖout は上下の抵抗
（Ｒ１，Ｒ２）の抵抗値を入力電圧Ｖinにより変化させ
るたとによりつくり出され、上下の抵抗（Ｒ１，Ｒ２）
には出力電力を取り出さない状態でも電流が流れ、電力
が消費される。
る。図６はパワーアンプ１７の等価回路である。図５の
トランジスタＱ１，Ｑ２は、図６の等価回路では、抵抗
Ｒ１，Ｒ２で表される。出力電圧Ｖout は上下の抵抗
（Ｒ１，Ｒ２）の抵抗値を入力電圧Ｖinにより変化させ
るたとによりつくり出され、上下の抵抗（Ｒ１，Ｒ２）
には出力電力を取り出さない状態でも電流が流れ、電力
が消費される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような回路では、
与えられた出力電圧をつくり出すために、大きな電力が
増幅器内で消費されることになる。このため、電力効率
が低いだけでなく、発生した熱を逃がすための放熱器が
必要になる。一般に、ＬＤモジュール１０に内蔵されて
いる温度検出器１にはサーミスタと呼ばれる温度によっ
て抵抗値が変化する素子が用いられている。このサーミ
スタの温度特性は、高温域で抵抗値の変化量が小さく、
低温域で変化量が大きい非線形特性を持つ。
与えられた出力電圧をつくり出すために、大きな電力が
増幅器内で消費されることになる。このため、電力効率
が低いだけでなく、発生した熱を逃がすための放熱器が
必要になる。一般に、ＬＤモジュール１０に内蔵されて
いる温度検出器１にはサーミスタと呼ばれる温度によっ
て抵抗値が変化する素子が用いられている。このサーミ
スタの温度特性は、高温域で抵抗値の変化量が小さく、
低温域で変化量が大きい非線形特性を持つ。
【０００７】即ち、従来のＡＴＣ回路は、サーミスタを
用いた温度検出器１の抵抗値の変化をモニタして制御量
を決めている。従って、高温時は制御量の変化が小さい
ため温度制御の応答性は遅く、逆に、低温時の温度制御
の応答性は速いという不具合が生じている。
用いた温度検出器１の抵抗値の変化をモニタして制御量
を決めている。従って、高温時は制御量の変化が小さい
ため温度制御の応答性は遅く、逆に、低温時の温度制御
の応答性は速いという不具合が生じている。
【０００８】本発明の目的は、従来技術の問題点のＡＴ
Ｃ回路のパワーオペアンプ（電力演算増幅器）での電力
効率が低いことと、高温時，低温時の温度制御の応答性
の不均衡という欠点を解決し、ＡＴＣ回路の電力効率を
上げ、低温時と高温時の温度制御応答性の不均衡を是正
し、かつ、低消費電力のＬＤモジュール用ＡＴＣ回路を
提供することにある。
Ｃ回路のパワーオペアンプ（電力演算増幅器）での電力
効率が低いことと、高温時，低温時の温度制御の応答性
の不均衡という欠点を解決し、ＡＴＣ回路の電力効率を
上げ、低温時と高温時の温度制御応答性の不均衡を是正
し、かつ、低消費電力のＬＤモジュール用ＡＴＣ回路を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のＬＤモジュール
用自動温度制御回路は、外部からの駆動回路によって駆
動され光ファイバに対して光信号を出射するレーザダイ
オードと、該レーザダイオードの出力をモニタするフォ
トダイオードと、前記レーザダイオードの温度に対応し
て抵抗が変化する温度検出器と、外部からの制御電流に
より冷却／加熱を行うペルチェ素子とが内蔵されたＬＤ
モジュールの内部温度が一定になるように制御する回路
であって、前記温度検出器の抵抗変化を電圧に変換する
抵抗ー電圧変換部と、該抵抗ー電圧変換部の出力をディ
ジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、前記ペルチェ素子に対
して前記制御電流を出力するスイッチング部と、前記Ａ
／Ｄ変換器の出力から前記スイッチング部の駆動電圧を
算出して出力するＣＰＵとが備えられ、前記スイッチン
グ部は、＋電圧入力端子または−電圧入力端子に印加さ
れる駆動電圧によって前記ペルチェ素子に正方向または
負方向の駆動電流を与えるように構成され、前記ＣＰＵ
は、前記温度検出器の温度変化に対する抵抗値変化の非
直線性を線形化する線形変換テーブルが予め記憶され、
該線形変換テーブルを用いて前記Ａ／Ｄ変換器から出力
される温度データを線形変換し、該線形変換値を用いて
決定したパルス幅によるパルス幅変調を行って前記スイ
ッチング部に対する前記駆動電圧を出力することによ
り、前記ＬＤモジュールの内部温度が一定の温度になる
ように構成されたことを特徴とするものである。
