JPH09218169A

JPH09218169A - Ｘ線装置の回転試料台

Info

Publication number: JPH09218169A
Application number: JP8047925A
Authority: JP
Inventors: Noboru Osawa; 登大沢
Original assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Priority date: 1996-02-09
Filing date: 1996-02-09
Publication date: 1997-08-19

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成により試料の面振れを解消できる
Ｘ線装置の回転試料台を提供する。【解決手段】回転する出力軸６ａを備えたモータ６
と、試料Ｓが装着される回転面板５とを有する回転試料
台である。モータ６によって回転面板５を回転させるこ
とによって試料ＳをＸ線に対して回転する。この回転試
料台は、回転面板５に設けられていてモータ出力軸６ａ
が挿入される連結部５ａと、連結部５ａに設けられてい
てモータ出力軸６ａを挟んで互いに対向する一対の止め
ネジ１１ａ及び１１ｂとを有する。止めネジ１１ａ，１
１ｂのうちの適当なものを選択して回せば、その止めネ
ジによってモータ出力軸６ａを局所的に押圧でき、これ
により回転面板５の試料装着面の面振れを修正できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線回折装置等と
いったＸ線装置に用いられる回転試料台に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線を利用して試料に関する種々の情報
を採取するＸ線装置として、Ｘ線回折装置、Ｘ線反射率
測定装置、Ｘ線応力測定装置、その他種々の装置がある
ことは広く知られている。例えばＸ線回折装置では、図
７に示すように、Ｘ線源Ｆから放射されるＸ線Ｒを、試
料ホルダ１によって支持された試料、例えば粉末試料Ｓ
に照射する。照射されたＸ線が試料Ｓの結晶格子面に対
してブラッグの回折条件を満足すると、その試料ＳでＸ
線が回折し、その回折Ｘ線がＸ線検出器２によって検出
される。

【０００３】一般に広く行われているＸ線回折測定で
は、試料Ｓを試料面内軸線ωを中心として間欠的又は連
続的に回転（いわゆるθ回転）させ、同時にＸ線検出器
２を試料面内軸線ωを中心としてθ回転の２倍の角速度
で同じ方向へ回転（いわゆる２θ回転）させる。これに
より、回折角度２θのどの点で回折Ｘ線が発生するかを
検出する。また、粉末試料Ｓの結晶格子面を平均化する
等のために試料ホルダ１を試料中心軸線φを中心として
回転、いわゆる面内回転させることがある。

【０００４】また、図８に示すようなサンプルチェンジ
ャでは、試料Ｓを支持した試料ホルダ１を回転板３に環
状に装着し、回転板３を中心軸線Ｌを中心として面内回
転することにより、Ｘ線源ＦからのＸ線照射領域へ各試
料Ｓを順々に持ち運んでＸ線回折測定を行う。

【０００５】試料ホルダ１や回転板３を面内回転させる
ための回転試料台として、従来、図９に示す構造を有す
るものが知られている。この従来の回転試料台は、ベア
リング５１によってフレーム５２に回転自在に支持され
た回転面板５５と、その回転面板５５を回転駆動するモ
ータ５６とを有している。例えば試料ホルダ１は、ネ
ジ、磁石その他の固定手段によって回転面板５５に固着
される。回転面板５５の軸部分５５ａには従動ギヤ５７
が固着され、その従動ギヤ５７に噛み合う駆動ギヤ５８
がモータ５６の出力軸に固定されている。この従来の回
転試料台では、モータ５６の回転がギヤ５７及び５８を
介して回転面板５５へ伝達されて、その回転面板５５及
び試料Ｓが面内回転する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このような回転試料台
に関しては、全体の形状を小型にする意味からすれば、
回転面板５５をモータ５６の出力軸に直結することが望
ましい。これに対して上記従来の回転試料台において回
転面板５５をモータ５６に直結することなくフレーム５
２によって支持しているのは、次の理由による。すなわ
ち、モータ５６の出力軸は一般に図１０に示すように軸
受部分Ｐを中心として円錐運動を行い、これが出力軸の
回転振れとなって現れる。従って、この出力軸に回転面
板５５を直結すると、回転面板５５も回転振れを生じ、
その結果、試料Ｓに面振れが生じて再現性の高い安定し
た測定結果が得られないからである。

