JPH09230299A - 液晶パネルの製造方法およびその装置 - Google Patents
液晶パネルの製造方法およびその装置Info
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- JPH09230299A JPH09230299A JP3524496A JP3524496A JPH09230299A JP H09230299 A JPH09230299 A JP H09230299A JP 3524496 A JP3524496 A JP 3524496A JP 3524496 A JP3524496 A JP 3524496A JP H09230299 A JPH09230299 A JP H09230299A
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 基板と、多数個の製品サイズに合わせて
シール剤が形成された対向基板、あるいは製品サイズに
作られた多数個の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶
を封入する構造を形成する液晶表示パネルの製造装置に
おいて、テーブル１上にセットした液晶表示パネルにあ
わせて、独立した加圧治具３を設け、レギュレータ６を
介した流路により加圧治具３を制御し、加圧室７で加圧
力を保持して、製品基板２に圧力を加える。 【効果】 同一面内の各製品部に対して指定値で圧着で
きるという加圧制御が可能であるとともに、ある一部の
影響によって、全体もしくは周辺の加圧状態が影響を受
けることがなく、常に製品に同じ圧着条件を与えること
ができる。
シール剤が形成された対向基板、あるいは製品サイズに
作られた多数個の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶
を封入する構造を形成する液晶表示パネルの製造装置に
おいて、テーブル１上にセットした液晶表示パネルにあ
わせて、独立した加圧治具３を設け、レギュレータ６を
介した流路により加圧治具３を制御し、加圧室７で加圧
力を保持して、製品基板２に圧力を加える。 【効果】 同一面内の各製品部に対して指定値で圧着で
きるという加圧制御が可能であるとともに、ある一部の
影響によって、全体もしくは周辺の加圧状態が影響を受
けることがなく、常に製品に同じ圧着条件を与えること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
製造において、液晶を封入する構造を形成するために、
基板と対向基板を圧着する方法およびその装置に関する
ものである。
製造において、液晶を封入する構造を形成するために、
基板と対向基板を圧着する方法およびその装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの製造においては、液晶
を封入する構造を形成するために、基板と対向基板を貼
り合わせ、圧力を加えながら周辺のシール剤を硬化させ
る圧着工程が存在する。現在の液晶表示パネルは、生産
性を向上させるために、１枚の大型の基板と１枚の大型
の対向基板のなかで、図８に示すように多数個の製品が
一度にとれるようにシールを形成し、圧着を行う構造を
持つものと、１枚の大型基板にあらかじめ製品のサイズ
に切り出した対向基板を多数個並べて圧着を行う構造を
持つものが存在するが、いずれの構造においても、基板
と対向基板によって、基板間隙が形成されるものであ
る。この基板の間隙は、重要なパラメータであり、例え
ば、ばらつきが生じていると、液晶封入後に表示ムラな
ど不良要因を発生させるなど表示品質に大きな影響を引
き起こすため、圧着工程において基板間隙を制御する必
要が生じる。
を封入する構造を形成するために、基板と対向基板を貼
り合わせ、圧力を加えながら周辺のシール剤を硬化させ
る圧着工程が存在する。現在の液晶表示パネルは、生産
性を向上させるために、１枚の大型の基板と１枚の大型
の対向基板のなかで、図８に示すように多数個の製品が
一度にとれるようにシールを形成し、圧着を行う構造を
持つものと、１枚の大型基板にあらかじめ製品のサイズ
に切り出した対向基板を多数個並べて圧着を行う構造を
持つものが存在するが、いずれの構造においても、基板
と対向基板によって、基板間隙が形成されるものであ
る。この基板の間隙は、重要なパラメータであり、例え
ば、ばらつきが生じていると、液晶封入後に表示ムラな
ど不良要因を発生させるなど表示品質に大きな影響を引
き起こすため、圧着工程において基板間隙を制御する必
要が生じる。
【０００３】従来の圧着方法の一例を図７に示す。テー
ブル１と、圧力を加えるためにシリンダー１５のついた
上側板１６から成り立っている。テーブル１と上側板１
６の間に製品基板２をセットし、シリンダー１５によっ
