JPH11292616A - 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 - Google Patents
複合ガラスセラミックスおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH11292616A JPH11292616A JP10145022A JP14502298A JPH11292616A JP H11292616 A JPH11292616 A JP H11292616A JP 10145022 A JP10145022 A JP 10145022A JP 14502298 A JP14502298 A JP 14502298A JP H11292616 A JPH11292616 A JP H11292616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass ceramic
- glass
- filler
- weight
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C10/00—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition
- C03C10/0036—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and a divalent metal oxide as main constituents
- C03C10/0045—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and a divalent metal oxide as main constituents containing SiO2, Al2O3 and MgO as main constituents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C14/00—Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix
- C03C14/004—Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高強度で耐熱性に優れ、高温域で使用する各
種構造材や、各種基板等の電子工業用材料として安定的
に使用でき、工業用材料として広範な用途に使用できる
複合ガラスセラミックスおよびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2
Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％とを
含有し、かつ、上記ガラスセラミックスがマトリックス
を形成していることを特徴とする。
種構造材や、各種基板等の電子工業用材料として安定的
に使用でき、工業用材料として広範な用途に使用できる
複合ガラスセラミックスおよびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2
Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％とを
含有し、かつ、上記ガラスセラミックスがマトリックス
を形成していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高強度で耐熱性に
優れ、各種高温構造材や、各種基板等の電子工業用材料
として安定的に使用でき、各種工業用材料として広範な
用途に使用できる複合ガラスセラミックスおよびその製
造方法に関する。
優れ、各種高温構造材や、各種基板等の電子工業用材料
として安定的に使用でき、各種工業用材料として広範な
用途に使用できる複合ガラスセラミックスおよびその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラスセラミックスやセラミックスは各
種構造材や、各種基板等の電子工業用材料として広範な
分野に使用されているが、ガラスセラミックスは、高温
構造材として使用するにはその耐熱性や機械的強度が充
分でないものが多く、また、通常の非晶質のガラスに比
べその製造が困難であり、特に、材料寸法の大きな大物
高温構造材には使用されていない。一方、セラミックス
は、一般にその耐熱性や機械的強度がガラスセラミック
スに比べ優れているが、その熱膨張係数が一定であるた
め、例えば金属等の異種の材料と接着する場合、セラミ
ックスと接着する材料もセラミックスと同程度の熱膨張
係数を有するものに限られ、特に高温下で使用する場
合、熱膨張係数に差があると接着部の亀裂や破損等を招
くので、工業用材料としての用途が著しく限定される。
また、セラミックスは一般に焼結温度が高く、例えば基
板等によく使用されているアルミナセラミックスでは焼
結温度が１５００〜１６００℃であり、焼結熱処理のた
めに特殊な焼成炉が必要となり、製造コストが高くなる
という問題がある。そこで、ガラスセラミックスの耐熱
性や機械的強度を向上させるために、ガラスまたはガラ
スセラミックスで形成されるマトリックス中に、エネル
ギー散逸源としてセラミックス粒子等のフィラーを分散
させたり、またはフィラーに起因する結晶相を分散して
析出させる技術が開発されている。このような複合化し
たガラスセラミックス、いわゆる複合ガラスセラミック
スは、ガラスセラミックス単体より高強度で耐熱性に優
れ、また、一般にセラミックスより低い温度で焼結でき
るため、各種工業用材料として広範な用途が期待され、
種々のものが提案されている。
種構造材や、各種基板等の電子工業用材料として広範な
分野に使用されているが、ガラスセラミックスは、高温
構造材として使用するにはその耐熱性や機械的強度が充
分でないものが多く、また、通常の非晶質のガラスに比
べその製造が困難であり、特に、材料寸法の大きな大物
高温構造材には使用されていない。一方、セラミックス
は、一般にその耐熱性や機械的強度がガラスセラミック
スに比べ優れているが、その熱膨張係数が一定であるた
め、例えば金属等の異種の材料と接着する場合、セラミ
ックスと接着する材料もセラミックスと同程度の熱膨張
係数を有するものに限られ、特に高温下で使用する場
合、熱膨張係数に差があると接着部の亀裂や破損等を招
くので、工業用材料としての用途が著しく限定される。
また、セラミックスは一般に焼結温度が高く、例えば基
板等によく使用されているアルミナセラミックスでは焼
結温度が１５００〜１６００℃であり、焼結熱処理のた
めに特殊な焼成炉が必要となり、製造コストが高くなる
という問題がある。そこで、ガラスセラミックスの耐熱
性や機械的強度を向上させるために、ガラスまたはガラ
スセラミックスで形成されるマトリックス中に、エネル
ギー散逸源としてセラミックス粒子等のフィラーを分散
させたり、またはフィラーに起因する結晶相を分散して
析出させる技術が開発されている。このような複合化し
たガラスセラミックス、いわゆる複合ガラスセラミック
スは、ガラスセラミックス単体より高強度で耐熱性に優
れ、また、一般にセラミックスより低い温度で焼結でき
るため、各種工業用材料として広範な用途が期待され、
種々のものが提案されている。
【０００３】例えば、特公昭６３−６５０３号公報に
は、熱膨張係数が５〜４５×１０-7のガラス又は結晶化
ガラス中に、表面にＳｉＯ2被膜を持たせたセラミック
ス粒子を分散させたガラス−セラミック複合体が開示さ
れている。しかし、このガラス−セラミック複合体は、
同号公報の実施例が示すように、熱膨張係数の範囲が２
５〜５３×１０-7であり、充分に広い範囲を有している
とは言い難く、上述した理由から各種工業用材料として
広範な用途に使用するには適当ではない。また、このガ
ラス−セラミック複合体は、セラミックス粒子をそのま
ま混合し焼成しても緻密な複合体が得られないため、分
散させるセラミック粒子に予めＳｉＯ2被膜をコーティ
ングする必要があり、製造工程が複雑になる問題があ
る。
は、熱膨張係数が５〜４５×１０-7のガラス又は結晶化
ガラス中に、表面にＳｉＯ2被膜を持たせたセラミック
ス粒子を分散させたガラス−セラミック複合体が開示さ
れている。しかし、このガラス−セラミック複合体は、
同号公報の実施例が示すように、熱膨張係数の範囲が２
５〜５３×１０-7であり、充分に広い範囲を有している
とは言い難く、上述した理由から各種工業用材料として
広範な用途に使用するには適当ではない。また、このガ
ラス−セラミック複合体は、セラミックス粒子をそのま
ま混合し焼成しても緻密な複合体が得られないため、分
散させるセラミック粒子に予めＳｉＯ2被膜をコーティ
ングする必要があり、製造工程が複雑になる問題があ
る。
【０００４】また、特公平４−１９１７６号公報には、
組成がＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ−Ｒ2Ｏ系のガラス粉末
とセラミック粉末とからなるガラスセラミックが開示さ
れている。このガラス粉末は、結晶核形成剤を含有して
いないため、熱処理後も結晶が析出せず、上記ガラスセ
ラミックのマトリックスは非晶質のガラス相である。そ
のため上記ガラスセラミックは、同号公報の実施例が示
すように抗折強度（曲げ強度）が８００〜１４８０ｋｇ
／ｃｍ2と低く、その用途は高強度を必要としない材料
に限られる。また、特公平６−１７２４９号公報および
特公平６−７６２２７号公報には、核発生剤を添加した
ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＭｇＯ系のガラス組成物
粉末とフィラーとの混合物を焼成して得られるガラスセ
