JPH09229657A - 波形処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 時系列に入力されるアナログ信号の波形の所
定部分のレベルまたは時間軸上の位置を容易にかつ高精
度で検出することができる波形処理装置を提供すること
である。 【解決手段】 トリガ処理部は、被検出体の測定時にア
ナログ入出力回路から出力されるデータを波形データと
してデータ用メモリに取り込む。データ処理部は、設定
値用メモリに記憶された設定値に基づいてデータ範囲の
開始点Ｘ０を基準とする第１の計測期間Ｔ１を設定し、
第１の計測期間Ｔ１において検出レベルＶ１に一致する
波形データの位置をエッジＥ１の位置として検出する。
次に、データ処理部は、設定値用メモリに記憶された設
定値に基づいてエッジＥ１の位置を基準とする第２の計
測期間Ｔ２を設定し、第２の計測期間Ｔ２における波形
データのレベルの平均値ＡＶ０を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、時系列に入力され
るアナログ信号の波形を処理する波形処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】種々の物体の形状および寸法を測定する
ために変位計が用いられている。例えば、図１３に示す
ように、搬送ライン１００の上方に変位計１０２を配置
し、搬送ライン１００上を移動する被検出体１０１に光
を照射するとともに、その反射光を受光する。変位計１
０２の出力信号は、被検出体１０１の外形に対応する波
形を有する。したがって、その出力信号の波形に基づい
て被検出体１０１の形状および寸法を測定することがで
きる。

【０００３】図１４（ａ）に変位計１０２の出力信号の
波形を示す。図において、横軸は時間を表わし、縦軸は
信号レベルを表わす。図１４（ａ）に示す波形は、図１
３の被検出体１０１の外形に対応している。この波形に
おける各エッジ（波形の立ち上がり部分または立ち下が
り部分）の時間軸上の位置および各部分の信号レベルを
検出することにより被検出体１０１の各部分の寸法を測
定することができる。例えば、波形の信号レベルを検出
することにより被検出体１０１の高さを測定することが
でき、波形のエッジ間の間隔を検出することにより被検
出体１０１の幅を測定することができる。

【０００４】また図１５（ａ）に示すような波形が得ら
れた場合、即ち線分Ｃ１とＣ３において段差がある場
合、その段差の位置つまりエッジに相当する点を演算し
たい場合がある。図１５の場合、Ｃ１とＣ３の間に有限
の傾きを持つ線分Ｃ２があるため、厳密にその段差の位
置を演算することができない。

【０００５】このような段差の位置に変わるものとして
従来より線分Ｃ１およびＣ２仮想的な交点の演算がなさ
れている。この交点の位置（この位置は近似的に変曲点
と呼ばれている。）の演算には、図１５（ａ）の波形を
微分し（図１５（ｂ））、所定のレベルＶと交差する位
置Ｐを変曲点として演算する方法や、図１６（ａ）に示
すように線分Ｃ１と線分Ｃ２上にＡ１、Ａ２およびＢ
１、Ｂ２を通る直線ｌ１、ｌ２をそれぞれ設定し、その
交点を変曲点の位置Ｐとする方法が従来より用いられて
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１４
（ｂ）に破線で示すように、変位計１０２の出力信号を
取り込むタイミングが時間軸方向にずれると、被検出体
１０１の所定の部分の寸法を正確に測定することができ
ない。そのため、従来は、例えば、タイミング信号ＴＩ
Ｍを用いて信号レベルの検出タイミングを制御すること
により、波形の部分の信号レベルを検出している。

【０００７】一方、搬送ライン１００の上面の高さにば
らつきがあると、図１４（ｃ）に破線で示すように、出
力信号の波形の信号レベルが上下にずれることになる。
また、搬送ライン１００の上面が湾曲または傾斜してい
ると、図１４（ｄ）に破線で示すように、出力信号の波
形が傾くことになる。このような場合には、被検出体１
０１の形状や寸法を正確に測定することができない。そ
のため、搬送ライン１００を高精度で作製する必要があ
る。

【０００８】また、図１５（ａ）に示すような波形の変
曲点を算出する際、図１５（ａ）の波形の微分波形は図
１５（ｂ）に示すようなものではなく、図１５（ｃ）の
ようにノイズが重畳したものになり、所定のレベルＶと
交差する位置を特定することが困難である。

【０００９】また、図１６（ａ）に示すような方法で波
形の変曲点を算出する際、点Ａ１，Ａ２および、点Ｂ
１，Ｂ２の設定により直線ｌ１，ｌ２の傾きが変化する
ので交点Ｐの位置に誤差を生じやすいという問題があ
る。この誤差を軽減するためにより正確に直線を決定す
るためにはデータの処理量が多くなり、高速に波形を処
理できないという問題もある。

【００１０】本発明の目的は、時系列に入力されるアナ
ログ信号の波形の所定部分のレベルまたは時間軸上の位
置を容易、高精度かつ高速に検出することができる波形
処理装置を提供することである。

【００１１】本発明の他の目的は、時系列で入力される
アナログ信号の波形の傾きを容易に補正することができ
る波形処理装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段および発明の効果】

（１）第１の発明 第１の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、第１の設定手段、エッジ検出手段、第２の設定手段
およびレベル検出手段を備える。

【００１３】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。第１の設定手段は、記
憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上の所定
範囲を設定する。エッジ検出手段は、第１の設定手段に
より設定された所定範囲内において波形データのエッジ
の時間軸上の位置を検出する。第２の設定手段は、エッ
ジ検出手段により検出されたエッジの時間軸上の位置を
基準として波形データにおける所定部分を設定する。レ
ベル検出手段は、第２の設定手段により設定された所定
部分における波形データのレベルを検出する。

【００１４】第１の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定範囲が設定
され、その範囲内において波形データのエッジの時間軸
上の位置が検出される。そして、エッジの時間軸上の位
置を基準として波形データにおける所定部分が設定さ
れ、その所定部分における波形データのレベルが検出さ
れる。

【００１５】このように、波形データのエッジの位置を
基準としてその波形データの所定部分が設定されるの
で、波形データが時間軸方向にずれても、そのずれが所
定範囲内であれば、波形データの所定部分におけるレベ
ルを正確に測定することができる。したがって、時系列
で入力されるアナログ信号の波形におけるエッジの時間
軸上の位置を容易にかつ高精度に検出することが可能と
なる。

【００１６】（２）第２の発明 第２の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、第１の設定手段、レベル検出手段、第２の設定手段
およびエッジ検出手段を備える。