【０００７】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであって、回転面板をモータ出力軸に直結すること
によって回転試料台の構造を簡単且つ小型にすること及
びそのような直結構造を採用した場合にも試料に面振れ
が生じることを防止することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１記載のＸ線装置の回転試料台は、回転する
出力軸を備えたモータと、試料が装着される回転面板と
を有しており、モータによって回転面板を回転させるこ
とによって試料をＸ線に対して回転させる回転試料台で
あって、回転面板に設けられていてモータ出力軸を挿入
する連結部と、その連結部に設けられていてモータ出力
軸を挟んで互いに対向する一対の出力軸押圧部材とを有
することを特徴とする。一対の出力軸押圧部材は、モー
タ出力軸を互いに反対方向から押圧する。

【０００９】この回転試料台によれば、一対の出力軸押
圧部材のいずれか一方によってモータ出力軸を押圧する
ことにより、モータ出力軸に対する回転面板の取付け角
度を適宜に調節できる。これにより、モータを作動した
ときにモータ出力軸に図１０に示すような回転振れが生
じても、回転面板には面振れが発生しないように調節で
きる。また、ギヤ等を用いた動力伝達機構やベアリング
等を用いた支持機構が不要であるので、回転試料台の全
体の構造が簡単になり、その大きさも小型になる。

【００１０】上記記載において、出力軸押圧部材は、モ
ータ出力軸をその軸線と直交する方向（すなわちモータ
出力軸の断面半径方向）に押圧できる任意の構造の部材
によって構成できる。例えば、回転面板の連結部に形成
したネジ穴に嵌合する止めネジによって出力軸押圧部材
を構成することができる。この方法では、止めネジをネ
ジ締めしたり、ネジを緩めることにより、回転面板の面
振れを調節する。

【００１１】出力軸押圧部材に関しては、図４に示すよ
うに、一方の側の出力軸押圧部材１０ａと他方の側の出
力軸押圧部材１０ｂとを、モータ出力軸６ａの軸線方向
Ｌ₀に関して互いにずれた位置に配置することが望まし
い。こうすれば、出力軸押圧部材１０ａ又は１０ｂのい
ずれか１つの押圧力を適宜に調節することにより、モー
タ出力軸６ａに対する回転面板５の取付け角度を効率よ
く調節できる。

【００１２】また、出力軸押圧部材の配設形態として、
図４に示すように、モータ出力軸６ａの一方の側に１個
の押圧部材１０ｂを配置し、モータ出力軸６ａの他方の
側に２個の押圧部材１０ａを配置し、そして、モータ出
力軸６ａの軸線方向Ｌ₀に関して１個の押圧部材１０ｂ
を挟む位置に２個の押圧部材１０ａを配置することが望
ましい。

【００１３】なお、モータ出力軸６ａを挟んでその両側
に配置される一対の出力軸押圧部材１０ａ及び１０ｂ
は、１組だけに限られず、モータ出力軸６ａの断面円周
方向に２組以上設けることもできる。そして、このよう
にモータ出力軸６ａのまわりに２組以上の出力軸押圧部
材の対を配設する場合には、モータ出力軸６ａの断面円
周方向に関してそれらの対を互いにほぼ９０゜ずらせて
配設することのが望ましい。

【００１４】上記の目的を達成するため、請求項７記載
のＸ線装置の回転試料台は、回転する出力軸を備えたモ
ータと、試料が装着される回転面板とを有しており、モ
ータによって回転面板を回転させることによって試料を
Ｘ線に対して回転させる回転試料台において、モータ出
力軸に固定される連結部材と、その連結部材と回転面板
との両方にネジ嵌合する締付け用ネジと、連結部材にネ
ジ嵌合すると共に回転面板の表面に当たる押付け用ネジ
とを有することを特徴とする。

【００１５】請求項１記載の回転試料台では、回転面板
と一体に連結部を形成し、連結部をモータ出力軸に対し
て調節することにより回転面板の角度ズレを修正した。
これに対して請求項７記載の回転試料台では、モータ出
力軸に連結部材を固定し、回転面板を連結部材に対して
角度調節することによって回転面板の角度ズレを修正す
る。

