JPH0994755A - ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 - Google Patents
ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置Info
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- JPH0994755A JPH0994755A JP25531195A JP25531195A JPH0994755A JP H0994755 A JPH0994755 A JP H0994755A JP 25531195 A JP25531195 A JP 25531195A JP 25531195 A JP25531195 A JP 25531195A JP H0994755 A JPH0994755 A JP H0994755A
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- Japan
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- wire
- tension
- movable pulley
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- bobbin
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0069—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for tensioning saw wires
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤソーにおいて張設される切断用ワイヤ
の急激な張力変化に迅速に対応してこの張力を安定化さ
せる。 【解決手段】 ワイヤ繰出し部材からガイドローラに至
るまでの領域に固定プーリ１６Ａ，２２Ａ及び可動プー
リ２０Ａを設け、可動プーリ２０Ａの移動によってワイ
ヤ張力が変わるようにする。張力検出器４０によって実
際のワイヤ張力を検出し、このワイヤ張力を予め設定さ
れた値に近づけるように上記可動プーリ２０Ａを動か
す。ガイドローラからワイヤ巻取り部材に至る領域でも
同様の制御を行う。
の急激な張力変化に迅速に対応してこの張力を安定化さ
せる。 【解決手段】 ワイヤ繰出し部材からガイドローラに至
るまでの領域に固定プーリ１６Ａ，２２Ａ及び可動プー
リ２０Ａを設け、可動プーリ２０Ａの移動によってワイ
ヤ張力が変わるようにする。張力検出器４０によって実
際のワイヤ張力を検出し、このワイヤ張力を予め設定さ
れた値に近づけるように上記可動プーリ２０Ａを動か
す。ガイドローラからワイヤ巻取り部材に至る領域でも
同様の制御を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤソーにおけ
る切断用ワイヤの張力を制御して加工精度の向上やワイ
ヤ断線防止等を図るためのワイヤ張力制御装置に関する
ものである。
る切断用ワイヤの張力を制御して加工精度の向上やワイ
ヤ断線防止等を図るためのワイヤ張力制御装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴットからウェハを切り出す
手段等として、ワイヤソーが知られている。このワイヤ
ソーでは、ワイヤ繰出し部材から引き出された切断用の
ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてからワ
イヤ巻取り部材に回収され、両ボビン及びガイドローラ
の回転によって切断用ワイヤがその長手方向に高速駆動
された状態で、上記ガイドローラ間に複数本並んだワイ
ヤに対してこれと略直交する方向に上記半導体インゴッ
ト等からなるワークを切断送りすることにより、このワ
ークから多数枚の薄片が同時に切り出される。
手段等として、ワイヤソーが知られている。このワイヤ
ソーでは、ワイヤ繰出し部材から引き出された切断用の
ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてからワ
イヤ巻取り部材に回収され、両ボビン及びガイドローラ
の回転によって切断用ワイヤがその長手方向に高速駆動
された状態で、上記ガイドローラ間に複数本並んだワイ
ヤに対してこれと略直交する方向に上記半導体インゴッ
ト等からなるワークを切断送りすることにより、このワ
ークから多数枚の薄片が同時に切り出される。
【０００３】このようなワイヤソーにおいて、良好な切
断加工を行い、かつ切断用ワイヤの断線を未然に防ぐた
めには、ワイヤ張力を適当な値に調節する必要がある。
そのための手段として、従来は、次のようなものが知ら
れている。
断加工を行い、かつ切断用ワイヤの断線を未然に防ぐた
めには、ワイヤ張力を適当な値に調節する必要がある。
そのための手段として、従来は、次のようなものが知ら
れている。
【０００４】Ａ）ワイヤ繰出し部材からガイドローラに
至るまでのワイヤ部分、及びガイドローラからワイヤ巻
取り部材に至るまでのワイヤ部分にそれぞれダンサロー
ラを当て、かつこのダンサローラをばね等で付勢してワ
イヤに張力を与える。さらに、上記ダンサローラの位置
を検出し、この位置を予め設定された基準位置に保つよ
うにボビンの回転速度を調節する（例えば特開平１−１
７７９５８号公報参照）。
至るまでのワイヤ部分、及びガイドローラからワイヤ巻
