JPH09222397A - 散乱光による観察装置 - Google Patents
散乱光による観察装置Info
- Publication number
- JPH09222397A JPH09222397A JP8052536A JP5253696A JPH09222397A JP H09222397 A JPH09222397 A JP H09222397A JP 8052536 A JP8052536 A JP 8052536A JP 5253696 A JP5253696 A JP 5253696A JP H09222397 A JPH09222397 A JP H09222397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- image
- charge signal
- ccd
- shift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
- H04N25/711—Time delay and integration [TDI] registers; TDI shift registers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動している対象物や半導体ウエハの欠陥等
をその移動に合わせてリアルタイムで、また高感度で、
散乱光により観察できる簡便な構成の観察装置を提供す
る。 【解決手段】 それぞれ複数の画素を含む複数ライン１
の画素を受光面３上に有し、受光により生じる各ライン
の画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆき、
一端のライン１ｅを経て順次出力するＣＣＤ素子４と、
移動している観察対象物５からの散乱光７を集光させて
前記受光面上に結像を生じさせる結像手段９と、前記受
光面上での結像の移動速度に前記電荷信号のシフト速度
が一致するように前記ＣＣＤ素子を駆動する駆動手段１
７とを備える。
をその移動に合わせてリアルタイムで、また高感度で、
散乱光により観察できる簡便な構成の観察装置を提供す
る。 【解決手段】 それぞれ複数の画素を含む複数ライン１
の画素を受光面３上に有し、受光により生じる各ライン
の画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆき、
一端のライン１ｅを経て順次出力するＣＣＤ素子４と、
移動している観察対象物５からの散乱光７を集光させて
前記受光面上に結像を生じさせる結像手段９と、前記受
光面上での結像の移動速度に前記電荷信号のシフト速度
が一致するように前記ＣＣＤ素子を駆動する駆動手段１
７とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、散乱光により対象
物を観察する装置に関し、特に、ＣＣＤ素子によるＴＤ
Ｉ（タイム・ディレイ・インテグレーション）方式を適
用したものに関する。
物を観察する装置に関し、特に、ＣＣＤ素子によるＴＤ
Ｉ（タイム・ディレイ・インテグレーション）方式を適
用したものに関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、２
次元的に移動している物体や流体中からの散乱光を集光
させて結像させ、この２次元像を映像信号に変換して観
察する場合、得られる信号強度が弱いため、画像処理装
置等により処理して解析する必要がある。したがって、
観察装置の構成は大がかりであるし、観察にも多くの時
間を必要とする。
次元的に移動している物体や流体中からの散乱光を集光
させて結像させ、この２次元像を映像信号に変換して観
察する場合、得られる信号強度が弱いため、画像処理装
置等により処理して解析する必要がある。したがって、
観察装置の構成は大がかりであるし、観察にも多くの時
間を必要とする。
【０００３】また、一般に、半導体ウエハ中の欠陥や、
ウエハ上の塵埃、欠陥等による散乱は非常に弱いため、
同様に大がかりな装置と、観察時間とを要する。
ウエハ上の塵埃、欠陥等による散乱は非常に弱いため、
同様に大がかりな装置と、観察時間とを要する。
【０００４】そこで、本発明の目的は、移動している対
象物や半導体ウエハの欠陥等をその移動に合わせてリア
ルタイムで、また高感度で、散乱光により観察できる簡
便な構成の観察装置を提供することにある。
象物や半導体ウエハの欠陥等をその移動に合わせてリア
ルタイムで、また高感度で、散乱光により観察できる簡
便な構成の観察装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の観察装置は、それぞれ複数の画素を含む複数ラ
インの画素を受光面上に有し、受光により生じる各ライ
ンの画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆ
き、一端のラインを経て順次出力するＣＣＤ素子と、移
動している観察対象物からの散乱光を集光させて前記受
光面上に結像を生じさせる結像手段と、前記受光面上で
の結像の移動速度に電荷信号のシフト速度が一致するよ
うに前記ＣＣＤ素子を駆動する駆動手段とを具備するこ
とを特徴とする。
本発明の観察装置は、それぞれ複数の画素を含む複数ラ
インの画素を受光面上に有し、受光により生じる各ライ
ンの画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆ
き、一端のラインを経て順次出力するＣＣＤ素子と、移
動している観察対象物からの散乱光を集光させて前記受
光面上に結像を生じさせる結像手段と、前記受光面上で
の結像の移動速度に電荷信号のシフト速度が一致するよ
うに前記ＣＣＤ素子を駆動する駆動手段とを具備するこ
とを特徴とする。
【０００６】ここで、ＣＣＤ素子および駆動手段は、前
記シフトの方向に垂直な方向に対しても、電荷信号のシ
フトを行なう機能を有するものであってもよい。また、
ＣＣＤ素子は、前記一端のラインの各画素の電荷信号を
ライン単位で受け取り、シフトして順次出力するシフト
レジスタ、および前記一端のラインを経てこのシフトレ
ジスタに出力された暗電流の電荷信号を記憶する暗電流
用バッファを備え、シフトレジスタの各内容から、対応
する暗電流用バッファの各内容を差し引いた内容を出力
するものが好ましい。
記シフトの方向に垂直な方向に対しても、電荷信号のシ
フトを行なう機能を有するものであってもよい。また、
ＣＣＤ素子は、前記一端のラインの各画素の電荷信号を
ライン単位で受け取り、シフトして順次出力するシフト
レジスタ、および前記一端のラインを経てこのシフトレ
ジスタに出力された暗電流の電荷信号を記憶する暗電流
用バッファを備え、シフトレジスタの各内容から、対応
する暗電流用バッファの各内容を差し引いた内容を出力
するものが好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
る観察装置を示す概略図である。同図に示すように、こ
の装置は、それぞれ複数の画素を含む複数のライン１の
画素を受光面３上に有し、受光により生じる各ライン１
の画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆき、
一端のライン１ｅを経て順次出力するＣＣＤ２次元セン
サ４と、移動している観察対象物５からの散乱光７を集
光させて受光面３上に結像を生じさせる結像手段９と、
一端のライン１ｅの各画素の電荷信号を受け取り、シフ
トして順次出力するシフトレジスタ１５と、受光面３上
での結像１１の移動速度に前記電荷信号のシフト速度が
一致するようにＣＣＤ２次元センサ４を駆動する駆動回
路１７とを備える。駆動回路１７は、移動している観察
対象物５の位置情報に基づいて前記シフト速度を調整す
る。
る観察装置を示す概略図である。同図に示すように、こ
の装置は、それぞれ複数の画素を含む複数のライン１の
画素を受光面３上に有し、受光により生じる各ライン１
の画素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆき、
一端のライン１ｅを経て順次出力するＣＣＤ２次元セン
サ４と、移動している観察対象物５からの散乱光７を集
光させて受光面３上に結像を生じさせる結像手段９と、
一端のライン１ｅの各画素の電荷信号を受け取り、シフ
トして順次出力するシフトレジスタ１５と、受光面３上
での結像１１の移動速度に前記電荷信号のシフト速度が
一致するようにＣＣＤ２次元センサ４を駆動する駆動回
路１７とを備える。駆動回路１７は、移動している観察
対象物５の位置情報に基づいて前記シフト速度を調整す
る。
【０００８】この構成において、結像手段９は、観察対
象物５からの散乱光に基づいてＣＣＤ２次元センサ４の
受光面３上に結像を生じさせるが、観察対象物５上の、
例えば観察点１９に対応する結像１１は、観察対象物５
の矢印２１方向への移動にともない、矢印２３の方向へ
移動する。そして、駆動回路１７は、観察対象物５の位
置情報に基づいて前記シフト速度を調整することによ
り、ＣＣＤ２次元センサ４上の結像１１の移動速度に、
前記シフト速度を一致させる。したがって、結像１１の
光強度が弱い場合でも、それが受光面３上を移動してい
く間に、シフトしていく荷電信号上に積算されてゆき、
シフトレジスタ１５に出力される信号は、十分な強度と
なる。したがって、シフトレジスタ１５からは、観察対
象物５の静止した画像の、十分な強度の画像信号が出力
される。
象物５からの散乱光に基づいてＣＣＤ２次元センサ４の
受光面３上に結像を生じさせるが、観察対象物５上の、
例えば観察点１９に対応する結像１１は、観察対象物５
