JPH09184068A

JPH09184068A - 連続体の製造工程管理方法及び表示制御方法

Info

Publication number: JPH09184068A
Application number: JP34387495A
Authority: JP
Inventors: Fumito Takada; 文人高田; Toshio Akiyama; 敏雄秋山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-12-28
Filing date: 1995-12-28
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【課題】連続体などの加工物の加工工程について、時
間順に発生する異常事象データと、その異常事象が発生
した加工物上の位置とを有機的に関連づけて表示する工
程管理方法及び管理表の表示制御方法を提供する。【解決手段】一覧表示に、複数の事象データを発生毎
に区別して表示し、グラフィック表示には、同じ種類の
事象データを同じバー上に発生順に表示する。一覧表示
とグラフィック表示において、一方の表示において目的
の事象データを選択すると、他方の表示においてその事
象データが目立って表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば帯状の連
続体等を製造する過程での工程管理方法及びその表示制
御方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】１つのユニットを大量生産する所謂単品
生産と帯状に長い連続体を製造する場合とにおいて、大
きく異なる点は、単品製造においては、個々の単品を特
定することが容易であるのに対し、連続体では、単位が
存在しないので、従来では、加工条件の管理のみを行っ
たり、或いは、連続体のロット単位で管理を行ったりし
ていた。

【０００３】加工条件を管理するとは、加工時の温度、
気圧、湿度などを記録し、爾後それらのデータを検証す
るというものである。また、ロット管理とは、連続体１
つのまとまりに対して、番号を付して、同じ番号を有す
るロットは同じ製造条件で製造されたものと考え、ある
ロットの一部に不良が発見された場合は、そのロットの
全てに不良が発生しているであろうと考えるものであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】すなわち、連続体の製
造における従来の管理方法では、連続体のどの位置にど
のような加工不良があるかということまではわからなか
った。そのため、加工が施された連続体を切断して各固
体に分離する工程においても、連続体を目視あるいは自
動で検査し、不良箇所を排除しながら切断を行ったり、
または無条件で切断されたものを後工程で検査し、不良
品を排除するのが通例であった。

【０００５】帯状の連続体の製造を、従来の人手による
不良品の検査から脱皮して、コンピュータなどで管理す
る場合には、従来にはない管理データの表示方法が必要
となる。連続体は、切れ目がないために、管理すべきデ
ータが発生しても、そのデータの発生を、連続体上でど
のように特定して表示すべきかの課題が残るからであ
る。

【０００６】本発明は上述した課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、連続体などの加工
物の加工工程について、時間順に発生する事象データ
と、その事象が発生した加工物上の位置とを有機的に関
連づけて表示する工程管理方法及び管理表の表示制御方
法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明の、加工素材としての連
続体が加工工程を渡り歩く生産プロセスを管理する連続
体の製造工程管理方法は、前記加工工程において発生し
た複数事象のデータを、一覧表示すると共に発生順にグ
ラフィック表示し、一覧表示中の任意の事象データと、
この任意の事象データに対応するグラフィック表示中の
事象データの時間位置との対応付けを可視表示すること
を特徴とする。

【０００８】本発明の好適な一態様に拠れば、前記加工
工程において発生した複数事象は異常を示す事象である
ことを特徴とする。本発明の好適な一態様に拠れば、一
覧表示には、事象の識別子と、その事象の発生時間とを
含んで表示する。本発明の好適な一態様に拠れば、前記
複数事象のデータは時間発生順に表形式で並べられて表
示される。

【０００９】本発明の好適な一態様に拠れば、前記複数
事象のデータは、事象の識別子と、その事象の発生時間
とを含み、前記一覧表示は、事象の識別子と、その事象
の発生時間とを、時間発生順に表形式で並べて表示し、
前記グラフィック表示においては、事象データが、事象
毎に且つ事象の発生順に、バー表示されることを特徴と
する。

【００１０】本発明の好適な一態様に拠れば、一覧表示
中の任意の事象データは反転表示され、この任意の事象
データに対応するグラフィック表示中の事象データの時
間位置は他の事象データの時間位置と異なるように表示
される。このような表示により対応付けが認識でき、即
ち、象の発生とその事象の詳細なデータとが同時に把握
することができる。

【００１１】本発明の好適な一態様に拠れば、事象デー
タの時間位置は、前記連続体の原点位置からの距離に換
算されて表示されることを特徴とする。連続体は距離位
置と時間位置とが対応するからである。本発明の好適な
一態様に拠れば、一覧表示には、複数の事象データが発
生毎に、１行毎もしくは１列毎に並べられて表示され、
グラフィック表示中には、同一種類の事象データがバー
表示として表示され、１つのバー表示には同一種類の事
象データが発生時間順に並べて表示されていることを特
徴とする。

【００１２】本発明の好適な一態様に拠れば、一覧表示
において、目的の事象データを選択すると、その事象デ
ータ及び関連データが反転表示され、グラフィック表示
において、前記選択された目的の事象データに対応する
発生位置がバー表示中にカーソルを付されて表示される
ことを特徴とする。目的の事象を把握するための操作性
が向上する。

【００１３】本発明の好適な一態様に拠れば、グラフィ
ック表示において、目的の事象データに対応する発生位
置をバー表示中で選択すると、当該位置にカーソルが表
示され、一覧表示において、前記選択された発生位置に
対応する事象データ及び関連データが反転表示されるこ
とを特徴とする。目的の事象を把握するための操作性が
向上する。

【００１４】上記課題を達成するための本発明の、加工
素材としての連続体が加工工程を渡り歩く生産プロセス
を管理するための工程管理表の表示制御方法は、前記加
工工程において発生した所定事象のデータを、発生毎に
一覧表示し、前記加工工程において発生した前記事象の
データを発生順にグラフィック表示し、一覧表示中の任
意の発生時点の事象データを選択すると、その選択され
た事象データが他の発生時点の事象データと区別して表
示され、前記グラフィック表示中において、前記選択さ
れた発生時点に対応する位置に、その事象データの発生
が可視表示されることを特徴とする。目的の事象を把握
するための操作性が向上する。

【００１５】さらに、上記課題を達成するための本発明
の、加工素材としての連続体が加工工程を渡り歩く生産
プロセスを管理するための工程管理表の表示制御方法
は、前記加工工程において発生した所定事象のデータ
を、発生毎に一覧表示し、前記加工工程において発生し
た前記事象のデータを発生順にグラフィック表示し、前
記グラフィック表示中において任意の発生時点を選択す
ると、その選択された発生位置においてその事象データ
の発生が可視表示されるとともに、前記一覧表示中にお
いて、前記選択された発生時点に対応する事象データが
他の発生時点の事象データと区別して表示されることを
特徴とする。目的の事象を把握するための操作性が向上
する。

【００１６】本発明の好適な一態様に拠れば、前記事象
は複数種類が設定され、前記グラフィック表示において
は、同一種類の事象データは時間発生順に同じバーとし
て表示されることを特徴とする。同時に、異なった種類
の事象を管理することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００１８】〈太陽電池の製造システム〉図１は本発明
に係わる工程管理方法が適用されるアモルファスシリコ
ン太陽電池の製造工程の一実施形態を示す構成図であ
る。本実施形態で製造される製品すなわち太陽電池の製
造工程は、ステンレス薄板をロール状に巻いた加工素材
２２を１単位として、図５に示す様に、(I)洗浄、(II)
成膜Ａ、(III)成膜Ｂ、(IV)成膜Ｃ、(V)切断の工程を順
に行い、全工程が終了するものである。各成膜工程で
は、（２）スパッタ法によるＡｌ／ＺnＯ裏面反射層、
（３）プラズマＣＶＤ法によるｎ／ｉ／ｐ型アモルファ
スシリコン半導体層、（４）スパッタ法によるＩＴＯ透
明導電層、の形成がなされる。また、(V)の切断の工程
は、２〜４の成膜工程によって３層が成膜された加工素
材２２をシャーリング装置３０にかけて定尺に切断する
もので、この定尺スラブが後の実装工程を経て最終製品
として完成する。

【００１９】図１を参照すると、本実施形態の製造装置
１０における各工程の加工装置１２，１４，１６，１８
の各々は、実際の加工を行うプロセス部Ｐと、その前後
に配置されロール状に巻かれた薄板状の加工素材２２を
プロセス部Ｐを通過させながら搬送するための搬送部Ｔ
とから概略構成されている。即ち、図１における各加工
装置１２，１４，１６，１８の夫々には、最初に加工素
材２２の巻出し装置２４が配置されており、洗浄、成膜
等のプロセス部Ｐを経て、最後に加工素材２２の巻取り
装置２６が配置されている。具体的には、洗浄装置１２
では、巻出し装置２４にセットされた加工素材２２が、
溶剤洗浄槽、純水洗浄槽、ベーパー置換槽、乾燥等のプ
ロセス部Ｐを経て、巻取り装置２６によって巻き取られ
る。かくして、搬送部Ｔは、巻き出し装置２４と巻き取
り装置２６とを含む。なお、駆動系としては、巻取り装
置２６に順回転モーターが配置されているとともに、巻
出し装置２４には逆回転モーターが配置されており、一
定のテンションが保たれるようになされている。

【００２０】(V)の切断工程ではロール状の加工素材２
２をセットした後にＮＣフィーダ２８で定量の送り出し
を行い、シャーリング装置３０で切断を行う。

【００２１】ある加工装置（１２，１４，１６，１８）
で加工された加工素材２２は人手によって或いはロボッ
ト（不図示）によって次の加工装置にまで搬送される。
即ち、ある加工装置の巻取り装置２６によって巻き取ら
れロール状にされた加工素材２２は、人手によってある
いはロボット等によって、次の工程の加工装置の巻出し
装置２４にセットされる。そして、その次の工程の加工
装置の巻出し装置２４から再び加工素材２２が巻き出さ
れて、その次の工程におけるプロセスの加工が行われ
る。従って、１つの加工装置における加工素材２２の巻
出し回転方向と、それに隣り合う加工装置におけるロー
ルの巻出し回転方向とは必然的に互いに逆方向となる。
即ち、加工素材２２は、各工程を経る毎に加工素材２２
の始点と終点が逆転する。