て上側板１６を下降させて圧力を加えて圧着を行う。こ
の時に基板間隙の形成状態を支配しているものは、圧力
付加状態に依存する。つまり、基板製品に与える圧力付
加状態のばらつきが、基板間隙の形成状態をばらつかせ
る。このため、圧着方法には、均一に圧力を加えること
が求められる。このため、前記の圧着機のテーブル１と
上側板１６には、少なくとも、数ミクロン程度の平坦度
と平行度が必要となる。さらに、圧着機側の問題だけで
はなく、ガラス基板の平坦度などの物性、スペーサなど
の内部構成物の分布状態や物性などにも均一性が求めら
れる。特に、１枚のガラス基板に多数個の対向基板を並
べて圧着を行う構造を持つ液晶表示パネルには、前記の
要因に加えて、それぞれの対向基板の厚さの均一性が求
められる。
ブル１と、圧力を加えるためにシリンダー１５のついた
上側板１６から成り立っている。テーブル１と上側板１
６の間に製品基板２をセットし、シリンダー１５によっ
て上側板１６を下降させて圧力を加えて圧着を行う。こ
の時に基板間隙の形成状態を支配しているものは、圧力
付加状態に依存する。つまり、基板製品に与える圧力付
加状態のばらつきが、基板間隙の形成状態をばらつかせ
る。このため、圧着方法には、均一に圧力を加えること
が求められる。このため、前記の圧着機のテーブル１と
上側板１６には、少なくとも、数ミクロン程度の平坦度
と平行度が必要となる。さらに、圧着機側の問題だけで
はなく、ガラス基板の平坦度などの物性、スペーサなど
の内部構成物の分布状態や物性などにも均一性が求めら
れる。特に、１枚のガラス基板に多数個の対向基板を並
べて圧着を行う構造を持つ液晶表示パネルには、前記の
要因に加えて、それぞれの対向基板の厚さの均一性が求
められる。
【０００４】この対策方法として、特開平６−３６３２
号公報の２頁４５行から５０行に開示されているように
製品基板の少なくとも片面に緩衝材を入れる方法や、特
開平６−１９４６１８号公報の３頁２４行から３４行に
開示されているような圧着体の両面に同一流体を流して
流体圧により非接触で圧着する方法、特開平５−３４６
５３号公報の２頁１９行から２７行に開示されているよ
うな基板重合体の上下に真空パッキングを介して基板重
合体間の排気により圧着する方法などが用いられている
が、これら従来の１組の上下板によって加圧する方法で
は、１つのばらつきの影響が全体の圧力付加状態に影響
を及ぼすことから十分とはいえない。とくに、多数個の
製品を１枚の基板から取り出す構造をもつ液晶表示パネ
ルでは、ある一つの製品部分のばらつき要因がすべての
製品部分の圧力付加状態をばらつかせることになり、製
品基板すべての製品の歩留まり状態を左右してしまうた
め、大きな課題となっていた。
号公報の２頁４５行から５０行に開示されているように
製品基板の少なくとも片面に緩衝材を入れる方法や、特
開平６−１９４６１８号公報の３頁２４行から３４行に
開示されているような圧着体の両面に同一流体を流して
流体圧により非接触で圧着する方法、特開平５−３４６
５３号公報の２頁１９行から２７行に開示されているよ
うな基板重合体の上下に真空パッキングを介して基板重
合体間の排気により圧着する方法などが用いられている
が、これら従来の１組の上下板によって加圧する方法で
は、１つのばらつきの影響が全体の圧力付加状態に影響
を及ぼすことから十分とはいえない。とくに、多数個の
製品を１枚の基板から取り出す構造をもつ液晶表示パネ
ルでは、ある一つの製品部分のばらつき要因がすべての
製品部分の圧力付加状態をばらつかせることになり、製
品基板すべての製品の歩留まり状態を左右してしまうた
め、大きな課題となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の圧着法に
あっては、１枚の基板と１枚の対向基板を貼り合わせる
場合において、全体を均一に加圧する機構が用いられて
いるが、この方式では同一面内の各製品部に合わせた加
圧制御を行うことができないことや、ある一部の影響に
よって全体もしくは周辺の加圧状態が変化することが生
じ、各製品によって圧着後の製品状態が異なってくると
いう課題があった。
あっては、１枚の基板と１枚の対向基板を貼り合わせる
場合において、全体を均一に加圧する機構が用いられて
いるが、この方式では同一面内の各製品部に合わせた加
圧制御を行うことができないことや、ある一部の影響に
よって全体もしくは周辺の加圧状態が変化することが生
じ、各製品によって圧着後の製品状態が異なってくると
いう課題があった。
【０００６】そこで、本発明は、液晶表示パネルにおい
て、１枚の基板と多数個の製品サイズに合わせてシール
剤が形成された１枚の対向基板、あるいは１枚の基板と
製品サイズに作られた多数個の対向基板に対して、製品
サイズに合わせて独立した加圧機構を設けることによ
