JPH09219588A - プリント配線板とその製造方法 - Google Patents
プリント配線板とその製造方法Info
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- JPH09219588A JPH09219588A JP8050904A JP5090496A JPH09219588A JP H09219588 A JPH09219588 A JP H09219588A JP 8050904 A JP8050904 A JP 8050904A JP 5090496 A JP5090496 A JP 5090496A JP H09219588 A JPH09219588 A JP H09219588A
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Abstract
の実効面積を小さくすることなくその剥離が起こり難い
プリント配線板とその製法を提供する。 【解決手段】 電気絶縁性基板1上に絶縁層3を介して
複数の配線層を有しかつ最表面側に表面保護層6により
被覆された最上配線層22と表面が露出した表面実装部品
用ランド4を備え、表面実装部品用ランド等が電解メッ
キにより形成されているプリント配線板であって、表面
実装部品用ランドの外周縁に亘ってその側面に密着させ
て電気絶縁性ランド保持層5が設けられ、このランド保
持層5の表面が表面実装部品用ランドの上面と略同一面
を構成するかあるいは上方側へ突出するように設定され
ていることを特徴とする。そして、上記表面実装部品用
ランドに対しこれを剥離させる方向の外力が加わった場
合でも上記ランド保持層5の作用によりその剥離を未然
に防止する効果を有する。
Description
により製造されるプリント配線板とその製造方法に係
り、特に、その最表面側に設けられる表面実装部品用ラ
ンド(表面実装部品を搭載するためあるいは半導体チッ
プを搭載し接続するためのランド)の剥離が起こり難い
プリント配線板の改良とその製造方法に関するものであ
る。
に導体から成る配線層と電気絶縁層とを交互に、かつ、
繰り返し積層してプリント配線板を製造する方法で、微
細パターンの配線層を形成できる利点を有している。
層の形成法に従って、フルアディティブ法、セミアディ
ティブ法、及び、サブトラクティブ法に大別される。
示すように接着剤層pが形成された電気絶縁性基板a上
に感光性樹脂層bを設け(図7A参照)、この感光性樹
脂層bを部分的に露光・現像して永久レジスト層b’を
形成し(図7B参照)、この永久レジスト層b’から露
出した部位に導体を選択的に成膜させて配線層cを形成
する方法である(図7C参照)。尚、形成された配線層
cと上記永久レジスト層b’上に次の接着剤層(図示せ
ず)を介して感光性樹脂bが設けられ、露光・現像と上
記導体の成膜を繰り返して多層構造の配線層cが形成さ
れる(図7D参照)。
は上記電気絶縁性基板a表面が接着剤層pにて被覆され
ているため、永久レジスト層b’から露出した部位に導
体を成膜させる手法として電解メッキを利用することが
できず、真空蒸着等の物理的気相成長法や無電解メッキ
法等が利用されるに過ぎず、その成膜速度が遅く膜厚及
び導電性に大きな制約を伴っており、かつ、成膜された
導体の膜質も脆いといった問題を有している。
ブ法やサブトラクティブ法は、上記配線層の形成方法と
して電解メッキ法が適用できるため、厚膜で導電性に優
れかつ脆くない緻密な配線層を容易に形成することが可
能となる。
8(A)に示すように電気絶縁性基板aの全面に無電解
メッキ法等の方法により薄膜の導体層c1を形成し、こ
の導体層c1上に感光性樹脂層を一様に設けかつ露光・
現像によりパターン化して配線層形成部位が開口したマ
スク層bを形成する。次に、このマスク層bの開口から
露出する導体層c1上に電解メッキ法により厚膜の配線
層c2を成膜し、かつ、この配線層c2上にのみはんだ
層dを形成すると共に(図8B参照)、導体層c1上に
残留するマスク層bを除去してその部位の導体層c1を
露出させる(図8C参照)。次に、上記はんだ層dをエ
ッチングレジストとしこのはんだ層dから露出する導体
層c1を除去して配線層cを形成する方法である(図8
D参照)。次いで、最下位部の配線層cが形成された電
気絶縁性基板aの全面に電気絶縁性樹脂層eを形成し、
この一部にバイアーホールe1を設けると共に、上記導
体層c1の形成から配線層の形成工程までを繰り返して
図8(E)に示すように最表面側に最上配線層cと上述
した表面実装部品用ランドc3を形成する(この例は2
層の配線層で構成されている)。そして、最後に、最上
配線層cと表面実装部品用ランドc3を含んだ全面に表
面保護層となる感光性ソルダレジストfを一様に形成し
(図8F参照)、かつ、このレジストfをパターニング
して表面実装部品用ランドc3に対応する部位のみを開
口させ、最上配線層c等が表面保護層gで被覆されたプ
リント配線板を得る(図8G参照)。
電気絶縁性樹脂層eとしては感光性樹脂を利用すること
もできるが、これに限らず任意の電気絶縁性樹脂を利用
することが可能である。そして、電気絶縁性樹脂eが感
光性を有する場合には、これを露光・現像して上記バイ
アーホールe1を設けることができる。また、電気絶縁
性樹脂に感光性がない場合には、レーザー光線等を照射
して上記バイアーホールe1の形成部位に対応した電気
絶縁性樹脂を除去すればよい。
示すように電気絶縁性基板aの全面に無電解メッキ法に
より薄膜の導電層(図示せず)を成膜しかつ導電層上に
電解メッキ法により厚膜の導体層c’を形成すると共
に、この導体層c’上に感光性樹脂層を一様に設けかつ
露光・現像によりパターン化してマスク層bを形成する
(図9A参照)。次に、上記マスク層bから露出する導
体層c’並びに導電層をエッチングにより除去し(図9
B参照)、かつ、残留するマスク層bを除去して配線層
cを形成する(図9C参照)方法である。次いで、最下
位部の配線層cが形成された電気絶縁性基板aの全面に
電気絶縁性樹脂層eを形成し、この一部にバイアーホー
