JPH09198775A - プリフォーマット基板の欠陥検査方法 - Google Patents
プリフォーマット基板の欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPH09198775A JPH09198775A JP922896A JP922896A JPH09198775A JP H09198775 A JPH09198775 A JP H09198775A JP 922896 A JP922896 A JP 922896A JP 922896 A JP922896 A JP 922896A JP H09198775 A JPH09198775 A JP H09198775A
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- masking
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ディスクのスタンパーや樹脂基板等のよう
なプリフォーマット（予め転写された凹凸ピット情報）
が形成された基板の欠陥を検査する方法を提供する。 【解決手段】 凹凸ピットからなるプリフォーマット情
報が設けられた基板の欠陥を検査する方法であって、基
板を再生装置によって再生し、その再生信号からプリフ
ォーマット信号に相当するマスキング信号を生成し、一
方、再生信号を遅延させた遅延再生信号を生成させ、こ
の遅延再生信号とマスキング信号とを比較して遅延再生
信号のプリフォーマット信号をカットすることにより欠
陥信号を検出することを特徴とするプリフォーマット基
板の欠陥検査方法。
なプリフォーマット（予め転写された凹凸ピット情報）
が形成された基板の欠陥を検査する方法を提供する。 【解決手段】 凹凸ピットからなるプリフォーマット情
報が設けられた基板の欠陥を検査する方法であって、基
板を再生装置によって再生し、その再生信号からプリフ
ォーマット信号に相当するマスキング信号を生成し、一
方、再生信号を遅延させた遅延再生信号を生成させ、こ
の遅延再生信号とマスキング信号とを比較して遅延再生
信号のプリフォーマット信号をカットすることにより欠
陥信号を検出することを特徴とするプリフォーマット基
板の欠陥検査方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプリフォーマット基
板の欠陥検査方法に関する。詳しくは、光ディスクのス
タンパーや樹脂基板等のようなプリフォーマット（予め
転写された凹凸ピット情報）が形成された基板の欠陥を
検査する方法に関するものである。
板の欠陥検査方法に関する。詳しくは、光ディスクのス
タンパーや樹脂基板等のようなプリフォーマット（予め
転写された凹凸ピット情報）が形成された基板の欠陥を
検査する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光磁気ディスクのような記録媒体は基板
に磁気記録層が設けられており、レーザーと磁気により
記録が行なわれるようになっている。通常、このような
光磁気ディスクにはプリフォーマットが形成されてい
る。プリフォーマットとは、記録情報を管理するための
セクターマークやセクターＮｏ、トラッキング用のグル
ーブ等の予め凹凸で形成した部分を云い、基板を樹脂等
で成形する際に金型中に取付けられたスタンパーから転
写されることにより形成される。
に磁気記録層が設けられており、レーザーと磁気により
記録が行なわれるようになっている。通常、このような
光磁気ディスクにはプリフォーマットが形成されてい
る。プリフォーマットとは、記録情報を管理するための
セクターマークやセクターＮｏ、トラッキング用のグル
ーブ等の予め凹凸で形成した部分を云い、基板を樹脂等
で成形する際に金型中に取付けられたスタンパーから転
写されることにより形成される。
【０００３】光ディスクの樹脂基板やスタンパーと呼ば
れる原盤（基板）においてはミクロンオーダー又はオン
グストロームオーダーの記録が行なわれるため、樹脂基
板やスタンパーの表面に微小な欠陥や付着物が存在して
も製品としては用い得ないこととなる。そのため、樹脂
基板やスタンパーの表面の欠陥の検査は重要となる。
れる原盤（基板）においてはミクロンオーダー又はオン
グストロームオーダーの記録が行なわれるため、樹脂基
板やスタンパーの表面に微小な欠陥や付着物が存在して
も製品としては用い得ないこととなる。そのため、樹脂
基板やスタンパーの表面の欠陥の検査は重要となる。
【０００４】プリフォーマットを有する基板上に欠陥す
なわち異物や傷があるとレーザー光等で再生した際その
異物や傷の部分でレーザー光が散乱され、反射率（再生
信号）の急激な変動が生じる。この変動はそのまま再生
信号の変動に現われるので、この変動を捕えて基板の欠
陥検査を行ない得る。しかしながら、基板にはプリフォ
ーマットとして設けた凹凸があり、この凹凸部分も反射
率（再生信号）の急激な変動を起こすので、このプリフ
ォーマットの凹凸を欠陥として検出しないための工夫が
必要である。従来は、検査機（再生装置）のディスク