取り部材に至るまでのワイヤ部分にそれぞれダンサロー
ラを当て、かつこのダンサローラをばね等で付勢してワ
イヤに張力を与える。さらに、上記ダンサローラの位置
を検出し、この位置を予め設定された基準位置に保つよ
うにボビンの回転速度を調節する（例えば特開平１−１
７７９５８号公報参照）。
【０００５】Ｂ）ワイヤ繰出し部材からガイドローラに
至るまでの領域、及びガイドローラからワイヤ巻取り部
材に至るまでの領域に、各領域におけるワイヤの張力を
検出する張力検出手段を設け、この張力検出手段により
検出される張力を適当な張力に保つようにボビンの回転
速度を調節する（例えば特開平４−１５２０６１号公報
参照）。
至るまでの領域、及びガイドローラからワイヤ巻取り部
材に至るまでの領域に、各領域におけるワイヤの張力を
検出する張力検出手段を設け、この張力検出手段により
検出される張力を適当な張力に保つようにボビンの回転
速度を調節する（例えば特開平４−１５２０６１号公報
参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記Ａ）の手段は、ダ
ンサローラがワイヤの張力に応じて上下動するが、特に
ワイヤ張力が急変した場合には、ダンサローラ自体のも
つ慣性力によりダンサローラの動きがワイヤ張力に迅速
に追従できず、ワイヤ張力を正確に制御できない不都合
がある。
ンサローラがワイヤの張力に応じて上下動するが、特に
ワイヤ張力が急変した場合には、ダンサローラ自体のも
つ慣性力によりダンサローラの動きがワイヤ張力に迅速
に追従できず、ワイヤ張力を正確に制御できない不都合
がある。
【０００７】Ｂ）の手段は、ボビンの回転速度の調節に
よって張力を制御しているが、上記ボビンの慣性モーメ
ントはかなり大きく、その回転速度を瞬時に変化させる
ことはできないため、張力の変化に迅速に追従しきれな
い。
よって張力を制御しているが、上記ボビンの慣性モーメ
ントはかなり大きく、その回転速度を瞬時に変化させる
ことはできないため、張力の変化に迅速に追従しきれな
い。
【０００８】従って、Ａ）Ｂ）ともに高い応答性でワイ
ヤ張力を制御することは困難であり、特に、切断抵抗に
起因してワイヤ張力が突発的に変動する場合には、これ
に対応できずにワイヤ張力が不安定になり、加工精度が
悪化し、さらにはワイヤを断線させてしまうおそれもあ
る。
ヤ張力を制御することは困難であり、特に、切断抵抗に
起因してワイヤ張力が突発的に変動する場合には、これ
に対応できずにワイヤ張力が不安定になり、加工精度が
悪化し、さらにはワイヤを断線させてしまうおそれもあ
る。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑み、実際の
ワイヤ張力の変化に迅速に追従して良好な制御ができる
装置を提供することを目的とする。
ワイヤ張力の変化に迅速に追従して良好な制御ができる
装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、ワイヤ繰出し部材から繰り出
された切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回
されてワイヤ巻取り部材に巻き取られ、かつこのワイヤ
が軸方向に駆動された状態で、ガイドローラ間に複数本
並んだワイヤに対してワークが切断送りされることによ
りこのワークが切断されるワイヤソーにおいて、上記ワ
イヤ繰出し部材からガイドローラに至る領域及びガイド
ローラから上記ワイヤ巻取り部材に至る領域でのワイヤ
長をそれぞれ変化させる（すなわちワイヤ伸び量を変化
させてその張力を変化させる）ワイヤ長操作手段と、上
記各領域でのワイヤの張力を検出する張力検出手段と、
この張力検出手段により検出された張力を予め設定され
た基準張力に近づけるように上記ワイヤ長操作手段を作
動させるワイヤ長調節手段とを備えたものである。
の手段として、本発明は、ワイヤ繰出し部材から繰り出
された切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回
されてワイヤ巻取り部材に巻き取られ、かつこのワイヤ
が軸方向に駆動された状態で、ガイドローラ間に複数本
並んだワイヤに対してワークが切断送りされることによ
りこのワークが切断されるワイヤソーにおいて、上記ワ
イヤ繰出し部材からガイドローラに至る領域及びガイド
ローラから上記ワイヤ巻取り部材に至る領域でのワイヤ
長をそれぞれ変化させる（すなわちワイヤ伸び量を変化
させてその張力を変化させる）ワイヤ長操作手段と、上
記各領域でのワイヤの張力を検出する張力検出手段と、
この張力検出手段により検出された張力を予め設定され
た基準張力に近づけるように上記ワイヤ長操作手段を作
動させるワイヤ長調節手段とを備えたものである。
【００１１】この構成によれば、ワークの切断抵抗等に
起因してワイヤ張力が急激に上昇（もしくは下降）して
も、これを張力検出手段が検出し、その検出信号を受け
てワイヤ長調節手段がワイヤ長操作手段を作動させてワ
イヤ長を短くする（張力下降の場合は長くする）ことに
より、ワイヤ張力が迅速に調節され、所定の許容範囲内
に保たれる。
起因してワイヤ張力が急激に上昇（もしくは下降）して
も、これを張力検出手段が検出し、その検出信号を受け
てワイヤ長調節手段がワイヤ長操作手段を作動させてワ
イヤ長を短くする（張力下降の場合は長くする）ことに
より、ワイヤ張力が迅速に調節され、所定の許容範囲内
に保たれる。
【００１２】より具体的に、上記ワイヤ長操作手段とし
