JPH09187935A - インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジおよびこれを用いたインクジェット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エネルギー発生素子ユニットと、駆動素子ユ
ニットとを接合する際、これらの重ね合わせ面が正しく
密着しない。 【解決手段】 エネルギー発生素子に電気信号を供給す
るための信号配線に接続する接続電極を重ね合わせ面２
２に突設したエネルギー発生素子ユニット２０と、駆動
素子からの電気信号を送出する信号配線に接続する接続
電極を重ね合わせ面１９に突設した駆動素子ユニット１
２と、これら二つのユニット２０, １２の重ね合わせ面
２２, １９を相互に重ね合わせ、エネルギー発生素子ユ
ニット２０の重ね合わせ面２２と反対側の押圧面２３に
当接してエネルギー発生素子ユニット２０を駆動素子ユ
ニット１２に押圧することにより、接続電極を相互に接
続するための押圧手段とを具えたインクジェットヘッド
において、エネルギー発生素子ユニット２０の重ね合わ
せ面２２と押圧面２３との間に薄肉部２９を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクを吐出して
被プリント媒体にプリントを行うためのエネルギー発生
素子を有するエネルギー発生素子ユニットと、このエネ
ルギー発生素子を駆動させるための駆動素子を有する駆
動素子ユニットとを具えたインクジェットヘッドおよび
このインクジェットヘッドを搭載したインクジェットカ
ートリッジおよびこのインクジェットカートリッジを用
いるインクジェット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリント法は、インクジ
ェットヘッドに配設されたインク吐出口からインクを吐
出させ、これを紙などの被プリント媒体に付着させるこ
とにより、プリントを行う方法であり、騒音の発生が極
めて少なく、かつ高速プリントが可能である。なかで
も、熱エネルギーをインクに作用させ、インクを急激に
加熱することによって気泡を発生させ、この気泡の体積
膨張によってインク流路内のインクをノズルからインク
滴として噴射し、気泡の消滅時にインク室からインク流
路内にインクを導入するようにした形態のインクジェッ
トヘッドは、プリント信号に対する応答性が良いこと、
および高マルチヘッド化が容易であることなどの利点を
有する。

【０００３】このようなインクジェットヘッドのエネル
ギー発生素子ユニットの平面形状を図２７に示し、その
XXXIII−XXXIII矢視断面形状を図２８に示す。すなわ
ち、エネルギー発生素子基板１０１の上には、硼化ハフ
ニウム（Ｈf Ｂ₂ ）などの発熱部１０２が所定間隔で形
成され、これら発熱部１０２には、信号配線１０３ａ,
１０３ｂの一端部がそれぞれ一対ずつ接続している。一
方の信号配線１０３ａの他端部には、アルミニウムなど
で形成した共通接続電極１０４が接続し、他方の信号配
線１０３ｂの他端部には、アルミニウムなどで形成した
接続電極１０５がそれぞれ個別に接続している。発熱部
１０２および信号配線１０３ａ, １０３ｂは、二酸化ケ
イ素などで形成された耐酸化・絶縁層１０６で被覆さ
れ、さらに発熱部１０２の上にはタンタルなどで形成さ
れた耐キャビティーション層１０７が重ねて被覆され、
信号配線１０３ａ, １０３ｂの上には、感光性ポリイミ
ドなどで形成された耐インク・絶縁層１０８が重ねて被
覆されている。

【０００４】そして、このエネルギー発生素子ユニット
１００の上に図示しない溝付き板が重ね合わされ、各発
熱部１０２に対応したインク流路およびインク吐出口な
どが形成される。ここで、接続電極１０５から信号配線
１０３ｂ, 発熱部１０２, 信号配線１０３ａを介して共
通接続電極１０４に電流を流すと、発熱部１０２が熱エ
ネルギを発生してインク流路内のインクがインク吐出口
から外部へ吐出されるようになっている。

【０００５】上述した上述した発熱部１０２, 信号配線
１０３ａ, １０３ｂ, 共通接続電極１０４, 接続電極１
０５は、本発明でいうエネルギー発生素子として機能
し、通常、このようなエネルギー発生素子は、一つのエ
ネルギー発生素子ユニット１００に複数形成されてお
り、複数ドットのプリントを同時に行ってプリントの高
速化を図ることができる。特に、高密度かつ高速プリン
トの要請が高い今日においては、プリント媒体の搬送方
向に対して直交する走査方向のプリントを同時に行うこ
とが望まれており、これに伴って多数のエネルギー発生
素子を高密度に配置したエネルギー発生素子ユニット１
００が登場している。

【０００６】一つのエネルギー発生素子ユニット１００
に複数のエネルギー発生素子を配置して複数ドットのプ
リントを同時に行う場合、エネルギー発生素子のそれぞ
れについて個別に通電のオン／オフを制御しなければな
らない。このような制御を行うための駆動素子は、上述
したエネルギー発生素子ユニット１００内に形成するこ
とも可能であるが、通常は駆動素子ユニットとして独立
した駆動素子基板に設けられ、エネルギー発生素子ユニ
ット１００に対して電気的に接続される。その理由は、
上述したエネルギー発生素子と、これらエネルギー発生
素子に接続される駆動素子とを共通の基板に形成した場
合、エネルギー発生素子および駆動素子の何れか一方に
不良が発生すると、全体が動作しなくなってしまう虞が
あるためである。

【０００７】従来、エネルギー発生素子ユニットと駆動
素子ユニットとを電気的に接続する場合、特開平３−１
２１８５１号公報や、特開平１−３０２８２９号公報な
どに開示された方法が知られている。特開平３−１２１
８５１号公報に示された方法は、各ユニットの接続電極
を基板表面からそれぞれ突出させ、これら接続電極が重
なり合うように各ユニットの基板を相互に押し当て、こ
れによってエネルギー発生素子ユニット側の接続電極と
駆動素子ユニット側の接続電極とを導通させるようにし
たものである。また、特開平１−３０２８２９号公報に
示された方法は、エネルギー発生素子ユニット側の接続
電極と駆動素子ユニット側の接続電極とを電極接続部材
を介して電気的に接続するものである。

