JPH09196205A - ３ポート弁 - Google Patents

３ポート弁

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JPH09196205A
JPH09196205A JP8019248A JP1924896A JPH09196205A JP H09196205 A JPH09196205 A JP H09196205A JP 8019248 A JP8019248 A JP 8019248A JP 1924896 A JP1924896 A JP 1924896A JP H09196205 A JPH09196205 A JP H09196205A
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JP
Japan
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valve
port
valve seat
seat
seal surface
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JP8019248A
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Tsuneo Ishigaki
恒雄 石垣
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
    • F16K31/0603—Multiple-way valves
    • F16K31/0624—Lift valves
    • F16K31/0627—Lift valves with movable valve member positioned between seats
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
    • F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
    • F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
    • F16K11/044—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves with movable valve members positioned between valve seats
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    • Y10T137/00—Fluid handling
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Multiple-Way Valves (AREA)
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  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ３ポート弁において、その切換時に、切換前
の流路と切換後の流路との接触を生ずることなく、流路
の切換が行われるようにすることを課題とする。 【解決手段】 本発明の３ポート弁は、中央弁室42内に
第１弁座55及び第２弁座56が対向して配置され、第１弁
座55を貫通する第１通路49が第１ポート45に連通され、
第２弁座56を貫通する第２通路51が第２ポート47に連通
され、中央弁室42が第３ポート46に連通される。第１弁
座55と第２弁座56との間に第１シール面76と第２シール
面77とを有する弁体が配設され、弁体の第１シール面76
と第２シール面77との間の距離が可変とされる。弁体の
シール面76,77 の少なくとも一つが常に第１弁座55又は
第２弁座56と密着し、弁の切換動作の段階で弁体の２つ
のシール面76,77 が第１弁座55又は第２弁座56に同時に
密着するようにされた。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種流体の切換に
用いられる３ポート弁に関し、例えば真空ポンプ、真空
