JPH09206707A - キャリヤー洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数のキャリヤーを短時間で洗浄することが
できる小型のキャリヤー洗浄装置を提供すること。 【解決手段】 キャリヤー収容手段と、洗浄手段と、乾
燥手段と、キャリヤー収容手段から洗浄手段にキャリヤ
ーを移送し、洗浄手段から乾燥手段へとキャリヤーを移
送し、また乾燥手段からキャリヤー収容手段にキャリヤ
ーを移送する移送手段と、これら各手段の動作を制御す
る制御手段とを有することを特徴とするキャリヤー洗浄
装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はキャリヤー洗浄装
置に関する。さらに詳しくは、多量のキャリヤーを短時
間で自動的に洗浄することのできる小型のキャリヤー洗
浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、シリコンウェハー等を収納するキ
ャリヤーは図１３および図１４に示されるような洗浄装
置により、洗浄されていた。

【０００３】まず、洗浄前のキャリヤーを複数個収納し
た洗浄前キャリヤーストッカ１００を洗浄装置の所定の
位置にセットする。次いで、ローダユニット１０１によ
り、純水で満たされたブラシ洗浄槽１０２にキャリヤー
を搬送し、ブラシ洗浄槽１０２中でキャリヤーのブラシ
洗浄を行なう。キャリヤーをブラシ洗浄した後、トラン
スファユニット１０３により、キャリヤーがブラシ洗浄
槽１０２から純水で満たされた水洗槽１０４へ搬送さ
れ、水洗槽１０４中に収容され、配置される。配置後、
純水中で窒素ガスを泡立たせることによりキャリヤーを
洗浄する。洗浄後、前記のトランスファユニット１０３
により、キャリヤーが水洗槽１０４中から乾燥槽１０５
へ搬送され、乾燥槽１０５内に収容配置される。配置
後、窒素ガスブローを行なって乾燥させる。乾燥後、ア
ンロードユニットにより、乾燥槽１０５内に収容配置さ
れていたキャリヤーが乾燥槽１０５から取り出され、前
記乾燥槽１０５に隣接して予め配置されている洗浄後キ
ャリヤーストッカ１０７内に収納される。

【０００４】しかしながら、上記の洗浄装置には以下の
ような欠点があった。

【０００５】洗浄前キャリヤーストッカおよび洗浄後キ
ャリヤーストッカという二台のストッカを用意しなけれ
ばならないので、装置が大型化してしまうこと、前記ロ
ーダユニット、トランスファユニットおよびアンロード
ユニットと言った各種搬送手段が並列に設置されている
のでこれらによりかなりのスペースが占有され、洗浄装
置を小型化するが困難であった。

【０００６】さらにまた、従来の前記洗浄装置において
は、洗浄槽としてキャリヤ洗浄槽および水洗槽との２基
を必要とするので、この点においても装置の大型化を免
れないという問題があった。また、乾燥槽においては窒
素ガスをブローするのであるから、窒素ガスボンベ、窒
素ガス噴出装置などが必要となり、このような付帯設備
も装置の大型化の原因になっていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、多
数のキャリヤーを短時間で自動的に洗浄することのでき
る小型のキャリヤー洗浄装置を提供することにある。

【０００８】この発明の目的は、簡単な機構で動作し、
かつ容易に操作することのできるキャリヤー洗浄装置を
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の請求項１に記載の発明は、円板状物を収納するキャリ
ヤーを搭載するキャリヤー収容手段と、前記キャリヤー
を洗浄する洗浄手段と、前記キャリヤーを乾燥する乾燥
手段と、前記キャリヤー収容手段におけるキャリヤーを
前記洗浄手段に移送し、前記洗浄手段で洗浄されたキャ
リヤーを前記乾燥手段に移送し、前記乾燥手段で乾燥さ
れたキャリヤーをキャリヤー収容手段に移送するキャリ
ヤー移送手段と、前記洗浄手段、乾燥手段およびキャリ
ヤー移送手段の動作を制御する制御手段とを有すること
を特徴とするキャリヤー洗浄装置であり、請求項２に記
載の発明は、前記キャリヤー収容手段は、運搬台車と、
前記キャリヤーを載置可能に形成され、かつ水平面内で
回転可能な載置台とを有してなる前記請求項１に記載の
キャリヤー洗浄装置であり、請求項３に記載の発明は、
前記洗浄手段は、前記キャリヤーを搭載可能に形成さ
れ、かつ回転可能な回転装着台と、前記キャリヤーを洗
浄し、リンスするように形成されたシャワースクラブ機
構およびリンス機構とを有してなる前記請求項１〜２の
いずれかに記載のキャリヤー洗浄装置であり、請求項４
に記載の発明は、前記乾燥手段は、前記移送手段によっ
て移送されたキャリヤーを搭載可能に形成され、かつ回
転可能な遠心分離台を有してなる前記請求項１〜３のい
ずれかに記載のキャリヤー洗浄装置であり、請求項５に
記載の発明は、前記移送手段は、前記キャリヤー収容手
段にあるキャリヤーを移送して前記洗浄手段に装填し、
前記乾燥手段で乾燥されたキャリヤーを前記キャリヤー
収容手段に移送する第１移送手段と、前記洗浄手段で洗
浄されたキャリヤーを前記乾燥手段に装填する第２移送
手段とを有する前記請求項１〜４のいずれかに記載のキ
ャリヤ洗浄装置であり、請求項６に記載の発明は、前記
第１移送手段は、前記キャリヤーを把持する第１把持手
段と、前記第１把持手段の回動、水平移動および昇降移
動を行うことができるように第１把持手段回動機構、第
１把持手段水平移動機構および第１把持手段昇降機構と
を有してなり、前記第２移送手段は、キャリヤーを把持
する第２把持手段と、キャリヤーを把持した第２把持手
段を前記洗浄手段から前記乾燥手段に移送する第２把持
手段移動手段とを有してなる前記請求項１〜４のいずれ
かに記載のキャリヤ洗浄装置であり、請求項７に記載の
発明は、前記円板状物は、シリコンウェハーである記請
求項１〜６のいずれかに記載のキャリヤー洗浄装置であ
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】

（一般的説明）この発明のキャリヤー洗浄装置は、キャ
リヤー収容手段と、洗浄手段と、乾燥手段と、移送手段
と、制御手段とを有する。

【００１１】(1) キャリヤー収容手段 前記キャリヤー収容手段は、キャリヤーを搭載ないし収
容可能に形成されてなる。通常、この発明のキャリヤ洗
浄装置で次々と多数のキャリヤーを効率良く洗浄するた
めには、このキャリヤー収容手段は、複数のキャリヤー
を収納することができるように形成されるのが好まし
い。複数のキャリヤーを搭載するためには、このキャリ
ヤー収容手段は、たとえば上下に所定間隔を設けて配置
されたところの、キャリヤーを載置することのできる複
数の載置台を、水平面内で回転可能に有するのが良い。

【００１２】また、このキャリヤー収容手段は、この発
明のキャリヤー洗浄装置に固定的に（換言するとキャリ
ヤー洗浄装置から分離不可能に）配置され、かつ形成さ
れていても良いのであるが、別の部署に配置ないし保管
されているキャリヤを迅速にこの発明のキャリヤー洗浄
装置に装填することができるようにするために、このキ
ャリヤー収容手段自体が走行手段たとえばキャスター等
を有することが好ましい。

【００１３】したがって、好適なキャリヤー収容手段
は、走行手段を備えた運搬台車と、前記キャリヤーを搭
載することができるように形成され、かつ水平面内で回
転可能に形成された載置台とを備えてなり、さらに好適
なキャリヤー収容手段は、走行手段を備えた運搬台車
と、複数のキャリヤーを搭載することができるように形
成され、かつ回転可能に形成され、かつ相互に所定間隔
を有して上下に配列された複数の水平な載置台とを備え
てなり、特に好適なキャリヤー収容手段は、たとえばキ
ャスターなどの走行手段を有してそれ自体移動可能に形
成された運搬台車と、この運搬台車上に回転可能に配置
され、かつキャリヤー洗浄装置本体に設けられた回転手
段により回転駆動される回転基台と、この回転基台の上
方に所定間隔を有して上下に配置され、前記キャリヤー
を搭載することができ、かつ前記回転基台の回転に伴っ
て回転することができるように形成された複数の水平な
載置台とを備えてなる。

【００１４】ここで、この発明のキャリヤー洗浄装置で
洗浄されるのに好適なキャリヤーとしては、相対向する
内壁面を備え、その内壁面に、円盤状物を支持する支持
部を備えてなるキャリヤーを挙げることができる。さら
に好適なキャリヤーは、複数の円盤状物たとえばシリコ
ンウエハーを縦にしてそのシリコンウエハーを複数並列
に配列することができるように、円盤状物の端部を挿入
することのできる溝状の支持部を、相対向する内壁面に
複数形成してなる枠体である。

【００１５】(2) 洗浄手段 前記洗浄手段は、前記キャリヤーを洗浄することによ
り、キャリヤーの表面に付着するパーティクル等の汚れ
を除去するように形成される。

【００１６】さらに具体的に言うと、好適な洗浄手段
は、シャワースクラブ機構と、リンス機構とを有し、前
記シャワースクラブ機構によりキャリヤを洗浄し、その
後に前記リンス機構により洗浄後のキャリヤーを濯ぐこ
とができるようになっている。

【００１７】このシャワースクラブ機構は、キャリヤの
表面に洗浄液を散布しつつキャリヤの表面をブラシで摺
擦することができるように構成されるのが好ましい。こ
のシャワースクラブ機構は前記したように構成される限
り特に制限がないのであるが、好ましいシャワースクラ
ブ機構は、キャリヤの表面をブラシで摺擦するブラシ装
置と、キャリヤーに洗浄水を噴射するシャワー装置と、
洗浄のためにキャリヤーを収容するキャリヤー収容槽と
を有する。

【００１８】前記ブラシ装置の中でも好適なブラシ装置
は、キャリヤーの内壁面を摺擦する回転ブラシと、前記
回転ブラシを、キャリヤーの上方からキャリヤーの内部
に移動し、またキャリヤーの内部からキャリヤーの上方
へと少なくとも昇降動作可能にする回転ブラシ移動機構
とを有する。前記回転ブラシは、それ自身が回転するこ
とによりキャリヤーの内壁面を摺擦して前記内壁面の汚
れを落とすことのできるような形状、構造を有する。回
転ブラシとしては、縦方向に延在する回転軸の周面に植
設された多数の繊維状物を有する円筒形の回転ブラシを
採用することもできるが、装置構成を簡単にするために
は、水平方向に延在する回転軸の周面に植設された多数
の繊維状物を有する円筒形の回転ブラシを採用するのが
良い。

