JPH09192857A - Nd:YAGレーザを使用するガラス上へのレーザスクライビング - Google Patents
Nd:YAGレーザを使用するガラス上へのレーザスクライビングInfo
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- JPH09192857A JPH09192857A JP8216462A JP21646296A JPH09192857A JP H09192857 A JPH09192857 A JP H09192857A JP 8216462 A JP8216462 A JP 8216462A JP 21646296 A JP21646296 A JP 21646296A JP H09192857 A JPH09192857 A JP H09192857A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/18—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using absorbing layers on the workpiece, e.g. for marking or protecting purposes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/28—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、基板に吸収されない波長のレーザ
放射によって透明ある意は反射性のガラス等の基板に画
像を彫刻する方法および装置を提供することを目とす
る。 【解決手段】 特有の出力波長を有するレーザ等電磁エ
ネルギのソース12と、表面に画像を彫刻する基板18とを
設け、特有の出力波長を強力に吸収する材料の層16を基
板18の表面18a に設け、吸収材料の層16と前記基板の表
面との間の境界面あるいはその近くに位置された焦点に
ソース12の出力をレンズ14等によって集中させ、移動段
20によって焦点に関して表面18a を移動させ、吸収材料
の層16はソース12の出力を吸収して加熱されて焦点の下
にある表面18a を彫刻するのに十分な温度にされること
を特徴とする。
放射によって透明ある意は反射性のガラス等の基板に画
像を彫刻する方法および装置を提供することを目とす
る。 【解決手段】 特有の出力波長を有するレーザ等電磁エ
ネルギのソース12と、表面に画像を彫刻する基板18とを
設け、特有の出力波長を強力に吸収する材料の層16を基
板18の表面18a に設け、吸収材料の層16と前記基板の表
面との間の境界面あるいはその近くに位置された焦点に
ソース12の出力をレンズ14等によって集中させ、移動段
20によって焦点に関して表面18a を移動させ、吸収材料
の層16はソース12の出力を吸収して加熱されて焦点の下
にある表面18a を彫刻するのに十分な温度にされること
を特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に表面内に
画像を彫刻する方法および装置に関し、特に、パターン
を材料の表面に永久的にマーキングし、あるいは彫刻す
るためにレーザエネルギを使用する方法および装置に関
する。
画像を彫刻する方法および装置に関し、特に、パターン
を材料の表面に永久的にマーキングし、あるいは彫刻す
るためにレーザエネルギを使用する方法および装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】画像をガラスに彫刻する従来の技術は、
尖った器具でガラスの表面を機械的に摩耗させ、粒子流
で表面を摩耗させ(例えばサンドブラスティング等)、
化学的に表面をエッチングすることを含む。これらの技
術のそれぞれは、処理を正確に制御する際の困難、ワー
クピースを広範囲に清掃する必要性、および潜在的に有
害なあるいは有毒の材料の使用等を含むある種の欠点お
よび欠陥を有している。
尖った器具でガラスの表面を機械的に摩耗させ、粒子流
で表面を摩耗させ(例えばサンドブラスティング等)、
化学的に表面をエッチングすることを含む。これらの技
術のそれぞれは、処理を正確に制御する際の困難、ワー
クピースを広範囲に清掃する必要性、および潜在的に有
害なあるいは有毒の材料の使用等を含むある種の欠点お
よび欠陥を有している。
【0003】レーザエネルギは、DeRossett Jr. による
