JPH09174543A - ワイヤ式切断加工方法及び装置 - Google Patents
ワイヤ式切断加工方法及び装置Info
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- JPH09174543A JPH09174543A JP33920095A JP33920095A JPH09174543A JP H09174543 A JPH09174543 A JP H09174543A JP 33920095 A JP33920095 A JP 33920095A JP 33920095 A JP33920095 A JP 33920095A JP H09174543 A JPH09174543 A JP H09174543A
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 そりやうねり等を防止し精度よく切断する。
【解決手段】 溝ローラ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの間に
張設されたワイヤ４をワイヤ走行装置２の駆動モータ１
２ｄの作動で交互に逆方向に走行させる。駆動モータ１
２ｄの走行方向変更作動を、押付装置３に設けた押付力
検出器２３で検出し、該押付力検出器２３の検出信号に
より、ワイヤ４に対する被切断部材Ｗの押付力が一定に
保たれるようにワイヤ４に対する被切断部材Ｗの押付装
置３による押付移動速度を制御する。
張設されたワイヤ４をワイヤ走行装置２の駆動モータ１
２ｄの作動で交互に逆方向に走行させる。駆動モータ１
２ｄの走行方向変更作動を、押付装置３に設けた押付力
検出器２３で検出し、該押付力検出器２３の検出信号に
より、ワイヤ４に対する被切断部材Ｗの押付力が一定に
保たれるようにワイヤ４に対する被切断部材Ｗの押付装
置３による押付移動速度を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体材料や磁性
材料、或いはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイヤ
にて切断するワイヤ式切断加工方法及び装置に関する。
材料、或いはセラミックス等の高硬度脆性材料をワイヤ
にて切断するワイヤ式切断加工方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤ式切断加工装置として、従来、複
数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ走行装
置によって一方向に所定速度で走行させながら、被切断
部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付けるととも
に被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
て被切断部材を切断加工するもの、及びワイヤを交互に
逆方向に走行させて切断加工するものが知られている。
数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ走行装
置によって一方向に所定速度で走行させながら、被切断
部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付けるととも
に被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
て被切断部材を切断加工するもの、及びワイヤを交互に
逆方向に走行させて切断加工するものが知られている。
【０００３】上記前者の一方向切断方式は、被切断部材
に対するワイヤの切断開始端側（切断入口側）の切断幅
がワイヤ出口側の切断幅よりも広くなって切断製品の厚
さがワイヤ入口側と出口側で異なる現象が生じる。この
ため、切断製品を研摩する必要があるような場合、研摩
に時間がかかるという不満がある。この点、後者の両方
向切断方式においては、切断入口側と出口側が交互に変
わる関係上、上記のような不都合はない。
に対するワイヤの切断開始端側（切断入口側）の切断幅
がワイヤ出口側の切断幅よりも広くなって切断製品の厚
さがワイヤ入口側と出口側で異なる現象が生じる。この
ため、切断製品を研摩する必要があるような場合、研摩
に時間がかかるという不満がある。この点、後者の両方
向切断方式においては、切断入口側と出口側が交互に変
わる関係上、上記のような不都合はない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ワイヤの走
行方向を交互に変更する上記後者のワイヤ式切断加工装
置の場合は、図７（Ｉ）に示すように、変更作動の開始
点ａから徐々に走行速度を低下させ、方向変更点ｂで瞬
間的に停止した後、逆方向に徐々に速度を上げて走行
し、点ｃで所定の速度となって変更作動を終了する。
行方向を交互に変更する上記後者のワイヤ式切断加工装
置の場合は、図７（Ｉ）に示すように、変更作動の開始
点ａから徐々に走行速度を低下させ、方向変更点ｂで瞬