【００１９】水平方向に延在する回転軸を有する回転ブ
ラシを採用する場合、回転ブラシの直径がキャリヤーの
相対向する内壁面間の寸法よりも小さい場合がある。こ
の場合、回転ブラシがキャリヤーの内部に挿入配置さ
れ、かつ回転ブラシがキャリヤーの一方の内壁面を摺擦
するときには、キャリヤーの他方の内壁面は回転ブラシ
で摺擦されていないことになる。回転ブラシでキャリヤ
ーの相対向する内壁面全ての洗浄を完成するには、回転
ブラシのキャリヤー内における位置を変える必要があ
る。したがって、回転ブラシのキャリヤー内における位
置を可変可能に構成された回転ブラシ移動機構として
は、回転ブラシ自体を昇降させる回転ブラシ昇降機構
と、回転ブラシを水平面内で１８０度反転させ、あるい
は反転させずに、回転ブラシを水平移動可能にする回転
ブラシ位置変換機構とを備えてなる回転ブラシ昇降移動
装置が挙げられる。

【００２０】前記シャワー装置は、キャリヤーに洗浄液
を散布することができるように構成されていれば良い。
好ましいシャワー装置は、キャリヤーの上方に配置さ
れ、キャリヤーに向かって洗浄液を散布することのでき
るシャワーノズルを備えてなる。また、より好ましいシ
ャワー装置は、少なくとも前記ブラシ装置が駆動してい
るときに、そのブラシ装置の駆動に連動して洗浄液がキ
ャリヤーに散布されることができるように構成される。

【００２１】キャリヤー収容槽としては、キャリヤーを
収容することができ、好ましくは、キャリヤーを収容
し、かつ内部でキャリヤーを固定することのできるキャ
リヤー収容容器を挙げることができる。このキャリヤー
収容槽では、その内部に収容されたキャリヤーに、前記
シャワー装置により洗浄液を散布し、かつ、前記キャリ
ヤーを、前記ブラシ装置により洗浄する。このような機
能を実現するための一例として、キャリヤー収容槽に
は、洗浄液が排出される排出手段たとえば排出口が設け
られるのが好ましい。

【００２２】より一層好ましいキャリヤー収容槽は、前
記シャワー装置で洗浄液をキャリヤーに散布しつつ、前
記ブラシ装置でキャリヤーを洗浄することの他に、キャ
リヤー収容槽内でシャワー装置における回転ブラシに付
着する汚れを洗い落とす機能を備えている。この機能を
満たすための一例としてのキャリヤー収容槽は、キャリ
ヤー収容槽の底面に設けられた開口部と、その開口部を
開閉自在とする底蓋とを有してなる。この底蓋は、キャ
リヤー収容槽の底部にある開口部を閉鎖し、あるいは開
放するように形成されているのが好ましく、前記キャリ
ヤー収容槽とは独立の部材で形成されていてもよい。

【００２３】前記洗浄手段におけるリンス機構は、キャ
リヤーにリンス液を散布し、キャリヤーを濯ぐことがで
きるように構成されるのが好ましい。このリンス機構は
前記したように構成される限り特に制限がないのである
が、好ましいリンス機構は、キャリヤー収容槽内に配置
されたキャリヤーにリンス液を散布するリンス装置を有
する。

【００２４】前記リンス装置は、キャリヤー収容槽内に
配置されたキャリヤーにリンス液を散布することができ
るように構成されていれば良い。好ましいリンス装置と
しては、キャリヤーの上方に配置され、キャリヤーに向
かってリンス液を散布することのできるリンスシャワー
ノズルを備えてなる。より一層好ましいリンス装置は、
前記シャワースクラブ機構でキャリヤーが洗浄されたあ
とに、前記キャリヤーにリンス液を散布することができ
るように制御される。

【００２５】このリンス機構に組み込まれるところの前
記キャリヤー収容槽は、前記キャリヤーを収納すること
ができる槽である。このキャリヤー収容槽では、内部に
収容されたキャリヤーに、前記リンス装置によるリンス
液を散布する。このような機能を実現するための好適な
一例として、キャリヤー収容槽には、リンス液が排出さ
れる排出手段たとえば排出口が設けられるのが好まし
い。

【００２６】より一層好ましいキャリヤー収容槽は、キ
ャリヤー収容槽の底面に設けられた開口部と、その開口
部を開閉自在とする底蓋とを有してなる。この底蓋は、
キャリヤー収容槽の底部にある開口部を閉鎖し、あるい
は開放するように形成されているのが好ましく、キャリ
ヤー収容槽とは独立の部材で形成されていても良い。

【００２７】さらに一層好ましいリンス機構は、底部に
リンス液の排出口を備えたキャリヤー収容槽と、前記排
出口を開閉する開閉部材と、このキャリヤー収容槽内に
収容されたキャリヤーにリンス液を散布するリンスシャ
ワーノズルとを有し、前記排出口を開閉部材で閉鎖した
状態でリンスシャワーノズルからキャリヤーにリンスを
散布し、キャリヤー収容槽内に所定量のリンス液が貯留
された後に前記リンス液排出口を開放することにより、
貯留されたリンス液を排出するように構成された第１リ
ンス機構と、底部にリンス液の排出口を備えたキャリヤ
ー収容槽と、このキャリヤー収容槽内に収容されたキャ
リヤーにリンス液を散布するリンスシャワーノズルとを
有する第２リンス機構とを有する。なお、この第２リン
ス機構は第１リンス機構で兼用されても良い。つまり、
第１リンス機構における開閉部材で排出口を開放した状
態でリンスシャワーノズルからキャリヤーにリンス液を
散布することは、それ自体で第２リンス機構となる。

【００２８】また、さらに好適な洗浄手段は、キャリヤ
ーを保持しつつ水平面内で回動する回転装着台と、この
回転装着台を回転させた所定の位置でこの回転装着台に
保持されたキャリヤーの表面に洗浄液を散布しつつキャ
リヤーの表面をブラシ特に回転ブラシで摺擦することが
できるように設けられた前記シャワースクラブ機構と、
このシャワースクラブ機構で洗浄されたキャリヤーを、
この回転装着台を回転させた所定の位置で、濯ぐことが
できるように設けられたリンス機構と、前記回転装着台
を回転駆動させる回転装着台駆動手段とを有する。

【００２９】(3) 乾燥手段 この発明における乾燥手段は、前記洗浄手段で洗浄され
たキャリヤーを乾燥すする手段であり、好適な乾燥手段
は、前記キャリヤーを水平面内で高速回転させることに
よりキャリヤー表面の付着洗浄液を遠心力で除去するよ
うに形成される。さらに具体的に言うと、好適な乾燥手
段は、高速回転機構を有し、キャリヤーを高速回転する
ことにより遠心力で洗浄液を振り切ることができるよう
になっている。

【００３０】前記高速回転機構は、高速回転により、キ
ャリヤー表面の付着洗浄液を除去することができるよう
に構成されるのが好ましい。この高速回転機構は、キャ
リヤー表面の付着液が除去可能に構成される限り特に制
限がないのであるが、好ましい高速回転機構は、遠心分
離台を有する。また、この高速回転機構は、前記遠心分
離台にキャリヤーと前記キャリヤーと同じ形状および重
量を有するダミーを対称位置に設置して、キャリヤー１
個でもガタつきなく高速回転して乾燥ができるように構
成することができる。なお、この遠心分離台に偶数個の
キャリヤーを遠心分離台の回転軸を中心にして対称の位
置に取りつけることができるように形成すると、特にダ
ミーを使用する必要がなくなる。

【００３１】(4) 移送手段 この発明における移送手段は、前記キャリヤー収容手段
におけるキャリヤーを前記洗浄手段に移送し、前記洗浄
手段で洗浄されたキャリヤーを前記乾燥手段に移送し、
前記乾燥手段で乾燥されたキャリヤーをキャリヤー収容
手段に移送することができるように形成される。

【００３２】好ましい移送手段は、前記キャリヤー収容
手段にあるキャリヤーを移送して前記洗浄手段に装填
し、前記乾燥手段で乾燥されたキャリヤーを前記キャリ
ヤー収容手段に移送する第１移送手段と、前記洗浄手段
で洗浄されたキャリヤーを前記乾燥手段に装填する第２
移送手段との組み合わせからなる。

【００３３】前記第１移送手段としては種々の形態を採
用することができるのであるが、好ましい第１移送手段
は、前記キャリヤーを把持する第１把持手段と、キャリ
ヤーを把持した第１把持手段をキャリヤー収容手段から
前記洗浄手段に移動させ、キャリヤーを把持した第１把
持手段を前記乾燥手段から前記キャリヤー収容手段に移
動させる第１把持手段移動手段とを有して形成される。
前記第１把持手段としては、キャリヤーの両サイドを挟
み付けることができるように水平に延在する一対の把持
片、およびキャリヤーの端辺の外側と内側とを挟み付け
る一対の把持片のいずれを有する機構であっても良い
が、キャリヤーの両サイドを挟み付けることができるよ
うに水平に延在する一対の把持片を有する構造を有する
のが好ましい。

【００３４】前記第１移送手段としては、前記キャリヤ
ー収容手段、前記洗浄手段および乾燥手段の位置関係に
応じて、前記キャリヤー収容手段から前記洗浄手段へキ
ャリヤーを移送することができるように、しかも前記乾
燥手段から前記キャリヤー収容手段へとキャリヤーを移
送することができるように、前記第１把持手段、この第
１把持手段を昇降させる第１把持手段昇降機構、第１把
持手段を一方から他方へと水平面内でその向きを変える
第１把持手段回動機構、および第１把持手段を水平移動
させる第１把持手段水平移動機構からなる組み合わせを
挙げることができる。

【００３５】このような第１移送手段として、多関節ロ
ボットアームなどを挙げることができ、また、キャリヤ
ーを前記のように把持する一対の第１把持部材と、第１
把持部材を水平面内で一方から他方へとその向きを変え
る第１把持部材回動機構と、この第１把持部材回動機構
を保持して水平に走行する第１水平走行体、およびその
第１水平走行体の走行をガイドする第１水平ガイドを有
する第１把持部材水平移動機構と、前記第１水平ガイド
を垂直方向に昇降させる第１垂直走行体、およびその第
１垂直走行体の走行を案内する第１垂直ガイドを有する
第１把持手段昇降機構とを有する組み合わせを挙げるこ
とができる。

【００３６】前記第２移送手段は、洗浄後のキャリヤー
を、前記洗浄手段から前記乾燥手段へ移送するように形
成される。さらに具体的に言うと、好適な第２移送手段
は、洗浄手段に装填ないし配置されているキャリヤーを
把持する第２把持手段と、キャリヤーを把持した第２把
持手段を前記洗浄手段から前記乾燥手段に移送する第２
移送手段とを有して形成される。

【００３７】前記第２把持手段は、前記第１把持手段と
同様に、キャリヤーの両サイドを挟み付ける一対の把持
片、およびキャリヤーの端辺の外側と内側とを挟み付け
る一対の把持片のいずれを有する機構であっても良い
が、キャリヤーの両サイドを広げるようにしてキャリヤ
ーを確保するところの、縦方向に延在する一対の把持片
を有する機構が好ましい。

