JPH09227223A - 快削性複合セラミックスの製造法 - Google Patents
快削性複合セラミックスの製造法Info
- Publication number
- JPH09227223A JPH09227223A JP8060145A JP6014596A JPH09227223A JP H09227223 A JPH09227223 A JP H09227223A JP 8060145 A JP8060145 A JP 8060145A JP 6014596 A JP6014596 A JP 6014596A JP H09227223 A JPH09227223 A JP H09227223A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- parts
- pts
- fired
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱膨張係数が小さく機械加工性に優れた快削
性複合セラミックスを製造する方法を提供する。 【解決手段】 マイカ分散ガラス質セラミックス粉末
と、フッ化マグネシウムと、炭酸リチウムを含むリチウ
ム化合物とを混合し、得られた混合粉末を焼成したあと
微粉砕して焼成粉Ａを得、別途、酸化亜鉛と、二酸化珪
素と、コーディエライトとを混合し、得られた混合粉末
を焼成したあと微粉砕して焼成粉Ｂを得、前記の焼成粉
ＡとＢとをバインダーを添加して混合したあと造粒して
顆粒物を得、この顆粒物をプレス成形、脱脂及び本焼成
してセラミックス焼結体を得る。各成分を一度に混合焼
成すると、マイカ分散ガラス質セラミックスと酸化亜鉛
が反応して珪酸亜鉛結晶の析出量が減少する。焼成粉Ａ
とＢを別々に製造することにより、熱膨張係数と機械加
工性が改善され、顆粒化により成形性が向上する。
性複合セラミックスを製造する方法を提供する。 【解決手段】 マイカ分散ガラス質セラミックス粉末
と、フッ化マグネシウムと、炭酸リチウムを含むリチウ
ム化合物とを混合し、得られた混合粉末を焼成したあと
微粉砕して焼成粉Ａを得、別途、酸化亜鉛と、二酸化珪
素と、コーディエライトとを混合し、得られた混合粉末
を焼成したあと微粉砕して焼成粉Ｂを得、前記の焼成粉
ＡとＢとをバインダーを添加して混合したあと造粒して
顆粒物を得、この顆粒物をプレス成形、脱脂及び本焼成
してセラミックス焼結体を得る。各成分を一度に混合焼
成すると、マイカ分散ガラス質セラミックスと酸化亜鉛
が反応して珪酸亜鉛結晶の析出量が減少する。焼成粉Ａ
とＢを別々に製造することにより、熱膨張係数と機械加
工性が改善され、顆粒化により成形性が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、快削性を有する複
合セラミックスの製造法に関するものであり、特に熱膨
張係数が小さく機械加工性に優れた快削性複合セラミッ
クスを製造する方法に関するものである。
合セラミックスの製造法に関するものであり、特に熱膨
張係数が小さく機械加工性に優れた快削性複合セラミッ
クスを製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】快削性を有するセラミックスとしてマイ
カ分散ガラス質セラミックスが公知である。マイカ分散
ガラス質セラミックスは、マイカ（フッ素金雲母微結
晶）をガラスマトリックスに分散したものであり、マイ
カ自体が軟質の物質であるため、機械加工がしやすいと
いう長所がある。しかし、マトリックスがガラスである
ため、低温より熱膨張係数が大きく、又は高温（ガラス
転位点である６５０℃以上）において大幅な熱膨張を起
こすという欠点がある。このようなマイカ分散ガラス質
セラミックスをそのまま低熱膨張性が要求される機械部
品や半導体治具等の材料として使用することはできない
ので、以下に述べるような種々の改良手段が提唱されて
いる。
カ分散ガラス質セラミックスが公知である。マイカ分散
ガラス質セラミックスは、マイカ（フッ素金雲母微結
晶）をガラスマトリックスに分散したものであり、マイ
カ自体が軟質の物質であるため、機械加工がしやすいと
いう長所がある。しかし、マトリックスがガラスである
ため、低温より熱膨張係数が大きく、又は高温（ガラス
転位点である６５０℃以上）において大幅な熱膨張を起
こすという欠点がある。このようなマイカ分散ガラス質