【０００８】これを具体的に説明すると、図２９に示す
ように、エネルギー発生ユニット２００のエネルギー発
生素子基板２０１の重ね合わせ面２１０に臨む接続電極
２０５の周囲に絶縁層２１１を環状に形成し、同様に、
駆動素子ユニット４００の駆動素子基板４０１の重ね合
わせ面４０３に臨む接続電極４０４の周囲に絶縁層４０
５を環状に形成する。また、それぞれ棒状をなす多数本
の導電部材５０１と、これら導電部材５０１の両端部が
突出するように、当該導電部材５０１を埋設保持する保
持板５０２とからなる電極接続部材５００を用意する。
この場合、隣接する導電部材５０１の間隔は、接続電極
２０５, ４０４のそれぞれの間隔よりも狭く設定されて
いる。

【０００９】そして、電極接続部材５００を介してエネ
ルギー発生ユニット２００の重ね合わせ面２１０と駆動
素子ユニット４００の重ね合わせ面４０３とを位置決め
状態で加圧し、図３０および図３１に示すようにこれら
を機械的に圧接する。なお、図中の符号で４０２は、駆
動素子基板４０１に搭載される駆動素子である。

【００１０】上述したエネルギー発生素子ユニットと駆
動素子ユニットとを使用する従来のインクジェットヘッ
ドの部分の側面形状を図３２に示し、その主要部の分解
状態を図３３に示す。すなわち、台板６０１上には、駆
動素子ユニット４００とこの駆動素子ユニット４００に
ワイヤボンディング６０２などを介して電気的に接続す
る回路基板ユニット６０３とが固定されている。また、
台板６０１にねじ込まれる小ねじ６０４は、スペーサ６
０５および押圧板６０６の基端部が貫通し、これにより
押圧板６０６はスペーサ６０５を介して台板６０１に保
持された状態となっている。

【００１１】前記駆動素子ユニット４００の駆動素子基
板４０１に形成された重ね合わせ面４０３には、エネル
ギー発生素子ユニット２００のエネルギー発生素子基板
２０１に形成された重ね合わせ面２１０が重ね合わされ
る。そして、このエネルギー発生素子基板２０１の重ね
合わせ面２１０の反対側に形成された押圧面２１２に
は、円形断面のゴム状弾性部材などによるクッション部
材６０７を介して押圧板６０６の先端部が押し付けられ
る。これにより、エネルギー発生素子基板２０１の重ね
合わせ面２１０が駆動素子４０２を搭載した駆動素子基
板４０１の重ね合わせ面４０３に対し、クッション部材
６０７の弾性変形を伴って押圧される。

【００１２】これら重ね合わせ面４０３, ２１０には、
図示しない複数の接続電極がそれぞれ露出状態となって
おり、エネルギー発生素子ユニット２００および駆動素
子ユニット４００の重ね合わせ面４０３, ２１０を相互
に位置決めしつつ密着させることにより、これらが電気
的に接続するようになっている。

【００１３】上述したインクジェットヘッドでは、クッ
ション部材６０７をエネルギー発生素子基板２０１に直
接当接させるようにしているが、エネルギー発生素子ユ
ニット２００の剛性を確保するための支持板を介して当
接させるようにしたものも知られている。

【００１４】このような従来のインクジェットヘッドの
外観を図３４に示し、その側面形状を図３５に示し、そ
の主要部の分解状態を図３６に示すが、先のインクジェ
ットヘッドと同一機能の部材には、これと同一の符号を
記すに留めることとする。すなわち、エネルギー発生素
子ユニット２００のエネルギー発生素子基板２０１に
は、補強用の支持板２１３が一体的に接合されている。
そして、この支持板２１３と押圧板６０６の先端部との
間にクッション部材６０７が圧縮状態で介装され、エネ
ルギー発生素子ユニット２００および駆動素子ユニット
４００の重ね合わせ面４０３, ２１０を密着させるよう
にしている。

【００１５】また、溝付き板２０９とエネルギー発生素
子基板２０１との間に形成された図示しないインク通路
に連通するインク供給管６０８には、フィルタ装置６０
９を介して図示しないインクタンクが接続し、このイン
クタンクからエネルギー発生素子ユニット２００側へイ
ンクが供給されるようになっている。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】図３２〜図３６に示し
た従来のインクジェットヘッドにおいては、エネルギー
発生素子ユニット２００の主要部を構成するエネルギー
発生素子基板２０１の製造コストの削減や、基板素材か
らの切り出し個数の増加のため、エネルギー発生素子基
板２０１の幅寸法Ｗ（図３２, ３５参照）をなるべく小
さく製造することが望まれている。このため、エネルギ
ー発生素子基板２０１と駆動素子基板４０１との重ね合
わせ代ｄをできるだけ小さくする必要があり、エネルギ
ー発生素子基板２０１の重ね合わせ面４０３からその押
圧面２１２までの高さＨに対する前述の重ね合わせ代ｄ
の割合、つまり接続縦横比ｄ／Ｈが小さくならざるを得
ない。

【００１７】この結果、エネルギー発生素子基板２０１
の押圧面２１２に対してクッション部材６０７の位置が
不適正であると、図３７に示すように、駆動素子基板４
０１の先端稜部を中心とする偶力がエネルギー発生素子
基板２０１に発生したり、あるいは図３８に示すよう
に、エネルギー発生素子基板２０１の基端稜部を中心と
する偶力がエネルギー発生素子基板２０１に発生し、エ
ネルギー発生素子基板２０１の重ね合わせ面２１０が駆
動素子基板４０１の重ね合わせ面４０３に対して傾斜状
態で押圧されてしまい、良好な電気的接続を行うことが
できなくなる虞がある。

【００１８】さらに、エネルギー発生素子ユニット２０
０を構成するエネルギー発生素子基板２０１や支持板２
１３自体に反りなどの形状不良がある場合、エネルギー
発生素子基板２０１の重ね合わせ面４０３からその押圧
面２１２までの高さＨが大きいと、押圧板６０６による
押圧力不足のため、エネルギー発生素子基板２０１の重
ね合わせ面２１０の一部が駆動素子基板４０１の重ね合
わせ面４０３から浮き上がったままとなってしまい、良
好な電気的接続を行うことができなくなる虞があった。

【００１９】なお、図３７および図３８において、図３
５に示したものと同一機能の部分には、これと同一符号
を記してある。

【００２０】

【発明の目的】本発明の目的は、インクを吐出して被プ
リント媒体にプリントを行うためのエネルギー発生素子
を有するエネルギー発生素子ユニットと、このエネルギ
ー発生素子を駆動させるための駆動素子を有する駆動素
子ユニットとを接合する際に、これらの重ね合わせ面の
密着性を確保して良好な電気的接続を行い得るインクジ
ェットヘッドを提供することにある。