ラミック焼結体が開示されている。これらのガラスセラ
ミックス焼結体のガラス組成物粉末は、熱処理すること
によりコーディエライトを主結晶として析出するもので
あるが、これらのガラスセラミック焼結体は、焼成温度
が１０００℃以下と低い反面、１０００℃を超える高温
域で構造材として使用するには、耐熱性が充分ではな
い。また、特公平６−１７２４９号公報のガラスセラミ
ック焼結体は、同号公報の実施例が示すように熱膨張率
が４３〜５５×１０-7／℃の範囲であり、特公平６−７
６２２７号公報のガラスセラミック焼結体は、同号公報
の実施例が示すように熱膨張率が４１〜５３×１０-7／
℃の範囲であって、いずれも、上記特公昭６３−６５０
３号公報のガラス−セラミック複合体よりもさらに熱膨
張率（熱膨張係数）の範囲が狭く、それらの用途は一層
限定される。
組成がＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ−Ｒ2Ｏ系のガラス粉末
とセラミック粉末とからなるガラスセラミックが開示さ
れている。このガラス粉末は、結晶核形成剤を含有して
いないため、熱処理後も結晶が析出せず、上記ガラスセ
ラミックのマトリックスは非晶質のガラス相である。そ
のため上記ガラスセラミックは、同号公報の実施例が示
すように抗折強度（曲げ強度）が８００〜１４８０ｋｇ
／ｃｍ2と低く、その用途は高強度を必要としない材料
に限られる。また、特公平６−１７２４９号公報および
特公平６−７６２２７号公報には、核発生剤を添加した
ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＭｇＯ系のガラス組成物
粉末とフィラーとの混合物を焼成して得られるガラスセ
ラミック焼結体が開示されている。これらのガラスセラ
ミックス焼結体のガラス組成物粉末は、熱処理すること
によりコーディエライトを主結晶として析出するもので
あるが、これらのガラスセラミック焼結体は、焼成温度
が１０００℃以下と低い反面、１０００℃を超える高温
域で構造材として使用するには、耐熱性が充分ではな
い。また、特公平６−１７２４９号公報のガラスセラミ
ック焼結体は、同号公報の実施例が示すように熱膨張率
が４３〜５５×１０-7／℃の範囲であり、特公平６−７
６２２７号公報のガラスセラミック焼結体は、同号公報
の実施例が示すように熱膨張率が４１〜５３×１０-7／
℃の範囲であって、いずれも、上記特公昭６３−６５０
３号公報のガラス−セラミック複合体よりもさらに熱膨
張率（熱膨張係数）の範囲が狭く、それらの用途は一層
限定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
従来技術の問題点を解決し、高強度で耐熱性に優れ、高
温域で使用する各種構造材や、各種基板等の電子工業用
材料として安定的に使用でき、工業用材料として広範な
用途に使用できる複合ガラスセラミックスおよびその製
造方法を提供することにある。
従来技術の問題点を解決し、高強度で耐熱性に優れ、高
温域で使用する各種構造材や、各種基板等の電子工業用
材料として安定的に使用でき、工業用材料として広範な
用途に使用できる複合ガラスセラミックスおよびその製
造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解消するための手段】本明者等は、前記目的を
達成するため種々の試験研究を重ねた結果、ＴｉＯ2お
よびＺｒＯ2を結晶核形成剤とした限定された組成範囲
のＳｉＯ2−Ｐ2Ｏ5−Ａｌ2Ｏ3−Ｌｉ2Ｏ系の組成を有
し、熱処理することにより結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するアモルファ
ス状態の原ガラス粉末とフィラーとの混合物もしくは上
記組成系のアモルファス状態の原ガラスまたは原ガラス
粉末を熱処理することにより得られ、結晶相としてβ−
スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を含有する
ガラスセラミックス粉末とフィラーとの混合物を焼結熱
処理して、マトリックスを形成するガラスセラミックス
とフィラーとを複合化させることにより、高強度で耐熱
性に優れ、かつ、用途に応じ熱膨張係数および熱伝導率
を広い範囲で選択可能な複合ガラスセラミックスが得ら
れることを見いだした。
達成するため種々の試験研究を重ねた結果、ＴｉＯ2お
よびＺｒＯ2を結晶核形成剤とした限定された組成範囲
のＳｉＯ2−Ｐ2Ｏ5−Ａｌ2Ｏ3−Ｌｉ2Ｏ系の組成を有
し、熱処理することにより結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するアモルファ
ス状態の原ガラス粉末とフィラーとの混合物もしくは上
記組成系のアモルファス状態の原ガラスまたは原ガラス
粉末を熱処理することにより得られ、結晶相としてβ−
スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を含有する
ガラスセラミックス粉末とフィラーとの混合物を焼結熱
処理して、マトリックスを形成するガラスセラミックス
とフィラーとを複合化させることにより、高強度で耐熱
性に優れ、かつ、用途に応じ熱膨張係数および熱伝導率
を広い範囲で選択可能な複合ガラスセラミックスが得ら
れることを見いだした。
【０００７】すなわち、前記本発明の目的を達成する請
求項１に記載の複合ガラスセラミックスは、重量％で、
ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、ただし、
重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2 ０．０８〜０．２０、Ａｌ2
Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜
２％、ＺｎＯ ０．５〜２％、ＣａＯ ０．３〜４％、Ｂ
ａＯ ０．５〜４％、ＴｉＯ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜
４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％からなる組成を有し、結晶相
としてβ−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体
を含有するガラスセラミックス３０〜９５重量％と、フ
ィラー５〜７０重量％とを含有し、かつ、上記ガラスセ
ラミックスがマトリックスを形成していることを特徴と
する。
求項１に記載の複合ガラスセラミックスは、重量％で、
ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、ただし、
重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2 ０．０８〜０．２０、Ａｌ2
Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜
２％、ＺｎＯ ０．５〜２％、ＣａＯ ０．３〜４％、Ｂ
ａＯ ０．５〜４％、ＴｉＯ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜
４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％からなる組成を有し、結晶相
としてβ−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体
を含有するガラスセラミックス３０〜９５重量％と、フ
ィラー５〜７０重量％とを含有し、かつ、上記ガラスセ
ラミックスがマトリックスを形成していることを特徴と
する。
【０００８】また、請求項２に記載の複合ガラスセラミ
ックスは、請求項１に記載の複合ガラスセラミックスに
おいて、フィラーがＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの
中から選ばれた１種または２種以上であることを特徴と
する。
ックスは、請求項１に記載の複合ガラスセラミックスに
おいて、フィラーがＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの
中から選ばれた１種または２種以上であることを特徴と
する。
【０００９】また、請求項３に記載の複合ガラスセラミ
ックスは、請求項１または２に記載の複合ガラスセラミ
ックスにおいて、１００〜３００℃の温度範囲における
熱膨張係数（α）が５〜１１０×１０-7／℃であること
を特徴とする。
ックスは、請求項１または２に記載の複合ガラスセラミ
ックスにおいて、１００〜３００℃の温度範囲における
熱膨張係数（α）が５〜１１０×１０-7／℃であること
を特徴とする。
【００１０】また、請求項４に記載の複合ガラスセラミ
ックスは、請求項１〜３に記載の複合ガラスセラミック
スにおいて、熱伝導率が１〜６Ｗ／ｍＫであること特徴
とする。
ックスは、請求項１〜３に記載の複合ガラスセラミック
スにおいて、熱伝導率が１〜６Ｗ／ｍＫであること特徴
とする。
【００１１】また、請求項５に記載の複合ガラスセラミ
ックスは、請求項１〜４に記載の複合ガラスセラミック
スにおいて、曲げ強度が１５ｋｇｆ／ｍｍ2以上である
ことを特徴とする。なお、本発明における曲げ強度は、
４点荷重方式により測定した曲げ強度である。
ックスは、請求項１〜４に記載の複合ガラスセラミック
スにおいて、曲げ強度が１５ｋｇｆ／ｍｍ2以上である
ことを特徴とする。なお、本発明における曲げ強度は、
４点荷重方式により測定した曲げ強度である。
【００１２】また、前記本発明の目的を達成する請求項