ルe1を設けると共に、上記導体層c’の形成から配線
層の形成工程までを繰り返して図9(D)に示すように
最表面側に最上配線層cと表面実装部品用ランドc3を
形成する。そして、最後に、最上配線層cと表面実装部
品用ランドc3を含んだ全面に表面保護層となる感光性
ソルダレジストfを一様に形成し(図9E参照)、か
つ、このレジストfをパターニングして表面実装部品用
ランドc3に対応する部位のみを開口させ、最上配線層
c等が表面保護層gで被覆されたプリント配線板を得る
(図9F参照)。
するものと感光性を持たない樹脂のいずれを適用するこ
ともでき、バイアーホールの形成工程はセミアディティ
ブ法の場合と同様である。また、このサブトラクティブ
法においては、上記電気絶縁性基板として銅等の金属箔
が貼着された片面金属箔積層板等が適用された場合に
は、少なくとも2層目以降の各配線層を構成する導体層
が金属メッキ法により成膜されることになる。
ィブ法やサブトラクティブ法は、上述したフルアディテ
ィブ法に較べて厚膜で導電性に優れかつ脆くない緻密な
配線層を容易に形成できるため、電気特性に優れたプリ
ント配線板が得られる利点を有している。
(E)〜図8(F)に示したように上記表面実装部品用
ランドc3のみが露出する表面保護層gを形成する際、
感光性ソルダレジストfのパターン加工精度の誤差を考
慮に入れて表面保護層gの開口h寸法を表面実装部品用
ランドc3の面積より若干大きめに設定する必要がある
ため、上記開口hの開口縁と表面実装部品用ランドc3
との間には必然的に隙間が生ずることになる。
保護層gの開口縁との間に隙間が生じてこれ等が接続さ
れていないため、何らかの原因によりプリント配線板の
表面方向に沿って外力が加わった場合、この外力の作用
により上記表面実装部品用ランドc3が剥離し易いとい
う問題点があった。
の底面でプリント配線板に密着しているだけであるため
その密着力が弱く、垂直方向に引き上げる力が作用した
場合においても剥離し易いという問題点があった。
り外すような場合に、表面実装部品用ランドc3には上
述したような外力や引上げ力が作用することになるため
剥離し易い問題点があった。
実装部品用ランドc3の面積より小さめに設定し、表面
実装部品用ランドc3の外周縁の一部が表面保護層gに
より被覆されるような構成を採ることにより上記表面実
装部品用ランドの剥離を回避することは可能である。し
かし、この様な構成を採った場合、表面実装部品用ラン
ドの一部が表面保護層により覆われるため、その分、表
面実装部品用ランドの露出面積が小さくなってしまい、
この表面実装部品用ランド上に表面実装部品や半導体チ
ップ等を搭載する作業が繁雑となる別な問題点を有す
る。
れたもので、その課題とするところは、最表面側に設け
られる表面実装部品用ランドの実効面積を小さくするこ
となくその剥離が起こり難いプリント配線板を提供し、
合わせてそのプリント配線板の製造方法を提供すること
にある。
る発明は、電気絶縁性基板上に交互に積み重ねられた複
数の配線層と絶縁層を有し、絶縁層に設けられたバイア
ーホールを介しその上側と下側に配置された各配線層が
接続されていると共に、その最表面側には表面保護層に
より被覆された最上配線層と表面保護層から露出する表
面実装部品用ランドを備え、かつ、少なくとも2層目以
降の各配線層と表面実装部品用ランドが電解メッキによ
り形成されているプリント配線板を前提とし、上記表面
実装部品用ランドの外周縁に亘ってその側面に密着させ
て電気絶縁性ランド保持層が設けられ、かつ、このラン
ド保持層の上面が表面実装部品用ランドの上面と略同一
平面を構成するか若しくは上記表面実装部品用ランドの
上面より上方側へ突出するように設定されていることを
特徴とするものである。
リント配線板によれば、上記電気絶縁性ランド保持層の
上面が表面実装部品用ランドの上面と略同一平面を構成
するか若しくは上記表面実装部品用ランドの上面より上
方側へ突出するように設定され、上記ランド保持層の存
在により表面実装部品用ランドの側面が露出していない
ため、何らかの原因によりプリント配線板の表面方向に
沿って外力が加わった場合においても表面実装部品用ラ
ンドに外力が作用し難く、かつ、仮に外力や引上げ力が
加わった場合にも表面実装部品用ランドの外周縁に亘っ
てその側面に密着させて設けられた上記ランド保持層の
作用によりその剥離を未然に防止することが可能とな
る。
性基板としては、例えば、エポキシ樹脂が含浸されたガ
ラス繊維布(ガラス−エポキシ)等の単一基板が挙げら
れるが、複数の内層回路板が積層されて成る多層配線基
板の適用も可能である。
電気絶縁性樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、ア
クリル系樹脂、ポリイミド系樹脂等が利用できる。尚、
エポキシ系樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹
脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂等が例示でき、アクリル系樹
脂としては、例えば、上記エポキシ系樹脂をアクリル化
又はメタクリル化したものが適用できる。
装部品用ランドの密着力をより向上させるためには、表
面実装部品用ランドの側面を粗面化する等の表面処理を
施すことにより電気絶縁性ランド保持層と表面実装部品
用ランドとの間の接触面積が増大するため密着力が向上
する。請求項2に係る発明はこの様な理由からなされて
いる。
1記載の発明に係るプリント配線板を前提とし、上記表
面実装部品用ランドの側面に、電気絶縁性ランド保持層
との密着性を向上させる表面処理が施されていることを
特徴とするものである。
理を施すためには、例えば、最上配線層が形成される前
の絶縁層上に電解メッキ法により導体層を成膜しこれを
パターン化して最上配線層と表面実装部品用ランドを形
成した後、上記絶縁層上に設けられた表面実装部品用ラ
ンドの少なくとも側面に対して上記表面処理を施せばよ
い。
ば、黒化処理が挙げられる。すなわち黒化処理は上記表
面実装部品用ランドが銅を素材として構成されている場