【００２２】各加工装置１２，１４，１６，１８で加工
素材２２に所定の加工が施されると、この加工が施され
た加工素材は(V)の最終工程で定尺に切断される。

【００２３】加工装置１２，１４，１６，１８の各巻取
り装置２６には、図２に示すように、加工素材２２の巻
取りと同期して回転する折返し回転ローラ３３と、この
ローラ３３に直結したロータリーエンコーダ３４が備え
られており、加工素材２２の巻き取りスピードを一定に
制御すると共に、ＰＬＣ内ではそのパルス信号をカウン
トすることにより、加工素材２２の巻き取り量（原点か
らの距離）を把握する。

【００２４】ここでＰＬＣとはプログラマブル・ロジッ
ク・コントローラの略称であり、多種類の制御がプログ
ラム次第で可能である。基本構成は、ＩＮＰＵＴボー
ド、コンピュータユニット、ＯＵＴＰＵＴボード、通信
モジュール等であり、信号・情報の収集はＩＮＰＵＴボ
ードか通信モジュールを介して行う。また、そのタイミ
ングも夫々アットランダムである。コンピュータユニッ
トでは一定時間毎に、それらの入力状態をチェックし、
該当するプログラム化されたロジックに従い、ＯＵＴＰ
ＵＴボードか通信モジュールから所定の出力動作を行っ
たり、レジスターと呼ばれる固定番地のメモリー上に情
報を書き込んだりする。

【００２５】〈ＰＬＣの構成〉次に、図３は、各加工装
置のＰＬＣの接続状態を示した図であり、図４は、製造
装置１０に何らかの異常が発生した場合の管理コンピュ
ータ３６内の情報処理の流れを示した図である。

【００２６】図３に示すように、各々の加工装置のＰＬ
Ｃは、上位の管理コンピュータ３６に接続されている。
また、切断加工を除く、(I)洗浄、(II)成膜装置Ａ、(II
I)成膜装置Ｂ、(IV)成膜装置Ｃの各加工装置には、搬送
部Ｔを制御するモーションコントロール用ＰＬＣとプロ
セス部Ｐを制御するプロセスコントロール用ＰＬＣの２
台が接続されている。モーションコントロール用ＰＬＣ
は、主に走行系異常や加工素材の巻取り量といった搬送
系にかかわる動作や、稼動開始時にオペレータが操作盤
に入力する情報などを扱う。また、プロセスコントロー
ル用ＰＬＣでは、センサーや下位の制御機器からの異常
信号を受け、真空圧、放電電圧・電流、ガス圧、温度等
の監視を行っている。これらの入力に対しては、各加工
装置毎に、各々決められたレジスターが用意されてお
り、それがエラーコードとして外部に対しての出力に用
いられる。ＰＬＣの別のレジスターには、上記監視のた
めのデータ入力と並行して、加工素材２２の巻取り量
（ローラ３３の回転量）が入力されており、加工素材の
搬送に伴いその数値は刻々と変化する。

【００２７】図４は、加工素材認識番号（ＩＤ＝“A940
11”）という加工素材２２について、成膜装置Ｂの第２
チャンバーの水素ガス流量低下という事態が発生した場
合における、その事象の処理の手法の一例を示す。この
例の場合、該当するマスフローコントローラから予め設
定されている圧力下限値を下回ったことを伝えるアラー
ム信号がＰＬＣに入力され、ＰＬＣは即座にそのエラー
に割り当てられた固有レジスターにフラグを立てる。な
お、これらのアラーム信号やレジスターフラグは、この
異常が回復するまで出力され続ける。これらの情報を上
位の管理コンピュータ３６は一定の間隔で収集してい
る。

【００２８】図４における異常処理の第１ステップは、
成膜装置Ｂの第２チャンバーの水素ガス流量低下という
異常（エラーコードを仮に“Ｍ１２”とする）と、異常
が起きたときの加工素材２２の巻取り量（ｌ）と、異常
が回復したときの加工素材の巻取り量（ｌ’）とを、１
次データとして認識することである。また他には、この
該当加工素材のＩＤ番号（仮にＡ９４０１１とする）や
時刻なども対応付けて記憶保存される。

【００２９】なお、加工素材のＩＤ番号は、各加工装置
の巻出し装置２４に加工素材２２を装着する度に、加工
素材交換時作業としてオペレーターがＰＬＣに直接入力
し、その情報が管理コンピュータ３６で収集される。

【００３０】〈異常発生位置の認識〉各加工装置のＰＬ
Ｃが認識した加工素材２２の巻取り量は、その加工装置
（図４の例では成膜装置Ｂ）の巻取り装置２６における
折り返し回転ローラ３３が検出した自身の回転量であ
る。この回転量が示す値は、ローラ３３の位置における
素材２２の部位の位置を示すに過ぎない。一方、各加工
装置においては、巻き出し装置２４と巻き取り装置２６
の間には複数のチャンバーが存在するものであるから、
ローラ３３の回転量は、これらチャンバーのどこで異常
が発生したかを示すものではない。図４の第２ステップ
から第４ステップは、ローラ３３の回転量から、実際に
異常の発生した位置（図４，図６の例では第２チャンバ
ー）を特定する方法を説明するものである。

【００３１】管理コンピュータ３６内では、各異常に対
応した次の２つの固有値が予め「エラーコードテーブ
ル」内に用意されている。１つの固有値は「ずれ量」
（本例ではｇで表す）であり、このｇは、ローラ３３
（巻取り量計測地点）から異常を検出した信号に関連す
るチャンバーの先端までの距離を示す。換言すれば、ｇ
は、巻取り量計測地点から、この異常が影響を及ぼす先
端位置までの距離を意味し、本例では成膜装置Ｂの巻取
り装置２６における折り返し回転ローラ３３の地点から
第２チャンバーの先端までの距離となる。もう１つの固
有値は、検出した異常が影響を及ぼすであろう最大範囲
を示す量（これを、記号ａで表す）であり、図４，図６
の例では、異常が水素ガス流量低下であり、かかる異常
事態は、その時点で第２チャンバー内にあった素材が全
て影響をうけるものであるので、第２チャンバー長がａ
となる。

【００３２】そこで、異常処理の第２ステップ（図４）
では、すみやかにエラーコードテーブルの検索を行いそ
れらの固有値を得る。

【００３３】異常処理の第３ステップは、これらの１次
データ（異常を示す信号と巻き取り量）と固有値（ｇと
ａ）を使って、相対的な不良ポジションを算出すること
である。異常を最初に検出したときのローラ３３が検出
した巻き取り量（ｌとする）は、図６の例では、異常が
最初に検知された時点でローラ３３の位置で計測したと
ころの、巻き取り装置２６が巻きとった素材２２の量を
意味し、正常に回復したと検出した時点でのローラ３３
の巻き取り量（ｌ’）は、その時点までに巻き取り装置
２６が巻きとった素材２２の量を意味する。従って、加
工素材Ａ９４０１１の相対的な不良位置は、加工素材Ａ
９４０１１のｌ＋ｇからｌ’＋ｇ＋ａの範囲において、
Ｍ１２のエラーが発生したという２次データとして表さ
れる。

【００３４】一般的には、ｉ番目の加工装置のｊ番目の
チャンバーにおいて、異常が検出された場合には、ｌは
その加工装置ｉに固有の値であり、ａ，ｇはその加工装
置ｉの特定のチャンバーｊに固有の値であるから、不良の開始位置＝ｌ_i＋ｇ_ij 不良の終了位置＝ｌ'_i＋ｇ_ij＋ａ_ij となる。

【００３５】第３ステップで検出された不良位置は、そ
の加工装置内における相対的な不良位置に過ぎない。換
言すれば、異常が検出された加工装置に素材が到着する
までに、当該素材（識別コード“Ａ９４０１１”）が通
過してきた加工装置の特性によって距離算出に与える受
ける影響は考慮されていない。

【００３６】図４の第４ステップは、異常が検出された
工程に固有の相対的な不良ポジションを、その加工素材
固有の絶対的な不良ポジションに補正・変換する処理と
なる。これには各加工素材ごとの全長値Ｌと、次の２つ
の要素：（１）巻取り量の計測を開始した原点の、各工程（加工
装置）間のばらつきｂと、（２）奇数番目の加工工程
（図１の例では工程１と３）と偶数番目の加工工程（図
１の例では工程２と４）での、加工素材２２の巻き出し
回転方向の相違とを考慮して行う。

【００３７】図６から分かるように、加工素材２２の端
点（絶対値０）から、巻取り量計測原点（ローラ３３の
位置）までの距離ｂは各加工装置によってバラバラであ
る。この距離ｂをオフセット値として加算する。距離ｂ
は加工装置ｉに固有の値であるから、ｂ_iとして表す。
奇数番目の工程（図１の例では工程１と３）での素材２
２の加工素材２２の回転方向は、偶数番目の工程（図１
の例では工程２と４）での回転方向と逆転する。即ち、
長さＬの素材が巻きとられ、その後に巻き出されていく
場合において、巻き取り過程においてその素材の先端か
らｘの位置は、巻き出し過程においては、巻き出し過程
における先端からＬ−ｘの位置となる。従って、巻き取
りが逆転した場合には、異常発生位置を特定するために
は、加工素材２２の巻取り量を全長値Ｌから差し引く必
要がある。従って、（２）の回転方向を考慮する必要が
あるのである。

【００３８】管理コンピュータ３６内では、加工素材２
２毎の全長値（識別番号ｐの素材の長さをＬ_pとする）
と、工程毎の巻取り量計測原点のオフセット値（本例で
はｂ_iとする）が予めテーブルとして用意されている。
異常発生があった加工装置が偶数番目の加工工程であっ
た場合には、第３ステップで得られた２次データは次の
ように変換される。