間的に停止した後、逆方向に徐々に速度を上げて走行
し、点ｃで所定の速度となって変更作動を終了する。
【０００５】従来においては、ワイヤ走行方向の変更作
動時におけるワイヤの上記のような速度変化を全く考慮
せずに、被切断部材を一定の押付移動速度でワイヤに絶
え間なく常時押し付けて切断加工している。ところが、
子細に検討してみると、方向変更作動時に必然的に生じ
るワイヤの速度変化によって、図７（II）のように被切
断部材にかかる反力が大きく変化し、速度低下にしたが
って反力が大きくなる。上記従来の切断加工方式では、
上記の反力上昇が切断精度を低下させ、またウェハ等の
切断製品にそりやうねり等の支障を生じさせる場合があ
ることが判明した。
動時におけるワイヤの上記のような速度変化を全く考慮
せずに、被切断部材を一定の押付移動速度でワイヤに絶
え間なく常時押し付けて切断加工している。ところが、
子細に検討してみると、方向変更作動時に必然的に生じ
るワイヤの速度変化によって、図７（II）のように被切
断部材にかかる反力が大きく変化し、速度低下にしたが
って反力が大きくなる。上記従来の切断加工方式では、
上記の反力上昇が切断精度を低下させ、またウェハ等の
切断製品にそりやうねり等の支障を生じさせる場合があ
ることが判明した。
【０００６】本発明は、上記の知見に基づいてなされた
ものであり、そりやうねり等を生じることなく精度よく
被切断部材を切断加工することができるワイヤ式切断加
工方法及び装置を提供することを目的とする。
ものであり、そりやうねり等を生じることなく精度よく
被切断部材を切断加工することができるワイヤ式切断加
工方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るワイヤ式切断加工方法は、複数の溝
ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ走行装置によ
って交互に逆方向に所定速度で走行させながら、被切断
部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付けるととも
に被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
て被切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工方法にお
いて、ワイヤ走行装置の走行方向変更作動時にワイヤに
対する被切断部材の押付装置による押付移動速度を上記
ワイヤの速度変化に比例的に対応して変化させる構成と
した。
めに、本発明に係るワイヤ式切断加工方法は、複数の溝
ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ走行装置によ
って交互に逆方向に所定速度で走行させながら、被切断
部材を押付装置によって上記ワイヤに押し付けるととも
に被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加工液を供給し
て被切断部材を切断加工するワイヤ式切断加工方法にお
いて、ワイヤ走行装置の走行方向変更作動時にワイヤに
対する被切断部材の押付装置による押付移動速度を上記
ワイヤの速度変化に比例的に対応して変化させる構成と
した。
【０００８】上記のワイヤ式切断加工方法において、ワ
イヤ走行方向の変更作動を検出手段によって検出し、該
検出手段の検出信号によりワイヤに対する被切断部材の
押付装置による押付移動速度を制御する構成とすること
ができる。また、ワイヤ走行装置に対する走行方向変更
指令信号によりワイヤに対する被切断部材の押付装置に
よる押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対
応して変化させる構成としてもよい。
イヤ走行方向の変更作動を検出手段によって検出し、該
検出手段の検出信号によりワイヤに対する被切断部材の
押付装置による押付移動速度を制御する構成とすること
ができる。また、ワイヤ走行装置に対する走行方向変更
指令信号によりワイヤに対する被切断部材の押付装置に
よる押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対
応して変化させる構成としてもよい。
【０００９】また、本発明に係るワイヤ式切断加工装置
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、上記押付装置に、ワイヤ走行方向の
変更作動を検出してワイヤに対する被切断部材の押付装
置による押付移動速度を制御する信号を出力する検出手
段を設けた構成とした。
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、上記押付装置に、ワイヤ走行方向の
変更作動を検出してワイヤに対する被切断部材の押付装
置による押付移動速度を制御する信号を出力する検出手
段を設けた構成とした。
【００１０】更に、本発明に係るワイヤ式切断加工装置