合に適用されるもので、銅製の表面実装部品用ランド表
面に黒色で針状結晶のCuOより成る酸化膜を生成させ
る処理である。そして、この針状結晶が上記電気絶縁性
樹脂から成る電気絶縁性ランド保持層の内部まで入り込
み両者の密着性を向上させる。
しては、例えば、下記組成1〜4から成るものが挙げら
れる。また、日本マクダーミッド(株)から市販されて
いるオキサイド処理液(商品名;BO−200)を利用
することも可能である。
トリウム水溶液) NaClO2 30〜60g/l NaOH 10〜30g/l Na3PO4 5〜20g/l黒化処理液組成2(アルカリ性過硫酸カリウム水溶液 ) K2S2O8 5〜20g/l NaOH 40〜60g/l黒化処理液組成3(硫化カリウム−塩化アンモニア水溶
液 ) K2S 10〜20g/l NH4Cl 5〜15g/l黒化処理液組成4 酢酸 20g/l NH4Cl 20g/l 酢酸銅 10g/l 尚、上記組成1又は組成2の黒化処理液を適用する場合
には、その処理液を80〜100℃の浴温に加熱し、加
熱された処理液に表面実装部品用ランドが形成された電
気絶縁性基板を1〜5分浸漬すればよい。また、上記組
成3の黒化処理液を適用する場合には、浴温60〜80
℃、浸漬時間2〜5分の処理条件でよく、組成4の黒化
処理液を適用する場合には、浴温60〜80℃、浸漬時
間1〜10分でよい。
れに続く微細表面化処理を適用することも可能である。
この微細表面化処理によれば、上記黒化処理で生成され
た針状のCuOを還元し又は溶解してCu又はCu2O
から成る微細で緻密な凹凸表面を形成することができ
る。そして、この微細で緻密な凹凸表面が電気絶縁性樹
脂から成る電気絶縁性ランド保持層に密着し、両者の接
触面積が増大してその密着力を向上させることが可能と
なる。
理液としては、例えば、硫酸、酢酸、燐酸等の無機酸、
若しくは、蟻酸、酢酸、酒石酸、クエン酸等の有機酸、
及び、これ等の酸を用いる酸性の緩衝液が挙げられる。
特に、燐酸並びにクエン酸及びこれ等の緩衝液はpH安
定性が良好なため、これ等処理液が収容された同一浴を
用いて連続的に微細表面化処理を行ってもpHの変動が
少ないことから処理能力が低下し難い利点を有してい
る。また、上記緩衝液と同様に、酸解離定数の逆数の対
数値で、3.00程度の有機酸、例えば、グリシン、ブ
ロモ酢酸、サリチル酸、(R,R)−酒石酸、クロロ酢
酸、2−クロロプロピオン酸等も微細表面化処理中のp
Hの変動が少ない点で優れており、好適に利用できる。
はpH0〜3、好ましくはpH1.5〜2.5のものが
適用される。上記pH0未満の強い酸を適用すると上記
微細な凹凸が形成されることなく表面が平滑化されてし
まい、上記電気絶縁性樹脂層との密着力の向上を図り難
いからである。一方、pH3を越える弱い酸を適用する
ことは可能であるが、CuOの溶解除去と微細な凹凸の
形成に長時間を要してしまい処理効率が極端に低下して
しまうからである。
化しそのpHも温度に依存して変化するため、上記pH
の調整に当たっては微細表面化処理を行う際の温度条件
に留意することを要する。尚、微細表面化処理は室温〜
80℃程度の温度で行うことができ、また、この処理時
間は上記処理液と銅製表面実装部品用ランドとの反応が
平衡状態に達するまで行うことが望ましく、通常15秒
〜5分程度である。また、リン酸は、クエン酸に較べて
解離度が高いため低温の処理液温度で酸処理が行える利
点を有している。
ては、リン酸水溶液あるいはリン酸水溶液に適量のリン
酸水素二ナトリウム、リン酸三ナトリウム等を添加した
緩衝液等が挙げられる。また、pH0〜3のクエン酸系
処理液としては、クエン酸の水溶液あるいはクエン酸水
溶液に燐酸水素二ナトリウム又はクエン酸カリウムを適
量添加した緩衝液等が適用できる。また、リン酸三ナト
リウムの水溶液に(クエン酸+リン酸二水素カリウム+
ホウ酸+ジエチルパルビツル酸)又は(ホウ酸+クエン
酸+クエン酸)を適量添加した緩衝液等が挙げられる。
理液として還元処理液を適用することも可能である。こ
のような還元処理液としては、下記組成1〜3から成る
処理液が例示できる。また、日本マクダーミッド(株)
から市販されているオキサイド・ポスト・ディップ処理
液(商品名;BO−220)を利用することも可能であ
る。
その処理液を20〜50℃の浴温に加熱し、加熱された
処理液に黒化処理が施された電気絶縁性基板を1分程度
浸漬すればよい。また、上記組成2の還元処理液を適用
する場合には、浴温30〜60℃、浸漬時間5〜10分
の処理条件でよく、組成3の還元処理液を適用する場合
には、浴温30〜60℃、浸漬時間5〜10分でよい。
この様な黒化処理等が施されたプリント配線板を特定し
た発明に関する。
1記載の発明に係るプリント配線板を前提とし、上記表
面実装部品用ランドが銅により構成され、かつ、上記表
面処理が黒化処理又はこの黒化処理に続く微細表面化処
理であることを特徴とする。
上述した請求項1〜3に係るプリント配線板の製造方法
を特定した発明に関する。
1記載のプリント配線板の製造方法を前提とし、最上配
線層が形成される前の絶縁層上に電解メッキ法により導
体層を成膜しこれをパターン化して最上配線層と表面実
装部品用ランドを形成する工程、上記最上配線層と表面
実装部品用ランドを含む全面に電気絶縁性樹脂層を被覆
し、かつ、少なくとも電気絶縁性樹脂層の表面実装部品
用ランドに対応した部位をバフ研磨により除去して電気
絶縁性ランド保持層を形成する工程、を具備することを
特徴とし、また、請求項5に係る発明は、請求項2記載
のプリント配線板の製造方法を前提とし、最上配線層が
形成される前の絶縁層上に電解メッキ法により導体層を
成膜しこれをパターン化して最上配線層と表面実装部品
用ランドを形成する工程、形成された上記表面実装部品
用ランドの少なくとも側面に対し、次の工程で形成する
電気絶縁性ランド保持層との密着性を向上させる表面処
理を施す工程、上記最上配線層と表面実装部品用ランド
を含む全面に電気絶縁性樹脂層を被覆し、かつ、少なく
とも電気絶縁性樹脂層の表面実装部品用ランドに対応し
