JPH09177703A - ステッピングシリンダによる力の制御方法 - Google Patents

ステッピングシリンダによる力の制御方法

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JPH09177703A
JPH09177703A JP33327695A JP33327695A JPH09177703A JP H09177703 A JPH09177703 A JP H09177703A JP 33327695 A JP33327695 A JP 33327695A JP 33327695 A JP33327695 A JP 33327695A JP H09177703 A JPH09177703 A JP H09177703A
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valve
piston
spool
sleeve
cylinder
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JP33327695A
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Norio Takahashi
則夫 高橋
Toshihiro Itagaki
敏宏 板垣
Shiro Murakami
志郎 村上
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IHI Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 対象物に印加する押圧力を制御できるステッ
ピングシリンダによる力の制御方法を提供する。 【解決手段】 スプール4,スリーブ5からなる回転式
弁によりシリンダに動作油を給排してピストンロッド6
を位置制御するステッピングシリンダを用い、回転式弁
を微小角刻みで開度調整し、この開度調整によりシリン
ダ内の油圧を制御することにより、ピストンロッド6を
介して対象物に印加される押圧力を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、微小角刻みで回転
角制御することにより油圧を介して対象物の位置制御を
行うステッピングシリンダに係り、特に、対象物に印加
する押圧力を制御できるステッピングシリンダによる力
の制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ステッピングシリンダは、ステッピング
モータ等による回転角変位を回転式バルブ及び油圧シリ
ンダを介して軸方向変位に変換すると共に油圧による強
力な力を得るようにしたものである。その構成は、微小
角刻みで回転角変位が与えられるスプールと、そのスプ
ールに対する回転角ずれによって弁が開成されるスリー
ブと、該弁の開成に応じて動作油が給排されるシリンダ
と、その油圧によって軸方向に変位されるピストンと、
このピストンの軸方向変位を上記スリーブの回転角変位
に変換するボールネジとを備え、その制御方式は図9に
示されるように、ボールネジによる軸方向変位から回転
角変位へのメカニカルフィードバックを有しており、回
転角変位は微小角刻みで正確に与えることができるの
で、ピストンのロッドを介した対象物の位置制御はオー
プンループにて精密に行うことができる。
【0003】ステッピングシリンダは、その分解能の高
さ、位置決め精度の高さ、耐環境性の優良さにより、多
岐の分野で高い評価を受けている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来、ステッピングシ
リンダは位置決めの用途に用いられており、推力に関し
てはゼロから定格推力の間でどの程度の力が働いている
かを問題としておらず、力の制御を行うこともなかっ
た。従って、対象物の保護のために反力に応じた回避動
作をさせるような、さらには対象物を押し付けたり引き
戻したりする力(圧力・押圧力)を可変制御するような
ニーズには対応していなかった。
【0005】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、対象物に印加する押圧力を制御できるステッピング
シリンダによる力の制御方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、スプールに微小角刻みで回転角変位を与
え、そのスプールに対するスリーブの回転角ずれに応じ
て弁を開放させ、該弁を介してシリンダに動作油を給排
してピストンを軸方向に変位させると共にこのピストン
の軸方向変位をボールネジにより上記スリーブの回転角