米国特許第5,298,717 号明細書“Method and Apparatus
for Laser Inscription of an Image on a Surface ”
によって明確にされているように、ガラスの表面に画像
を彫刻するために適した手段として認識されてきた。De
Rossett Jr. の試みにおいて、CO2 あるいはエキシマ
レーザが自動車の窓等のワークピースに関して移動さ
れ、それによって、VIN番号、バーコード、あるいは
装飾的なデザイン等の所望されたパターンがエッチング
される。ガラスはそれらの出力波長に対して透過性では
ないので、CO2あるいはエキシマレーザが使用され
る。CO2 レーザを使用したとき、好ましいパワーは1
0乃至20ワットであり、10ワット以下のパワーはガ
ラス表面のエッチングには適さないと言われている。
米国特許第5,298,717 号明細書“Method and Apparatus
for Laser Inscription of an Image on a Surface ”
によって明確にされているように、ガラスの表面に画像
を彫刻するために適した手段として認識されてきた。De
Rossett Jr. の試みにおいて、CO2 あるいはエキシマ
レーザが自動車の窓等のワークピースに関して移動さ
れ、それによって、VIN番号、バーコード、あるいは
装飾的なデザイン等の所望されたパターンがエッチング
される。ガラスはそれらの出力波長に対して透過性では
ないので、CO2あるいはエキシマレーザが使用され
る。CO2 レーザを使用したとき、好ましいパワーは1
0乃至20ワットであり、10ワット以下のパワーはガ
ラス表面のエッチングには適さないと言われている。
【0004】理解されるように、DeRossett Jr. による
技術は、ワークピースが不透明であるビームを出力する
ことができるレーザが選択される必要があるので、幾つ
かのアプリケーションには不都合である。レーザはま
た、著しく高いパワーレベルで動作することも要求され
る。
技術は、ワークピースが不透明であるビームを出力する
ことができるレーザが選択される必要があるので、幾つ
かのアプリケーションには不都合である。レーザはま
た、著しく高いパワーレベルで動作することも要求され
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の目的
は、画像を透明な基板に彫刻するための前述およびその
他の問題を克服する改良された技術を提供することであ
る。
は、画像を透明な基板に彫刻するための前述およびその
他の問題を克服する改良された技術を提供することであ
る。
【0006】本発明の第2の目的は、ガラス基板によっ
て著しく吸収されない出力波長を有するレーザ放射によ
り透明なガラスの基板に画像を彫刻する方法および装置
を提供することである。
て著しく吸収されない出力波長を有するレーザ放射によ
り透明なガラスの基板に画像を彫刻する方法および装置
を提供することである。
【0007】本発明のさらに別の目的は、1.06マイ
クロメートルの出力波長を有する従来のNd:YAGレ
ーザを使用して透明なガラス基板に画像を彫刻する方法
および装置を提供することである。
クロメートルの出力波長を有する従来のNd:YAGレ
ーザを使用して透明なガラス基板に画像を彫刻する方法
および装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】電磁放射線によって基板
の表面にパターンを彫刻する方法および装置によって、
上述およびその他の問題が克服され、本発明の目的が達
成され、そこにおいて、基板は、放射線に対して実質的
に透明であるか、あるいは反射性であってもよい。
の表面にパターンを彫刻する方法および装置によって、
上述およびその他の問題が克服され、本発明の目的が達
成され、そこにおいて、基板は、放射線に対して実質的
に透明であるか、あるいは反射性であってもよい。
【0009】本発明の1形態において、ガラスの基板の
表面にパターンを彫刻する方法が提供される。この方法
は、1.06マイクロメートルの特有の出力波長を有す
るNd:YAGレーザを設け、特有の出力波長に対して
実質的に透過性のガラス基体を設け、テープ等の材料の
層を基板の表面に与えるステップを含んでいる。材料の
層は、特有の出力波長を強力に吸収するように選択され
る。次のステップは、レーザの出力を、ガラス基板と材
