JPH09185094A - 周波数逓倍器を有するレーザ - Google Patents

周波数逓倍器を有するレーザ

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JPH09185094A
JPH09185094A JP8194474A JP19447496A JPH09185094A JP H09185094 A JPH09185094 A JP H09185094A JP 8194474 A JP8194474 A JP 8194474A JP 19447496 A JP19447496 A JP 19447496A JP H09185094 A JPH09185094 A JP H09185094A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 周波数倍加器として作用する第1の光学非線
形結晶と、レーザにより発生するレーザ放出光の伝搬方
向に後配置された周波数逓倍器として作用する少なくと
も一つのさらなる光学非線形結晶を有するレーザにおい
て、より高次の高調波の発生効率を改善する。 【解決手段】 最も後配置された光学非線形結晶を除く
光学非線形結晶(2、3)の各々が、0.1°から6°
の範囲のウォークオフ角を有し、それらの光学非線形結
晶(2、3、7)が互いに、一つの結晶(2、3)の主
断面がその結晶の後に配置される結晶(3、7)の位相
整合に関して角度許容度が小さい方向を有するように配
置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明に属する技術分野】本発明は、周波数倍加器とし
て作用する第1の光学非線形結晶と、レーザにより発生
するレーザ放出光の伝搬方向に後配置された周波数逓倍
器として作用する少なくとも一つのさらなる光学非線形
結晶を有するレーザに関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザ光を周波数逓倍化するためには、
いわゆる光学非線形結晶、すなわち非線形光学効果を生
ずる結晶を一般的に使用する。もし周波数f(1)(基
本波)を有する光波が結晶中を伝搬すれば、2倍の周波
数f(2)=2f(1)で振動する分極の光学非線形断
片を生じる。この周波数で第2高調波の光波が放射され
る。その放射光の方向に最大光量を得るには、基本波と
第2高調波の位相を結晶を伝搬する上で同相に保持しな
ければならない。この位相整合を行うためには、結晶中
の二つの屈折率n(1)とn(2)は等しくなければな
らず、これは複屈折性により得ることができる。
【0003】周波数逓倍化のためには、位相整合の方法
が異なる二つのタイプの結晶:タイプIとタイプIIが用
いられる。
【0004】光学的一軸性結晶の場合、常光線の屈折率
n(o)は異常光線の屈折率n(e)とは異なる値を有
する。常光線は主断面に垂直方向に偏光する光に関し、
異常光線は主断面に平行方向に偏光する光に関する。そ
の結晶の主断面は、光線の入射方向と結晶の光学軸によ
り定義される。
【0005】基本波と第2高調波はお互いに垂直に偏光
している。もし基本波の偏波方向が例えば主断面に垂直
ならば、それは常光線として結晶を伝搬し、第2高調波
は異常光線である。基本波の屈折率n(1,o)は結晶
への全ての入射方向に対し同じ値を有するが、第2高調
波の屈折率n(2,e)は入射角による。もし結晶の光
学軸とz軸が一致したx,y,zの座標系で全ての入射
角に対し屈折率の値をプロットすれば、縦座標の原点に
対し対象の、常光線に対しては球面で異常光線に対して
は循環楕円体となる。もしn(1,o)とn(2,e)
の値が適当にとれば、二つの面は二つの循環線上で交わ
る。これらの循環線上では、二つの屈折率は一致し位相
整合がなされる。
【0006】図1は、上記した形態の断面図を示した図
である。n(1,o)に対しては円が得られ、n(2,
e)に対しては楕円が得られる。線Lは位相整合が保持
できる光線を表す。それは結晶の光学軸に対して角度θ
をなして進む。もし光線方向が放射面内で微少な角度の
ずれが生じたなら、これによりn(1,o)とn(2,
e)の屈折率は比較的大きくずれが生じてしまい、位相
整合はもはや最適条件ではなくなってしまう。もし光線
方向が放射面と垂直方向に同じ角度ずれが生じた場合
は、これによる屈折率のずれは非常にわずかなものであ
る(この場合、光線は位相整合が保持される円と楕円の