【００２１】本発明の他の目的は、このインクジェット
ヘッドを搭載したインクジェットカートリッジを提供す
ることにある。

【００２２】本発明のさらに別な目的は、このインクジ
ェットカートリッジを用いるインクジェット装置を提供
することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明による第一の形態
は、それぞれインクを吐出するための複数のエネルギー
発生素子に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子
に電気信号を供給するための複数本の信号配線が設けら
れると共に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面
に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続
電極を突設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エ
ネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一端側が
それぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を送出す
るための複数本の信号配線が設けられると共に重ね合わ
せ面が形成され、この重ね合わせ面に位置する前記信号
配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動
素子ユニットと、前記エネルギー発生素子ユニットおよ
び前記駆動素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重
ね合わせ、前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね
合わせ面と反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素
子ユニットを前記駆動素子ユニットに押圧することによ
り、前記接続電極を相互に接続するための押圧手段とを
具えたインクジェットヘッドにおいて、前記エネルギー
発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と前記押圧面との
間に薄肉部を形成したことを特徴とするインクジェット
ヘッドにある。

【００２４】ここで、前記押圧面および前記薄肉部は、
前記エネルギー発生素子ユニットの前記信号配線が形成
されるエネルギー発生素子基板に形成することができ、
この場合、前記エネルギー発生素子ユニットは、前記エ
ネルギー発生素子基板が接合される補強用の支持板を有
するものであっても良い。また、前記エネルギー発生素
子ユニットは、前記エネルギー発生素子基板が接合され
る補強用の支持板を有し、前記押圧面および前記薄肉部
は、前記支持板に形成することができ、この場合、前記
薄肉部は溝状をなし、その溝底が前記押圧面であっても
良い。

【００２５】また、本発明による第二の形態は、それぞ
れインクを吐出するための複数のエネルギー発生素子に
一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信号
を供給するための複数本の信号配線が設けられると共に
重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置する
前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設
したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー発
生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ接
続して当該駆動素子からの電気信号を送出するための複
数本の信号配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成
され、この重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端
側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニッ
トと、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動
素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わせ、
前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と
反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニット
を前記駆動素子ユニットに押圧することにより、前記接
続電極を相互に接続するための押圧手段とを具えたイン
クジェットヘッドにおいて、前記押圧面に隣接して延び
る溝部を前記エネルギー発生素子ユニットに形成したこ
とを特徴とするインクジェットヘッドにある。

【００２６】ここで、前記押圧面および前記溝部は、前
記エネルギー発生素子ユニットの前記信号配線が形成さ
れるエネルギー発生素子基板に形成するようにしても良
い。また前記エネルギー発生素子ユニットは、前記エネ
ルギー発生素子基板が接合される補強用の支持板を有
し、前記押圧面および前記溝部は、前記支持板に形成す
ることが可能である。さらに、前記エネルギー発生素子
ユニットの前記重ね合わせ面と前記押圧面との間に前記
溝部に隣接する薄肉部を形成しても良い。

【００２７】一方、本発明による第三の形態は、それぞ
れインクを吐出するための複数のエネルギー発生素子に
一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信号
を供給するための複数本の信号配線が設けられると共に
重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置する
前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設
したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー発
生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ接
続して当該駆動素子からの電気信号を送出するための複
数本の信号配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成
され、この重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端
側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニッ
トと、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動
素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わせ、
前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と
反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニット
を前記駆動素子ユニットに押圧することにより、前記接
続電極を相互に接続するための押圧手段とを有するイン
クジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに供給
するためのインクを蓄えるインクタンクとを具えたイン
クジェットカートリッジにおいて、前記エネルギー発生
素子ユニットの前記重ね合わせ面と前記押圧面との間に
薄肉部を形成したことを特徴とするインクジェットカー
トリッジにある。

【００２８】同様に、本発明による第四の形態は、それ
ぞれインクを吐出するための複数のエネルギー発生素子
に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信
号を供給するための複数本の信号配線が設けられると共
に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置す
る前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突
設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー
発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ
接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するための
複数本の信号配線が設けられると共に重ね合わせ面が形
成され、この重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他
端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニ
ットと、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆
動素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わ
せ、前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ
面と反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニ
ットを前記駆動素子ユニットに押圧することにより、前
記接続電極を相互に接続するための押圧手段とを有する
インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに
供給するためのインクを蓄えるインクタンクとを具えた
インクジェットカートリッジにおいて、前記押圧面に隣
接して延びる溝部を前記エネルギー発生素子ユニットに
形成したことを特徴とするインクジェットカートリッジ
にある。

【００２９】さらに、本発明による第五の形態は、それ
ぞれインクを吐出するための複数のエネルギー発生素子
に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信
号を供給するための複数本の信号配線が設けられると共
に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置す
る前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突
設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー
発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ
接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するための
複数本の信号配線が設けられると共に重ね合わせ面が形
成され、この重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他
端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニ
ットと、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆
動素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わ
せ、前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ
面と反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニ
ットを前記駆動素子ユニットに押圧することにより、前
記接続電極を相互に接続するための押圧手段とを有する
インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに
供給するためのインクを蓄えるインクタンクとを具えた
インクジェットカートリッジを用いるインクジェット装
置において、前記エネルギー発生素子ユニットの前記重
ね合わせ面と前記押圧面との間に薄肉部を形成したこと
を特徴とするインクジェット装置にある。

【００３０】同様に、本発明による第六の形態は、それ
ぞれインクを吐出するための複数のエネルギー発生素子
に一端側が接続してこれらエネルギー発生素子に電気信
号を供給するための複数本の信号配線が設けられると共
に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置す
る前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突
設したエネルギー発生素子ユニットと、前記エネルギー
発生素子を駆動するための駆動素子に一端側がそれぞれ
接続して当該駆動素子からの電気信号を送出するための
複数本の信号配線が設けられると共に重ね合わせ面が形
成され、この重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他
端側にそれぞれ複数の接続電極を突設した駆動素子ユニ
ットと、前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆
動素子ユニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わ
せ、前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ
面と反対側の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニ
ットを前記駆動素子ユニットに押圧することにより、前
記接続電極を相互に接続するための押圧手段とを有する
インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドに
供給するためのインクを蓄えるインクタンクとを具えた
インクジェットカートリッジを用いるインクジェット装
置において、前記押圧面に隣接して延びる溝部を前記エ
ネルギー発生素子ユニットに形成したことを特徴とする
インクジェット装置にある。