料の層との間の境界面あるいはその近くに位置されてい
ることが好ましい焦点に集中させることである。さらに
次のステップは、表面を焦点に関して移動させることで
ある。材料の層は、レーザの出力を吸収して加熱され、
それによって、焦点の下の表面を彫刻するのに十分な温
度になる。すなわち、材料の層によって、レーザは基板
の表面に隣接してプラズマ状態を生成することができ、
それによって、順に、基板の表面に彫刻することができ
る。
表面にパターンを彫刻する方法が提供される。この方法
は、1.06マイクロメートルの特有の出力波長を有す
るNd:YAGレーザを設け、特有の出力波長に対して
実質的に透過性のガラス基体を設け、テープ等の材料の
層を基板の表面に与えるステップを含んでいる。材料の
層は、特有の出力波長を強力に吸収するように選択され
る。次のステップは、レーザの出力を、ガラス基板と材
料の層との間の境界面あるいはその近くに位置されてい
ることが好ましい焦点に集中させることである。さらに
次のステップは、表面を焦点に関して移動させることで
ある。材料の層は、レーザの出力を吸収して加熱され、
それによって、焦点の下の表面を彫刻するのに十分な温
度になる。すなわち、材料の層によって、レーザは基板
の表面に隣接してプラズマ状態を生成することができ、
それによって、順に、基板の表面に彫刻することができ
る。
【0010】本発明によって、レーザ波長に対して透明
でないものだけにワークピースを限定する制限は排除さ
れる。また、機械的摩耗および化学的エッチングを使用
する際に見られる欠点は避けられる。さらに、Nd:Y
AGレーザの出力パワーは、ガラスに彫刻するために上
述のCO2 レーザを使用した際に要求される10乃至2
0ワットの出力パワーよりも著しく少ないことが認めら
れる。さらに、CO2レーザの波長(10.6マイクロ
メートル)と比較して、Nd:YAGレーザの短い波長
(1.06マイクロメートル)によってより良い分解能
で基板に画像を彫刻することができる。
でないものだけにワークピースを限定する制限は排除さ
れる。また、機械的摩耗および化学的エッチングを使用
する際に見られる欠点は避けられる。さらに、Nd:Y
AGレーザの出力パワーは、ガラスに彫刻するために上
述のCO2 レーザを使用した際に要求される10乃至2
0ワットの出力パワーよりも著しく少ないことが認めら
れる。さらに、CO2レーザの波長(10.6マイクロ
メートル)と比較して、Nd:YAGレーザの短い波長
(1.06マイクロメートル)によってより良い分解能
で基板に画像を彫刻することができる。
【0011】本発明の上述およびその他の特徴は、添付
された図面に関連して本発明の詳細な説明からより明確
にされる。
された図面に関連して本発明の詳細な説明からより明確
にされる。
【0012】
【発明の実施の形態】レーザベースの彫刻システム10の
現在の好ましい実施形態を示すために図1および図2が
参照される。レーザ12は、平行ビーム12a を集束対物レ
ンズ14に放射する。集束対物レンズ14は、集中されたビ
ーム12b を焦点12c に与える。ワークピース18は、本発
明によれば、レーザ12から出力された波長を強力に吸収
する不透明な材料の被覆層16を含んでいる。すなわち、
層16は、ビーム12b の全て、あるいはほぼ全てを吸収す
る。本発明の好ましい実施形態において、ワークピース
18は多重軸(x−y)移動段20に結合されている。動作
期間中、移動段20は、焦点12c に関してワークピース18
および不透明材料の被覆層16を制御可能に位置付ける。
レーザエネルギは、材料16内に吸収され、それによっ
て、ワークピース18の表面18a に隣接してプラズマ状態
を作ることができ、それは順にワークピース18の表面18
a を図2に示された文字22によって示されているように
彫刻する。本発明の第2の図示されていない実施形態に
おいて、ワークピース18は位置に固定され、レーザ12お
よび/またはレーザビーム放射システムがワークピース
18の表面18a に関して移動される。
現在の好ましい実施形態を示すために図1および図2が
参照される。レーザ12は、平行ビーム12a を集束対物レ
ンズ14に放射する。集束対物レンズ14は、集中されたビ
ーム12b を焦点12c に与える。ワークピース18は、本発
明によれば、レーザ12から出力された波長を強力に吸収
する不透明な材料の被覆層16を含んでいる。すなわち、
層16は、ビーム12b の全て、あるいはほぼ全てを吸収す