【００３８】前記第２移送手段は、前記洗浄手段から前
記乾燥手段へとキャリヤーを移送することができるよう
に、前記第２把持手段自体を昇降させる第２把持手段昇
降機構、および第２把持手段を水平移動させる第２把持
手段水平移動機構からなる組み合わせを挙げることがで
きる。

【００３９】このような第２移送手段として、多関節ロ
ボットアームなどを挙げることができ、また、キャリヤ
ーを前記のように確保する一対の第２把持部材と、第２
把持部材を水平に走行させる第２水平走行部、およびそ
の第２水平走行部の走行をガイドする第２水平案内部を
有する第２把持部材水平移動機構と、前記第２水平案内
部を垂直方向に昇降させる第２垂直走行部、およびその
第２垂直走行部の走行を案内する第２垂直案内部を有す
る第２把持手段昇降機構とを有する組み合わせを挙げる
ことができる。

【００４０】(5) 制御手段前記制御手段は、前記洗浄手
段と、前記乾燥手段と、前記移送手段との、一連の動作
を制御するように形成され、たとえばコンピュータを利
用して形成される。

【００４１】前記制御手段は、前記移送手段に制御信号
を出力して、キャリヤー収容手段に収容ないし搭載され
ているキャリヤーを前記洗浄手段に移送し、前記洗浄手
段に制御信号を出力して、前記洗浄手段に収容されたキ
ャリヤーを洗浄し、前記乾燥手段に制御信号を出力し
て、キャリヤーを乾燥させ、また前記移送手段に制御信
号を出力して、乾燥手段にあるキャリヤーを前記キャリ
ヤー収容手段に移送するように、前記各手段を制御す
る。

【００４２】前記制御手段によるさらに具体的な制御
は、以下の作用説明において明かにされる。

【００４３】(6) 作用 先ず、キャリヤー収容手段にキャリヤーが収容される。
このキャリヤー収容手段が載置台を有するときには、こ
の載置台に複数のキャリヤーが搭載される。このキャリ
ヤー収容手段が走行手段たとえば運搬台車を有するとき
には、キャリヤーの保管されている場所でキャリヤー収
容手段にキャリヤーを収容し、キャリヤーを収容したキ
ャリヤー収容手段をこのキャリヤー洗浄装置にまで人力
によりあるいはロボットにより移送し、キャリヤー洗浄
装置にこのキャリヤー収容装置をセットする。

【００４４】制御手段から制御信号が移送手段に出力さ
れて、移送手段がキャリヤー収容手段中のキャリヤーを
洗浄手段に移送し、洗浄手段にキャリヤーを装填する。

【００４５】移送手段が第１移送手段と第２移送手段と
からなるときには、制御手段から出力される制御信号に
よって第１移送手段が駆動され、この第１移送手段によ
り、キャリヤー収容手段中のキャリヤーを洗浄手段に移
送し、洗浄手段にキャリヤーを装填する。

【００４６】前記第１移送手段が、第１把持手段、第１
把持手段昇降機構、第１把持手段回動機構、および第１
把持手段水平移動機構を有するときには、前記制御手段
から制御信号がこれら機構に出力されて、第１把持手段
でキャリヤーを先ず把持する。たとえば、第１把持手段
でキャリヤーを把持させるために、前記第１把持手段昇
降機構、第１把持手段回動機構および第１把持手段水平
移動機構を駆動してキャリアーに第１把持手段を対峙さ
せ、第１把持手段水平移動機構を駆動して第１把持手段
を前進させ、第１把持手段における把持片でキャリヤー
を把持する。キャリヤーを把持した第１把持手段の向き
を第１把持手段回動機構により洗浄手段側に変え、第１
把持手段水平移動機構と第１把持手段昇降機構を駆動し
て第１把持手段により把持されたキャリヤーを洗浄手段
における所定の位置にセットする。

【００４７】洗浄手段にキャリヤーがセットさせると、
制御手段から洗浄手段に制御信号が出力される。制御信
号を入力する洗浄手段によりキャリヤーが洗浄される。

【００４８】前記洗浄手段が、シャワースクラブ機構
と、リンス機構とを有するときには、これら機構に前記
制御手段から制御信号が出力されて、シャワースクラブ
機構によりキャリヤーが洗浄され、洗浄が終了した後
に、リンス機構によりキャリヤーがリンスされる。

【００４９】特にこのシャワースクラブ機構がブラシ装
置とシャワー装置とキャリヤー収容槽とを有するときに
は、キャリヤー収容槽内に配置したキャリヤーに前記シ
ャワー装置により洗浄水を噴射しつつ、前記キャリヤー
の表面を前記ブラシ装置によりブラッシングしてキャリ
ヤーを洗浄する。前記ブラシ装置が回転ブラシと回転ブ
ラシ移動機構とを有するときには、回転ブラシ移動機構
を駆動させることにより、キャリヤーの上方に位置する
回転ブラシをキャリヤー内に移動させ、回転ブラシを回
転駆動することにより、回転ブラシでキャリヤーの内壁
を摺擦する。回転ブラシで摺擦しているときには前記シ
ャワー装置によりキャリヤーに洗浄水を散布ないし噴霧
する。回転ブラシとして水平方向に延在する回転軸を有
する回転ブラシを採用する場合、回転ブラシの直径がキ
ャリヤーの相対向する内壁面間の寸法よりも小さいとき
には、回転ブラシでキャリヤーの一方の内壁を摺擦した
後、回転ブラシ移動機構を駆動することにより回転ブラ
シの向きを変えて、次いで回転ブラシでキャリヤーの他
方の内壁を摺擦してこれを洗浄する。これらの動作中、
前記シャワー装置によりキャリヤーに洗浄水が散布ない
し噴射されるのが好ましい。

【００５０】なお、洗浄層が排出手段たとえば排出口を
有するときには、シャワー装置により散布された洗浄水
は前記排出手段たとえば排出口からキャリヤー収容槽外
に排出される。

【００５１】キャリヤーをこのシャワースクラブ機構に
より洗浄した後に、キャリヤーがリンス機構によって濯
がれる。また、シャワースクラブ機構によりキャリヤー
を洗浄した後に、このシャワースクラブ機構におけるブ
ラシ装置をシャワー装置で洗浄することにより、回転ブ
ラシに付着する汚れを落とすことが好ましい。

【００５２】リンス機構により、キャリヤーにリンス液
が散布され、キャリヤーが濯がれる。このリンス機構
が、リンス装置と、キャリヤー収容槽とを有し、このリ
ンス装置がリンスシャワーノズルを備えてなるときに
は、キャリヤー収容槽内のキャリヤーにリンスシャワー
ノズルからリンス液が散布される。

【００５３】リンス機構が、前記第１リンス機構と前記
第２リンス機構とを備えているときには、第１リンス機
構により、リンス液排出口を閉鎖した状態でリンスシャ
ワーノズルからキャリヤーにリンスを散布し、キャリヤ
ー収容槽内に所定量のリンス液が貯留された後に前記リ
ンス液排出口を開放することにより、貯留されたリンス
液を排出し、第２リンス機構により、常開の開口部を底
部に備えたキャリヤー収容槽内に収容されたキャリヤー
にリンス液をリンスシャワーノズルで散布する。

【００５４】洗浄手段が、キャリヤーを保持しつつ水平
面内で回動する前述の回転装着台と、この回転装着台を
回転させた所定の位置でこの回転装着台に保持されたキ
ャリヤーの表面に洗浄液を散布しつつキャリヤーの表面
をブラシで摺擦することができるように設けられた前記
シャワースクラブ機構と、このシャワースクラブ機構で
洗浄されたキャリヤーを、この回転装着台を回転させた
所定の位置で、濯ぐことができるように設けられたリン
ス機構と、前記回転装着台を回転駆動させる回転装着台
駆動手段とを有するときには、この回転装着台を間欠的
に回動させて、キャリヤーをシャワースクラブ機構で洗
浄し、リンス機構でキャリヤーを濯ぐ。この動作は、制
御手段により制御される。

【００５５】洗浄手段でキャリヤーを洗浄した後、乾燥
手段でキャリヤーの乾燥が行われる。洗浄手段から乾燥
手段へのキャリヤーの移動は、移送手段で行われ、移送
手段が第１移送手段と第２移送手段とを有するときに
は、第２移送手段で行われる。

【００５６】前記第２移送手段が、第２把持手段、第２
把持手段昇降機構、および第２把持手段水平移動機構を
有するときには、洗浄手段にセットされているキャリヤ
ーを第２把持手段が把持し、キャリヤーを把持した第２
把持手段が、第２把持手段水平移動機構および第２把持
手段昇降機構により、洗浄手段から乾燥手段へと移送さ
れ、乾燥手段にキャリヤーがセットされる。このような
一連の動作は、制御手段から出力される制御信号により
実現される。

【００５７】前記第２移送手段が、第２把持部材、第２
把持部材水平移動機構、第２把持部材昇降機構を有する
ときには、洗浄手段にセットされているキャリヤーを第
２把持部材が把持してこれを確保した後に、制御手段に
より駆動制御される第２把持部材水平移動機構および第
２把持部材昇降機構の駆動により、たとえば第２水平走
行部が第２水平案内部に沿って水平走行し、また第２垂
直走行部が第２垂直案内部に沿って走行することによ
り、キャリヤーが乾燥手段に移送され、セットされる。

【００５８】前記乾燥手段にキャリヤーがセットされる
と、制御手段から出力される制御信号を入力する乾燥手
段により、キャリヤーが乾燥される。

【００５９】好適な乾燥手段においては、前記キャリヤ
ーを水平面内で高速回転させることによりキャリヤー表
面の付着洗浄液を遠心力で除去する。特にこの乾燥手段
が、高速回転機構を有するときには、キャリヤーが高速
回転機構により高速回転され、遠心力によりキャリヤー
に付着する水分が除去され、乾燥される。

【００６０】この高速回転機構が遠心分離台を有すると
きには、回転バランスを調整するために遠心分離台上に
おいて対称の位置に同じキャリヤーを配置し、あるいは
対称の位置にキャリヤーとダミーとを配置し、このよう
に回転バランスの取れた遠心分離台を回転させることに
より、キャリヤーが乾燥される。

【００６１】乾燥後に、移送手段により、乾燥手段から
キャリヤー収容手段にキャリヤーが移送される。

【００６２】この移送においては、移送手段が第１移送
手段と第２移送手段とからなるときには、制御手段から
出力される制御信号によって第１移送手段が駆動され、
この第１移送手段により、乾燥手段中のキャリヤーがキ
ャリヤー収容手段に移送される。