チャンバー、大気の相互間の切換に用いられるものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の３ポート弁（具体的には３
ポート電磁弁）を示す。この３ポート弁にはボディ部11
とソレノイド部12とがあり、ボディ部11とソレノイド部
12とはスペーサ13を介して連結され、ボディ部11の下部
にはリテイナ14が固定されている。上面視でソレノイド
部12の中心には、上端に位置する固定鉄心16、及び固定
鉄心16の外面に連結され下方に延びる案内筒17があり、
案内筒17の外周には上下一対の磁性フランジ部材18、19
とボビン20が連結されている。ボビン20にはソレノイド
21が装着され、ソレノイド21及びボビン20の外周はカバ
ー部材22、23及び枠体24、25により覆われ保護されてい
る。枠体24、25の外側は合成樹脂本体26により固定さ
れ、枠体24、25と環状のスペーサ13とが皿ばね27を介し
て連結されている。案内筒17の下端部はスペーサ13の下
端部に連結され、固定鉄心16の上部環状溝には板部材28
とスナップリング29とが係合され、合成樹脂本体26の位
置決めがなされる。
【０００３】ボディ部11のボディ本体32には、上向きに
突出した上方円筒部33、一側（図４では左側）に突出し
た一側円筒部34、他側（図４では右側）に突出した他側
円筒部35、第２ポート47が形成された内部の第２ポート
ブロック37が一体に形成される。ボディ本体32の中心部
には、上下方向に貫通する中央孔39が形成され、前記第
２ポートブロック37は中央孔39内を横切って位置してい
る。中央孔39の上端は上方円筒部33の内部に連通され、
中央孔39の下端はリテイナ14の環状突起41と嵌合され、
中央孔39内には中央弁室42が形成される。リテイナ14に
は一側及び上方に開口された断面Ｌ字状の連通路53が形
成され、連通路53の一側端部は栓部材44により閉鎖され
ている。他側円筒部35内には第１ポート45が形成され、
一側円筒部34内には第３ポート46が形成され、第１ポー
ト45と連通路53とは、上下に伸びる連通路52によって連
通される。リテイナ14の環状突起41の内側の壁体の中央
に、環状に突出した第１弁座55が形成され、第１弁座55
内を貫通された第１通路49は、連通路53と中央弁室42と
を連通する。第２ポートブロック37の下側中央位置に、
環状に突出した第２弁座56が形成され、第２弁座56内を
貫通する第２通路51は、第２ポート47と中央弁室42とを
連通する。図示のとおり、第１弁座55と第２弁座56とは
同一軸線上の相互に対向する位置に配設され、往復動作
される弁体40により交互に閉鎖される。第３ポート46と
中央弁室42とは第３通路50により連通され、第３通路50
は中央孔39の一側側に開口している。
【０００４】図３(d) は弁体40を支持する支持具58の拡
大斜視図であり、図４、図３(d) に示すように、支持具
58のリング部59の中央孔に弁体40が嵌着されて、リング
部59の垂直フランジ部の一側と他側に２本の連結杆60が
固定され、連結杆60は上方向に伸びている。リテイナ14
の固定前に、支持具58の連結杆60とリング部59をボディ
本体32の中央孔39に下側から挿入し、連結杆60を第２ポ
ートブロック37と中央孔39との間に挿通させる。中央孔
39の上側からシートスプリング63を挿入して第２ポート
ブロック37の上面に載置し、上部プレート61の外周部の
切欠に連結杆60の上方部を嵌合させ固定させる。こうし
て支持具58が構成され、連結杆60の上端部は上部プレー
ト61の上面より突出し、連結杆60の上端が後記の可動鉄
心64の下端部に当接するように構成される。可動鉄心64
の上端に開口する中央孔内にアーマチュア用スプリング
65が装着され、ソレノイド部12の案内筒17内に下方から
可動鉄心64が往復動自在に挿入され、スプリング65の上
端は固定鉄心16の下端部に係合される。ソレノイド部12
とスペーサ13とが連結された状態で、スペーサ13の小径
部をボディ部11の上方円筒部33の内孔に嵌合させ、固定
させる。このようにして、図４に示す３ポート弁が得ら
れる。
【０００５】アーマチュア用スプリング65とシートスプ
リング63とは互いに押し合うように作用し、スプリング