セラミックスをそのまま低熱膨張性が要求される機械部
品や半導体治具等の材料として使用することはできない
ので、以下に述べるような種々の改良手段が提唱されて
いる。
【０００３】第１の改良手段は、特開平６−４８７７４
号公報に記載されており、極性溶媒中に、酸化物とした
時点での重量比でＳｉＯ2 成分３０〜７０％、Ａｌ2 Ｏ
3 成分１０〜２５％、ＭｇＯ成分７〜２５％、Ｋ2 Ｏ成
分２〜１２％、ＬｉＯ2 成分１〜７％及びＦ成分１〜１
５％となるような割合で各種金属成分のアルコキシド化
合物及びフッ化化合物を混合溶解したものにＢ2 Ｏ3 成
分１〜１０％を添加し、これに水を加えて加水分解反応
を行わしめたあと、脱水乾燥し、次いで熱処理すること
により、機械加工性に優れたガラス質セラミックスを得
るというものである。この方法により製造されたガラス
質セラミックスは、ガラスマトリックス中に快削性成分
としてマイカを含み、低熱膨張成分としてＬｉＯ2 −Ａ
ｌ2 Ｏ3−ＳｉＯ2 系の微結晶を含有している。
号公報に記載されており、極性溶媒中に、酸化物とした
時点での重量比でＳｉＯ2 成分３０〜７０％、Ａｌ2 Ｏ
3 成分１０〜２５％、ＭｇＯ成分７〜２５％、Ｋ2 Ｏ成
分２〜１２％、ＬｉＯ2 成分１〜７％及びＦ成分１〜１
５％となるような割合で各種金属成分のアルコキシド化
合物及びフッ化化合物を混合溶解したものにＢ2 Ｏ3 成
分１〜１０％を添加し、これに水を加えて加水分解反応
を行わしめたあと、脱水乾燥し、次いで熱処理すること
により、機械加工性に優れたガラス質セラミックスを得
るというものである。この方法により製造されたガラス
質セラミックスは、ガラスマトリックス中に快削性成分
としてマイカを含み、低熱膨張成分としてＬｉＯ2 −Ａ
ｌ2 Ｏ3−ＳｉＯ2 系の微結晶を含有している。
【０００４】第２の改良手段は、特開平２−２２５３７
０号公報に記載されており、マイカ粉末２０〜５０重量
％、酸化亜鉛粉末１５〜４０重量％、シリカ粉末１０〜
２０重量％、ホウ酸粉末８〜２０重量％およびコーディ
エライト粉末４〜２０重量％を混合して混合粉末を製造
する工程、この混合粉末を９４０〜１０５０℃の温度で
加熱して焼成物を製造する工程、得られた焼成物を粉砕
して微粉末とする工程、この微粉末に有機バインダーを
添加し成形体を製造する工程および該成形体を９４０〜
１０５０℃の温度で加熱し同時に加圧して焼成体とする
工程により、マイカ複合セラミックスを得るというもの
である。このような方法によって製造されたマイカ複合
セラミックスは、快削性成分としてマイカを含み、低熱
膨張成分として酸化亜鉛と二酸化珪素からなるウレマイ
ト結晶を含んでいる。
０号公報に記載されており、マイカ粉末２０〜５０重量
％、酸化亜鉛粉末１５〜４０重量％、シリカ粉末１０〜
２０重量％、ホウ酸粉末８〜２０重量％およびコーディ
エライト粉末４〜２０重量％を混合して混合粉末を製造
する工程、この混合粉末を９４０〜１０５０℃の温度で
加熱して焼成物を製造する工程、得られた焼成物を粉砕
して微粉末とする工程、この微粉末に有機バインダーを
添加し成形体を製造する工程および該成形体を９４０〜
１０５０℃の温度で加熱し同時に加圧して焼成体とする
工程により、マイカ複合セラミックスを得るというもの
である。このような方法によって製造されたマイカ複合
セラミックスは、快削性成分としてマイカを含み、低熱
膨張成分として酸化亜鉛と二酸化珪素からなるウレマイ
ト結晶を含んでいる。
【０００５】第３の改良手段は、本願出願人が先にした
特許出願（特開平４−２７０１６９号公報）に開示した
ものであり、マイカ分散ガラス質セラミックスのガラス
マトリックス中に２０〜６０重量％の珪酸ジルコニウム
を分散して快削性複合セラミックスを得るというもので
ある。この方法によって製造されたマイカ分散ガラス質
セラミックスは、ガラスマトリックス中に快削性成分と
してマイカを含み、低熱膨張成分として珪酸ジルコニウ
ムの結晶を含んでいる。
特許出願（特開平４−２７０１６９号公報）に開示した
ものであり、マイカ分散ガラス質セラミックスのガラス
マトリックス中に２０〜６０重量％の珪酸ジルコニウム
を分散して快削性複合セラミックスを得るというもので
ある。この方法によって製造されたマイカ分散ガラス質
セラミックスは、ガラスマトリックス中に快削性成分と
してマイカを含み、低熱膨張成分として珪酸ジルコニウ