【００３１】このように、薄肉部を形成してエネルギー
発生素子基板の重ね合わせ面とその押圧面との間隔を短
くしているため、接続縦横比が従来のものよりも改善さ
れ、エネルギー発生素子基板の重ね合わ面と駆動素子ユ
ニットの重ね合わせ面とが確実に密着する。

【００３２】また、押圧面の近傍に溝を形成して形状不
良に基づく反りなどの影響を受けにくくしているため、
エネルギー発生素子基板の重ね合わ面と駆動素子ユニッ
トの重ね合わせ面とが確実に密着する。

【００３３】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態のいくつかにつ
いて、図１〜図２６を参照しながら詳細に説明する。

【００３４】本発明によるインクジェットヘッドの第１
実施形態の外観を図１に示し、その主要部の側面形状を
図２に示し、そのエネルギー発生素子ユニットの部分の
外観を図３に示す。すなわち、台板１１上には、駆動素
子ユニット１２とこの駆動素子ユニット１２にワイヤボ
ンディング１３などを介して電気的に接続する回路基板
ユニット１４とが固定されている。また、台板１１から
立設されたスペーサ１５には、このスペーサ１５にねじ
込まれる複数本の小ねじ１６を介して押圧板１７の基端
部が取り付けられている。

【００３５】前記駆動素子ユニット１２の駆動素子基板
１８に形成された重ね合わせ面１９には、エネルギー発
生素子ユニット２０のエネルギー発生素子基板２１に形
成された重ね合わせ面２２が重ね合わされる。そして、
このエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２の
反対側に形成された押圧面２３には、円形断面のゴム状
弾性部材などによるクッション部材２４を介して押圧板
１７の先端部が押し付けられる。これにより、エネルギ
ー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２が駆動素子２５
を搭載した駆動素子基板１８の重ね合わせ面１９に対
し、クッション部材２４の弾性変形を伴って押圧され
る。つまり、上述したスペーサ１５や小ねじ１６, 押圧
板１７, クッション部材２４などで本発明の押圧手段が
構成されている。

【００３６】これら重ね合わせ面１９, ２２には、図示
しない複数の接続電極がそれぞれ露出状態となってお
り、エネルギー発生素子ユニット２０および駆動素子ユ
ニット１２の重ね合わせ面１９, ２２を相互に位置決め
しつつ密着させることにより、これらが電気的に接続す
るようになっている。

【００３７】エネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ
面２２側に接合された溝付き板２６の長手方向両側に
は、この溝付き板２６とエネルギー発生素子基板２１と
の間に形成された図示しないインク通路内にインクを供
給するための一対のインク供給管２７が連結されてお
り、これらインク供給管２７には、それぞれフィルタ装
置２８を介して図示しないインクタンクが連通し、この
インクタンクから供給されるインクは、エネルギー発生
素子ユニット２０側へ塵や異物などが混入しないよう
に、台板１１上に設けられたフィルタ装置２８によって
濾過される。

【００３８】本実施形態におけるエネルギー発生素子基
板２１の基端側には、他の部分よりも板厚を薄くした薄
肉部２９が形成されており、この薄肉部２９の表面を押
圧面２３として利用している。

【００３９】このように、エネルギー発生素子基板２１
の薄肉部２９の肉厚を薄くして押圧面２３をその重ね合
わせ面２２に近接させることにより、接続縦横比を従来
のものよりも大きくすることが可能である。また、肉厚
が薄くて剛性の小さい薄肉部２９を押圧面２３として用
いているため、エネルギー発生素子基板２１に反りなど
の多少の形状不良があっても、押圧板１７の押圧力によ
ってエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２全
体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面２２に密着
させることができる。この結果、エネルギー発生素子基
板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基板１８の重ね合
わせ面１９との間でのより安定した電気的接続を行うこ
とが可能となる。

【００４０】上述の如きインクジェットヘッドを用いた
本発明によるインクジェットカートリッジの一実施形態
の外観を図４に示す。すなわち、本実施形態におけるイ
ンクジェットカートリッジ３０は、シリアルタイプのも
のであり、駆動素子ユニット１２と、押圧板１７と、エ
ネルギー発生素子ユニット２０と、クッション部材２４
と、インク供給管２７と、インクを収容する主インクタ
ンク３１と、この主インクタンク３１内を密閉する蓋部
材３２とで主要部が構成されている。

【００４１】インクを吐出するための多数のインク吐出
口４１が形成されたエネルギー発生素子ユニット２０
は、先の図１および図２に示した実施形態に対応したも
のであり、このエネルギー発生素子ユニットは、駆動素
子ユニット１２に対し、クッション部材２４を介して押
圧板１７に押圧された状態となっている。インクは主イ
ンクタンク３１からインク供給管２７によって溝付き板
２６とエネルギー発生素子基板とで形成される図示しな
いインク液室へと導かれる。

【００４２】本実施形態におけるインクジェットカート
リッジ３０は、主インクタンク３１と駆動素子ユニット
１２とを一体的に形成したものであるが、この駆動素子
ユニット１２に対し、主インクタンク３１側を交換可能
に連結した構造を採用するようにしても良い。

【００４３】上述したインクジェットカートリッジ３０
を用いた本発明によるインクジェット装置の一実施形態
の外観を図５に示す。すなわち、本実施形態のインクジ
ェット装置５０は、紙送りモータ５１によって駆動回転
するプラテンローラ５２と平行に配設された一対の案内
棒５３には、キャリッジ５４が摺動自在に保持されてい
る。また、案内棒５３の両端側に回転自在に取り付けら
れた一対のプーリ５５, ５６には、走査ワイヤ５７が案
内棒５３と平行に巻き掛けられ、その両端部がキャリッ
ジ５４に連結されている。一方のプーリ５５には、キャ
リッジ駆動モータ５８が連結され、このキャリッジ駆動
モータ５８の正逆転によって、キャリッジ５４は案内棒
５３に案内されながらプラテンローラ５２に沿ってその
長手方向に走査移動するようになっている。