て、上記ワイヤが掛けられる一対の固定プーリと、これ
ら固定プーリの間に配された可動プーリと、この可動プ
ーリの位置を変化させるプーリ位置操作手段とを備えた
ものでは、上記可動プーリを両固定プーリから遠ざける
ことにより、ワイヤ長が増加され、逆に可動プーリを両
固定プーリに近づけることにより、ワイヤ長が削減され
る。
て、上記ワイヤが掛けられる一対の固定プーリと、これ
ら固定プーリの間に配された可動プーリと、この可動プ
ーリの位置を変化させるプーリ位置操作手段とを備えた
ものでは、上記可動プーリを両固定プーリから遠ざける
ことにより、ワイヤ長が増加され、逆に可動プーリを両
固定プーリに近づけることにより、ワイヤ長が削減され
る。
【００１３】この装置では、上記ワイヤ張力の制御のた
めに可動プーリが予め設定された基準位置から大きく離
れると、この可動プーリの移動代がなくなり、この状態
からさらにワイヤ張力に大きな変動があった場合に対処
できなくなるおそれがあるが、ワイヤ繰出し側の可動プ
ーリ及びワイヤ巻取り側の可動プーリの位置をそれぞれ
検出するプーリ位置検出手段と、検出される各可動プー
リの位置をそれぞれ予め設定された位置に近づけるよう
に上記ワイヤ繰出し部材からのワイヤ繰出し速度とワイ
ヤ巻取り部材によるワイヤ巻取り速度とをそれぞれ調節
する速度調節手段とを備えることにより、定常状態で可
動プーリの位置をほぼ基準位置に保つことができ、可動
プーリの移動による張力調節を常に良好に行うことが可
能になる。
めに可動プーリが予め設定された基準位置から大きく離
れると、この可動プーリの移動代がなくなり、この状態
からさらにワイヤ張力に大きな変動があった場合に対処
できなくなるおそれがあるが、ワイヤ繰出し側の可動プ
ーリ及びワイヤ巻取り側の可動プーリの位置をそれぞれ
検出するプーリ位置検出手段と、検出される各可動プー
リの位置をそれぞれ予め設定された位置に近づけるよう
に上記ワイヤ繰出し部材からのワイヤ繰出し速度とワイ
ヤ巻取り部材によるワイヤ巻取り速度とをそれぞれ調節
する速度調節手段とを備えることにより、定常状態で可
動プーリの位置をほぼ基準位置に保つことができ、可動
プーリの移動による張力調節を常に良好に行うことが可
能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１５】図３に示すワイヤソーは、一対のワイヤ繰
出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、固定プーリ１２Ａ，
１２Ｂ、固定プーリ１４Ａ，１４Ｂ、固定プーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ長操作装置１８Ａ，１８Ｂ、固定プ
ーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，
２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドローラ２
４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドロ
ーラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２
４Ｂの下方の位置に配されている。
出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、固定プーリ１２Ａ，
１２Ｂ、固定プーリ１４Ａ，１４Ｂ、固定プーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ長操作装置１８Ａ，１８Ｂ、固定プ
ーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，
２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドローラ２
４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドロ
ーラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２
４Ｂの下方の位置に配されている。
【００１６】各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１
０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、固定プ
ーリ１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ長操作装置１８Ａ
の可動プーリ２０Ａ、及び固定プーリ２２Ａの順に掛け
られ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２
６Ａの外側に多数回巻回された後、固定プーリ２２Ｂ、
ワイヤ長操作装置１８Ｂの可動プーリ２０Ｂ、固定プー
リ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイ
ヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られ
ており、両ワイヤ長操作装置１８Ａ，１８Ｂによってワ
イヤＷに適当な張力が与えられている。また、ガイドロ
ーラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６Ａのうちの特定のガ
イドローラ（図例ではガイドローラ２６Ａ）の回転軸