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、押付装置を、ワイヤ走行装置に対す
る走行方向変更指令信号でワイヤに対する被切断部材の
押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対応し
て変化させる構成とした。
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、押付装置を、ワイヤ走行装置に対す
る走行方向変更指令信号でワイヤに対する被切断部材の
押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対応し
て変化させる構成とした。
【００１１】ワイヤは、ワイヤ走行装置の走行方向変更
作動時に走行速度を必然的に低下させるので、ワイヤの
切断能力が低下する。押付装置は、ワイヤの切断能力の
低下に対応して、ワイヤに対する被切断部材の押付移動
速度を低くする。このため、ワイヤが方向を変更するに
際して、無理な外力が被切断部材とワイヤにかかること
がない。
作動時に走行速度を必然的に低下させるので、ワイヤの
切断能力が低下する。押付装置は、ワイヤの切断能力の
低下に対応して、ワイヤに対する被切断部材の押付移動
速度を低くする。このため、ワイヤが方向を変更するに
際して、無理な外力が被切断部材とワイヤにかかること
がない。
【００１２】ワイヤ走行装置の走行方向変更作動を検出
手段で検出する構成とした場合は、押付装置の押付移動
速度をワイヤの速度変化に対応して微調節することがで
きる。押付装置に検出手段を設けると、走行方向変更作
動をより的確に検出することができる。また、ワイヤ走
行装置に対する走行方向変更指令信号で押付装置の押付
移動速度を低下させる構成とした場合は、検出手段が不
要となる。
手段で検出する構成とした場合は、押付装置の押付移動
速度をワイヤの速度変化に対応して微調節することがで
きる。押付装置に検出手段を設けると、走行方向変更作
動をより的確に検出することができる。また、ワイヤ走
行装置に対する走行方向変更指令信号で押付装置の押付
移動速度を低下させる構成とした場合は、検出手段が不
要となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１ないし図６は本発明に係るワ
イヤ式切断加工装置の一実施形態を示す。図中符号１は
器枠である。器枠１にはワイヤ走行装置２と押付装置３
等が設けられている。ワイヤ走行装置２は、ＡＣサーボ
モータ等の駆動モータ６Ｌ，６Ｒによってそれぞれ個々
に回転させられるリール７Ｌ，７Ｒ、張力保持機構８
Ｌ，８Ｒ、張力検出機構１０Ｌ，１０Ｒ，１１、切断機
構１２、及び走行量検出機構１３を備え、ワイヤ４を、
リール７Ｌ、走行量検出機構１３、張力保持機構８Ｌ、
張力検出機構１０Ｌ、切断機構１２、張力検出機構１０
Ｒ、張力保持機構８Ｒ、張力検出機構１１、リール７Ｒ
の順と、その逆の順に、例えば一側に１７．５秒、他側
に１２．５秒、同速度でワイヤ４を送るというように、
ワイヤ４の走行方向と走行量を交互に変えて走行させる
ものである。
イヤ式切断加工装置の一実施形態を示す。図中符号１は
器枠である。器枠１にはワイヤ走行装置２と押付装置３
等が設けられている。ワイヤ走行装置２は、ＡＣサーボ
モータ等の駆動モータ６Ｌ，６Ｒによってそれぞれ個々
に回転させられるリール７Ｌ，７Ｒ、張力保持機構８
Ｌ，８Ｒ、張力検出機構１０Ｌ，１０Ｒ，１１、切断機
構１２、及び走行量検出機構１３を備え、ワイヤ４を、
リール７Ｌ、走行量検出機構１３、張力保持機構８Ｌ、
張力検出機構１０Ｌ、切断機構１２、張力検出機構１０
Ｒ、張力保持機構８Ｒ、張力検出機構１１、リール７Ｒ
の順と、その逆の順に、例えば一側に１７．５秒、他側
に１２．５秒、同速度でワイヤ４を送るというように、
ワイヤ４の走行方向と走行量を交互に変えて走行させる
ものである。
【００１４】なお、上記及び図において「Ｌ」は、ワイ
ヤ４の繰出側、或いは巻取側を示し、「Ｒ」は「Ｌ」が
繰出側である場合に巻取側を、また「Ｌ」が巻取側の場
合に繰出側を示す。「Ｌ」と「Ｒ」を省いた数字符号が
同一の部材は同一の機能を持つ。以下、説明が紛らわし
くならない限り「Ｌ」と「Ｒ」を省く。
ヤ４の繰出側、或いは巻取側を示し、「Ｒ」は「Ｌ」が
繰出側である場合に巻取側を、また「Ｌ」が巻取側の場
合に繰出側を示す。「Ｌ」と「Ｒ」を省いた数字符号が
同一の部材は同一の機能を持つ。以下、説明が紛らわし
くならない限り「Ｌ」と「Ｒ」を省く。
【００１５】張力保持機構８は、ダンサローラ８ａと、
このダンサローラ８ａを付勢する空圧シリンダ等の付勢
部材８ｂと、ダンサローラ８ａの移動位置を検出するポ
テンショメータ等の移動位置検出器８ｃを備え、該検出
器８ｃの検出信号によって、その張力保持機構８側の駆
動モータ６の回転速度を、リール７と張力保持機構８間
のワイヤ４の張力が所定の張力を保つように制御する構
成となっている。
このダンサローラ８ａを付勢する空圧シリンダ等の付勢
部材８ｂと、ダンサローラ８ａの移動位置を検出するポ
テンショメータ等の移動位置検出器８ｃを備え、該検出