【００３９】ｌ_i＋ｇ_ij → Ｌ_p−（ｌ_i＋ｇ_ij＋ｂ_i）ｌ'_i＋ｇ_ij＋ａ_ij → Ｌ_p−（ｌ'_i＋ｇ_ij＋ａ_ij＋ｂ_i）よって、加工素材Ａ９４０１１が偶数番目の加工工程で
異常検出された場合における絶対位置換算の不良ポジシ
ョンは、「加工素材Ａ９４０１１の（Ｌ_p−（ｌ'_i＋ｇ
_ij＋ａ_ij＋ｂ_i））から（Ｌ_p−（ｌ_i＋ｇ_ij＋ｂ_i））の
範囲にＭ１２のエラーが生じた」という結果になる。

【００４０】最終的に第５ステップで、この結果を加工
実績ファイルに書き込み、データ保存する。

【００４１】加工素材２２が工程(IV)を終了した時点
で、オペレーターは管理コンピュータ３６内の各加工実
績データの統合された結果をチェックする。ここでは予
め設定された各異常内容の軽重により、実装工程に流す
べきでない不良排出領域が自動的に選択されている。

【００４２】最終の(V)の切断工程では、管理コンピュ
ータ３６内の加工実績データを用いて、定尺に切断され
た個々のスラブが加工素材２２の不良排出領域を含んで
いるかどうか判断し、不良排出領域を含んでいる場合に
は自動的に選別排除される。これら一連のシステムによ
って、品質上問題のないスラブのみが後の実装工程へ送
られるので、無駄な実装コストの削減、または検査コス
トの削減を図ることができる。

【００４３】最終の切断工程における、不良素材の判断
は、本システムが、自動的に行うが、併せてその不良個
所や不良データの表示を行うことによって、操作者の便
宜に供している。この表示については、図ＸＸを用いて
後に詳しく説明する。

【００４４】〈有効長の変化〉次に、各加工装置間での
加工素材を交換したときの有効長の変化について説明す
る。

【００４５】図７は、前述した(I)の洗浄工程における
加工素材の交換方法を模式的に示した図である。図１の
例では、洗浄工程は最初の工程であるので、この時の加
工素材２２の長さはＬ_pである。洗浄工程では、長さの
Ｌ_pの長さの素材（巻き出し装置２４にセットされてい
る）の先端が半自動送りで巻き取り装置２６側に送られ
て、その先端が巻き取り装置２６に巻き付けられる。一
旦巻き付けられると、その後は、システムが所定の速度
で巻き出し装置２４及び巻き取り装置２６を制御しなが
ら、素材２２を順々に巻き取り装置２６側へ送ってい
く。この送りの過程で、素材２２は洗浄される。

【００４６】図７（ａ）に示すように、加工素材２２の
洗浄が進み、巻出し装置２４側の加工素材ロール３２の
残量がわずかになると、残量がわずかになったことを不
図示の残量検出装置が検出し、加工素材の巻出し及び巻
取りが停止される。この残量検出装置は、例えば、加工
素材ロール３２の厚みを検出するセンサー等から構成さ
れる。

【００４７】次に、オペレータは、巻出し装置２４側の
加工素材ロール３２の残量を目視で確認しながら、巻出
し装置２４及び巻取り装置２６をマニュアルで動かすこ
とができるボタン等を操作し、図７（ｂ）に示すように
半自動送りで加工素材２２の先端部を巻出し装置２４か
らリリースさせる。

【００４８】次に、オペレータは、図７（ｃ）に示すよ
うに新たな加工素材ロール３２’を巻出し装置２４に装
着し、この新たな加工素材ロール３２’の先端部と、加
工素材２２の後端部を３４において溶接する。この時点
で、

【００４９】次に、オペレータは、図７（ｄ）に示すよ
うに、再び目視で確認しながら半自動送りで加工素材２
２を移動させ、溶接部３４を巻取り装置２６側に移動さ
せる。そして、図７（ｅ）に示すように加工素材２２を
溶接部３４の位置で切断する。

【００５０】その後、オペレータは、図７（ｆ）に示す
ように、巻取り装置２６側に巻き取られた加工素材ロー
ル３６を巻取り装置２６から取り外し、新たな加工素材
ロール３２’の先端部を人手により巻取り装置２６に巻
き付ける。

【００５１】以上により、洗浄工程(I)における加工素
材ロールの交換を終了する。なお、この洗浄工程では、
前述した折り返し回転ローラ３３に直結されたロータリ
ーエンコーダ３４の回転数により、加工素材２２の全長
を測定しておく。

【００５２】次に、前述した(II)の成膜Ａ工程〜(IV)の
成膜Ｃ工程の各工程における加工素材の交換方法につい
て説明する。図８は、(II)の成膜Ａ工程乃至(IV)の成膜
Ｃ工程における加工素材の交換方法を模式的に示した図
である。なお、(II)乃至(IV)の工程における加工素材の
交換方法は共通であるので、(II)の成膜Ａ工程における
加工素材の交換、即ち、成膜装置Ａの巻き出し装置２４
から巻き取り装置２６に素材２２を送り出し、巻きとっ
た素材を巻き取り装置２６において交換する方法を、そ
れらの代表として説明する。

【００５３】この成膜Ａ工程においては、成膜加工が真
空中で行われるため、巻出し装置２４、加工装置（プロ
セス部）Ｐ、巻取り装置２６は、それぞれ真空チャンバ
ー３６,３８,４０に収納されている。そして、成膜加工
が行われている状態では、夫々の真空チャンバー３６,
３８,４０は全て空気を吸引されて真空状態とされてい
る。一方、巻き出し装置と巻き取り装置における素材ロ
ールの交換は人手で行われるために、交換時は、少なく
とも、チャンバ３６，４０を大気圧側に解放する必要が
ある。また、チャンバ３６内の素材は膜形成加工の前で
あるので、大気に解放しても問題はない。また、チャン
バ４０内の素材２２は膜形成処理後であるので、大気に
解放しても問題はない。一方、成膜加工は、加工装置Ｐ
内を素材が移動していく過程において行われるために、
ロール交換時といえども、チャンバー３８を大気に解放
することは、チャンバ３８内に現に残っている素材にお
ける成膜を不良にならしめる。即ち、チャンバ３８内に
現に残っている素材は不良部分となって、膜形成工程Ｂ
において加工処理を行う意味がなくなる。図８に示され
た実施形態の交換方法は、ロール交換過程において、膜
形成の不良部分が極力発生しないための工夫と、さら
に、交換操作を短時間に終了させるための工夫がなされ
ている。

【００５４】まず、図８（ａ）に示すように、加工素材
２２の加工が進み、巻出し装置２４側の加工素材ロール
３２の残量がわずかになると、残量がわずかになったこ
とを不図示の残量検出装置が検出し、加工素材の巻出し
及び巻取りが停止される。この残量検出装置は、洗浄加
工におけるのと同じように、例えば、加工素材ロール３
２の厚みを検出するセンサー等から構成される。

【００５５】次に、オペレータは、図８（ｂ）に示すよ
うに、加工装置Ｐが収納されている真空チャンバー３８
の両端に配置されたピンチバルブ４２,４４を閉鎖す
る。この状態では、真空チャンバー３８は気密状態にな
り真空が保たれるとともに、加工装置Ｐの両側における
加工素材２２の部分は、ピンチバルブ４２,４４に挟ま
れて動けない状態となっている。そして、巻出し装置２
４及び巻取り装置２６が収納されている真空チャンバー
３６,４０のみを大気に開放して真空状態を解除する。

【００５６】次に、オペレータは、図８（ｃ）に示すよ
うに、加工装置Ｐの両側の加工素材２２の部分を位置１
００と１０１において切断する。この切断により、ロー
ルは、巻き出し装置２４と巻き取り装置２６の両方にお
いて取り外しが可能となる。

【００５７】次に、操作者は、図８（ｄ）に示すよう
に、巻取り装置２６側の加工の終了した加工素材ロール
４６を巻取り装置２６から取り外す。取り外した素材ロ
ール４６は、成膜処理Ｂを行うために、加工装置Ｂに移
動する。また、操作屋は、巻出し装置２４側のわずかに
残った未加工の加工素材ロール３２を取り外し、その取
り外したロール３２を巻取り装置２６に装着する。ま
た、操作者は、空になった巻出し装置２４に、新たな加
工素材ロール３２’（このロール３２’は、洗浄工程に
おいて洗浄処理がなされたばかりのロールである）を装
着する。そして、図８の（ｄ）に示すように、ピンチバ
ルブ４２,４４に挟まされている加工素材２２の後端部
には新たな加工素材ロール３２’の先端部を溶接すると
ともに、前端部には巻取り装置２６に装着された加工素
材ロール３２の先端部を溶接する。これで新たな加工素
材ロール３２’が巻取り可能な状態となる。

【００５８】図８の（ｃ）の時点で巻き出し装置２４の
ロールに残っている素材の長さをｑとすると、この長さ
ｑの素材はそのまま巻き取り装置２６側に移動されるの
で、膜形成処理Ａが行われることはない。換言すれば、
図８の（ｄ）で巻き取り装置側に移動された長さｑの部
分は、図６に関連して説明して説明したオフセットｂと
して処理する。

【００５９】なお、図８の例では、ここでは、巻取り装
置２６側に巻出し装置２４側に残った加工素材ロール３
２を装着したが、これは、廃材を有効に利用するための
もので、加工素材を少量巻いた別のロールを用意して巻
取り装置２６に装着するようにしても良い。

【００６０】次に、巻出し装置２４と巻取り装置２６が
収納された真空チャンバー３６,４０から空気を吸引
し、真空チャンバー３６,４０を再び真空状態とする。
これにより、巻き出し装置２４にセットされたロール３
２’の素材が新たに処理可能となる。この場合、ロール
交換時において、チャンバ３８内に残されていた素材２
２も、膜形成処理Ａを終了されて巻き取り２６側に巻き
とられるので、無駄になることはない。