循環交点にほぼ沿う)。
【0007】結晶の角度許容度として良好な位相整合を
与える角度範囲に関して述べる。角度ずれが屈折率の大
きなずれを導く方向は、小さな角度許容度を有する結晶
の方向である。したがって、それと垂直方向が良好な角
度許容度を有する角度となる。最適な位相整合のために
は、結晶へ入射される光線の発散角が角度許容度よりも
小さくなければならない。
【0008】もし光線が基本波光線として結晶に送り込
まれるならば、周波数逓倍光線は結晶を通る光路上にお
いて主断面内で徐々に横側へ基本波光線の光路をはずれ
る。この過程は「ウォークオフ効果」として知られ、結
晶材料に依存してその強さが変わる。それはウォークオ
フ角、すなわち基本波光線と周波数逓倍光線との間の角
度により定量化される。そのウォークオフ効果はまた、
結晶から出射する際に、周波数逓倍光線の断面を、結晶
の主断面内に楕円の大きな半軸を有する楕円に変形させ
てしまう。
【0009】光学非線形結晶から出射する基本波および
第2高調波の光線は、例えば混合によりさらに基本波の
3倍波を発生させる第2の光学非線形結晶へと導かれ
る。周波数逓倍化の高効率化においては、基本波と第2
高調波の光線断面は第2の結晶においてできる限り完全
に重なりあわなければならず、それは重なり合った領域
においてのみ光波の混合が生ずるからである。しかしな
がら物理的な理由で、基本波の光線は第2高調波よりも
1.414倍の直径を有する。もしさらなる結晶におい
て基本波と第3高調波との混合により基本波の4倍波を
発生させたい場合には、混合される光線の直径がさらに
大きく異なるため、わずかな重畳となってしまうため低
効率となってしまう。
【0010】上記したタイプのレーザが、R.Wu,J.D.Mye
rs and S.J.Hamlinの"IntracavityFourth Harmonic Gen
eration Using Three Pieces of LBO in a Nd:YAG Lase
r",OSA Proceedings on Advanced Solid-State Lasers,
Vol.20,1994の文献に述べられている。しかしながら、
光線の重畳や位相整合に関してはなんら改善されていな
い。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、より
高次の高調波の発生効率に関して、周波数倍加器として
作用する第1の光学非線形結晶と、レーザにより発生す
るレーザ放出光の伝搬方向に後配置された周波数逓倍器
として作用する少なくとも一つのさらなる光学非線形結
晶を有するレーザを改善することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】その改善は、最も後配置
された光学非線形結晶を除く光学非線形結晶の各々が、
0.1°から6°の範囲のウォークオフ角を有し、それ
らの光学非線形結晶が互いに、一つの結晶の主断面がそ
の結晶の後に配置される結晶の位相整合に関して角度許
容度が小さな方向を有するように配置されることにより
達成される。
【0013】光学非線形結晶のウォークオフ効果は、さ
らなる結晶内のその次の混合における基本波および周波
数逓倍光の光線断面の重畳を改善するため、本発明にお
いて利用される。第1の結晶の主断面方向にウォークオ
フ効果により広げられる周波数逓倍光の断面は、ウォー
クオフ効果のない円形断面を保持する光線より、基本波
光線に対してより大きな重畳面を有する。
【0014】その重畳はさらに、その後の結晶において
重畳が最適になるように、最も後配置された光学非線形
結晶を除く光学非線形結晶の長さを特定化することによ
ってウォークオフ効果の作用力を制御することにより改
善できる。最適な重畳は、結晶内で基本波と混合される
周波数逓倍光の断面領域の大きな半軸が基本波の断面の
直径とほぼ一致する際になされる。特定の結晶の必要長
Lkは、ウォークオフ角φの大きさと、および基本波の
直径Dpとウォークオフ効果のないこの基本波と重畳さ
れる周波数逓倍光の直径Dfとの差に依存する。長さL
kは以下の公式によりおよそ計算される。
【0015】Lk≒(Dp−Df)/tanφ この公式が他の光学的および機械的必要性をも満たす結
晶長をもたらすためには、ウォークオフ角は約0.1°
から約6°の範囲でなければならない。
【0016】楕円形断面を有する光線は、その小さな半
軸方向よりも大きな半軸方向に対して発散が小さい。