６に記載の複合ガラスセラミックスの製造方法は、重量
％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、た
だし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2 ０．０８〜０．２０、
Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％ 、Ｌｉ2Ｏ ３〜５％、ＭｇＯ
０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２％、ＣａＯ ０．３〜
４％、ＢａＯ ０．５〜４％、ＴｉＯ2 １〜４％、Ｚｒ
Ｏ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％からなる組成を有
し、熱処理することにより結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するアモルファ
ス状態の原ガラス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５
〜７０重量％とを混合し、得られた混合物を１１００〜
１２５０℃で焼結熱処理することを特徴とする。
６に記載の複合ガラスセラミックスの製造方法は、重量
％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、た
だし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2 ０．０８〜０．２０、
Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％ 、Ｌｉ2Ｏ ３〜５％、ＭｇＯ
０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２％、ＣａＯ ０．３〜
４％、ＢａＯ ０．５〜４％、ＴｉＯ2 １〜４％、Ｚｒ
Ｏ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％からなる組成を有
し、熱処理することにより結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するアモルファ
ス状態の原ガラス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５
〜７０重量％とを混合し、得られた混合物を１１００〜
１２５０℃で焼結熱処理することを特徴とする。
【００１３】また、請求項７に記載の複合ガラスセラミ
ックスの製造方法は、請求項６に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法において、原ガラス粉末の平均粒径
が５０μｍ以下、最大粒径が２００μｍ以下であり、か
つ、フィラーの粒径が原ガラス粉末の平均粒径より小さ
いことを特徴とする。なお、本発明における平均粒径
は、光回折・散乱法により測定した平均粒径（重量基
準）である。
ックスの製造方法は、請求項６に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法において、原ガラス粉末の平均粒径
が５０μｍ以下、最大粒径が２００μｍ以下であり、か
つ、フィラーの粒径が原ガラス粉末の平均粒径より小さ
いことを特徴とする。なお、本発明における平均粒径
は、光回折・散乱法により測定した平均粒径（重量基
準）である。
【００１４】また、請求項８に記載の複合ガラスセラミ
クスの製造方法は、重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、
Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％
とを混合し、得られた混合物を１１００〜１２５０℃で
焼結熱処理することを特徴とする。
クスの製造方法は、重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、
Ｐ2Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％
とを混合し、得られた混合物を１１００〜１２５０℃で
焼結熱処理することを特徴とする。
【００１５】また、請求項９に記載の複合ガラスセラミ
ックスの製造方法は、請求項８に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法において、ガラスセラミックス粉末
の平均粒径が５０μｍ以下、最大粒径が２００μｍ以下
であり、かつ、フィラーの粒径がガラスセラミックス粉
末の平均粒径より小さいことを特徴とする。
ックスの製造方法は、請求項８に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法において、ガラスセラミックス粉末
の平均粒径が５０μｍ以下、最大粒径が２００μｍ以下
であり、かつ、フィラーの粒径がガラスセラミックス粉
末の平均粒径より小さいことを特徴とする。
【００１６】また、請求項１０に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法は、請求項６〜９に記載の複合ガラ
スセラミックスの製造方法において、フィラーがＡｌ2
Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの中から選ばれた１種または
２種以上であることを特徴とする。
ミックスの製造方法は、請求項６〜９に記載の複合ガラ
スセラミックスの製造方法において、フィラーがＡｌ2
Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの中から選ばれた１種または
２種以上であることを特徴とする。
【００１７】また、請求項１１に記載の複合ガラスセラ
ミックスの製造方法は、請求項６〜１０に記載の複合ガ
ラスセラミックスの製造方法において、混合物を焼結熱
処理温度まで２００℃／ｈｒ以上の昇温速度で加熱、昇
温した後、焼結熱処理することを特徴とする。
ミックスの製造方法は、請求項６〜１０に記載の複合ガ
ラスセラミックスの製造方法において、混合物を焼結熱
処理温度まで２００℃／ｈｒ以上の昇温速度で加熱、昇
温した後、焼結熱処理することを特徴とする。
【００１８】本発明の複合ガラスセラミックスのマトリ
ックスを形成するガラスセラミックスは、結晶相とし
て、β−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を
含有するが、ここで、上記β−石英固溶体は、β−石英
およびこれに酷似の構造を有するβ−ユークリプタイト
〔Ｌｉ2Ｏ・Ａｌ2Ｏ3・２ＳｉＯ2（ただしＬｉ2Ｏの一
部はＭｇＯおよびＺｎＯと置換可能）〕の総称である。
さらに、本発明の複合ガラスセラミックスのマトリック
ス中には、上記結晶相の他にフィラーの結晶相およびフ
ィラーと原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末と
の反応により生成する結晶相が析出していること、およ
び／またはフィラー粒子がエネルギー散逸源として複合
化されていることにより、本発明の複合ガラスセラミッ
クスは、ガラスセラミックス単体と比べて高強度であ
る。また、ガラスセラミックスの組成、フィラーの種類
および含有量ならびに焼結熱処理温度を適宜選択して、
上記複合ガラスセラミックスのマトリックス中の結晶相
の種類や析出量を制御することにより、広範な用途に応
じて複合ガラスセラミックスの熱膨張係数および熱伝導
率を変化させることができる。
ックスを形成するガラスセラミックスは、結晶相とし
て、β−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を
含有するが、ここで、上記β−石英固溶体は、β−石英
およびこれに酷似の構造を有するβ−ユークリプタイト
〔Ｌｉ2Ｏ・Ａｌ2Ｏ3・２ＳｉＯ2（ただしＬｉ2Ｏの一
部はＭｇＯおよびＺｎＯと置換可能）〕の総称である。
さらに、本発明の複合ガラスセラミックスのマトリック
ス中には、上記結晶相の他にフィラーの結晶相およびフ
ィラーと原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末と
の反応により生成する結晶相が析出していること、およ
び／またはフィラー粒子がエネルギー散逸源として複合
化されていることにより、本発明の複合ガラスセラミッ
クスは、ガラスセラミックス単体と比べて高強度であ
る。また、ガラスセラミックスの組成、フィラーの種類
および含有量ならびに焼結熱処理温度を適宜選択して、
上記複合ガラスセラミックスのマトリックス中の結晶相
の種類や析出量を制御することにより、広範な用途に応
じて複合ガラスセラミックスの熱膨張係数および熱伝導
率を変化させることができる。
【００１９】次に、本発明の複合ガラスセラミックスの
マトリックスを形成するガラスセラミックスおよびその
母材である原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末
の組成を限定した理由を述べる。ＳｉＯ2成分は、β−
スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体結晶の構成
要素となる重要な成分であるが、その量が５０％未満の
場合には、得られるガラスセラミックスの結晶粒径が粗
大化し、緻密な複合ガラスセラミックスを得難くなる。
また、６２％を超えると原ガラスの溶融清澄が困難にな
る。ＳｉＯ2成分の量の好ましい範囲は５０〜６０％で
あり、特に好ましい範囲は５３〜５７％である。
マトリックスを形成するガラスセラミックスおよびその