【００４４】前記キャリッジ５４には、図４に示したイ
ンクジェットカートリッジ３０が着脱操作レバー５９を
介して交換可能に位置決め状態で搭載され、インクジェ
ットヘッド４０のインク吐出口４１がプラテンローラ５
２に巻き付けられた紙などの被プリント媒体７０と所定
の間隙を以て対向する。また、インクジェットヘッド４
０の駆動素子２５（図２参照）には、キャリッジ５４に
連結されたフレキシブルケーブル６０を介して適宜のデ
ータ供給源からのデータに応じたインクの吐出信号が供
給される。そして、紙送りモータ５１による被プリント
媒体７０の送り動作と、キャリッジ駆動モータ５８によ
るキャリッジ５４の走査移動とにより、被プリント媒体
７０の所定箇所に所望のデータをプリントすることがで
きる。

【００４５】なお、インクジェットカートリッジ３０
は、使用するインクの色などに応じて１つ以上（図示例
では２つ）をキャリッジ５４に搭載することができるよ
うになっている。また、上述したインクジェットヘッド
４０として、シリアルタイプのものを採用したが、フル
ラインタイプのインクジェットヘッドを用いたインクジ
ェットカートリッジや、そのインクジェット装置にも適
用することができる。

【００４６】図１〜図３に示した実施形態では、エネル
ギー発生素子基板２１に薄肉部２９を形成したが、溝を
形成しても同様な効果を得ることができる。このような
本発明によるインクジェットヘッドの第２実施形態の側
面形状を図６に示し、そのエネルギー発生素子ユニット
の部分の外観を図７に示すが、先の実施形態と同一機能
の部材および部分には、これと同一符号を記して重複す
る説明は省略するものとする。

【００４７】すなわち、エネルギー発生素子基板２０の
押圧面２３側には、この押圧面２３に沿って延びる溝部
８１が刻設されており、この溝部８１と対応するエネル
ギー発生素子基板２０の部分の肉厚が薄くなってその剛
性が低下するため、エネルギー発生素子基板２１に反り
などの多少の形状不良があっても、押圧板１７の押圧力
によってエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２
２全体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面２２に
密着させることができる。この結果、エネルギー発生素
子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基板１８の重
ね合わせ面１９との間でのより安定した電気的接続を行
うことが可能である。

【００４８】図１〜図３および図６, 図７に示した実施
形態を組み合わせるも可能であり、このような本発明の
インクジェットヘッドの別な実施形態の側面形状を図６
に示し、そのエネルギー発生素子ユニットの部分の外観
を図７に示すが、先の実施形態と同一機能の部材および
部分には、これと同一符号を記して重複する説明は省略
するものとする。

【００４９】すなわち、エネルギー発生素子基板２１の
薄肉部２９に溝部８１を形成することにより、エネルギ
ー発生素子基板２１の反りなどの形状不良に対し、図１
〜図３の実施形態よりも、エネルギー発生素子基板２１
の重ね合わせ面２２全体を確実に駆動素子基板１８の重
ね合わせ面２２に密着させることができ、エネルギー発
生素子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基板１８
の重ね合わせ面１９との間でのより安定した電気的接続
を行うことが可能である。

【００５０】次に、エネルギー発生素子ユニット２０に
図３４〜図３８に示す如き補強用の支持板を組み込んだ
本発明によるインクジェットヘッドの第４実施形態の側
面形状を図１０に示し、そのエネルギー発生素子ユニッ
トの部分の外観を図１１に示す。ただし、先の実施形態
と同一機能の部材および部分には、これと同一符号を記
して重複する説明は省略するものとする。

【００５１】すなわち、エネルギー発生素子ユニット２
０のエネルギー発生素子基板２１には、エネルギー発生
素子ユニット２０の剛性を確保するための支持板８２が
一体的に接合されている。エネルギー発生素子基板２１
の幅寸法よりも広い幅の支持板８２には、板厚の薄い薄
肉部２９が形成されており、この薄肉部２９の表面をク
ッション部材２４が当接する押圧面２３として利用して
いる。

【００５２】このように、支持板８２の薄肉部２９の肉
厚を薄くして押圧面２３をエネルギー発生素子基板２１
の重ね合わせ面２２に近接させることにより、接続縦横
比を従来のものよりも大きくすることが可能である。ま
た、肉厚が薄くて剛性の小さい薄肉部２９を押圧面２３
として用いているため、エネルギー発生素子基板２１や
支持板８２に反りなどの多少の形状不良があっても、押
圧板１７の押圧力によってエネルギー発生素子基板２１
の重ね合わせ面２２全体を確実に駆動素子基板１８の重
ね合わせ面２２に密着させることができる。この結果、
エネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動
素子基板１８の重ね合わせ面１９との間でのより安定し
た電気的接続を行うことが可能となる。

【００５３】上述した実施形態では、支持板８２に薄肉
部２９を形成し、その一部を押圧面２３として採用した
が、クッション部材２４のみが収納される収納溝を支持
板８２に形成することも可能であり、このような本発明
のインクジェットヘッドの第５実施形態の側面形状を図
１２に示し、そのエネルギー発生素子ユニットの部分の
外観を図１３に示すが、先の実施形態と同一機能の部材
および部分には、これと同一符号を記して重複する説明
は省略するものとする。

【００５４】すなわち、クッション部材２４が押し当て
られる支持板８２の中央部には、クッション部材収納溝
８３が形成されており、このクッション部材収納溝８３
の溝底を押圧面２３として利用している。

【００５５】このように、クッション部材収納溝８３を
支持板８２の中央部に形成することにより、先の実施形
態よりも支持板８２の剛性を損なうことなく、押圧面２
３をエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２に
近接させることができる。従って、この実施形態におい
ても、接続縦横比を従来のものよりも大きくすることが
可能であり、エネルギー発生素子基板２１や支持板８２
に反りなどの多少の形状不良があっても、押圧板１７の
押圧力によってエネルギー発生素子基板２１の重ね合わ
せ面２２全体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面
２２に密着させ、エネルギー発生素子基板２１の重ね合
わせ面２２と駆動素子基板１８の重ね合わせ面１９との
間でのより安定した電気的接続を行うことが可能とな
る。

【００５６】上述した本発明の第４実施形態では、クッ
ション部材２４が収納されるクッション部材収納溝８３
を支持板８２に形成したが、押圧面２３に隣接する溝を
形成しても同様な効果を得ることができる。このような
本発明によるインクジェットヘッドの第６実施形態の側
面形状を図１４に示し、そのエネルギー発生素子ユニッ
トの部分の外観を図１５に示すが、先の実施形態と同一
機能の部材および部分には、これと同一符号を記して重
複する説明は省略するものとする。