た部位をバフ研磨により除去して電気絶縁性ランド保持
層を形成する工程、を具備することを特徴とするもので
ある。
配線層と表面実装部品用ランドを含む全面を被覆するよ
うに設けられた電気絶縁性樹脂層の少なくとも表面実装
部品用ランドに対応した部位をバフ研磨により除去して
いるため、上記電気絶縁性ランド保持層を簡便にかつ確
実に形成することができる。尚、表面実装部品用ランド
に対応した部位の電気絶縁性樹脂層をバフ研磨する際、
この部位のみをバフ研磨することは物理的に困難なため
最上配線層上に存在する電気絶縁性樹脂層もバフ研磨さ
れ、この結果、最上配線層も露出されることになる。こ
のため、上記電気絶縁性ランド保持層を形成した後、最
上配線層と表面実装部品用ランドを含む全面に表面保護
層となる感光性ソルダレジスト等を成膜し、かつ、この
感光性ソルダレジストの表面実装部品用ランドに対応す
る部位を開口させて表面実装部品用ランドの頂部を露出
させる工程が必要となる。但し、従来法と同様、上記開
口の寸法を表面実装部品用ランドの面積より大きく設定
しても、露出する表面実装部品用ランドの外周縁には上
記電気絶縁性ランド保持層が既に設けられているため、
従来技術による上述した剥離等の問題は回避される。
層と表面実装部品用ランドの形成手段を特定した発明に
関する。
4又は5記載の発明に係るプリント配線板の製造方法を
前提とし、上記導体層をパターン化して最上配線層と表
面実装部品用ランドを形成する手段が、感光性レジスト
を用いるフォトリソグラフィー法により構成されている
ことを特徴とするものである。
少なくとも表面実装部品用ランドに対応した部位の電気
絶縁性樹脂層をバフ研磨する際、研磨の加工精度にもよ
るが電気絶縁性樹脂層以外にその下側に存在する表面実
装部品用ランドや最上配線層の頂部側も研磨されてしま
うことがあり、表面実装部品用ランドや最上配線層の膜
厚が微妙に変動してその電気特性に悪影響を及ぼしてし
まう場合がある。請求項7に係る発明はこの弊害を未然
に回避する製造方法に関する。
6記載の発明に係るプリント配線板の製造方法を前提と
し、パターン化された最上配線層と表面実装部品用ラン
ド上の感光性レジスト層を残留させたままこれ等最上配
線層と表面実装部品用ランドを含む全面に電気絶縁性樹
脂層を被覆し、かつ、少なくとも電気絶縁性樹脂層の表
面実装部品用ランドに対応した部位をバフ研磨して除去
することを特徴とするものである。
層と表面実装部品用ランド上の感光性レジスト層を残留
させたままその上に設けられた電気絶縁性樹脂層のバフ
研磨を行っているため、残留させた感光性レジスト層の
作用により最上配線層と表面実装部品用ランドの頂部側
が研磨されることがなく、かつ、バフ研磨処理の後に残
留する感光性レジスト層を簡単に除去することも可能で
ある。
部品用ランドや最上配線層の膜厚が変動することがない
ため、安定した電気特性を有するプリント配線板を確実
に得ることができる。
を実施して請求項2記載のプリント配線板を製造する場
合、パターン化された最上配線層と表面実装部品用ラン
ド上の感光性レジスト層を残留させたまま黒化処理等の
表面処理を施した場合、その処理液により残留する感光
性レジスト層が剥がれてしまうことがある。この状態
で、例えば、電気絶縁性樹脂層を被覆しかつこれをバフ
研磨した場合、表面実装部品用ランドの頂部側が研磨さ
れてしまうことがある。請求項8に係る発明はこの点を
改善した製造方法に関する。
6記載の発明に係るプリント配線板の製造方法を前提と
し、パターン化された最上配線層と表面実装部品用ラン
ド上に残留する感光性レジスト層を除去し、露出された
最上配線層と表面実装部品用ランドの全面に表面処理を
施した後、表面処理が施された少なくとも上記表面実装
部品用ランド上に感光性レジスト層を形成し、かつ、こ
の感光性レジスト層が形成された表面実装部品用ランド
並びに最上配線層を含む全面に電気絶縁性樹脂層を被覆
すると共に、少なくとも電気絶縁性樹脂層の表面実装部
品用ランドに対応した部位をバフ研磨して除去すること
を特徴とするものである。
ば、パターン化された最上配線層と表面実装部品用ラン
ド上に残留する感光性レジスト層を除去し、レジスト層
が除去された最上配線層と表面実装部品用ランドに対し
表面処理を施した後、少なくとも上記表面実装部品用ラ
ンド上に感光性レジスト層を形成し、かつ、この感光性
レジスト層が形成された表面実装部品用ランド並びに最
上配線層を含む全面に電気絶縁性樹脂層を被覆して上記
バフ研磨処理を施しているため、表面実装部品用ランド
の頂部側が研磨されることがない。
記載の発明に係る製造方法における表面処理の内容を特
定した発明に関する。
5〜8のいずれかに記載の発明に係るプリント配線板の
製造方法を前提とし、上記表面実装部品用ランドが銅に
より構成され、かつ、上記表面処理が黒化処理又はこの
黒化処理に続く微細表面化処理であることを特徴とす
る。
て図面を参照して詳細に説明する。
プリント配線板は、図1に示すようにガラス−エポキシ
から成る厚さ1mmの電気絶縁性基板1と、この基板1
上に設けられその膜厚が18μmの銅箔から成る第一配
線層21と、この第一配線層21上に設けられた膜厚4
0μmの絶縁層3と、この絶縁層3上に設けられた銅メ
ッキ製の最上配線層22及び表面実装部品用ランド4
と、この表面実装部品用ランド4の外周縁に亘ってその
側面に密着させて設けられた電気絶縁性ランド保持層5
と、上記最上配線層22の表面を被覆しかつ表面実装部
品用ランド4に対応した部位に開口61を有する表面保
護層6とでその主要部が構成されており、上記絶縁層3
に設けられたバイアーホール31を介して第一配線層2
1と最上配線層22、及び、第一配線層21と表面実装
部品用ランド4とがそれぞれ接続されていると共に、表
面実装部品用ランド4と電気絶縁性ランド保持層5の各
上面が略同一平面を構成している。また、第一配線層2
1、最上配線層22及び表面実装部品用ランド4につい
ては以下に述べる黒化処理と微細表面化処理の表面処理
が施されている。尚、図1中、10は模式的に示したこ
れらの処理層を表している。
経て製造されたものである。