る。本発明の好ましい実施形態において、ワークピース
18は多重軸(x−y)移動段20に結合されている。動作
期間中、移動段20は、焦点12c に関してワークピース18
および不透明材料の被覆層16を制御可能に位置付ける。
レーザエネルギは、材料16内に吸収され、それによっ
て、ワークピース18の表面18a に隣接してプラズマ状態
を作ることができ、それは順にワークピース18の表面18
a を図2に示された文字22によって示されているように
彫刻する。本発明の第2の図示されていない実施形態に
おいて、ワークピース18は位置に固定され、レーザ12お
よび/またはレーザビーム放射システムがワークピース
18の表面18a に関して移動される。
【0013】焦点12c は、表面18a と被覆層16との間の
境界面において、あるいはそれに隣接して位置されるこ
とが好ましい。例えば、焦点12c の位置は、約0.00
1インチ以下の分解能で調整されることができ、焦点12
c は、例えば、表面18a と不透明材料の被覆層16との間
の境界面の数千分の1インチ以内になるように設定され
る。
境界面において、あるいはそれに隣接して位置されるこ
とが好ましい。例えば、焦点12c の位置は、約0.00
1インチ以下の分解能で調整されることができ、焦点12
c は、例えば、表面18a と不透明材料の被覆層16との間
の境界面の数千分の1インチ以内になるように設定され
る。
【0014】本発明によれば、ワークピース18は、レー
ザ12によって出力された波長に対して実質的に透明であ
る。例えば、ワークピース18は、1枚の窓ガラスであっ
てもよく、レーザ12は、1.06マイクロメートルの出
力波長を有するNd:YAGレーザであってもよい。不
透明の材料の層16は、3M社から入手可能な0.002
インチの厚さの琥珀色のカプトン(KaptonTM)テープ
(製品番号5413)で実施されることができる。琥珀色の
テープは、レーザ12によって出力された1.06マイク
ロメートルの放射を強力に吸収するために選択され、ま
た、それによって除去される。テープの除去によって、
結果的に、表面18a を彫刻するのに十分な高温の局所化
された領域が発生する。テープがない場合、レーザのエ
ネルギは、実質的に吸収されずにガラスシートを通過
し、所望されたパターンは表面に刻まれない。
ザ12によって出力された波長に対して実質的に透明であ
る。例えば、ワークピース18は、1枚の窓ガラスであっ
てもよく、レーザ12は、1.06マイクロメートルの出
力波長を有するNd:YAGレーザであってもよい。不
透明の材料の層16は、3M社から入手可能な0.002
インチの厚さの琥珀色のカプトン(KaptonTM)テープ
(製品番号5413)で実施されることができる。琥珀色の
テープは、レーザ12によって出力された1.06マイク
ロメートルの放射を強力に吸収するために選択され、ま
た、それによって除去される。テープの除去によって、
結果的に、表面18a を彫刻するのに十分な高温の局所化
された領域が発生する。テープがない場合、レーザのエ
ネルギは、実質的に吸収されずにガラスシートを通過
し、所望されたパターンは表面に刻まれない。
【0015】別の適切なテープは、Nitto Semiconducto
r Equipment 社から入手できる青みがかった色のレチク
ルテープ(番号18074-6, Roll Plastic Blue, Medium T
ack)である。このテープは、除去の後に基板上にほと
んど残留物を残さないという点で有効である。しかしな
がら、上述の琥珀色のテープは、反復可能性がより良い
ため、使用には好ましい。
r Equipment 社から入手できる青みがかった色のレチク
ルテープ(番号18074-6, Roll Plastic Blue, Medium T
ack)である。このテープは、除去の後に基板上にほと
んど残留物を残さないという点で有効である。しかしな
がら、上述の琥珀色のテープは、反復可能性がより良い
ため、使用には好ましい。
【0016】本発明の好ましい実施形態において、対物
レンズ14は60ミリメートルで実施されており、U.S.La
ser Company から入手することができる3個の素子のア
ポクロマート集束対物レンズは、部品番号3440のもので
ある。移動段20は、文字発生器のサブシステムを含んで
いるコンピュータ制御されたシステムであり、それは、
Anomatic III system, model 2414 としてAnarad社から