65による下向きの弾発力は可動鉄心64・支持具58を介し
て弁体40に伝えられ、シートスプリング63による上向き
の弾発力は支持具58を介して弁体40及び可動鉄心64に伝
えられる。アーマチュア用スプリング65の弾発力がシー
トスプリング63の弾発力よりも大きくなるように設定
し、ソレノイド21が消磁状態のとき、図示のように弁体
40が下方に付勢されて弁体40の下側シート面が第１弁座
55に密着し、弁体40の上側シート面が第２弁座56から離
れるようにする。また、ソレノイド21が励磁状態のと
き、可動鉄心64がスプリング65の弾発力に抗して上方に
引き上げられ、可動鉄心64の上端が固定鉄心16の下端に
当接する。そのため、シートスプリング63の弾発力によ
って支持具58及び弁体40が上方に付勢され、弁体40の上
側シート面が第２弁座56に密着し、弁体40の下側シート
面が第１弁座55から離れる。そして、ソレノイド21の励
磁状態において、弁体40の上側シート面が第２弁座56に
密着して第２通路51を確実に閉鎖させるため、弁体40の
ストロークＶＳを可動鉄心64のストロークＡＳより小さ
く設定されている。この設定により、消磁状態のとき弁
体40の下側シート面が第１弁座55に密着することに変わ
りはない。
【０００６】従来の３ポート弁（実際には３ポート電磁
弁）は、弁体40の切換時において、弁体40のシール面が
第１弁座55及び第２弁座56の双方から離れている瞬間が
あり、その瞬間に２つの流体が混合される欠点があっ
た。具体的に説明すると、第１ポート45を真空チャンバ
ーに連通させ、第３ポート46を真空ポンプに連通させ、
第２ポート47を大気に連通させて使用することがある。
ソレノイド21を励磁して弁体40の上側シール面を第２弁
座56に密着させて第２通路51を閉鎖し、弁体40の下側シ
ール面が第１弁座55から離れて第１通路49を開放する。
こうして真空ポンプを作動させると、真空チャンバ内の
流体が真空ポンプにより吸引される。次に、真空ポンプ
の作動を停止し、同時にソレノイド21を消磁すると、ス
プリング65とスプリング63の弾発力の差が弁体40に伝わ
り、弁体40の上側シール面は第２弁座56から離れ弁体40
は第１弁座55に向けて移動する。弁体40の上側シール面
が第２弁座56を離れ、弁体40の下側シール面が第１弁座
55に密着するまでの僅かな瞬間に、大気が第２ポート47
から第２通路51を通って中央弁室42に流入し、第３通路
50、第３ポート46を通って真空ポンプに流れるととも
に、第１通路49、連通路53、52、第１ポート45を通って
真空チャンバに逆流する。このように、３ポート弁が切
り換えられる途中で、第２ポート47と第１ポート45とが
瞬間的に連通され、真空チャンバに大気が逆流して真空
チャンバを汚染する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、３ポート弁
において、その切換時に、切換前の流路と切換後の流路
との導通を生ずることなく、流路の切換が行われるよう
にすることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、中央弁室内に第１弁座及び第２弁座が対
向して配置され、第１弁座を貫通する第１通路が第１ポ
ートに連通され、第２弁座を貫通する第２通路が第２ポ
ートに連通され、中央弁室が第３ポートに連通され、第
１弁座と第２弁座との間に第１シール面と第２シール面
とを有する弁体が配設された３ポート弁において、弁体
の第１シール面と第２シール面との間の距離が可変とさ
れ、弁体のシール面の少なくとも一つが常に第１弁座又
は第２弁座と密着し、弁の切換動作の段階で弁体が中間
付近に位置するとき、弁体の２つのシール面が第１弁座
又は第２弁座に同時に密着するようにされたことを構成
とする。この構成によれば、一方のシール面が一方の弁
座をシールしている状態を維持しつつ他方のシール面が
移動し、他方のシール面が他方の弁座をシールする弁閉
動作の完了後に、一方のシール面と一方の弁座との離隔
が開始される。前記構成において、切換操作部材に支持
具が係合され、支持具に２つのストッパーが形成され、
２つのストッパー間に弁体が装着されたことを構成とす
る。前記の２つの構成において、弁体が第１弁部材、