器８ｃの検出信号によって、その張力保持機構８側の駆
動モータ６の回転速度を、リール７と張力保持機構８間
のワイヤ４の張力が所定の張力を保つように制御する構
成となっている。
【００１６】また、張力検出機構１０は、可動ローラ１
０ａと、該可動ローラ１０ａにかかるワイヤ４の張力を
検出するロードセル等の荷重検出器１０ｂを備える。他
の張力検出機構１１は、可動ローラ１１ａと、該可動ロ
ーラ１１ａにかかるワイヤ４の張力を検出するロードセ
ル等の荷重検出器１１ｂを備え、リール７Ｒと張力保持
機構８Ｒの間に設けられている。
０ａと、該可動ローラ１０ａにかかるワイヤ４の張力を
検出するロードセル等の荷重検出器１０ｂを備える。他
の張力検出機構１１は、可動ローラ１１ａと、該可動ロ
ーラ１１ａにかかるワイヤ４の張力を検出するロードセ
ル等の荷重検出器１１ｂを備え、リール７Ｒと張力保持
機構８Ｒの間に設けられている。
【００１７】切断機構１２は、互いに平行かつ水平に逆
三角形状に配設された３個の溝ローラ１２ａ，１２ｂ，
１２ｃと、下の溝ローラ１２ａを回転させる切断走行用
の駆動モータ１２ｄを備え、張力検出機構１０Ｌ，１０
Ｒの間において、ワイヤ４を、各溝ローラ１２ａ，１２
ｂ，１２ｃに所定の間隔で形成された複数の溝に互いに
平行に巻き付けてなる。上の２個の溝ローラ１２ｂ，１
２ｃ間のワイヤ４は水平である。
三角形状に配設された３個の溝ローラ１２ａ，１２ｂ，
１２ｃと、下の溝ローラ１２ａを回転させる切断走行用
の駆動モータ１２ｄを備え、張力検出機構１０Ｌ，１０
Ｒの間において、ワイヤ４を、各溝ローラ１２ａ，１２
ｂ，１２ｃに所定の間隔で形成された複数の溝に互いに
平行に巻き付けてなる。上の２個の溝ローラ１２ｂ，１
２ｃ間のワイヤ４は水平である。
【００１８】更に、走行量検出機構１３は、ワイヤ４の
走行によって回転させられる検出ローラ１３ａと、該ロ
ーラ１３ａによって回転させられる回転板１３ｂと、該
回転板１３ｂの回転を検出する近接スイッチ等の回転検
出器１３ｃとを備える。走行量検出機構１３は、回転板
１３ｂの回転数からワイヤ４の走行量を検出するもので
あり、リール７Ｌと張力保持機構８Ｌの間に設けられて
いる。
走行によって回転させられる検出ローラ１３ａと、該ロ
ーラ１３ａによって回転させられる回転板１３ｂと、該
回転板１３ｂの回転を検出する近接スイッチ等の回転検
出器１３ｃとを備える。走行量検出機構１３は、回転板
１３ｂの回転数からワイヤ４の走行量を検出するもので
あり、リール７Ｌと張力保持機構８Ｌの間に設けられて
いる。
【００１９】押付装置３は、被切断部材Ｗを支持する支
持機構２０と、該支持機構２０を上下させるボールねじ
等の移動機構２１と、該移動機構２１を作動させるＡＣ
サーボモータ等の移動用駆動モータ２２と、ワイヤ４に
対する被切断部材Ｗの押付力（反力）を検出するロード
セル等の押付力検出器（検出手段）２３、及び駆動モー
タ２２の回転数（角）から支持機構２０の移動量を検出
するロータリエンコーダ等の移動量検出器２４を備え
る。
持機構２０と、該支持機構２０を上下させるボールねじ
等の移動機構２１と、該移動機構２１を作動させるＡＣ
サーボモータ等の移動用駆動モータ２２と、ワイヤ４に
対する被切断部材Ｗの押付力（反力）を検出するロード
セル等の押付力検出器（検出手段）２３、及び駆動モー
タ２２の回転数（角）から支持機構２０の移動量を検出
するロータリエンコーダ等の移動量検出器２４を備え
る。
【００２０】押付装置３は、被切断部材Ｗを支持機構２
０で支持してこれを切断機構１２の溝ローラ１２ｂ，１
２ｃ間のワイヤ４に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器２３の検出信号によって、ワイヤ４に対する被
切断部材Ｗの単位長さ当たりの押付力が一定に保たれ、
また、ワイヤ４の走行速度が低下して反力が上がった場
合は、被切断部材Ｗの押付移動速度が遅くなり、ワイヤ
４の走行速度が上昇して反力が下がった時は、被切断部
材Ｗの押付移動速度が速くなるように移動用駆動モータ
２２による被切断部材Ｗの押付移動速度を、例えば図７
（III）のように制御する構成となっている。なお、押
付装置３による被切断部材Ｗの押付移動速度はワイヤ４
の走行速度に必ずしも正確に比例しなくてもよい。
０で支持してこれを切断機構１２の溝ローラ１２ｂ，１
２ｃ間のワイヤ４に垂直に押し付けるものであり、押付
力検出器２３の検出信号によって、ワイヤ４に対する被
切断部材Ｗの単位長さ当たりの押付力が一定に保たれ、
また、ワイヤ４の走行速度が低下して反力が上がった場
合は、被切断部材Ｗの押付移動速度が遅くなり、ワイヤ
４の走行速度が上昇して反力が下がった時は、被切断部
材Ｗの押付移動速度が速くなるように移動用駆動モータ
２２による被切断部材Ｗの押付移動速度を、例えば図７
（III）のように制御する構成となっている。なお、押
付装置３による被切断部材Ｗの押付移動速度はワイヤ４
の走行速度に必ずしも正確に比例しなくてもよい。
【００２１】ワイヤ４に対する被切断部材Ｗの押付総力