入手できる。
レンズ14は60ミリメートルで実施されており、U.S.La
ser Company から入手することができる3個の素子のア
ポクロマート集束対物レンズは、部品番号3440のもので
ある。移動段20は、文字発生器のサブシステムを含んで
いるコンピュータ制御されたシステムであり、それは、
Anomatic III system, model 2414 としてAnarad社から
入手できる。
【0017】ガラスの基板は、1.06マイクロメート
ルで2.3ワットの出力を有するNd:YAGレーザ12
で1.3キロヘルツのパルス繰返し周波数(PRF)で
エッチングされた。ガラスの基板は、エッチング処理の
期間中に移動段20によって0.05インチ/秒で移動さ
れた。ガラスの基板は、パターンが永久的にエッチング
される表面に与えられた上述の琥珀色のテープの層を有
していた。テープは、所望されたパターンがガラスの基
板の表面にエッチングされた後に取除かれる。
ルで2.3ワットの出力を有するNd:YAGレーザ12
で1.3キロヘルツのパルス繰返し周波数(PRF)で
エッチングされた。ガラスの基板は、エッチング処理の
期間中に移動段20によって0.05インチ/秒で移動さ
れた。ガラスの基板は、パターンが永久的にエッチング
される表面に与えられた上述の琥珀色のテープの層を有
していた。テープは、所望されたパターンがガラスの基
板の表面にエッチングされた後に取除かれる。
【0018】本発明の内容によって、従来の技術に付随
する問題が克服されることが理解されるであろう。例え
ば、ワークピースをレーザ波長に対して不透明なものに
限定する必要はない。また、機械的摩耗および化学的エ
ッチングを使用するときに見られる欠点は避けられる。
さらに、Nd:YAG出力パワーは、ガラスに彫刻する
ために従来のCO2 レーザを使用する際に要求される1
0乃至20ワットの出力パワーよりも著しく少ない2.
3ワットであり、また、著しく短い波長のNd:YAG
レーザによって、優れた分解能が提供される。
する問題が克服されることが理解されるであろう。例え
ば、ワークピースをレーザ波長に対して不透明なものに
限定する必要はない。また、機械的摩耗および化学的エ
ッチングを使用するときに見られる欠点は避けられる。
さらに、Nd:YAG出力パワーは、ガラスに彫刻する
ために従来のCO2 レーザを使用する際に要求される1
0乃至20ワットの出力パワーよりも著しく少ない2.
3ワットであり、また、著しく短い波長のNd:YAG
レーザによって、優れた分解能が提供される。
【0019】ガラスに彫刻するためのシステムの内容が
説明されてきたが、多数の異なる材料が本発明に従って
レーザで刻み込まれることができることは理解されるべ
きである。例えば、基板は、サファイアで構成されてい
ることもできる。また、例えば、基板は鏡であってもよ
く、それは、吸収性材料の上部層がない場合にレーザ光
のかなりの部分を反射する。さらに、例えば、吸収性材
料の層は、その上にスプレーあるいは塗布されることが
でき、所望されたパターンが刻み込まれた後に取除かれ
る。本発明の内容はまた、アポクロマートの集束対物レ
ンズとの使用に制限されず、刻まれる表面上およびその
近くに高密度の電磁放射線が集中された局所的な領域を
設けるために多数の異なるタイプの光学レンズおよび反
射器を使用することができる。
説明されてきたが、多数の異なる材料が本発明に従って
レーザで刻み込まれることができることは理解されるべ
きである。例えば、基板は、サファイアで構成されてい
ることもできる。また、例えば、基板は鏡であってもよ
く、それは、吸収性材料の上部層がない場合にレーザ光
のかなりの部分を反射する。さらに、例えば、吸収性材
料の層は、その上にスプレーあるいは塗布されることが
でき、所望されたパターンが刻み込まれた後に取除かれ
る。本発明の内容はまた、アポクロマートの集束対物レ
ンズとの使用に制限されず、刻まれる表面上およびその
近くに高密度の電磁放射線が集中された局所的な領域を
設けるために多数の異なるタイプの光学レンズおよび反
射器を使用することができる。
【0020】以上、本発明は、その好ましい実施形態に
関して特に図示および説明されてきたが、本発明の技術
的範囲を逸脱せずに形状および詳細において変更がなさ
れることは当業者によって理解されるであろう。
関して特に図示および説明されてきたが、本発明の技術