1mmのガラス−エポキシから成る電気絶縁性基板1の
片面に厚さ18μmの銅箔が貼着された片面銅張積層板
を用い、上記銅箔上に感光性レジスト[東京応化工業
(株)製 商品名;PMER]を塗布した。次に、この
感光性レジストにフォトマスクを重ね、部分的に露光・
現像して上記感光性レジストを部分的に除去した。尚、
残存した感光性レジストは第一配線層21と略同一のパ
ターン形状を有している。そして、この感光性レジスト
から露出する銅箔をエッチングし、かつ、残存する上記
感光性レジストを除去して図2(A)に示すように電気
絶縁性基板1上に第一配線層21を形成した。
リ脱脂処理し、かつ、110g/lの過硫酸ナトリウム
溶液で30秒間のソフトエッチング処理を施した後、さ
らに5重量%の硫酸で洗浄処理を施した。
1に対し、日本マクダーミッド(株)製のオキサイド処
理液(商品名:BO−200,組成;純水:41重量
%、BO−200A:40重量%、BO−200B:1
5重量%、BO−200C:4重量%)を黒化処理液と
して黒化処理を施した後、日本マクダーミッド(株)製
のオキサイド・ポストディップ処理液(商品名:BO−
220,組成;純水:75重量%、BO−220A:2
0重量%、BO−220B:5重量%)で更に微細表面
化処理を施した(図2B参照)。
面に酸化第二銅を主成分とした酸化皮膜が形成され、か
つ、その後のオキサイド・ポストディップ処理液によっ
て上記表面は酸化第一銅を主成分とした酸化皮膜及び金
属銅に変化しているものと思われる。図2(B)中、1
0はこれら処理により第一配線層21表面に形成された
処理層を示している。
21を含む電気絶縁性基板1の全面に感光性絶縁樹脂
[日本ペイント(株)製 商品名:プロビコート500
0]をスクリーン印刷法により塗布し、感光性絶縁樹脂
層30を形成した(図2C参照)。
キシ系、アクリル系、ポリイミド系などの樹脂が好まし
く用いられ、この実施の形態で適用されているように感
光性を有するものが製造工程面から有利である。また、
感光性を有していなくてもレーザ加工などの手段により
パターン化が可能である。また、塗布方法も、スクリー
ン印刷に限定されることはなくカーテンコートなどの方
法でもよい。
で30分間プリベークを行い、かつ、所望のバイアーホ
ールのパターンを有するマスクを用い1500mJ/c
m2の露光量で露光を行い、現像処理してバイアーホー
ルとなる部分の樹脂を除去した。尚、バイアーホールの
孔径は120μmであった。そして、水洗後、130
℃、60分間の条件でベーキングを行い感光性絶縁樹脂
層30を硬化させた。
し、320番から800番程度の粗さのバフを順次用い
てバフ研磨を行い、第一配線層21の存在部位と非存在
部位の段差によって生じる感光性絶縁樹脂層30の凹凸
を平坦化すると共に、表面を微細に粗化した。このよう
にしてバイアーホール31を有する膜厚40μmの絶縁
層3を形成した(図2D参照)。
4の形成工程』次に、過マンガン酸水溶液(過マンガン
酸70g/l、水酸化ナトリウム40g/l)を用いて
上記絶縁層3の表面を粗化処理し、かつ、塩酸で中和処
理した後、脱脂処理を施し、更に過硫酸ナトリウムを用
いてソフトエッチング処理を施した。
全面に、無電解メッキ法により厚さ約2μmの銅メッキ
層(導電層)を形成し、更に、電解メッキ法により上記
銅メッキ層(導電層)上に厚さ約20μmの電解銅メッ
キ層を形成した。
mのドライフィルムを貼着し、所望の配線パターンを有
するマスクを用いて露光・現像を行った。尚、レジスト
は、この実施の形態で用いられているドライフィルムに
限定されることはなく、液状のレジストや電着レジスト
などを用いてもよい。その後、塩化第二鉄を用いてエッ
チングを行い、図2(E)に示すように最上配線層22
と表面実装部品用ランド4を形成し、次いで上記ドライ
フィルムの剥離処理を行った。
表面化処理と同様の処理をこれら最上配線層22と表面
実装部品用ランド4に対して行い、これらの表面に処理
層10を形成した(図2E参照)。
次に、黒化処理と微細表面化処理が施された最上配線層
22と表面実装部品用ランド4を含む全面に、感光性絶
縁樹脂[日本ペイント(株)製 商品名:プロビコート
5000]をスクリーン印刷法により塗布し、感光性絶
縁樹脂層50を形成し、90℃、30分間の条件でプリ
ベークした後、1500mJ/cm2 の露光量で全面露
光を行った。水洗後、130℃、60分間ベーキングし
て硬化させた(図2F参照)。尚、後の工程で表面実装
部品用ランド上に形成された絶縁樹脂はバフ研磨によっ
て除去することになるが、この研磨工程に要する時間を
短縮させる目的で、特に表面張力等の関係で厚く形成さ
れる表面実装部品用ランドの中央付近の絶縁樹脂を予め
除去しておくことが好ましい。すなわち、上記絶縁樹脂
がこの実施の形態で用いられているように感光性の場合
は露光の際にマスク(但し、表面実装部品用ランドの中
央付近の絶縁樹脂を除去することが目的であることから
表面実装部品用ランドの中央付近のみが未露光となるマ
スクを適用する)を用い、絶縁樹脂が感光性でない場合
は、レーザ加工などの手段で表面実装部品用ランド4上
の中央付近の樹脂を除去し、水洗、130℃、60分間
ベーキングを行い、硬化させてもよい。
バフを順次用いて感光性絶縁樹脂層50のバフ研磨を行
い、少なくとも表面実装部品用ランド4が露出するまで
研磨を行った。このバフ研磨処理により、図2(G)に
示すように表面実装部品用ランド4の外周縁に亘ってそ
の側面に密着された電気絶縁性ランド保持層5が形成さ
れる。尚、バフ研磨後に、上記表面実装部品用ランド4
上に感光性絶縁樹脂層50が残存していることを避ける
ため、過マンガン酸水溶液(過マンガン酸70g/l、
水酸化ナトリウム40g/l)等を用い洗浄することが
好ましい。
ランド4及び電気絶縁性ランド保持層5を含む全面に表
面保護層6にするソルダレジストを塗布し、仮乾燥した
後、露光・現像を行い、表面実装部品用ランド4に対応
する部位に開口61を有する表面保護層6を形成した。
尚、表面保護層6の材料は、絶縁層に適用された同質の
ものが利用できる。
