DD237817A1 - Verfahren zur strukturierung von materialoberflaechen mittels laserstrahlung - Google Patents

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    • C21D10/00—Modifying the physical properties by methods other than heat treatment or deformation
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Abstract

Das Verfahren zur Strukturierung von Materialoberflaechen mittels Laserstrahlung ist anwendbar fuer Materialien, die die verwendete Strahlung selbst nicht absorbieren. Aufgabe der Erfindung ist die Strukturierung solcher Materialien, die bisher mit Laserstrahlung nicht bearbeitet werden konnten. Die Loesung dieser Aufgabe besteht darin, dass die zu strukturierende Oberflaeche, der Strahlungsquelle abgewandt, mit einer Metalloberflaeche oder der Oberflaeche eines anderen, die Laserstrahlung absorbierenden Materials in Kontakt gebracht wird. Mit dem Verfahren gelingt, je nach Wahl der Parameter, eine Strukturierung bzw. auch eine Bedampfung der Materialoberflaeche.

Description

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Die Beschriftung oder gezielte Strukturierung von an sich für die Laserstrahlung transparente Materialien ist bisher nur mit hohem technischen Aufwand möglich. Es sind dafür bisher zwei Prinziplösungen bekannt (D. Ehrlich et. al.. Laser photochemistry at surfaces for applications in microelectronics, IEEE Journ. QE-17 [1981] 110, techn. digest. CLEO 81; M.Nowicki, Laser in Elektroniktechnologie und Materialbearbeitung Leipzig, 1982).
1. Räumlich gezielte epitaktische Abscheidung durch laserinduzierte Dissoziation von metallorganischen Gaspartikeln. Der Vorteil gegenüber bisherigen photolithografischen Verfahren beruht darauf, daß zusätzliche Masken für die Strukturierung nicht erforderlich sind. Die Nachteile dieses Verfahrens liegen im hohen technischen Aufwand und in der Tatsache, daß nur ausgewählte, der Laserstrahlung angepaßte, chemische Verbindungen ausgenutzt werden können
2. Aufdampfen dünner Schichten im Hochvakuum, die durch Abdampfen spezieller Materialien durch Laserstrahlung erfolgt. Zur Strukturierung von Oberflächen sind zusätzliche Masken erforderlich. Die Nachteile des Verfahrens liegen in der erforderlichen Maskierung und in dem hohen technischen Aufwand (Hochvakuumerzeugung).
Beide Verfahren sind bisher über das Laborstadium nicht hinausgekommen.
Methoden zum Gravieren von für die Laserstrahlung an sich transparente Materialien sind bisher nicht bekannt.
Ziel der Erfindung ·-
Die Erfindung verfolgt das Ziel, Materialien durch Bedampfung oder Gravur zu strukturieren, die sich bisher einer derartigen Bearbeitung durch Laserstrahlung entzogen.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Strukturierung mittels Laserstrahlung auch auf solche Materialien auszudehnen, die bislang dafür ungeeignet waren.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit einem Verfahren, bei dem erfindungsgemäß das zu strukturierende Material mit seiner der Strahlungsquelle abgewandten Oberfläche mit einer Metalloberfläche oder der Oberfläche eines anderen, die Laserstrahlung absorbierenden Materials in Kontakt gebracht wird.
Der durch die Erfindung erreichte große technische Fortschritt zeigt sich dadurch, daß die Methoden des Lasergravierens und -beschriftens auch auf für die Laserstrahlung durchsichtige Materialien ausgedehnt werden kann.
Ausführungsbeispiel
Das zu strukturierende, für die Laserstrahlung transparente Material wird mit einer Metallunterlage oder mit einer anderen, die Laserstrahlung absorbierenden Unterlage in direkten Kontakt gebracht. Die Laserstrahlung durchdringt das transparente Material und wird von der Unterlage absorbiert. Das hierbei entstehende Plasma und die damit verbundene Schockwelle strukturieren das transparente Material auf der der Strahlungsquelle abgewandten Seite. Je nach Wahl der Laserparameter (Energie, Impulsdauer, Impulsfolge) kann das transparente Material entweder graviert oder mit den Materialpartikeln der absorbierenden Unterlage bedampft werden.
Durch gesteuerte Führung des Laserstrahles lassen sich damit beliebige Strukturen, insbesondere auch Leiterstrukturen ohne weitere Hilfsmaßnahmen (Gasstrahl, Maske, Vakuum) auf das an sich für die Laserstrahlung transparente Material aufbringen.