母材である原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末
の組成を限定した理由を述べる。ＳｉＯ2成分は、β−
スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体結晶の構成
要素となる重要な成分であるが、その量が５０％未満の
場合には、得られるガラスセラミックスの結晶粒径が粗
大化し、緻密な複合ガラスセラミックスを得難くなる。
また、６２％を超えると原ガラスの溶融清澄が困難にな
る。ＳｉＯ2成分の量の好ましい範囲は５０〜６０％で
あり、特に好ましい範囲は５３〜５７％である。
【００２０】Ｐ2Ｏ5成分はＳｉＯ2成分と共存させるこ
とにより原ガラスの溶融性を向上させ、原ガラスの清澄
を容易にする効果を有するが、その量が５％未満の場合
には上記効果が得られず、また１０％を超えるとガラス
セラミックスの結晶粒径が粗大化し、緻密な複合ガラス
セラミックスを得難くなる。Ｐ2Ｏ5成分の量の好ましい
範囲は６〜１０％であり、特に好ましい範囲は７〜９％
である。さらに上記効果を著しく向上させるために、後
述のＬｉ2Ｏ＋ＭｇＯ＋ＺｎＯおよびＣａＯ＋ＢａＯ成
分との共存下において、ＳｉＯ2成分に対する Ｐ2Ｏ5成
分の重量比を０．０８〜０．２０の範囲内とするのが良
く、特に好ましい範囲は０．１３〜０．１７である。
とにより原ガラスの溶融性を向上させ、原ガラスの清澄
を容易にする効果を有するが、その量が５％未満の場合
には上記効果が得られず、また１０％を超えるとガラス
セラミックスの結晶粒径が粗大化し、緻密な複合ガラス
セラミックスを得難くなる。Ｐ2Ｏ5成分の量の好ましい
範囲は６〜１０％であり、特に好ましい範囲は７〜９％
である。さらに上記効果を著しく向上させるために、後
述のＬｉ2Ｏ＋ＭｇＯ＋ＺｎＯおよびＣａＯ＋ＢａＯ成
分との共存下において、ＳｉＯ2成分に対する Ｐ2Ｏ5成
分の重量比を０．０８〜０．２０の範囲内とするのが良
く、特に好ましい範囲は０．１３〜０．１７である。
【００２１】Ａｌ2Ｏ3成分は、β−スポジュメンおよび
／またはβ−石英固溶体結晶の構成要素となる重要な成
分であるが、その量が２２％未満では原ガラスの溶融が
困難になるとともに、原ガラスの耐失透性が悪化する。
また、２６％を超えると、やはり、原ガラスの溶融が困
難となり、かつ、耐失透性が悪化する。Ａｌ2Ｏ3成分の
量の特に好ましい範囲は２３〜２５％である。
／またはβ−石英固溶体結晶の構成要素となる重要な成
分であるが、その量が２２％未満では原ガラスの溶融が
困難になるとともに、原ガラスの耐失透性が悪化する。
また、２６％を超えると、やはり、原ガラスの溶融が困
難となり、かつ、耐失透性が悪化する。Ａｌ2Ｏ3成分の
量の特に好ましい範囲は２３〜２５％である。
【００２２】Ｌｉ2Ｏ、ＭｇＯおよびＺｎＯの３成分は
β−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体結晶の
構成要素となる重要な成分である。これらの３成分は上
記ＳｉＯ2成分に対するＰ2Ｏ5成分の限定された重要比
と相まって、原ガラスの溶融性を向上させ、その清澄を
容易にする効果を有するが、Ｌｉ2Ｏ成分は、その量が
３％未満の場合には原ガラスの溶融性が悪化し、また所
要量の微細な結晶が析出し難くなる。また５％を超える
と上記効果が得られず、また結晶粒径が粗大となり、緻
密な複合ガラスセラミックスを得難くなる。Ｌｉ2Ｏ成
分の量の特に好ましい範囲は３．７〜４．５％である。
ＭｇＯ成分は、その量が０．６％未満の場合には上記効
果が得られず、原ガラスの溶融性が悪化する。また２％
を超えると上記効果が得られず、所要の結晶相が析出し
難くなる。ＭｇＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．７
〜１．４％である。ＺｎＯ成分は、その量が０．５％未
満の場合には上記効果が得られず、原ガラスの溶融性が
悪化する。また２％を超えると上記効果が得られず、原
ガラスの耐失透性が悪化し、また所要の結晶相が析出し
難くなる。ＺｎＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．５
〜１．５％である。さらに上記効果を著しく向上させる
ためには、Ｌｉ2Ｏ＋ＭｇＯ＋ＺｎＯの３成分の合計量
を４．６〜６．５％の範囲にするのが好ましく、特に好
ましい範囲は５．０〜６．０％である。
β−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体結晶の
構成要素となる重要な成分である。これらの３成分は上
記ＳｉＯ2成分に対するＰ2Ｏ5成分の限定された重要比
と相まって、原ガラスの溶融性を向上させ、その清澄を
容易にする効果を有するが、Ｌｉ2Ｏ成分は、その量が
３％未満の場合には原ガラスの溶融性が悪化し、また所
要量の微細な結晶が析出し難くなる。また５％を超える
と上記効果が得られず、また結晶粒径が粗大となり、緻
密な複合ガラスセラミックスを得難くなる。Ｌｉ2Ｏ成
分の量の特に好ましい範囲は３．７〜４．５％である。
ＭｇＯ成分は、その量が０．６％未満の場合には上記効
果が得られず、原ガラスの溶融性が悪化する。また２％
を超えると上記効果が得られず、所要の結晶相が析出し
難くなる。ＭｇＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．７
〜１．４％である。ＺｎＯ成分は、その量が０．５％未
満の場合には上記効果が得られず、原ガラスの溶融性が
悪化する。また２％を超えると上記効果が得られず、原
ガラスの耐失透性が悪化し、また所要の結晶相が析出し
難くなる。ＺｎＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．５
〜１．５％である。さらに上記効果を著しく向上させる
ためには、Ｌｉ2Ｏ＋ＭｇＯ＋ＺｎＯの３成分の合計量
を４．６〜６．５％の範囲にするのが好ましく、特に好
ましい範囲は５．０〜６．０％である。
【００２３】ＣａＯおよびＢａＯの２成分は、マトリッ
クスを形成するガラスセラミックス中において、基本的
に結晶相以外のガラス相として残存する成分であり、熱
処理により析出する結晶相と残存するガラス相との比率
を微調整する成分として重要である。ＣａＯ成分は、そ
の量が０．３％未満では上記効果が得られず、また４％
を超えるとやはり上記効果が得られず、原ガラスの耐失
透性が悪化する。ＣａＯ成分の量の特に好ましい範囲は
０．５〜２．５％である。ＢａＯ成分は、その量が０．
５％未満では上記効果が得られず、また４％を超えると
原ガラスの耐失透性および溶融性がともに悪化する。Ｂ
ａＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．５〜１．５％で
ある。さらに上記効果を著しく向上させるためには、Ｃ
ａＯ＋ＢａＯの２成分の合計量を１〜５％の範囲にする
のが好ましく、特に好ましい範囲は１．５〜２．５％で
ある。
クスを形成するガラスセラミックス中において、基本的
に結晶相以外のガラス相として残存する成分であり、熱
処理により析出する結晶相と残存するガラス相との比率
を微調整する成分として重要である。ＣａＯ成分は、そ
の量が０．３％未満では上記効果が得られず、また４％
を超えるとやはり上記効果が得られず、原ガラスの耐失
透性が悪化する。ＣａＯ成分の量の特に好ましい範囲は
０．５〜２．５％である。ＢａＯ成分は、その量が０．
５％未満では上記効果が得られず、また４％を超えると
原ガラスの耐失透性および溶融性がともに悪化する。Ｂ
ａＯ成分の量の特に好ましい範囲は０．５〜１．５％で
ある。さらに上記効果を著しく向上させるためには、Ｃ
ａＯ＋ＢａＯの２成分の合計量を１〜５％の範囲にする
のが好ましく、特に好ましい範囲は１．５〜２．５％で
ある。
【００２４】ＴｉＯ2およびＺｒＯ2成分は、いずれも結
晶核形成剤として不可欠であるが、これらの量がそれぞ
れ１％未満では所望の結晶を析出することができず、ま
た、それぞれ４％を超えると原ガラスの耐失透性が悪化
する。これら２成分の量の特に好ましい範囲は、ＴｉＯ
2成分は１．５〜３．０％であり、ＺｒＯ2成分は１．０
〜２．５％である。またこれらＴｉＯ2＋ＺｒＯ2の２成
分の合計量は２．５〜５．０％の範囲にするのが好まし
く、特に好ましい範囲は３．５〜５．０％である。Ａｓ
2Ｏ3成分は、均質な原ガラスを得るため、原ガラス溶融
の際の清澄剤として任意に添加し得るが、その量は２％
以下で十分である。
晶核形成剤として不可欠であるが、これらの量がそれぞ
れ１％未満では所望の結晶を析出することができず、ま
た、それぞれ４％を超えると原ガラスの耐失透性が悪化
する。これら２成分の量の特に好ましい範囲は、ＴｉＯ
2成分は１．５〜３．０％であり、ＺｒＯ2成分は１．０
〜２．５％である。またこれらＴｉＯ2＋ＺｒＯ2の２成
分の合計量は２．５〜５．０％の範囲にするのが好まし
く、特に好ましい範囲は３．５〜５．０％である。Ａｓ
2Ｏ3成分は、均質な原ガラスを得るため、原ガラス溶融
の際の清澄剤として任意に添加し得るが、その量は２％
以下で十分である。
【００２５】なお、上記各成分の他に、本発明の複合ガ
ラスセラミックスの所望の諸特性を損なわない範囲で、
ＰｂＯ、ＳｒＯ、Ｂ2Ｏ3、Ｆ2、Ｌａ2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3、
ＷＯ3、Ｙ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3およびＳｎＯ2成分の１種また
は２種以上を合計で２％まで、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｎＯ
2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の着色成分の１種または２種
以上を合計で２％まで、それぞれ添加することができ
る。
ラスセラミックスの所望の諸特性を損なわない範囲で、
ＰｂＯ、ＳｒＯ、Ｂ2Ｏ3、Ｆ2、Ｌａ2Ｏ3、Ｂｉ2Ｏ3、
ＷＯ3、Ｙ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3およびＳｎＯ2成分の１種また
は２種以上を合計で２％まで、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｎＯ
2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の着色成分の１種または２種
以上を合計で２％まで、それぞれ添加することができ
る。
【００２６】一方、本発明の複合ガラスセラミックスの
フィラーとしては、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＭｇＯ等のセ
ラミックス粉末ならびにＳｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｉ、
Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏおよびそれ
らの合金、ステンレス鋼、超耐熱合金等の金属粒子の中
から選ばれた１種または２種以上を用いることができる
が、特に、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの中から選
ばれた１種または２種以上をフィラーとすることが好ま
しい。
フィラーとしては、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＭｇＯ等のセ
ラミックス粉末ならびにＳｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔｉ、
Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏおよびそれ
らの合金、ステンレス鋼、超耐熱合金等の金属粒子の中
から選ばれた１種または２種以上を用いることができる
が、特に、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭｇＯの中から選
ばれた１種または２種以上をフィラーとすることが好ま
しい。
【００２７】本発明の複合ガラスセラミックスは、上記
組成を有し、熱処理することにより結晶相としてβ−ス
ポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するア
モルファス状態の原ガラス粉末３０〜９５重量％もしく
は上記組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンおよ
び／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミック
ス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％と
を混合し、得られた混合物を成形型等に入れまたは混合
物をプレス等により所望形状に成形し、１１００〜１２
５０℃で焼結熱処理することにより得ることができる。
フィラーが７０％を超えると混合物の焼結性が悪くな
り、緻密な複合ガラスセラミックスを得ることができな
くなる。また、その量が５％未満ではフィラーとガラス
セラミックスとの複合効果が得られず、熱膨張係数
（α）、熱伝導率および曲げ強度等の本発明の複合ガラ
スセラミックスの所望の諸特性が得難くなる。
組成を有し、熱処理することにより結晶相としてβ−ス
ポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を析出するア
モルファス状態の原ガラス粉末３０〜９５重量％もしく
は上記組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンおよ
び／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミック
ス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％と
を混合し、得られた混合物を成形型等に入れまたは混合
物をプレス等により所望形状に成形し、１１００〜１２
５０℃で焼結熱処理することにより得ることができる。
フィラーが７０％を超えると混合物の焼結性が悪くな
り、緻密な複合ガラスセラミックスを得ることができな
くなる。また、その量が５％未満ではフィラーとガラス
セラミックスとの複合効果が得られず、熱膨張係数
（α）、熱伝導率および曲げ強度等の本発明の複合ガラ
スセラミックスの所望の諸特性が得難くなる。
【００２８】また、焼結熱処理温度が１１００℃未満で
は、原ガラス粉末およびガラスセラミックス粉末が軟化
しにくくなることにより、マトリックスを形成するガラ
スセラミックスとフィラーとの融着性が悪くなって、緻
密な複合ガラスセラミックスが得難くなる。また、１２
５０℃を超えると複合ガラスセラミックス中に気孔（ポ
ア）が生じるので好ましくない。
は、原ガラス粉末およびガラスセラミックス粉末が軟化
しにくくなることにより、マトリックスを形成するガラ
スセラミックスとフィラーとの融着性が悪くなって、緻
密な複合ガラスセラミックスが得難くなる。また、１２
５０℃を超えると複合ガラスセラミックス中に気孔（ポ
ア）が生じるので好ましくない。
【００２９】また、原ガラス粉末またはガラスセラミッ
クス粉末とフィラーとの混合物を焼結熱処理温度まで加
熱、昇温する際の昇温速度は２００℃／ｈｒ以上である
ことが好ましく、２５０〜８００℃／ｈｒの範囲内であ
ることが特に好ましい。昇温速度が２００℃／ｈｒ未満
の場合、結晶成長温度域において結晶化が過度に進行し
て、マトリックスを形成するガラスセラミックスの熱膨
張係数とフィラーの熱膨張係数との差が大きくなり微少
な亀裂が生じて、緻密な複合ガラスセラミックスを得る
ことが難しくなる。また、昇温速度が８００℃／ｈｒを
超えると、昇温中に所望形状に成形した混合物中にひず
みが生じて割れたり、また、原ガラス粉末およびガラス
セラミックス粉末が急激に軟化し、成形した混合物が変
形したりするので好ましくない。
クス粉末とフィラーとの混合物を焼結熱処理温度まで加
熱、昇温する際の昇温速度は２００℃／ｈｒ以上である
ことが好ましく、２５０〜８００℃／ｈｒの範囲内であ
ることが特に好ましい。昇温速度が２００℃／ｈｒ未満
の場合、結晶成長温度域において結晶化が過度に進行し
て、マトリックスを形成するガラスセラミックスの熱膨
張係数とフィラーの熱膨張係数との差が大きくなり微少
な亀裂が生じて、緻密な複合ガラスセラミックスを得る
ことが難しくなる。また、昇温速度が８００℃／ｈｒを
超えると、昇温中に所望形状に成形した混合物中にひず
みが生じて割れたり、また、原ガラス粉末およびガラス
セラミックス粉末が急激に軟化し、成形した混合物が変
形したりするので好ましくない。
【００３０】アモルファス状態の原ガラス粉末と、フィ
ラーとを混合して本発明の複合ガラスセラミックスを製
造する場合、上記原ガラス粉末は、上述した組成となる
ように、酸化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のガラス
原料を秤量、調合し、ルツボ等に入れ、約１４００〜１
６００℃で約７〜９時間溶融、撹拌、清澄した後、溶融
ガラスを鋳型等にキャストして徐冷するか、または、ロ
ール急冷法、水中投入法等により急冷して得た原ガラス
をボールミル、遊星ボールミル、ローラミル等の公知の
粉砕装置を用い、湿式法または乾式法等の公知の粉砕方
法により粉砕して得ることができる。また、ガラスセラ
ミックス粉末と、フィラーとを混合して本発明の複合ガ
ラスセラミックスを製造する場合、ガラスセラミックス
粉末は、上述の方法により得られた原ガラス粉末を７５
０〜８００℃で熱処理して、結晶化することにより得る
ことができる。また、原ガラスを粉末にする前に、７５
０〜１２００℃で熱処理して、結晶化することにより得
たガラスセラミックスを上述した公知の粉砕装置および
粉砕方法により粉砕することによっても得ることができ
る。
ラーとを混合して本発明の複合ガラスセラミックスを製
造する場合、上記原ガラス粉末は、上述した組成となる
ように、酸化物、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩等のガラス
原料を秤量、調合し、ルツボ等に入れ、約１４００〜１
６００℃で約７〜９時間溶融、撹拌、清澄した後、溶融
ガラスを鋳型等にキャストして徐冷するか、または、ロ
ール急冷法、水中投入法等により急冷して得た原ガラス
をボールミル、遊星ボールミル、ローラミル等の公知の
粉砕装置を用い、湿式法または乾式法等の公知の粉砕方
法により粉砕して得ることができる。また、ガラスセラ
ミックス粉末と、フィラーとを混合して本発明の複合ガ
ラスセラミックスを製造する場合、ガラスセラミックス
粉末は、上述の方法により得られた原ガラス粉末を７５
０〜８００℃で熱処理して、結晶化することにより得る
ことができる。また、原ガラスを粉末にする前に、７５
０〜１２００℃で熱処理して、結晶化することにより得
たガラスセラミックスを上述した公知の粉砕装置および
粉砕方法により粉砕することによっても得ることができ
る。
【００３１】以上のようにして得られるアモルファス状
態の原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末の平均