/lの過硫酸ナトリウム水溶液で30秒間のソフトエッ
チング処理を施し、かつ、5重量%の濃度の硫酸で30
秒間洗浄して図1に示されたプリント配線板を得た。
プリント配線板において、表面保護層6を形成する前の
幅100μm、厚さ20μmの表面実装部品用ランド4
の端にプルテスターをつなげ、剥離が始まるまで垂直
(プリント配線板表面の法線方向)に50mm/分の速
度条件で引き上げた。
さ寸法は0.4〜0.6cm程度と短く上記プルテスタ
ーによる測定が困難なため、この実施の形態に係る製造
方法と同一の条件で幅100μm、厚さ20μm、長さ
4cmの表面実装部品用ランド4を製造し、この試験用
プリント配線板についてプルテスターによる測定を行っ
た(以下の従来法で製造したプリント配線板並びに他の
実施の形態に係るプリント配線板についても同様)。こ
の結果、約5.5g〜6.0gの力で表面実装部品用ラ
ンド4の剥離が開始した。
(すなわち、表面実装部品用ランド4の周囲に電気絶縁
性ランド保持層5が設けられていない構造のもの)の表
面実装部品用ランドについても同様の方法でその密着力
を測定した。この結果、上記表面実装部品用ランドは約
3.5g〜4.0gの力でその剥離が開始した。
プリント配線板の表面実装部品用ランドは、従来例に係
る表面実装部品用ランドに較べて極めてその密着力が大
きく、剥落し難いことが確認できた。
プリント配線板は、図3に示すようにガラス−エポキシ
から成る厚さ1mmの電気絶縁性基板1と、この基板1
上に設けられその膜厚が18μmの銅箔から成る第一配
線層21と、この第一配線層21上に設けられた膜厚4
0μmの絶縁層3と、この絶縁層3上に設けられた銅メ
ッキ製の最上配線層22及び表面実装部品用ランド4
と、この表面実装部品用ランド4の外周縁に亘ってその
側面に密着させて設けられた電気絶縁性ランド保持層5
と、上記最上配線層22の表面を被覆しかつ表面実装部
品用ランド4に対応した部位に開口61を有する表面保
護層6とでその主要部が構成されており、上記絶縁層3
に設けられたバイアーホール31を介して第一配線層2
1と最上配線層22、及び、第一配線層21と表面実装
部品用ランド4とがそれぞれ接続されていると共に、電
気絶縁性ランド保持層5の上面が表面実装部品用ランド
4の上面より若干上方側へ突出するように設けられてい
る。また、第一配線層21、最上配線層22及び表面実
装部品用ランド4については黒化処理と微細表面化処理
の表面処理が施されそれぞれの表面には処理層10が形
成されている。
経て製造されたものである。
3の形成工程』 第一実施の形態と同一の工程であるので記載を省略す
る。
4の形成工程』まず、絶縁層3が形成された全面に無電
解メッキ法により厚さ約2μmの銅メッキ層(導電層)
を形成し、更に、電解メッキ法により上記銅メッキ層
(導電層)上に厚さ約20μmの電解銅メッキ層を形成
した。
スト[東京応化工業(株)製 商品名;PMER]を塗
布した。次に、この感光性レジストにフォトマスクを重
ね、部分的に露光・現像して上記感光性レジストを部分
的に除去した。尚、残存した感光性レジストは最上配線
層22と表面実装部品用ランド4と略同一のパターン形
状を有している。
電解銅メッキ層をエッチングして図4(A)に示すよう
に最上配線層22と表面実装部品用ランド4を形成し、
かつ、形成されたこれら最上配線層22と表面実装部品
用ランド4上の感光性レジストrを残したままの状態で
第一実施の形態と同一の条件で最上配線層22と表面実
装部品用ランド4の黒化処理と微細表面化処理を施し、
上記感光性レジストrで被覆されていない部位に処理層
10を形成した(図4B参照)。
次に、黒化処理と微細表面化処理が施されかつ上面に感
光性レジストrが残されたままの最上配線層22と表面
実装部品用ランド4を含む全面に、感光性絶縁樹脂[日
本ペイント(株)製 商品名:プロビコート5000]
をスクリーン印刷法により塗布し、感光性絶縁樹脂層5
0を形成し、90℃、30分間の条件でプリベークした
後、1500mJ/cm2 の露光量で全面露光を行っ
た。水洗後、130℃、60分間ベーキングして硬化さ
せた(図4C参照)。ここで、上記絶縁樹脂がこの実施
の形態で用いられているように感光性の場合は、上述し
たように露光の際にマスクを用いて表面実装部品用ラン
ド4上の樹脂を除去し、水洗、130℃、60分間ベー
キングを行い、硬化させてもよい。
バフを順次用いて感光性絶縁樹脂層50のバフ研磨を行
い、少なくとも表面実装部品用ランド4上の感光性レジ
ストrが露出するまで研磨を行った。このバフ研磨処理
により、図4(D)に示すように表面実装部品用ランド
4の外周縁に亘ってその側面に密着された電気絶縁性ラ
ンド保持層5が形成される。そしてバフ研磨後に、上記
表面実装部品用ランド4や最上配線層22上に残留する
感光性レジストrを除去してこれらの表面を露出させた
(図4E参照)。
ランド4及び電気絶縁性ランド保持層5を含む全面に表
面保護層6にするソルダレジストを塗布し、仮乾燥した
後、露光・現像を行い、表面実装部品用ランド4に対応
する部位に開口61を有する表面保護層6を形成した。
尚、表面保護層6の材料は絶縁層に適用された同質のも
の、あるいは異なった材料でも利用できる。
/lの過硫酸ナトリウム水溶液で30秒間のソフトエッ
チング処理を施し、かつ、5重量%の濃度の硫酸で30
秒間洗浄して図3に示されたプリント配線板を得た。
プリント配線板において、表面保護層6を形成する前の
幅100μmの表面実装部品用ランド4の端にプルテス
ターをつなげ、剥離が始まるまで垂直(プリント配線板
表面の法線方向)に引き上げてその密着力測定試験を行
ったところ、第一実施の形態に係るプリント配線板と同
等の強度を有していた。 [第三実施の形態]この実施の形態に係るプリント配線
板は、図5に示すようにガラス−エポキシから成る厚さ
1mmの電気絶縁性基板1と、この基板1上に設けられ
その膜厚が18μmの銅箔から成る第一配線層21と、
この第一配線層21上に設けられた膜厚40μmの絶縁
層3と、この絶縁層3上に設けられた銅メッキ製の最上