Claims (1)

  1. Erfindungsanspruch:
    1. Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche von Laserstrahlung nicht absorbierenden Materialien, dadurch gekennzeichnet, daß die zu strukturierende Oberfläche, der Strahlungsquelle abgewandt, mit einer Metalloberfläche oder der Oberfläche eines anderen, die Laserstrahlung absorbierenden Materials in Kontakt gebracht wird.
    Anwendungsgebiet der Erfindung
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung der Oberfläche von Materialien mit Laserstrahlung, welche von den Materialien selbst nicht absorbiert wird. Das Verfahren ist geeignet, das transparente Material zu gravieren oder strukturierte Bedampfungen aufzubringen.
DD82242261A 1982-08-05 1982-08-05 Verfahren zur strukturierung von materialoberflaechen mittels laserstrahlung DD237817A1 (de)

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GB08321002A GB2126956B (en) 1982-08-05 1983-08-04 Structuring surfaces of materials by means of laser radiation

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10118178A1 (de) * 2001-04-11 2002-10-24 Draexlmaier Lisa Gmbh Verbundzierteil und Verfahren zum Einbringen einer Beschriftung in ein Verbundzierteil
DE10304371A1 (de) * 2003-02-04 2004-08-12 Magna Naturstein Gmbh Verfahren zur Bearbeitung der Oberflächen transparenter Werkstoffe mittels Laserstrahl und nach diesem Verfahren hergestellte Produkte

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2630947B1 (fr) * 1988-05-09 1991-04-05 Renaud Richard Procede de soudage au laser de pieces en un ou plusieurs metaux reflechissant la lumiere, et articles resultants
US5801356A (en) * 1995-08-16 1998-09-01 Santa Barbara Research Center Laser scribing on glass using Nd:YAG laser
JP3401425B2 (ja) * 1998-01-21 2003-04-28 理化学研究所 レーザー加工方法およびレーザー加工装置
KR100283415B1 (ko) * 1998-07-29 2001-06-01 구자홍 레이저를이용한투명매질의가공방법및장치
JP3012926B1 (ja) * 1998-09-21 2000-02-28 工業技術院長 透明材料のレーザー微細加工法
DE102005030272A1 (de) * 2005-06-21 2007-01-04 Hansgrohe Ag Verfahren zur Erzeugung dekorativer Oberflächenstrukturen
DE102011055364A1 (de) 2011-11-15 2013-05-23 Hochschule für Angewandte Wissenschaft und Kunst - Hildesheim/Holzminden/Göttingen Verfahren zum Materialabtrag an Glasoberflächen
DE102012010635B4 (de) 2012-05-18 2022-04-07 Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Verfahren zur 3D-Strukturierung und Formgebung von Oberflächen aus harten, spröden und optischen Materialien

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3787210A (en) * 1971-09-30 1974-01-22 Ncr Laser recording technique using combustible blow-off

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10118178A1 (de) * 2001-04-11 2002-10-24 Draexlmaier Lisa Gmbh Verbundzierteil und Verfahren zum Einbringen einer Beschriftung in ein Verbundzierteil
DE10118178C2 (de) * 2001-04-11 2003-05-08 Draexlmaier Lisa Gmbh Verbundzierteil und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10304371A1 (de) * 2003-02-04 2004-08-12 Magna Naturstein Gmbh Verfahren zur Bearbeitung der Oberflächen transparenter Werkstoffe mittels Laserstrahl und nach diesem Verfahren hergestellte Produkte

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FR2537028B1 (fr) 1986-06-20

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