【0017】さらに、後の結晶の位相整合に関して角度
許容度が小さい方向と平行である発散が小さな方向に伝
搬する楕円形光線の向きを調整することにより、より高
次の高調波の発生効率の最適化をすることができる。過
度な光線発散による位相整合の悪化を極力避けることに
より、その改善がなされる。
【0018】もし光線の偏波方向が、後の結晶の選択さ
れた方位において結晶に必要とされる方向に向いていな
いなら、その偏波方向は偏波回転素子により楕円光線の
半軸方位に対し適当な方向へと回転させることができ
る。
【0019】レーザと第1の結晶との間および個々の結
晶の間に、結晶内でレーザ光のパワー密度を増加させる
ため、集光光学素子を配置することができる。
【0020】もし集光光学素子を用いないなら、結晶は
他の結晶と近接して配置することが望ましい。その距離
は0でもよい。結晶は互いに対し直線上に配置される。
この距離の上限として、基本波の波長におけるレイリー
長の約20%の値とする。これにより結晶をほぼ平面波
面で伝搬することができる。
【0021】
【発明の効果】本発明によれば、周波数倍加器として作
用する第1の光学非線形結晶と、レーザにより発生する
レーザ放出光の伝搬方向に後配置された周波数逓倍器と
して作用する少なくとも一つのさらなる光学非線形結晶
を有するレーザにおいて、より高次の高調波の発生効率
を改善することができる。
【0022】また本発明によれば、連続波およびパルス
のすべてのタイプのレーザに対し適用可能であり、ここ
で非線形結晶はレーザ共振器の内部および外部のどちら
も配置することができる。
【0023】さらに本発明によれば、ダイオード励起レ
ーザに対して特に利点を有しており、それはレーザ出力
が比較的小さいために、ここでの周波数逓倍効率を最適
化することが特に重要であるからである。
【0024】
【発明の実施の形態】図2に示される周波数逓倍レーザ
は、真のレーザ1、例えばNd:YAGレーザで、波長
1064nmの赤外線レーザ光を放射するレーザと、二
つの光学非線形結晶2および3からなる。
【0025】レーザからの放出光は、第1の非線形光学
結晶へ基本波光線として導かれる。第1の非線形光学結
晶は周波数倍加器として作用し、例えばニオブ酸カリウ
ムで構成されるタイプIの結晶である。結晶2は基本波
波長1064nm(赤外線)と高調波波長532nm
(緑)を放出する。緑色レーザ光の光線断面は、結晶2
内のウォークオフ効果により楕円に変形するが、赤外線
の断面は円形のままである。
【0026】両光線は、第2の光学非線形結晶3へと導
かれる。結晶3は、赤外線と緑色レーザ光を周波数混合
するよう作用し、その出力には赤外線(1064nm)
と緑色レーザ光(532nm)だけではなく、基本波の
3倍波のレーザ光(355nm)を出力する。その結晶
はタイプIおよびタイプIIのどちらでもよい。この例で
は、タイプIIの結晶であるニオブ酸リチウムを用いる。
【0027】第1の光学非線形結晶2の長さと、緑色レ
ーザ光の光線断面のウォークオフ効果の作用力は、赤外
線および緑色レーザ光の断面が第2の光学非線形結晶内
で最適に重畳するように選択された。この最適状態は基
本波および高調波の放射パワーの合計が重畳領域内にお
いて最大になるときに達成される。
【0028】図3には、緑色レーザ光の楕円形に変形し
た断面4の大きい方の半軸が赤外線の断面の直径5にほ
ぼ一致している、この最適な重畳状態を示す。ウォーク
オフ効果により、断面4は断面5から中心がはずれて配
置される。
【0029】第2の光学非線形結晶3の主断面に対する
第1の光学非線形結晶2の主断面の設定は、緑色の発散
が小さい方の方向が第2の光学非線形結晶3の角度許容
度の小さな方向と平行であるように選択される。これに
より、結晶3内での赤外線と緑色レーザ光との良好な位
相整合が得られる。
【0030】光学非線形結晶には、互いに対してそして
結晶主断面に対して、放射光波の偏波面をそれらが機能
する方向にする必要がある。レーザ光が放出される軸を
中心に第1の光学非線形結晶を回転させることにより、
その主断面をレーザ1の偏波方向にあわせることができ
る。第1の光学非線形結晶2に対して第2の光学非線形
結晶を回転させることにより、その主断面を第1の光学
非線形結晶2からの放射光の偏波方向に合わせることが
できる。もし緑色レーザ光の発散が小さい方向が、この
配列で第2の光学非線形結晶3の角度許容度が小さな方