は、被切断部材Ｗの中心から切断位置までの距離によっ
て変わる被切断部材Ｗの切断長により変化するので、移
動量検出器２４の検出信号から切断長を知り、その切断
長に対応して被切断部材Ｗの押付移動速度を自動的に調
整する構成とされている。なお、前述のように、ワイヤ
走行方向の変更作動時には、ワイヤ４の速度低下につれ
て反力が高まるため、これを検出する押付力検出器２３
は、間接的にワイヤ走行装置２のワイヤ走行方向の変更
作動を検出することになる。
は、被切断部材Ｗの中心から切断位置までの距離によっ
て変わる被切断部材Ｗの切断長により変化するので、移
動量検出器２４の検出信号から切断長を知り、その切断
長に対応して被切断部材Ｗの押付移動速度を自動的に調
整する構成とされている。なお、前述のように、ワイヤ
走行方向の変更作動時には、ワイヤ４の速度低下につれ
て反力が高まるため、これを検出する押付力検出器２３
は、間接的にワイヤ走行装置２のワイヤ走行方向の変更
作動を検出することになる。
【００２２】支持機構２０は、移動ブロック２０ａと、
着脱ブロック２０ｂと、支持ブロック２０ｃを主体とす
る。移動ブロック２０ａは移動機構２１によって上下に
動かされるものであり、固定用シリンダ２０ｄを有す
る。着脱ブロック２０ｂの上面にはあり溝２０ｅが形成
されている。着脱ブロック２０ｂは、固定用シリンダ２
０ｄの固定駒２０ｆにあり溝２０ｅを嵌合させ、シリン
ダ２０ｄによる固定駒２０ｆの上方への締付けによって
移動ブロック２０ａに着脱自在に固定されるようになっ
ている。固定用シリンダ２０ｄと固定駒２０ｆは図４で
あり溝２０ｅの左側にも設けられているが、図示されて
いない。
着脱ブロック２０ｂと、支持ブロック２０ｃを主体とす
る。移動ブロック２０ａは移動機構２１によって上下に
動かされるものであり、固定用シリンダ２０ｄを有す
る。着脱ブロック２０ｂの上面にはあり溝２０ｅが形成
されている。着脱ブロック２０ｂは、固定用シリンダ２
０ｄの固定駒２０ｆにあり溝２０ｅを嵌合させ、シリン
ダ２０ｄによる固定駒２０ｆの上方への締付けによって
移動ブロック２０ａに着脱自在に固定されるようになっ
ている。固定用シリンダ２０ｄと固定駒２０ｆは図４で
あり溝２０ｅの左側にも設けられているが、図示されて
いない。
【００２３】支持ブロック２０ｃはウォーム歯車２０ｇ
を備え、着脱ブロック２０ｂの下面に水平に回転自在に
取り付けられている。ウォーム歯車２０ｇにはウォーム
２０ｈが噛み合わされており、回転操作軸２０ｉによる
ウォーム２０ｈの回転で支持ブロック２０ｃを自由に回
転させることができる。支持ブロック２０ｃの下面に
は、被切断部材Ｗが、例えば半導体電子材料のインゴッ
トであるような場合、通常、これを接着剤Ｓで水平に接
着して支持する。
を備え、着脱ブロック２０ｂの下面に水平に回転自在に
取り付けられている。ウォーム歯車２０ｇにはウォーム
２０ｈが噛み合わされており、回転操作軸２０ｉによる
ウォーム２０ｈの回転で支持ブロック２０ｃを自由に回
転させることができる。支持ブロック２０ｃの下面に
は、被切断部材Ｗが、例えば半導体電子材料のインゴッ
トであるような場合、通常、これを接着剤Ｓで水平に接
着して支持する。
【００２４】駆動モータ６，１２ｄ，２２等には制御装
置（図示せず）が接続されており、各駆動モータ６，１
２ｄは制御装置の走行方向変更指令で回転方向を変更す
る構成となっている。ワイヤ走行方向の変更間隔は、例
として、一側に１７．５秒、他側に１２．５秒と説明し
たが（この場合の図７（Ｉ）の（ａ−ｂ）と（ｂ−ｃ）
の時間はそれぞれ５秒程度である。）、これに限られる
ものではない。器枠１には、ワイヤ走行装置２等の作動
を見るための覗窓１ａ，１ｂ，１ｃと、制御盤１ｄ等が
設けられている。また溝ローラ１２ｂ，１２ｃの部分に
は、砥粒を含む加工液をワイヤ４に供給する加工液供給
装置２５，２５が設けられている。
置（図示せず）が接続されており、各駆動モータ６，１
２ｄは制御装置の走行方向変更指令で回転方向を変更す
る構成となっている。ワイヤ走行方向の変更間隔は、例
として、一側に１７．５秒、他側に１２．５秒と説明し
たが（この場合の図７（Ｉ）の（ａ−ｂ）と（ｂ−ｃ）
の時間はそれぞれ５秒程度である。）、これに限られる
ものではない。器枠１には、ワイヤ走行装置２等の作動
を見るための覗窓１ａ，１ｂ，１ｃと、制御盤１ｄ等が
設けられている。また溝ローラ１２ｂ，１２ｃの部分に
は、砥粒を含む加工液をワイヤ４に供給する加工液供給
装置２５，２５が設けられている。
【００２５】次に上記の構成とされたワイヤ式切断加工
装置による切断加工方法を説明する。ワイヤ走行装置２
は、制御装置の指令に基づいてワイヤ４の走行方向を変
更させる。ワイヤ４は、前述のように、ワイヤ走行装置
２の走行方向変更作動の開始点ａ（図７）から徐々に走
行速度を低下させ、方向変更点ｂで一瞬停止した後、そ
れまでとは逆の方向に徐々に速度を上げて走行し、点ｃ
で所定の速度となる。
装置による切断加工方法を説明する。ワイヤ走行装置２
は、制御装置の指令に基づいてワイヤ４の走行方向を変
更させる。ワイヤ４は、前述のように、ワイヤ走行装置