【００１７】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。第１の設定手段は、記
憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上の第１
および第２の部分を設定する。レベル検出手段は、第１
の設定手段により設定された第１および第２の部分にお
ける波形データのレベルをそれぞれ第１および第２のレ
ベルとして検出する。第２の設定手段は、レベル検出手
段により設定された第１および第２のレベルに基づいて
検出レベルを設定する。エッジ検出手段は、第２の設定
手段により設定された検出レベルに基づいて波形データ
におけるエッジの時間軸上の位置を検出する。

【００１８】第２の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の第１および第２
の部分が設定され、それらの第１および第２の部分にお
ける波形データのレベルがそれぞれ第１および第２のレ
ベルとして検出される。そして、第１および第２のレベ
ルに基づいて検出レベルが設定され、その検出レベルに
基づいて波形データにおけるエッジの時間軸上の位置が
検出される。

【００１９】このように、波形データの第１および第２
の部分のレベルに基づいて検出レベルが設定されるの
で、波形データのレベルが上下方向にずれても、その波
形データにおけるエッジの時間軸上の位置を正確に測定
することができる。したがって、時系列で入力されるア
ナログ信号の波形におけるエッジの時間軸上の位置を容
易にかつ高精度に検出することが可能となる。

【００２０】（３）第３の発明 第３の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、第１の設定手段、レベル検出手段、第２の設定手段
およびエッジ検出手段を備える。

【００２１】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。第１の設定手段は、記
憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上の所定
部分を設定する。レベル検出手段は、第１の設定手段に
より設定された所定部分における波形データのレベルを
検出する。第２の設定手段は、レベル検出手段により検
出されたレベルを基準として検出レベルを設定する。エ
ッジ検出手段は、第２の設定手段により設定された検出
レベルに基づいて波形データにおけるエッジの時間軸上
の位置を検出する。

【００２２】第３の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定部分が設定
され、その所定部分における波形データのレベルが検出
される。そして、検出されたレベルを基準として検出レ
ベルが設定され、その検出レベルに基づいて波形データ
におけるエッジの時間軸上の位置が検出される。

【００２３】このように、波形データの所定部分のレベ
ルを基準として検出レベルが設定されるので、波形デー
タのレベルが上下方向にずれても、その波形データにお
けるエッジの時間軸上の位置を正確に測定することがで
きる。したがって、時系列で入力されるアナログ信号の
波形におけるエッジの時間軸上の位置を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００２４】（４）第４の発明 第４の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、設定手段、微分値算出手段および変曲点検出手段を
備える。

【００２５】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。設定手段は、記憶手段
に記憶された波形データにおける時間軸上の所定範囲を
設定する。微分値算出手段は、設定手段により設定され
た所定範囲内における波形データの微分値を算出する。
変曲点算出手段は、微分値算出手段により算出された微
分値に基づいて波形データにおける変曲点を検出する。

【００２６】第４の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定範囲が設定
される。そして、所定範囲内において波形データの微分
値が算出され、その微分値に基づいて波形データにおけ
る変曲点が検出される。

【００２７】このように、波形データの微分値に基づい
て変曲点が検出されるので、波形データが時間軸方向に
ずれても、また波形データのレベルが上下方向にずれて
も、波形データにおける変曲点を正確に測定することが
できる。したがって、時系列で入力されるアナログ信号
の波形における変曲点を容易にかつ高精度に検出するこ
とが可能となる。

【００２８】（５）第５の発明 第５の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、設定手段、差分波形算出手段および最大部分検出手
段を備える。

【００２９】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。設定手段は、記憶手段
に記憶された波形データにおける時間軸上の所定範囲を
設定する。差分波形算出手段は、設定手段により設定さ
れた所定範囲内における波形データと所定の基準波形デ
ータとの差分を表わす差分波形データを算出する。最大
部分検出手段は、差分波形算出手段により算出された差
分波形データにおける最大部分を検出する。

【００３０】第５の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定範囲が設定
される。そして、その所定範囲内における波形データと
所定の基準波形データとの差分を表わす差分波形データ
が算出され、その差分波形データにおける最大部分が検
出される。

【００３１】このように、波形データと所定の基準波形
データとの差分を表わす差分波形データにおける最大部
分が算出されるので、波形データのレベルが上下方向に
ずれても、その波形データにおける最大部分を正確に測
定することができる。したがって、時系列で入力される
アナログ信号の波形における最大部分を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００３２】（６）第６の発明 第６の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、設定手段、差分波形算出手段および最小部分検出手
段を備える。

【００３３】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。設定手段は、記憶手段
に記憶された波形データにおける時間軸上の所定範囲を
設定する。差分波形算出手段は、設定手段により設定さ
れた所定範囲内における波形データと所定の基準波形デ
ータとの差分を表わす差分波形データを算出する。最小
部分検出手段は、差分波形算出手段により算出された差
分波形データにおける最小部分を検出する。

【００３４】第６の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定範囲が設定
される。そして、その所定範囲内における波形データと
所定の基準波形データとの差分を表わす差分波形データ
が算出され、その差分波形データにおける最小部分が検
出される。

【００３５】このように、波形データと所定の基準波形
データとの差分を表わす差分波形データにおける最小部
分が算出されるので、波形データのレベルが上下方向に
ずれても、その波形データにおける最小部分を正確に測
定することができる。したがって、時系列で入力される
アナログ信号の波形における最小部分を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００３６】（７）第７の発明 第７の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、設定手段、差分波形算出手段、最大部分検出手段、
最小部分検出手段および差検出手段を備える。

【００３７】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。設定手段は、記憶手段
に記憶された波形データにおける時間軸上の所定範囲を
設定する。差分波形算出手段は、設定手段により設定さ
れた所定範囲内における波形データと所定の基準波形デ
ータとの差分を表わす差分波形データを算出する。最大
部分検出手段は、差分波形算出手段により算出された差
分波形データにおける最大部分を検出する。最小部分検
出手段は、差分波形算出手段により算出された差分波形
データにおける最小部分を検出する。差検出手段は、最
大部分検出手段により算出された最大部分と最小部分検
出手段により算出された最小部分との差を算出する。

【００３８】第７の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の所定範囲が設定
される。そして、その所定範囲内における波形データと
所定の基準波形データとの差分を表わす差分波形データ
が算出され、その差分波形データにおける最大部分およ
び最小部分が検出され、さらに最大部分と最小部分との
差が検出される。