の矢印２１方向への移動にともない、矢印２３の方向へ
移動する。そして、駆動回路１７は、観察対象物５の位
置情報に基づいて前記シフト速度を調整することによ
り、ＣＣＤ２次元センサ４上の結像１１の移動速度に、
前記シフト速度を一致させる。したがって、結像１１の
光強度が弱い場合でも、それが受光面３上を移動してい
く間に、シフトしていく荷電信号上に積算されてゆき、
シフトレジスタ１５に出力される信号は、十分な強度と
なる。したがって、シフトレジスタ１５からは、観察対
象物５の静止した画像の、十分な強度の画像信号が出力
される。
【０００９】図２はＣＣＤ２次元センサの他の実施形態
を示す。図中、２５はシフトレジスタ１５のデータに対
する暗電流成分を記憶するバッファ、２７および２９は
それぞれシフトレジスタ１５およびバッファ２５の出力
を増幅するアンプ、３１はこれらアンプ２７および２９
の出力の差を出力する差動アンプである。
を示す。図中、２５はシフトレジスタ１５のデータに対
する暗電流成分を記憶するバッファ、２７および２９は
それぞれシフトレジスタ１５およびバッファ２５の出力
を増幅するアンプ、３１はこれらアンプ２７および２９
の出力の差を出力する差動アンプである。
【００１０】シフトレジスタ１５に入力される荷電信号
は、上述のようにシフト方向に積算されている。したが
って、バックグラウンド（暗電流成分）は不均一になる
可能性がある。そこで、本実施形態では、バッファ２５
に暗電流成分を記憶させておおき、常に均一な暗電流成
分を差し引いた画像信号を出力するようにしている。す
なわち、予め、入射光を遮断した状態でＣＣＤ２次元セ
ンサ４を駆動し、積算された暗電流成分をシフトレジス
タ１５を介してバッファ２５に出力し、記憶させてお
く。そして、実際の観察に際しては、シフトレジスタ１
５から画像信号をアンプ２７を介して順次差動アンプ３
１に出力するとともに、これに同期させて対応するバッ
ファ２５の内容をアンプ２９を介して順次差動アンプ３
１に出力する。これにより、常に一定の暗電流成分を除
いた画像信号を差動アンプ３１から出力する。
は、上述のようにシフト方向に積算されている。したが
って、バックグラウンド（暗電流成分）は不均一になる
可能性がある。そこで、本実施形態では、バッファ２５
に暗電流成分を記憶させておおき、常に均一な暗電流成
分を差し引いた画像信号を出力するようにしている。す
なわち、予め、入射光を遮断した状態でＣＣＤ２次元セ
ンサ４を駆動し、積算された暗電流成分をシフトレジス
タ１５を介してバッファ２５に出力し、記憶させてお
く。そして、実際の観察に際しては、シフトレジスタ１
５から画像信号をアンプ２７を介して順次差動アンプ３
１に出力するとともに、これに同期させて対応するバッ
ファ２５の内容をアンプ２９を介して順次差動アンプ３
１に出力する。これにより、常に一定の暗電流成分を除
いた画像信号を差動アンプ３１から出力する。
【００１１】図３は図１の装置をウエハの観察に適用し
た様子を示す。図３において、３３は観察対象であるウ
エハ、３５はウエハ３３を照明するレーザビーム、３７
はウエハ３３の移動方向、３９はウエハ３３内の散乱体
である。この場合、レーザビーム３５を、移動方向３７
に垂直でかつウエハ３３の表面に平行な方向からウエハ
３３の側面を介してウエハ３３内に入射させる。レーザ
ビーム３５により照射される散乱体３９は散乱光７を生
じさせ、散乱光７により、その像がＣＣＤ２次元センサ
４上に結像する。
た様子を示す。図３において、３３は観察対象であるウ
エハ、３５はウエハ３３を照明するレーザビーム、３７
はウエハ３３の移動方向、３９はウエハ３３内の散乱体
である。この場合、レーザビーム３５を、移動方向３７
に垂直でかつウエハ３３の表面に平行な方向からウエハ
３３の側面を介してウエハ３３内に入射させる。レーザ
ビーム３５により照射される散乱体３９は散乱光７を生
じさせ、散乱光７により、その像がＣＣＤ２次元センサ
４上に結像する。
【００１２】図４は図１の装置を流体の観察に適用した
様子を示す。図４において、４１は観察対象である流体
がその中を流れている流体セル、３５は流体セル４１内
を流れる流体を照明するレーザビーム、４３は流体の流
れの方向である。この場合、レーザビーム３５を、方向
４３に垂直でかつセル４１の表面に平行な方向からセル
４１の側面を介して流体内に入射させる。レーザビーム
３５により照射される流体は散乱光７を生じさせ、散乱
光７により、その像がＣＣＤ２次元センサ４上に結像す
る。
様子を示す。図４において、４１は観察対象である流体
がその中を流れている流体セル、３５は流体セル４１内
を流れる流体を照明するレーザビーム、４３は流体の流
れの方向である。この場合、レーザビーム３５を、方向
４３に垂直でかつセル４１の表面に平行な方向からセル
４１の側面を介して流体内に入射させる。レーザビーム