第２弁部材及びバルブスプリングから構成され、第１弁
部材及び第２弁部材が相互に離れる方向にバルブスプリ
ングの弾発力が作用するようにされ、第１弁部材及び第
２弁部材の外側にシール面が形成された構成、又は弁
体が単一弁部材により構成され、第１シール面と第２シ
ール面との間に弾性体が配設され、弁体内が中空又は中
実にされたことを構成とする。前記３つの構成におい
て、弁体の位置を２位置となし、第１位置において第１
シール面が第１弁座に密着するとともに第２シール面と
第２弁座とが離れ、弁体の中間近くの位置において瞬間
的に第１シール面が第１弁座に密着するとともに第２シ
ール面が第２弁座に密着し、第２位置において第１シー
ル面と第１弁座とが離れるとともに第２シール面が第２
弁座に密着するようにされたことを構成とする。前記３
つの構成において、弁体の位置を３位置となし、第１位
置において第１シール面が第１弁座に密着するとともに
第２シール面と第２弁座とが離れ、第２位置において第
１シール面が第１弁座に密着するとともに第２シール面
が第２弁座に密着し、第３位置において第１シール面と
第１弁座とが離れるとともに第２シール面が第２弁座に
密着するようにされたことを構成とする。前記５つの構
成において、第１ポートが真空チャンバに連通され、第
２ポートが大気に連通され、第３ポートが真空ポンプに
連通されたことを構成とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１、図２、図３(a) は本発明の
３ポート弁の実施の形態を示す図である。これらの図に
おいて、図４・図３(d) の従来例と同一の部材には従来
例と同一の符号を付し、その説明は省略する。発明の実
施の形態の特徴は、弁体を２つに分割し、弁体のいずれ
かのシール面が常に第１弁座55又は第２弁座56に密着
し、弁の切換動作の途中において２つの弁体のシール面
が第１弁座55及び第２弁座56に同時に密着することであ
る。
【００１０】図１、図２、図３(a) に示すように、支持
具58の連結杆60の下端に第１ストッパー67が固定され、
第１ストッパー67より所定距離上方に第２ストッパー68
が固定される。第１ストッパー67と第２ストッパー68と
の間に、第１弁部材70、バルブスプリング72及び第２弁
部材71からなる複合弁体が装着される。第１弁部材70及
び第２弁部材71はともに円板状部分と環状部分が一体と
なった形状であり、第１弁部材70及び第２弁部材71の環
状部分の表面が当接部74、75となる。第１弁部材70の内
側の当接部74と第２弁部材71の内側の当接部75とが向き
合って配置され、互いに向き合ってできる凹部にバルブ
スプリング72が装着され、バルブスプリング72の弾発力
が第１弁部材70と第２弁部材71を互いに離す方向に作用
する。第１弁部材70の外側の第１シール面76が第１弁座
55と対向して配置され、第２弁部材71の外側の第２シー
ル面77が第２弁座56と対向して配置される。第１シール
面76及び第２シール面77はともに平面であり、第１弁座
55及び第２弁座56にそれぞれ密着して、第１通路49及び
第２通路51をそれぞれ閉鎖する。
【００１１】第１ストッパー67及び第２ストッパー68
は、第１弁部材70の第１シール面76及び第２弁部材71の
第２シール面77の位置を所定位置に制限する機能を有す
る。具体的に説明すると、ソレノイド21が励磁されて、
第１ストッパー67及び第２ストッパー68が図２(a) に示
す上方位置にあるとき、第２シール面77は第２弁座56に
密着し、第１シール面76は第１弁座55から離れる。ソレ
ノイド21が消磁されて、第１ストッパー67及び第２スト
ッパー68が図２(c) に示す下方位置にあるとき、第１シ
ール面76は第１弁座55に密着し、第２シール面77は第２
弁座56から離れる。例えば、第１ストッパー67及び第２
ストッパー68が上方位置から中間位置に移行するとき、
第２シール面77が第２弁座56に密着してシールを維持し
つつ、第１シール面76が第１弁座55に密着するよう下方
に移行する。そして、第１ストッパー67及び第２ストッ
パー68が上方位置と下方位置との中間の位置にあると
き、第１シール面76が第１弁座55に密着し、同時に第２
シール面77が第２弁座56に密着するように設定される。