用自動温度制御回路は、外部からの駆動回路によって駆
動され光ファイバに対して光信号を出射するレーザダイ
オードと、該レーザダイオードの出力をモニタするフォ
トダイオードと、前記レーザダイオードの温度に対応し
て抵抗が変化する温度検出器と、外部からの制御電流に
より冷却／加熱を行うペルチェ素子とが内蔵されたＬＤ
モジュールの内部温度が一定になるように制御する回路
であって、前記温度検出器の抵抗変化を電圧に変換する
抵抗ー電圧変換部と、該抵抗ー電圧変換部の出力をディ
ジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、前記ペルチェ素子に対
して前記制御電流を出力するスイッチング部と、前記Ａ
／Ｄ変換器の出力から前記スイッチング部の駆動電圧を
算出して出力するＣＰＵとが備えられ、前記スイッチン
グ部は、＋電圧入力端子または−電圧入力端子に印加さ
れる駆動電圧によって前記ペルチェ素子に正方向または
負方向の駆動電流を与えるように構成され、前記ＣＰＵ
は、前記温度検出器の温度変化に対する抵抗値変化の非
直線性を線形化する線形変換テーブルが予め記憶され、
該線形変換テーブルを用いて前記Ａ／Ｄ変換器から出力
される温度データを線形変換し、該線形変換値を用いて
決定したパルス幅によるパルス幅変調を行って前記スイ
ッチング部に対する前記駆動電圧を出力することによ
り、前記ＬＤモジュールの内部温度が一定の温度になる
ように構成されたことを特徴とするものである。
【００１０】電力効率を上げるために、本発明では、モ
ータ制御，スイッチング電源などで用いられているパル
ス幅変調（ＰＷＭ：Pulse Width Modulation）電流でペ
ルチェ素子を駆動している。ＰＷＭ制御の原理を簡単に
説明する。図７は、ＰＷＭ制御の原理図である。上下の
スイッチ（Ｓ１，Ｓ２）を高速にＯＮ／ＯＦＦさせ、Ｏ
Ｎ／ＯＦＦの時間の割合（パルス幅の比）を調節して、
平均的な出力電圧，電流を制御する。理想的には、ＯＮ
のときに抵抗が０、ＯＦＦのときに抵抗が∞（無限大）
なのでスイッチ自体で消費される電力はない。また、低
温時と高温時の温度制御応答性の不均衡を是正するため
に、本発明ではサーミスタの抵抗値の変化を電圧に変換
し、その電圧をＡ／Ｄ変換し、得られたディジタルデー
タ値をＣＰＵで読み込み、ＣＰＵの中で線形変換の演算
を行い、得られた線形変換値により所定の温度にするた
めのＰＷＭのパルス幅を決定している。
ータ制御，スイッチング電源などで用いられているパル
ス幅変調（ＰＷＭ：Pulse Width Modulation）電流でペ
ルチェ素子を駆動している。ＰＷＭ制御の原理を簡単に
説明する。図７は、ＰＷＭ制御の原理図である。上下の
スイッチ（Ｓ１，Ｓ２）を高速にＯＮ／ＯＦＦさせ、Ｏ
Ｎ／ＯＦＦの時間の割合（パルス幅の比）を調節して、
平均的な出力電圧，電流を制御する。理想的には、ＯＮ
のときに抵抗が０、ＯＦＦのときに抵抗が∞（無限大）
なのでスイッチ自体で消費される電力はない。また、低
温時と高温時の温度制御応答性の不均衡を是正するため
に、本発明ではサーミスタの抵抗値の変化を電圧に変換
し、その電圧をＡ／Ｄ変換し、得られたディジタルデー
タ値をＣＰＵで読み込み、ＣＰＵの中で線形変換の演算
を行い、得られた線形変換値により所定の温度にするた
めのＰＷＭのパルス幅を決定している。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を説明する。図１
は本発明の実施例の一例を示すブロック図（Ａ）と温度
データの線形変換テーブル例（Ｂ）である。図におい
て、２０は本発明によるＡＴＣ回路であり、３はＡ／Ｄ
変換器、４はＣＰＵ（中央処理装置）、５はスイッチン
グ部である。ＬＤモジュール内の温度検出器１の抵抗値
の変化を抵抗−電圧変換部２により電圧に変換する。変
換された電圧値をＡ／Ｄ変換器３でディジタルデータに
変換し、ＣＰＵ４に入力する。ＣＰＵ４では、図１
（Ｂ）に示すような変換テーブルを予め記憶させてお
き、そのテーブルを用いて温度データの線形化を行いそ
の線形変換値に基づいて所定の温度にするためのＰＷＭ
のパルス幅を決定した制御電圧をスイッチング部５に出
力する。スイッチング部５は制御電圧に従ってペルチェ
素子６を駆動し、ＬＤモジュール内の温度が一定になる
ように制御する。
は本発明の実施例の一例を示すブロック図（Ａ）と温度
データの線形変換テーブル例（Ｂ）である。図におい
て、２０は本発明によるＡＴＣ回路であり、３はＡ／Ｄ