（基板）の回転数等からプリフォーマット部分が再生さ
れるタイミングを時間的に計算し、これを検査機にセッ
トすることによりプリフォーマット部分を再生している
時間をカット（マスキング）し、プリフォーマット部分
以外の部分の検査を行なっていた。
なわち異物や傷があるとレーザー光等で再生した際その
異物や傷の部分でレーザー光が散乱され、反射率（再生
信号）の急激な変動が生じる。この変動はそのまま再生
信号の変動に現われるので、この変動を捕えて基板の欠
陥検査を行ない得る。しかしながら、基板にはプリフォ
ーマットとして設けた凹凸があり、この凹凸部分も反射
率（再生信号）の急激な変動を起こすので、このプリフ
ォーマットの凹凸を欠陥として検出しないための工夫が
必要である。従来は、検査機（再生装置）のディスク
（基板）の回転数等からプリフォーマット部分が再生さ
れるタイミングを時間的に計算し、これを検査機にセッ
トすることによりプリフォーマット部分を再生している
時間をカット（マスキング）し、プリフォーマット部分
以外の部分の検査を行なっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の方法では、光デ
ィスクの記録容量を増加するためにフォーマットを変更
したりした場合にはマスキングのタイミングを変更しな
ければならず、基板の内周と外周の速度差やプリフォー
マット部分のわずかな長さの相違にも対応してマスキン
グを全てのフォーマット部分に設定しなければならない
ことから多大な手間を要するし、信号発生のための精密
な信号発生回路が必要になる等の問題があり、解決手段
が望まれていた。
ィスクの記録容量を増加するためにフォーマットを変更
したりした場合にはマスキングのタイミングを変更しな
ければならず、基板の内周と外周の速度差やプリフォー
マット部分のわずかな長さの相違にも対応してマスキン
グを全てのフォーマット部分に設定しなければならない
ことから多大な手間を要するし、信号発生のための精密
な信号発生回路が必要になる等の問題があり、解決手段
が望まれていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述のよう
な課題を解決すべく鋭意検討した結果、基板の再生信号
から、プリフォーマット信号に対応するマスキング信号
を生成し、このマスキング信号を、遅延させた再生信号
にかぶせる（比較する）ことによりプリフォーマット部
分をマスキングし、欠陥信号を検出することが可能とな
り、基板の欠陥検査が行ない得ることを見出し、本発明
を完成するに至った。本発明の要旨は凹凸ピットからな
るプリフォーマット情報が設けられた基板の欠陥を検査
する方法であって、基板を再生装置によって再生し、そ
の再生信号からプリフォーマット信号に相当するマスキ
ング信号を生成し、一方、再生信号を遅延させた遅延再
生信号を生成させ、この遅延再生信号とマスキング信号
とを比較して遅延再生信号のプリフォーマット信号をカ
ットすることにより欠陥信号を検出することを特徴とす
るプリフォーマット基板の欠陥検査方法に存する。
な課題を解決すべく鋭意検討した結果、基板の再生信号
から、プリフォーマット信号に対応するマスキング信号
を生成し、このマスキング信号を、遅延させた再生信号
にかぶせる（比較する）ことによりプリフォーマット部
分をマスキングし、欠陥信号を検出することが可能とな
り、基板の欠陥検査が行ない得ることを見出し、本発明
を完成するに至った。本発明の要旨は凹凸ピットからな
るプリフォーマット情報が設けられた基板の欠陥を検査
する方法であって、基板を再生装置によって再生し、そ
の再生信号からプリフォーマット信号に相当するマスキ
ング信号を生成し、一方、再生信号を遅延させた遅延再
生信号を生成させ、この遅延再生信号とマスキング信号
とを比較して遅延再生信号のプリフォーマット信号をカ
ットすることにより欠陥信号を検出することを特徴とす
るプリフォーマット基板の欠陥検査方法に存する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の方法の具体例を光ディス
クの場合を例に説明する。光ディスクの場合は、前述し
たようにプリフォーマット情報を微小凹凸にして形成し
たスタンパーを金型内に固定し、合成樹脂を射出成形し
てプリフォーマット情報が転写された樹脂基板を得てい
る。このような場合、検査が必要なのはスタンパーを形
成する基材の表面、スタンパーの表面、樹脂基板の表面
等であるから、本発明では、これら凹凸のプリフォーマ
ット情報を有する基材、スタンパー、基板等を含め、基
板という。
クの場合を例に説明する。光ディスクの場合は、前述し
たようにプリフォーマット情報を微小凹凸にして形成し
たスタンパーを金型内に固定し、合成樹脂を射出成形し
てプリフォーマット情報が転写された樹脂基板を得てい
る。このような場合、検査が必要なのはスタンパーを形
成する基材の表面、スタンパーの表面、樹脂基板の表面
等であるから、本発明では、これら凹凸のプリフォーマ
ット情報を有する基材、スタンパー、基板等を含め、基