り、周辺の影響を受けることなく製品箇所に対して指定
した圧力値で圧着を行うこと、また、圧着前の状態、例
えば、ギャップ材の散布状況を事前に把握して、それぞ
れの製品部分にあった圧力値を同一面内の各々の圧力治
具に独立した圧力を与えることができる製造方法および
装置を提供することを目的としている。
て、１枚の基板と多数個の製品サイズに合わせてシール
剤が形成された１枚の対向基板、あるいは１枚の基板と
製品サイズに作られた多数個の対向基板に対して、製品
サイズに合わせて独立した加圧機構を設けることによ
り、周辺の影響を受けることなく製品箇所に対して指定
した圧力値で圧着を行うこと、また、圧着前の状態、例
えば、ギャップ材の散布状況を事前に把握して、それぞ
れの製品部分にあった圧力値を同一面内の各々の圧力治
具に独立した圧力を与えることができる製造方法および
装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の液晶パネルの製造方法およびその装置は以
下の特徴を有する。
に、本発明の液晶パネルの製造方法およびその装置は以
下の特徴を有する。
【０００８】請求項１記載の液晶パネルの製造方法は、
基板と、多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成
された対向基板、あるいは製品サイズに作られた多数個
の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶を封入する構造
を形成する液晶表示パネルの製造方法において、製品サ
イズに合わせた独立した加圧機構により基板と対向基板
に加圧することを特徴とする。
基板と、多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成
された対向基板、あるいは製品サイズに作られた多数個
の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶を封入する構造
を形成する液晶表示パネルの製造方法において、製品サ
イズに合わせた独立した加圧機構により基板と対向基板
に加圧することを特徴とする。
【０００９】請求項２記載の液晶パネルの製造装置は、
基板と、多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成
された対向基板、あるいは製品サイズに作られた多数個
の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶を封入する構造
を形成する液晶表示パネルの製造装置において、製品基
板サイズに合わせた独立した加圧機構を有し、加圧機構
は、流路、加圧治具、加圧治具を制御するためのレギュ
レータ、加圧力を保持する加圧室からなることを特徴と
する。
基板と、多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成
された対向基板、あるいは製品サイズに作られた多数個
の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶を封入する構造
を形成する液晶表示パネルの製造装置において、製品基
板サイズに合わせた独立した加圧機構を有し、加圧機構
は、流路、加圧治具、加圧治具を制御するためのレギュ
レータ、加圧力を保持する加圧室からなることを特徴と
する。
【００１０】請求項３記載の液晶パネルの製造装置は、
請求項２記載の特徴に加え、加圧治具が、製品基板との
接触部側に空洞、あるいは空洞部と複数の穴、あるいは
風船部を有していて、加圧治具内に、レギュレータを介
して流体圧力によって製品基板に圧力を伝達させるため
の流路が設けてあることを特徴とし、請求項４記載の製
造装置は、その加圧治具が製造装置にバネ材で固定され
ていることを特徴とする。
請求項２記載の特徴に加え、加圧治具が、製品基板との
接触部側に空洞、あるいは空洞部と複数の穴、あるいは
風船部を有していて、加圧治具内に、レギュレータを介
して流体圧力によって製品基板に圧力を伝達させるため
の流路が設けてあることを特徴とし、請求項４記載の製
造装置は、その加圧治具が製造装置にバネ材で固定され
ていることを特徴とする。
【００１１】請求項５および６記載の製造装置は、請求
項２および３記載の特徴に加え、加圧治具の上部に多数
個の製品数と同数の風船部あるいはシリンダを設け、製
品に対して加圧治具をそれぞれに独立した圧力値でレギ
ュレータを介して圧力治具に圧力を伝えられることを特
徴とする。
項２および３記載の特徴に加え、加圧治具の上部に多数
個の製品数と同数の風船部あるいはシリンダを設け、製
品に対して加圧治具をそれぞれに独立した圧力値でレギ
ュレータを介して圧力治具に圧力を伝えられることを特
徴とする。
【００１２】
