JPH04289443A - Ｘ線回折装置の回転駆動装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置の回転駆動装置Info
- Publication number
- JPH04289443A JPH04289443A JP3078398A JP7839891A JPH04289443A JP H04289443 A JPH04289443 A JP H04289443A JP 3078398 A JP3078398 A JP 3078398A JP 7839891 A JP7839891 A JP 7839891A JP H04289443 A JPH04289443 A JP H04289443A
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- Japan
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- worm
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- wheel
- ray diffraction
- worm wheel
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- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線回折装置内に設け
られる回転体を駆動するための回転駆動装置に関する。
られる回転体を駆動するための回転駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置内には種々の回転体が設け
られている。例えば、試料が装着された試料台をＸ線回
折測定の最中に間欠又は連続的に回転（いわゆる、θ回
転）させる回転駆動装置、Ｘ線検出器が固定配置された
検出器アームを上記θ回転の２倍の速度で回転（いわゆ
る、２θ回転）させる回転駆動装置等がある。一般にこ
れらの回転駆動装置は、試料台等の回転体と一体に設け
られたウオームホイールと、そのウオームホイールと噛
み合うと共に動力源からの動力をそのウオームホイール
に伝達するウオームとによって構成されている。この場
合、ウオームとウオームホイールとの間のバックラッシ
ュを除去するため、スプリングによってウオームをウオ
ームホイールに押し付けるという技術が広く採用されて
いた。
られている。例えば、試料が装着された試料台をＸ線回
折測定の最中に間欠又は連続的に回転（いわゆる、θ回
転）させる回転駆動装置、Ｘ線検出器が固定配置された
検出器アームを上記θ回転の２倍の速度で回転（いわゆ
る、２θ回転）させる回転駆動装置等がある。一般にこ
れらの回転駆動装置は、試料台等の回転体と一体に設け
られたウオームホイールと、そのウオームホイールと噛
み合うと共に動力源からの動力をそのウオームホイール
に伝達するウオームとによって構成されている。この場
合、ウオームとウオームホイールとの間のバックラッシ
ュを除去するため、スプリングによってウオームをウオ
ームホイールに押し付けるという技術が広く採用されて
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スプリ
ングを用いた従来のウオーム押し付け機構は、構造が複
雑で、組み立てが面倒であり、さらに部品点数が多くな
ってコストが高くなるという欠点があった。本発明は、
Ｘ線回折装置に用いられていた従来の回転駆動装置にお
ける上記の欠点に鑑みてなされたものであって、構造が
簡単で、組み立てが容易であり、しかもコストが安い回
転駆動装置を提供することを目的とする。
ングを用いた従来のウオーム押し付け機構は、構造が複
雑で、組み立てが面倒であり、さらに部品点数が多くな
ってコストが高くなるという欠点があった。本発明は、
Ｘ線回折装置に用いられていた従来の回転駆動装置にお
ける上記の欠点に鑑みてなされたものであって、構造が
簡単で、組み立てが容易であり、しかもコストが安い回
転駆動装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る回転駆動装置は、回転体（試料台４，
２θ回転台５）と一体に設けられたウオームホイール（
１２、１３）と、ウオームホイールに噛み合うと共に駆
動源（パルスモータ１９）に連結されたウオーム（１６
）と、ウオームホイールが格納されたホイールケース（
１４）と、ホイールケースに連結されると共に内部に上
記ウオームが格納されたウオームケース（１５）とを有
している。そして上記ウオームケースは、ウオームホイ