【００１６】上記の締付け用ネジ及び押付け用ネジは連
結部材の円周方向に沿ってそれぞれ複数個設けることが
望ましい。こうすれば、それらのネジを設けた各所にお
いて回転面板の角度調節ができるので、高精度な調節が
可能である。また、締付け用ネジ及び押付け用ネジは連
結部材の円周方向に関して実質的に同じ円周角度位置に
設けることが望ましい。仮にこれらのネジが異なる円周
角度位置に設けられると、締付け用ネジによる締付け力
と押付け用ネジによる押付け力との作用により、連結部
材及び回転面板に変形が生じるおそれがある。これに対
し、両方のネジを実質的に同じ円周角度位置に配置すれ
ば、両ネジ間の間隔が近接するので連結部材及び回転面
板に変形が生じるおそれが少なくなる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は、請求項１に記載のＸ線装
置の回転試料台の一実施形態の側面断面を示している。
この回転試料台は、モータ出力軸６ａを備えたモータ６
と、試料Ｓを詰め込んだ試料ホルダ１がネジ、磁石その
他の手段によって固着される回転面板５とを有してい
る。回転面板５の後部には円筒状の連結部５ａが設けら
れ、その連結部５ａの内部の中空部分に円筒形状の中間
部材７がはめ込まれ、そしてその中間部材７の内部の中
空部分にモータ出力軸６ａがはめ込まれている。

【００１８】中間部材７は止めネジ８によってモータ出
力軸６ａにしっかりと固定される。回転面板の連結部５
ａのうちモータ出力軸６ａの一方の側には、出力軸押圧
部材として働く２個の止めネジ１１ａが配設される。ま
た、モータ出力軸６ａを挟んでそれらの止めネジ１１ａ
と対向する側に出力軸押圧部材として働く１個の止めネ
ジ１１ｂが配設される。

【００１９】また、図２に示すように、モータ出力軸６
ａの断面円周方向に関して止めネジ対１１ａ，１１ｂに
対してほぼ直交する方向に、別の止めネジ対１２ａ，１
２ｂが設けられる。これらの止めネジ対１２ａ，１２ｂ
の配置形態は止めネジ対１１ａ，１１ｂと同じであり、
一方の止めネジ１２ｂは１個であり、出力軸６ａの軸線
方向に関してその止めネジ１２ｂを挟むようにして２個
の止めネジ１２ａが配置される。各止めネジ１１ａ，１
１ｂ，１２ａ，１２ｂは、いずれも、回転面板５の連結
部５ａに形成したネジ穴にネジ嵌合しており、ドライバ
等の回し工具によってそれらの止めネジを回すことによ
り、それらの止めネジを中間部材７に対して進退移動さ
せることができる。

【００２０】本実施形態の回転試料台は以上のように構
成されているので、図１において、止めネジ１１ａ，１
１ｂ，１２ａ及び１２ｂの１つ又はいくつかを選択して
それ又はそれらを適宜に回して中間部材７に対して進退
移動させれば、モータ出力軸６ａに対する回転面板５の
取付け角度を自由に調節できる。これにより、モータ出
力軸６ａに回転振れが生じるときでも、回転面板５の試
料装着面は正確に垂直状態に保持でき、よって、試料Ｓ
を回転させたときにその試料Ｓに面振れが発生すること
を防止できる。この結果、複数個準備された試料Ｓに対
して順々にＸ線回折測定を行う場合に、再現性の高い安
定した測定を行うことができる。

【００２１】本実施形態の構造は、回転面板５にモータ
６を直接に接続するというダイレクト構造であるので、
図９に示した従来装置のようにギヤ等の動力伝達機構
や、ベアリング等の支持機構等を設ける必要がない。よ
って、回転試料台を簡単且つ小型に構成でき、製造コス
トも非常に低くなる。

【００２２】図３は、請求項１に記載の回転試料台の他
の実施形態を示している。この実施形態が図１に示した
実施形態と異なる点は、中間部材７を介在させることな
く、モータ６の出力軸６ａに直接に回転面板５の連結部
５ａをはめ込んだことである。従って、出力軸押圧部材
として働く止めネジ１１ａ，１１ｂ，１２ａ及び１２ｂ
は中間部材７等の介在部材を介してモータ出力軸６ａを
押圧するのではなくて、モータ出力軸６ａを直接に押圧
することになる。