に、この回転軸を回転駆動するためのローラ駆動モータ
２５が連結されている。
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１
０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、固定プ
ーリ１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ長操作装置１８Ａ
の可動プーリ２０Ａ、及び固定プーリ２２Ａの順に掛け
られ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２
６Ａの外側に多数回巻回された後、固定プーリ２２Ｂ、
ワイヤ長操作装置１８Ｂの可動プーリ２０Ｂ、固定プー
リ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイ
ヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られ
ており、両ワイヤ長操作装置１８Ａ，１８Ｂによってワ
イヤＷに適当な張力が与えられている。また、ガイドロ
ーラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６Ａのうちの特定のガ
イドローラ（図例ではガイドローラ２６Ａ）の回転軸
に、この回転軸を回転駆動するためのローラ駆動モータ
２５が連結されている。
【００１７】そして、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動方向及びローラ駆
動モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向
が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビン９
Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態と、
ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻
き取られる状態とに切換えられるようになっている。
Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動方向及びローラ駆
動モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向
が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビン９
Ａから繰り出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態と、
ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り出されてボビン９Ａに巻
き取られる状態とに切換えられるようになっている。
【００１８】すなわち、このワイヤソーにおいては、ガ
イドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互
いに平行な状態で張られながらその長手方向に往復駆動
されるようになっている。
イドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互
いに平行な状態で張られながらその長手方向に往復駆動
されるようになっている。
【００１９】このガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張ら
れたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（例えば半導
体インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０が
設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保
持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。ワ
ーク保持部３２は、上記ワーク２８をその結晶軸に基づ
いて目的の結晶方位が得られる向きに保持するものであ
り、ワーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組
み合わせにより、上記ワーク保持部３２とワーク２８と
を一体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものであ
る。
れたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（例えば半導
体インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０が
設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保
持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。ワ
ーク保持部３２は、上記ワーク２８をその結晶軸に基づ
いて目的の結晶方位が得られる向きに保持するものであ
り、ワーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組
み合わせにより、上記ワーク保持部３２とワーク２８と
を一体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものであ
る。
【００２０】ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた
ワイヤＷの上方において、ワーク２８の左右両側の位置
には、スラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられてい
る。これらのスラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速
駆動される各ワイヤＷに対し、砥粒が混合された加工液
（スラリー）を同時供給し、これをワイヤＷ表面に付着
させるものである。
ワイヤＷの上方において、ワーク２８の左右両側の位置
には、スラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられてい
る。これらのスラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速
駆動される各ワイヤＷに対し、砥粒が混合された加工液
（スラリー）を同時供給し、これをワイヤＷ表面に付着
させるものである。
【００２１】従って、このワイヤソーでは、ガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその
長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷに
スラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂから加工液が供給され
ながら、これらのワイヤＷに対してワークＷが下方に切
断送りされることにより、このワークＷから一度に多数
枚のウェハが同時に切り出される。
ラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその
長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷに
スラリー供給装置３６Ａ，３６Ｂから加工液が供給され
ながら、これらのワイヤＷに対してワークＷが下方に切
断送りされることにより、このワークＷから一度に多数
枚のウェハが同時に切り出される。
【００２２】次に、上記ワイヤ長操作装置１８Ａの構造
を図１及び図２に基づいて説明する。なお、ワイヤ長操
作装置１８Ｂの構成はワイヤ長操作装置１８Ａの構造と
全く同等であるので、その説明を省略する。
を図１及び図２に基づいて説明する。なお、ワイヤ長操
作装置１８Ｂの構成はワイヤ長操作装置１８Ａの構造と
全く同等であるので、その説明を省略する。
【００２３】前記可動プーリ２０Ａは、固定プーリ１６
Ａ，２２Ａの間に配され、この可動プーリ２０Ａの上下
移動によってワイヤ長が変化する（具体的には、可動プ
ーリ２０Ａが下降するとワイヤ長が増え、可動プーリ２
０Ａが上昇するとワイヤ長が減る）ように各プーリ１６
Ａ，２０Ａ，２２Ａが配されている。
Ａ，２２Ａの間に配され、この可動プーリ２０Ａの上下
移動によってワイヤ長が変化する（具体的には、可動プ
ーリ２０Ａが下降するとワイヤ長が増え、可動プーリ２
０Ａが上昇するとワイヤ長が減る）ように各プーリ１６
Ａ，２０Ａ，２２Ａが配されている。
【００２４】なお、固定プーリ２２Ａの支持部材３８に
は、ロードセル等からなる張力検出器４０が取付けら
れ、この張力検出器４０により上記支持部材３８に加え
られる荷重が検出され、ひいてはワイヤＷの張力が検出
されるようになっている。
は、ロードセル等からなる張力検出器４０が取付けら
れ、この張力検出器４０により上記支持部材３８に加え
られる荷重が検出され、ひいてはワイヤＷの張力が検出
されるようになっている。
【００２５】上記可動プーリ２０Ａは、回転軸４２を中
心として回転可能にレバー４４の先端に取付けられてい
る。このレバー４４の基端には回動中心軸４６が固定さ
れ、この回動中心軸４６は、固定側板４８に固定された
揺動シリンダ（プーリ位置操作手段）５０に連結されて
おり、この揺動シリンダ５０の作動によって上記回動中
心軸４６回りにレバー４４及び可動プーリ２０Ａが回動
駆動されるようになっている。さらに、上記回動中心軸
４６にはエンコーダ（プーリ位置検出手段）５２が連結
され、このエンコーダ５２によって回動中心軸４６の回
動角度位置、換言すれば可動プーリ２０Ａの位置が検出
可能となっている。
心として回転可能にレバー４４の先端に取付けられてい
る。このレバー４４の基端には回動中心軸４６が固定さ
れ、この回動中心軸４６は、固定側板４８に固定された
揺動シリンダ（プーリ位置操作手段）５０に連結されて
おり、この揺動シリンダ５０の作動によって上記回動中
心軸４６回りにレバー４４及び可動プーリ２０Ａが回動
駆動されるようになっている。さらに、上記回動中心軸
４６にはエンコーダ（プーリ位置検出手段）５２が連結
され、このエンコーダ５２によって回動中心軸４６の回
動角度位置、換言すれば可動プーリ２０Ａの位置が検出
可能となっている。
【００２６】このワイヤソーには、図４に示すようなコ
ントローラ６０が備えられている。このコントローラ６
０は、ワイヤ長調節手段６２及び速度調節手段６４を備
えている。
ントローラ６０が備えられている。このコントローラ６
０は、ワイヤ長調節手段６２及び速度調節手段６４を備
えている。
【００２７】ワイヤ長調節手段６２は、ワイヤ繰出し側
及びワイヤ巻取り側のそれぞれにおける張力検出器４０
で検出されたワイヤ張力を予め設定された基準張力に保