第１ストッパー67及び第２ストッパー68の形状につい
て、図１・図２には簡略に示してあるが、例えば図３
(a) に示すように、従来技術のリング部59を２個用意し
て上下に対向させた形状のものであり、下側のリング部
59ａの環状水平面が第１ストッパー67となり、上側に位
置するリング部59ｂの環状水平面が第２ストッパー68と
なる。第１ストッパー67と第２ストッパー68とを連結す
る連結杆60は、第１弁部材70及び第２弁部材71が装着位
置から抜け出すことを規制しており、幅広のものとする
ことが望ましい。
【００１２】本発明の３ポート弁の実施の形態の作用に
ついて説明する。ソレノイド21が励磁状態のとき、前記
のとおり可動鉄心64がスプリング65の弾発力に抗して上
方に引き上げられ、可動鉄心64の上端が固定鉄心16の下
端に当接する。シートスプリング63の弾発力によって支
持具58が上方に付勢され、支持具58の第１ストッパー67
が第１弁部材70を上方に押圧する。バルブスプリング72
が圧縮され、第１弁部材70の当接部74と第２弁部材71の
当接部75が当接されて、第２弁部材71の第２シール面77
が第２弁座56に密着して第２通路51を閉鎖し、第１弁部
材70の第１シール面76が第１弁座55から離れて第１通路
49を開放する。第１ポート45が連通路52、53、第１通路
49、中央弁室42、第３通路50を介して第３ポート46に連
通され、第２ポート47が閉鎖される。第１ポート45を真
空チャンバーに連通させ、第３ポート46を真空ポンプに
連通させ、第２ポート47を大気に連通させて使用する場
合は、真空チャンバーの流体が第１ポート45、中央弁室
42、第３ポート46等を介して真空ポンプに吸引される。
【００１３】ソレノイド21の消磁状態のとき、図１・図
２(c) に示すように支持具58が、アーマチュア用スプリ
ング65の大きい弾発力とシートスプリング63の小さな弾
発力の差により下方に向けて付勢され、支持具58の第２
ストッパー68が第２弁部材71の上面を下方に向けて押圧
している。バルブスプリング72が圧縮されており、第２
弁部材71の当接部75と第１弁部材70の当接部74が当接さ
れ、第１弁部材70の第１シール面76が第１弁座55に密着
して第１通路49を閉鎖しており、第２弁部材71の第２シ
ール面77が第２弁座56から離れて第２通路51を開放して
いる。第２ポート47は第２通路51、中央弁室42、第３通
路50を介して第３ポート46に連通され、第１ポート45が
閉鎖されている。第１ポート45を真空チャンバーに連通
させ、第３ポート46を真空ポンプに連通させ、第２ポー
ト47を大気に連通させて使用する場合は、大気が第２ポ
ート47、第２通路51、中央弁室42、第３ポート46等を介
して真空ポンプに吸引され、真空チャンバーへの通路は
遮断される。
【００１４】ソレノイド21が励磁状態から消磁状態へ変
わるとき、図２(a) において支持具58の連結杆60が下降
を開始する。第１ストッパー67と第２ストッパー68との
間隔は第１弁部材70及び第２弁部材71の厚みよりも所定
距離だけ大きく、支持具58のストロークが第１弁部材70
・第２弁部材71のストロークより大きいので、第２弁部
材71は第２ストッパー68と接触することなく、第１スト
ッパー67の下降に従って第１弁部材70が下降し始める。
このとき第２弁部材71はバルブスプリング72の弾発力に
より上方に付勢され、第２弁部材71の第２シール面77は
第２弁座56との密着状態を維持する。第１ストッパー67
が更に下降すると、図２(b) に示すストロークの中間近
くの位置に至る。このとき、第２弁部材71の第２シール
面77が継続して第２弁座56と密着して第２通路51を閉鎖
し、同時に第１弁部材70の第１シール面76が第１弁座55
と密着して第１通路49を閉鎖し、３つのポートが全閉状
態となる。この全閉状態のとき、ボディ部11を流れる全
ての流路が遮断される。図２(b) の全閉状態において、
第１弁座55及び第２弁座56が第１シール面76及び第２シ
ール面77によって確実に密閉されるように、第１ストッ
パー67と第２ストッパー68との間隔が第１弁座55と第２
弁座56との間隔（図２(b) において第１シール面76と第
２シール面77との間隔）より若干大きくされている。そ