ムの結晶を含んでいる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし前記いずれの手
段も、ガラスマトリックス中に低熱膨張成分の各種結晶
を析出させることにより、マイカ分散ガラス質セラミッ
クスの熱膨張係数を低下させるものであり、マトリック
スであるガラス自体の熱膨張係数は何等改善されていな
いから、全体としての熱膨張係数を十分に低下させるこ
とができなかった。
段も、ガラスマトリックス中に低熱膨張成分の各種結晶
を析出させることにより、マイカ分散ガラス質セラミッ
クスの熱膨張係数を低下させるものであり、マトリック
スであるガラス自体の熱膨張係数は何等改善されていな
いから、全体としての熱膨張係数を十分に低下させるこ
とができなかった。
【０００７】本発明は、熱膨張係数が十分に低くて機械
加工に好適な快削性複合セラミックスを得ることを課題
としている。
加工に好適な快削性複合セラミックスを得ることを課題
としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の快削性複
合セラミックスの製造法は、マイカ分散ガラス質セラミ
ックス粉末３０〜５０重量部、フッ化マグネシウム１〜
１０重量部、炭酸リチウム０．５〜５重量部を含むリチ
ウム化合物を混合し、得られた混合粉末を耐火容器に入
れて焼成したあと微粉砕して焼成粉Ａを得る工程と、酸
化亜鉛２０〜３５重量部、二酸化珪素４．５〜１８．０
重量部、コーディエライト１〜１０重量部を混合し、得
られた混合粉末を耐火容器に入れて焼成したあと微粉砕
して焼成粉Ｂを得る工程と、前記の各工程で得られた焼
成粉ＡとＢとをバインダーを添加して混合したあと造粒
して顆粒物を得る工程と、得られた顆粒物をプレス成
形、脱脂及び本焼成してセラミックス焼結体Ｃを得る工
程とからなることを特徴とするものである。
合セラミックスの製造法は、マイカ分散ガラス質セラミ
ックス粉末３０〜５０重量部、フッ化マグネシウム１〜
１０重量部、炭酸リチウム０．５〜５重量部を含むリチ
ウム化合物を混合し、得られた混合粉末を耐火容器に入
れて焼成したあと微粉砕して焼成粉Ａを得る工程と、酸
化亜鉛２０〜３５重量部、二酸化珪素４．５〜１８．０
重量部、コーディエライト１〜１０重量部を混合し、得
られた混合粉末を耐火容器に入れて焼成したあと微粉砕
して焼成粉Ｂを得る工程と、前記の各工程で得られた焼
成粉ＡとＢとをバインダーを添加して混合したあと造粒
して顆粒物を得る工程と、得られた顆粒物をプレス成
形、脱脂及び本焼成してセラミックス焼結体Ｃを得る工
程とからなることを特徴とするものである。
【０００９】マイカ分散ガラス質セラミックス中のマイ
カ量は、製造するセラミックスの機械的強度、耐熱衝撃
性、機械加工性、誘電特性等によって決められるが、３
０〜７０重量％であれば好ましい結果が得られる。ま
た、酸化亜鉛２０〜３５重量部、二酸化珪素４．５〜１
８．０重量部及びコーディエライト１〜１０重量部を混
合焼成すると、珪酸亜鉛結晶（Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ）を含む
焼結物が得られる。
カ量は、製造するセラミックスの機械的強度、耐熱衝撃
性、機械加工性、誘電特性等によって決められるが、３
０〜７０重量％であれば好ましい結果が得られる。ま
た、酸化亜鉛２０〜３５重量部、二酸化珪素４．５〜１
８．０重量部及びコーディエライト１〜１０重量部を混
合焼成すると、珪酸亜鉛結晶（Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ）を含む
焼結物が得られる。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の快
削性複合セラミックスの製造法におけるマイカ分散ガラ
ス質セラミックスとして、陶石５０〜７０重量部、ジル
コン１．５〜１０重量部、フッ化マグネシウム５〜１５
重量部、酸化マグネシウム５〜１５重量部、酸化カリウ
ム４〜１０重量部を含むカリウム化合物及び酸化ホウ素
２．５〜１０重量部を含むホウ素化合物からなる配合物
を溶融・結晶化したものを用いることを特徴とするもの
である。
削性複合セラミックスの製造法におけるマイカ分散ガラ
ス質セラミックスとして、陶石５０〜７０重量部、ジル
コン１．５〜１０重量部、フッ化マグネシウム５〜１５