【００６３】前記第１移送手段が、第１把持手段、第１
把持手段昇降機構、第１把持手段回動機構、および第１
把持手段水平移動機構を有するときには、前記制御手段
から制御信号がこれら機構に出力されて、第１把持手段
で乾燥手段中のキャリヤーが先ず把持される。たとえ
ば、第１把持手段でキャリヤーを把持させるために、前
記第１把持手段昇降機構、第１把持手段回動機構および
第１把持手段水平移動機構を駆動してキャリアーに第１
把持手段を対峙させ、第１把持手段水平移動機構を駆動
して第１把持手段を前進させ、第１把持手段における把
持片でキャリヤーを把持する。キャリヤーを把持した第
１把持手段の向きを第１把持手段回動機構により洗浄手
段からキャリヤー収容手段に変え、第１把持手段水平移
動機構と第１把持手段昇降機構とを駆動して第１把持手
段により把持されたキャリヤーをキャリヤー収容手段に
おける所定の位置にセットする。

【００６４】以上の一連の動作により、このキャリヤー
洗浄装置により、キャリヤーが洗浄され、乾燥される。

【００６５】（具体例）以下、この発明の一具体例につ
いて図面を参照しながら説明する。

【００６６】図１はこの発明の一実施例であるキャリヤ
ー洗浄装置１を示す平面図である。

【００６７】図１に示されるように、キャリヤー洗浄装
置１は、キャリヤー収容手段２と、第１移送手段３と、
洗浄手段４と、第２移送手段５と、乾燥手段６と、制御
手段（図示せず）とを有する。この具体例においては、
前記第１移送手段３と第２移送手段５とがこの発明にお
ける移送手段の一例である。

【００６８】−キャリヤー−このキャリヤー洗浄装置１
により洗浄されるキャリヤー７は、図２に示される形状
を有する。

【００６９】すなわち、キャリヤー７は、図２に示され
るように、平坦な底面部７ａと、底面部７ａの両端部で
垂直に相対向するように立設する一対の第１垂直面部７
ｂと、一対の第１垂直面部７ｂそれぞれの先端部で互い
に離反するように外側に斜向する一対の斜面部７ｃと、
それら一対の斜面部７ｃそれぞれの端部で垂直に立設す
る一対の第２垂直面部７ｄと、前記一対の斜面部７ｃお
よび一対の第２垂直面部７ｄそれぞれの相向かい合う面
に形成された溝部７ｅとを有して形成される枠体であ
る。さらに言うと、一対の第１垂直面部７ｂは互いに相
対向して配置され、一対の第２垂直面部７ｄも互いに相
対向するように形成される。そして、円板状物であるシ
リコンウエハーの円周縁部分を前記溝部７ｅに挿入する
ことにより、複数のシリオンウエハーが前記キャリヤー
７に装着される。前記溝部７ｅは、シリコンウエハーの
端部を挿入してこのシリコンウエハーを支持する支持部
でもある。

【００７０】−各手段の配置関係− 図１に示されるように、前記第１移送手段３は前記キャ
リヤー洗浄装置１の中央部に配置される。前記洗浄手段
４は前記第１移送手段３の側方部に配置される。前記乾
燥手段６は前記洗浄手段４の背後に配置され、しかも前
記第１移送手段３に沿って配置される。前記第２移送手
段は、前記洗浄手段４と前記乾燥手段６との間に配置さ
れる。前記キャリヤー収容手段２は前記洗浄手段４と反
対の側方部に配置される。

【００７１】このような配置関係は、このキャリヤー洗
浄装置１を空間的に無駄のないコンパクトな形状に形成
するのに役立つ。また、後述するように、各手段の動き
を合理的なものにするのにも役立つ。

【００７２】−キャリヤー収容手段− 前記キャリヤー収容手段２は、図１および図５に示され
るように、キャリヤー７を搭載しかつ運搬することので
きるように形成され、複数の載置台８と、回転基台９
と、運搬台車１０とを有する。

【００７３】図１および図５に示されるように、前記運
搬台車１０は、キャスター１１を下面に有する走行基台
１２と、その走行基台１２の側面に立設形成した側面部
把手１３と、前記走行基台１２の正面に立設形成した正
面部把手１４とを有してなり、前記側面部把手１３ある
いは正面部把手１４を押してこの運搬台車１０を移動さ
せることができるようになっている。

【００７４】図５に示されるように、この運搬台車１０
における走行基台１２の上面中心部には支持体９Ｂが立
設され、この支持体９Ｂには回転基台５が回転可能に設
けれられている。

【００７５】この回転基台５は円盤状に形成され、キャ
リヤー洗浄装置１に設けられた回転手段１５により、回
転可能になっている。

【００７６】図１に示されるように、回転基台５の上面
には、その中心部に支持柱９Ａが立設される。その支持
柱９Ａには複数の載置台８が上下に所定間隔を設けて取
り付けられる。前記載置台８は、複数のキャリヤー７を
搭載するのに十分な面積を有し、かつ前記キャリヤー７
を搭載しても変形しない程度に十分な厚みないし機械的
強度を有するところの、八角形板である。このような形
状の載置台８の中心部を前記支持柱９Ａが貫通するよう
にして、複数の載置台８がこの支持柱９Ａに固定的に装
着されている。また、これら複数の載置台８それぞれの
上面には、複数のキャリヤー７を、互いに対称となるよ
うな位置に搭載している。したがって、前記回転基台５
が回転すると、載置台８も回転し、載置台８上のキャリ
ヤー７を所定の位置に移動させることができるようにな
っている。なお、前記回転基台５はその上面にキャリヤ
ー７を載置するので、この回転基台５は最下段に位置す
る載置台８としての機能を有する。

【００７７】図１に示されるように、前記回転手段１５
は、このキャリヤー収容手段２をキャリヤー洗浄装置１
に装填したときに、前記回転基台５を回転させることが
できるように、図示しない駆動手段たとえばモータによ
り回転可能に形成されたローラ１５Ａと、このローラ１
５Ａを一端に回転可能に結合し、他端をキャリヤー洗浄
装置１に回動可能に結合してなる可動腕体１５Ｂと、常
時はキャリヤー洗浄装置１の内部に収納されているが、
前記キャリヤー収容手段２がキャリヤー洗浄装置２にセ
ットされると、前記ローラ１５Ａが回転基台５の周面に
接触することができるように、前記可動腕体１５Ｂを回
動させるシリンダー装置１５Ｃとを有して形成される。
この回転手段１５は制御手段によりその駆動が制御され
る。

【００７８】−第１移送手段− 図１および図３に示されるように、前記第１移送手段３
は、載置台８に搭載されたキャリヤー７を洗浄手段４に
移動させ、また、乾燥手段６によって乾燥されたキャリ
ヤー７を載置台８に戻すように形成される。この第１移
送手段３は、第１把持手段１６と、第１把持手段移動手
段１７とを有する。この第１移送手段３の動作は制御手
段により制御される。

【００７９】前記第１把持手段１６は、図１、図３およ
び図４に示されるようにキャリヤー７における一対の第
２垂直面部７ｄをそれらの外側から把持するように延在
する一対の把持片１８と、これら把持片１８それぞれを
支持する把持片支持部材１９と、一対の把持片支持部材
１９を水平に保持する駆動ボックス２０とを有する。前
記把持片１８は、図４に示されるように、把持片支持部
材１９に一体に結合されている。前記把持片支持部材１
９は、前記駆動ボックス２０内に設けられた図示しない
駆動源たとえば小型モータによりこの駆動ボックス２０
内に引き込まれたり、あるいは引き出されたりして、一
対の把持片１８が互いに接近したり、あるいは互いに離
反したりすることができるようになっている。その結
果、この把持片１８によりキャリヤー７の第２垂直面部
７ｄの外側をこれら一対の把持片１８で挟み付けてキャ
リヤー７を保持することができるようになっている。

【００８０】前記第１把持手段移動手段１７は、前記第
１把持手段１６の回動、水平移動、および昇降移動を行
わせるように形成され、第１把持手段回動機構（第１把
持部材回動機構）、第１把持手段水平移動機構（第１把
持部材水平移動機構）および第１把持手段昇降機構（第
１把持部材昇降機構）を有する。

【００８１】前記第１把持手段回動機構は、前記駆動ボ
ックス２０とこれを水平面内で回動可能に懸垂する円柱
状の懸垂支持体２１とを有する。この駆動ボックス２０
内には、図示しない駆動源たとえば小型モータを備え、
この駆動源の駆動により駆動ボックス２０が前記懸垂支
持体２１を中心にして水平面内で回動可能になってい
る。したがって、この第１把持手段回動機構により、た
とえばキャリヤー７を把持したこの第１把持手段１６の
向きを１８０度変えて、把持するキャリヤー７をキャリ
ヤー収容手段２から洗浄手段４に向かわせることができ
る。

【００８２】前記第１把持手段水平移動機構は、第１把
持手段１６を前記洗浄手段５および乾燥手段６の並びに
沿う方向、すなわち図１および図３に示されるＸ方向に
沿って移動させる第１把持手段Ｘ方向移動機構と、第１
把持手段１６を前記キャリヤー収容手段２と前記洗浄手
段４および乾燥手段６との並びに沿う方向、すなわち図
１および図３に示されるＹ方向に沿って移動させる第１
把持手段Ｙ方向移動機構とを有する。

【００８３】この第１把持手段Ｘ方向移動機構は、図３
にも示されるように、前記キャリヤー収容手段２と洗浄
手段４との間であって前記キャリヤー収容手段２よりも
高い位置に、前記洗浄手段４と前記乾燥手段６との並び
に平行になるように配置された第１Ｘ方向ガイドである
第１Ｘ方向レール２２と、この第１Ｘ方向レール２２を
支持する長尺状の第１Ｘ方向レール支持部材２３と、こ
の第１Ｘ方向レール２２上を走行可能に第１Ｘ方向レー
ル２２に取り付けられた第１Ｘ方向走行体２４と、この
第１Ｘ方向走行体２４を駆動するために第１Ｘ方向走行
体２４に螺合された第１スクリュー螺子２５と、前記第
１Ｘ方向走行体２４に装着された前記懸垂支持体２１と
を有する。前記第１スクリュー螺子２５は駆動源たとえ
ば小型モータにより回転し、この第１スクリュー螺子２
５の回転により第１Ｘ方向走行体２４が前記第１Ｘ方向
レール２２上を水平に移動することができるようになっ
ている。

【００８４】前記第１把持手段昇降機構は、図３にも示
されるように、前記第１Ｘ方向レール支持部材２３の端
部に設けられた第１垂直走行体２６と、この第１垂直走
行体２６の走行をガイドする第１垂直ガイドであり、垂
直に配置された第１垂直レール２７と、この第１垂直レ
ール２７を支持する第１垂直レール支持体２８と、前記
第１垂直走行体２６を駆動する図示しない駆動源たとえ
ば小型モータとを有する。

【００８５】前記第１把持手段Ｙ方向移動機構は、図３
に示されるように、前記第１垂直レール支持体２８に取
り付けられた第１Ｙ方向走行体２９と、この第１Ｙ方向
走行体２９をＹ方向に走行させるために、このキャリヤ
ー洗浄装置１の背面部に取り付けられた第１Ｙ方向ガイ
ドである第１Ｙ方向レール３０と、この第１Ｙ方向走行
体２９を走行させる図示しない駆動源たとえば小型モー
タとを有する。この第１把持手段Ｙ方向移動機構によ
り、第１把持手段１６をキャリヤー収容手段２に向かっ
て接近させ、第１把持手段１６を洗浄手段４の所定位置
に水平移動させ、第１把持手段１６を乾燥手段６の所定
位置に水平移動させることができる。