【００３９】このように、波形データと所定の基準波形
データとの差分を表す差分波形データにおける最大部分
および最小部分が算出されるので、波形データのレベル
が上下方向にずれても、その波形データにおける最大部
分および最小部分を正確に測定することができ、さらに
最大部分と最小部分との差を正確に測定することができ
る。したがって、時系列で入力されるアナログ信号の波
形における最大部分と最小部分との差を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００４０】（８）第８の発明 第８の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、第１の設定手段、エッジ検出手段、第２の設定手段
および最大部分検出手段を備える。

【００４１】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。第１の設定手段は、記
憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上の第１
の範囲を設定する。エッジ検出手段は、第１の設定手段
により設定された第１の範囲内における波形データのエ
ッジの時間軸上の位置を検出する。第２の設定手段は、
エッジ検出手段により検出されたエッジの時間軸上の位
置を基準として波形データにおける時間軸上の第２の範
囲を設定する。最大部分検出手段は、第２の設定手段に
より設定された第２の範囲内における波形データの最大
部分を検出する。

【００４２】第８の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける第１の範囲が設定され、そ
の第１の範囲内におけるエッジの時間軸上の位置が検出
される。そして、エッジの時間軸上の位置を基準として
波形データにおける時間軸上の第２の範囲が設定され、
第２の範囲内における波形データの最大部分が検出され
る。

【００４３】このように、エッジの時間軸上の位置を基
準として第２の範囲が設定されるので、波形データが時
間軸方向にずれても、波形データの最大部分を正確に測
定することができる。したがって、時系列で入力される
アナログ信号の波形における最大部分を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００４４】（９）第９の発明 第９の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、第１の設定手段、エッジ検出手段、第２の設定手段
および最小部分検出手段を備える。

【００４５】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。第１の設定手段は、記
憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上の第１
の範囲を設定する。エッジ検出手段は、第１の設定手段
により設定された第１の範囲内における波形データのエ
ッジの時間軸上の位置を検出する。第２の設定手段は、
エッジ検出手段により検出されたエッジの時間軸上の位
置を基準として波形データにおける時間軸上の第２の範
囲を設定する。最小部分検出手段は、第２の設定手段に
より設定された第２の範囲内における波形データの最小
部分を検出する。

【００４６】第９の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける第１の範囲が設定され、そ
の第１の範囲内におけるエッジの時間軸上の位置が検出
される。そして、エッジの時間軸上の位置を基準として
波形データにおける時間軸上の第２の範囲が設定され、
第２の範囲内における波形データの最小部分が検出され
る。

【００４７】このように、エッジの時間軸上の位置を基
準として第２の範囲が設定されるので、波形データが時
間軸方向にずれても、波形データの最小部分を正確に測
定することができる。したがって、時系列で入力される
アナログ信号の波形における最小部分を容易にかつ高精
度に検出することが可能となる。

【００４８】（１０）第１０の発明 第１０の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、設定手段、レベル検出手段、傾き算出手段および傾
き補正手段を備える。

【００４９】入力手段はアナログ信号を時系列に入力す
る。記憶手段は、入力手段により入力されるアナログ信
号を波形データとして記憶する。設定手段は、記憶手段
に記憶された波形データにおける時間軸上の第１および
第２の部分を設定する。レベル検出手段は、設定手段に
より設定された第１および第２の部分における波形デー
タのレベルをそれぞれ第１および第２のレベルとして検
出する。傾き算出手段は、第１および第２の部分および
レベル検出手段により検出された第１および第２のレベ
ルに基づいて波形データの傾きを算出する。傾き補正手
段は、傾き算出手段により算出された傾きに基づいて記
憶手段に記憶される波形データの傾きを補正する。

【００５０】第１０の発明に係る波形処理装置において
は、入力されたアナログ信号が波形データとして記憶さ
れ、その波形データにおける時間軸上の第１および第２
の部分が設定され、それらの第１および第２の部分にお
ける波形データのレベルがそれぞれ第１および第２のレ
ベルとして検出される。そして、第１および第２の部分
ならびに第１および第２のレベルに基づいて波形データ
の傾きが算出され、算出された傾きに基づいて波形デー
タの傾きが補正される。

【００５１】したがって、時系列で入力されるアナログ
信号の波形が傾いている場合でも、記憶手段に記憶され
る波形データの傾きを容易に補正することができる。

【００５２】（１０）第１１の発明 第１１の発明に係る波形処理装置は、入力手段、記憶手
段、データ演算手段および最大値検出手段を備える。

【００５３】第１１の発明に係る波形処理装置は、入力
されたアナログ信号が波形データとして記憶され、その
波形データにおける第１および第２のデータが設定さ
れ、第１および第２のデータの間の各々の時間における
データと、第１および第２のデータを結ぶ直線上のデー
タとの差を逐次算出し、その差が最大となる時間を最大
値検出手段により検出し、その時間を第１および第２の
データの間の変曲点として演算する。

【００５４】したがって、時系列で入力されるアナログ
信号の波形データの特定の範囲内の変曲点を容易に算出
することができる。

【００５５】（１２）第１２の発明 第１２の発明に係る変位計は、被検出体の変位を検出し
てアナログ信号として出力する変位検出手段と、変位検
出手段から出力されるアナログ信号を受ける第１〜第１
１のいずれかの発明に係る波形処理装置とを備えるもの
である。

【００５６】第１２の発明に係る変位計においては、第
１〜第１１のいずれかの発明に係る波形処理装置が設け
られているので、変位計から出力されるアナログ信号の
波形の所定部分のレベルまたは時間軸上の位置を容易に
かつ高精度で検出することができ、または変位計から出
力されるアナログ信号の波形の傾きや変曲点を容易に補
正することができる。したがって、被検出体の傾きやず
れにかかわらず、被検出体の形状および寸法を正確に測
定することができる。

【００５７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例による波
形処理装置の構成を示すブロック図である。図１の波形
処理装置は、データ処理用ＣＰＵ（中央演算処理装置）
１、インタフェース用ＣＰＵ２、アナログ入出力回路
３、出力回路４、入力回路５、通信インタフェース６お
よび表示器７を備える。データ処理用ＣＰＵ１は、制御
部１１、トリガ処理部１２、データ処理部１３、データ
用メモリ１４、設定値用メモリ１５および判定処理部１
６を含む。インタフェース用ＣＰＵ２は、表示処理部２
１、表示用メモリ２２、タッチスイッチ入力部２３、入
力処理部２４および通信処理部２５を含む。

【００５８】アナログ入出力回路３は、１または複数の
変位計等のセンサから出力されるアナログ信号を時系列
に入力し、デジタルデータに変換する。制御部１１は、
アナログ入出力回路３により得られるデジタルデータに
関する演算処理を制御する。例えば、制御部１１は、２
つのセンサに対応するデジタルデータの加算処理または
減算処理を制御する。