【００６１】尚、第２加工工程における加工処理が、処
理時間の長短によって処理内容に影響が出るのであれ
ば、チャンバ３８の内の素材２２も処理未了部分として
処理しなければならない。真空チャンバー３６,４０
は、巻出し装置２４と巻取り装置２６を収納するだけの
容積があれば、ロールの交換は可能である。換言すれ
ば、真空チャンバー３６,４０は比較的容積が小さくて
もよく、そのために、ロール交換後において、再度真空
にさせるまでの時間は短くてすむ。真空チャンバー３
６,４０が真空となった時点で、ピンチバルブ４２,４４
を開き、真空チャンバー３６,３８,４０が連通した状態
とする。この時点で、加工素材２２は、ピンチバルブ４
２,４４による拘束が解かれるので、自由に搬送される
ことが可能となり、加工装置Ｐによる加工が再開され
る。

【００６２】すなわち、上記のような方法で、加工素材
ロールの交換を行えば、容積の大きい真空チャンバー３
８の真空状態を保ったまま、加工素材の交換が行えるの
で、真空チャンバー３６,３８,４０全体の真空を回復す
るまでの時間が短くてすみ、製造装置の停止時間を短縮
することが可能となる。また、図８の例では、膜形成処
理のためのチャンバは３８の１つであったが、ロールの
この交換方法は複数のチャンバがあっても同じように適
用できる。

【００６３】次に、図９乃至図１３は、上記のような加
工素材の交換方法を、図１に示した４つの加工工程（洗
浄、成膜Ａ、成膜Ｂ、成膜Ｃ）行った場合に各々におい
て生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示した
図である。図９は洗浄工程を、図１０は成膜Ａを、図１
１は成膜Ｂを、図１２は成膜Ｃを示す。

【００６４】洗浄工程まず、図９及び図１３（ａ）を参照して(I)の洗浄工程
における原点位置と全長値の関係について説明する。

【００６５】洗浄の工程では、加工素材ロール３２は、
巻出し装置２４にセットされた後、人手によりその先端
部（原点Ｏ）が巻き出されて図９（ａ）に示すように巻
取り装置２６側に巻き付けられる。前述したように、巻
き取り装置２６側にはローラ３３（図２を参照）が設け
られ、その位置（図９ではＭ₁）で、このローラを通過
した素材２２の長さを計測することが可能である。そこ
で、素材ロール３２の先端を人手によって巻き取り装置
２６側に巻き付けたときに、その先端から、ローラ３３
の位置（点Ｍ₁）までの距離を「巻き付け長」として定
義し、それをＷＴで示す。ローラ３３の回転計が検出し
た素材２２のこのローラ３３を通過した距離をＷＭとす
ると、ローラ３３の回転量の検出によって、原点Ｏ（ロ
ールの先端）からＷＴだけずれた位置Ｍ１からの、加工
素材２２の有効なロール長ＷＭの測定が可能となる。図
１３の（ａ）に示すように、巻き取り装置２６のロール
の先端からＷＴの距離にある素材部分から、さらに、距
離ＷＭだけ離れた位置の素材部分は洗浄が済んでいるこ
とになる。

【００６６】なお、巻出し装置２４側の加工素材３２の
終端点をＬ点（この点の原点Ｏからの座標をＬとする）
とする。

【００６７】その後、洗浄が進み、図９（ｂ）に示すよ
うに巻出し装置２４側の加工素材ロール３２の残量が少
なくなると洗浄が停止される。この時点で、加工素材２
２の有効なロール長ＷＭ（ｔ_x）の測定を終了する。従
って、この時点では、巻取り装置２６側には、ＷＴ＋Ｗ
Ｍ（ｔ_x）の長さの加工素材２２が巻き取られている。
ここで、巻き取りが停止した時点（時刻ｔ_x）において
洗浄装置内に残されている加工素材の長さを洗浄インラ
イン長ＷＩとし、巻出し装置側に残されている加工素材
の長さを洗浄残長ＷＲとすると、加工素材２２のロール
の全長すなわち先端点Ｌの原点Ｏからの座標位置につい
ては、Ｌ＝ＷＴ＋ＷＭ＋ＷＩ＋ＷＲが成立している。ここで、洗浄装置の形状は既知なの
で、ＷＩ，ＷＲは既知の値である。

【００６８】この後、オペレータは目視による半自動送
りで図９（ｃ）に示すような位置まで加工素材２２を位
置３４まで移動させる。そして、新たな加工素材ロール
３２’を巻出し装置２４側にセットし、元の加工素材２
２の先端点Ｌと新たな加工素材ロール３２’の先端点
Ｏ’とを図９（ｄ）に示すように溶接する。

【００６９】次に、図９（ｅ）に示すように加工素材２
２を半自動送りで移動させ、新たな加工素材２２の先端
点（座標位置はＬ）を巻取り装置２６側に移動させる。
そして、図９（ｆ）に示すように、加工素材２２をＬ点
とＯ’点の接合部において切断する。これで、巻き取り
装置２６において、洗浄の済んだ素材ロールが取り外し
可能となる。ここで、巻き取り装置２６に巻きとられた
ロール３６は、長さがＬであり、そのうち、０〜ＷＴ：巻き付け長ＷＴ〜ＷＴ＋ＷＭ（ｔ）：洗浄された部分ＷＴ＋ＷＭ（ｔ）〜ＷＴ＋ＷＭ（ｔ）＋ＷＩ：インラ
イン長ＷＴ＋ＷＭ（ｔ）＋ＷＩ〜ＷＴ＋ＷＭ（ｔ）＋ＷＩ＋Ｗ
Ｒ：残長となる。

【００７０】以上のようにして、加工素材ロール３２の
洗浄工程が終了する。そして、この洗浄工程では、切断
や溶着などが行われるものの、上記の説明からわかるよ
うに、巻き出し装置２４の取り付けられたときのロール
３２の長さと、そのロールがま２６にロール３６として
巻きとられたときの長さとにおいて、変動はなく、Ｌで
ある。

【００７１】成膜Ａ工程次に、図１０及び図１３（ｂ）を参照して(II)の成膜Ａ
工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。

【００７２】図１０（ａ）は、あるロール３６”につい
て成膜Ａ工程を終了し、そのロール３６”の加工素材２
２がロール５０’として巻き取り装置２６に巻きとられ
いる状態を示す。この時点では、図１０（ａ）に示すよ
うに、成膜Ａ工程の巻出し装置２４側には、残量である
長さＡＲの加工素材ロール３６”が残されている。ま
た、巻取り装置２６側に成膜Ａが終了した加工素材ロー
ル５０’が残されている。また成膜装置内には、成膜Ａ
のインライン長ＡＩの長さの加工素材２２が残されてい
る。巻き出し装置２４側において、ロール３６”の端点
から長さＡＲの位置において素材２２をカットし、巻き
取り装置２６において、ローラ３３（図１０（ａ）では
不図示）の位置において素材２２を同じくカットすれ
ば、成膜Ａが形成されたロール５０’は取り外し可能で
ある。

【００７３】この状態で、次のロールの加工のために必
要な操作を説明する。図１０（ｂ）に示すように、巻出
し装置２４側に残された加工素材ロール３６”を巻取り
装置２６側に装着する。次に、先の洗浄工程の終了した
長さＬの新たな加工素材ロール３６を巻出し装置２４側
に装着する。そして、加工素材ロール３６の先端点と成
膜装置内にある加工素材２２（これは前回のロール５
０’から残された素材である）の後端部とを溶接すると
ともに、加工素材ロール３６”の端部と加工素材２２の
前端部Ｍ２とを溶接する。この時点で、溶接された加工
素材２２の全長は、Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲとなる。このうち、長さＬ：洗浄工程からの素材、長さＡＩ＋ＡＲ：前回のロールの残り部分（成膜Ａは
行われていない）である。成膜Ａ工程は、偶数番目の工程であるから、図
１０（ｂ）に示すように、原点を巻き出し装置２４のロ
ール３６の最後端にとる。すると、巻き出し装置２４の
ロール３６と巻き取り装置２６のロール３６”を含めた
全素材に関して、その先端点（ロール３６”の先頭であ
って、図１２（ｂ）において黒の星印で示されている
点）の座標位置は、Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲとなる。

【００７４】この全長がＬ＋ＡＩ＋ＡＲである加工素材
の有効ロール長ＡＭの計測はＭ２点から開始される。

【００７５】成膜Ａの加工は、加工素材２２が巻取り装
置２６側に巻き取られる過程で行われる。最終的に図１
０（ｃ）に示したように、加工素材ロール３６の残量が
わずかになった時点で、成膜Ａ工程の加工ユニットは停
止される。

【００７６】次に、図１０（ｄ）に示すように成膜装置
内にある加工素材２２の前後を切断する。切断された時
点では、巻き出し装置２４側における加工素材ロール３
６の残量長は、図１０（ａ）の場合と同様に、ＡＲであ
り、処理装置内に残っている素材２２のインライン長は
ＡＩである。従って、切断された後の時点では、巻取り
装置２６側に巻き取られている加工素材ロール５０の先
端点（黒星印で示す）を原点とした場合のからの座標
は、Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲであり、後端点（図１０（ｄ）において白星印で示す）
の座標はＡＩ＋ＡＲとなっている。この様子を図１３（ｂ）に示す。

【００７７】図１０の（ａ）〜（ｄ）の一連の処理にお
いて、ＡＩ，ＡＲは不変であるから、長さＬのロールが
洗浄側から供給される限りは、この成膜Ａ装置から成膜
Ｂ装置に供給されるロールの長さは常にＬである。

【００７８】成膜Ｂ工程次に、図１１及び図１３（ｃ）を参照して(III)の成膜
Ｂ工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。

【００７９】まず、成膜Ｂ工程の前回の加工の終了時点
では、図１１（ａ）に示すように、成膜Ｂ工程の巻出し
装置２４側には、前回の処理の残量である長さＢＲの加
工素材ロール５０”が残されており、巻取り装置２６側
には成膜Ｂ処理が終了した加工素材ロール５２’が残さ
れている。また成膜装置内には、成膜Ｂのインライン長
ＢＩの長さの加工素材２２が残されている。

【００８０】ここで、加工素材ロール５０”の残量長Ｂ
Ｒは、ＢＲ＞ＡＲ＋ＡＩとなるように設定されている。これは次の理由による。
成膜Ｂ工程の前工程であるところの成膜Ａ工程では、前
述したように、ロール５０の後端の長さＡＲ＋ＡＩの部
分の素材については成膜Ａは未処理である。この未処理
の部分に成膜Ｂを施しても意味がないから、この未処理
部分を避けるために、ＢＲ＞ＡＲ＋ＡＩとなるように設定されているのである。

【００８１】次に、巻き取り装置２６のロール５２’
（このロールは前回に成膜Ｂ処理を施されたものであ
る）を取り外し、続いて、巻出し装置２４側に残された
加工素材ロール５０”を外してから巻取り装置２６側に
装着する。さらに、前工程の成膜Ａ工程の終了した加工
素材ロール５０を巻出し装置２４側に装着する。そし
て、加工素材ロール５０の先端点と、成膜Ｂ装置内に残
されている加工素材２２の後端部とを溶接するととも
に、巻き取り装置２６に装着された加工素材ロール５
０”の端部と加工素材２２の前端部Ｍ３２とを溶接す
る。成膜Ｂ装置内に残されている加工素材２２の長さを
ＢＩとする。図１０（ｄ）で説明したように、成膜Ａ処
理を行われたロール５０の固定端の座標位置はＬ＋ＡＩ
＋ＡＲとすれば、同ロール５０の自由端の座標はＡＩ＋
ＡＲとなる。この自由端からさらに右方向に距離ＢＩだ
け離間した位置、即ち、図１１（ｂ）のＭ３点の座標位
置は、ＡＩ＋ＡＲ−ＢＩとなる。このＭ３点は、成膜Ｂ
装置における加工素材の有効長を計測するローラ３３
（図２の３３）が設置された位置であり、また、ロール
５０”の自由端が位置する位置でもある。従って、図１
１（ｂ）の時点で、巻取り装置２６側に巻き取られてい
る加工素材２２の固定端点（白菱形印で示す）の原点Ｏ
からの座標は、ＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ−ＢＲである。

【００８２】その後、加工素材２２が巻取り装置２６側
に巻き取られながら成膜Ｂの加工が行われ、最終的に図
１１（ｃ）に示したように、加工素材ロール５０の残量
がわずかになった時点で、成膜Ｂ工程の加工ユニットは
停止される。この残量の検出を、ロール毎に同じ手法で
行えば、図１１（ｄ）におけるロール５０の素材の残量
は図１１（ａ）における残量と同じであり、即ち、その
長さはＢＲである。

【００８３】次に、図１１（ｄ）に示すように成膜装置
内にある加工素材２２の前後を切断する。このときの加
工素材ロール５０の残量長は、図１１（ａ）の場合と同
様にＢＲであり、インライン長はＢＩである。従って、
切断された後の時点では、巻取り装置２６側に巻き取ら
れている加工素材ロール５２の固定端点（切断点であ
り、白菱形印で示す）の原点Ｏからの座標は、ＡＲ＋ＡＩ−ＢＲ−ＢＩであり、自由端点（黒菱形印で示す）の座標はＬ＋ＡＩ＋ＡＲ−ＢＲ−ＢＩとなっている。この様子を図１３（ｃ）に示す。

【００８４】かくして、巻き取り装置２６には、成膜Ｂ
が形成されたロールが残る。

【００８５】成膜Ｃ工程次に、図１２及び図１３（ｄ）を参照して(IV)の成膜Ｃ
工程における原点位置と全長値の関係について説明す
る。

【００８６】まず、成膜Ｃ工程の前回の加工の終了時点
では、図１２（ａ）に示すように、成膜Ｃ工程の加工ユ
ニットには、巻出し装置２４側に、長さＣＲの加工素材
ロール５２”が残されており、巻取り装置２６側に成膜
Ｃが終了した加工素材ロール５４’が残されている。ま
た成膜装置内には、成膜Ｃのインライン長ＣＩの長さの
加工素材２２が残されている。なお、ここで、加工素材
ロール５２”の残量長ＣＲは、前工程である成膜Ｂ工程
の未加工部分（長さがＢＲ＋ＢＩ）を避けるためにＣＲ＞ＢＲ＋ＢＩとなるように設定されている。

【００８７】図１２の（ｂ）に示すように、巻出し装置
２４側に残された加工素材ロール５２”を巻取り装置２
６側に装着し、成膜Ｂ工程の終了した加工素材ロール５
２を成膜Ｃ工程の巻出し装置２４側に装着する。そし
て、加工素材ロール５２の先端点（座標Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲ
−ＢＲ−ＢＩにある自由端）と成膜装置内にある加工素
材２２の後端部とを溶接するとともに、加工素材ロール
５２”の端部（自由端）と成膜装置内にある加工素材２
２の前端部Ｍ４とを溶接する。この時点で、巻取り装置
２６側に巻き取られている加工素材２２の自由端点（黒
四角印で示す）の原点Ｏからの座標は、Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲ−ＢＲ−ＢＩ＋ＣＩ＋ＣＲとなっている。なお、加工素材の有効ロール長ＣＭの計
測は、加工素材２２の前端部であるＭ４点から開始され
る。

【００８８】加工素材２２が巻取り装置２６側に巻き取
られながら、成膜Ｃの加工が行われる。最終的に図１２
（ｃ）に示したように、加工素材ロール５２の残量がわ
ずかになった時点で、成膜Ｃ工程の加工ユニットは停止
される。

【００８９】次に、図１２（ｄ）に示すように成膜装置
内にある加工素材２２の前後を切断する。このときの加
工素材ロール５２の残量長は、図１２（ａ）の場合と同
様にＣＲであり、インライン長はＣＩである。従って、
切断された後の時点では、巻取り装置２６側に巻き取ら
れている加工素材ロール５４の自由端点（黒四角印で示
す）の原点Ｏからの座標は、Ｌ＋ＡＩ＋ＡＲ−ＢＲ−ＢＩ＋ＣＩ＋ＣＲであり、固定端点（白四角印で示す）の座標はＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ−ＢＲ＋ＣＩ＋ＣＲとなっている。この様子を図１３Ｄに示す。

【００９０】以上のようにして、各加工工程毎に変化す
る加工素材の座標が絶対座標に換算されることとなる。

【００９１】〈各工程における欠陥位置の検出〉次に、
上記のような加工素材の交換方法を適用した場合の製造
欠陥位置を算出する方法について説明する。

【００９２】図１４は、洗浄工程、成膜Ａ工程、成膜Ｂ
工程、成膜Ｃ工程の夫々における、巻き付け長、残長、
インライン長、ロール長の値を記憶するテーブルの構成
を示す図である。かかるテーブルは、管理コンピュータ
３６内の不図示のメモリに前もって記憶されている。図
１５は、各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥の
座標の算出のしかたを示した図である。

【００９３】図１５においては、各工程での有効ロール
長の計測原点、すなわち洗浄工程でのＭ１点、成膜Ａ工
程でのＭ２点、成膜Ｂ工程でのＭ３点、成膜Ｃ工程での
Ｍ４点を、加工素材の長さの計測値スケールの原点とし
て示してある。かくして、Ｍ１点、Ｍ２点、Ｍ３点、Ｍ
４点を各々の工程における原点とすれば、洗浄工程、成
膜Ａ工程、成膜Ｂ工程、成膜Ｃ工程の全てを統一的に把
握すること、即ち、１つのロールの各工程における変遷
を把握し、必要によっては表示することが可能になる。

【００９４】ここで、１つの例として、成膜装置Ｂの第
２チャンバーに時刻ｔ₀において異常が発生し、時刻ｔ₀
において装置を停止させたとする。この場合、図１５
（ｃ）及び図１６に示すように、巻取り装置２６側には
時刻ｔ₀においては、長さＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ＋ＢＭ（ｔ₀）の加工素材が巻き取られている。ここで、ＢＭ（ｔ₀）
とは、時刻ｔ₀におけるＭ３点から計測した、加工素材
の巻取り量を示す。また、第２チャンバーが、基準位置
（Ｍ３点）から計測して、Ｅ_L〜Ｅ_Tの位置に存在すると
すると、加工欠陥は、ＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ＋ＢＭ（ｔ₀）＋Ｅ_L の地点から始まることとなる。一方、装置が停止した時
刻ｔ₀においては、巻取り装置２６側には、ＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ＋ＢＭ（ｔ₀）だけの加工素材が巻き取られている。ここで、ＢＭ（ｔ
₀）とは、時刻ｔ₀におけるＭ３点からの加工素材の巻取
り量を示す。従って、加工欠陥は、ＡＲ＋ＡＩ−ＢＩ＋ＢＭ（ｔ）＋Ｅ_T の地点で終了することとなる。従って、このような計算
を行うことにより、加工素材のどの地点にどれだけの長
さの加工欠陥が発生したかを正確に把握することができ
る。

【００９５】他の洗浄工程、成膜Ａ工程、成膜Ｃ工程に
おいても同様の計算を行うことにより、加工素材のどの
位置に加工欠陥が発生したかを把握することができる。
このデータは管理コンピュータ３６内のメモリに記憶し
ておく。

【００９６】図１４のテーブルの各々のデータに、図１
７に示すような具体的な値をあてたときに、全長８００
ｍのロールを洗浄工程から成膜Ｃ工程に適用した場合
に、各工程においてなされたロールに対する処理結果を
示すと図１８のようになる。〈切断工程〉次に、上記のようにして求められ、管理コ
ンピュータ３６内に記憶された加工欠陥の位置情報をも
とに、Vの切断工程で、成膜Ｃ加工が終了した加工素材
ロール５４を各単品（以下スラブと呼ぶ）に切断する方
法について説明する。

【００９７】図１９は、切断工程を行うシャーリング装
置３０の構成を示した概略図である。図１９において、
全ての成膜工程の終了した加工素材ロール５４は、巻出
し装置６０に装着されたる。そして、巻出し装置６０か
ら巻き出されたロール５４からの素材は、送りガイド６
２を介してグリッパー６４まで搬送される。グリッパー
６４は、送りガイド６２から加工素材２２の先端部をグ
リップして引き出し、この加工素材２２をプレス機６６
に送り出す。プレス機６６は、切断型６８により加工素
材２２を定尺に切断し、単品のスラブに分離する。単品
に分離されたスラブは、分別装置７０により分別され、
良品は収納箱７２に収納されると共に、不良品は不図示
の回収ストッカーに廃棄される。

【００９８】なお、巻出し装置６０、送りガイド６２、
グリッパー６４、プレス機６６及び分別装置７０は、図
３に示したＮＣコントローラによりその動作を制御され
る。

【００９９】〈スラブの採取〉次に、図２０Ａは、不良
のスラブを選別する方法を説明するための図である。本
実施形態においては、加工素材ロール２２は、８００ｍ
程度の長さがあり、各スラブは３００mm四方のものであ
る。そのため、１つの加工素材ロールからは、約２５０
０枚程度のスラブを採ることができる。本実施形態で
は、この２５００枚程度のスラブを例えば５０枚ずつの
ロットに分けて、良・不良の選別を行う。

【０１００】各ロットは、５０枚のスラブとその最後の
スラブに連続する１枚のＱＡクーポンとから構成され
る。ここで、ＱＡクーポンとは、クオリティアシュアラ
ンスクーポンを略したものであり、そのロットを代表す
る検査用サンプルのことを意味する。ＱＡクーポンは、
通常のスラブよりも小さい検査専用のサンプル（長さ約
６０mm）であり、検査後は廃棄される。

【０１０１】本実施形態では、既に説明したような方法
により、加工素材ロール５４のどの部分にどれだけの長
さの不良が存在するかということが、データとして記憶
されている。そのため、各ロットのスラブの個数は、こ
のデータに基づいて不良部分を避けながら設定される。
このロットの設定は、実際の切断加工を行う前に、管理
コンピュータ３６によって行われ、図２０Ｂに示すよう
にディスプレイ上に表示される。

【０１０２】図２０Ｂは、ディスプレイの画面上に表示
される各ロットへのスラブの個数の割り付け方を具体的
に示したものである。図２０Ｂにおいて、３００は、１
つのロールの全長を示すバーである。バー３００中の黒
い帯は欠陥部分を示す。リスト３０１は、バー３００に
よって表されたＩＤが非９５００２５”というロールか
ら生成された７つのロット部分を示す。各ロットについ
て、ＱＴＹはそのロットのスラブの枚数を、SLAB NOは.
そのロットの先頭のスラブの番号を、FIRST POSITION
は、このロットの先頭位置のこのロールの先頭からの距
離、DEFECTS AFTER LOTはFIRST POSITIONから始まる欠
陥の長さをスラブの枚数で示したものである。

【０１０３】図２０Ｃを参照しながら、図２０Ｂのロー
ルについて説明する。この例でいえば、加工素材の端か
ら２４ｍの位置から有効加工領域が始まっている。第１
ロットは、この２４ｍの地点から１枚目のスラブを採り
始め、合計５０枚のスラブとこれに加えて１枚のＱＡク
ーポンを含む。第２ロットは、第１ロットの終了地点か
ら、第１ロットと同様に５０枚のスラブと１枚のＱＡク
ーポンを採る。以下同様に５０枚のスラブと１枚のＱＡ
クーポンからなるロットを順次採っていく。

【０１０４】ここで、例えば３番目のロットには、３６
枚目のスラブの途中からスラブ７枚分の加工欠陥がある
ことがわかる。その第３ロットは、３５枚のスラブで終
了させ、３５枚目のスラブの終了点と加工欠陥が始まる
点の間の部分からＱＡクーポンを１枚採る。尚、もしス
ラブの終了点（上記例では３５枚目）と加工欠陥が始ま
る点までの間隔が、ＱＡクーポンを採るのに足りない場
合は、１つ前のスラブ（上記例では３４枚目のスラブ）
を終了点とし、その次の（３５枚目の）部分からＱＡク
ーポンを採る。

【０１０５】同様に、図２０Ｂの例で、例えば４番目の
ロットの２１枚目のスラブの途中からスラブ２１枚分の
加工欠陥があった場合には、そのロットは、２０枚のス
ラブで終了させ、２０枚目のスラブの終了点と加工欠陥
が始まる点の間の部分からＱＡクーポンを１枚採る。こ
のようにして、各ロットへのスラブ枚数の割り付けが行
われる。

【０１０６】なお、ディスプレイの画面上には、図示し
たように、加工素材ロールのＩＤ番号、１枚のスラブの
長さ、ＱＡクーポンの長さ、１ロットの基本的なスラブ
枚数、加工素材ロールの有効加工領域の長さ、ロット割
り付け後の総ロット数（図２０Ｂの例では４７個）、総
スラブ数（図２０Ｂの例では１８８０個）、総欠陥スラ
ブ数（図２０Ｂの例では９３個）、不良品率（図２０Ｂ
の例では４．７％）等が表示される。

【０１０７】このようにディスプレイ上にロット割り付
けが表示されると、オペレータはそれで問題がないかど
うかを判断し、問題ない場合は、画面上のＣＯＮＦＩＲ
Ｍボタンをクリックして、ロット割り付けを確定する。
また、例えば、ある１ロットが始まった部分の直後から
加工欠陥が始まって、１ロットが数枚で終了してしまう
ような場合は、オペレータの判断により、そのロットを
前のロットあるいは次のロットに含めてしまうような操
作も可能である。

【０１０８】また、切断工程の前の洗浄工程及び成膜工
程では、既に述べたように加工素材ロールの位置及び欠
陥位置を計測しているが、この計測値には若干の誤差が
含まれている。そのため、測定値を完全に正しいものと
してロットの割り付けを行うと、不良品と判断された加
工素材の範囲に良品が含まれる可能性があり、材料の無
駄が発生する。そのため、本実施形態では、加工欠陥の
ある領域が例えば３ｍ以上連続した場合に不良部分があ
ると判断し、その上で、その３ｍ以上の不良領域の例え
ば前後１ｍずつを除いた範囲（即ち、中央の１ｍ部分）
を確実な不良部分と判断する。すなわち、丁度３ｍの不
良範囲があった場合には、その中央部の１ｍの部分のみ
を確実な不良領域としてロット割り付けから除外する。
この中央部の１ｍの範囲の前後１ｍは、良品であるか不
良品であるかはっきりとはわからない部分であるが、と
りあえず、良品として扱っておく。そして、製品が完成
した時点で、全数検査を行い、不良であると判断された
場合には、あらためて廃棄される。

【０１０９】上記のようなロット割り付けが終了する
と、この割り付けデータに従って、シャーリング装置３
０により実際の切断が行われる。ここで、オペレータ
は、加工素材ロール５４を巻出し装置６０にセットする
ときに、加工素材ロールのＩＤ番号及びスラブ長をＮＣ
コントローラに入力する。これにより、ＮＣコントロー
ラと管理コンピュータ３６の交信が行われる。管理コン
ピュータでは、図２０Ｂに示したように設定されたロッ
ト割り付けの情報と、入力された情報の照合を行い、差
異がなければ切断指示情報をＮＣコントローラ側に一括
してダウンロードする。もし異常があれば、ＮＣコント
ローラ側に異常信号を出力すると共にディスプレイ上に
エラーを表示する。

【０１１０】その後、実際の切断作業が開始されると、
ＮＣコントローラからは１ロットの加工が終了するごと
に、ロットナンバー、ロット枚数、及び先頭スラブナン
バーを実績データとして送り返してくるので、管理コン
ピュータ３６は、そのデータをファイルすると共にディ
スプレイ上に表示する。また、切断作業中においては、
ロット割り付けの対象外となった不良部分は、定尺単位
で切断されず、まとめて切断される。

【０１１１】図２１は、このように切断作業の進行につ
れて、リアルタイムにディスプレイ上に表示されるデー
タを示したものである。図２１に示すように、ディスプ
レイ上には、加工実績データとして、加工素材ロールの
ＩＤナンバー、スラブ長、ロットナンバー、ロット枚
数、先頭スラブナンバー、ロットの先頭座標、及び欠陥
スラブ枚数等が表示される。

【０１１２】なお、切断作業の進行につれて、分別装置
７０は、ＮＣコントローラの制御に従って、良品スラブ
は収納箱７２に収納し、不良品スラブは廃棄するように
選別作業を行う。以上説明したように、上記の実施形態
によれば、切断工程の前に計測された加工素材ロールの
どの位置にどれだけの長さの加工欠陥が存在するかとい
う情報に基づいて、各スラブの切断動作を制御するよう
にしている。従って、切断工程では、真の不良部分のみ
を切断して廃棄することができるので、材料の無駄が減
少される。

【０１１３】〈監視〉次に、図２０Ｂ，図２０Ｃ等の監
視チャートを表示するシステムについて説明する。この
システムは、図２の生産管理システムにおいて、管理コ
ンピュータ３６によって主に制御されるシステムであ
る。管理コンピュータ３６は、各ＰＬＣから工程データ
を収集する。

【０１１４】図２２は、コンピュータ３６内のメモリ
（不図示）に設けられた加工実績ファイルの構造を示
す。このファイルのデータは、後述するように、ＰＬＣ
が検出した信号の変化（変化の発生した時刻と共に）
と、変化したときの信号の値と、その信号の加工装置の
ローラ３３が検出した巻き取り長（Ｍ）とを記憶する。
コンピュータ３６は、図２３に示すように、各ＰＬＣが
検出する信号を、その信号の値が許容できるか否かを判
断するための下限値と上限値とを、前もってテーブルと
して記憶している。従って、いずれのＰＬＣから何らか
の信号の変化が検出されても、その信号の変化はどのＰ
ＬＣで検出され、その信号の示す値は加工作業が不良で
あったか否かを直ちに判断することができるものであ
る。

【０１１５】図２４は、エラー信号などの加工管理デー
タの収集ルーチンを示す制御手順である。ステップＳ１
０は管理データの読み込みステップである。ステップＳ
１２では、フラグＦＬＧの値をチェックする。このフラ
グについては後述する。ステップＳ１４では、読み取っ
た管理データと前に読み取った管理データとを比較して
変化があるか否かを判断する。エラー信号に変化（値の
変化、又は、正常→異常への変化、または異常→正常へ
の復帰など）があれば、ステップＳ１６で、その時刻
と、信号名と、そのときの加工部材の移動量Ｍ等をディ
スクに書き込む。

【０１１６】ステップＳ１８では、エラー信号の変化
が、正常→異常への変化、または異常→正常への復帰の
いずれかであったかを判断する。この実施形態では、信
号の変化が、正常→異常への変化、または異常→正常へ
の復帰のいずれかであった場合は、その変化の前後の夫
々の５分間データをディスクにログファイルとして記憶
する。即ち、ステップＳ２０では、変化があったことを
示すフラグＦＬＧをセットし、ステップＳ２２で、ＲＡ
Ｍに記憶していた５分間分の管理データをディスクに記
憶する。

【０１１７】尚、ステップＳ１８における正常→異常へ
の変化、または異常→正常の変化は、可変の閾値を用い
て判断される。この閾値は、図２３の上限値と下限値と
に従って決定される。即ち、ある信号の値が異常である
か正常であるかの判断は、上記上限値と下限値の間にあ
れば、正常（又は異常）と判断される。この閾値は、図
２５の「閾値変更アイコン」を操作することにより変更
することができる。エラー信号は、例えば、圧力信号な
どのようにアナログ値を有するものがあり、その信号の
値に基づいて正常異常を判断する場合には、一義的に正
常／異常を判定することは困難である。そこで、本実施
形態では、閾値を変更可能にしている。閾値を変更する
場合には、例えば図３２のマップに示されているエラー
信号をマウスなどで選択し、前述の「閾値変更アイコ
ン」を操作すると、選択されたエラー信号の閾値をテー
ブル（図２３）中で変更するようにする。

【０１１８】一旦、事象データの変化が検出されると、
その後は、ステップＳ１２→ステップＳ２４に進んで、
５分間の経過を監視（ステップＳ２４）しながら、定期
的に収集した管理データの５分間のデータを、ディスク
に書き込む。５分が経過したならば、ステップＳ２８で
フラグＦＬＧをリセットする。本実施形態では、図２４
の制御手順で収集した管理データを、どのように表示す
るかについては、３つのモードが用意されている。１つ
はリアルタイム表示モード、他は、トレンド表示モード
とエラーマップ表示モードである。これらの３つのモー
ドは相反するものではなく、同じ画面に、ある時点での
リアルタイム表示と、その時点までのトレンドとを表示
させても良い。

【０１１９】図２５は、ＣＲＴ上に表示されている３種
類のアイコン（リアルタイム表示、トレンド表示、エラ
ーマップ表示）を示す。図２６は、本実施形態の表示の
ための制御手順を示すフローチャートである。同図のス
テップＳ３０では、図２５のいずれかのアイコンが操作
されたかのトリガを調べる。この操作がリアルタイム表
示のアイコン操作であれば、ステップＳ３６において、
メモリに一時的に記憶されている作業管理データを読み
取って「リアルタイム表示」する。リアルタイム表示の
一例として、図２０Ｂのロット番号が１８８０が検出さ
れたときのものを示す。

【０１２０】アイコン操作がトレンド表示であれば、ス
テップＳ４０でディスクから過去に記憶しておいた管理
データを読み取ってトレンド表示を行う。トレンド表示
の例を図２７，図２８に示す。図２７において、Ａ，
Ｂ，…Ｐ等はチャンバを示す。ＲＴと示されているアイ
コンを選択すると、そのＲＴに対応するチャンバについ
てのリアルタイム表示がなされる。また、各チャンバア
イコンの下のＢ，Ｃ等のアイコンは、当該チャンバのヒ
ストリカルトレンド表示を促すアイコンである。

【０１２１】図２９は、エラーマップ表示アイコンが操
作されたときの制御手順を示す。同図において、ステッ
プＳ５０は上記アイコンが操作されるのを監視してい
る。このアイコンが操作されると、ステップＳ５６でエ
ラー範囲を演算する。エラー範囲の演算については図１
５に関連して説明した。ステップＳ５８では、マップを
生成して、ステップＳ６０ではマップを表示する。

【０１２２】図３０，図３２は、エラーマップの表示例
を示す。図３０のエラーマップは２つのマップ部分１０
００と２０００を含む。マップ１０００は、個々のウエ
ッブ毎の統計的なデータを表示する。図３０の例では、
ウエッブは、940010〜940060という識別番号を有する６
つである。個々のウエッブに対して、そのウエッブを加
工した日付（Date）、そのウエッブの加工を開始した時
間(Start)、加工終了時間(End)、ウエッブの識別子(Web
ID)、処理に要した時間(RunTime)、前処理に要した時間
(PreRunTime)、停止した時間(StopTime)、停止回数(Sto
pNo)、停止率(StopRatio=StopTime/RunTime)、エラー回
数(ErrorNo)を表示する。

【０１２３】マップ２０００は、マップ１０００で得ら
れた情報を、ウエッブ毎にグラフ毎に表示する。マップ
２０００の横軸の“0010”等はWebIDの末尾４桁からも
ってきている。マップ２０００で表示可能な項目は、一
例として、停止した時間(StopTime)、停止回数(StopN
o)、停止率(StopRatio=StopTime/RunTime)、エラー回数
(ErrorNo)の４項目である。これら４項目のうちどの項
目を領域２０００に表示するかは、チェックボックス２
００１にＸ印を付する。図３０の例では、４つの項目が
全て表示対象になっており、停止した時間(StopTime)は
線Ｉによって、停止回数(StopNo)は線ＩＩによって、停
止率(StopRatio=StopTime/RunTime)は線ＩＩＩによっ
て、エラー回数(ErrorNo)は線ＩＶによって示されてい
る。

【０１２４】図３０において、マップ１０００ではWebI
Dが“940040”が反転表示となっている。WebIDが“9400
40”であるウエッブについての加工記録は、マップ２０
００においては、領域２００２によって明示されてい
る。換言すれば、マップ１００内の反転領域と、マップ
２０００内の枠２００２とは一致する。さらに、操作者
が、マップ１０００内で反転領域を移動させれば、その
移動に応じて、マップ２０００において枠２００２も移
動する。表マップ１０００とマップ２０００とが反転領
域と枠とによって関連づけられることによって、操作者
は、個々のウエッブと他のウエッブとの関係、ある特定
のウエッブのエラーと他のウエッブのエラーとの関係を
目視で確認することができる。

【０１２５】図３１は、図３０のエラーマップ表示を実
現する制御手順を示すフローチャートである。ステップ
Ｓ１００ではグラフカーソル（図３０の枠２００２）が
操作者によって動かされたかを調べ、ステップＳ１０２
では、一覧表カーソル（マップ１０００内の反転領域）
が動かされたかを検出する。グラフカーソル２００２が
操作者によって動かされた場合は、ステップＳ１０４で
何番目の識別子のウエッブに移動されたかを調べる。ス
テップＳ１１０６では、移動先の識別子の番地をマップ
１０００のオブジェクトに送る。このオブジェクトへの
転送は、例えばマイクロソフト社のWINDOWSのOLEによっ
て実現される。マップ１０００側では、送られてきた番
地に従って、一覧表カーソルを移動する。

【０１２６】一方、一覧表カーソルが移動された場合に
は、ステップＳ１１０で、その一覧表カーソルが一覧表
１０００の何行目に移動されたかを調べる。ステップＳ
１１２では移動先の行の番号（ウエッブの識別子）をマ
ップ２０００側に送る。マップ２０００側はグラフカー
ソルを移動先の行に対応して移動させる。図３２は、図
３０のマップにおいて、特定のウエッブを選択した上
で、「拡大」アイコン２００３を押すと得ることができ
る、個々のウエッブについてのエラーマップ表示であ
る。特に、図３２は、識別子が“９４００１０”のウエ
ッブを拡大表示した例である。

【０１２７】図３２において、マップ３０００は、ウエ
ッブ“９４００１０”のエラーのサマリを表示する。マ
ップ３０００では、エラーの発生順に、上から下に向け
てエラー信号が表示されている。個々のエラー信号につ
いては、エラーコード(ErrorCode)、そのエラーの発生
したスタート位置(Start)、そのエラーの終了した位置
(End)、そのエラーの長さ(Length)、そのエラーに対す
るコメント(Comment)が併せて表示される。図３２の例
では、緊急停止を意味するエラーコード"B0301"が113.9
mの位置において発生し、圧力低下を意味する"W0201"が
200.0mの位置において発生し、温度異常を意味する"C05
07"が398.9mの位置において発生し、ピンチバルブエラ
ーを意味する"C0802"が513.2mの位置において発生し
た。

【０１２８】マップ４０００は、マップ３０００におい
て挙げられたエラーについての、そのエラーが発生した
位置を示すグラフである。マップ４０００では表示の便
宜上マップ３０００のエラーコードの頭文字（Ｗ、Ｂ、
Ｃ、Ｔ）を識別子として用いている。図３２の例では、
緊急停止エラー（Ｂ）が最初に発生し、位置２００ｍに
おいて圧力低下エラーが緊急停止エラーと重畳して発生
し、４００ｍの位置と５１３ｍの位置では温度エラーが
発生している。マップ４０００においては、個々のエラ
ーコードに対して、エラーの発生箇所から終了箇所まで
が色を付されて表示される。

