JPH09181243A - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

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JPH09181243A
JPH09181243A JP35100595A JP35100595A JPH09181243A JP H09181243 A JPH09181243 A JP H09181243A JP 35100595 A JP35100595 A JP 35100595A JP 35100595 A JP35100595 A JP 35100595A JP H09181243 A JPH09181243 A JP H09181243A
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JP
Japan
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lead
lead frame
tie bar
resin
outer lead
Prior art date
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Pending
Application number
JP35100595A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadashi Mimura
忠士 三村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH09181243A publication Critical patent/JPH09181243A/ja
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 タイバー付きリードフレーム上に固定した半
導体素子をトランスファーモールドにより樹脂封止する
際、封止樹脂中にボイドが発生するのを防止する。 【解決手段】 リードフレーム11は、タイバー12に
交差・連結してインナーリード13とアウターリード1
4とを設けたものであって、タイバー12に、その一方
の側面12aから反対側の側面12bに至る連続溝15
を、タイバー12の長手方向に直交して形成することに
より、これらタイバー12、インナーリード13および
アウターリード14により形成される区画室16と16
を互いに連通させたものである。トランスファーモール
ドにおいて溶融樹脂がアウターリード14側から注入さ
れ、インナーリード13側に流れながら充填される場
合、充填流路の上流側にある区画室16a内の空気が溶
融樹脂で押され、連続溝15を介して下流側の区画室1
6bに迅速に流入する。このため、リードフレーム内の
空気は金型のベントから早期に脱気される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ用の
リードフレームに関し、詳しくは、半導体素子をトラン
スファーモールドにより樹脂封止する際のエアーベント
機能に優れたリードフレームに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体チップのパッケージング技
術として、半導体素子をタイバー付きリードフレーム上
に固定し、この半導体素子をトランスファーモールドに
より樹脂封止(モールディング)する方法が採用されて
いる。リードフレームにタイバーを設けるのは、樹脂封
止をより強固にするためである。
【0003】上記トランスファーモールドは、あらかじ
めリードフレームにICチップをワイヤーボンディング
により組み込んでおき、これをモールド金型に入れ、エ
ポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂を温度と圧力をか
けて溶融させ、上記金型内に注入・固化させるものであ
る。
【0004】図6は、リードフレーム上に固定した半導
体素子を、トランスファーモールドにより樹脂封止する
要領を示す概念図である。すなわち、ゲート101から
溶融樹脂を金型内に注入し、通常3箇所に設けたベント
102から空気抜きを行いながら成形する。このトラン
スファーモールドにより品質の良いパッケージを成形す
るには、封止樹脂にボイド等の成形不良が発生しないよ
うに、金型内への樹脂充填を的確に行うことが重要であ
る。そのためには、リードフレーム内の空気が、金型に
注入される溶融樹脂により上記ベントに向けて迅速に押
し出されることが重要である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のタイ
バー付きリードフレームにあっては、成形条件の設定・
管理を高精度に行わないと、リードフレーム内の空気が
十分に脱気される前に溶融樹脂が上記ベントに到達し、
固化した樹脂によりベントが閉塞してしまうため、封止
樹脂内にボイドが発生しやすくなるという問題があっ
た。
【0006】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、その目的は、リードおよび/またはタイバーの適宜
箇所に溝または貫通孔を形成することにより、金型内へ
の溶融樹脂注入時にリードフレーム内の空気を迅速に上
記ベントを介して脱気できるようにした、タイバー付き
リードフレームを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載のリード
フレームは、タイバーに交差・連結させてインナーリー
ドとアウターリードとを設けてなるリードフレームにお
いて、これらタイバー、インナーリードおよびアウター
リードにより形成される区画室同士をタイバー、インナ
ーリード、アウターリードのいずれか少なくとも一つの
適所に溝を形成することにより連通させたことを特徴と
する。
【0008】また、請求項4に記載のリードフレーム
は、タイバーに交差・連結させてインナーリードとアウ
ターリードとを設けてなるリードフレームにおいて、こ
れらタイバー、インナーリードおよびアウターリードに
より形成される区画室同士をタイバー、インナーリー
ド、アウターリードのいずれか少なくとも一つの適所に
貫通孔を形成することにより連通させたことを特徴とす
る。
【0009】上記溝を形成したリードフレームでは、ト
ランスファーモールド金型内の溶融樹脂充填流路の上流
側にある区画室内の空気が、注入された溶融樹脂により
押し込まれ、上記溝を介して下流側の区画室に迅速に流
入するので、リードフレーム内空気の脱気機能が向上す
る。
【0010】また、上記貫通孔を形成したリードフレー
ムでは、この貫通孔により、上記溝を形成した場合と同
様の作用が生じるので、リードフレーム内空気の脱気機
能が向上する。更に、上記溝を形成したリードフレーム
に比べて、外部に露出している部分の面積が小さいた
め、樹脂封止以後に問題となる「薄バリ(ウスバリ)」
の発生も抑えられる利点がある。
【0011】本発明のリードフレームでは、上記溝(ま
たは貫通孔)の配置位置(タイバー、インナーリード、
アウターリードのいずれかにするかなどを含む)・配置
の向き・形状・大きさ・個数等を設定するに際しては、
注入された溶融樹脂の流過方向、充填速度、リードフレ
ームの機械的強度、溝形成の容易度等を考慮する必要が
ある。脱気機能を高くするには、溝を溶融樹脂の流過方
向に沿わせて形成することが重要である。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。 実施例1 図1のリードフレーム11は、タイバー12に交差・連
結してインナーリード13とアウターリード14とを設
けてなり、タイバー12に、その一方の側面12aから
反対側の側面12bに至る連続溝15を、タイバー12
の長手方向に直交して形成することにより、これらタイ
バー12、インナーリード13およびアウターリード1
4により形成される区画室16と16を互いに連通させ
たものである。連続溝15は、例えばハーフエッチによ
り形成することができる。
【0013】このリードフレーム11において溶融樹脂
(図示せず)が、例えば図1のアウターリード14側か
ら注入され、インナーリード13側に流れながら充填さ
れる場合、充填流路の上流側にある区画室16a内の空
気が溶融樹脂により押され、連続溝15を介して下流側
の区画室16bに迅速に流入する。したがって、脱気機
能の点からは連続溝15はできるだけ多数箇所に形成す
るのが望ましいが、その数が過剰に多いときや、幅が広
すぎるときには、溝の面積が広くなるため、樹脂封止以
後に問題となる薄バリの発生や、リードフレームの機械
的強度低下等が懸念されるので、これらを考慮してリー
ドフレームの設計を行う必要がある。
【0014】実施例2 図2のリードフレーム21は実施例1の改変例であっ
て、アウターリード14上の始端部25aから、アウタ
ーリード14とタイバー12との交差部分17を経由
し、インナーリード13の一方の側面13bに至る連続
溝25を形成することにより、区画室16と16を互い
に連通させたものである。
【0015】実施例3 図3のリードフレーム31は実施例2の改変例であっ
て、アウターリード14の一方の側面14aに設けた始
端部35aから、交差部分17を経由し、アウターリー
ド14の前記側面14aと同じ側のインナーリード側面
13bに至る連続溝35を形成したものである。
【0016】実施例4 図4に示すリードフレーム41は タイバー12に交差
・連結してインナーリード13とアウターリード14と
を設けてなり、タイバー12に、その一方の側面12a
から反対側の側面12bに連通する貫通孔45を、タイ
バー12の長手方向に直交して形成したものである。上
記貫通孔45は、実施例1のリードフレーム2枚を、連
続溝15同士を真正面に対向させて重ね合わすことによ
り形成することができる。図4において46は、上下2
枚のリードフレームの境界部すなわち、重ね合わせ部を
示す線である。貫通孔45は、機械加工で形成すること
もできる。
【0017】このリードフレーム41では、溶融樹脂充
填流路の上流側にある区画室16a内の空気が溶融樹脂
により押され、貫通孔45を介して下流側の区画室16
bに迅速に流入し、実施例1のリードフレームと同様の
作用が生じる。また、実施例1のリードフレームに比べ
て外部に露出している面積が小さいため、薄バリの発生
も抑えられる。したがって貫通孔45は、リードフレー
ムの機械的強度等を考慮しつつ、できるだけ多数箇所に
形成することが好ましい。
【0018】実施例5 図5に示すリードフレーム51は実施例4の改変例であ
って、アウターリード14の一方の側面14aに設けた
始端部55aから、アウターリード14とタイバー12
との交差部分17を経由し、アウターリードの前記側面
14aと同じ側のインナーリード側面13bに至る連続
貫通孔55を形成したものである。上記連続貫通孔55
は、実施例3のリードフレーム2枚を、連続溝35同士
を真正面に対向させて重ね合わすことにより形成するこ
とができる。図5において56は、上下2枚のリードフ
レームの重ね合わせ部を示す線である。
【0019】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に記載のリードフレームによればタイバー、インナーリ
ードおよびアウターリードにより形成される区画室同士
を、これらの適所に溝を形成することにより連通させた
ため、半導体素子をこのリードフレーム上に固定し、こ
の半導体素子をトランスファーモールドにより樹脂封止
する工程において、当該リードフレーム内の空気が、金
型に注入された溶融樹脂の流れにより、上記溝を介して
ベントから迅速に排出されるので、リードフレーム内空
気の脱気機能が向上する。この結果、上記ベントの位置
や数に関係なく封止樹脂内のボイド発生を防止すること
が可能になるとともに、金型内への樹脂充填が的確に行
われて、品質の良いパッケージを成形することができ
る。
【0020】また、請求項4に記載のリードフレームに
よれば、当該リードフレーム内の空気が、金型に注入さ
れた溶融樹脂の流れにより、所定の貫通孔を介してベン
トから迅速に排出されるので、請求項1のリードフレー
ムと同様の効果が得られる。更に請求項4のリードフレ
ームでは、当該リードフレームが外部に露出している面
積が小さいため、樹脂封止以後に問題となる薄バリの発
生も抑えられるので、請求項1のリードフレームよりも
更に高品質のパッケージが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係るリードフレームの要部
を示す斜視図である。
【図2】実施例2のリードフレームの要部を示す斜視図
である。
【図3】実施例3のリードフレームの要部を示す斜視図
である。
【図4】実施例4のリードフレームの要部を示す斜視図
である。
【図5】実施例5のリードフレームの要部を示す斜視図
である。
【図6】リードフレーム上に固定した半導体素子を、ト
ランスファーモールドにより樹脂封止する要領を示す概
念図である。
【符号の説明】
11,21,31,41,51 リードフレーム 12 タイバー 12a,12b,13b,14a 側面 13 インナーリード 14 アウターリード 15,25,35 連続溝 16,16a,16b 区画室 17 交差部分 25a,35a,55a 始端部 45 貫通孔 46,56 重ね合わせ部を示す線 55 連続貫通孔

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 タイバーに交差・連結させてインナーリ
    ードとアウターリードとを設けてなるリードフレームに
    おいて、これらタイバー、インナーリードおよびアウタ
    ーリードにより形成される区画室同士をタイバー、イン
    ナーリード、アウターリードのいずれか少なくとも一つ
    の適所に溝を形成することにより連通させたことを特徴
    とするリードフレーム。
  2. 【請求項2】 タイバーに、その一方の側面から反対側
    の側面に連通する溝を、該タイバーの長手方向にほぼ直
    交して形成したことを特徴とする請求項1に記載のリー
    ドフレーム。
  3. 【請求項3】 アウターリードの一方の側面に設けた始
    端部から、アウターリードとタイバーとの交差部分を経
    由し、前記アウターリードの一方の側面と同じ側のイン
    ナーリード側面に至る連続溝を形成したことを特徴とす
    る請求項1に記載のリードフレーム。
  4. 【請求項4】 タイバーに交差・連結させてインナーリ
    ードとアウターリードとを設けてなるリードフレームに
    おいて、これらタイバー、インナーリードおよびアウタ
    ーリードにより形成される区画室同士をタイバー、イン
    ナーリード、アウターリードのいずれか少なくとも一つ
    の適所に貫通孔を形成することにより連通させたことを
    特徴とするリードフレーム。
  5. 【請求項5】 タイバーに、その一方の側面から反対側
    に側面に連通する貫通孔を、該タイバーの長手方向にほ
    ぼ直交して形成したことを特徴とする請求項4に記載の
    リードフレーム。
  6. 【請求項6】 アウターリードの一方の側面に設けた始
    端部から、アウターリードとタイバーとの交差部分を経
    由し、前記アウターリードの一方の側面と同じ側のイン
    ナーリード側面に至る連続貫通孔を形成したことを特徴
    とする請求項4に記載のリードフレーム。
JP35100595A 1995-12-25 1995-12-25 リードフレーム Pending JPH09181243A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7408238B2 (en) 2003-03-27 2008-08-05 Hamamatsu Photonics K.K. Photodiode array and production method thereof, and radiation detector
US7888766B2 (en) 2003-03-27 2011-02-15 Hamamatsu Photonics K.K. Photodiode array and radiation detector having depressions of predetermined depth formed in regions corresponding to the regions where the photodiodes are formed in the semiconductor substrate
CN104465596A (zh) * 2014-12-05 2015-03-25 苏州日月新半导体有限公司 引线框架、半导体封装体及其制造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7408238B2 (en) 2003-03-27 2008-08-05 Hamamatsu Photonics K.K. Photodiode array and production method thereof, and radiation detector
US7888766B2 (en) 2003-03-27 2011-02-15 Hamamatsu Photonics K.K. Photodiode array and radiation detector having depressions of predetermined depth formed in regions corresponding to the regions where the photodiodes are formed in the semiconductor substrate
CN104465596A (zh) * 2014-12-05 2015-03-25 苏州日月新半导体有限公司 引线框架、半导体封装体及其制造方法
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