配線層22及び表面実装部品用ランド4と、この表面実
装部品用ランド4の外周縁に亘ってその側面に密着させ
て設けられた電気絶縁性ランド保持層5と、上記最上配
線層22の表面を被覆しかつ表面実装部品用ランド4に
対応した部位に開口61を有する表面保護層6とでその
主要部が構成されており、上記絶縁層3に設けられたバ
イアーホール31を介して第一配線層21と最上配線層
22、及び、第一配線層21と表面実装部品用ランド4
とがそれぞれ接続されていると共に、電気絶縁性ランド
保持層5の上面が表面実装部品用ランド4の上面より上
方側へ突出するように設けられている。また、第一配線
層21、最上配線層22及び表面実装部品用ランド4に
ついては黒化処理と微細表面化処理の表面処理が施され
それぞれの表面には処理層10が形成されている。
経て製造されたものである。
3の形成工程』及び、『最上配線層22と表面実装部品
用ランド4の形成工程』 第一実施の形態と同一の工程であるので記載を省略す
る。
黒化処理と微細表面化処理が施された最上配線層22と
表面実装部品用ランド4(図6A参照)を含む全面に感
光性レジスト[東京応化工業(株)製 商品名;PME
R]を塗布し、かつ、この感光性レジストにフォトマス
クを重ね、部分的に露光・現像して表面実装部品用ラン
ド4上にのみレジスト層rを形成した(図6B参照)。
尚、このレジスト層rは表面実装部品用ランド4の面積
より少し大きめに形成することが好ましい。これは、後
の工程でこのレジスト層rを介し上記表面実装部品用ラ
ンド4上に感光性絶縁樹脂層を形成するが、製造工程上
の誤差が生じてもレジスト層rを大きめに形成しておく
ことにより感光性絶縁樹脂層を除去する場合にその残留
を回避できるからである。
ように感光性絶縁樹脂[日本ペイント(株)製 商品
名:プロビコート5000]をスクリーン印刷法により
塗布し、感光性絶縁樹脂層50を形成し、90℃、30
分間の条件でプリベークした後、1500mJ/cm2
の露光量で全面露光を行った。水洗後、130℃、60
分間ベーキングして硬化させた(図4C参照)。
バフを順次用いて感光性絶縁樹脂層50のバフ研磨を行
い、少なくとも表面実装部品用ランド4上のレジスト層
rが露出する程度まで研磨を行った。このバフ研磨処理
により、図6(D)に示すように表面実装部品用ランド
4の外周縁に亘ってその側面に密着された電気絶縁性ラ
ンド保持層5が形成される。そしてバフ研磨後に、上記
表面実装部品用ランド4上に残留するレジスト層rを除
去して表面実装部品用ランド4の表面を露出させた(図
6E参照)。
ランド4及び電気絶縁性ランド保持層5を含む全面に表
面保護層6にするソルダレジストを塗布し、仮乾燥した
後、露光・現像を行い、表面実装部品用ランド4に対応
する部位に開口61を有する表面保護層6を形成した。
/lの過硫酸ナトリウム水溶液で30秒間のソフトエッ
チング処理を施し、かつ、5重量%の濃度の硫酸で30
秒間洗浄して図3に示されたプリント配線板を得た。
プリント配線板において、表面保護層6を形成する前の
幅100μmの表面実装部品用ランド4の端にプルテス
ターをつなげ、剥離が始まるまで垂直(プリント配線板
表面の法線方向)に引き上げてその密着力測定試験を行
ったところ、第一実施の形態に係るプリント配線板と同
等の強度を有していた。
板によれば、電気絶縁性ランド保持層の上面が表面実装
部品用ランドの上面と略同一平面を構成するか若しくは
上記表面実装部品用ランドの上面より上方側へ突出する
ように設定され、上記ランド保持層の存在により表面実
装部品用ランドの側面が露出していないため、何らかの
原因によりプリント配線板の表面方向に沿って外力が加
わった場合においても表面実装部品用ランドに外力が作
用し難く、かつ、仮に外力や引上げ力が加わった場合に
も表面実装部品用ランドの外周縁に亘ってその側面に密
着させて設けられた上記ランド保持層の作用によりその
剥離を未然に防止できる効果を有する。
リント配線板によれば、表面実装部品用ランドの側面に
黒化処理などの表面処理が施されていることから表面実
装部品用ランドと電気絶縁性ランド保持層との間の接触
面積が増大し、これにより両者の密着力が向上するため
表面実装部品用ランドの剥離を更に防止できる効果を有
している。
明に係るプリント配線板の製造方法によれば、最上配線
層と表面実装部品用ランドを含む全面を被覆するように
設けられた電気絶縁性樹脂層の少なくとも表面実装部品
用ランドに対応した部位をバフ研磨により除去している
ため、表面実装部品用ランドの外周縁に亘ってその側面
に密着させて設けられる電気絶縁性ランド保持層を簡便
かつ確実に形成できる効果を有している。
配線板の製造方法によれば、最上配線層と表面実装部品
用ランド上の感光性レジスト層を残留させたままその上
に設けられた電気絶縁性樹脂層のバフ研磨を行っている
ため、残留させた感光性レジスト層の作用により最上配
線層と表面実装部品用ランドの頂部側が研磨されること
がなく、かつ、バフ研磨処理の後に残留する感光性レジ
スト層を簡単に除去することも可能である。
部品用ランドや最上配線層の膜厚が変動することがない
ため、安定した電気特性を有するプリント配線板を確実
に得ることができる効果を有する。
配線板の製造方法によれば、パターン化された最上配線
層と表面実装部品用ランド上に残留する感光性レジスト
層を除去し、レジスト層が除去された最上配線層と表面
実装部品用ランドに対し表面処理を施した後、少なくと
も表面実装部品用ランド上に感光性レジスト層を形成
し、かつ、この感光性レジスト層が形成された表面実装
部品用ランド並びに最上配線層を含む全面に電気絶縁性
樹脂層を被覆して上記バフ研磨処理を施しているため、
表面実装部品用ランドの頂部側が研磨されることがない
効果を有する。
の概略構成を示す断面図。
リント配線板の製造工程を示す説明図。
の概略構成を示す断面図。
リント配線板の製造工程を示す説明図。
の概略構成を示す断面図。
リント配線板の製造工程を示す説明図。
る従来のプリント配線板の製造工程を示す説明図。
る従来のプリント配線板の製造工程を示す説明図。