【作用】本発明によれば、独立した加圧機構をもたせる
ことにより、１枚の基板に対して、一度に同一製品面内
にある各製品部に対して周囲の影響を受けることなく指
定した加圧力を加えることができる。
ことにより、１枚の基板に対して、一度に同一製品面内
にある各製品部に対して周囲の影響を受けることなく指
定した加圧力を加えることができる。
【００１３】また、圧着前に得られるデータ（例えば、
各製品部におけるギャップ材の散布状態）を処理するこ
とによって最適値を算出し、各製品部それぞれに異なっ
た加圧力をあたえることができる。
各製品部におけるギャップ材の散布状態）を処理するこ
とによって最適値を算出し、各製品部それぞれに異なっ
た加圧力をあたえることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明における好適な例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１５】図１は、本発明の液晶パネル製造装置の圧
着機構の好適な一例を示す断面図である。テーブル１上
に、基板と、製品サイズにシール剤が塗布された対向基
板、もしくは製品サイズにあらかじめ作成された多数個
の対向基板が貼り合わされた製品基板２をセットする。
製品サイズにあわせて作成された加圧治具３は一つ一つ
の製品部分に対応した位置にあわせて独立しており、バ
ネ４を介して装置外枠５によって保持されている。
着機構の好適な一例を示す断面図である。テーブル１上
に、基板と、製品サイズにシール剤が塗布された対向基
板、もしくは製品サイズにあらかじめ作成された多数個
の対向基板が貼り合わされた製品基板２をセットする。
製品サイズにあわせて作成された加圧治具３は一つ一つ
の製品部分に対応した位置にあわせて独立しており、バ
ネ４を介して装置外枠５によって保持されている。
【００１６】加圧の機構としては、製品基板２に与える
圧着圧力を加圧治具３、製品サイズに対応させた値に換
算して加圧室内圧力を決定した後その圧力値までレギュ
レータ６を通して加圧室７内に流体、例えば、圧縮空
気、窒素などを導入する。この流体は加圧室７に閉じこ
められるため、パスカルの定理に基づき、圧力を全体に
伝達する。その際に加圧治具３上面に圧力がかかること
になり、加圧治具３が下がり、製品基板２に直接あるい
は緩衝材、例えば、紙やプラスチックフィルムを介して
圧力を伝達し加圧を行う。
圧着圧力を加圧治具３、製品サイズに対応させた値に換
算して加圧室内圧力を決定した後その圧力値までレギュ
レータ６を通して加圧室７内に流体、例えば、圧縮空
気、窒素などを導入する。この流体は加圧室７に閉じこ
められるため、パスカルの定理に基づき、圧力を全体に
伝達する。その際に加圧治具３上面に圧力がかかること
になり、加圧治具３が下がり、製品基板２に直接あるい
は緩衝材、例えば、紙やプラスチックフィルムを介して
圧力を伝達し加圧を行う。
【００１７】圧着が完了した際には、加圧室７から流体
を外部に排出し、加圧治具３はバネ４によって元の位置
に引き戻される。
を外部に排出し、加圧治具３はバネ４によって元の位置
に引き戻される。
【００１８】図２・図３・図４に、それぞれ別の実施例
の加圧治具機構の断面図を示す。
の加圧治具機構の断面図を示す。
【００１９】図２の加圧治具の構造は、製品基板２との
接触部側に空洞を設けた加圧治具８をバネ４を介して装
置外枠５に取り付けたものである。加圧の機構として図
１の説明に従い、加圧室７内に流体を導入し、加圧治具
８に圧力を伝達させる。製品基板２に加圧治具８の底面
が接した状態、つまり、製品基板２の製品部周辺を加圧
しつつ、導入口９から流体を導入し、この導入圧力によ
り製品基板２の製品部内部に圧力を加え圧着を行う。
接触部側に空洞を設けた加圧治具８をバネ４を介して装
置外枠５に取り付けたものである。加圧の機構として図
１の説明に従い、加圧室７内に流体を導入し、加圧治具
８に圧力を伝達させる。製品基板２に加圧治具８の底面
が接した状態、つまり、製品基板２の製品部周辺を加圧
しつつ、導入口９から流体を導入し、この導入圧力によ
り製品基板２の製品部内部に圧力を加え圧着を行う。
【００２０】図３の加圧治具の構造は、製品基板２との
接触部側に空洞部とさらに多数の穴を設けた加圧治具１
０をバネ４を介して装置外枠５に取り付けたものであ
る。加圧機構として上記に従い、加圧室７内に流体を導
入し、加圧治具１０に圧力を伝達させる。圧着開始から
終了までの間、導入口９から流体を導入し、この加圧治
具１０と製品基板２に流体層を形成し、非接触で製品基
板２に圧力を加え圧着を行う。
接触部側に空洞部とさらに多数の穴を設けた加圧治具１
０をバネ４を介して装置外枠５に取り付けたものであ
る。加圧機構として上記に従い、加圧室７内に流体を導
入し、加圧治具１０に圧力を伝達させる。圧着開始から