２の走行方向変更作動の開始点ａ（図７）から徐々に走
行速度を低下させ、方向変更点ｂで一瞬停止した後、そ
れまでとは逆の方向に徐々に速度を上げて走行し、点ｃ
で所定の速度となる。
【００２６】上記において、ワイヤ４の走行速度が低下
すると、ワイヤ４の切断能力が下がるので、一定の速度
で被切断部材Ｗを押付移動させた場合、ワイヤ４に押し
付けられている被切断部材Ｗによって溝ローラ１２ｂ，
１２ｃ間のワイヤ４の反力が大きくなり、逆に、ワイヤ
４の速度が上昇すると、ワイヤ４の切断能力が上がるた
め、ワイヤ４の反力が小さくなる。
すると、ワイヤ４の切断能力が下がるので、一定の速度
で被切断部材Ｗを押付移動させた場合、ワイヤ４に押し
付けられている被切断部材Ｗによって溝ローラ１２ｂ，
１２ｃ間のワイヤ４の反力が大きくなり、逆に、ワイヤ
４の速度が上昇すると、ワイヤ４の切断能力が上がるた
め、ワイヤ４の反力が小さくなる。
【００２７】押付力検出器２３は、溝ローラ１２ｂ，１
２ｃ間のワイヤ４の反力を検出してその検出信号を制御
装置に出力する。押付装置３の移動用駆動モータ２２
は、上記押付力検出器２３の検出信号によって、図７
（III）のように、ワイヤ４の走行速度が低下して反力
が上がった場合は、被切断部材Ｗの押付移動速度が遅く
なるように、またワイヤ４の走行速度が上昇して反力が
下がった時は、被切断部材Ｗの押付移動速度が速くなる
ように制御装置で制御される。このため、ワイヤ４の走
行方向変更時、或いは何らかの事情でワイヤ４の走行速
度が変化したような場合でも過大な力が被切断部材Ｗと
ワイヤ４に掛かることがなく、そりやうねり等の支障や
ワイヤ４の不測の断線等が防止される。
２ｃ間のワイヤ４の反力を検出してその検出信号を制御
装置に出力する。押付装置３の移動用駆動モータ２２
は、上記押付力検出器２３の検出信号によって、図７
（III）のように、ワイヤ４の走行速度が低下して反力
が上がった場合は、被切断部材Ｗの押付移動速度が遅く
なるように、またワイヤ４の走行速度が上昇して反力が
下がった時は、被切断部材Ｗの押付移動速度が速くなる
ように制御装置で制御される。このため、ワイヤ４の走
行方向変更時、或いは何らかの事情でワイヤ４の走行速
度が変化したような場合でも過大な力が被切断部材Ｗと
ワイヤ４に掛かることがなく、そりやうねり等の支障や
ワイヤ４の不測の断線等が防止される。
【００２８】押付装置３は、被切断部材Ｗを下から上に
動かすものであってもよい。この場合の溝ローラ１２
ａ，１２ｂ，１２ｃの配置は上下逆となる。また、図の
ものは、押付力検出器２３がワイヤ走行方向の変更を間
接的に検出しているが、制御装置からワイヤ走行装置２
に出力される走行方向の変更指令信号（その変更指令に
関連してその前若しくは後に出される信号も含む。）を
利用し、押付装置３による被切断部材Ｗの押付移動速度
が、例えばゼロとなるように押付装置３の移動用駆動モ
ータ２２を制御してもよい。押付力検出器２３の信号と
制御装置からの走行方向変更指令信号との二つの信号を
利用することができ、そのようにした場合は、より確実
な制御が可能となり誤動作を防止することができる。
動かすものであってもよい。この場合の溝ローラ１２
ａ，１２ｂ，１２ｃの配置は上下逆となる。また、図の
ものは、押付力検出器２３がワイヤ走行方向の変更を間
接的に検出しているが、制御装置からワイヤ走行装置２
に出力される走行方向の変更指令信号（その変更指令に
関連してその前若しくは後に出される信号も含む。）を
利用し、押付装置３による被切断部材Ｗの押付移動速度
が、例えばゼロとなるように押付装置３の移動用駆動モ
ータ２２を制御してもよい。押付力検出器２３の信号と
制御装置からの走行方向変更指令信号との二つの信号を
利用することができ、そのようにした場合は、より確実
な制御が可能となり誤動作を防止することができる。
【００２９】更にまた、走行量検出機構１３によってワ
イヤ走行量を単位時間ごとに測定して走行速度の変化を
検出することにより、ワイヤ走行装置２の方向変更作動
を検出し、移動用駆動モータ２２を制御することもでき
る。このような構成とした場合、走行量検出機構（走行
速度検出機構）１３は検出手段として働くことになる。
押付力検出器２３と走行速度検出機構１３の検出信号、
及び制御装置の走行方向変更指令信号のうちの２以上の
信号で押付装置３を制御することもできる。図のワイヤ
式切断加工装置においては、使用ワイヤ４の直径は、
０．１６〜０．１８ｍｍ、ワイヤ４の走行速度は、最大
８００ｍ／分、被切断部材Ｗの下降速度（押付移動速
度）は、０．１〜０．３６ｍｍ／分となっているが、こ
れに限らないことは言うまでもない。
イヤ走行量を単位時間ごとに測定して走行速度の変化を
検出することにより、ワイヤ走行装置２の方向変更作動
を検出し、移動用駆動モータ２２を制御することもでき
る。このような構成とした場合、走行量検出機構（走行
速度検出機構）１３は検出手段として働くことになる。
押付力検出器２３と走行速度検出機構１３の検出信号、
及び制御装置の走行方向変更指令信号のうちの２以上の