【００８６】このような第１移送手段は、制御手段によ
りその動作が制御される。

【００８７】−洗浄手段− 前記洗浄手段４は、図６に示されるように、キャリヤー
７を洗浄する手段であり、回転装着台３１と、シャワー
スクラブ機構と、リンス機構とを有する。

【００８８】この回転装着台３１は円盤状をなし、その
中心部に設けられた回転軸３２を中心にして図示しない
回転装着台駆動手段ないし駆動機構により９０度づつ間
欠的に回転駆動される。この回転装着台駆動手段ないし
駆動機構は、制御手段によりその動作が制御される。

【００８９】そして、この回転装着台３１には、回転装
着台３１の回転中心と配置位置とが互いに９０度をなす
ように配置された４個のキャリヤー収容槽３３が取り付
けられる（図１０参照）。換言すると、回転装着台３１
上に回転軸３２を中心にして上下左右対称に４個のキャ
リヤー収容槽３３が配置される。この４個のキャリヤー
収容槽３３はいずれもその底部に開口部３４が設けら
れ、この開口部に対応して回転装着台３１にも貫通口３
５が設けられている。この開口部３４および貫通口３５
は、液を排出する排出口としての機能を有する。

【００９０】なお、前記回転装着台駆動手段により回転
されるこの回転装着台３１が停止する位置は、このキャ
リヤー収容槽３３が前記第１Ｘ方向レール２２に最も近
くなる位置である。この位置を、この具体例では洗浄位
置ａと称する（図１および図６参照）。前記回転装着台
３１は、前記回転装着台駆動手段により前記洗浄位置ａ
から更に９０度回転した位置を第１リンス位置ｂ（図１
および図６参照）と称し、この第１リンス位置ｂから更
に９０度回転した位置を第２リンス位置ｃ（図１および
図６参照）と称し、この第２リンス位置ｃから更に９０
度回転した位置を待機位置ｄ（図１および図６参照）と
称する。

【００９１】前記洗浄位置ａにおいて回転装着台３１に
装着されたキャリヤー収容槽３３の下方には、図１０に
示されるように、キャリヤー収容槽３３の底部に設けら
れた開口部３４に対応する貫通口３５を閉鎖する閉鎖部
材である底板３６と、この底板３６を上下動させるピス
トンロッド３７およびシリンダー３８からなる底板駆動
手段３９とが設けられ、ピストンロッド３７を上昇させ
ると、このピストンロッド３７の先端部に装着された底
板３６がキャリヤー収容槽３３の開口部３４に対応する
貫通口３５を閉塞することができるようになっている。
このピストンロッド３７の駆動は制御手段により制御さ
れる。

【００９２】前記シャワースクラブ機構は、回転装着台
３１の前記洗浄位置ａに配置された前記キャリヤー収容
槽３３と、そのキャリヤー収容槽３３の上方に配置され
たブラシ装置およびシャワー装置とを有する。

【００９３】このブラシ装置は、図９に示されるよう
に、回転軸の外周面に繊維束を植設してなる回転ブラシ
４０と、図７に示されるように、この回転ブラシ４０
を、洗浄位置ａにあるキャリヤー収容槽３３内に配置さ
れたキャリヤー７内に挿入するようにこれを下降させ、
またキャリヤー７内にある回転ブラシ４０を上昇させる
回転ブラシ移動機構４１を有する。

【００９４】この回転ブラシ４０は、図９に示されるよ
うにブラシ全体が円筒形をなし、その直径はキャリヤー
７における第２垂直面部７ｄ間の長さよりも短い。した
がって、このキャリヤー７内に回転ブラシ４０を挿入す
るだけでは、キャリヤー７の一方の内壁を摺擦しても他
方の内壁を摺擦することができない。しかしながら、以
下の回転ブラシ移動機構４１を有するので、最終的には
キャリヤー７の内壁を完全に摺擦して完全にキャリヤー
の内壁を洗浄することができるようになっている。

【００９５】この回転ブラシ４４は、図示しない回転ブ
ラシ回転機構により回転駆動される。この回転ブラシ回
転機構は図示しない駆動手段たとえば小型モータとこの
小型モータの回転軸の回転を回転ブラシ４４の回転軸に
伝達する回転伝達手段たとえばギヤあるいはプーリとベ
ルトとの組み合わせ等とで形成される。

【００９６】この回転ブラシ移動機構４１は、図９に示
されるように、回転ブラシ４０を下端で支持する長尺状
の支持部材４２と、図８に示されるように、この支持部
材４２の上端部に設けられたベース４３と、このベース
４３を回動可能に支持する回動軸４４を備え、かつこの
支持部材４２を上下に昇降させるために、図示しない駆
動手段により駆動される上下走行部材４５と、この上下
走行部材４５の走行を案内する昇降ガイドレール４６と
を備え、前記上下走行部材４５を下降させることにより
回転ブラシ４０を下降させ、前記上下走行部材４５を上
昇させることにより回転ブラシ４０を上昇させることが
でき、また前記キャリヤー７内にあり、そのキャリヤー
７の一方の内壁を摺擦する回転ブラシ４０を一旦上昇さ
せてから前記回動軸４４を１８０度回動し、次いでこの
回転ブラシ４０を下降させると、キャリヤー７の他方の
内壁をこの回転ブラシ４０が摺擦することができるよう
になっている。

【００９７】この回動軸４４およびこの回動軸４４を駆
動する駆動源は、回転ブラシ４０の水平面内でのその位
置を変えるのであるから、回転ブラシ位置変換機構とな
っている。また、前記支持部材４２、ベース４３、駆動
手段により駆動される上下走行部材４５および昇降ガイ
ドレール４６は、回転ブラシ４０を上下に昇降させる回
転ブラシ昇降機構を形成する。

【００９８】前記シャワー装置は、キャリヤー収容槽３
３に装填されたキャリヤー７に洗浄水を散布することが
できるように形成される。このシャワー装置は、図７に
示されるように、キャリヤー収容槽３３の上部に配置さ
れ、キャリヤー７に散布する洗浄水を噴射するシャワー
ノズル４７を有する。このシャワー装置の駆動は、制御
手段により制御される。

【００９９】前記リンス機構は、前記シャワースクラブ
機構で洗浄されたキャリヤー７の表面をリンス液で濯ぐ
ように形成される。すなわち、このリンス機構は、第１
リンス装置と第２リンス装置とを有する。

【０１００】この第１リンス装置は、キャリヤー収容槽
３３と、回転装着台３１における前記第１リンス位置ｂ
の上方に配置されたところの、キャリヤー７にリンス液
を散布するリンスシャワーノズル（図示せず。）と、回
転装着台３１における前記第１リンス位置ｂの下方に配
置され、キャリヤー収容槽３３の底部に設けられた開口
部３４に対応して回転装着台３１に設けられた貫通口を
閉鎖する閉鎖部材である底板と、この底板を上下動させ
るピストンロッドおよびシリンダーからなる底板駆動手
段とが設けられ、ピストンロッドを上昇させると、この
ピストンロッドの先端部に装着された底板がキャリヤー
収容槽３３の開口部３４および貫通口を閉塞することが
できるようになっている。この底板、ピストンロッドお
よびシリンダーは、図１０に示されるように、洗浄位置
ａに設けられた底板３６および底板駆動手段３９と同様
の構造を有する。この第１リンス装置におけるピストン
ロッドの駆動も制御手段により制御される。

【０１０１】第２リンス装置は、キャリヤー収容槽３３
と、回転装着台３１における前記第２リンス位置ｃの上
方に配置されたところの、キャリヤー７にリンス液を散
布するリンスシャワーノズル（図示せず。）を有し、キ
ャリヤー７をリンス液で濯ぐことができるようになって
いる。この第２リンス装置が第１リンス装置と異なると
ころは、第２リンス装置においては、キャリヤー収容槽
３３の底部にある開口部３４に対応して回転装着台３１
に設けられた貫通口を閉鎖する底板および底板駆動手段
が設けられていないことである。換言すると、前記第１
リンス装置では、キャリヤ収容槽の開口部３４および回
転装着台３１の貫通口を底板で閉鎖した状態でキャリヤ
ー７にリンス液を散布し、散布するリンス液がキャリヤ
ー収容槽３３内の所定の水位に達すると、前記底板を下
降させて開口部を開放することにより一挙にキャリヤー
収容槽３３内のリンス液を排出し、その後に要すれば開
口部を開放した状態のまま所定時間かけてリンス液をキ
ャリヤー７に散布するのに対して、第２リンス装置で
は、キャリヤー収容槽３３の開口部３４および回転装着
台３１の貫通口を開放した状態のままにキャリヤー収容
槽３３内にあるキャリヤー７にリンス液を散布する。

【０１０２】このように第１リンス装置と第２リンス装
置とを有することにより、キャリヤー７の洗浄をより一
層完全に行うことができる。

【０１０３】回転装着台３１における待機位置ｄにおい
ては、キャリヤー収容槽３３を次ぎの乾燥手段６に第２
移送手段５で移送するために、待機状態としてキャリヤ
ー７が単に放置される。この待機位置ｄでキャリヤー７
が自然乾燥されることは、あり得る。

【０１０４】−第２移送手段−第２移送手段５は、洗浄
手段４におけるキャリヤー７を乾燥手段６に移送する手
段であり、さらに詳しくは、回転装着台３１における待
機位置ｄにあるキャリヤー７を洗浄手段４における所定
位置に移送する手段である。

【０１０５】この第２移送手段５は、キャリヤー７を把
持する第２把持手段と、この第２把持手段を洗浄手段４
４の所定位置から乾燥手段６の所定位置に移送する第２
把持手段移動手段とを有する。

【０１０６】前記第２把持手段は、図５および図７に示
されるように、キャリヤー７の相対向する第２垂直面部
７ｄをその内側から互いに広げるようにしてこれを把持
するように垂直に延在する一対の板状の把持部４８と、
これら把持部４８をそれらの上端で支持し、かつこの把
持部４８を互いに接近させ、あるいは離反するように駆
動する駆動部４９（図７参照）とを有する。前記一対の
把持部４８は、前記駆動部４９内に設けられた図示しな
い駆動源たとえば小型モータにより互いに接近したり、
あるいは離反したりすることができるようになってい
る。図７においては、前記一対の把持部４８が図中のＹ
方向（図中、Ｘ方向に直交する方向）に広がったり縮小
したりするように描かれているが、これは説明の便宜の
ためにそのように描かれているのであって、正確には、
図５に示されるように、一対の把持部４８がＹ方向に広
がったり縮小したりする。