３５により照射される流体は散乱光７を生じさせ、散乱
光７により、その像がＣＣＤ２次元センサ４上に結像す
る。
【００１３】図５は図１の装置をウエハ表面の観察に適
用した様子を示す。図５において、４５は観察対象であ
るウエハの表面、４７はウエハ表面４５を照明する帯状
のレーザビーム、４９はウエハ表面４５の移動方向であ
る。この場合、帯状のレーザビーム４７は、ウエハ表面
４５上の、方向４９に垂直な方向に長い領域を照明す
る。レーザビーム４７により照射されるウエハ表面４５
は散乱光７を生じさせ、散乱光７により、その像がＣＣ
Ｄ２次元センサ４上に結像する。
用した様子を示す。図５において、４５は観察対象であ
るウエハの表面、４７はウエハ表面４５を照明する帯状
のレーザビーム、４９はウエハ表面４５の移動方向であ
る。この場合、帯状のレーザビーム４７は、ウエハ表面
４５上の、方向４９に垂直な方向に長い領域を照明す
る。レーザビーム４７により照射されるウエハ表面４５
は散乱光７を生じさせ、散乱光７により、その像がＣＣ
Ｄ２次元センサ４上に結像する。
【００１４】なお、ＣＣＤ２次元センサ４および駆動回
路１７は、そのシフト方向に対して垂直な方向にも荷電
信号をシフトさせる機能を有しているものであっても良
い。その場合、観察対象の移動方向が、ＣＣＤ２次元セ
ンサのシフト方向に一致していない場合であっても、各
シフト方向におけるシフト速度を調整することにより、
観察対象の静止画像を得ることができる。
路１７は、そのシフト方向に対して垂直な方向にも荷電
信号をシフトさせる機能を有しているものであっても良
い。その場合、観察対象の移動方向が、ＣＣＤ２次元セ
ンサのシフト方向に一致していない場合であっても、各
シフト方向におけるシフト速度を調整することにより、
観察対象の静止画像を得ることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動している対象物や半導体ウエハの欠陥等をその移動
に合わせてリアルタイムで、また高感度で、散乱光によ
り観察できる簡便な構成の観察装置を提供することがで
きる。
移動している対象物や半導体ウエハの欠陥等をその移動
に合わせてリアルタイムで、また高感度で、散乱光によ
り観察できる簡便な構成の観察装置を提供することがで
きる。
【図１】 本発明の一実施形態に係る観察装置を示す概
略図である。
略図である。
【図２】 図１の装置のＣＣＤ２次元センサの他の実施
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図３】 図１の装置をウエハの観察に適用した様子を
示す図である。
示す図である。
【図４】 図１の装置を流体の観察に適用した様子を示
す図である。
す図である。
【図５】 図１の装置をウエハ表面の観察に適用した様
子を示す図である。
子を示す図である。
１：画素のライン、１ｅ：一端のライン、３：受光面、
４：ＣＣＤ２次元センサ、５：観察対象物、９：結像手
段、１１：結像、１５：シフトレジスタ、１７：駆動回
路、１９：観察点、２１，２３：方向を示す矢印、２
５：バッファ、２７，２９：アンプ、３１：差動アン
プ、３３：ウエハ、３５：レーザビーム、３７：移動方
向、３９：散乱体、４１：流体セル、４３：流れの方
向、４５：ウエハの表面、４７：帯状のレーザビーム、
４９：移動方向。
４：ＣＣＤ２次元センサ、５：観察対象物、９：結像手
段、１１：結像、１５：シフトレジスタ、１７：駆動回
路、１９：観察点、２１，２３：方向を示す矢印、２
５：バッファ、２７，２９：アンプ、３１：差動アン
プ、３３：ウエハ、３５：レーザビーム、３７：移動方
向、３９：散乱体、４１：流体セル、４３：流れの方
向、４５：ウエハの表面、４７：帯状のレーザビーム、
４９：移動方向。
Claims (3)
- 【請求項１】 それぞれ複数の画素を含む複数ラインの
画素を受光面上に有し、受光により生じる各ラインの画
素の電荷信号を順次隣接ラインへシフトしてゆき、一端
のラインを経て順次出力するＣＣＤ素子と、移動してい
る観察対象物からの散乱光を集光させて前記受光面上に
結像を生じさせる結像手段と、前記受光面上での結像の
移動速度に前記電荷信号のシフト速度が一致するように
前記ＣＣＤ素子を駆動する駆動手段とを具備することを
特徴とする観察装置。 - 【請求項２】 前記ＣＣＤ素子および前記駆動手段は、
前記シフトの方向に垂直な方向に対しても、前記電荷信
号のシフトを行なう機能を有するものであることを特徴
とする請求項１記載の観察装置。 - 【請求項３】 前記ＣＣＤ素子は、前記一端のラインの
各画素の電荷信号をライン単位で受け取り、これをシフ
トして順次出力するシフトレジスタ、および前記一端の
ラインを経てこのシフトレジスタに出力された暗電流の
電荷信号を記憶する暗電流用バッファを備え、前記シフ
トレジスタの各内容から、対応する前記暗電流用バッフ
ァの各内容を差し引いた内容を出力するものであること
を特徴とする請求項１記載の観察装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052536A JPH09222397A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | 散乱光による観察装置 |
| KR1019970004589A KR100268974B1 (ko) | 1996-02-16 | 1997-02-15 | 산란광에 의한 관찰장치 |
| DE19706076A DE19706076B4 (de) | 1996-02-16 | 1997-02-17 | Beobachtungsgerät, das Streulicht verwendet |
| US09/464,191 US6760060B1 (en) | 1996-02-16 | 1999-12-16 | Observation apparatus for observing a defect in a moving target object using scattered light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8052536A JPH09222397A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | 散乱光による観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09222397A true JPH09222397A (ja) | 1997-08-26 |
Family
ID=12917502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8052536A Pending JPH09222397A (ja) | 1996-02-16 | 1996-02-16 | 散乱光による観察装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09222397A (ja) |
| KR (1) | KR100268974B1 (ja) |
| DE (1) | DE19706076B4 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE502004008975D1 (de) * | 2004-10-15 | 2009-03-26 | Handtmann Albert Maschf | Vorrichtung und Verfahren zum Befüllen einer Hülle mit pastösem Füllgut |
| EP2016829A1 (de) * | 2007-07-20 | 2009-01-21 | Albert Handtmann Maschinenfabrik GmbH & Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von längenkonstanten Naturdarmprodukten |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2589604B1 (fr) * | 1985-11-04 | 1988-01-22 | Longines Francillon Sa Cie Mon | Appareil pour le chronometrage de courses sportives |
| JP2709959B2 (ja) * | 1989-06-12 | 1998-02-04 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | イメージセンサ素子の感度補正方法 |
| JPH0731726B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1995-04-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | イメージ処理システム |
| DE4117020C2 (de) * | 1990-05-25 | 1993-12-02 | Asahi Optical Co Ltd | Steuervorrichtung für einen Bildsensor |
| US5155597A (en) * | 1990-11-28 | 1992-10-13 | Recon/Optical, Inc. | Electro-optical imaging array with motion compensation |
| US5504523A (en) * | 1993-10-21 | 1996-04-02 | Loral Fairchild Corporation | Electronic image unsteadiness compensation |
-
1996
- 1996-02-16 JP JP8052536A patent/JPH09222397A/ja active Pending
-
1997
- 1997-02-15 KR KR1019970004589A patent/KR100268974B1/ko active IP Right Grant
- 1997-02-17 DE DE19706076A patent/DE19706076B4/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19706076A1 (de) | 1997-10-30 |
| DE19706076B4 (de) | 2008-12-18 |
| KR100268974B1 (ko) | 2000-12-01 |
| KR970063621A (ko) | 1997-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101108353B1 (ko) | 이동 렌즈 다중-빔 스캐너를 갖는 웨이퍼 결함 검출 시스템 | |
| KR102302641B1 (ko) | 암시야 시스템의 tdi 센서 | |
| US9426400B2 (en) | Method and apparatus for high speed acquisition of moving images using pulsed illumination | |
| JP4491391B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JP3478612B2 (ja) | 半導体デバイス検査システム | |
| JPH09222397A (ja) | 散乱光による観察装置 | |
| WO2001073411A1 (fr) | Procede et dispositif d'inspection de trous de passage | |
| JP5441204B2 (ja) | 時間相関検出型イメージセンサおよび画像解析装置 | |
| JP3453595B2 (ja) | 多波長蛍光計測装置 | |
| US6760060B1 (en) | Observation apparatus for observing a defect in a moving target object using scattered light | |
| JP3650307B2 (ja) | ２次元光ヘテロダイン走査検出システム | |
| JPH04113260A (ja) | 表面欠陥の検出方法及び装置 | |
| DE60324656D1 (de) | Verfahren und Gerät zur schnellen on-line und elektro-optischen Defekterkennung an Wafern | |
| EP0586661A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure optique des dimensions ou de la vitesse d'un objet en mouvement dans un fluide | |
| JP2007310202A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| JP2006324614A (ja) | 高ダイナミックレンジ画素周辺記録型撮像素子 | |
| JP3015473B2 (ja) | ガラス製品のための検査機 | |
| JP2528870B2 (ja) | 撮像装置 | |
| EP0516543B1 (fr) | Dispositif de prise de vues optoélectronique à défilement | |
| JPS6352003A (ja) | 自動目視装置 | |
| JPS6338175A (ja) | 半導体発光素子の発光特性測定装置 | |
| JPS61121022A (ja) | 走査型顕微鏡撮像装置 | |
| JPH04361162A (ja) | 速度分布測定装置 | |
| JPH07198619A (ja) | 前方散乱光による結晶欠陥検出方法 | |
| JPH03235083A (ja) | 放射線像撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041006 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050817 |