JP2008014958A - X線回折定量装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物質Sが無いときに基底板31で回折した回折線の強度と、物質Sを透過した後に基底板31で回折した回折線の強度とによって物質SのX線吸収量を求め、X線を用いて測定した物質Sの重量をその求められたX線吸収量に基づいて補正する基底基準吸収回折法を用いたX線回折定量装置である。この装置は、物質Sを保持するフィルタ33と、物質Sに照射するX線を発生するX線源Fと、物質Sで回折した回折X線を検出するX線検出器20と、フィルタ33におけるX線照射面の反対側に設けられた基底板31とを有し、基底板31のX線が照射される表面は結晶の配向性が低くなる処理、例えばサンドブラスト処理、ショットピーニング処理を受けている。
【選択図】図2
Description
設けられる円板形状の基底板31と、試料板29Aの内部であって非晶質部材30及び基底板31の底面側領域に設けられる補助板32とを有する。また、試料ホルダ16Aは、測定対象である被定量物質Sを保持する物質保持体としてのフィルタ33と、そのフィルタ33を押えるリング形状の押え板34とを有する。試料板29Aの内部には90°の角度間隔で4個の貫通穴が設けられ、それらの貫通穴の中に磁石37が埋設されている。これらの磁石37は試料板29Aの上面及び下面の両方に磁力を作用させる。
1.試料板29A
材質=アルミニウム、外周径=約33mm、厚さ=約3.2mm、形状=リング形状
2.非晶質部材30
材質=ソーダガラス、外周径=約25mm,厚さ=約1mm、形状=リング形状
3.基底板31
材質=Zn、外径=約15mm、厚さ=約1mm、形状=円板形状
4.補助板32
材質=Al、外径=約25mm,厚さ=約0.5mm、形状=円板形状
5.押え板34
材質=ステンレス鋼、外周径=約32mm、厚さ=約0.2mm、形状=リング形状
6.フィルタ33
材質=フッ素樹脂バインダグラスファイバーフィルタ、外径=約25mm、物質保持領域(すなわち、有効ろ過面積)As=直径16mm。
図4において、CPU3がメモリ6内の検量線作成プログラムを読み出して、そのプログラムを起動すると、図7の検量線L1を作成するための処理を実行可能な状態になる。その処理を開始する前に、まず、重量が既知であるアスベストを複数個用意する。これらのアスベストの重量は互いに異なっている。それらのアスベストを、それぞれ、図5に示すようにフィルタ33の物質保持領域As内に捕獲して保持する。個々のフィルタ33を図2に示すように試料板29Aの中に組み込むことにより個々の重量のアスベストに関して試料ホルダ16Aを作製する。
次に、重量が未知であるアスベストに関して回折線強度を測定し、さらにその測定結果に基づいてアスベストの重量を求める処理について説明する。まず、重量を測定したいアスベストを含む環境下において、図5に示す空気吸引法によってフィルタ33の物質保持領域As内にアスベストSを捕獲する。必要に応じて、アスベストSは複数のフィルタ33に捕獲する。
1.試料板29C
材質=アルミニウム、外周径=約33mm、厚さ=約3.2mm、形状=リング形状
2.基底板31
材質=Zn、外径=約15mm、厚さ=約1mm、形状=円板形状
3.押え板34
材質:ステンレス鋼、外周径=約32mm、厚さ=約0.2mm、形状=リング形状
4.フィルタ33
材質:フッ素樹脂バインダグラスファイバーフィルタ、外径=約25mm、物質保持領域(すなわち、有効ろ過面積)As=直径16mm。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上の実施形態では試料板としてリング形状や有底円板形状のように平面視で円形状の試料板を用いたが、特許第3673981号に示されているように長方形状の試料板を用いたX線回折定量装置に本発明を適用することもできる。例えば、図2及び図3に示した構成を長方形状の試料板に関して適用する場合には、図12に示すように、リング形状の試料板29Aに代えて長方形状で板状の試料板29Dに、非晶質部材30、基底板31、補助板32、フィルタ33、及び押え板34を組み付ける。
12.入射側X線光学系、 13.受光側X線光学系、
16A,16B,16C.試料ホルダ、 18.発散規制スリット、
19.受光スリット、 20.X線検出器、 23.装着部、 24.固定テーブル、
25.ターンテーブル、 26.電動モータ、 29A,29C,29D.試料板、
30.非晶質部材、 30a.X線受光面、 31.基底板、 31a.X線受光面、
32.補助板、 33.フィルタ(物質保持体)、 34.押え板、 35.貫通穴、
36.基台、 37.磁石、 40.突出部、 41.溝、 As.物質保持領域、
D0.直径、 F.X線源、 H1,H2,H3.接着剤、 L1.検量線、
P.測定位置、 S.被定量物質、 X0.試料軸線、 X1.中心軸線
Claims (6)
- 物質が無いときに基底板で回折した回折線の強度と、前記物質を透過した後に前記基底板で回折した回折線の強度とによって前記物質のX線吸収量を求め、X線を用いて測定した前記物質の重量をその求められたX線吸収量に基づいて補正する基底基準吸収回折法を用いたX線回折定量装置において、