粒径は５０μｍ以下であり、その最大粒径は２００μｍ
以下であることが望ましく、特に平均粒径が１５〜３０
μｍであり、かつ、粒径が５μｍ以下の粉末を２０体積
％以上含んでいることが好ましく、特に２０〜３０体積
％含んでいることが好ましい。原ガラス粉末またはガラ
スセラミックス粉末の平均粒径が５０μｍ超え、最大粒
径が２００μｍを超えると焼結熱処理に要する温度が高
くなり、また、得られる複合ガラスセラミックスの均質
性、緻密性も悪くなる。また、粒径が５μｍ以下の粉末
が２０体積％未満であると、原ガラス粉末またはガラス
セラミックス粉末とフィラーとの混合物をプレス等によ
り成形する際、粉末間の空隙の充填性が悪くなるため緻
密な成形体が得難くなり、また焼結熱処理に要する温度
が高くなる。
態の原ガラス粉末またはガラスセラミックス粉末の平均
粒径は５０μｍ以下であり、その最大粒径は２００μｍ
以下であることが望ましく、特に平均粒径が１５〜３０
μｍであり、かつ、粒径が５μｍ以下の粉末を２０体積
％以上含んでいることが好ましく、特に２０〜３０体積
％含んでいることが好ましい。原ガラス粉末またはガラ
スセラミックス粉末の平均粒径が５０μｍ超え、最大粒
径が２００μｍを超えると焼結熱処理に要する温度が高
くなり、また、得られる複合ガラスセラミックスの均質
性、緻密性も悪くなる。また、粒径が５μｍ以下の粉末
が２０体積％未満であると、原ガラス粉末またはガラス
セラミックス粉末とフィラーとの混合物をプレス等によ
り成形する際、粉末間の空隙の充填性が悪くなるため緻
密な成形体が得難くなり、また焼結熱処理に要する温度
が高くなる。
【００３２】また、フィラーの粒径は、上記原ガラス粉
末またはガラスセラミックス粉末の平均粒径よりも小さ
く、特に、１０μｍ以下であることが望ましい。フィラ
ーの粒径が上記平均粒径よりも大きくなると、ガラス粉
末またはガラスセラミックス粉末とフィラーとの混合物
の焼結性が悪くなるので好ましくない。
末またはガラスセラミックス粉末の平均粒径よりも小さ
く、特に、１０μｍ以下であることが望ましい。フィラ
ーの粒径が上記平均粒径よりも大きくなると、ガラス粉
末またはガラスセラミックス粉末とフィラーとの混合物
の焼結性が悪くなるので好ましくない。
【００３３】以上、説明したとおり本発明の複合ガラス
セラミックスは、アモルファス状態の原ガラス粉末また
はガラスセラミックス粉末とフィラーとを混合し、得ら
れた混合物を焼結熱処理して製造するが、これらの成分
の他に、必要に応じ、着色成分として、ＣｏＯ、Ｎｉ
Ｏ、ＭｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の１種または２種
以上の粉末を本発明の複合ガラスセラミックスの所望の
特性を損なわない範囲で添加、混合することができる。
また、上記混合物に、ポリビニルアルコール、ステアリ
ン酸、ポリエチレングリコール等を、成形時の有機バイ
ンダーとして添加、混合することができる。特に、混合
物を所望形状にプレス成形した後で焼結熱処理する場合
や、寸法の大きな混合物を焼結熱処理する場合には、有
機バインダーを混合することが望ましく、例えば、混合
物１００重量％に対し、１〜２０％程度の濃度のポリビ
ニルアルコール等の有機バインダー水溶液５〜１５重量
％を加えることができる。
セラミックスは、アモルファス状態の原ガラス粉末また
はガラスセラミックス粉末とフィラーとを混合し、得ら
れた混合物を焼結熱処理して製造するが、これらの成分
の他に、必要に応じ、着色成分として、ＣｏＯ、Ｎｉ
Ｏ、ＭｎＯ2、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の１種または２種
以上の粉末を本発明の複合ガラスセラミックスの所望の
特性を損なわない範囲で添加、混合することができる。
また、上記混合物に、ポリビニルアルコール、ステアリ
ン酸、ポリエチレングリコール等を、成形時の有機バイ
ンダーとして添加、混合することができる。特に、混合
物を所望形状にプレス成形した後で焼結熱処理する場合
や、寸法の大きな混合物を焼結熱処理する場合には、有
機バインダーを混合することが望ましく、例えば、混合
物１００重量％に対し、１〜２０％程度の濃度のポリビ
ニルアルコール等の有機バインダー水溶液５〜１５重量
％を加えることができる。
【００３４】
【実施例】次に、本発明の複合ガラスセラミックスの好
適な実施例および比較例について説明する。重量％で、
ＳｉＯ2 ５５．０％、Ｐ2Ｏ5 ８．０％、Ａｌ2Ｏ3 ２
４．０％、Ｌｉ2Ｏ ４．０％、ＭｇＯ １．０％、Ｚｎ
Ｏ ０．５％、ＣａＯ １．０％、ＢａＯ１．０％、Ｔｉ
Ｏ2 ２．５％、ＺｒＯ2 ２．０％およびＡｓ2Ｏ3 １．
０％の組成となるように、酸化物、炭酸塩、水酸化物、
硝酸塩等のガラス原料を秤量、調合し、白金ルツボ等に
入れ、１５００℃で８時間溶融、撹拌、清澄した後、溶
融ガラスを水中に投入して急冷して得た原ガラスをアル
ミナ質ボールミルに入れて粉砕し、粒径が５μｍ以下の
粉末を約２５体積％含有し、平均粒径が約２０μｍ、最
大粒径が約１８０μｍの原ガラス粉末を得た。次にこの
原ガラス粉末および粒径が１０μｍ以下の各種フィラー
粉末を表１に示した割合となるように秤量し、アルミナ
質ボールミルに入れて混合し、混合物を得た。以上、述
べた粉砕および混合工程では、湿式および乾式のいずれ
の方法も採用できるが、本実施例では、乾式法で粉砕、
混合を行った。ついで得られた混合物１００重量％に対
し、濃度２％のポリビニルアルコール水溶液１０重量％
をバインダーとして加え、混合し、金型に入れて一軸プ
レスにより成形し、得られたプレス品を焼成炉に入れ、
室温から表１に示すように各焼結熱処理成温度に達する
まで、一定の昇温速度で加熱、昇温し、各焼結熱処理温
度で３時間保持して焼結熱処理した後、降温して、表１
に示す本発明の実施例Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および比較
例Ｎｏ．Ｂの複合ガラスセラミックス試料を作製した。
また、表１中の比較例Ｎｏ．Ａの試料はフィラーを含有
しないガラスセラミックス単体であり、上記原ガラスと
同じガラスを用い、フィラーを混合しない他は、上述し
た方法と同じ方法で作製したものである。
適な実施例および比較例について説明する。重量％で、
ＳｉＯ2 ５５．０％、Ｐ2Ｏ5 ８．０％、Ａｌ2Ｏ3 ２
４．０％、Ｌｉ2Ｏ ４．０％、ＭｇＯ １．０％、Ｚｎ
Ｏ ０．５％、ＣａＯ １．０％、ＢａＯ１．０％、Ｔｉ
Ｏ2 ２．５％、ＺｒＯ2 ２．０％およびＡｓ2Ｏ3 １．
０％の組成となるように、酸化物、炭酸塩、水酸化物、
硝酸塩等のガラス原料を秤量、調合し、白金ルツボ等に
入れ、１５００℃で８時間溶融、撹拌、清澄した後、溶
融ガラスを水中に投入して急冷して得た原ガラスをアル
ミナ質ボールミルに入れて粉砕し、粒径が５μｍ以下の
粉末を約２５体積％含有し、平均粒径が約２０μｍ、最
大粒径が約１８０μｍの原ガラス粉末を得た。次にこの
原ガラス粉末および粒径が１０μｍ以下の各種フィラー
粉末を表１に示した割合となるように秤量し、アルミナ
質ボールミルに入れて混合し、混合物を得た。以上、述
べた粉砕および混合工程では、湿式および乾式のいずれ
の方法も採用できるが、本実施例では、乾式法で粉砕、
混合を行った。ついで得られた混合物１００重量％に対
し、濃度２％のポリビニルアルコール水溶液１０重量％
をバインダーとして加え、混合し、金型に入れて一軸プ
レスにより成形し、得られたプレス品を焼成炉に入れ、
室温から表１に示すように各焼結熱処理成温度に達する
まで、一定の昇温速度で加熱、昇温し、各焼結熱処理温
度で３時間保持して焼結熱処理した後、降温して、表１
に示す本発明の実施例Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０および比較
例Ｎｏ．Ｂの複合ガラスセラミックス試料を作製した。
また、表１中の比較例Ｎｏ．Ａの試料はフィラーを含有
しないガラスセラミックス単体であり、上記原ガラスと
同じガラスを用い、フィラーを混合しない他は、上述し
た方法と同じ方法で作製したものである。
【００３５】以上のようにして得た表１の各試料の１０
０〜３００℃の温度範囲における熱膨張係数（α）、曲
げ強度および熱伝導率を測定した結果を表２に示す。曲
げ強度は４点荷重方式によって測定したものである。ま
た、表２に示す緻密性の評価結果は、表１の各試料のジ
ェネレーター加工面を電子顕微鏡で観察し、３０μｍ以
上のポアが見られないものを○、１５μｍ以上のポアが
見られないものを◎としたものである。また、表３に
は、表１の各試料をＸ線回折法により分析して、各試料
の主結晶相を同定した結果を示す。
０〜３００℃の温度範囲における熱膨張係数（α）、曲
げ強度および熱伝導率を測定した結果を表２に示す。曲
げ強度は４点荷重方式によって測定したものである。ま
た、表２に示す緻密性の評価結果は、表１の各試料のジ
ェネレーター加工面を電子顕微鏡で観察し、３０μｍ以
上のポアが見られないものを○、１５μｍ以上のポアが
見られないものを◎としたものである。また、表３に
は、表１の各試料をＸ線回折法により分析して、各試料
の主結晶相を同定した結果を示す。
【００３６】
【表１】
【００３７】
【表２】
【００３８】
【表３】
【００３９】表２にみられるとおり、本発明の実施例の
複合ガラスセラミックスは、いずれも、曲げ強度が１５
ｋｇｆ／ｍｍ2以上で高強度であり、また、１００〜３
００℃の温度範囲における熱膨張係数（α）が５〜１１
０×１０-7／℃、熱伝導率が１〜６Ｗ／ｍＫの範囲であ
り、熱膨張係数（α）および熱伝導率を広い範囲で選択
できることを示している。また、特に、実施例Ｎｏ．１