向に対し平行ではなかったら、緑色レーザ光の偏波方向
とともに赤外線の偏波方向を適当に回転させるための偏
波面回転素子6を用いることができる。緑色レーザ光の
発散が小さい方向は、その向きを保持したままである。
そのような偏波回転素子は、例えば赤外線および緑色レ
ーザ光の分散を利用する二分の一波長板として作用する
ように構成される。
【0031】光学非線形結晶2および3は、互いに対し
それらの結晶面を、第2の光学非線形結晶3のウォーク
オフ効果が第1の光学非線形結晶2のウォークオフ効果
の反対の方向に作用するように配置される。もし赤外線
および緑色レーザ光が例えば第1の光学非線形結晶2の
中で放出面内の上方へ発散するなら、それらは第2の光
学非線形結晶3の中で放射面内で再び下方へと収束す
る。この光線誘導は光線の最適重畳にとって重要であ
る。
【0032】図4には、図2と同様のセットアップで、
第3の光学非線形結晶により拡張し、結晶2、3、7の
それぞれの前に3つの集光光学素子8、9、10を配置
したものを示す。この例では偏波回転素子はない。第3
の光学非線形結晶7もまた、例えばタイプIIの結晶であ
るニオブ酸リチウムであってもよい。それにより、その
結晶へと入射される1064nmと355nmの波長の
光を混合し、基本波の4倍周波数であるUV光(波長2
66nm)を生じる。
【0033】第2の光学非線形結晶3のウォークオフ効
果は、基本波(1064nm)とUV光(355nm)
の重畳が最適になるように調整される。UV光線(35
5nm)の発散が小さい方向は、第3の光学非線形結晶
7の位相整合に関して角度許容度の小さい方向に位置さ
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】結晶中を入射角を横切る常光線および異常光線
の屈折率を示した概念図
【図2】2つの光学非線形結晶を有するレーザの構成図
【図3】最適重畳状態の基本波光線および周波数倍加光
線の断面図
【図4】3つの光学非線形結晶を有するレーザの構成図
【符号の説明】
1 レーザ 2 第1の光学非線形結晶 3 第2の光学非線形結晶 4 周波数倍加光線の断面 5 基本波光線の断面 6 偏波回転素子 7 第2の光学非線形結晶 8、9、10 集光光学素子

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周波数倍加器として作用する第1の光学
    非線形結晶と、レーザにより発生するレーザ放出光の伝
    搬方向に対し該第1の光学非線形結晶の後に配置され周
    波数逓倍器として作用する少なくとも一つのさらなる光
    学非線形結晶とを有するレーザにおいて、 最も後配置された光学非線形結晶を除く前記光学非線形
    結晶(2、3)の各々が、0.1°から6°の範囲のウ
    ォークオフ角を有し、該光学非線形結晶(2、3、7)
    が互いに、一つの結晶(2、3)の主断面が該結晶の後
    に配置される結晶(3、7)の位相整合に関して角度許
    容性が小さな方向を有するように配置されることを特徴
    とするレーザ。
  2. 【請求項2】 前記最も後配置された光学非線形結晶を
    除く光学非線形結晶(2、3)の長さが、第1の周波数
    逓倍されたレーザビームの断面領域の大きな半軸の長さ
    が該第1のレーザビームと重畳される第2のレーザビー
    ムの断面領域の直径とほぼ一致するように選択されるこ
    とを特徴とする請求項1記載のレーザ。
  3. 【請求項3】 少なくとも一つの偏波回転素子(6)
    が、前記光学非線形結晶の間に、混合される前記レーザ
    ビームの偏波方向をともに回転させるために配置される
    ことを特徴とする請求項1および2記載のレーザ。
  4. 【請求項4】 二つの連続する光学非線形結晶(2と3
    または3と7)の間の最大距離が、前記レーザにより発
    生するレーザ放出光の波長におけるレイリー長の約20
    %であることを特徴とする請求項1から3記載のレー
    ザ。
  5. 【請求項5】 前記レーザにより発生するレーザ放出光
    の伝搬方向に対し、少なくとも一つの光学非線形結晶
    (2、3、7)の前に集光光学素子(8、9、10)が
    配置されることを特徴とする請求項1から3記載のレー
    ザ。
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