して、第１弁部材70及び第２弁部材71は、合成ゴム等の
弾性体で作られているので、図２(a)の状態では圧縮さ
れ、図２(b) の状態では圧縮されないので、α＜βとな
る（図２の(a),(b) 参照) 。なお、この実施の態様のよ
うに弁体の位置が２位置の場合には、図２(b) は支持具
58の移動状態の一瞬を示しており、第１ストッパー67と
第２ストッパー68の間隔が大きいと、その大きさに応じ
て弁体の全閉状態の時間が長くなる。
【００１５】支持具58が図２(b) の全閉状態から更に下
降すると、第２ストッパー68の下降に従って第２弁部材
71が下降を開始し、第２弁部材71の第２シール面77が第
２弁座56から離れ、第２通路51の開放が開始される。こ
のとき、第１弁部材70はバルブスプリング72の弾発力に
より下方に付勢され、第１弁部材70の第１シール面76は
第１弁座55との密着状態を維持している。第２ストッパ
ー68が更に下降し、図２(c) の状態に至る。
【００１６】励磁状態から消磁状態に移動する段階で、
必ず図２(b) の全閉状態に至る。図４に示す従来の通常
の３ポート弁は、前記のとおり励磁状態から消磁状態へ
の移行段階において、真空チャンバーの流体が第１ポー
ト45、中央弁室42、第２ポート47、第３ポート46等を介
して真空ポンプ及び大気と瞬間導通することがあるが、
図１及び図２に示す３ポート弁は、図２(b) の状態で全
ての流れが遮断され、真空チャンバーへの通路が遮断さ
れ、次いで大気が第２ポート47、第２通路51、中央弁室
42、第３通路50、第３ポート46を通って真空ポンプに流
れる。従って、真空チャンバーへ大気が逆流することが
なく、真空チャンバーが汚染されない。また、真空ポン
プとしてロータリーポンプを使用する場合には、ロータ
リーポンプの停止時に真空チャンバーへ大気を混入せ
ず、ロータリーポンプ側へ大気を導入することができ、
ロータリーポンプのオイルの浮遊が防止できる。
【００１７】消磁状態から励磁状態に移動する場合も、
移動の段階で必ず図２(b) の全閉状態に至る。この全閉
状態ですべての流路が遮断されるので、切換前の流路と
切換後の流路との接触を生ずることなく、流路の切換が
行われる。
【００１８】図３(b) は発明の実施の形態の弁体の第１
変形例を示し、実施の形態と同じ部材には実施の形態と
同一の符号を付し、その説明は省略する。この第１変形
例では、第１弁部材70の下方部及び第２弁部材71の上方
部に段部及び小径部がそれぞれ形成される。これらの小
径部が第１ストッパー67及び第２ストッパー68の内周面
と接触してガイドされ、各段部が第１ストッパー67及び
第２ストッパー68の水平面と当接し、停止する。
【００１９】図３(c) は発明の実施の形態の弁体の第２
変形例の単一弁部材79を示し、平板状の第１シール面76
と第２シール面77とが蛇腹状の弾性部材80によって接続
され、中空の単一弁部材79内に空気が封入されている。
単一弁部材79内にバルブスプリング72が配設され、バル
ブスプリング72の弾発力及び空気圧が第１シール面76と
第２シール面77とを離す方向に作用している。単一弁部
材79の形状は図示のものに拘束される必要はなく、第１
シール面76と第２シール面77とを有し、第１シール面76
と第２シール面77とを離す方向に力が作用すればよい。
例えば、球状の弾性体の上下の球面を第１シール面76と
第２シール面77となし、内部に密封された空気圧によっ
て第１シール面76と第２シール面77とを離す方向に力を
作用させてもよい。また、球状の中実の弾性体を用い、
その弾性体の弾性で第１シール面76と第２シール面77と
を離す方向に力を作用させてもよい。
【００２０】図１には２位置３ポート電磁弁が示されて
いるが、ソレノイド部12を３位置の電磁弁用のものと置
換して３位置３ポート電磁弁となすことは、当業者が何
らの思考力を要することなく実施できる。３位置３ポー
ト電磁弁とした場合には、図２の(a),(b),(c) の３位置
で確実に停止させることができる。また、電磁作動によ
らず、機械操作、パイロット操作により作動させる３位
置３ポート弁とすることも、同様に実施できる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、３ポート弁において、弁体の