前記物質を保持する物質保持体と、
前記物質に照射するX線を発生するX線源と、
前記物質で回折した回折X線を検出するX線検出手段と、
前記物質保持体におけるX線照射面の反対側に設けられた基底板と、を有し、
前記基底板のX線が照射される表面は結晶の配向性が低くなる処理を受けている
ことを特徴とするX線回折定量装置。 - 請求項1記載のX線回折定量装置において、結晶の配向性が低くなる処理は、砥粒材を前記基底板の表面に流体と共に吹き付ける処理であることを特徴とするX線回折定量装置。
- 請求項3記載のX線回折定量装置において、前記砥粒材は鋼の粒又は砂であり、前記流体は空気流であることを特徴とするX線回折定量装置。
- 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載のX線回折定量装置において、前記物質保持体及び前記基底板を支持する複数の試料ホルダと、それらの試料ホルダを1つずつ交互に測定位置へ搬送するサンプルチェンジャとを有し、前記複数の試料ホルダ内の前記基底板の個々が結晶の配向性が低くなる前記処理を受けていることを特徴とするX線回折定量装置。
- 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載のX線回折定量装置において、結晶の配向性が低くなる前記処理を受けた後に、前記基底板のX線が照射される表面の表面状態が粗面であることを特徴とするX線回折定量装置。
- 請求項1から請求項5のいずれか1つに記載のX線回折定量装置において、前記基底板のX線が照射される表面は、結晶の配向性が低くなる前記処理を受けた後に、外観調整処理によってその表面状態が調整されることを特徴とするX線回折定量装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
CN103076348A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-05-01 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种样品中石棉含量的检测方法 |
JP2017101929A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | パルステック工業株式会社 | X線回折測定装置及びx線回折測定方法 |
KR20200112029A (ko) * | 2019-03-20 | 2020-10-05 | (주) 텔로팜 | 리프 홀더 |
WO2021221204A1 (ko) * | 2020-04-29 | 2021-11-04 | (주)텔로팜 | 리프 홀더 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6167548U (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | ||
JPH09218169A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Rigaku Corp | X線装置の回転試料台 |
JP3673981B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2005-07-20 | 株式会社リガク | X線回折定量装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6167548U (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | ||
JPH09218169A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Rigaku Corp | X線装置の回転試料台 |
JP3673981B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2005-07-20 | 株式会社リガク | X線回折定量装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103076348A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-05-01 | 上海华碧检测技术有限公司 | 一种样品中石棉含量的检测方法 |
JP2017101929A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | パルステック工業株式会社 | X線回折測定装置及びx線回折測定方法 |
KR20200112029A (ko) * | 2019-03-20 | 2020-10-05 | (주) 텔로팜 | 리프 홀더 |
KR102186453B1 (ko) * | 2019-03-20 | 2020-12-03 | (주) 텔로팜 | 리프 홀더 |
WO2021221204A1 (ko) * | 2020-04-29 | 2021-11-04 | (주)텔로팜 | 리프 홀더 |
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