重量部、酸化マグネシウム５〜１５重量部、酸化カリウ
ム４〜１０重量部を含むカリウム化合物及び酸化ホウ素
２．５〜１０重量部を含むホウ素化合物からなる配合物
を溶融・結晶化したものを用いることを特徴とするもの
である。
【００１１】陶石としては、精製陶石（代表的な組成は
ＳｉＯ2 ６６．８６重量％、Ａｌ2Ｏ3 ２３．２１重量
％、Ｋ2 Ｏ５．５５重量％、不純物０．９７重量％、灼
熱減量３．４１重量％）を用いる。尚、かかるマイカ分
散ガラス質セラミックスそれ自体は、商品名「ホトベー
ル」として本件特許出願人である住金ホトンセラミック
ス株式会社から市販されている。このようにして用意さ
れたマイカ分散ガラス質セラミックスをボールミルで、
例えば平均粒径１〜５μｍまでに粉砕する。
ＳｉＯ2 ６６．８６重量％、Ａｌ2Ｏ3 ２３．２１重量
％、Ｋ2 Ｏ５．５５重量％、不純物０．９７重量％、灼
熱減量３．４１重量％）を用いる。尚、かかるマイカ分
散ガラス質セラミックスそれ自体は、商品名「ホトベー
ル」として本件特許出願人である住金ホトンセラミック
ス株式会社から市販されている。このようにして用意さ
れたマイカ分散ガラス質セラミックスをボールミルで、
例えば平均粒径１〜５μｍまでに粉砕する。
【００１２】
【作用】複合セラミックスを組成する各成分を一度に混
合焼成すると、マイカ分散ガラス質セラミックス（塩基
性酸化物）と酸化亜鉛（両性酸化物）が反応して珪酸亜
鉛結晶（Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ）の析出量が減少して熱膨張係
数が低下せず、機械加工性も余り向上しない。そこで本
願発明者は、予め焼成粉Ａ及びＢを別々に製造し、これ
らを混合してなる顆粒物をプレス成形し、これを焼成す
ることによってセラミックス焼結体Ｃを製造した。従っ
てセラミックス焼結体Ｃは、その中に常に所定割合の珪
酸亜鉛結晶を含有しており、全体としての熱膨張係数が
小さく、かつ優れた機械加工性を保持している。また、
焼成粉Ａ及びＢとを（バインダーを添加して）混合し造
粒する工程を設けたので、粒径の揃った球状顆粒を得る
ことができる。この球状顆粒は非常に流動性が良いた
め、プレス金型に均一に充填され、プレス加圧時に均一
に圧力を掛けることができる。又、エアーの抜け性が向
上し、密度の高い安定した品質の成形品が得られ、ラミ
ネーションによる割れ等が防止できる。更にプレス成形
時に原料をホッパーから金型に供給するときに、原料詰
まりがなく、自動定量供給が容易となり合理化が計れ
る。
合焼成すると、マイカ分散ガラス質セラミックス（塩基
性酸化物）と酸化亜鉛（両性酸化物）が反応して珪酸亜
鉛結晶（Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ）の析出量が減少して熱膨張係
数が低下せず、機械加工性も余り向上しない。そこで本
願発明者は、予め焼成粉Ａ及びＢを別々に製造し、これ
らを混合してなる顆粒物をプレス成形し、これを焼成す
ることによってセラミックス焼結体Ｃを製造した。従っ
てセラミックス焼結体Ｃは、その中に常に所定割合の珪
酸亜鉛結晶を含有しており、全体としての熱膨張係数が
小さく、かつ優れた機械加工性を保持している。また、
焼成粉Ａ及びＢとを（バインダーを添加して）混合し造
粒する工程を設けたので、粒径の揃った球状顆粒を得る
ことができる。この球状顆粒は非常に流動性が良いた
め、プレス金型に均一に充填され、プレス加圧時に均一
に圧力を掛けることができる。又、エアーの抜け性が向
上し、密度の高い安定した品質の成形品が得られ、ラミ
ネーションによる割れ等が防止できる。更にプレス成形
時に原料をホッパーから金型に供給するときに、原料詰
まりがなく、自動定量供給が容易となり合理化が計れ
る。
【００１３】なお、本発明方法の製造原料である焼成粉
Ａに含まれるジルコニアは良好な切削性を与え、酸化マ
グネシウム及び酸化カリウムはガラスマトリックス中に
所定量のマイカ分散量を確保し、酸化ホウ素は融点を降
下させると共に溶融を促進し、フッ化マグネシウムは加
工性を向上させ、炭酸リチウムは低熱膨張性を向上させ
る作用がある。また、焼成粉Ｂの珪酸亜鉛結晶（Ｚｎ2
ＳｉＯ4 ）は低熱膨張性を付与し、コーディエライトは
熱衝撃性を向上させる作用がある。
Ａに含まれるジルコニアは良好な切削性を与え、酸化マ
グネシウム及び酸化カリウムはガラスマトリックス中に