【００５７】すなわち、支持板８２の押圧面２３側に
は、この押圧面２３に沿って延びる溝部８１が刻設され
ており、この溝部８１と対応する支持板８２の部分の肉
厚が薄くなってその剛性が低下するため、支持板８２に
反りなどの多少の形状不良があっても、押圧板１７の押
圧力によってエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ
面２２全体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面２
２に密着させることができる。この結果、エネルギー発
生素子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基板１８
の重ね合わせ面１９との間でのより安定した電気的接続
を行うことが可能である。

【００５８】図１０, 図１１および図１４, 図１５に示
した実施形態を組み合わせるも可能であり、このような
本発明のインクジェットヘッドの第７実施形態の側面形
状を図１６に示し、そのエネルギー発生素子ユニットの
部分の外観を図１７に示すが、先の実施形態と同一機能
の部材および部分には、これと同一符号を記して重複す
る説明は省略するものとする。

【００５９】すなわち、支持板８２の薄肉部２９に溝部
８１を形成することにより、支持板８２の反りなどの形
状不良に対し、図１０, 図１１に示した第４実施形態よ
りも、エネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２
全体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面２２に密
着させることができ、エネルギー発生素子基板２１の重
ね合わせ面２２と駆動素子基板１８の重ね合わせ面１９
との間でのより安定した電気的接続を行うことが可能で
ある。

【００６０】図１０〜図１７に示した実施形態において
は、エネルギー発生素子基板２１よりも大きな支持板８
２を採用し、エネルギー素子基板２１全体を支持板８２
に接合するようにしたが、剛性の点で特に問題がない場
合には、エネルギー素子基板２１よりも小さな支持板８
２を使用し、押圧面２３をエネルギー素子基板２１に形
成することも可能である。このような本発明によるイン
クジェットヘッドの第８実施形態の側面形状を図１８に
示し、そのエネルギー発生素子ユニットの部分の外観を
図１９に示すが、先の実施形態と同一機能の部材および
部分には、これと同一符号を記して重複する説明は省略
するものとする。

【００６１】すなわち、エネルギー発生素子基板２１の
前端部には、エネルギー発生素子基板２１の幅寸法より
も狭い幅寸法の支持板８２が一体的に接合されており、
この支持板８２よりも基端側に位置するエネルギー発生
素子基板２１の部分が押圧面２３となっている。

【００６２】このように、支持板８２の存在にも拘ら
ず、押圧面２３の部分がエネルギー発生素子基板２１の
表面に直接形成するようにしたので、押圧面２３をその
重ね合わせ面２２側により近接させることができ、接続
縦横比を従来のものよりも大きくすることが可能であ
る。また、エネルギー発生素子基板２１に反りなどの多
少の形状不良があっても、エネルギー発生素子基板２１
を直接押圧するようにしたので、エネルギー発生素子基
板２１の重ね合わせ面２２全体を確実に駆動素子基板１
８の重ね合わせ面２２に密着させることができる。この
結果、エネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２
と駆動素子基板１８の重ね合わせ面１９との間でのより
安定した電気的接続を行うことが可能となる。

【００６３】上述したエネルギー発生素子ユニット２０
の支持板８２を枠状に形成し、クッション部材２４をこ
の支持板８２の内側に収納するようにしても良い。この
ようなエネルギー発生素子ユニット２０の他の実施形態
の外観を表す図２０に示すように、支持板８２の中央部
には、エネルギー発生素子基板２１の押圧面２３に臨む
開口８４が形成され、この開口８４内にクッション部材
２４が収納され、エネルギー発生素子基板２１の押圧面
２３に押し当てられるようになっている。

【００６４】図１８, 図１９に示した実施形態に対し、
さらに薄肉部２９をエネルギー発生素子基板２１に形成
することも可能である。このような本発明によるインク
ジェットヘッドの第９実施形態の側面形状を図２１に示
し、そのエネルギー発生素子ユニットの部分の外観を図
２２に示すが、先の実施形態と同一機能の部材および部
分には、これと同一符号を記して重複する説明は省略す
るものとする。

【００６５】すなわち、エネルギー発生素子基板２１の
基端側には、他の部分よりも板厚を薄くした薄肉部２９
が形成されており、この薄肉部２９の表面を押圧面２３
として利用している。

【００６６】このため、支持板８２の存在にも拘らず、
押圧面２３をその重ね合わせ面２２により近接させるこ
とができ、先の実施形態のものよりも接続縦横比をより
一層大きくすることが可能である。また、エネルギー発
生素子基板２１に反りなどの多少の形状不良があって
も、押圧板１７の押圧力によってエネルギー発生素子基
板２１の重ね合わせ面２２全体を確実に駆動素子基板１
８の重ね合わせ面２２に密着させることができ、エネル
ギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基
板１８の重ね合わせ面１９との間でのより安定した電気
的接続を行うことが可能である。

【００６７】図２１, 図２２に示した本発明の第９実施
形態では、エネルギー発生素子基板２１に薄肉部２９を
形成したが、溝を形成しても同様な効果を得ることがで
きる。このような本発明によるインクジェットヘッドの
第１０実施形態の側面形状を図２３に示し、そのエネル
ギー発生素子ユニットの部分の外観を図２４に示すが、
先の実施形態と同一機能の部材および部分には、これと
同一符号を記して重複する説明は省略するものとする。

【００６８】すなわち、エネルギー発生素子基板２０の
押圧面２３側には、この押圧面２３に沿って延びる溝部
８１が刻設されており、この溝部８１と対応するエネル
ギー発生素子基板２０の部分の肉厚が薄くなってその剛
性が低下するため、エネルギー発生素子基板２１に反り
などの多少の形状不良があっても、押圧板１７の押圧力
によってエネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２
２全体を確実に駆動素子基板１８の重ね合わせ面２２に
密着させることができる。この結果、エネルギー発生素
子基板２１の重ね合わせ面２２と駆動素子基板１８の重
ね合わせ面１９との間でのより安定した電気的接続を行
うことが可能である。

【００６９】図２１, 図２２および図２３, 図２４に示
した実施形態を組み合わせるも可能であり、このような
本発明のインクジェットヘッドの第１１実施形態の側面
形状を図２５に示し、そのエネルギー発生素子ユニット
の部分の外観を図２６に示すが、先の実施形態と同一機
能の部材および部分には、これと同一符号を記して重複
する説明は省略するものとする。