変換器、４はＣＰＵ（中央処理装置）、５はスイッチン
グ部である。ＬＤモジュール内の温度検出器１の抵抗値
の変化を抵抗−電圧変換部２により電圧に変換する。変
換された電圧値をＡ／Ｄ変換器３でディジタルデータに
変換し、ＣＰＵ４に入力する。ＣＰＵ４では、図１
（Ｂ）に示すような変換テーブルを予め記憶させてお
き、そのテーブルを用いて温度データの線形化を行いそ
の線形変換値に基づいて所定の温度にするためのＰＷＭ
のパルス幅を決定した制御電圧をスイッチング部５に出
力する。スイッチング部５は制御電圧に従ってペルチェ
素子６を駆動し、ＬＤモジュール内の温度が一定になる
ように制御する。
【００１２】図２はスイッチング部５の回路例図（Ａ）
とそのタイムチャート（Ｂ）である。スイッチング部５
は、４つのスイッチング素子（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ
４）、ＣＰＵ４からの２つの入力端子Ｖin＋，Ｖin−、
ペルチェ素子６に接続された＋端子と−端子を備えてい
る。ペルチェ素子の＋端子に電圧が加わるとペルチェ素
子はヒータとして動作し、−端子に電圧が加わるとクー
ラとして動作する。入力端子Ｖin−に電圧が印加される
と、スイッチング素子Ｑ２，Ｑ３がＯＮになり、ペルチ
ェ素子の−端子に電圧が加わってクーラとして動作す
る。入力端子Ｖin−に電圧が印加されないときはスイッ
チング素子Ｑ２，Ｑ３がＯＦＦとなる。入力端子Ｖin−
に電圧が印加される時間と印加されない時間の比を変化
させることにより（ＰＷＭ制御）、冷却温度を変化させ
ることができる。同様に、入力端子Ｖin＋に電圧が印加
される時間と印加されない時間の比を変化させることに
より（ＰＷＭ制御）、加熱温度を変化させることができ
る。
とそのタイムチャート（Ｂ）である。スイッチング部５
は、４つのスイッチング素子（Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ
４）、ＣＰＵ４からの２つの入力端子Ｖin＋，Ｖin−、
ペルチェ素子６に接続された＋端子と−端子を備えてい
る。ペルチェ素子の＋端子に電圧が加わるとペルチェ素
子はヒータとして動作し、−端子に電圧が加わるとクー
ラとして動作する。入力端子Ｖin−に電圧が印加される
と、スイッチング素子Ｑ２，Ｑ３がＯＮになり、ペルチ
ェ素子の−端子に電圧が加わってクーラとして動作す
る。入力端子Ｖin−に電圧が印加されないときはスイッ
チング素子Ｑ２，Ｑ３がＯＦＦとなる。入力端子Ｖin−
に電圧が印加される時間と印加されない時間の比を変化
させることにより（ＰＷＭ制御）、冷却温度を変化させ
ることができる。同様に、入力端子Ｖin＋に電圧が印加
される時間と印加されない時間の比を変化させることに
より（ＰＷＭ制御）、加熱温度を変化させることができ
る。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明を実施するこ
とにより、低消費電力で、広い温度範囲で制御特性の優
れた温度制御が可能となり、実用上の効果は大きい。
とにより、低消費電力で、広い温度範囲で制御特性の優
れた温度制御が可能となり、実用上の効果は大きい。
【図１】本発明の実施例を示すブロック図と温度データ
の線形変換テーブル例図である。
の線形変換テーブル例図である。
【図２】図１のスイッチング部の回路例図とそのタイム
チャートである。
チャートである。
【図３】ＬＤモジュールの一般的な内部ブロック図と周
辺回路のブロック図である。
辺回路のブロック図である。
【図４】従来のＡＴＣ回路のブロック図である。
【図５】従来のパワーアンプの回路例図である。
【図６】従来のパワーアンプの等価回路図である。
【図７】ＰＷＭ制御の原理図である。
１ 温度検出器 ２ 抵抗−電圧変換部 ３ Ａ／Ｄ変換器 ４ ＣＰＵ ５ スイッチング部 ６ ペルチェ素子 １０ ＬＤモジュール １１ レーザ駆動回路 １２ 光ファイバ １３ ＡＰＣ回路 １４ ＡＴＣ回路 １５ 温度設定部 １６ 差動増幅器 １７ パワーアンプ ２０ ＡＴＣ回路
Claims (1)
- 【請求項１】 外部からの駆動回路によって駆動され光
ファイバに対して光信号を出射するレーザダイオード
と、該レーザダイオードの出力をモニタするフォトダイ
オードと、前記レーザダイオードの温度に対応して抵抗
が変化する温度検出器と、外部からの制御電流により冷
却／加熱を行うペルチェ素子とが内蔵されたＬＤモジュ
ールの内部温度が一定になるように制御する回路であっ