変位に変換して上記弁を閉鎖させ、上記ピストンの軸方
向変位が上記スプールの回転角変位に比例するようにし
たステッピングシリンダにおいて、上記ピストンのロッ
ドを介して対象物に押圧力を印加し、この押圧力を上記
回転角ずれによる弁の開度調整により制御するものであ
る。
【0007】上記シリンダ内に油圧センサを設け、その
油圧センサの検出値が所定の油圧値になるよう上記弁の
開度調整をしてもよい。
【0008】上記油圧値は、上記ピストンの受圧面積と
の関係式から上記押圧力に対応させて求めてもよい。
【0009】上記シリンダ内の油圧と上記弁の開度との
関係を予め求めておき、この関係から上記油圧値に応じ
た弁の開度を求めてもよい。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施形態を添付図
面に基づいて詳述する。
【0011】図1、図2に示されるように、本発明に係
る圧力制御系は、ステッピングモータに圧力制御のため
の制御量を与える制御装置1と、この制御量を駆動パル
スに変換するステッピングモータ用駆動装置2と、その
駆動パルスに応じて微小角刻みで回転するステッピング
モータ3と、このステッピングモータ3に連結されたバ
ルブスプール(スプール)4と、このスプール4に対し
同軸で回転自在に設けられたバルブスリーブ(スリー
ブ)5と、このスリーブ5の軸方向延長上の油圧シリン
ダ内にあるピストンに一体化され軸方向のみ運動自在の
ピストンロッド6と、このピストンロッド6に螺合し回
転方向のみ運動自在のボールネジ7と、油圧シリンダ内
に設けられた油圧センサ8とを備えている。スプール4
及びスリーブ5にはそれぞれ周方向所定の角度位置に弁
を構成するポートが形成されており、スプール4対スリ
ーブ5の回転角ずれに応じて弁が開放・閉鎖されるよう
になっている。上記油圧シリンダには上記弁を介して給
油圧力PS 及び排出圧力Pで動作油が給排されるよう
になっている。また、ボールネジ7はスリーブ5に連結
されており、これによりピストンロッド6の軸方向変位
をボールネジ7によりスリーブ5の回転角変位に変換す
るメカニカルフィードバック路10が形成されている。
【0012】ステッピングシリンダの制御系と異なる構
成として、油圧シリンダ内に油圧センサ8が設けられて
いる。この油圧センサ8から制御装置1に対し圧力検出
値をフィードバックする圧力フィードバック路11が形
成されている。
【0013】制御装置1には圧力設定値が入力されるよ
うになっている。また、対象物に対しては従来の位置に
加え、圧力が出力されるようになっている。この圧力
は、このステッピングシリンダ固有の弁開度・圧力特性
12に従うものである。
【0014】次に、弁について詳しく説明する。
【0015】スプール4及びスリーブ5によって構成さ
れる弁には三方弁と四方弁とがある。図2には三方弁方
式のステッピングシリンダを示す。ここで、ステッピン
グモータ3、スプール4、スリーブ5、ピストンロッド
6、ボールネジ7及び油圧センサ8は既に説明したもの
である。21は油圧シリンダ、22はピストンである。
油圧シリンダ21内は、ピストン22によってロッド側
23とヘッド側24とに区画されており、油圧センサ8
はヘッド側24に設けられている。
【0016】三方弁方式の特徴として動作油の給油ライ
ン25はロッド側23に常時連通している。そして、三
方弁26には排出ライン27とヘッド側24と給油ライ
ン25(ロッド側23)とが接続されている。この三方
弁26は、スプール4に対するスリーブ5の回転角ずれ
により、前進側開放(CW開)、後進側開放(CCW
開)、閉鎖(中立)の3つの状態をとることができる。
CW開のときにはヘッド側24と給油ライン25とが連
通され、動作油が図の矢印のようにロッド側23からヘ
ッド側24へと流れ、このためピストン22がロッド側
23へ移動し、ピストンロッド6が図の左方向に移動す
る。CCW開のときにはヘッド側24と排出ライン27
とが連通され、ロッド側23には給油ライン25から動
作油が給油されると共にヘッド側24から排出ライン2
7へ動作油が排出され、このためピストン22がヘッド
側24へ移動し、ピストンロッド6が図の右方向に移動
する。中立のときにはピストン22は移動しない。
【0017】次に、ピストン移動の原理を説明する。
【0018】ピストン移動の原理は、ピストンロッド6
に荷重がかかっていない場合を考えると、ピストンのロ
ッド側受圧面積をA、ヘッド側受圧面積をAH (ロ
ッドがあるため必ずAR <AH )、ロッド側圧力をPR
(三方弁方式により給油圧力PS に等しい)、ヘッド側
圧力をPH とするとき、ピストンに働く両側の力FR