【００７０】すなわち、エネルギー発生素子基板２１の
薄肉部２９に溝部８１を形成することにより、エネルギ
ー発生素子基板２１の反りなどの形状不良に対し、図２
１,図２２に示した第９実施形態よりも、エネルギー発
生素子基板２１の重ね合わせ面２２全体を確実に駆動素
子基板１８の重ね合わせ面２２に密着させることがで
き、エネルギー発生素子基板２１の重ね合わせ面２２と
駆動素子基板１８の重ね合わせ面１９との間でのより安
定した電気的接続を行うことが可能である。

【００７１】

【発明の効果】本発明によると、エネルギー発生素子基
板の重ね合わせ面とその押圧面との間隔が短くなるよう
に薄肉部を形成したので、接続縦横比を従来のものより
も改善することが可能となり、エネルギー発生素子基板
の重ね合わ面と駆動素子ユニットの重ね合わせ面とを確
実に密着させることができる。

【００７２】また、押圧面の近傍に溝を形成して形状不
良などに基づく反りの影響を受けにくくしたので、エネ
ルギー発生素子基板の重ね合わ面と駆動素子ユニットの
重ね合わせ面とを確実に密着させることができる。

【００７３】この結果、エネルギー発生素子ユニットと
駆動素子ユニットとの電気的な接続部分の信頼性や耐久
性を大幅に向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェットヘッドの一実施形
態の外観を表す斜視図である。

【図２】図１に示したインクジェットヘッドの側面図で
ある。

【図３】図１および図２に示したインクジェットヘッド
のエネルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視
図である。

【図４】本発明によるインクジェットカートリッジの一
実施形態の外観を表す斜視図である。

【図５】本発明によるインクジェット装置の一実施形態
の外観を破断状態で表す斜視図である。

【図６】本発明によるインクジェットヘッドの第２実施
形態の外観を表す側面図である。

【図７】図６に示したインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図である。

【図８】本発明によるインクジェットヘッドの第３実施
形態の外観を表す側面図である。

【図９】図８に示したインクジェットヘッドのエネルギ
ー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図である。

【図１０】本発明によるインクジェットヘッドの第４実
施形態の外観を表す側面図である。

【図１１】図１０に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図１２】本発明によるインクジェットヘッドの第５実
施形態の外観を表す側面図である。

【図１３】図１２に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図１４】本発明によるインクジェットヘッドの第６実
施形態の外観を表す側面図である。

【図１５】図１４に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図１６】本発明によるインクジェットヘッドの第７実
施形態の外観を表す側面図である。

【図１７】図１６に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図１８】本発明によるインクジェットヘッドの第８実
施形態の外観を表す側面図である。

【図１９】図１８に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図２０】本発明のインクジェットヘッドに使用可能な
エネルギー発生素子ユニットの部分の他の一例を表す斜
視図である。

【図２１】本発明によるインクジェットヘッドの第９実
施形態の外観を表す側面図である。

【図２２】図２１に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図２３】本発明によるインクジェットヘッドの第１０
実施形態の外観を表す側面図である。

【図２４】図２３に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図２５】本発明によるインクジェットヘッドの第１１
実施形態の外観を表す側面図である。

【図２６】図２５に示したインクジェットヘッドのエネ
ルギー発生素子ユニットの部分の外観を表す斜視図であ
る。

【図２７】従来のエネルギー発生素子ユニットの外観の
一例を表す平面図である。

【図２８】図２７中のXXXIII−XXXIII矢視断面の拡大図
である。

【図２９】エネルギー発生素子ユニットの重ね合わせ面
と、電極接続部材と、駆動素子ユニットの重ね合わせ面
とを抽出拡大した分解図である。

【図３０】図２９に示した電極接続部材を用いてエネル
ギー発生素子ユニットの重ね合わせ面と駆動素子ユニッ
トの重ね合わせ面とを接合した状態を表す抽出拡大図で
ある。

【図３１】電極接続部材を介してエネルギー発生素子ユ
ニットと駆動素子ユニットを接合した状態を表す概念図
である。

【図３２】従来のインクジェットヘッドの一例を表す側
面図である。

【図３３】図３２に示したインクジェットヘッドの分解
斜視図である。

【図３４】従来のインクジェットヘッドの他の一例の外
観を表す斜視図である。

【図３５】図３４に示したインクジェットヘッドの側面
図である。

【図３６】図３４および図３５に示したインクジェット
ヘッドの分解斜視図である。

【図３７】従来のエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとの接続状態の一例を表す側面図である。

【図３８】従来のエネルギー発生素子ユニットと駆動素
子ユニットとの接続状態の他の一例を表す側面図であ
る。

【符号の説明】

１１ 台板 １２ 駆動素子ユニット １３ ワイヤボンディング １４ 回路基板ユニット １５ スペーサ １６ 小ねじ １７ 押圧板 １８ 駆動素子基板 １９ 重ね合わせ面 ２０ エネルギー発生素子ユニット ２１ エネルギー発生素子基板 ２２ 重ね合わせ面 ２３ 押圧面 ２４ クッション部材 ２５ 駆動素子 ２６ 溝付き板 ２７ インク供給管 ２８ フィルタ装置 ２９ 薄肉部 ３０ インクジェットカートリッジ ３１ 主インクタンク ３２ 蓋部材 ３３, ３４ 支持板 ３５ 副インクタンク ４０ インクジェットヘッド ４１ インク吐出口 ５０ インクジェット装置 ５１ 紙送りモータ ５２ プラテンローラ ５３ 案内棒 ５４ キャリッジ ５５, ５６ プーリ ５７ 走査ワイヤ ５８ キャリッジ駆動モータ ５９ 着脱操作レバー ６０ フレキシブルケーブル ７０ 被プリント媒体 ８１ 溝部 ８２ 支持板 ８３ クッション部材収納溝 ８４ 開口