【０１０７】前記第２把持手段移動手段は、図５に示さ
れるように、前記第２把持手段における駆動部４９を支
持する水平腕部５０およびこの水平腕部５０を支持する
垂直腕部５１と、この垂直腕部５１に設けられた垂直走
行部（図示せず。）と、この垂直走行部（図示せず。）
を縦方向に昇降するのを案内する垂直走行案内部５２
（図５参照）と、この垂直走行案内部５２を水平方向に
走行する水平走行部（図示せず。）と、この水平走行部
の水平移動を案内する水平走行案内部５３と、前記垂直
走行部５２を昇降させるようにこの垂直走行部５２を駆
動する駆動源（図示せず。）と、前記水平走行部を走行
駆動する駆動源（図示せず。）とを有する。これらの駆
動源および前記駆動部４９内の駆動源は、制御手段によ
り駆動制御される。

【０１０８】前記水平腕部５０、垂直腕部５１、垂直走
行部、垂直走行案内部５２および垂直走行部を駆動する
図示しない駆動源は、第２把持手段昇降機構を形成し、
前記水平走行部、水平走行案内部、前記水平走行部を駆
動する図示しない駆動源は、第２把持手段水平移動機構
を形成する。

【０１０９】−乾燥手段− この乾燥手段６は、キャリヤー７を水平面内で高速回転
させて遠心力によりキャリヤー７の表面に付着する液体
を除去し、これによってキャリヤー７を乾燥するように
形成される。この乾燥手段６は、高速回転機構と、キャ
リヤー固定機構とを有する。

【０１１０】この高速回転機構は、遠心分離台５４と、
この遠心分離台５４の中心軸を高速回転させる高速駆動
機構とを有する。前記キャリヤー固定機構は、遠心分離
台５４を高速回転させたときにこの遠心分離台５４から
キャリヤー７が離脱するのを防止し、キャリヤーを遠心
分離台５４に固定する機構であり、遠心分離台５４にお
いてその回転軸３２を中心にして対称となる４つの位置
に設けられる。なお、この高速回転機構を使用する場
合、遠心分離台５４における４つの位置のキャリヤー固
定機構それぞれにキャリヤーを装着するのが望ましい
が、場合により４つの位置のキャリヤー固定機構にキャ
リヤーを装着することができないときには、このキャリ
ヤー７と同じ重量および形態のダミーを装着固定するの
が良い。

【０１１１】−制御手段− この制御手段は、前記各手段の一連の動作を制御する機
能を有し、このキャリヤー洗浄装置１においては、コン
ピュータが使用される。

【０１１２】前記各部の一連の動作は、次ぎの作用説明
により明かにされる。

【０１１３】−作用− (1) キャリヤー搬入動作 先ず、キャリヤー収容手段２にキャリヤー７を収容す
る。多くの場合洗浄されるべきキャリヤー７はキャリヤ
ー洗浄装置１とは別の所にある保管場所に保管されてい
るので、その保管場所にこのキャリヤ収容手段２を移動
する。このキャリヤー収容手段２は運搬台車１０を有す
るので、側面部把手１３あるいは正面部把手１４を利用
してこの運搬台車１０を所定の保管場所に移動する。そ
の保管場所にて、キャリヤー収容手段２における複数の
載置台８それぞれにキャリヤー７を載置する。キャリヤ
ー７を載置したキャリヤー収容手段２を移動して、キャ
リヤー洗浄装置１の所定部署にこのキャリヤー収容手段
２をセットする。

【０１１４】キャリヤー収容手段２が第１移送手段３に
隣接する所定部署にセットすると、キャリヤー洗浄装置
１に設けられている検出手段たとえばリミットスイッチ
をキャリヤー洗浄手段２における走行基台１２の端部が
押すことにより、キャリヤー洗浄手段２が所定位置にセ
ットされたことを制御手段は検知し、制御手段から制御
信号が回転手段１５に出力される。

【０１１５】回転手段１５においては、シリンダー装置
１５Ｃを駆動して可動腕体１５Ｂを回動させ、ローラ１
５Ａを回転基台９の外周縁部に転接させる。

【０１１６】(2) 第１のキャリヤー移送動作 次いで、制御手段から制御信号が回転手段１５に出力さ
れて、ローラ１５Ａが回転し、ローラ１５Ａの回転によ
り回転基台９が回転する。回転基台９は、たとえば最上
段に位置する載置台８に載置されたキャリヤー７が第１
移送手段３に向かう位置に達するまで、回転し、その位
置で停止する。

【０１１７】制御手段から、第１移送手段３に制御信号
が出力され、第１移送手段３が駆動する。

【０１１８】すなわち、第１把持手段移動手段を駆動し
て第１把持手段１６を、載置台８に載置されたキャリヤ
ー７に向かわせる。この場合、第１把持手段１６の初期
位置がキャリヤー７に臨む位置ではないときには、第１
把持手段回動機構、第１把持手段水平移動機構および第
１把持手段昇降機構を駆動して、載置台８上に載置され
たキャリヤー７に第１把持手段１６を向かわせる。次い
で、第１把持手段水平移動機構中の第１把持手段Ｙ方向
移動機構を駆動して、第１把持手段１６をキャリヤー７
に向かって前進させる。第１把持手段１６における一対
の把持片１８間にキャリヤー７が位置するようになった
ところで、第１把持手段Ｙ方向移動機構の駆動を停止す
る。第１把持手段１６における駆動ボックス２０内の駆
動源を駆動して一対の把持片１８を互いに接近させるよ
うにして、キャリヤー７の第２垂直面部７ｄの外側を一
対の把持片１８で挟む。一対の把持片１８でキャリヤー
７を把持したまま、この第１把持手段１６を、第１把持
手段Ｙ方向移動機構を駆動して後退させ、所定の位置で
停止する。第１把持手段回動機構を駆動して、第１把持
手段１６の向きを１８０度変える。次いで、第１把持手
段Ｙ方向移動機構を駆動して、キャリヤー７を把持した
第１把持手段１６を前進させ、洗浄手段４における洗浄
位置ａの上方にキャリヤー７が位置したところで、第１
把持手段Ｙ方向移動機構の駆動を停止させることにより
第１把持手段１６の前進を停止させる。第１把持手段昇
降機構を駆動して第１把持手段１６を下降させる。キャ
リヤー７がキャリヤー収容槽３３内に装填されると、一
対の把持片１８が互いに離反するように駆動されて第１
把持手段１６はキャリヤー７を解放する。キャリヤー７
を解放した第１把持手段１６は、第１把持手段昇降機構
により上昇し、次いで、第１把持手段Ｙ方向移動機構の
駆動により後退し、所定の位置で停止した後に、第１把
持手段回動機構が駆動して第１把持手段１６の向きが水
平面内で１８０度反転し、次のキャリヤー７を把持する
ために待機する。

【０１１９】(3) 洗浄動作 洗浄手段４における回転装着台３１の洗浄位置ａにある
キャリヤー収容槽３３内にキャリヤー７がセットされる
と、制御手段から洗浄手段４に制御信号が出力され、シ
ャワースクラブ機構およびリンス機構が次のように動作
する。

【０１２０】すなわち、制御手段からは回転装着台駆動
手段ないし駆動機構に制御信号は出力されず、したがっ
て、回転装着台３１は静止止状態にある。

【０１２１】制御手段から底板駆動手段に制御信号（こ
の場合、駆動停止信号）が出力されて、ピストンロッド
３７が上昇せず、したがって、キャリヤー収容槽３３の
配置されている洗浄位置ａにおける貫通口３５が底板３
６で閉鎖されずに開放状態になっている。

【０１２２】制御手段から制御信号がブラシ装置に出力
され、ブラシ装置における回転ブラシ移動機構４１が駆
動され、洗浄位置ａに固定的に装着されたキャリヤー７
内に回転ブラシ４０が挿入される。図１２に示されるよ
うに、キャリヤー７内に回転ブラシ４０が挿入された状
態では、回転ブラシ４０の毛先がキャリヤー７の一方の
内壁に接している。次いで制御手段から制御信号が回転
ブラシ回転機構に出力され、この回転ブラシ回転機構の
駆動により回転ブラシ４０が回転駆動する。回転ブラシ
４０の回転により、回転ブラシ４０がキャリヤー７の内
壁面を摺擦する。

【０１２３】この回転ブラシ４０の回転駆動と共に、制
御手段からシャワー装置に制御信号が出力され、シャワ
ーノズル４７から洗浄液がキャリヤー７に散布される。
散布された洗浄水はキャリヤー収容槽３３の底部にある
開口部３４および回転装着台３１における貫通口３５か
ら下方に排出される。なお、排出される排液は、適宜の
手段たとえばドレイン装置に集約される。

【０１２４】所定時間をかけて回転ブラシ４０によるキ
ャリヤー７の内壁の摺擦およびシャワーノズル４７によ
る洗浄液の散布を終了すると、制御手段からシャワース
クラブ装置に制御信号が出力され、回転ブラシ４０の回
転が停止し、回転の停止した回転ブラシ４０をキャリヤ
ー収容槽３３の上方に上昇させ、また、同時にシャワー
ノズル４７からの洗浄液の散布を停止する。

【０１２５】制御手段からシャワースクラブ装置に制御
信号が出力され、再び回転ブラシ移動機構が動作し、回
転ブラシ４０がキャリヤー７内に挿入される。このとき
回転ブラシ４０の毛先が、キャリヤー７の他方の内壁を
摺擦する。

【０１２６】制御手段から回転ブラシ回転機構に制御信
号が出力され、またシャワー装置にも制御信号が出力さ
れることにより、回転ブラシ４０が回転しつつキャリヤ
ー７の他方の内壁を摺擦し、同時にシャワーノズル４７
からキャリヤー７に洗浄液が散布される。

【０１２７】所定時間の経過後に、制御手段から底板駆
動手段に制御信号が出力されて、ピストンロッド３７が
上昇し、キャリヤー収容槽３３の配置されている洗浄位
置ａにおける貫通口３５が底板３６で閉鎖される。貫通
口３５が底板３６で閉鎖されると、洗浄位置ａにあるこ
のキャリヤー収容槽３３は１個の容器となる。したがっ
て、シャワーノズル４７から散布される洗浄水がこのキ
ャリヤー収容槽３３内に貯留する。所定の量の洗浄水が
キャリヤー収容槽３３内に貯留されると、制御手段から
シャワー装置に制御信号（この場合駆動停止信号）が出
力されて、シャワーノズル４７からの洗浄水の散布が停
止する。このとき、制御手段により回転ブラシ４０の回
転動作が継続されている。キャリヤー収容槽３３内に貯
留された洗浄水中で回転ブラシ４０が回転するので、回
転ブラシ４０に付着していた塵埃が洗浄水中に放出され
る。

【０１２８】所定時間の経過後に、制御手段から回転ブ
ラシ回転機構に制御信号（この場合駆動停止信号）が出
力されて、回転ブラシ４０の回転が停止する。同時に、
制御手段からシャワー装置に制御信号（この場合駆動停
止信号）が出力されて、シャワーノズル４７からの洗浄
液の散布も停止する。次いで、制御手段から底板駆動手
段に制御信号が出力されてピストンロッド３７が下降
し、回転装着台３１における貫通口３５が開放される。
キャリヤー収容槽３３内に貯留されていた洗浄水が、塵
埃と共に排出される。