【００５９】入力回路５は、外部から与えられるトリガ
信号および各種操作信号をそれぞれトリガ処理部１２お
よび入力処理部２４に入力する。トリガ処理部１２は、
入力回路５により入力されたトリガ信号またはアナログ
入出力回路３から出力されるデータのレベルに基づいて
アナログ入出力回路３から出力されるデータを波形デー
タとしてデータ用メモリ１４に取り込む。

【００６０】データ処理部１３は、データ用メモリ１４
に取り込まれた波形データに後述する各動作モードの処
理を行う。判定処理部１６は、後述する各動作モードで
得られた測定値が所定範囲内にあるか否かを判定する。
出力回路４は、判定処理部１６による判定結果を出力す
る。

【００６１】表示器７は、タッチスイッチが装着された
画面（タッチパネル）を有し、データ用メモリ１４に取
り込まれた波形データおよび測定値を表示する。表示処
理部２１は、データ処理用ＣＰＵ１から与えられた波形
データおよび制御信号に基づいて表示器７の表示処理を
行うとともに、表示用メモリ２２に表示用データを格納
する。タッチスイッチ入力部２３は、表示器７のタッチ
スイッチにより入力された各種操作信号および設定値を
それぞれデータ処理部１３および設定値用メモリ１５に
与える。

【００６２】入力処理部２４は、入力回路５により入力
された各種操作信号をデータ処理用ＣＰＵ１に与える。
通信処理部２５は、通信インタフェース６を介して通信
処理を行う。

【００６３】本実施例では、アナログ入出力回路３が入
力手段を構成し、データ用メモリ１４が記憶手段を構成
し、データ処理部１３および設定値用メモリ１５が、設
定手段、第１の設定手段、第２の設定手段、エッジ検出
手段、レベル検出手段、微分値算出手段、変曲点検出手
段、差分波形算出手段、最大部分検出手段、最小部分検
出手段、差算出手段、傾き算出手段、傾き補正手段、デ
ータ演算手段および最大値検出手段を構成する。

【００６４】次に、図２〜図９を参照しながら図１の波
形処理装置における動作モードを説明する。図２〜図９
はデータ用メモリ１４に取り込まれた波形データを示
し、横軸は時間を表わし、縦軸は信号レベルを表わす。
以下の説明では、変位計等のセンサによる被検出体の測
定時に、アナログ入出力回路３にそのセンサの出力信号
が時系列に入力されるものとする。

【００６５】図２は高さ測定モードを示す図である。こ
の高さ測定モードは、波形データのエッジの位置を基準
として所定部分のレベルを測定するものである。

【００６６】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜）、エッジ検出
のための検出レベルＶ１、エッジ位置を基準とした第２
の計測期間Ｔ２（位置Ｘ２〜Ｘ３）を予め表示器７のタ
ッチスイッチにより設定する。これらの第１の計測期間
Ｔ１、検出レベルＶ１および第２の計測期間Ｔ２は設定
値として設定値用メモリ１５に記憶される。

【００６７】被検出体の測定時には、トリガ処理部１２
がアナログ入出力回路３から出力されるデータを所定の
タイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に取
り込む。データ処理部１３は、設定値用メモリ１５に記
憶された設定値に基づいてデータ用メモリ１４における
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とする第１の計測期間Ｔ
１を設定し、その第１の計測期間Ｔ１において検出レベ
ルＶ１に一致する波形データの位置をエッジＥ１として
検出する。次に、設定値用メモリ１５に記憶された設定
値に基づいてエッジＥ１の位置を基準とする第２の計測
期間Ｔ２を設定し、第２の計測期間Ｔ２における波形デ
ータのレベルの平均値ＡＶ０を測定する。

【００６８】この高さ測定モードによれば、波形データ
のエッジＥ１の位置を基準として所定部分（第２の計測
期間Ｔ２）が設定されるので、図２に一点鎖線で示すよ
うに、波形データが時間軸方向にずれても、ずれが第１
の測定期間Ｔ１の範囲内であれば、波形データの所定部
分のレベルを正確に測定することができる。

【００６９】なお、第２の計測期間Ｔ２を設定する代わ
りにエッジＥ１の位置を基準とする計測点を設定し、そ
の計測点における波形データのレベルを測定してもよ
い。

【００７０】図３は第１のエッジ位置測定モードを示す
図である。この第１のエッジ位置測定モードは、波形デ
ータの２つの測定レベルに基づく検出レベルを用いてエ
ッジの位置を測定するものである。

【００７１】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜Ｘ２）、データ
範囲の開始点Ｘ０を基準とした第２の計測期間Ｔ２（位
置Ｘ３〜Ｘ４）、およびデータ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第３の計測期間Ｔ３（位置Ｘ５〜）を予め表示器
７のタッチスイッチにより設定する。これらの第１の計
測期間Ｔ１、第２の計測期間Ｔ２および第３の計測期間
Ｔ３は設定値として設定値用メモリ１５に記憶される。

【００７２】被検出体の測定時には、トリガ処理部１２
がアナログ入出力回路３から出力されるデータを所定の
タイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に取
り込む。データ処理部１３は、設定値用メモリ１５に記
憶された設定値に基づいてデータ用メモリ１４における
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とする第１の計測期間Ｔ
１を設定し、その第１の計測期間Ｔ１における波形デー
タのレベルの平均値ＡＶ１を測定する。次に、設定値用
メモリ１５に記憶された設定値に基づいてデータ範囲の
開始点Ｘ０を基準とする第２の計測期間Ｔ２を設定し、
その第２の計測期間Ｔ２における波形データのレベルの
平均値ＡＶ２を測定する。そして、２つの平均値ＡＶ
１，ＡＶ２の中点を検出レベルＶ２とする。次いで、設
定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいてデータ
範囲の開始点Ｘ０を基準とする第３の計測期間Ｔ３を設
定し、その第３の計測期間Ｔ３において検出レベルＶ２
に一致する波形データの位置をエッジＥ２の位置として
検出する。

【００７３】この第１のエッジ位置測定モードによれ
ば、第１および第２の計測期間Ｔ１，Ｔ２における波形
データのレベルの平均値ＡＶ１，ＡＶ２に基づいて検出
レベルＶ２が設定されるので、図３に一点鎖線で示すよ
うに、波形データのレベルが上下方向にずれても、波形
データのエッジＥ２の位置を正確に測定することができ
る。

【００７４】なお、第１の計測期間Ｔ１および第２の計
測期間Ｔ２を設定する代わりにデータ範囲の開始点Ｘ０
を基準とする第１の計測点および第２の計測点を設定
し、それらの計測点における波形データのレベルを測定
してもよい。