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれインクを吐出するための複数の
   エネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギ
   ー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配
   線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この重
   ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ
   複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニット
   と、 前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一
   端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を
   送出するための複数本の信号配線が設けられると共に重
   ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置する前
   記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設し
   た駆動素子ユニットと、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
   ニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わせ、前記エ
   ネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と反対側
   の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニットを前記
   駆動素子ユニットに押圧することにより、前記接続電極
   を相互に接続するための押圧手段とを有するインクジェ
   ットヘッドにおいて、 前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と
   前記押圧面との間に薄肉部を形成したことを特徴とする
   インクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記押圧面および前記薄肉部は、前記エ
   ネルギー発生素子ユニットの前記信号配線が形成される
   エネルギー発生素子基板に形成されていることを特徴と
   する請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 前記エネルギー発生素子ユニットは、前
   記エネルギー発生素子基板が接合される補強用の支持板
   を有することを特徴とする請求項２に記載のインクジェ
   ットヘッド。
4. 【請求項４】 前記エネルギー発生素子ユニットは、前
   記エネルギー発生素子基板が接合される補強用の支持板
   を有し、前記押圧面および前記薄肉部は、前記支持板に
   形成されていることを特徴とする請求項１に記載のイン
   クジェットヘッド。
5. 【請求項５】 前記薄肉部は溝状をなし、その溝底が前
   記押圧面であることを特徴とする請求項４に記載のイン
   クジェットヘッド。
6. 【請求項６】 それぞれインクを吐出するための複数の
   エネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネルギ
   ー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号配
   線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この重
   ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞれ
   複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニット
   と、 前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素子に一
   端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気信号を
   送出するための複数本の信号配線が設けられると共に重
   ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置する前
   記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を突設し
   た駆動素子ユニットと、 前記エネルギー発生素子ユニットおよび前記駆動素子ユ
   ニットの前記重ね合わせ面を相互に重ね合わせ、前記エ
   ネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と反対側
   の押圧面に当接してエネルギー発生素子ユニットを前記
   駆動素子ユニットに押圧することにより、前記接続電極
   を相互に接続するための押圧手段とを具えたインクジェ
   ットヘッドにおいて、 前記押圧面に隣接して延びる溝部を前記エネルギー発生
   素子ユニットに形成したことを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
7. 【請求項７】 前記押圧面および前記溝部は、前記エネ
   ルギー発生素子ユニットの前記信号配線が形成されるエ
   ネルギー発生素子基板に形成されていることを特徴とす
   る請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 【請求項８】 前記エネルギー発生素子ユニットは、前
   記エネルギー発生素子基板が接合される補強用の支持板
   を有し、前記押圧面および前記溝部は、前記支持板に形
   成されていることを特徴とする請求項６に記載のインク
   ジェットヘッド。
9. 【請求項９】 前記エネルギー発生素子ユニットの前記
   重ね合わせ面と前記押圧面との間に前記溝部に隣接する
   薄肉部を形成したことを特徴とする請求項６から請求項
   ８の何れかに記載のインクジェットヘッド。
10. 【請求項１０】 それぞれインクを吐出するための複数
    のエネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネル
    ギー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号
    配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この
    重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
    れ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニッ
    トと、前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素
    子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気
    信号を送出するための複数本の信号配線が設けられると
    共に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置
    する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
    突設した駆動素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
    ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記重ね合わせ
    面を相互に重ね合わせ、前記エネルギー発生素子ユニッ
    トの前記重ね合わせ面と反対側の押圧面に当接してエネ
    ルギー発生素子ユニットを前記駆動素子ユニットに押圧
    することにより、前記接続電極を相互に接続するための
    押圧手段とを有するインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するためのインクを蓄
    えるインクタンクとを具えたインクジェットカートリッ
    ジにおいて、 前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と
    前記押圧面との間に薄肉部を形成したことを特徴とする
    インクジェットカートリッジ。
11. 【請求項１１】 それぞれインクを吐出するための複数
    のエネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネル
    ギー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号
    配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この
    重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
    れ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニッ
    トと、前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素
    子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気
    信号を送出するための複数本の信号配線が設けられると
    共に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置
    する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
    突設した駆動素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
    ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記重ね合わせ
    面を相互に重ね合わせ、前記エネルギー発生素子ユニッ
    トの前記重ね合わせ面と反対側の押圧面に当接してエネ
    ルギー発生素子ユニットを前記駆動素子ユニットに押圧
    することにより、前記接続電極を相互に接続するための
    押圧手段とを有するインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するためのインクを蓄
    えるインクタンクとを具えたインクジェットカートリッ
    ジにおいて、 前記押圧面に隣接して延びる溝部を前記エネルギー発生
    素子ユニットに形成したことを特徴とするインクジェッ
    トカートリッジ。
12. 【請求項１２】 それぞれインクを吐出するための複数
    のエネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネル
    ギー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号
    配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この
    重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
    れ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニッ
    トと、前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素
    子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気
    信号を送出するための複数本の信号配線が設けられると
    共に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置
    する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
    突設した駆動素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
    ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記重ね合わせ
    面を相互に重ね合わせ、前記エネルギー発生素子ユニッ
    トの前記重ね合わせ面と反対側の押圧面に当接してエネ
    ルギー発生素子ユニットを前記駆動素子ユニットに押圧
    することにより、前記接続電極を相互に接続するための
    押圧手段とを有するインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するためのインクを蓄
    えるインクタンクとを具えたインクジェットカートリッ
    ジを用いるインクジェット装置において、 前記エネルギー発生素子ユニットの前記重ね合わせ面と
    前記押圧面との間に薄肉部を形成したことを特徴とする
    インクジェット装置。
13. 【請求項１３】 それぞれインクを吐出するための複数
    のエネルギー発生素子に一端側が接続してこれらエネル
    ギー発生素子に電気信号を供給するための複数本の信号
    配線が設けられると共に重ね合わせ面が形成され、この
    重ね合わせ面に位置する前記信号配線の他端側にそれぞ
    れ複数の接続電極を突設したエネルギー発生素子ユニッ
    トと、前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動素
    子に一端側がそれぞれ接続して当該駆動素子からの電気
    信号を送出するための複数本の信号配線が設けられると
    共に重ね合わせ面が形成され、この重ね合わせ面に位置
    する前記信号配線の他端側にそれぞれ複数の接続電極を
    突設した駆動素子ユニットと、前記エネルギー発生素子
    ユニットおよび前記駆動素子ユニットの前記重ね合わせ
    面を相互に重ね合わせ、前記エネルギー発生素子ユニッ
    トの前記重ね合わせ面と反対側の押圧面に当接してエネ
    ルギー発生素子ユニットを前記駆動素子ユニットに押圧
    することにより、前記接続電極を相互に接続するための
    押圧手段とを有するインクジェットヘッドと、 このインクジェットヘッドに供給するためのインクを蓄
    えるインクタンクとを具えたインクジェットカートリッ
    ジを用いるインクジェット装置において、 前記押圧面に隣接して延びる溝部を前記エネルギー発生
    素子ユニットに形成したことを特徴とするインクジェッ
    ト装置。