【００２３】図５は、請求項７に記載の回転試料台の一
実施形態を示している。この回転試料台は、止めネジ８
によってモータ出力軸６ａに固定された連結部材２７
と、その連結部材２７と回転面板５との両方にネジ嵌合
する締付け用ネジ２１と、連結部材２７にネジ嵌合する
と共にその先端が回転面板５の表面に当たるように配設
された押付け用ネジとを有している。図６に示すよう
に、連結部材２７は円盤形状に形成されており、そして
締付け用ネジ２１はその連結部材２７の円周方向に沿っ
て１２０゜の等角度間隔で３個設けられる。また、各締
付け用ネジ２１と同じ円周角度位置であってそれらの締
付け用ネジ２１の内側に押付け用ネジ２２が設けられ
る。

【００２４】ここに示した回転試料台によれば、複数の
締付け用ネジ２１のいずれか又は複数の押付け用ネジ２
２のいずれかを締付け又は緩めることにより、連結部材
２７に対する回転面板５の取付け角度、換言すればモー
タ出力軸６ａに対する回転面板５の取付け角度を自由に
調節でき、従って、モータ出力軸６ａに回転振れが生じ
ても、回転面板５は面振れしない状態に保持できる。

【００２５】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるも
のではなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々
に改変可能である。例えば、本発明の回転試料台は、Ｘ
線回折装置以外の任意のＸ線装置に関しても適用でき
る。また、図１及び図３に示した実施形態に関して見れ
ば、出力軸押圧部材は止めネジ以外の他の任意の押圧部
材によって構成できる。また、出力軸押圧部材の対は上
記実施例のようにモータ出力軸の断面円周方向に２組設
置することに限られず、１組としても良いし、あるいは
３組以上とすることもできる。

【００２６】さらに、図６に示した実施形態に関して見
れば、連結部材２７の円周方向に関して締付け用ネジ２
１と異なる円周角度位置、例えば符号Ｑで示す角度位置
に押付け用ネジ２２を設けることもできる。但し、この
場合には、締付け用ネジ２１と押付け用ネジ２２との間
の間隔が大きくなるので、両ネジを締め付けたときに連
結部材２７が大きく変形することがあるかもしれない。
よって、できるならば、締付け用ネジ２１と押付け用ネ
ジ２２とを同じ円周角度位置に配置するのが良い。ま
た、締付け用ネジ２１及び押付け用ネジ２２の個数は、
３個以外の任意の数とすることができる。

【００２７】

【発明の効果】請求項１記載のＸ線装置の回転試料台に
よれば、一対の出力軸押圧部材を構成する複数の出力軸
押圧部材のいずれかによってモータ出力軸を直接又は間
接に押圧することにより、モータ出力軸に対する回転面
板の取付け角度を適宜に調節できる。これにより、モー
タを作動して回転面板を回転させたとき、仮にモータ出
力軸に回転振れが生じる場合でも、その回転面板に面振
れが発生することを防止できる。また、回転面板は連結
部を介してモータ出力軸に直接に連結されるので、構造
が簡単であり、小型であり、製造コストが低い。

【００２８】請求項２及び請求項３記載のＸ線装置の回
転試料台によれば、モータ出力軸に対する回転面板の取
付け角度を精度高く調節できる。

【００２９】請求項４記載のＸ線装置の回転試料台によ
れば、出力軸押圧部材の対を１組だけ設ける場合に比べ
て、より高精度に回転面板の角度位置を調節できる。

【００３０】請求項５記載のＸ線装置の回転試料台によ
れば、２組の出力軸押圧部材対をもっとも効率良く活用
できる。

【００３１】請求項７記載のＸ線装置の回転試料台によ
れば、締付け用ネジ又は押付け用ネジの締付け状態を適
宜に調節することにより、モータ出力軸に対する回転面
板の取付け角度を適宜に調節でき、これにより、回転面
板に面振れが発生することを防止できる。

【００３２】請求項８記載のＸ線装置の回転試料台によ
れば、回転面板の角度調節をできる個所増えるので、角
度調節がしやすくなる。

【００３３】請求項９記載のＸ線装置の回転試料台によ
れば、締付け用ネジと押付け用ネジとの間隔を小さくで
きるので、両ネジを締め付けたときに連結部材が変形す
ることを防止できる。このことは、剛性が低くて変形し
やすい材料を連結部材として用いるときに好都合であ
る。

【００３４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＸ線装置の回転試料台の一実施形
態を示す側面断面図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線に従った正面断面図である。