る従来のプリント配線板の製造工程を示す説明図。
Claims (9)
- 【請求項1】電気絶縁性基板上に交互に積み重ねられた
複数の配線層と絶縁層を有し、絶縁層に設けられたバイ
アーホールを介しその上側と下側に配置された各配線層
が接続されていると共に、その最表面側には表面保護層
により被覆された最上配線層と表面保護層から露出する
表面実装部品用ランドを備え、かつ、少なくとも2層目
以降の各配線層と表面実装部品用ランドが電解メッキに
より形成されているプリント配線板において、 上記表面実装部品用ランドの外周縁に亘ってその側面に
密着させて電気絶縁性ランド保持層が設けられ、かつ、
このランド保持層の上面が表面実装部品用ランドの上面
と略同一平面を構成するか若しくは上記表面実装部品用
ランドの上面より上方側へ突出するように設定されてい
ることを特徴とするプリント配線板。 - 【請求項2】上記表面実装部品用ランドの側面に、電気
絶縁性ランド保持層との密着性を向上させる表面処理が
施されていることを特徴とする請求項1記載のプリント
配線板。 - 【請求項3】上記表面実装部品用ランドが銅により構成
され、かつ、上記表面処理が黒化処理又はこの黒化処理
に続く微細表面化処理であることを特徴とする請求項2
記載のプリント配線板。 - 【請求項4】請求項1記載のプリント配線板の製造方法
において、 最上配線層が形成される前の絶縁層上に電解メッキ法に
より導体層を成膜しこれをパターン化して最上配線層と
表面実装部品用ランドを形成する工程、 上記最上配線層と表面実装部品用ランドを含む全面に電
気絶縁性樹脂層を被覆し、かつ、少なくとも電気絶縁性
樹脂層の表面実装部品用ランドに対応した部位をバフ研
磨により除去して電気絶縁性ランド保持層を形成する工
程、を具備することを特徴とするプリント配線板の製造
方法。 - 【請求項5】請求項2記載のプリント配線板の製造方法
において、 最上配線層が形成される前の絶縁層上に電解メッキ法に
より導体層を成膜しこれをパターン化して最上配線層と
表面実装部品用ランドを形成する工程、 形成された上記表面実装部品用ランドの少なくとも側面
に対し、次の工程で形成する電気絶縁性ランド保持層と
の密着性を向上させる表面処理を施す工程、 上記最上配線層と表面実装部品用ランドを含む全面に電
気絶縁性樹脂層を被覆し、かつ、少なくとも電気絶縁性
樹脂層の表面実装部品用ランドに対応した部位をバフ研
磨により除去して電気絶縁性ランド保持層を形成する工
程、を具備することを特徴とするプリント配線板の製造
方法。 - 【請求項6】請求項4又は5記載のプリント配線板の製
造方法において、 上記導体層をパターン化して最上配線層と表面実装部品
用ランドを形成する手段が、感光性レジストを用いるフ
ォトリソグラフィー法により構成されていることを特徴
とするプリント配線板の製造方法。 - 【請求項7】請求項6記載のプリント配線板の製造方法
において、 パターン化された最上配線層と表面実装部品用ランド上
の感光性レジスト層を残留させたままこれ等最上配線層
と表面実装部品用ランドを含む全面に電気絶縁性樹脂層
を被覆し、かつ、少なくとも電気絶縁性樹脂層の表面実
装部品用ランドに対応した部位をバフ研磨して除去する
ことを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 【請求項8】請求項6記載のプリント配線板の製造方法
において、 パターン化された最上配線層と表面実装部品用ランド上
に残留する感光性レジスト層を除去し、露出された最上
配線層と表面実装部品用ランドの全面に表面処理を施し
た後、表面処理が施された少なくとも上記表面実装部品
用ランド上に感光性レジスト層を形成し、かつ、この感
光性レジスト層が形成された表面実装部品用ランド並び
に最上配線層を含む全面に電気絶縁性樹脂層を被覆する
と共に、少なくとも電気絶縁性樹脂層の表面実装部品用
ランドに対応した部位をバフ研磨して除去することを特
徴とするプリント配線板の製造方法。 - 【請求項9】上記表面実装部品用ランドが銅により構成
され、かつ、上記表面処理が黒化処理又はこの黒化処理
に続く微細表面化処理であることを特徴とする請求項5
〜8のいずれかに記載のプリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8050904A JPH09219588A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | プリント配線板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8050904A JPH09219588A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | プリント配線板とその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09219588A true JPH09219588A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12871753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8050904A Pending JPH09219588A (ja) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | プリント配線板とその製造方法 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JPH09219588A (ja) |
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JP2002299794A (ja) * | 2001-04-03 | 2002-10-11 | Ibiden Co Ltd | ビアホールの形成方法およびビアホールを有する積層配線板 |
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