〜Ｎｏ．４およびＮｏ．７〜Ｎｏ．１０の複合ガラスセ
ラミックスは、熱膨張係数（α）が低く、ヒートショッ
クに対して強く、一段と耐熱性が優れている。また、実
施例の複合ガラスセラミックスは、焼結熱処理温度が１
１００〜１２５０℃の範囲であり、アルミナセラミック
スの焼結温度１５００〜１６００℃と比べはるかに低い
温度であるにもかかわらず、いずれも優れた緻密性を示
している。一方、ガラスセラミックス単体である比較例
Ｎｏ．Ａは、緻密であり、熱膨張係数（α）も低いが、
曲げ強度が小さく強度が弱い。また、フィラーを過剰に
混合した比較例Ｎｏ．Ｂの試料は、１２５０℃の焼結熱
処理温度では焼結しないため緻密性の評価ができず、ま
た、曲げ強度、熱膨張係数（α）および熱伝導率を測定
することができなかった。
複合ガラスセラミックスは、いずれも、曲げ強度が１５
ｋｇｆ／ｍｍ2以上で高強度であり、また、１００〜３
００℃の温度範囲における熱膨張係数（α）が５〜１１
０×１０-7／℃、熱伝導率が１〜６Ｗ／ｍＫの範囲であ
り、熱膨張係数（α）および熱伝導率を広い範囲で選択
できることを示している。また、特に、実施例Ｎｏ．１
〜Ｎｏ．４およびＮｏ．７〜Ｎｏ．１０の複合ガラスセ
ラミックスは、熱膨張係数（α）が低く、ヒートショッ
クに対して強く、一段と耐熱性が優れている。また、実
施例の複合ガラスセラミックスは、焼結熱処理温度が１
１００〜１２５０℃の範囲であり、アルミナセラミック
スの焼結温度１５００〜１６００℃と比べはるかに低い
温度であるにもかかわらず、いずれも優れた緻密性を示
している。一方、ガラスセラミックス単体である比較例
Ｎｏ．Ａは、緻密であり、熱膨張係数（α）も低いが、
曲げ強度が小さく強度が弱い。また、フィラーを過剰に
混合した比較例Ｎｏ．Ｂの試料は、１２５０℃の焼結熱
処理温度では焼結しないため緻密性の評価ができず、ま
た、曲げ強度、熱膨張係数（α）および熱伝導率を測定
することができなかった。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたとおり、本発明の複合ガラス
セラミックスは、ＴｉＯ2およびＺｒＯ2を核形成剤とし
た限定された組成範囲のＳｉＯ2−Ｐ2Ｏ5−Ａｌ2Ｏ3−
Ｌｉ2Ｏ系の組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラ
ミックス３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％
とを含有し、かつ、上記ガラスセラミックスがマトリッ
クスを形成している複合ガラスセラミックスであること
により、高強度で耐熱性に優れ、かつ、用途に応じ熱膨
張係数および熱伝導率を広い範囲で選択可能であって、
例えば炉材やセッター等の各種高温構造材や、各種基板
やパッケージ等の電子工業用材料として安定的に使用す
ることができ、各種工業用材料として広範な用途に使用
できる。また、本発明の複合ガラスセラミックスの製造
方法は、上記組成系のアモルファス状態の原ガラス粉末
とフィラーとの混合物、または上記組成系のアモルファ
ス状態の原ガラス粉末もしくは上記組成系のアモルファ
ス状態の原ガラスを熱処理することにより得られるガラ
スセラミックス粉末とフィラーとの混合物を、１１００
〜１２５０℃で焼結熱処理する方法であるから、アルミ
ナセラミックス等と比べてはるかに低い温度で焼結する
ことができ、焼結のために特殊な焼成炉を必要としない
ので、製造コストおよび生産効率の点でも一段と有利で
ある。
セラミックスは、ＴｉＯ2およびＺｒＯ2を核形成剤とし
た限定された組成範囲のＳｉＯ2−Ｐ2Ｏ5−Ａｌ2Ｏ3−
Ｌｉ2Ｏ系の組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメ
ンおよび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラ
ミックス３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％
とを含有し、かつ、上記ガラスセラミックスがマトリッ
クスを形成している複合ガラスセラミックスであること
により、高強度で耐熱性に優れ、かつ、用途に応じ熱膨
張係数および熱伝導率を広い範囲で選択可能であって、
例えば炉材やセッター等の各種高温構造材や、各種基板
やパッケージ等の電子工業用材料として安定的に使用す
ることができ、各種工業用材料として広範な用途に使用
できる。また、本発明の複合ガラスセラミックスの製造
方法は、上記組成系のアモルファス状態の原ガラス粉末
とフィラーとの混合物、または上記組成系のアモルファ
ス状態の原ガラス粉末もしくは上記組成系のアモルファ
ス状態の原ガラスを熱処理することにより得られるガラ
スセラミックス粉末とフィラーとの混合物を、１１００
〜１２５０℃で焼結熱処理する方法であるから、アルミ
ナセラミックス等と比べてはるかに低い温度で焼結する
ことができ、焼結のために特殊な焼成炉を必要としない
ので、製造コストおよび生産効率の点でも一段と有利で
ある。
Claims (11)
- 【請求項１】 重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2
Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％とを
含有し、かつ、上記ガラスセラミックスがマトリックス
を形成していることを特徴とする複合ガラスセラミック
ス。 - 【請求項２】 フィラーがＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2およびＭ
ｇＯの中から選ばれた１種または２種以上であることを
特徴とする請求項１に記載の複合ガラスセラミックス。 - 【請求項３】 １００〜３００℃の温度範囲における熱
膨張係数（α）が５〜１１０×１０-7／℃であることを
特徴とする請求項１または２に記載の複合ガラスセラミ
ックス。 - 【請求項４】 熱伝導率が１〜６Ｗ／ｍＫであること特
徴とする請求項１〜３に記載の複合ガラスセラミック
ス。 - 【請求項５】 曲げ強度が１５ｋｇｆ／ｍｍ2以上であ
ることを特徴とする請求項１〜４に記載の複合ガラスセ
ラミックス。 - 【請求項６】 重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2
Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、熱処理することにより結晶相とし
てβ−スポジュメンおよび／またはβ−石英固溶体を析
出するアモルファス状態の原ガラス粉末３０〜９５重量
％と、フィラー５〜７０重量％とを混合し、得られた混
合物を１１００〜１２５０℃で焼結熱処理することを特
徴とする複合ガラスセラミックスの製造方法。 - 【請求項７】 原ガラス粉末の平均粒径が５０μｍ以
下、最大粒径が２００μｍ以下であり、かつ、フィラー
の粒径が原ガラス粉末の平均粒径より小さいことを特徴
とする請求項６に記載の複合ガラスセラミックスの製造
方法。 - 【請求項８】 重量％で、ＳｉＯ2 ５０〜６２％、Ｐ2
Ｏ5 ５〜１０％、ただし、重量比でＰ2Ｏ5／ＳｉＯ2
０．０８〜０．２０、Ａｌ2Ｏ3 ２２〜２６％、Ｌｉ2Ｏ
３〜５％、ＭｇＯ ０．６〜２％、ＺｎＯ ０．５〜２
％、ＣａＯ ０．３〜４％、ＢａＯ ０．５〜４％、Ｔｉ
Ｏ2 １〜４％、ＺｒＯ2 １〜４％、Ａｓ2Ｏ3 ０〜２％
からなる組成を有し、結晶相としてβ−スポジュメンお
よび／またはβ−石英固溶体を含有するガラスセラミッ
クス粉末３０〜９５重量％と、フィラー５〜７０重量％
とを混合し、得られた混合物を１１００〜１２５０℃で
焼結熱処理することを特徴とする複合ガラスセラミック
スの製造方法。 - 【請求項９】 ガラスセラミックス粉末の平均粒径が５
０μｍ以下、最大粒径が２００μｍ以下であり、かつ、
フィラーの粒径がガラスセラミックス粉末の平均粒径よ
り小さいことを特徴とする請求項８に記載の複合ガラス
セラミックスの製造方法。 - 【請求項１０】 フィラーがＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2および
ＭｇＯの中から選ばれた１種または２種以上であること
を特徴とする請求項６〜９に記載の複合ガラスセラミッ
クスの製造方法。 - 【請求項１１】 混合物を焼結熱処理温度まで２００℃
／ｈｒ以上の昇温速度で加熱、昇温した後、焼結熱処理
することを特徴とする請求項６〜１０に記載の複合ガラ
スセラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14502298A JP4220013B2 (ja) | 1998-02-13 | 1998-05-11 | 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4866798 | 1998-02-13 | ||
| JP10-48667 | 1998-02-13 | ||
| JP14502298A JP4220013B2 (ja) | 1998-02-13 | 1998-05-11 | 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11292616A true JPH11292616A (ja) | 1999-10-26 |
| JP4220013B2 JP4220013B2 (ja) | 2009-02-04 |
Family