S ・AR 、FH =PH ・AH の差によるものである。
即ち、FR <FH ならば前進、FR >FH ならば後進、
R =FH ならば停止、となる。従って、三方弁26が
CW開になるとPH =PS となるためAR <AH よりF
R <FH となり前進となる。三方弁26がCCW開にな
るとPH =PT =0となるためFR >FH となり後進と
なる。三方弁26が閉鎖のときはピストンが平衡して停
止する。以上がピストン移動の原理である。ここで停止
時のヘッド側圧力PH をPB とすると、 PB =(AR /AH )・PS となる。
【0019】本発明の目的は推力制御である。即ち、ピ
ストン移動の推力F=FH −FR =PH ・AH −PS
R であり、ピストンが平衡している状態ではヘッド側
圧力PH =PB であるから、F=0である。このヘッド
側圧力PH がPB +ΔPH に変化したとすると、ΔPH
>0ならばピストンに前進方向の力が生じ、ΔPH <0
ならばピストンに後進方向の力が生じることがわかる。
従って、ΔPH を制御することができれば、推力を制御
することができることになる。
【0020】次に、ヘッド側圧力PH と弁開度との関係
を説明する。
【0021】図3に示されるように、弁開度によってヘ
ッド側圧力PH は変化し、これに伴いピストン移動の推
力Fも変化する。推力Fは弁がCW開のとき前方向、C
CW開のとき後方向となる。弁開度がCW開方向に大き
いときヘッド側圧力PH は給油圧力PS に近く、推力F
は前方向最大となり、弁開度がCCW開方向に大きいと
きヘッド側圧力PH は0=排出圧力PT に近く、推力F
は後方向最大となる。弁が中立のときヘッド側圧力PH
はPB であり、弁が中立の近傍ではヘッド側圧力PH
中間的な値となる。推力Fの大きさはヘッド側圧力PH
とPB との差から決まる。
【0022】以上により、弁開度を制御すればヘッド側
圧力PH が制御でき、ピストン移動の推力Fが制御でき
ることになる。従って、ピストンロッド6に荷重をかけ
る場合、即ち対象物に押圧力を印加するような場合、こ
の押圧力を上記回転角ずれによる弁の開度調整により制
御することが可能となる。
【0023】本発明の方法は、四方弁方式のステッピン
グシリンダにも適用できる。四方弁方式の場合、CW開
のときにはヘッド側24と給油ライン25とが連通さ
れ、かつロッド側23と排出ライン27とが連通され、
CCW開のときにはヘッド側24と排出ライン27とが
連通され、かつロッド側23と給油ライン25とが連通
されるので、動作油が交互に給排されてピストン22が
移動する。このためピストンに働く両側の力FR =PR
・AR 、FH =PH ・AH によるピストン移動の推力F
=FH −FR =PH ・AH −PR ・AR は2つの変数P
H ,PR を持つことになる。この場合、ヘッド側圧力P
H 及びロッド側圧力PR と弁開度との関係は図4のよう
になる。ヘッド側圧力PH はCCW開で小さくCW開で
大きい、ロッド側圧力PR は逆にCCW開で大きくCW
開で小さい。弁が中立のときPR ・AR =PH ・AH
ある。従って、押圧力である推力F=PH ・AH −PR
・A R を制御するには、ΔPH ,ΔPR をともに制御す
る必要がある。これらは弁の開度調整により制御するこ
とが可能である。
【0024】次に具体的な実施形態として三方弁方式の
電気油圧ステッピングシリンダを用いた圧力制御装置を
説明する。図5に示されるように、ステッピングシリン
ダは油圧シリンダ21と油圧バルブ51とを一体的に構
成した円筒状の外筒を有し、その一端に1000ステッ
プで1回転する0.36°刻みのステッピングモータ3
とさらにこの刻みを1/20にする減速器52とが取り
付けられている。油圧バルブ51内には、減速器52に
連結されたバルブスプール4とバルブスプール4の外周
を覆うバルブスリーブ5とが収容され、バルブスリーブ
5の一端にはカップリング53を介しボールネジ7が連
結されている。油圧シリンダ21内にはピストン22及
びピストンロッド6が一体的に設けられている。ピスト
ンロッド6は油圧シリンダ21外に貫通し図示されない
対象物を押圧できるようになっている。油圧バルブ51
から油圧シリンダ21へ貫通するボールネジ7はピスト
ンロッド6の軸心に挿入され、ピストンロッド6に固定
されたボールナット54に螺合している。油圧センサ8
は油圧シリンダ21のヘッド側24に設けられている。
【0025】給油ライン25は油圧シリンダ21のロッ
ド側23に接続されていると共にバルブスプール4の軸
心に形成された中空部55に接続されている。この中空
部55のb−bの位置にはバルブスプール4の外周に抜
けるスプール側bポート(図示略)が設けられている。