信号で押付装置３を制御することもできる。図のワイヤ
式切断加工装置においては、使用ワイヤ４の直径は、
０．１６〜０．１８ｍｍ、ワイヤ４の走行速度は、最大
８００ｍ／分、被切断部材Ｗの下降速度（押付移動速
度）は、０．１〜０．３６ｍｍ／分となっているが、こ
れに限らないことは言うまでもない。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤ式切断加工方法は、複数の溝ローラの間に張設された
ワイヤを、ワイヤ走行装置によって交互に逆方向に所定
速度で走行させながら、被切断部材を押付装置によって
上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部材の切断加工
部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部材を切断加工
するワイヤ式切断加工方法において、ワイヤ走行装置の
走行方向変更作動時にワイヤに対する被切断部材の押付
装置による押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例
的に対応して変化させる構成とされているので、そりや
うねり等の支障を防止して被切断部材を精度よく切断加
工することができる。
ヤ式切断加工方法は、複数の溝ローラの間に張設された
ワイヤを、ワイヤ走行装置によって交互に逆方向に所定
速度で走行させながら、被切断部材を押付装置によって
上記ワイヤに押し付けるとともに被切断部材の切断加工
部に砥粒を含む加工液を供給して被切断部材を切断加工
するワイヤ式切断加工方法において、ワイヤ走行装置の
走行方向変更作動時にワイヤに対する被切断部材の押付
装置による押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例
的に対応して変化させる構成とされているので、そりや
うねり等の支障を防止して被切断部材を精度よく切断加
工することができる。
【００３１】また、本発明に係るワイヤ式切断加工装置
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、上記押付装置に、ワイヤ走行方向の
変更作動を検出してワイヤに対する被切断部材の押付装
置による押付移動速度を制御する信号を出力する検出手
段が設けられた構成とされているので、ワイヤ走行装置
の走行方向変更作動をより的確に検出することができ、
また、押付装置による被切断部材の押付移動速度をワイ
ヤの速度変化に対応して正確に微調節することができ
る。
は、複数の溝ローラの間に張設されたワイヤを、ワイヤ
走行装置によって交互に逆方向に所定速度で走行させな
がら、被切断部材を押付装置によって上記ワイヤに押し
付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥粒を含む加
工液を供給して被切断部材を切断加工するワイヤ式切断
加工装置において、上記押付装置に、ワイヤ走行方向の
変更作動を検出してワイヤに対する被切断部材の押付装
置による押付移動速度を制御する信号を出力する検出手
段が設けられた構成とされているので、ワイヤ走行装置
の走行方向変更作動をより的確に検出することができ、
また、押付装置による被切断部材の押付移動速度をワイ
ヤの速度変化に対応して正確に微調節することができ
る。
【００３２】更にまた、ワイヤ走行装置に対する走行方
向変更指令信号によりワイヤに対する被切断部材の押付
装置による押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例
的に対応して変化させる構成とした場合は、検出手段を
設ける必要がなく、構造及び制御が簡単になる。
向変更指令信号によりワイヤに対する被切断部材の押付
装置による押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例
的に対応して変化させる構成とした場合は、検出手段を
設ける必要がなく、構造及び制御が簡単になる。
【図１】 本発明に係るワイヤ式切断加工装置の一実施
形態を示す正面図である。
形態を示す正面図である。
【図２】 切断機構と押付装置の正面図である。
【図３】 切断機構を除いたワイヤ走行装置の正面図で
ある。
ある。
【図４】 押付装置の支持機構の断面図である。
【図５】 図４の（Ｖ−Ｖ）部分の断面図である。
【図６】 図４の（VI−VI）部分の断面図である。
【図７】 ワイヤの走行速度と被切断部材にかかる反力
及び被切断部材の押付移動速度の関係を示す図である。
及び被切断部材の押付移動速度の関係を示す図である。
２ ワイヤ走行装置 ３ 押付装置 ４ ワイヤ １２ 切断機構 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ 溝ローラ １２ｄ 駆動モータ １３ 走行量検出機構（検出手段） ２３ 押付力検出器（検出手段） Ｗ 被切断部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 高広 埼玉県大宮市桜木町１丁目７番５号 ソニ ックシテイビル21階 三菱マテリアル株式 会社生野製作所大宮事務所内