所定量のマイカ分散量を確保し、酸化ホウ素は融点を降
下させると共に溶融を促進し、フッ化マグネシウムは加
工性を向上させ、炭酸リチウムは低熱膨張性を向上させ
る作用がある。また、焼成粉Ｂの珪酸亜鉛結晶（Ｚｎ2
ＳｉＯ4 ）は低熱膨張性を付与し、コーディエライトは
熱衝撃性を向上させる作用がある。
【００１４】
〔実施例１〕本例で使用するマイカ分散ガラス質セラミ
ックスの原料配合は、 陶石 ６０重量部 ジルコン ５重量部 フッ化マグネシウム ６重量部 酸化マグネシウム ９重量部 炭酸カリウム ８重量部（酸化カリウム換算で４重量部） ホウ酸 １２重量部（酸化ホウ素換算で６重量部） である。
ックスの原料配合は、 陶石 ６０重量部 ジルコン ５重量部 フッ化マグネシウム ６重量部 酸化マグネシウム ９重量部 炭酸カリウム ８重量部（酸化カリウム換算で４重量部） ホウ酸 １２重量部（酸化ホウ素換算で６重量部） である。
【００１５】図１の工程図に基づき本発明方法を説明す
る。上記配合物を加熱溶融し、この溶融液を得られるガ
ラス質の移転温度より少なくとも５０℃高い温度から該
温度より少なくとも７０℃低い温度までの間を１００℃
／ｈｒ以下の冷却速度で徐冷してガラス質を得る。蓋付
き容器の中で該ガラス質を１１００℃を越え１３６０℃
までの温度で熱処理してマイカ分散ガラス質セラミック
スを製造する（マイカ分散ガラス質セラミックスの物性
値は表１参照）。
る。上記配合物を加熱溶融し、この溶融液を得られるガ
ラス質の移転温度より少なくとも５０℃高い温度から該
温度より少なくとも７０℃低い温度までの間を１００℃
／ｈｒ以下の冷却速度で徐冷してガラス質を得る。蓋付
き容器の中で該ガラス質を１１００℃を越え１３６０℃
までの温度で熱処理してマイカ分散ガラス質セラミック
スを製造する（マイカ分散ガラス質セラミックスの物性
値は表１参照）。
【００１６】このようにして製造したマイカ分散ガラス
質セラミックスを微粉砕して得た平均粒径１〜５μｍの
粉末５０．０％〔商品名「ホトベール」住金ホトンセラ
ミックス株式会社製〕にフッ化マグネシウム９．０％
〔和光純薬工業株式会社製〕と炭酸リチウム１．０％
〔和光純薬工業株式会社製〕とを添加したあとボールミ
ルにて１時間混合し、得られた混合粉体をアルミナ製耐
火容器に入れ１０００℃で５時間焼成して焼成物Ａを得
た。この焼成物をボールミルに入れ、微粉砕して焼成粉
Ａを得る。
質セラミックスを微粉砕して得た平均粒径１〜５μｍの
粉末５０．０％〔商品名「ホトベール」住金ホトンセラ
ミックス株式会社製〕にフッ化マグネシウム９．０％
〔和光純薬工業株式会社製〕と炭酸リチウム１．０％
〔和光純薬工業株式会社製〕とを添加したあとボールミ
ルにて１時間混合し、得られた混合粉体をアルミナ製耐
火容器に入れ１０００℃で５時間焼成して焼成物Ａを得
た。この焼成物をボールミルに入れ、微粉砕して焼成粉
Ａを得る。
【００１７】次に酸化亜鉛３０．０％〔和光純薬工業株
式会社製〕と二酸化珪素４．５％〔関東化学株式会社
製〕とコーディエライト５．５％〔昭和電工株式会社
製〕をライカイ機で１時間混合し、混合粉体をアルミナ
製耐火容器に入れ１０００℃で５時間焼成して焼成物Ｂ
を得た。この焼成物をボールミルに入れて粉砕して焼成
粉Ｂを得る。
式会社製〕と二酸化珪素４．５％〔関東化学株式会社
製〕とコーディエライト５．５％〔昭和電工株式会社
製〕をライカイ機で１時間混合し、混合粉体をアルミナ
製耐火容器に入れ１０００℃で５時間焼成して焼成物Ｂ
を得た。この焼成物をボールミルに入れて粉砕して焼成
粉Ｂを得る。
【００１８】上記焼成粉Ａ及びＢに水及び解コウ剤〔商
品名「セルナＤ−３０５」中京油脂株式会社製〕０．３
重量％を加え、１５時間湿式混合粉砕し、平均粒径１〜
５μｍの原料泥漿とした。得られた泥漿にプレス成形用
バインダー〔商品名「セラモＰＢ−１５」第一工業製薬
株式会社製〕３重量％を添加し、さらに２時間混合しス
プレー用泥漿とした。これをスプレードライヤで平均粒
径６０〜７０μｍの球形顆粒に造粒し、得られた顆粒を
５００ｋｇｆ／cm2 の成形圧力で一軸加圧成形して１０
０ｍｍ×１００ｍｍ×２５ｍｍの成形体を得た。この成
形体を脱脂炉にて脱脂後、アルミナ製耐火容器中でアル
ミナ粉末に埋設して、１０３０℃で４時間焼成し複合セ
ラミックス焼結体を得る。
品名「セルナＤ−３０５」中京油脂株式会社製〕０．３