バルブスリーブ5の上記と同じb−bの位置にはヘッド
側用給排ライン56に接続されたスリーブ側bポート5
7が設けられている。これらスプール側bポートとスリ
ーブ側bポート57とはバルブスプール4に対するバル
ブスリーブ5の回転角ずれによって互いに周方向の位置
がずれる。排出ライン27はバルブスプール4の外周に
形成された空隙部58に接続されている。空隙部58は
少なくともa−aの位置まで伸びており、この空隙部5
8がスプール側aポートを構成している。バルブスリー
ブ5の上記と同じa−aの位置にはヘッド側用給排ライ
ン56に接続されたスリーブ側aポート59が設けられ
ている。これらスプール側aポートとスリーブ側aポー
ト59とはバルブスプール4に対するバルブスリーブ5
の回転角ずれによって互いに周方向の位置がずれる。ヘ
ッド側用給排ライン56は油圧シリンダ21のヘッド側
24に接続されている。
【0026】図6に示された油圧バルブの断面図を用い
て動作を説明する。
【0027】図6(a)〜(c)は、それぞれ左側がb
−b断面、右側がa−a断面である。まず、図6(a)
において、スプール側bポート61とスリーブ側bポー
ト57とは不一致である。かつ、スプール側aポート6
2とスリーブ側aポート59とも不一致である。従っ
て、弁は閉鎖、ヘッド側圧力PH =PB となる。次に、
図6(b)において、スプール側aポート62とスリー
ブ側aポート59とが不一致であるのに対し、スプール
側bポート61とスリーブ側bポート57とは一部が一
致している。従って、給油ライン25−バルブスプール
軸心の中空部55−スプール側bポート61−スリーブ
側bポート57−ヘッド側用給排ライン56−油圧シリ
ンダのヘッド側24が連通する。これはCW開、ヘッド
側圧力PH>PB の状態であり、ピストンロッド6が前
進すると共にバルブスリーブ5は反時計方向に回転す
る。逆に、図6(c)において、スプール側bポート6
1とスリーブ側bポート57とが不一致であるのに対
し、スプール側aポート62とスリーブ側aポート59
とは一部が一致している。従って、排出ライン27−バ
ルブスプール外周の空隙部58(=スプール側aポート
62)−スリーブ側aポート59−ヘッド側用給排ライ
ン56−油圧シリンダのヘッド側24が連通する。これ
はCCW開、ヘッド側圧力PH <PB の状態であり、ピ
ストンロッド6が後進すると共にバルブスリーブ5は時
計方向に回転する。
【0028】ピストンロッド6を介して対象物に押圧力
を印加するとき、油圧センサ8によってヘッド側圧力P
H を検出する。印加したい押圧力FはPH −PB の関数
であり、図3の関係から弁開度をnに調整することによ
って得られる。このとき押圧力Fは弁開度の刻みに応じ
て段階的に変化する。弁開度nはバルブスプール4の微
小な回転角刻みによって小刻みに設定することができ
る。従って、押圧力Fの制御分解能は非常に高いものと
なる。
【0029】なお、対象物が剛体である場合、ピストン
ロッド6が移動しないので所定の弁開度を与えたとき直
ちに押圧力Fが得られる。対象物が柔軟な場合、所定の
弁開度を与えたことによってピストンロッド6が対象物
を押圧しつつ前進する。このためメカニカルフィードバ
ックによって弁開度は小さくなり、そのままでは押圧力
Fが低下するが、継続的に油圧センサ8を監視しつつ弁
開度を調整すれば押圧力Fは維持できる。
【0030】次に、四方弁方式の電気油圧ステッピング
シリンダを用いた圧力制御装置を説明する。図7に示さ
れるように、このステッピングシリンダの油圧シリンダ
21の構成は図5のものと同じであり、ステッピングモ
ータ3、減速器52も同じである。また、油圧バルブ7
1内に、減速器52に連結されたバルブスプール4とバ
ルブスリーブ5とが収容され、バルブスリーブ5にカッ
プリング53を介しボールネジ7が連結され、ボールネ
ジ7はピストンロッド6内のボールナット54に螺合し
ている。
【0031】図5のものと異なる点は、油圧バルブ71
のポートの構造、油圧ラインの接続及び油圧センサの個
数である。また、ボールネジ7,ボールナット54には
右ネジが使用されている。さらに、この例では油圧ライ
ン中にチェック弁等が挿入されている。
【0032】給油ライン25はバルブスプール4の軸心
に形成された中空部72に接続されている。この中空部
72のb−bの位置にはバルブスプール4の外周に抜け
るスプール側bポート73が設けられ、バルブスリーブ
5の上記と同じb−bの位置にはヘッド側用給排ライン
56に接続されたスリーブ側bポート74が設けられて
いる。これらスプール側bポート73とスリーブ側bポ
ート74とはバルブスプール4に対するバルブスリーブ