的範囲を逸脱せずに形状および詳細において変更がなさ
れることは当業者によって理解されるであろう。
【図1】本発明によるレーザ彫刻システムのブロック
図。
図。
【図2】本発明に従ってレーザで彫刻されたガラスの基
体の斜視図。
体の斜視図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B41M 5/26 H01S 3/00 B G02B 27/00 3/16 H01S 3/00 B41M 5/26 S 3/16 G02B 27/00 F
Claims (10)
- 【請求項1】 基板の表面にパターンを彫刻する方法に
おいて、 特有の出力波長を有する電磁エネルギのソースを設け、 基板を設け、 前記特有の出力波長を強力に吸収するように選択された
吸収材料の層を基板の表面に設け、 前記吸収材料の層と前記基板の表面との間の境界面ある
いはその近くに位置された焦点にソースの出力を集中さ
せ、 焦点に関して表面を移動させ、そこにおいて、前記吸収
材料の層はソースの出力を吸収して加熱され、焦点の下
にある表面を彫刻するのに十分な温度にされるステップ
を含んでいる基板の表面にパターンを彫刻する方法。 - 【請求項2】 電磁エネルギのソースを設けるステップ
はNd:YAGレーザを設けるステップを含み、そこに
おいて、特有の波長は1.06マイクロメートルである
請求項1記載の方法。 - 【請求項3】 ソースの出力を集中させるステップは、
ソースの平行なビーム出力を集束対物レンズに与えるス
テップを含んでいる請求項1記載の方法。 - 【請求項4】 集束対物レンズは、アポクロマート集束
対物レンズである請求項3記載の方法。 - 【請求項5】 基板は、特有の波長に対して実質的に透
明である請求項1記載の方法。 - 【請求項6】 基板は、特有の波長に対して実質的に反
射性である請求項1記載の方法。 - 【請求項7】 基板の表面にパターンを彫刻する装置に
おいて、 特有の出力波長を有する電磁エネルギのソースと、 ソースの出力を基板の表面上あるいはその近くにおける
局所化された領域に焦点を結ばせる手段と、 局所化された領域に関連して基板を移動させる手段とを
具備し、 基板は表面に特有の出力波長を強力に吸収するように選
択された吸収材料の層を有し、この吸収材料の層はソー
スの出力を吸収して加熱され、局所化された領域の下の
表面を彫刻するのに十分な温度にすることを特徴とする
装置。 - 【請求項8】 電磁エネルギのソースはNd:YAGレ
ーザで構成されており、特有の波長は1.06マイクロ
メートルである請求項7記載の装置。 - 【請求項9】 焦点を結ばせる手段は、アポクロマート
集束対物レンズで構成されている請求項7記載の装置。 - 【請求項10】 基板は、特有の波長に対して実質的に
透明であるか、あるいは反射性である請求項7記載の装
置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US515721 | 1995-08-16 | ||
US08/515,721 US5801356A (en) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | Laser scribing on glass using Nd:YAG laser |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09192857A true JPH09192857A (ja) | 1997-07-29 |
JP3001816B2 JP3001816B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=24052471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8216462A Expired - Lifetime JP3001816B2 (ja) | 1995-08-16 | 1996-08-16 | Nd:YAGレーザを使用するガラス上へのレーザスクライビング |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5801356A (ja) |
EP (1) | EP0761377B1 (ja) |
JP (1) | JP3001816B2 (ja) |
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