重量％を加え、１５時間湿式混合粉砕し、平均粒径１〜
５μｍの原料泥漿とした。得られた泥漿にプレス成形用
バインダー〔商品名「セラモＰＢ−１５」第一工業製薬
株式会社製〕３重量％を添加し、さらに２時間混合しス
プレー用泥漿とした。これをスプレードライヤで平均粒
径６０〜７０μｍの球形顆粒に造粒し、得られた顆粒を
５００ｋｇｆ／cm2 の成形圧力で一軸加圧成形して１０
０ｍｍ×１００ｍｍ×２５ｍｍの成形体を得た。この成
形体を脱脂炉にて脱脂後、アルミナ製耐火容器中でアル
ミナ粉末に埋設して、１０３０℃で４時間焼成し複合セ
ラミックス焼結体を得る。
【００１９】図２はプレス成形された成形体の模式的な
拡大図である。成形体は焼成粉ＡとＢとをバインダーで
連結した顆粒物で構成されており、焼成粉Ａはガラスマ
トリックス１中にマイカ２とジルコニア３の結晶が析出
したものであり、焼成粉Ｂは亜鉛陽イオンと珪酸陰イオ
ンとからなるイオン結晶とコーディエライトとからなる
多結晶体である。このような成形体を脱脂したあと焼成
すると、図３に示す構造のセミラックス焼結体Ｃ（二相
以上の系からなる複合セミラックス）が得られる。
拡大図である。成形体は焼成粉ＡとＢとをバインダーで
連結した顆粒物で構成されており、焼成粉Ａはガラスマ
トリックス１中にマイカ２とジルコニア３の結晶が析出
したものであり、焼成粉Ｂは亜鉛陽イオンと珪酸陰イオ
ンとからなるイオン結晶とコーディエライトとからなる
多結晶体である。このような成形体を脱脂したあと焼成
すると、図３に示す構造のセミラックス焼結体Ｃ（二相
以上の系からなる複合セミラックス）が得られる。
【００２０】〔実施例２〜４〕マイカ分散ガラス質セラ
ミックスの原料配合は、実施例１と同一としてその他の
原料配合物の配合割合を変化させ、実施例１と同様な方
法により試料番号２〜４のセラミックス焼結体を製造し
た。
ミックスの原料配合は、実施例１と同一としてその他の
原料配合物の配合割合を変化させ、実施例１と同様な方
法により試料番号２〜４のセラミックス焼結体を製造し
た。
【００２１】このようにして製造された複合セミラック
スについて、熱膨張係数、曲げ強度、切削加工性を評価
する性能試験を行った結果を表１に示す。比較例にはマ
イカ分散ガラス質セラミックス〔商品名「ホトベー
ル」〕を用いた。
スについて、熱膨張係数、曲げ強度、切削加工性を評価
する性能試験を行った結果を表１に示す。比較例にはマ
イカ分散ガラス質セラミックス〔商品名「ホトベー
ル」〕を用いた。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１より本発明の製法によって得られる複
合セラミックスは、比較例のマイカ分散ガラス質セラミ
ックスに比べて熱膨張係数が小さくかつ熱衝撃抵抗性が
向上していることがわかる。
合セラミックスは、比較例のマイカ分散ガラス質セラミ
ックスに比べて熱膨張係数が小さくかつ熱衝撃抵抗性が
向上していることがわかる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明方法によれば、熱膨
張係数が小さく機械加工性に優れた複合セラミックスを
得ることができる。従って、低熱膨張性が要求される機
械部品や半導体治具等にマイカ分散ガラス質セラミック
スを用いることができるようになり、マイカ分散ガラス
質セラミックスの用途を拡げることができ、極めて有用
である。
張係数が小さく機械加工性に優れた複合セラミックスを
得ることができる。従って、低熱膨張性が要求される機
械部品や半導体治具等にマイカ分散ガラス質セラミック
スを用いることができるようになり、マイカ分散ガラス
質セラミックスの用途を拡げることができ、極めて有用
である。
【図１】本発明の製造方法を示す工程図
【図２】成形体の模式的な拡大図
【図３】焼結体の模式的な拡大図
Claims (2)
- 【請求項１】 マイカ分散ガラス質セラミックス粉末３
０〜５０重量部、フッ化マグネシウム１〜１０重量部、
炭酸リチウム０．５〜５重量部を含むリチウム化合物を
混合し、得られた混合粉末を耐火容器に入れて焼成した
あと微粉砕して焼成粉（Ａ）を得る工程と、酸化亜鉛２
０〜３５重量部、二酸化珪素４．５〜１８．０重量部、
コーディエライト１〜１０重量部を混合し、得られた混
合粉末を耐火容器に入れて焼成したあと微粉砕して焼成
粉（Ｂ）を得る工程と、前記の各工程で得られた焼成粉