5の回転角ずれによって互いに周方向の位置がずれる。
また、中空部72のa−aの位置にはバルブスプール4
の外周に抜けるスプール側aポート75が設けられ、バ
ルブスリーブ5の上記と同じa−aの位置にはロッド側
用給排ライン76に接続されたスリーブ側aポート77
が設けられている。これらスプール側aポート75とス
リーブ側aポート77とはバルブスプール4に対するバ
ルブスリーブ5の回転角ずれによって互いに周方向の位
置がずれる。ここでは、スプール側bポート73とスプ
ール側aポート75とが周方向同じ位置に設けられ、ス
リーブ側bポート74とスリーブ側aポート77とは周
方向に互いに90°の位置に設けられており、回転角ず
れが時計方向か反時計方向かによって、aポート同士が
重なるかbポート同士が重なるかのいずれかとなる。排
出ライン27はバルブスプール4の外周に形成された空
隙部78に接続されている。この空隙部78は、スプー
ル側bポート73及びスプール側aポート75に対し周
方向に90°の位置にあり、少なくともb−bの位置ま
で伸びている。ヘッド側用給排ライン56は油圧シリン
ダ21のヘッド側24に接続され、ロッド側用給排ライ
ン76は油圧シリンダ21のロッド側23に接続されて
いる。
【0033】油圧センサは2個用いられ、油圧センサ8
Hが油圧シリンダ21のヘッド側24に設けられ、油圧
センサ8Rが油圧シリンダ21のロッド側23に設けら
れている。
【0034】給油ライン25とバルブスプール4の中空
部72との間にチェック弁171が設けられ、バルブス
プール4の空隙部78と排出ライン27との間にチェッ
ク弁172が設けられ、排出ライン27からヘッド側用
給排ライン56へ抜けるバイパスラインにチェック弁1
73が設けられ、ロッド側用給排ライン76から給油ラ
イン25へ抜けるバイパスラインにロジック弁174及
びチェック弁175が設けられている。
【0035】図8に示された油圧バルブの断面図を用い
て動作を説明する。
【0036】図8(a)〜(c)は、それぞれ左側がb
−b断面、右側がa−a断面である。まず、図8(a)
において、スプール側bポート73とスリーブ側bポー
ト74とは不一致であり、かつ、スプール側aポート7
5とスリーブ側aポート77とも不一致である。また、
バルブスプール外周の空隙部78も閉じられている。従
って、弁は閉鎖、PR ・AR =PH ・AH となる。次
に、図8(b)において、スプール側bポート73とス
リーブ側bポート74とが不一致であるのに対し、スプ
ール側aポート75とスリーブ側aポート77とは一部
が一致している。また、これに伴いバルブスプール外周
の空隙部78がスリーブ側bポート74にかかってい
る。従って、給油ライン25−バルブスプール軸心の中
空部72−スプール側aポート75−スリーブ側aポー
ト77−ロッド側用給排ライン76−油圧シリンダ21
のロッド側23が連通し、かつ油圧シリンダのヘッド側
24−ヘッド側用給排ライン56−スリーブ側bポート
74−バルブスプール外周の空隙部78−排出ライン2
7が連通する。これはCCW開、PR ・AR >PH ・A
H の状態であり、ピストンロッド6が後進すると共にバ
ルブスリーブ5は反時計方向に回転する。逆に、図8
(c)において、スプール側aポート75とスリーブ側
aポート77とが不一致であるのに対し、スプール側b
ポート73とスリーブ側bポート74とは一部が一致し
ている。また、これに伴いバルブスプール外周の空隙部
78がスリーブ側aポート77にかかっている。従っ
て、給油ライン25−バルブスプール軸心の中空部72
−スプール側bポート73−スリーブ側bポート74−
ヘッド側用給排ライン56−油圧シリンダのヘッド側2
4が連通し、かつ油圧シリンダのロッド側23−ロッド
側用給排ライン76−スリーブ側aポート77−バルブ
スプール外周の空隙部78−排出ライン27が連通す
る。これはCW開、PR ・AR <PH ・AH の状態であ
り、ピストンロッド6が前進すると共にバルブスリーブ
5は時計方向に回転する。
【0037】ピストンロッド6を介して対象物に押圧力
を印加するとき、油圧センサ8H,8Rによってヘッド
側圧力PH 及びロッド側圧力PR を検出する。印加した
い押圧力FはPH ,PR の関数であり、図4の関係から
弁開度をnに調整することによって得られる。このとき
押圧力Fは弁開度の刻みに応じて段階的に変化する。弁
開度nはバルブスプール4の微小な回転角刻みによって
小刻みに設定することができる。従って、押圧力Fの制
御分解能は非常に高いものとなる。
【0038】以上説明したように、本発明の方法によれ
ばステッピングシリンダにて対象物に印加する押圧力を
制御することができる。この方法はステッピングモータ
の駆動によって行うので、従来の位置決め制御と併用す
ることができる。従って、位置決め制御中に対象物に加
わる力を監視することも可能になり、対象物に印加する
押圧力の制御を主たる目的としてステッピングシリンダ
を使用することも、勿論、可能になる。さらに、位置と
押圧力とを同時に監視したり、位置決め制御と押圧力制
御とを切換えて行うこともできる。
【0039】このような利点を有する本発明は、比較的
柔軟な材料或いは剛体材料を対象物とし、この対象物に
所定の圧力を付与するような用途に幅広く応用できる。
例えば、溶融した金属を固形化する工程において、型を
押し付ける圧力を制御することができる。また、プレス
型をワークの直近まで移動した後、所望の圧力にてプレ
ス成型を行うことができる。また、食品練り上げ時の気
泡抜き、押し出し成型時の圧力維持等にも適用される。
いずれの用途においても高い分解能で圧力が制御でき
る。
【0040】
【発明の効果】本発明は次の如き優れた効果を発揮す
る。
【0041】(1)従来、力制御に不適とされていたス
テッピングシリンダが力制御に利用できるようになり、
ステッピングシリンダの用途が拡がる。
【0042】(2)一つのステッピングシリンダで力制
御と位置決め制御とを併用することができるので、その
両方を必要とする用途にも適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示すステッピングシリン
ダの制御系統図である。
【図2】本発明に係る三方弁方式のステッピングシリン
ダの概略構成図である。
【図3】シリンダ内油圧と弁開度との関係を示す特性図
である。
【図4】シリンダ内油圧と弁開度との関係を示す特性図
である。
【図5】本発明の具体的な実施形態を示す三方弁方式の
電気油圧ステッピングシリンダの側断面図である。
【図6】図5の電気油圧ステッピングシリンダのb−b
断面、a−a断面による動作説明図である。
【図7】本発明の具体的な実施形態を示す四方弁方式の
電気油圧ステッピングシリンダの側断面図である。
【図8】図7の電気油圧ステッピングシリンダのb−b
断面、a−a断面による動作説明図である。
【図9】従来のステッピングシリンダの位置制御系統図
である。
【符号の説明】
4 スプール(バルブスプール) 5 スリーブ(バルブスリーブ) 6 ピストンロッド 7 ボールネジ 8 油圧センサ 21 シリンダ(油圧シリンダ) 22 ピストン

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スプールに微小角刻みで回転角変位を与
    え、そのスプールに対するスリーブの回転角ずれに応じ
    て弁を開放させ、該弁を介してシリンダに動作油を給排
    してピストンを軸方向に変位させると共にこのピストン
    の軸方向変位をボールネジにより上記スリーブの回転角
    変位に変換して上記弁を閉鎖させ、上記ピストンの軸方
    向変位が上記スプールの回転角変位に比例するようにし
    たステッピングシリンダにおいて、上記ピストンのロッ
    ドを介して対象物に押圧力を印加し、この押圧力を上記
    回転角ずれによる弁の開度調整により制御することを特
    徴とするステッピングシリンダによる力の制御方法。
  2. 【請求項2】 上記シリンダ内に油圧センサを設け、そ
    の油圧センサの検出値が所定の油圧値になるよう上記弁
    の開度調整をすることを特徴とする請求項1記載のステ
    ッピングシリンダによる力の制御方法。
  3. 【請求項3】 上記油圧値は、上記ピストンの受圧面積
    との関係式から上記押圧力に対応させて求めること特徴
    とする請求項2記載のステッピングシリンダによる圧力
    制御方法。
  4. 【請求項4】 上記シリンダ内の油圧と上記弁の開度と
    の関係を予め求めておき、この関係から上記油圧値に応
    じた弁の開度を求めることを特徴とする請求項3記載の
    ステッピングシリンダによる力の制御方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008188642A (ja) * 2007-02-06 2008-08-21 Jfe Steel Kk モールド幅変更用アクチュエータ
CN106369006A (zh) * 2016-11-14 2017-02-01 浙江大学舟山海洋研究中心 数字伺服液压缸
KR101928728B1 (ko) * 2018-10-18 2019-03-12 김상진 피스톤 왕복식 공압 기기

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