【００７５】図４は第２のエッジ位置測定モードを示す
図である。この第２のエッジ位置測定モードは、波形デ
ータの１つの測定レベルを基準とする検出レベルを用い
てエッジの位置を測定するものである。

【００７６】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜Ｘ２）、測定レ
ベルを基準としたレベル差ΔＶ、およびデータ範囲の開
始点Ｘ０を基準とした第２の計測期間Ｔ２（位置Ｘ３
〜）を予め表示器７のタッチスイッチにより設定する。
これらの第１の計測期間Ｔ１、レベル差ΔＶおよび第２
の計測期間Ｔ２は設定値として設定値用メモリ１５に記
憶される。

【００７７】被検出体の測定時には、トリガ処理部１２
がアナログ入出力回路３から出力されるデータを所定の
タイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に取
り込む。データ処理部１３は、設定値用メモリ１５に記
憶された設定値に基づいてデータ用メモリ１４における
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とする第１の計測期間Ｔ
１を設定し、その第１の計測期間Ｔ１における波形デー
タのレベルの平均値ＡＶ３を測定する。そして、設定値
用メモリ１５に記憶された設定値に基づいて平均値ＡＶ
３を基準とする検出レベルＶ１（平均値からレベル差Δ
Ｖだけ低下したレベル）を設定する。次に、設定値用メ
モリ１５に記憶された設定値に基づいてデータ範囲の開
始点Ｘ０を基準とする第２の計測期間Ｔ２を設定し、そ
の第２の計測期間Ｔ２において検出レベルＶ３に一致す
る波形データの位置をエッジＥ３の位置として検出す
る。

【００７８】この第２のエッジ位置測定モードによれ
ば、波形データの１つの測定レベルを基準として検出レ
ベルが設定されるので、図４に一点鎖線で示すように、
波形データのレベルが上下方向にずれても、波形データ
のエッジＥ３の位置を正確に測定することができる。

【００７９】なお、計測期間Ｔ１を設定する代わりにデ
ータ範囲の開始点Ｘ０を基準とする計測点を設定し、そ
の計測点における波形データのレベルを測定してもよ
い。

【００８０】図５は微分測定モードを示す図である。こ
の微分測定モードは、波形データの微分値に基づいて変
曲点のレベルおよび位置を測定するものである。

【００８１】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜）、および微分設定値
Ｄ１を予め表示器７のタッチスイッチにより設定する。
これらの計測期間Ｔ１および微分設定値Ｄ１は設定値と
して設定値用メモリ１５に記憶される。

【００８２】被検出体の測定時には、トリガ処理部１２
がアナログ入出力回路３から出力されるデータを所定の
タイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に取
り込む。データ処理部１３は、設定値用メモリ１５に記
憶された設定値に基づいてデータ用メモリ１４における
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とする計測期間Ｔ１を設
定し、その計測期間Ｔ１における波形データの微分値を
算出し、微分波形データを求める。そして、微分波形デ
ータにおいて微分設定値Ｄ１に一致する位置を変曲点Ｌ
１の位置として検出し、変曲点Ｌ１のレベルを測定す
る。

【００８３】この微分測定モードによれば、波形データ
の微分値に基づいて変曲点が検出されるので、図５に一
点鎖線で示すように、波形データが時間軸方向にずれて
も、また波形データのレベルが上下方向にずれても、波
形データの変曲点のレベルおよび位置を正確に測定する
ことができる。

【００８４】この微分測定モードは、例えば、物の圧入
を検出する圧力センサの出力信号において変化点を測定
する際に用いることができる。

【００８５】図６は第１のピーク測定モードおよび第１
のボトム測定モードを示す図である。第１のピーク測定
モードは、波形比較により波形データのピーク（最大部
分）のレベルおよび位置を測定するものである。第１の
ボトム測定モードは、波形比較により波形データのボト
ム（最小部分）のレベルおよび位置を測定するものであ
る。

【００８６】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜Ｘ２）を予め表示器７
のタッチスイッチにより設定する。この計測期間Ｔ１は
設定値として設定値用メモリ１５に記憶される。

【００８７】第１のピーク測定モードでは、被検出体の
測定時に、トリガ処理部１２がアナログ入出力回路３か
ら出力されるデータを所定のタイミングで波形データと
してデータ用メモリ１４に取り込む。データ処理部１３
は、設定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいて
データ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０を
基準とする計測期間Ｔ１を設定し、その第１の計測期間
Ｔ１において、データ用メモリ１４に記憶された波形デ
ータ（以下、入力波形データと呼ぶ。）ＷＩと所定のマ
スタ波形データ（基準波形データ）ＷＭとの差分を算出
し、差分波形データを求める。そして、その差分波形デ
ータにおけるピークＰ１を検出し、そのピークＰ１のレ
ベルおよび位置を測定する。

【００８８】第１のボトム測定モードでは、被検出体の
測定時に、トリガ処理部１２がアナログ入出力回路３か
ら出力されるデータを所定のタイミングで波形データと
してデータ用メモリ１４に取り込む。データ処理部１３
は、設定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいて
データ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０を
基準とする計測期間Ｔ１を設定し、その第１の計測期間
Ｔ１において、入力波形データＷＩと所定のマスタ波形
データ（基準波形データ）ＷＭとの差分を算出し、差分
波形データを求める。そして、その差分波形データにお
けるボトムＢ１を検出し、そのボトムＢ１のレベルおよ
び位置を測定する。

【００８９】第１のピーク測定モードおよび第１のボト
ム測定モードによれば、入力波形データＷＩとマスタ波
形データＷＭとの差分波形データに基づいてピークまた
はボトムが検出されるので、入力波形データＷＩのレベ
ルが上下方向にずれても、入力波形データＷＩにおける
ピークまたはボトムのレベルおよび位置を正確に測定す
ることができる。

【００９０】さらに、第１のピーク測定モードにより測
定されたピークＰ１のレベルと第１のボトム測定モード
により測定されたボトムＢ１のレベルとの差を算出する
ことにより、被検出体のピーク位置とボトム位置との間
の寸法を測定することができる。

【００９１】図７は第２のピーク測定モードおよび第２
のボトム測定モードを示す図である。第２のピーク測定
モードは、波形データのエッジの位置を基準としてピー
クのレベルおよび位置を測定するものである。第２のボ
トム測定モードは、波形データのエッジの位置を基準と
してボトムのレベルおよび位置を測定するものである。