（Ａ）と（Ｂ）とをバインダーを添加して混合したあと
造粒して顆粒物を得る工程と、この顆粒物をプレス成
形、脱脂及び本焼成してセラミックス焼結体（Ｃ）を得
る工程とからなることを特徴とする、快削性複合セラミ
ックスの製造法。 - 【請求項２】 請求項１記載のマイカ分散ガラス質セラ
ミックスとして陶石５０〜７０重量部、ジルコン１．５
〜１０重量部、フッ化マグネシウム５〜１５重量部、酸
化マグネシウム５〜１５重量部、酸化カリウム４〜１０
重量部を含むカリウム化合物及び酸化ホウ素２．５〜１
０重量部を含むホウ素化合物からなる配合物を溶融・結
晶化したものを用いたことを特徴とする、請求項１記載
の快削性複合セラミックスの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060145A JPH09227223A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 快削性複合セラミックスの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8060145A JPH09227223A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 快削性複合セラミックスの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09227223A true JPH09227223A (ja) | 1997-09-02 |
Family
ID=13133694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8060145A Pending JPH09227223A (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 快削性複合セラミックスの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09227223A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006033392A1 (ja) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Ngk Insulators, Ltd. | コーディエライト質ハニカム構造体の製造方法 |
| CN106009942A (zh) * | 2016-05-20 | 2016-10-12 | 安徽天彩电缆集团有限公司 | 一种具有绝缘作用的电缆防粘粉剂及其制备方法 |
| CN106630969A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-05-10 | 苏州洛特兰新材料科技有限公司 | 一种用于切削刀具的高硬度陶瓷复合材料及其制备方法 |
| KR20210101847A (ko) | 2020-02-11 | 2021-08-19 | (주)에이엔에이치 | 초고주파 대역에서 사용이 가능한 세라믹 및 그의 제조방법 |
| KR20210101839A (ko) | 2020-02-11 | 2021-08-19 | (주)에이엔에이치 | 미세가공이 가능한 세라믹 및 그의 제조방법 |
-
1996
- 1996-02-21 JP JP8060145A patent/JPH09227223A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006033392A1 (ja) * | 2004-09-24 | 2006-03-30 | Ngk Insulators, Ltd. | コーディエライト質ハニカム構造体の製造方法 |
| US8591800B2 (en) | 2004-09-24 | 2013-11-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for producing cordierite-based honeycomb structure |
| CN106009942A (zh) * | 2016-05-20 | 2016-10-12 | 安徽天彩电缆集团有限公司 | 一种具有绝缘作用的电缆防粘粉剂及其制备方法 |