第１シール面と第２シール面との間の距離が可変とさ
れ、弁体のシール面の少なくとも一つが常に第１弁座又
は第２弁座と密着し、弁の切換動作の段階で弁体の２つ
のシール面が第１弁座又は第２弁座に同時に密着するよ
うにされている。従って、３ポート弁の切換時に、切換
前の流路と切換後の流路との導通（接触）を生ずること
なく、流路の切換を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の断面図である。
【図２】図１の要部を示し、図２(a) は弁体の上方位
置、図２(b) は弁体の中間位置、図２(c) は弁体の下方
位置を示す図である。
【図３】図３(a) は実施の形態の支持具の斜視図であ
り、図３(b) は実施の形態の弁体の第１変形例を示す断
面図であり、図３(c) は実施の形態の弁体の第２変形例
の単一弁部材を示す図であり、図３(d) は従来の支持具
の斜視図である。
【図４】従来の３ポート弁の断面図である。
【符号の説明】
42 中央弁室 45 第１ポート 46 第３ポート 47 第２ポート 49 第１通路 50 第３通路 51 第２通路 55 第１弁座 56 第２弁座 76 第１シール面 77 第２シール面

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 中央弁室内に第１弁座及び第２弁座が対
    向して配置され、第１弁座を貫通する第１通路が第１ポ
    ートに連通され、第２弁座を貫通する第２通路が第２ポ
    ートに連通され、中央弁室が第３ポートに連通され、第
    １弁座と第２弁座との間に第１シール面と第２シール面
    とを有する弁体が配設された３ポート弁において、弁体
    の第１シール面と第２シール面との間の距離が可変とさ
    れ、弁体のシール面の少なくとも一つが常に第１弁座又
    は第２弁座と密着し、弁の切換動作の段階で弁体の２つ
    のシール面が第１弁座又は第２弁座に同時に密着するよ
    うにされたことを特徴とする３ポート弁。
  2. 【請求項２】 切換操作部材に支持具が係合され、支持
    具に２つのストッパーが形成され、２つのストッパー間
    に弁体が装着された請求項１記載の３ポート弁。
  3. 【請求項３】 弁体が第１弁部材、第２弁部材及びバル
    ブスプリングから構成され、第１弁部材及び第２弁部材
    が相互に離れる方向にバルブスプリングの弾発力が作用
    するようにされ、第１弁部材及び第２弁部材の外側にシ
    ール面が形成された請求項１又は２記載の３ポート弁。
  4. 【請求項４】 弁体が単一弁部材により構成され、第１
    シール面と第２シール面との間に弾性体が配設され、弁
    体内が中空又は中実にされた請求項１又は２記載の３ポ
    ート弁。
  5. 【請求項５】 弁体の位置を２位置となし、第１位置に
    おいて第１シール面が第１弁座に密着するとともに第２
    シール面と第２弁座とが離れ、弁体の中間近くの位置に
    おいて瞬間的に第１シール面が第１弁座に密着するとと
    もに第２シール面が第２弁座に密着し、第２位置におい
    て第１シール面と第１弁座とが離れるとともに第２シー
    ル面が第２弁座に密着するようにされた請求項１ないし
    ４のいずれか一つに記載された３ポート弁。
  6. 【請求項６】 弁体の位置を３位置となし、第１位置に
    おいて第１シール面が第１弁座に密着するとともに第２
    シール面と第２弁座とが離れ、第２位置において第１シ
    ール面が第１弁座に密着するとともに第２シール面が第
    ２弁座に密着し、第３位置において第１シール面と第１
    弁座とが離れるとともに第２シール面が第２弁座に密着
    するようにされた請求項１ないし４のいずれか一つに記
    載された３ポート弁。
  7. 【請求項７】 第１ポートが真空チャンバに連通され、
    第２ポートが大気に連通され、第３ポートが真空ポンプ
    に連通された請求項１ないし６のいずれか一つに記載さ
    れた３ポート弁。
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