【図３】本発明に係るＸ線装置の回転試料台の他の実施
形態を示す側面断面図である。

【図４】出力軸押圧部材の配置形態の一例を模式的に示
す図である。

【図５】本発明に係るＸ線装置の回転試料台のさらに他
の実施形態を示す側面断面図である。

【図６】図５のＹ−Ｙ線に従った正面断面図である。

【図７】Ｘ線装置の一例であるＸ線回折装置の一例の動
作を模式的に示す斜視図である。

【図８】Ｘ線回折装置の他の一例の動作を模式的に示す
斜視図である。

【図９】従来のＸ線装置の回転試料台の一例を示す側面
断面図である。

【図１０】モータ出力軸の回転振れの状態を模式的に示
す図である。

【符号の説明】

１試料ホルダ２Ｘ線検出器３回転板５回転面板５ａ回転面板の連結部６モータ６ａモータ出力軸７中間部材８止めネジ１０ａ，１０ｂ出力軸押圧部材１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ止めネジ（出力軸押
圧部材）２１締付け用ネジ２２押付け用ネジ２７連結部材ＦＸ線源ＲＸ線Ｓ試料Ｌ₀ モータ出力軸の軸線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転する出力軸を備えたモータと、試料
が装着される回転面板とを有しており、モータによって
回転面板を回転させることによって試料をＸ線に対して
回転させるＸ線装置の回転試料台において、回転面板に設けられていてモータ出力軸を挿入する連結
部と、その連結部に設けられ、モータ出力軸を挟んで互いに対
向し、そしてモータ出力軸を押圧する一対の出力軸押圧
部材とを有することを特徴とするＸ線装置の回転試料
台。
【請求項２】請求項１記載のＸ線装置の回転軸試料台
において、モータ出力軸を挟んで対向する一対の出力軸
押圧部材のうちの一方の側の出力軸押圧部材は、モータ
出力軸の軸線方向に関して、他方の側の出力軸押圧部材
に対してずれた位置に配置されることを特徴とするＸ線
装置の回転試料台。
【請求項３】請求項１又は請求項２記載のＸ線装置の
回転軸試料台において、モータ出力軸を挟んで対向する
一対の出力軸押圧部材は、モータ出力軸の一方の側に配
置される１個の押圧部材と、モータ出力軸の他方の側に
配置される２個の押圧部材とを有しており、モータ出力軸の他方の側に配置される上記２個の押圧部
材は、モータ出力軸の軸線方向に関して、モータ出力軸
の一方の側に配置される上記１個の押圧部材を挟む位置
に配置されることを特徴とするＸ線装置の回転試料台。
【請求項４】請求項１から請求項３のうちのいずれか
１つに記載のＸ線装置の回転試料台において、上記一対
の出力軸押圧部材はモータ出力軸の円周方向に少なくと
も２組設けられることを特徴とするＸ線装置の回転試料
台。
【請求項５】請求項４記載のＸ線装置の回転試料台に
おいて、２組の出力軸押圧部材の対は、モータ出力軸の
円周方向に関して互いにほぼ９０゜ずれて位置すること
を特徴とするＸ線装置の回転試料台。
【請求項６】請求項１から請求項５のうちのいずれか
１つに記載のＸ線装置の回転試料台において、出力軸押
圧部材は、回転面板の連結部に形成したネジ穴に嵌合す
る止めネジであることを特徴とするＸ線装置の回転試料
台。
【請求項７】回転する出力軸を備えたモータと、試料
が装着される回転面板とを有しており、モータによって
回転面板を回転させることによって試料をＸ線に対して
回転させるＸ線装置の回転試料台において、モータ出力軸に固定される連結部材と、その連結部材と回転面板との両方にネジ嵌合する締付け
用ネジと、連結部材にネジ嵌合すると共に回転面板の表面に当たる
押付け用ネジとを有することを特徴とするＸ線装置の回
転試料台。
【請求項８】請求項７記載のＸ線装置の回転試料台に
おいて、締付け用ネジ及び押付け用ネジは連結部材の円
周方向に沿ってそれぞれ複数個設けられることを特徴と
するＸ線装置の回転試料台。
【請求項９】請求項７又は請求項８記載のＸ線装置の
回転試料台において、締付け用ネジ及び押付け用ネジは
連結部材の円周方向に関して実質的に同じ円周角度位置
に設けられることを特徴とするＸ線装置の回転試料台。