ID=26388970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14502298A Expired - Fee Related JP4220013B2 (ja) | 1998-02-13 | 1998-05-11 | 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4220013B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111210A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-12 | Kyocera Corp | 配線基板およびその製造方法 |
| WO2004016559A1 (de) * | 2002-07-27 | 2004-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Glas-keramik-verbundwerkstoff keramische folie schichtverbund oder mikrohybrid mit diesem verbundwerkstoff und verfahren zu dessen herstellung |
| US7226881B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-06-05 | Kabushiki Kaisha Ohara | Ultra low thermal expansion transparent glass ceramics |
| US7943539B2 (en) * | 2005-01-31 | 2011-05-17 | Kabushiki Kaisha Ohara | Glass-ceramics and method for manufacturing the same |
| CN115010370A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-09-06 | 成都贝施美生物科技有限公司 | 一种调节玻璃陶瓷透度的方法 |
-
1998
- 1998-05-11 JP JP14502298A patent/JP4220013B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111210A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-12 | Kyocera Corp | 配線基板およびその製造方法 |
| WO2004016559A1 (de) * | 2002-07-27 | 2004-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Glas-keramik-verbundwerkstoff keramische folie schichtverbund oder mikrohybrid mit diesem verbundwerkstoff und verfahren zu dessen herstellung |
| US7226881B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-06-05 | Kabushiki Kaisha Ohara | Ultra low thermal expansion transparent glass ceramics |
| US7943539B2 (en) * | 2005-01-31 | 2011-05-17 | Kabushiki Kaisha Ohara | Glass-ceramics and method for manufacturing the same |
| CN115010370A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-09-06 | 成都贝施美生物科技有限公司 | 一种调节玻璃陶瓷透度的方法 |
| CN115010370B (zh) * | 2022-07-15 | 2024-03-22 | 成都贝施美生物科技有限公司 | 一种调节玻璃陶瓷透度的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4220013B2 (ja) | 2009-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0114101B1 (en) | Glass-ceramic articles containing osumilite | |
| JP2521115B2 (ja) | ガラスセラミック母材複合体 | |
| Baldi et al. | Effects of nucleating agents on diopside crystallization in new glass-ceramics for tile-glaze application | |
| CA1050259A (en) | Cordierite glasses and glass-ceramics | |
| KR20190022678A (ko) | 지르코니아-강화된 유리 세라믹 | |
| TWI408114B (zh) | 耐火性玻璃陶瓷 | |
| SE444308B (sv) | Metod for framstellning av en porfri sinterglaskeramik samt enligt metoden framstellt alster | |
| WO2009086724A1 (zh) | 低温共烧陶瓷粉及其专用原料与应用 | |
| Sun et al. | Crystallization behavior and thermal properties of B2O3–containing MgO-Al2O3-SiO2-Li2O glass-ceramic and its wettability on Si3N4 ceramic | |
| WO2007132754A1 (ja) | ビスマス系封着材料およびビスマス系ペースト材料 | |
| US3725091A (en) | Glass-ceramic metal cermets and method | |
| Zawrah et al. | Sintering and properties of borosilicate glass/Li-Na-K-feldspar composites for electronic applications | |
| JPH07247138A (ja) | 結晶化ガラス及びその製造方法 | |
| US5534470A (en) | Lithium aluminoborate glass-ceramics | |
| US4187115A (en) | Anorthite glass-ceramics | |
| US5112777A (en) | Glass-ceramic-bonded ceramic composites | |
| DE3886581T2 (de) | Glaskeramikmaterial für elektonische Gehäuse. | |
| Moo-Chin et al. | Preparation of nepheline glass-ceramics and their application as dental porcelain | |
| Tulyaganov et al. | Processing of glass-ceramics in the SiO2–Al2O3–B2O3–MgO–CaO–Na2O–(P2O5)–F system via sintering and crystallization of glass powder compacts | |
| JP4220013B2 (ja) | 複合ガラスセラミックスおよびその製造方法 | |
| US3899340A (en) | High elastic modulus glass-ceramic articles | |
| JPH0269335A (ja) | アルカリ土類金属アルミノホウ酸塩ガラスセラミックおよびその製造方法 | |
| CA1298320C (en) | Extruded whisker-reinforced ceramic matrix composites and method | |
| JPH05238774A (ja) | 低温焼成基板用ガラス組成物およびそれから得られる基板 | |
| Goel et al. | Synthesis and characterization of MgSiO3-containing glass-ceramics |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050208 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071015 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071023 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080325 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080519 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121121 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121121 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |