KR970063621A - 산란광에 의한 관찰장치 - Google Patents

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카즈오 모리야
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사코 유키오
미쯔이킨조쿠코교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은 산란광에 의해 대상물을 관찰하는 장치에 관한 것으로서, 이동하고 있는 대상물이나 반도체웨이퍼의 결함 등을 그 이동에 맞추어서 리얼타임으로, 또 고감도로 산란광에 의해 관찰할 수 있는 간편한 구성의 관찰장치를 제공하는 것을 과제로한 것이며, 그 해결수단으로서, 각각 복수의 화소를 포함한 복수라인(1)의 화소를 수광면(3)위에 가지고, 수광에 의해 발생하는 각 라인의 화소의 전하신호를 순차인접라인으로 시프트해가고, 일단부의 라인(le)을 거쳐 순차출력하는 CCD 소자(4)와, 이동하고 있는 관찰대상물(5)로부터의 산란광(7)을 집광시켜 상기 수광면위에 결상을 발생시키는 결상수단(9)과, 상기 수광면위에서의 결상의 이동속도에 상기 전하신호의 시프트속도가 일치하도록 상기 CCD소자를 구동하는 구동수단(17)을 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

Description

산란광에 의한 관찰장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시형태에 관한 관찰장치를 표시한 개략도.

Claims (3)

  1. 각각 복수의 화소를 포함한 복수라인의 화소를 수광면위에 가지고, 수광에 의해 발생하는 각 라인의 화소의 전하신호를 순차 인접라이으로 시프트해가고, 일단부의 라인을 거쳐 순차 출력하는 CCD소자와, 이동하고 있는 관찰대상물로부터의 산란광을 집광시켜 상기 수광면위에 결상을 발생시키는 결상수단과, 상기 수광면위에서의 결상의 이동속도에 상기 전하신호의 시프트속도가 일치하도록 상기 CCD소자를 구동하는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 관찰장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 CCD소자 및 상기 구동수단은, 상기 시프트의 방향에 수직인 방향에 대해서도, 상기 전하신호의 시프트를 행하는 기능을 가진 것인 것을, 특징으로 하는 관찰장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 CCD소자는 상기 일단부의 라인의 각 화소의 전하신호를 라인단위로 받아들이고, 이것을 시프트해서 순차출력하는 시프트레지스터 및 상기 일단부의 라인을 거쳐 이 시프트레지스터에 출력된 암전류의 전하신호를 기억하는 암전류용 버퍼를 구비하고, 상기 시프트레지스터의 각 내용으로부터 대응하는 상기 암전류용 버퍼의 각 내용을 뺀 내용을 출력하는 것인 것을 특징으로 하는 관찰장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970004589A 1996-02-16 1997-02-15 산란광에 의한 관찰장치 KR100268974B1 (ko)

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