【００９２】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜）、エッジ検出
のための検出レベルＶ４、およびデータ範囲の開始点Ｘ
０を基準とした第２の計測期間Ｔ２（位置Ｘ２〜Ｘ３）
を予め表示器７のタッチスイッチにより設定する。これ
らの第１の計測期間Ｔ１、検出レベルＶ１および第２の
計測期間Ｔ２は設定値として設定値用メモリ１５に記憶
される。

【００９３】第２のピーク測定モードでは、被検出体の
測定時に、トリガ処理部１２がアナログ入出力回路３か
ら出力されるデータを所定のタイミングで波形データと
してデータ用メモリ１４に取り込む。データ処理部１３
は、設定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいて
データ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０を
基準とする第１の計測期間Ｔ１を設定し、その第１の計
測期間Ｔ１において検出レベルＶ４に一致する波形デー
タの位置をエッジＥ４の位置として検出する。次に、設
定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいてエッジ
Ｅ４の位置を基準とする第２の計測期間Ｔ２を設定す
る。そして、第２の計測期間Ｔ２におけるピークＰ２を
検出し、ピークＰ２のレベルおよび位置を測定する。

【００９４】第２のボトム測定モードでは、被検出体の
測定時に、トリガ処理部１２がアナログ入出力回路３か
ら出力されるデータを所定のタイミングで波形データと
してデータ用メモリ１４に取り込む。データ処理部１３
は、設定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいて
データ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０を
基準とする第１の計測期間Ｔ１を設定し、その第１の計
測期間Ｔ１において検出レベルＶ４に一致する波形デー
タの位置をエッジＥ４の位置として検出する。次に、設
定値用メモリ１５に記憶された設定値に基づいてエッジ
Ｅ４の位置を基準とする第２の計測期間Ｔ２を設定す
る。そして、第２の計測期間Ｔ２におけるボトムＢ２を
検出し、ボトムＢ２のレベルおよび位置を測定する。

【００９５】第２のピーク測定モードおよび第２のボト
ム測定モードによれば、波形データのエッジＥ４の位置
を基準として第２の計測期間Ｔ２が設定されるので、波
形データが時間軸方向にずれても、ピークＰ２またはボ
トムＢ２のレベルおよび位置を正確に測定することがで
きる。

【００９６】図８は第１の傾き補正モードを示す図であ
る。この第１の傾き補正モードは、波形データの傾きが
一定である場合に波形データの２つの位置およびそのレ
ベルに基づいて波形データの傾きを補正するものであ
る。

【００９７】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜Ｘ２）、および
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とした第２の計測期間Ｔ
２（位置Ｘ３〜Ｘ４）を予め表示器７のタッチスイッチ
により設定する。これらの第１の計測期間Ｔ１および第
２の計測期間Ｔ２は設定値として設定値用メモリ１５に
記憶される。

【００９８】トリガ処理部１２は、被検出体の測定ごと
に、アナログ入出力回路３から出力されるデータを所定
のタイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に
取り込む。

【００９９】最初の被検出体の測定時に、データ処理部
１３は、設定値用メモリ１５に記憶され設定値に基づい
てデータ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０
を基準とする第１の計測期間Ｔ１を設定し、その第１の
計測期間における波形データのレベルの平均値ＡＶ４を
測定するとともに、第１の計測期間Ｔ１の中点Ｍ１の位
置を算出する。また、設定値用メモリ１５に記憶された
設定値に基づいてデータ範囲の開始点Ｘ０を基準とする
第２の計測期間Ｔ２を設定し、その第２の計測期間Ｔ２
における波形データのレベルの平均値ＡＶ５を測定する
とともに、第２の計測期間Ｔ２の中点Ｍ２の位置を算出
する。そして、中点Ｍ１，Ｍ２の位置および平均値ＡＶ
４，ＡＶ５に基づいて波形データの傾きを算出し、算出
された傾きに基づいてデータ用メモリ１４に取り込まれ
た波形データの傾きを補正する。

【０１００】以後の被検出体の測定時には、最初の測定
時に算出された波形データの傾きに基づいてデータ用メ
モリ１４に取り込まれた波形データの傾きを補正する。

【０１０１】この第１の傾き補正モードによれば、デー
タ用メモリ１４に取り込まれる波形データの傾きが常に
一定の場合に、図８に一点鎖線で示すように波形データ
の傾きを正確に補正することができる。

【０１０２】なお、第１の計測期間Ｔ１および第２の計
測期間Ｔ２を設定する代わりにデータ範囲の開始点Ｘ０
を基準とする第１の計測点および第２の計測点を設定
し、それらの計測点における波形データのレベルに基づ
いて傾きを算出してもよい。

【０１０３】図９は第２の傾き補正モードを示す図であ
る。この第２の傾き補正モードは、測定ごとに波形デー
タの傾きが変化する場合に波形データの２つの位置およ
びそのレベルに基づいて波形データの傾きを補正するも
のである。

【０１０４】作業者は、データ範囲の開始点Ｘ０を基準
とした第１の計測期間Ｔ１（位置Ｘ１〜Ｘ２）、および
データ範囲の開始点Ｘ０を基準とした第２の計測期間Ｔ
２（位置Ｘ３〜Ｘ４）を予め表示器７のタッチスイッチ
により設定する。これらの第１の計測期間Ｔ１および第
２の計測期間Ｔ２は設定値として設定値用メモリ１５に
記憶される。

【０１０５】トリガ処理部１２は、被検出体の測定ごと
に、アナログ入出力回路３から出力されるデータを所定
のタイミングで波形データとしてデータ用メモリ１４に
取り込む。

【０１０６】被検出体の測定ごとに、データ処理部１３
は、設定値用メモリ１５に記憶され設定値に基づいてデ
ータ用メモリ１４におけるデータ範囲の開始点Ｘ０を基
準とする第１の計測期間Ｔ１を設定し、その第１の計測
期間における波形データのレベルの平均値ＡＶ４を測定
するとともに、第１の計測期間Ｔ１の中点Ｍ１の位置を
算出する。また、設定値用メモリ１５に記憶された設定
値に基づいてデータ範囲の開始点Ｘ０を基準とする第２
の計測期間Ｔ２を設定し、その第２の計測期間Ｔ２にお
ける波形データのレベルの平均値ＡＶ５を測定するとと
もに、第２の計測期間Ｔ２の中点Ｍ２の位置を算出す
る。そして、中点Ｍ１，Ｍ２の位置および平均値ＡＶ
４，ＡＶ５に基づいて波形データの傾きを算出し、算出
された傾きに基づいて波形データの傾きを補正する。