て、 前記温度検出器の抵抗変化を電圧に変換する抵抗ー電圧
変換部と、該抵抗ー電圧変換部の出力をディジタル変換
するＡ／Ｄ変換器と、前記ペルチェ素子に対して前記制
御電流を出力するスイッチング部と、前記Ａ／Ｄ変換器
の出力から前記スイッチング部の駆動電圧を算出して出
力するＣＰＵとが備えられ、 前記スイッチング部は、＋電圧入力端子または−電圧入
力端子に印加される駆動電圧によって前記ペルチェ素子
に正方向または負方向の駆動電流を与えるように構成さ
れ、 前記ＣＰＵは、前記温度検出器の温度変化に対する抵抗
値変化の非直線性を線形化する線形変換テーブルが予め
記憶され、該線形変換テーブルを用いて前記Ａ／Ｄ変換
器から出力される温度データを線形変換し、該線形変換
値を用いて決定したパルス幅によるパルス幅変調を行っ
て前記スイッチング部に対する前記駆動電圧を出力する
ことにより、前記ＬＤモジュールの内部温度が一定の温
度になるように構成されたことを特徴とするＬＤモジュ
ール用自動温度制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7194093A JPH0923035A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Ｌｄモジュール用自動温度制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7194093A JPH0923035A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Ｌｄモジュール用自動温度制御回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0923035A true JPH0923035A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=16318838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7194093A Pending JPH0923035A (ja) | 1995-07-07 | 1995-07-07 | Ｌｄモジュール用自動温度制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0923035A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005209759A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ加熱装置およびレーザ加工機 |
| JP2007043163A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Heidelberger Druckmas Ag | 印刷版露光器におけるレーザモジュールの温度調整装置 |
| JP2013124935A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Nec Fielding Ltd | ストレステストシステムおよびその方法、ストレステスト制御装置およびその制御方法と制御プログラム、冷却加熱装置、および、テストプログラム |
-
1995
- 1995-07-07 JP JP7194093A patent/JPH0923035A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005209759A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ加熱装置およびレーザ加工機 |
| JP2007043163A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Heidelberger Druckmas Ag | 印刷版露光器におけるレーザモジュールの温度調整装置 |
| JP2013124935A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Nec Fielding Ltd | ストレステストシステムおよびその方法、ストレステスト制御装置およびその制御方法と制御プログラム、冷却加熱装置、および、テストプログラム |
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