終了までの間、導入口９から流体を導入し、この加圧治
具１０と製品基板２に流体層を形成し、非接触で製品基
板２に圧力を加え圧着を行う。
【００２１】図４の加圧治具の構造は、製品基板２との
接触部側に風船部１２を設けた加圧治具１１をバネ４を
介して装置外枠５に取り付けてある。加圧機構として上
記に従い、加圧室７内に流体を導入し、加圧治具１１に
圧力を伝達させる。圧着開始から終了までの間、導入口
９から流体を導入し風船１２内部に圧力を与え、この加
圧治具１１に設けられた風船１２を製品基板２に接触さ
せることによって圧力を加え圧着を行う。
接触部側に風船部１２を設けた加圧治具１１をバネ４を
介して装置外枠５に取り付けてある。加圧機構として上
記に従い、加圧室７内に流体を導入し、加圧治具１１に
圧力を伝達させる。圧着開始から終了までの間、導入口
９から流体を導入し風船１２内部に圧力を与え、この加
圧治具１１に設けられた風船１２を製品基板２に接触さ
せることによって圧力を加え圧着を行う。
【００２２】図５に、液晶パネル製造装置の他の実施例
の機構断面図を示す。図１で用いたバネ４を外し、装置
外枠５にそれぞれの加圧治具３、８、１０、１１を取り
付けて風船１３を設け、レギュレータ６を介して流体を
導入させ、加圧治具３、８、１０、１１に圧力を付加さ
せる。
の機構断面図を示す。図１で用いたバネ４を外し、装置
外枠５にそれぞれの加圧治具３、８、１０、１１を取り
付けて風船１３を設け、レギュレータ６を介して流体を
導入させ、加圧治具３、８、１０、１１に圧力を付加さ
せる。
【００２３】また、他の実施例の機構断面図を示した図
６では、図１で用いたバネ４を外し、加圧治具３、８、
９、１０、１１をシリンダー１４に取り付け、シリンダ
ーを上下動させることによって圧着を行う。
６では、図１で用いたバネ４を外し、加圧治具３、８、
９、１０、１１をシリンダー１４に取り付け、シリンダ
ーを上下動させることによって圧着を行う。
【００２４】シール剤の硬化にあたっては、テーブル１
は、シール剤として熱硬化型接着剤を用いた場合にはヒ
ーター付きの金属板あるいはセラミック板、光硬化型接
着剤を用いる場合には、ガラス板で作成されたものを使
用しており、シール剤の硬化プロファイルに従い、ヒー
タもしくは光源を作用させる。
は、シール剤として熱硬化型接着剤を用いた場合にはヒ
ーター付きの金属板あるいはセラミック板、光硬化型接
着剤を用いる場合には、ガラス板で作成されたものを使
用しており、シール剤の硬化プロファイルに従い、ヒー
タもしくは光源を作用させる。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果をそうする。
ているので、以下に記載されるような効果をそうする。
【００２６】本発明の圧着装置においては、１枚の基板
と多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成された
１枚の対向基板、あるいは１枚の基板と製品サイズに作
られた多数個の対向基板に対して製品サイズに合わせて
独立した加圧機構を設けたものであるため、周辺の影響
を受けることなく製品箇所に対して指定した圧力値で圧
着を行うことが出来る。
と多数個の製品サイズに合わせてシール剤が形成された
１枚の対向基板、あるいは１枚の基板と製品サイズに作
られた多数個の対向基板に対して製品サイズに合わせて
独立した加圧機構を設けたものであるため、周辺の影響
を受けることなく製品箇所に対して指定した圧力値で圧
着を行うことが出来る。
【００２７】また、圧着前に得られるデータ（例えば、
各製品部におけるギャップ材の散布状態）を処理するこ
とによって最適値を算出し、各製品部それぞれに異なっ
た加圧力をあたえることができる。
各製品部におけるギャップ材の散布状態）を処理するこ
とによって最適値を算出し、各製品部それぞれに異なっ
た加圧力をあたえることができる。
【００２８】よって、本発明を用いることにより、液晶
パネルの表示品質を左右する基板間隙が各製品部の制御
ができ、歩留まりを高める効果が現れる。
パネルの表示品質を左右する基板間隙が各製品部の制御
ができ、歩留まりを高める効果が現れる。
【図１】本発明における一実施例の圧着機の断面図であ
る。
る。
【図２】本発明における一実施例の加圧治具の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】本発明における一実施例の加圧治具の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図４】本発明における一実施例の加圧治具の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】本発明における一実施例の加圧方式の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図６】本発明における一実施例の加圧方式の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図７】従来の製造装置を示す断面図である。