板という。
【０００８】本発明の検査方法につき図面を用いて説明
する。図１は本発明の方法で得られる信号を模式的に示
す図である。図中〜、ａ〜ｃは各種の信号を示して
いる。本発明の検査方法はまず、プリフォーマット情報
を有する基板を検査装置（再生装置）に掛け、その再生
信号を得る。図１は再生信号であり、ａはプリフォー
マットにより形成された信号であり、ｂは異物が付着し
たり、記録層が欠落したりして生じた表面欠陥によって
生じた欠陥信号を表わす。図１は図１の再生信号を
基準にしてマスク発生回路により発生させたプリフォー
マット信号マスクするマスキング信号ｃを表わす。この
マスキング信号は再生信号から生成させるので本来の再
生信号より遅い信号となる。図１は図１の再生信号
を基準にして遅延回路により再生信号を遅延させた遅延
再生信号を表わす。
する。図１は本発明の方法で得られる信号を模式的に示
す図である。図中〜、ａ〜ｃは各種の信号を示して
いる。本発明の検査方法はまず、プリフォーマット情報
を有する基板を検査装置（再生装置）に掛け、その再生
信号を得る。図１は再生信号であり、ａはプリフォー
マットにより形成された信号であり、ｂは異物が付着し
たり、記録層が欠落したりして生じた表面欠陥によって
生じた欠陥信号を表わす。図１は図１の再生信号を
基準にしてマスク発生回路により発生させたプリフォー
マット信号マスクするマスキング信号ｃを表わす。この
マスキング信号は再生信号から生成させるので本来の再
生信号より遅い信号となる。図１は図１の再生信号
を基準にして遅延回路により再生信号を遅延させた遅延
再生信号を表わす。
【０００９】図１は図１の遅延再生信号と図１で
生成したマスク信号を比較（マスキング）して非同一信
号を得ることにより欠陥信号ｂ′を検出したことを示
す。この方法で、重要なポイントとなるのは、再生信号
中のプリフォーマット信号と欠陥信号を区別し、プリフ
ォーマット信号にのみマスキング信号をかぶせる手段で
ある。
生成したマスク信号を比較（マスキング）して非同一信
号を得ることにより欠陥信号ｂ′を検出したことを示
す。この方法で、重要なポイントとなるのは、再生信号
中のプリフォーマット信号と欠陥信号を区別し、プリフ
ォーマット信号にのみマスキング信号をかぶせる手段で
ある。
【００１０】その具体的手段の一例を挙げる。図２にそ
の工程を示した。図２は再生信号パターンを示し、図
２ののａはプリフォーマット信号、ｂ，ｃは欠陥信号
である。まず、の再生信号をローパスフィルターに通
し、高周波部分をカットし、波形をなまらせる。波形を
なまらせた図２のに示す信号に予めわかっているプリ
フォーマット信号レベルの上下、すなわちレベルＸ、レ
ベルＹで信号をスライスする。
の工程を示した。図２は再生信号パターンを示し、図
２ののａはプリフォーマット信号、ｂ，ｃは欠陥信号
である。まず、の再生信号をローパスフィルターに通
し、高周波部分をカットし、波形をなまらせる。波形を
なまらせた図２のに示す信号に予めわかっているプリ
フォーマット信号レベルの上下、すなわちレベルＸ、レ
ベルＹで信号をスライスする。
【００１１】この時点でスライスレベルＸに達しない欠
陥信号ｃはカットされ、信号ｂが短信号として残る（図
２の）。信号ｂは、予めわかっているプリフォーマッ
ト信号の長さより極めて短かいので、プリフォーマット
信号とみなさずカットする。得られた信号は図２のに
示すようにプリフォーマット信号と大きさ及び長さの等
しい信号のみとなる。すなわち、再生信号の大きさの範
囲及び長さ（時間）の範囲でプリフォーマットか否かを
認識している。このようにして得られた信号をマスキン
グ信号として用いる。得られたマスキング信号は再生信
号を用いて作られたものであるから、その生成時間分、
再生信号よりタイミングが遅くなる。従って、このマス
キング信号を直接再生信号にかぶせることはできないの
で再生信号を遅延回路等により所定時間遅らせて、マス
キング信号と同期させることが行なわれる。
陥信号ｃはカットされ、信号ｂが短信号として残る（図
２の）。信号ｂは、予めわかっているプリフォーマッ
ト信号の長さより極めて短かいので、プリフォーマット
信号とみなさずカットする。得られた信号は図２のに
示すようにプリフォーマット信号と大きさ及び長さの等
しい信号のみとなる。すなわち、再生信号の大きさの範
囲及び長さ（時間）の範囲でプリフォーマットか否かを
認識している。このようにして得られた信号をマスキン
グ信号として用いる。得られたマスキング信号は再生信
号を用いて作られたものであるから、その生成時間分、
再生信号よりタイミングが遅くなる。従って、このマス
キング信号を直接再生信号にかぶせることはできないの
で再生信号を遅延回路等により所定時間遅らせて、マス
キング信号と同期させることが行なわれる。
【００１２】すなわち、マスキング信号は、マスキング
されるべきプリフォーマット信号から生成されるので、
その大きさ及び時間は完全に一致したものとなる。マス
キング信号は各プリフォーマット信号ごとに作られるの
で、ディスクの内外周におけるプリフォーマット信号の