【０１２９】マップ３０００内の反転領域３００１とマ
ップ４０００内のカーソル４００１は操作者の関心領域
を示す。即ち、反転領域３００１とカーソル４００１と
は対応する。図３２の例では、操作者がマップ３０００
内で特定のエラーコード"C0802"を選択すると、そのエ
ラーコードに対応する行方向が反転表示されると共に、
マップ４０００において選択されたエラーコードに対応
するバー表示４００２が他のバー表示から目立つように
表示される。逆に、操作者が任意のバー表示（例えば４
００２）上の特定位置（例えば４００１）を選択する
と、その特定位置を含むエラー領域が反転表示される。

【０１３０】図３３は、図３２のエラーマップ表示を実
現する制御手順を示すフローチャートである。ステップ
Ｓ２００ではエラーマップカーソル（図３２のカーソル
４００１）が操作者によって動かされたかを調べ、ステ
ップＳ２０２では、一覧表カーソル（マップ３０００内
の反転表示領域）が動かされたかを検出する。エラーマ
ップカーソル４００１が操作者によって動かされた場合
は、ステップＳ２０４で何番目の識別子のエラーに移動
されたかを調べる。ステップＳ２０６では、移動先の識
別子の番地をマップ３０００のオブジェクトに送る。マ
ップ３０００側では、送られてきた番地に従って、一覧
表カーソルを移動する。

【０１３１】一方、一覧表カーソルが移動された場合に
は、ステップＳ２１０で、その一覧表カーソルが一覧表
３０００の何行目に移動されたかを調べる。ステップＳ
２１２では移動先の行の番号（エラーの識別子）をマッ
プ４０００側に送る。マップ４０００側はエラーマップ
カーソルを移動先の行に対応して移動させる。なお、本
発明はその主旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態を修
正または変形したものに適用可能である。

【０１３２】例えば、上記の実施形態では、太陽電池を
製造する場合について説明したが、本発明はこれに限定
されることなく、連続体を加工素材として複数の物品を
製造するものであれば何にでも適用可能である。

【０１３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の工程管理
方法によれば、連続体などの加工物の加工工程につい
て、時間順に発生する事象データと、その事象が発生し
た加工物上の位置とを有機的に関連づけて表示すること
ができるので、操作者は例えば、異常が発生した場合に
おいても、連続体上のどの位置に異常が発生したかをす
ばやく知ることができる。

【０１３４】また、本発明の表示制御方法によれば、一
覧表示とグラフィック表示の間において、一方の表示に
おいて事象データを洗濯すれば他方の表示においてその
事象データが他と区別されて表示されるので、目的の事
象データのはアクチュエータ及び管理が簡単になり、操
作性が向上する。

【０１３５】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる連続体の製造装置及び製造方法
を太陽電池の製造に適用した場合の製造工程の一実施形
態を示す構成図である。

【図２】実施形態の巻き取り装置の構成を示した図であ
る。

【図３】図１の各加工装置のＰＬＣの接続状態を示した
図である。

【図４】図１のシステムにおいて製造装置に何らかの異
常が発生した場合の処理の流れを示した図である。

【図５】太陽電池の製造工程の流れを示した図である。

【図６】帯状連続体の位置関係を示した図である。

【図７】洗浄工程における加工素材の交換方法を模式的
に示した図である。

【図８】成膜Ａ工程乃至成膜Ｃ工程における加工素材の
交換方法を模式的に示した図である。

【図９】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場合
に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示した
図である。

【図１０】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。

【図１１】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。

【図１２】一実施形態の加工素材の交換方法を行った場
合に生ずる加工素材の原点のずれと全長値の関係を示し
た図である。

【図１３Ａ】洗浄工程における加工素材の原点のずれと
全長値の関係を示した図である。

【図１３Ｂ】成膜Ａ工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。

【図１３Ｃ】成膜Ｂ工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。

【図１３Ｄ】成膜Ｃ工程における加工素材の原点のずれ
と全長値の関係を示した図である。

【図１４】洗浄工程、成膜Ａ工程、成膜Ｂ工程、成膜Ｃ
工程の夫々における巻き付け長、残長、インライン長、
ロール長を示した図である。

【図１５】各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥
の座標の算出のしかたを示した図である。

【図１６】各工程で製造欠陥が起きた場合の、その欠陥
の座標の算出のしかたを示した図である。

【図１７】図１４に実際の数値をあてはめた例を示した
図である。

【図１８】図１５に実際の数値をあてはめた例を示した
図である。

【図１９】切断工程を行うシャーリング装置の構成を示
した概略図である。

【図２０Ａ】不良のスラブを選別する方法を説明するた
めの図である。

【図２０Ｂ】ディスプレイの画面上に表示される各ロッ
トへのスラブの個数の割り付け方を具体的に示した図で
ある。

【図２０Ｃ】１つのスラブにおいて発生したエラー位置
を示す図。

【図２１】切断作業の進行につれて、リアルタイムにデ
ィスプレイ上に表示されるデータを示した図である。

【図２２】エラー信号を記憶するログファイルの構成を
示す図。

【図２３】エラー信号と、そのエラー信号が発生する筈
のＰＬＣとの関係を説明する図。

【図２４】事象データを収集する制御手順を示すフロー
チャート。

【図２５】実施形態に用いられているアイコンの種類を
示す図。

【図２６】リアルタイム表示とヒストリカルトレンド表
示とを切り分ける制御手順を示すフローチャート。

【図２７】リアルタイム表示とヒストリカルトレンド表
示とをリクエストするアイコンの表示画面を示す図。

【図２８】ヒストリカルトレンド表示の例を示す図。

【図２９】エラーマップ表示の制御手順を示すフローチ
ャート。

【図３０】エラーマップ表示の一形態を示す図。

【図３１】図３０の表示を得るための制御手順を示すフ
ローチャート。

【図３２】エラーマップ表示の一形態を示す図。

【図３３】図３２の表示を得るための制御手順を示すフ
ローチャート。

【符号の説明】

１０製造装置１２，１４，１６，１８加工装置２２加工素材２４巻出し装置２６巻取り装置２８ＮＣフィーダ３０シャーリング装置３３折返し回転ローラ３４ロータリーエンコーダ３６管理コンピュータＰプロセス部Ｔ搬送部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加工素材としての連続体が加工工程を渡
り歩く生産プロセスを管理する連続体の製造工程管理方
法であって、前記加工工程において発生した複数事象のデータを、一
覧表示すると共に発生順にグラフィック表示し、一覧表示中の任意の事象データと、この任意の事象デー
タに対応するグラフィック表示中の事象データの時間位
置との対応付けを可視表示することを特徴とする連続体
の製造工程管理方法。
【請求項２】前記加工工程において発生した複数事象
は異常を示す事象であることを特徴とする請求項１に記
載の製造工程管理方法。
【請求項３】一覧表示には、事象の識別子と、その事
象の発生時間とを含んで表示することを特徴とする請求
項１に記載の製造工程管理方法。
【請求項４】前記複数事象のデータは時間発生順に表
形式で並べられて表示されることを特徴とする請求項３
に記載の製造工程管理方法。
【請求項５】前記複数事象のデータは、事象の識別子
と、その事象の発生時間とを含み、前記一覧表示は、事象の識別子と、その事象の発生時間
とを、時間発生順に表形式で並べて表示し、前記グラフィック表示においては、事象データが、事象
毎に且つ事象の発生順に、バー表示されることを特徴と
する請求項１に記載の製造工程管理方法。
【請求項６】一覧表示中の任意の事象データは反転表
示され、この任意の事象データに対応するグラフィック
表示中の事象データの時間位置は他の事象データの時間
位置と異なるように表示されることにより、対応付けが
認識できることを特徴とする請求項１に記載の製造工程
管理方法。
【請求項７】事象データの時間位置は、前記連続体の
原点位置からの距離に換算されて表示されることを特徴
とする請求項１に記載の製造工程管理方法。
【請求項８】一覧表示には、複数の事象データが発生
毎に、１行毎もしくは１列毎に並べられて表示され、グラフィック表示中には、同一種類の事象データがバー
表示として表示され、１つのバー表示には同一種類の事
象データが発生時間順に並べて表示されていることを特
徴とする請求項１に記載の製造工程管理方法。
【請求項９】一覧表示において、目的の事象データを
選択すると、その事象データ及び関連データが反転表示
され、グラフィック表示において、前記選択された目的の事象
データに対応する発生位置がバー表示中にカーソルを付
されて表示されることを特徴とする請求項８に記載の製
造工程管理方法。
【請求項１０】グラフィック表示において、目的の事
象データに対応する発生位置をバー表示中で選択する
と、当該位置にカーソルが表示され、一覧表示において、前記選択された発生位置に対応する
事象データ及び関連データが反転表示されることを特徴
とする請求項８に記載の製造工程管理方法。
【請求項１１】加工素材としての連続体が加工工程を
渡り歩く生産プロセスを管理するための工程管理表の表
示制御方法であって、前記加工工程において発生した所定事象のデータを、発
生毎に一覧表示し、前記加工工程において発生した前記事象のデータを発生
順にグラフィック表示し、一覧表示中の任意の発生時点の事象データを選択する
と、その選択された事象データが他の発生時点の事象デ
ータと区別して表示され、前記グラフィック表示中にお
いて、前記選択された発生時点に対応する位置に、その
事象データの発生が可視表示されることを特徴とする工
程管理表の表示制御方法。
【請求項１２】加工素材としての連続体が加工工程を
渡り歩く生産プロセスを管理するための工程管理表の表
示制御方法であって、前記加工工程において発生した所定事象のデータを、発
生毎に一覧表示し、前記加工工程において発生した前記事象のデータを発生
順にグラフィック表示し、前記グラフィック表示中において任意の発生時点を選択
すると、その選択された発生位置においてその事象デー
タの発生が可視表示されるとともに、前記一覧表示中に
おいて、前記選択された発生時点に対応する事象データ
が他の発生時点の事象データと区別して表示されること
を特徴とする工程管理表の表示制御方法。
【請求項１３】前記事象は複数種類が設定され、前記
グラフィック表示においては、同一種類の事象データは
時間発生順に同じバーとして表示されることを特徴とす
る請求項１１または１２に記載の工程管理表の表示制御
方法。