【図８】液晶パネルのシール形成方法を示す図である。
１ テーブル ２ 製品基板 ３，８，１０，１１ 加圧治具 ４ バネ ５ 装置外枠 ６ レギュレータ ７ 加圧室 ９ 導入口 １２，１３ 風船 １４，１５ シリンダー １６ 上側板
Claims (6)
- 【請求項１】 基板と、多数個の製品サイズに合わせて
シール剤が形成された対向基板、あるいは製品サイズに
作られた多数個の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶
を封入する構造を形成する液晶表示パネルの製造方法に
おいて、製品サイズに合わせた独立した加圧機構により
基板と対向基板に加圧することを特徴とする液晶パネル
の製造方法。 - 【請求項２】 基板と、多数個の製品サイズに合わせて
シール剤が形成された対向基板、あるいは製品サイズに
作られた多数個の対向基板を貼り合わせ、加圧して液晶
を封入する構造を形成する液晶表示パネルの製造装置に
おいて、製品基板サイズに合わせた独立した加圧機構を
有し、該加圧機構が、流路、加圧治具、加圧治具を制御
するためのレギュレータ、加圧力を保持する加圧室から
なることを特徴とする液晶パネルの製造装置。 - 【請求項３】 前記加圧治具は、製品基板との接触部側
に空洞、あるいは空洞部と複数の穴、あるいは風船部を
有しており、加圧治具内に、レギュレータを介して流体
圧力によって製品基板に圧力を伝達させるための流路を
設けることを特徴とする請求項２記載の液晶パネルの製
造装置。 - 【請求項４】 前記加圧治具は、製造装置にバネ材で固
定されていることを特徴とする請求項２または３記載の
液晶パネルの製造装置。 - 【請求項５】 前記加圧治具は、上部に多数個の製品数
と同数の風船部を設けてあり、製品に対して加圧治具を
それぞれに独立した圧力値でレギュレータを介して圧力
治具に圧力を伝えられることを特徴とする請求項２また
は３記載の液晶パネルの製造装置。 - 【請求項６】 前記加圧治具は、多数個の製品数と同数
のシリンダを設けてあり、製品に対して加圧治具をそれ
ぞれ独立した圧力値で圧力治具に圧力を伝えられること
を特徴とする請求項２または３記載の液晶パネルの製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3524496A JPH09230299A (ja) | 1996-02-22 | 1996-02-22 | 液晶パネルの製造方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3524496A JPH09230299A (ja) | 1996-02-22 | 1996-02-22 | 液晶パネルの製造方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09230299A true JPH09230299A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12436434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3524496A Pending JPH09230299A (ja) | 1996-02-22 | 1996-02-22 | 液晶パネルの製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09230299A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007041416A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ方法 |
-
1996
- 1996-02-22 JP JP3524496A patent/JPH09230299A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007041416A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ方法 |
| JP4723946B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2011-07-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ方法 |
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