ールの半径方向に弾性変形した状態で、ホイールケース
に連結されることを特徴としている。
め、本発明に係る回転駆動装置は、回転体（試料台４，
２θ回転台５）と一体に設けられたウオームホイール（
１２、１３）と、ウオームホイールに噛み合うと共に駆
動源（パルスモータ１９）に連結されたウオーム（１６
）と、ウオームホイールが格納されたホイールケース（
１４）と、ホイールケースに連結されると共に内部に上
記ウオームが格納されたウオームケース（１５）とを有
している。そして上記ウオームケースは、ウオームホイ
ールの半径方向に弾性変形した状態で、ホイールケース
に連結されることを特徴としている。
【０００５】
【作用】駆動源からの動力は、ウオームからウオームホ
イールへ伝えられ、これによりウオームホイールと一体
な回転体が回転する。ウオームとウオームホイールとの
結合は、ウオームを格納するウオームケースと、ウオー
ムホイールを格納するホイールケースとを連結させるこ
とによって達成されている。ウオームケースは、ただ単
純にホイールケースに連結されるのではなくて、ウオー
ムホイールの半径方向に弾性変形した状態でホイールケ
ースに連結されている。これにより、ウオームとウオー
ムホイールとが互に圧力を及ぼし合う状態で噛み合い、
バックラッシュの発生が防止されている。ウオームとウ
オームホイールとを圧力下で接触させるために、スプリ
ング等の特別な構成部材を必要としない。
イールへ伝えられ、これによりウオームホイールと一体
な回転体が回転する。ウオームとウオームホイールとの
結合は、ウオームを格納するウオームケースと、ウオー
ムホイールを格納するホイールケースとを連結させるこ
とによって達成されている。ウオームケースは、ただ単
純にホイールケースに連結されるのではなくて、ウオー
ムホイールの半径方向に弾性変形した状態でホイールケ
ースに連結されている。これにより、ウオームとウオー
ムホイールとが互に圧力を及ぼし合う状態で噛み合い、
バックラッシュの発生が防止されている。ウオームとウ
オームホイールとを圧力下で接触させるために、スプリ
ング等の特別な構成部材を必要としない。
【０００６】
【実施例】まず、本発明に係る回転駆動装置が適用され
るＸ線回折装置について簡単に説明する。図３は、その
Ｘ線回折装置の一例を示している。同図において、テー
ブル１の上にゴニオメータ２及びＸ線管３が設置されて
いる。そして、ゴニオメータ２の上には、試料台４及び
２θ回転台５が同軸に、かつ互いに独立して回転できる
ように設けられている。試料台４の上には、試料ホルダ
７が着脱可能に装着されている。図２（矢印ＩＩ−ＩＩ
線に従った断面図）に示すように、試料ホルダ７は板バ
ネによって形成された押え部材６と試料台頂部との間に
挿入されている。
るＸ線回折装置について簡単に説明する。図３は、その
Ｘ線回折装置の一例を示している。同図において、テー
ブル１の上にゴニオメータ２及びＸ線管３が設置されて
いる。そして、ゴニオメータ２の上には、試料台４及び
２θ回転台５が同軸に、かつ互いに独立して回転できる
ように設けられている。試料台４の上には、試料ホルダ
７が着脱可能に装着されている。図２（矢印ＩＩ−ＩＩ
線に従った断面図）に示すように、試料ホルダ７は板バ
ネによって形成された押え部材６と試料台頂部との間に
挿入されている。
【０００７】図３に戻って、Ｘ線管３の内部にはＸ線源
８が設けられていて、そのＸ線源８から放射されたＸ線
は、試料ホルダ７の開口内に詰め込まれた試料９へ照射
される。試料９へ照射されたＸ線と試料９内の結晶格子
面との間で回折条件が満足されると、Ｘ線が試料９で回
折する。この回折Ｘ線は、２θ回転台５から一体に延び
る検出器アーム１０上に固定されたＸ線検出器１１に取
り込まれ、このＸ線検出器１１によって回折Ｘ線の強度
が測定される。
８が設けられていて、そのＸ線源８から放射されたＸ線
は、試料ホルダ７の開口内に詰め込まれた試料９へ照射
される。試料９へ照射されたＸ線と試料９内の結晶格子
面との間で回折条件が満足されると、Ｘ線が試料９で回
折する。この回折Ｘ線は、２θ回転台５から一体に延び
る検出器アーム１０上に固定されたＸ線検出器１１に取
り込まれ、このＸ線検出器１１によって回折Ｘ線の強度
が測定される。
【０００８】ゴニオメータ２の内部には、試料台４と一
体な第１ウオームホイール１２及び２θ回転台５と一体
な第２ウオームホイール１３が設けられている。図２に
示すように、第１及び第２ウオームホイール１２，１３
は、いずれもホイールケース１４に格納されている。ホ
イールケース１４の左端部には、ウオームケース１５が
固定されており、その中にウオームホイール１２及び１