【０１０７】この第２の傾き補正モードによれば、図９
に実線および点線で示すように、データ用メモリ１４に
取り込まれる波形データの傾きが測定ごとに異なる場合
に、図９に一点鎖線で示すように波形データの傾きを正
確に補正することができる。

【０１０８】なお、第１の計測期間Ｔ１および第２の計
測期間Ｔ２を設定する代わりにデータ範囲の開始点Ｘ０
を基準とする第１の計測点および第２の計測点を設定
し、それらの計測点における波形データのレベルに基づ
いて傾きを検出してもよい。

【０１０９】図１７は、変曲点を演算するモードを説明
するための波形である。記憶された波形データにおける
線分Ｃ１およびＣ２の変曲点を演算する場合、線分Ｃ
１、Ｃ２上に点Ａおよび点Ｂを設定する。続いてこれら
の点Ａ、Ｂを通る直線をデータ演算手段より算出する。
更に点Ａ、Ｂの間の各時間の波形データにおいて、同じ
時間に対応する直線上のデータとの差を算出し、その中
の最大値を求める。即ち点Ａと点Ｂの間における直線か
ら線分Ｃ１およびＣ２上のデータの差は図１７（ｂ）の
ようになり、変曲点Ｐはその最大値として算出される。

【０１１０】この演算において変曲点は、直線を設定し
て波形データとの差を演算するだけで求めることができ
るので、演算量が少なくて済む。ノイズによる影響も受
けにくいので安定した演算結果を得ることができる。

【０１１１】また、この変曲点の演算は、直線データと
波形データの大小関係を識別し、又は予め設定すること
により常に大きい値から小さい値のデータを減ずる用に
してもよいし、大小関係にかかわらず減算を行いその結
果の絶対値を求めるようにしてもよい。

【０１１２】また、この変曲点を演算する際に設定する
２点は、演算しようとする変曲点の位置に応じて任意の
位置に設定することができるが、被検出体が上下左右に
ずれることを考慮して、図３又は図４に示されるエッジ
の位置を基準にして上記２点を設定することができるよ
うにしてもよい。この設定によれば被検出体が上下左右
にずれても、変曲点を安定して演算することができる。

【０１１３】図１０および図１１は本実施例の波形処理
装置における表示器７の画面を示す図である。

【０１１４】図１０および図１１に示すように、画面上
にＸカーソルＣＸおよびＹカーソルＣＹが表示されてい
る。また、画面の上部には、ＸカーソルＣＸの座標値Ｐ
ＸおよびＹカーソルＣＹの座標値ＰＹが表示されてい
る。

【０１１５】図１０に示すように、画面上の任意の位置
を指３０で触れると、図１１に示すように、その位置に
ＸカーソルＣＸおよびＹカーソルＣＹが移動する。この
動作を図１２のフローチャートを参照しながら説明す
る。

【０１１６】まず、図１の表示処理部２１は、タッチス
イッチが押されたか否かを判別する（ステップＳ１）。
タッチスイッチが押された場合には、タッチスイッチの
押下位置をタッチスイッチ入力部２３からの信号に基づ
いて読み取り、ＸカーソルＣＸおよびＹカーソルＣＹの
位置に換算する（ステップＳ２）。

【０１１７】そして、表示処理部２１はＸカーソルＣＸ
およびＹカーソルＣＹを画面上で換算位置に移動させる
（ステップＳ３）。そして、ＸカーソルＣＸおよびＹカ
ーソルＣＹの移動に連動してＸカーソルＣＸの座標値Ｐ
Ｘ、ＹカーソルＣＹの座標値ＰＹ等の変数値を変化させ
る（ステップＳ４）。

【０１１８】従来の表示器では、画面上でカーソルを移
動させるためには、カーソルキー、マウス、ジョグダイ
ヤル等のポインティングデバイスを操作する必要があ
る。この場合、画面上でカーソルが所望の位置まで移動
するまでに時間がかかるという問題がある。また、表示
器を制御盤等の盤に垂直に取り付けると、カーソルキー
やマウスを操作しづらいという問題がある。

【０１１９】これに対して、本実施例の波形処理装置に
おける表示器７では、画面の所望の位置を指で触れるだ
けでその位置にカーソルを瞬時に移動させることができ
る。したがって、画面上でのカーソルの移動を簡単にか
つ迅速に行うことができる。

【０１２０】このような表示器７は、画面に装着された
タッチスイッチと、画面に所定のパターンを表示させる
パターン表示手段と、タッチスイッチの押下位置を検出
する押下位置検出手段と、パターン表示手段により表示
されるパターンを画面上で押下位置検出手段により検出
された位置に移動させるパターン移動手段とを備える。

【０１２１】なお、パターンはカーソルであってもよ
く、波形やその他の図形、文字等であってもよい。パタ
ーンが波形である場合、まず、画面に表示される波形を
指で触れ、次に画面の任意の位置を指で触れることによ
り、画面上で波形を任意の位置に瞬時に移動させるよう
に構成してもよい。

【０１２２】本実施例の波形処理装置のアナログ入出力
回路３に変位センサを接続した場合には、変位センサお
よび波形処理装置が全体として変位計を構成する。変位
センサとしては、磁気を用いて被検出体の変位を検出す
る磁気式変位センサ、超音波を用いて被検出体の変位を
検出する超音波式変位センサ、光を用いて被検出体の変
位を検出する光学式変位センサ等を用いることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における波形処理装置の構成
を示すブロック図である。

【図２】図１の波形処理装置における高さ測定モードを
示す図である。

【図３】図１の波形処理装置における第１のエッジ位置
測定モードを示す図である。

【図４】図１の波形処理装置における第２のエッジ位置
測定モードを示す図である。

【図５】図１の波形処理装置における変曲点測定モード
を示す図である。

【図６】図１の波形処理装置における第１のピーク測定
モードおよび第１のボトム測定モードを示す図である。

【図７】図１の波形処理装置における第２のピーク測定
モードおよび第２のボトム測定モードを示す図である。

【図８】図１の波形処理装置における第１の傾き補正モ
ードを示す図である。

【図９】図１の波形処理装置における第２の傾き補正モ
ードを示す図である。

【図１０】図１の波形処理装置における表示器の画面を
示す図である。

【図１１】図１の波形処理装置における表示器の画面を
示す図である。

【図１２】図１の波形処理装置におけるＸカーソルおよ
びＹカーソルの移動処理を示すフローチャートである。

【図１３】変位計による被検出体の測定を示す図であ
る。

【図１４】図１３の変位計の出力信号の波形図である。

【図１５】従来の変曲点の演算方法を説明する波形であ
る。

【図１６】従来の他の変曲点の演算方法を説明する波形
である。

【図１７】本発明の変曲点の演算方法を説明する波形で
ある。

【符号の説明】

１ データ処理用ＣＰＵ ２ インタフェース用ＣＰＵ ３ アナログ入出力回路 ４ 出力回路 ５ 入力回路 ７ 表示器 １２ トリガ処理部 １３ データ処理部 １４ データ用メモリ １５ 設定値用メモリ １６ 判定処理部 ２１ 表示処理部 ２２ 表示用メモリ ２３ タッチスイッチ入力部 ２４ 入力処理部