| CN106630969A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-05-10 | 苏州洛特兰新材料科技有限公司 | 一种用于切削刀具的高硬度陶瓷复合材料及其制备方法 |
| KR20210101847A (ko) | 2020-02-11 | 2021-08-19 | (주)에이엔에이치 | 초고주파 대역에서 사용이 가능한 세라믹 및 그의 제조방법 |
| KR20210101839A (ko) | 2020-02-11 | 2021-08-19 | (주)에이엔에이치 | 미세가공이 가능한 세라믹 및 그의 제조방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108367993B (zh) | 经烧结的耐火锆石复合材料，其制造方法和其用途 | |
| EP3090992A1 (de) | Feuerfester versatz und seine verwendung | |
| US2842447A (en) | Method of making a refractory body and article made thereby | |
| EP3237356B1 (de) | Verwendung feuerfester erzeugnisse | |
| DE102012015026A1 (de) | Feuerfestes Erzeugnis und Verwendung des Erzeugnisses | |
| JPH021794B2 (ja) | ||
| CN1254456C (zh) | 一种堇青石—莫来石轻质耐火砖及其制备方法 | |
| KR950014715B1 (ko) | 규석벽돌의 제조방법 | |
| US5026412A (en) | Production process of machinable ceramics | |
| JPH09227223A (ja) | 快削性複合セラミックスの製造法 | |
| JP2007320827A (ja) | 骨材の製造方法 | |
| KR101200718B1 (ko) | 슬립캐스팅 공법을 이용한 고밀도/고인성 실리카 레이돔의 제조방법 | |
| WO1995009820A1 (en) | Body containing deposited corundum and process for producing the body | |
| JP2582730B2 (ja) | セラミック成型品の製造法 | |
| JP2004315293A (ja) | ジルコニア製熱処理用部材とその製造方法 | |
| JP3925077B2 (ja) | ガラス質セラミックスおよびその製造方法ならびにガラス質セラミックス用組成物 | |
| KR20030025720A (ko) | 폐기 동슬래그를 이용한 축열재 제조 | |
| JP2606851B2 (ja) | ガラスセラミックスの製造方法 | |
| JPH11246280A (ja) | 単斜晶セルシアン多孔体およびその製造方法 | |
| RU2422405C1 (ru) | Сырьевая смесь и способ получения высокопрочной огнеупорной керамики на ее основе | |
| JP2000086326A (ja) | 磁器質焼成品の製造方法及び磁器質焼成品 | |
| JPH11292616A (ja) | 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 | |
| Suzdal'tsev | Glass ceramics of β-spodumene composition with controlled dielectric constant | |
| JPH10120462A (ja) | ジルコニア質耐火物 | |
| WO2022207350A1 (de) | Versatz zur herstellung eines feuerfesten, ungebrannten formkörpers, derartige formkörper, verfahren zu dessen herstellung, sowie zustellung eines ofens und ofen |