３と噛み合うウオーム１６が格納されている。図１（図
２におけるＩ−Ｉ線に従った断面図）に示すように、第
１ウオームホイール１２に噛み合うウオーム１６は２つ
の軸受け１７，１７によって円筒状のウオームケース１
５に支持されており、さらに可撓性を有するカップリン
グ１８を介して駆動源、すなわちパルスモータ１９に連
結されている。第２ウオームホイール１３（図２）につ
いても全く同様の構成が採用されている。
体な第１ウオームホイール１２及び２θ回転台５と一体
な第２ウオームホイール１３が設けられている。図２に
示すように、第１及び第２ウオームホイール１２，１３
は、いずれもホイールケース１４に格納されている。ホ
イールケース１４の左端部には、ウオームケース１５が
固定されており、その中にウオームホイール１２及び１
３と噛み合うウオーム１６が格納されている。図１（図
２におけるＩ−Ｉ線に従った断面図）に示すように、第
１ウオームホイール１２に噛み合うウオーム１６は２つ
の軸受け１７，１７によって円筒状のウオームケース１
５に支持されており、さらに可撓性を有するカップリン
グ１８を介して駆動源、すなわちパルスモータ１９に連
結されている。第２ウオームホイール１３（図２）につ
いても全く同様の構成が採用されている。
【０００９】図３に関連して説明したＸ線回折測定が行
なわれる間、第１ウオームホイール１２用のパルスモー
タ１９が作動してウオーム１６が回転し、これにより第
１ウオームホイール１２、従って試料台４が回転、いわ
ゆるθ回転する。そしてそれと同時に第２ウオームホイ
ール１３用のパルスモータ１９が作動して第２ウオーム
ホイール１３、従って２θ回転台５が上記θ回転の２倍
の速度で回転、いわゆる２θ回転する。このように試料
台４をθ回転させ、２θ回転台５を２θ回転させること
により、試料ホルダ７に詰め込まれた試料９に対するＸ
線の入射角度を時々刻々変化させながら、各角度に対応
した回折Ｘ線の強度が測定される。この測定の結果から
、試料９内の結晶構造が解析される。
なわれる間、第１ウオームホイール１２用のパルスモー
タ１９が作動してウオーム１６が回転し、これにより第
１ウオームホイール１２、従って試料台４が回転、いわ
ゆるθ回転する。そしてそれと同時に第２ウオームホイ
ール１３用のパルスモータ１９が作動して第２ウオーム
ホイール１３、従って２θ回転台５が上記θ回転の２倍
の速度で回転、いわゆる２θ回転する。このように試料
台４をθ回転させ、２θ回転台５を２θ回転させること
により、試料ホルダ７に詰め込まれた試料９に対するＸ
線の入射角度を時々刻々変化させながら、各角度に対応
した回折Ｘ線の強度が測定される。この測定の結果から
、試料９内の結晶構造が解析される。
【００１０】図１に示すように、ウオームケース１５の
うちホイールケース１４に固定される部分には、すり割
り２０，２０が設けられており、それらのすり割りを形
成している一片１５ａ，１５ａがボルト２１，２１によ
ってホイールケース１４の先端に固定されている。ボル
ト２１を締め付ければ、すり割り２０を境にしてウオー
ムケース１５が第１ウオームホイール１２の半径方向に
弾性変形し、その変形の際に生じる弾性力によってウオ
ーム１６が第１ウオームホイール１２に押し付けられる
。これにより、両者間にバックラッシュが発生すること
が防止される。従来は、このバックラッシュの発生を防
止するために、スプリング等の弾性付勢部材を別途、用
意していたが、本実施例ではそのような弾性付勢部材が
不要である。
うちホイールケース１４に固定される部分には、すり割
り２０，２０が設けられており、それらのすり割りを形
成している一片１５ａ，１５ａがボルト２１，２１によ
ってホイールケース１４の先端に固定されている。ボル
ト２１を締め付ければ、すり割り２０を境にしてウオー
ムケース１５が第１ウオームホイール１２の半径方向に
弾性変形し、その変形の際に生じる弾性力によってウオ
ーム１６が第１ウオームホイール１２に押し付けられる
。これにより、両者間にバックラッシュが発生すること
が防止される。従来は、このバックラッシュの発生を防
止するために、スプリング等の弾性付勢部材を別途、用
意していたが、本実施例ではそのような弾性付勢部材が
不要である。
【００１１】以上、一つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではない
。例えば、回転体としては、試料台４及び２θ回転台５
以外の任意の回転要素を選ぶことができる。
したが、本発明はその実施例に限定されるものではない
。例えば、回転体としては、試料台４及び２θ回転台５