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定範囲を設定する第１の設定手段と、 前記第１の設定手段により設定された前記所定範囲内に
   おいて前記波形データのエッジの時間軸上の位置を検出
   するエッジ検出手段と、 前記エッジ検出手段により検出された前記エッジの時間
   軸上の位置を基準として前記波形データにおける所定部
   分を設定する第２の設定手段と、 前記第２の設定手段により設定された前記所定部分にお
   ける前記波形データのレベルを検出するレベル検出手段
   とを備えたことを特徴とする波形処理装置。
2. 【請求項２】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形
   データとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の第１および第２の部分を設定する第１の設定手段と、 前記第１の設定手段により設定された前記第１および第
   ２の部分における前記波形データのレベルをそれぞれ第
   １および第２のレベルとして検出するレベル検出手段
   と、 前記レベル検出手段により検出された前記第１および第
   ２のレベルに基づいて検出レベルを設定する第２の設定
   手段と、 前記第２の設定手段により設定された前記検出レベルに
   基づいて前記波形データにおけるエッジの時間軸上の位
   置を検出するエッジ検出手段とを備えたことを特徴とす
   る波形処理装置。
3. 【請求項３】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定部分を設定する第１の設定手段と、 前記第１の設定手段により設定された前記所定部分にお
   ける前記波形データのレベルを検出するレベル検出手段
   と、 前記レベル検出手段により検出された前記レベルを基準
   として検出レベルを設定する第２の設定手段と、 前記第２の設定手段により設定された前記検出レベルに
   基づいて前記波形データにおけるエッジの時間軸上の位
   置を検出するエッジ検出手段とを備えたことを特徴とす
   る波形処理装置。
4. 【請求項４】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定範囲を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記所定範囲内における
   前記波形データの微分値を算出する微分値算出手段と、 前記微分値算出手段により算出された前記微分値に基づ
   いて前記波形データにおけるの変曲点を検出する変曲点
   検出手段とを備えたことを特徴とする波形処理装置。
5. 【請求項５】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定範囲を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記所定範囲内における
   前記波形データと所定の基準波形データとの差分を表わ
   す差分波形データを算出する差分波形算出手段と、 前記差分波形算出手段により算出された前記差分波形デ
   ータにおける最大部分を検出する最大部分検出手段とを
   備えたことを特徴とする波形処理装置。
6. 【請求項６】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定範囲を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記所定範囲内における
   前記波形データと所定の基準波形データとの差分を表わ
   す差分波形データを算出する差分波形算出手段と、 前記差分波形算出手段により算出された前記差分波形デ
   ータにおける最小部分を検出する最小部分検出手段とを
   備えたことを特徴とする波形処理装置。
7. 【請求項７】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の所定範囲を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記所定範囲内における
   前記波形データと所定の基準波形データとの差分を表わ
   す差分波形データを算出する差分波形算出手段と、 前記差分波形算出手段により算出された前記差分波形デ
   ータにおける最大部分を検出する最大部分検出手段と、 前記差分波形算出手段により算出された前記差分波形デ
   ータにおける最小部分を検出する最小部分検出手段と、 前記最大部分検出手段により算出された前記最大部分と
   前記最小部分検出手段により算出された前記最小部分と
   の差を算出する差算出手段とを備えたことを特徴とする
   波形処理装置。
8. 【請求項８】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の第１の範囲を設定する第１の設定手段と、 前記第１の設定手段により設定された前記第１の範囲内
   における前記波形データのエッジの時間軸上の位置を検
   出するエッジ検出手段と、 前記エッジ検出手段により検出された前記エッジの時間
   軸上の位置を基準として前記波形データにおける時間軸
   上の第２の範囲を設定する第２の設定手段と、 前記第２の設定手段により設定された前記第２の範囲内
   における前記波形データの最大部分を検出する最大部分
   検出手段とを備えたことを特徴とする波形処理装置。
9. 【請求項９】 アナログ信号を時系列に入力する入力手
   段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
   タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
   の第１の範囲を設定する第１の設定手段と、 前記第１の設定手段により設定された前記第１の範囲内
   における前記波形データのエッジの時間軸上の位置を検
   出するエッジ検出手段と、 前記エッジ検出手段により検出された前記エッジの時間
   軸上の位置を基準として前記波形データにおける時間軸
   上の第２の範囲を設定する第２の設定手段と、 前記第２の設定手段により設定された前記第２の範囲内
   における前記波形データの最小部分を検出する最小部分
   検出手段とを備えたことを特徴とする波形処理装置。
10. 【請求項１０】 アナログ信号を時系列に入力する入力
    手段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
    タとして記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された波形データにおける時間軸上
    の第１および第２の部分を設定する設定手段と、 前記設定手段により設定された前記第１および第２の部
    分における前記波形データのレベルをそれぞれ第１およ
    び第２のレベルとして検出するレベル検出手段と、 前記第１および第２の部分および前記レベル検出手段に
    より検出された前記第１および第２のレベルに基づいて
    前記波形データの傾きを算出する傾き算出手段と、 前記傾き算出手段により算出された前記傾きに基づいて
    前記記憶手段に記憶される波形データの傾きを補正する
    傾き補正手段とを備えたことを特徴とする波形処理装
    置。
11. 【請求項１１】 アナログ信号を時系列に入力する入力
    手段と、 前記入力手段により入力されるアナログ信号を波形デー
    タとして記憶する記憶手段と、 波形データにおける第１および第２のデータを設定する
    設定手段と、 前記第１および第２のデータを通る線分データ含むデー
    タを発生するデータ演算手段と、前記第１と第２のデー
    タの間の各々の時間における前記波形データと前記線分
    データの差が最大となる時間を検出する最大値検出手段
    とを備えたことを特徴とする波形処理装置。
12. 【請求項１２】 被検出体の変位を検出してアナログ信
    号として出力する変位検出手段と、 前記変位検出手段から出力される前記アナログ信号を受
    ける請求項１〜１１のいずれかに記載の波形処理装置と
    を備えたことを特徴とする変位計。