【０１２９】制御手段から回転ブラシ移動機構に制御信
号が出力されて、キャリヤー７内に位置していた回転ブ
ラシ４０が、洗浄位置ａにあるキャリヤー収容槽３３の
上方に退避する。

【０１３０】以上のようにして、シャワースクラブ装置
およびシャワー装置により、キャリヤー７に対する回転
ブラシ４０による摺擦および洗浄液の散布が行われてキ
ャリヤー７の洗浄が終了する。

【０１３１】(4) 第１回回動動作 次いで、制御手段から回転装着台駆動手段ないし駆動機
構に制御信号が出力され、回転装着台３１を９０度回転
させる。これによって、洗浄後のキャリヤー７を固定的
に収容し、かつ洗浄位置ａに位置していたキャリヤー収
容槽３３が、第１リンス位置ｂに移動する。

【０１３２】そして、待機位置ｄに位置していたキャリ
ヤー収容槽３３が洗浄位置ａに移動して来る。

【０１３３】次いで、洗浄位置ａには、前記「(2) 第１
のキャリヤー移送動作」におけるのと同様の動作にて、
キャリヤー収容手段２における載置台８上のキャリヤー
７が、洗浄位置ａにおけるキャリヤー収容槽３３内に移
送され、固定される。このように、洗浄位置ａにおける
キャリヤー収容槽３３へキャリヤー７が移送されている
間に、第１リンス位置ｂにおけるキャリヤー収容槽３３
内でキャリヤー７が次のようにしてリンスされる。

【０１３４】(5) 第１のリンス動作 制御手段から底板駆動手段に制御信号が出力されて、第
１リンス位置ｂの下方に位置するピストンロッド３７が
上昇し、第１リンス位置ｂにおける貫通口３５が底板３
６で閉鎖される。貫通口３５が底板３６で閉鎖される
と、第１リンス位置ｂにあるこのキャリヤー収容槽３３
は１個の有底の容器となる。

【０１３５】制御手段から第１リンス装置に制御信号が
出力されて、第１リンス装置におけるリンスシャワーノ
ズルからリンス液がキャリヤー収容槽３３内のキャリヤ
ー７に散布される。散布されたリンス液が貯留される。
所定量のリンス液がキャリヤー収容槽３３内に貯留され
ると、制御手段から第１リンス装置に制御信号（この場
合駆動停止信号）が出力されて、リンスシャワーノズル
からのリンス液の散布が停止する。

【０１３６】制御手段から底板駆動手段に制御手段が出
力されて、第１リンス位置ｂの下方に位置するピストン
ロッド３７が下降して、回転装着台３１の第１リンス位
置ｂにおける貫通口３５が開放される。これによって第
１リンス位置ｂにあるキャリヤー収容槽３３内に貯留さ
れていたリンス液が貫通口３５から排出される。排出さ
れたリンス液の排液は、適宜のドレイン装置により処理
される。

【０１３７】このようにして第１リンス装置によりキャ
リヤー７のリンスが完了する。

【０１３８】なお、この第１リンス装置によりキャリヤ
ー７のリンスが行われている間に、前記「(3) 洗浄動
作」にて説明したのと同様の動作が行われて、洗浄位置
ａに位置するキャリヤー７が洗浄される。

【０１３９】(6) 第２回回動動作 次いで、制御手段から回転装着台駆動手段ないし駆動機
構に制御信号が出力され、回転装着台３１を９０度回転
させる。これによって、第１リンス装置によりリンスさ
れたキャリヤー７を固定的に収容し、第１リンス位置ｂ
に位置していたキャリヤー収容槽３３が、第２リンス位
置ｃに移動する。また、回転装着台３１がこのように９
０度回転することにより、洗浄位置ａに位置していたキ
ャリヤー収容槽３３が、洗浄後のキャリヤー７と共に第
１リンス位置ｂに移動し、待機位置ｄに位置していたキ
ャリヤー収容槽３３が洗浄位置ａに移動して来る。

【０１４０】次いで、洗浄位置ａには、前記「(2) 第１
のキャリヤー移送動作」で説明したのと同様の動作に
て、キャリヤー収容手段２における載置台８上のキャリ
ヤー７が、洗浄位置ａにおけるキャリヤー収容槽３３内
に移送され、固定される。このように、洗浄位置ａにお
けるキャリヤー収容槽３３へキャリヤー７が移送されて
いる間に、第１リンス位置ｂにおけるキャリヤー収容槽
３３内でキャリヤー７が次のようにしてリンスされる。

【０１４１】(7) 第２リンス動作 制御手段から第２リンス装置に制御信号が出力されて、
第２リンス装置におけるリンスシャワーノズルからリン
ス液がキャリヤー収容槽３３内のキャリヤー７に散布さ
れる。回転装着台３１における第２リンス位置ｃには貫
通口３５が設けられてはいるが、その下方には、底板駆
動手段が特に設けられていない。したがって、散布され
たリンス液は、前記貫通口３５から排出される。排出さ
れたリンス液の排液は、適宜のドレイン装置により処理
される。

【０１４２】所定時間が経過すると、制御手段から第２
リンス装置に制御信号（この場合駆動停止信号）が出力
されて、第２リンス装置の駆動が停止する。

【０１４３】このようにして第２リンス装置によりキャ
リヤー７のリンスが完了する。

【０１４４】なお、この第２リンス装置によりキャリヤ
ー７のリンスが行われている間に、前記「(3) 洗浄動
作」にて説明したのと同様の動作が行われて、洗浄位置
ａに位置するキャリヤー７が洗浄され、前記「(5) 第１
リンス動作」で説明したのと同様の動作が行われて、第
１リンス位置ｂに位置するキャリヤー７がリンスされて
いる。

【０１４５】(8) 第３回回動動作 第２リンス装置によりキャリヤー７のリンスが完了する
と、制御手段から回転装着台駆動手段ないし駆動機構に
制御信号が出力され、回転装着台３１を９０度回転させ
る。これによって、第２リンス装置によりリンスされた
キャリヤー７を固定的に収容した、かつ第２リンス位置
ｃに位置していたキャリヤー収容槽３３が、待機位置ｄ
に移動する。また、回転装着台３１がこのように９０度
回転することにより、洗浄位置ａに位置していたキャリ
ヤー収容槽３３が第１リンス位置ｂに移動し、第１リン
ス位置ｂに位置していたキャリヤー収容槽３３が第２リ
ンス位置ｄに移動し、また、待機位置ｄに位置していた
キャリヤー収容槽３３が洗浄位置ａに移動して来る。

【０１４６】次いで、洗浄位置ａには、前記「(2) 第１
のキャリヤー移送動作」にて説明したのと同様の動作に
て、キャリヤー収容手段２における載置台８上のキャリ
ヤー７が、洗浄位置ａにおけるキャリヤー収容槽３３内
に移送され、固定される。このように、洗浄位置ａにお
けるキャリヤー収容槽３３へキャリヤー７が移送されて
いる間に、第１リンス位置ｂにおけるキャリヤー収容槽
３３内でキャリヤー７が次のようにしてリンスされる。

【０１４７】(9) 第２のキャリヤー移送動作 制御手段から第２移送手段に制御信号が出力されて、第
２移送手段５により、乾燥位置ｄにあるキャリヤー収容
槽３３内のキャリヤー７が乾燥手段６に移送される。

【０１４８】すなわち、制御手段から第２移送手段５に
制御信号が出力されると、図示しない駆動源により垂直
走行部および水平走行部を走行させて把持部４８を、待
機位置ｄにあるキャリヤー７上に位置させる。次いで、
垂直走行部を走行させて把持部４８を下降させて、キャ
リヤー７内に把持部４８を挿入させ、その位置で垂直走
行部を停止させる。次いで、第２把持手段における駆動
部４９を駆動することにより一対の把持部４８を拡開さ
せて一対の把持部４８それぞれがキャリヤー７における
第２垂直面部７ｄを内部から押圧するようにしてキャリ
ヤー７を確保する。一対の把持部４８でキャリヤー７を
確保すると、垂直走行部が上昇してキャリヤー７がキャ
リヤー収容槽３３より持ち上げられる。水平走行部を水
平移動させて、把持部４８で確保されたキャリヤー７を
図１中のＸ方向に水平移動させて、乾燥手段６における
遠心分離台５４における所定位置の上方にキャリヤー７
を配置する。垂直走行部を下降させて遠心分離台にキャ
リヤー７を配置し、キャリヤー固定機構により遠心分離
台５４にキャリヤー７を固定配置する。第２把持手段に
おける駆動部４９を駆動することにより一対の把持部４
８を互いに接近するように水平移動させてキャリヤー７
を把持部４８から開放する。垂直走行部を走行させて把
持部４８を上昇させる。キャリヤー７は遠心分離台５４
に固定されたまま残される。

【０１４９】(10)第４回回動動作 第２移送手段５により待機位置ｄにあるキャリヤー７を
乾燥手段６へ移動させ終わると、制御手段から回転装着
台駆動手段ないし駆動機構に制御信号が出力され、回転
装着台３１を９０度回転させる。これによって、待機位
置ｄにあったキャリヤー収容槽３３が洗浄位置ａに移動
し、第２リンス位置ｃに位置していたキャリヤー収容槽
３３が、待機位置ｄに移動する。また、回転装着台３１
がこのように９０度回転することにより、洗浄位置ａに
位置していたキャリヤー収容槽３３が第１リンス位置ｂ
に移動し、第１リンス位置ｂに位置していたキャリヤー
収容槽３３が第２リンス位置ｄに移動する。

【０１５０】次いで、洗浄位置ａには、前記「(2) 第１
のキャリヤー移送動作」にて説明したのと同様の動作に
て、キャリヤー収容手段２における載置台８上のキャリ
ヤー７が、洗浄位置ａにおけるキャリヤー収容槽３３内
に移送され、固定される。このように、洗浄位置ａにお
けるキャリヤー収容槽３３へキャリヤー７が移送されて
いる間に、第１リンス位置ｂにおけるキャリヤー収容槽
３３内でキャリヤー７が次のようにしてリンスされる。

【０１５１】(11)乾燥動作 制御手段から高速回転機構に制御手段を出力することに
より、遠心分離台５４を高速回転させる。遠心分離台５
４を高速回転させることにより、遠心分離台５４に装着
されたキャリヤー７に付着する水分が除去され、キャリ
ヤー７の乾燥が行われる。なお、遠心分離台５４に装着
固定されるキャリヤー７が１基だけであるときには、遠
心分離台５４においてそのキャリヤー７が装着される位
置とは回転中心に対して対称の位置に、このキャリヤー
７と同じ形状および重量を有するダミーを装填する。ま
た、このダミーを使用しないときには、遠心分離台５４
上において、互いに対称の位置にキャリヤー７が装着固
定されるようにする。