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
を、ワイヤ走行装置によって交互に逆方向に所定速度で
走行させながら、被切断部材を押付装置によって上記ワ
イヤに押し付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥
粒を含む加工液を供給して被切断部材を切断加工するワ
イヤ式切断加工方法において、ワイヤ走行装置の走行方
向変更作動時にワイヤに対する被切断部材の押付装置に
よる押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対
応して変化させることを特徴とするワイヤ式切断加工方
法。 - 【請求項２】 ワイヤ走行方向の変更作動を検出手段に
よって検出し、該検出手段の検出信号によりワイヤに対
する被切断部材の押付装置による押付移動速度を制御す
ることを特徴とする請求項１記載のワイヤ式切断加工方
法。 - 【請求項３】 ワイヤ走行装置に対する走行方向変更指
令信号によりワイヤに対する被切断部材の押付装置によ
る押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例的に対応
して変化させることを特徴とする請求項１記載のワイヤ
式切断加工方法。 - 【請求項４】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
を、ワイヤ走行装置によって交互に逆方向に所定速度で
走行させながら、被切断部材を押付装置によって上記ワ
イヤに押し付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥
粒を含む加工液を供給して被切断部材を切断加工するワ
イヤ式切断加工装置において、上記押付装置に、ワイヤ
走行方向の変更作動を検出してワイヤに対する被切断部
材の押付装置による押付移動速度を制御する信号を出力
する検出手段が設けられたことを特徴とするワイヤ式切
断加工装置。 - 【請求項５】 複数の溝ローラの間に張設されたワイヤ
を、ワイヤ走行装置によって交互に逆方向に所定速度で
走行させながら、被切断部材を押付装置によって上記ワ
イヤに押し付けるとともに被切断部材の切断加工部に砥
粒を含む加工液を供給して被切断部材を切断加工するワ
イヤ式切断加工装置において、押付装置は、ワイヤ走行
装置に対する走行方向変更指令信号でワイヤに対する被
切断部材の押付移動速度を上記ワイヤの速度変化に比例
的に対応して変化させる構成とされたことを特徴とする
ワイヤ式切断加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33920095A JPH09174543A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ワイヤ式切断加工方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33920095A JPH09174543A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ワイヤ式切断加工方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174543A true JPH09174543A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18325195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33920095A Withdrawn JPH09174543A (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | ワイヤ式切断加工方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09174543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109624112A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-16 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线切割方法 |
-
1995
- 1995-12-26 JP JP33920095A patent/JPH09174543A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109624112A (zh) * | 2018-11-21 | 2019-04-16 | 苏州协鑫光伏科技有限公司 | 金刚线切割方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030304 |