長短やピット間隔の変動に対しても対応可能となる。こ
のようにして得られたマスキング信号は遅延した再生信
号と比較（マスキング）することにより図１で説明した
ように欠陥信号が検出される。なお、再生信号をアナロ
グ状態で遅延させることは容易でないので、再生信号を
デジタル化（２値化と称す）してメモリー格納する等し
て遅延させて行なうのが好ましい。再生信号をもとにし
て生成させたマスク信号も２値化してメモリ格納を行う
のが良い。
されるべきプリフォーマット信号から生成されるので、
その大きさ及び時間は完全に一致したものとなる。マス
キング信号は各プリフォーマット信号ごとに作られるの
で、ディスクの内外周におけるプリフォーマット信号の
長短やピット間隔の変動に対しても対応可能となる。こ
のようにして得られたマスキング信号は遅延した再生信
号と比較（マスキング）することにより図１で説明した
ように欠陥信号が検出される。なお、再生信号をアナロ
グ状態で遅延させることは容易でないので、再生信号を
デジタル化（２値化と称す）してメモリー格納する等し
て遅延させて行なうのが好ましい。再生信号をもとにし
て生成させたマスク信号も２値化してメモリ格納を行う
のが良い。
【００１３】
【発明の効果】一枚のディスク中においてもプリフォー
マット信号は、ディスクの外周になるほど数は増加し、
ピット同志の間隔（時間的）が短かくなるが、本発明の
方法によれば、このような変動にも対応することができ
る。本発明の方法では、プリフォーマットの細かなパタ
ーンを見る必要がなく、簡易な回路でプリフォーマット
を検出できるだけでなく、フォーマットのパターンの変
化に対しても、スライスレベルとプリフォーマットと判
断する時間を変更することで対応できる。従って、フォ
ーマットを変更した際に予めプリフォーマット信号の大
きさと幅を、ある程度の許容幅を持たせて設定してやる
だけで、幅広く種々のディスクの欠陥検査に適用でき
る。
マット信号は、ディスクの外周になるほど数は増加し、
ピット同志の間隔（時間的）が短かくなるが、本発明の
方法によれば、このような変動にも対応することができ
る。本発明の方法では、プリフォーマットの細かなパタ
ーンを見る必要がなく、簡易な回路でプリフォーマット
を検出できるだけでなく、フォーマットのパターンの変
化に対しても、スライスレベルとプリフォーマットと判
断する時間を変更することで対応できる。従って、フォ
ーマットを変更した際に予めプリフォーマット信号の大
きさと幅を、ある程度の許容幅を持たせて設定してやる
だけで、幅広く種々のディスクの欠陥検査に適用でき
る。
【図１】本発明の方法で得られる信号を模式的に示す
図。
図。
【図２】マスキング信号を作る工程を模式的に示す図。
ａ プリフォーマット信号 ｂ 欠陥信号 ｃ 欠陥信号
Claims (1)
- 【請求項１】 凹凸ピットからなるプリフォーマット情
報が設けられた基板の欠陥を検査する方法であって、基
板を再生装置によって再生し、その再生信号からプリフ
ォーマット信号に相当するマスキング信号を生成し、一
方、再生信号を遅延させた遅延再生信号を生成させ、こ
の遅延再生信号とマスキング信号とを比較して遅延再生
信号のプリフォーマット信号をカットすることにより欠
陥信号を検出することを特徴とするプリフォーマット基
板の欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP922896A JPH09198775A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | プリフォーマット基板の欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP922896A JPH09198775A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | プリフォーマット基板の欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09198775A true JPH09198775A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=11714561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP922896A Pending JPH09198775A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | プリフォーマット基板の欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09198775A (ja) |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP922896A patent/JPH09198775A/ja active Pending
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