【０１５２】(12)第２のキャリヤー移送動作 前記乾燥動作が終了すると、遠心分離台５４にあるキャ
リヤー７が第１移送手段３によりキャリヤー収容手段２
に移送される。

【０１５３】制御手段から制御信号が回転手段１５に出
力されて、ローラ１５Ａが回転し、ローラ１５Ａの回転
により回転基台５が回転する。回転基台５は、載置台８
におけるキャリヤー７の載置されていない位置（空席と
なっている位置）が第１移送手段３に臨むところで、停
止する。

【０１５４】制御手段から、第１移送手段３に制御信号
が出力され、第１移送手段３が駆動する。すなわち、第
１把持手段移動手段を駆動して第１把持手段１６を、遠
心分離台５４に載置されたキャリヤー７に向かわせる。
この場合、第１把持手段１６の初期位置がキャリヤー７
に臨む位置ではないときには、第１把持手段回動機構、
第１把持手段水平移動機構および第１把持手段昇降機構
を駆動して、遠心分離台５４上に載置されたキャリヤー
７に第１把持手段１６を向かわせる。次いで、第１把持
手段水平移動機構中の第１把持手段Ｙ方向移動機構を駆
動して、第１把持手段１６をキャリヤー７に向かって前
進させる。第１把持手段１６における一対の把持片１８
間にキャリヤー７が位置するようになったところで、第
１把持手段Ｙ方向移動機構の駆動を停止する。第１把持
手段１６における駆動ボックス内の駆動源を駆動して一
対の把持片１８を互いに接近させるようにして、キャリ
ヤー７の第２垂直面部７ｄの外側を一対の把持片１８で
挟む。一対の把持片１８でキャリヤー７を把持したま
ま、この第１把持手段１６を、第１把持手段Ｙ方向移動
機構を駆動して後退させ、所定の位置で停止する。第１
把持手段回動機構を駆動して、第１把持手段１６の向き
を１８０度変える。次いで、第１把持手段Ｘ方向移動機
構を駆動して、キャリヤー７を把持した第１把持手段１
６を水平移動させ、キャリヤー収容手段２における前記
空席に臨む位置で、第１把持手段Ｘ方向移動機構の駆動
を停止させることにより第１把持手段１６の水平移動を
停止させる。次いで第１把持手段Ｙ方向移動機構を駆動
して、キャリヤー７を把持した第１把持手段１６をＹ方
向に水平移動させ、キャリヤ収容手段における前記空席
の上方にキャリヤー７を位置させる。第１把持手段昇降
機構を駆動して第１把持手段１６を下降させる。キャリ
ヤー７がキャリヤー収容槽３３内に装填されると、一対
の把持片１８が互いに離反するように駆動されて第１把
持手段１６はキャリヤー７を解放する。キャリヤー７を
解放した第１把持手段１６は、第１把持手段昇降機構に
より上昇し、次いで、第１把持手段Ｙ方向移動機構の駆
動により後退し、所定の位置で停止し、次のキャリヤー
７を把持するために待機する。

【０１５５】(13)繰り返しの連続動作 以上のようにして、たとえば第１番目のキャリヤー７が
洗浄、乾燥され、乾燥後にキャリヤー収容手段２の載置
台８上の元の位置に戻される。そして、キャリヤー収容
手段２の載置台８上に配置されている第２番目のキャリ
ヤー７およびその後に続くキャリヤー７が前述したのと
同様の動作にしたがって、洗浄、乾燥されていく。

【０１５６】−利点− この発明の具体例であるキャリヤー洗浄装置１による
と、多数のキャリヤー７を収容したキャリヤー収容手段
２から、キャリヤー７を次々と自動的に洗浄手段４、乾
燥手段６に移送し、キャリヤー７を自動的に次々と洗浄
し、乾燥し、そしてキャリヤー収容手段２の元の位置に
戻すことができる。しかもこのキャリヤー洗浄装置１
は、第１移送手段３を挟んでキャリヤー収容手段２と洗
浄手段４および乾燥手段６が配置され、しかもこの第１
移送手段３に平行となるように前記洗浄手段４および乾
燥手段６が配置され、この洗浄手段４と乾燥手段６との
間に第２移送手段５が配置されているので、装置全体を
コンパクトにすることができる。しかも各手段の動作を
無駄のない合理的なものとなっている。

【０１５７】

【発明の効果】この発明によると、多数のキャリヤーを
短時間で洗浄することのできる小型のキャリヤー洗浄装
置を提供することができる。

【０１５８】この発明によると、簡単な機構で動作し、
かつ容易に操作することのできるキャリヤー洗浄装置を
提供することにある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置の平面における配置関係および各部の構造を示
す概略説明図である。

【図２】図２は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置によりキャリヤーを示す斜視図である。

【図３】図３は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置における第１移送手段を示す概略説明図であ
る。

【図４】図４は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置における第１把持部材を示す概略説明図であ
る。

【図５】図５は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置を正面から見たときのキャリヤー収納手段、洗
浄手段、移送手段の配置関係および各部の構造を示す概
略説明図である。

【図６】図６は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置を俯瞰したときの洗浄手段を示す概略説明図で
ある。

【図７】図７は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置を側面から見たときの洗浄手段および乾燥手段
の配置関係および各部の構造を示す平面図である。

【図８】図８は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置における回転ブラシの駆動部およびその周辺部
分を示す側面図である。

【図９】図９は、この発明の一具体例であるキャリヤー
洗浄装置における回転ブラシを示す斜視図である。

【図１０】図１０は、この発明の一具体例であるキャリ
ヤー洗浄装置における洗浄手段中の底板駆動手段を、そ
の一部を切欠した断面で示す概略説明図である。

【図１１】図１１は、この発明の一具体例であるキャリ
ヤー洗浄装置における洗浄手段における第２リンス位置
部分を一部切欠断面をもって示す概略説明図である。

【図１２】図１２は、この発明の一具体例であるキャリ
ヤー洗浄装置における洗浄手段の一部であるキャリヤー
収容槽内に収容されたキャリヤーを回転ブラシで摺擦洗
浄する作用を示すための概略説明図である。

【図１３】図１３は、従来のキャリヤー洗浄装置を、そ
の一部を切欠して内部をあらわにして示す概略正面図で
ある。

【図１４】図１４は、従来のキャリヤー洗浄装置を、装
置各部の配置関係およびその構造を説明するための概略
説明図である。

【符号の説明】

１・・・キャリヤー洗浄装置、２・・・キャリヤー収容
手段、３・・・第１移送手段、４・・・洗浄手段、５・
・・第２移送手段、６・・・乾燥手段、７・・・キャリ
ヤー、７ａ・・・底面部、７ｂ・・・第１垂直面部、７
ｃ・・・斜面部、７ｄ・・・第２垂直面部、７ｅ・・・
溝部、８・・・載置台、９・・・回転基台、９Ａ・・支
持柱、１０・・・運搬台車、１１・・・キャスター、１
２・・・走行基台、１３・・・側面部把手、１４・・・
正面部把手、１５・・・回転手段、１５Ａ・・・ロー
ラ、１５Ｂ・・・可動腕体、１５Ｃ・・・シリンダー装
置、１６・・・第１把持手段、１７・・・第１把持手段
移動手段、１８・・・把持片、１９・・・把持片支持部
材、２０・・・駆動ボックス、２１・・・懸垂支持体、
２２・・・第１Ｘ方向レール、２３・・・第１Ｘ方向レ
ール支持部材、２４・・・第１Ｘ方向走行体、２５・・
・第１スクリュー螺子、２６・・・第１垂直走行体、２
７・・・第１垂直レール、２８・・・第１垂直レール支
持体、２９・・・第１Ｙ方向走行体、３０・・・第１Ｙ
方向レール、３１・・・回転装着台、３２・・・回転
軸、３３・・・キャリヤー収容槽、３４・・・開口部、
３５・・・貫通口、３６・・・底板、３７・・・ピスト
ンロッド、３８・・・シリンダー、３９・・・底板駆動
手段、４０・・・回転ブラシ、４１・・・回転ブラシ移
動機構、４２・・・支持部材、４３・・・ベース、４４
・・・回動軸、４５・・・上下走行部材、４６・・・昇
降ガイドレール、４７・・・シャワーノズル、４８・・
・把持部、４９・・・駆動部、５０・・・水平腕部、５
１・・・垂直腕部、５２・・・垂直走行案内部、５３・
・・水平走行案内部、５４・・・遠心分離台。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状物を収納するキャリヤーを搭載す
   るキャリヤー収容手段と、前記キャリヤーを洗浄する洗
   浄手段と、前記キャリヤーを乾燥する乾燥手段と、前記
   キャリヤー収容手段におけるキャリヤーを前記洗浄手段
   に移送し、前記洗浄手段で洗浄されたキャリヤーを前記
   乾燥手段に移送し、前記乾燥手段で乾燥されたキャリヤ
   ーをキャリヤー収容手段に移送するキャリヤー移送手段
   と、前記洗浄手段、乾燥手段およびキャリヤー移送手段
   の動作を制御する制御手段とを有することを特徴とする
   キャリヤー洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記キャリヤー収容手段は、運搬台車
   と、前記キャリヤーを載置可能に形成され、かつ水平面
   内で回転可能な載置台とを有してなる前記請求項１に記
   載のキャリヤー洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄手段は、前記キャリヤーを搭載
   可能に形成され、かつ回転可能な回転装着台と、前記キ
   ャリヤーを洗浄し、リンスするように形成されたシャワ
   ースクラブ機構およびリンス機構とを有してなる前記請
   求項１〜２のいずれかに記載のキャリヤー洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記乾燥手段は、前記移送手段によって
   移送されたキャリヤーを搭載可能に形成され、かつ回転
   可能な遠心分離台を有してなる前記請求項１〜３のいず
   れかに記載のキャリヤー洗浄装置。
5. 【請求項５】 前記移送手段は、前記キャリヤー収容手
   段にあるキャリヤーを移送して前記洗浄手段に装填し、
   前記乾燥手段で乾燥されたキャリヤーを前記キャリヤー
   収容手段に移送する第１移送手段と、前記洗浄手段で洗
   浄されたキャリヤーを前記乾燥手段に装填する第２移送
   手段とを有する前記請求項１〜４のいずれかに記載のキ
   ャリヤ洗浄装置。
6. 【請求項６】 前記第１移送手段は、前記キャリヤーを
   把持する第１把持手段と、前記第１把持手段の回動、水
   平移動および昇降移動を行うことができるように第１把
   持手段回動機構、第１把持手段水平移動機構および第１
   把持手段昇降機構とを有してなり、前記第２移送手段
   は、キャリヤーを把持する第２把持手段と、キャリヤー
   を把持した第２把持手段を前記洗浄手段から前記乾燥手
   段に移送する第２把持手段移動手段とを有してなる前記
   請求項１〜４のいずれかに記載のキャリヤ洗浄装置。
7. 【請求項７】 前記円板状物は、シリコンウェハーであ
   る記請求項１〜６のいずれかに記載のキャリヤー洗浄装
   置。