以外の任意の回転要素を選ぶことができる。
【発明の効果】本発明によれば、ウオームを格納するウ
オームケースそれ自体が弾性付勢部材としての働きをす
るので、スプリング等の特別な付勢手段を別途、用意す
る必要がない。従って、取り付け及び取り外しが非常に
簡単であり、しかも部品点数が少なくて済むので、コス
トが安い。
オームケースそれ自体が弾性付勢部材としての働きをす
るので、スプリング等の特別な付勢手段を別途、用意す
る必要がない。従って、取り付け及び取り外しが非常に
簡単であり、しかも部品点数が少なくて済むので、コス
トが安い。
【図１】本発明に係る回転駆動装置の一実施例を示す平
面断面図である。
面断面図である。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線に従って上記回転駆
動装置及びそれが用いられるＸ線回折装置を示す側面断
面図である。
動装置及びそれが用いられるＸ線回折装置を示す側面断
面図である。
【図３】回転駆動装置が用いられる上記のＸ線回折装置
の全体を示す斜視図である。
の全体を示す斜視図である。
４ 試料台
５２θ回転台１２ 第１ウオーム
ホイール １３ 第２ウオー
ムホイール １４ ホイールケース
１５ ウオームケース １６ ウオーム
１９ パルスモータ ２０ すり割り
５２θ回転台１２ 第１ウオーム
ホイール １３ 第２ウオー
ムホイール １４ ホイールケース
１５ ウオームケース １６ ウオーム
１９ パルスモータ ２０ すり割り
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線回折装置内に設けられる回転体を
駆動するための回転駆動装置であって、回転体と一体に
設けられたウオームホイールと、ウオームホイールに噛
み合うと共に駆動源に連結されたウオームと、ウオーム
ホイールが格納されたホイールケースと、ホイールケー
スに連結されると共に内部に上記ウオームが格納された
ウオームケースとを有しており、上記ウオームケースは
、ウオームホイールの半径方向に弾性変形した状態で、
ホイールケースに連結されることを特徴とする回転駆動
装置。 - 【請求項２】 上記ウオームケースのうちホイールケ
ースに連結される部分にはすり割りが設けられており、
そのすり割りを境にしてウオームケースが弾性変形する
ことを特徴とする請求項１記載の回転駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078398A JPH04289443A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｘ線回折装置の回転駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078398A JPH04289443A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｘ線回折装置の回転駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04289443A true JPH04289443A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=13660918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3078398A Pending JPH04289443A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｘ線回折装置の回転駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04289443A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002311199A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置用ゴニオメータ |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP3078398A patent/JPH04289443A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002311199A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置用ゴニオメータ |
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