つように、揺動シリンダ５０を駆動する空気圧サーボ回
路５４に電気信号を出力して各可動プーリ２０Ａ，２０
Ｂの位置をそれぞれ調節するものである。具体的に、例
えばワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ側の検出張力が上
記基準張力よりも高い場合には、揺動シリンダ５０に連
結されたレバー４４を図１の時計回り方向に回動させて
可動プーリ２０Ａを固定プーリ１６Ａ，２２Ａに近づけ
ることによりワイヤ長を減らし、逆に検出張力が上記基
準張力よりも低い場合には、揺動シリンダ５０に連結さ
れたレバー４４を図１の反時計回り方向に回動させて可
動プーリ２０Ａを固定プーリ１６Ａ，２２Ａから遠ざけ
ることによりワイヤ長を増やすといった制御を行う。
及びワイヤ巻取り側のそれぞれにおける張力検出器４０
で検出されたワイヤ張力を予め設定された基準張力に保
つように、揺動シリンダ５０を駆動する空気圧サーボ回
路５４に電気信号を出力して各可動プーリ２０Ａ，２０
Ｂの位置をそれぞれ調節するものである。具体的に、例
えばワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ側の検出張力が上
記基準張力よりも高い場合には、揺動シリンダ５０に連
結されたレバー４４を図１の時計回り方向に回動させて
可動プーリ２０Ａを固定プーリ１６Ａ，２２Ａに近づけ
ることによりワイヤ長を減らし、逆に検出張力が上記基
準張力よりも低い場合には、揺動シリンダ５０に連結さ
れたレバー４４を図１の反時計回り方向に回動させて可
動プーリ２０Ａを固定プーリ１６Ａ，２２Ａから遠ざけ
ることによりワイヤ長を増やすといった制御を行う。
【００２８】速度調節手段６４は、エンコーダ５２で検
出された可動プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置を予め設定さ
れた基準位置（ここでは、図１の実線に示すようにレバ
ー４４が水平となる位置）に近づけるように、ボビン駆
動モータ１１Ａ，１１Ｂにそれぞれ制御信号を出力して
両ボビン９Ａ，９Ｂの回転速度を調節するものである。
例えば、ボビン９ＡからワイヤＷが繰り出されてボビン
９Ｂに巻取られる状態で、繰出し側の可動プーリ２０Ａ
が基準位置よりも下方の位置にあることが検出された場
合には、可動プーリ２０Ａを上昇させるべく、ワイヤ繰
出し部材となっている側のボビン９Ａの回転速度を減少
させ、逆に、可動プーリ２０Ａが基準位置よりも上方の
位置にあることが検出された場合には、可動プーリ２０
Ａを下降させるべく、ワイヤ繰出し部材となっている側
のボビン９Ａの回転速度を増加させるように構成されて
いる。一方、ワイヤ巻取り側の可動プーリ２０Ｂが基準
位置よりも下方の位置にあることが検出された場合に
は、可動プーリ２０Ｂを上昇させるべく、ワイヤ巻取り
部材となっている側のボビン９Ｂの回転速度を増加さ
せ、逆に可動プーリ２０Ｂが基準位置よりも上方の位置
にあることが検出された場合には、可動プーリ２０Ｂを
下降させるべく、ワイヤ巻取り部材となっている側のボ
ビン９Ｂの回転速度を減少させるように構成されてい
る。
出された可動プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置を予め設定さ
れた基準位置（ここでは、図１の実線に示すようにレバ
ー４４が水平となる位置）に近づけるように、ボビン駆
動モータ１１Ａ，１１Ｂにそれぞれ制御信号を出力して
両ボビン９Ａ，９Ｂの回転速度を調節するものである。
例えば、ボビン９ＡからワイヤＷが繰り出されてボビン
９Ｂに巻取られる状態で、繰出し側の可動プーリ２０Ａ
が基準位置よりも下方の位置にあることが検出された場
合には、可動プーリ２０Ａを上昇させるべく、ワイヤ繰
出し部材となっている側のボビン９Ａの回転速度を減少
させ、逆に、可動プーリ２０Ａが基準位置よりも上方の
位置にあることが検出された場合には、可動プーリ２０
Ａを下降させるべく、ワイヤ繰出し部材となっている側
のボビン９Ａの回転速度を増加させるように構成されて
いる。一方、ワイヤ巻取り側の可動プーリ２０Ｂが基準
位置よりも下方の位置にあることが検出された場合に
は、可動プーリ２０Ｂを上昇させるべく、ワイヤ巻取り
部材となっている側のボビン９Ｂの回転速度を増加さ
せ、逆に可動プーリ２０Ｂが基準位置よりも上方の位置
にあることが検出された場合には、可動プーリ２０Ｂを
下降させるべく、ワイヤ巻取り部材となっている側のボ
ビン９Ｂの回転速度を減少させるように構成されてい
る。
【００２９】上記例では、ボビン９Ａからワイヤが繰り
出されてボビン９Ｂに巻取られる状態の説明をしたが、
逆に、ボビン９Ｂからワイヤが繰り出されてボビン９Ａ
に巻取られる状態でも速度調節手段６４は同様の制御を
行う。
出されてボビン９Ｂに巻取られる状態の説明をしたが、
逆に、ボビン９Ｂからワイヤが繰り出されてボビン９Ａ
に巻取られる状態でも速度調節手段６４は同様の制御を
行う。
【００３０】次に、この装置の作用を説明する。
【００３１】例えばボビン９ＡからワイヤＷが繰り出さ
れてボビン９Ｂに巻取られている状態では、固定プーリ
２２Ａに取付けられている側の張力検出器４０の検出値
（すなわちワーク加工位置よりも上流側におけるワイヤ
張力検出値）がワイヤ長調節手段６２に取り込まれる。
このワイヤ長調節手段６２は、上記張力検出値と予め設
定された基準張力値とを比較し、前者が後者よりも高い
場合には、その差に応じた分だけ可動プーリ２０Ａを上
昇させることによりワイヤ長を減らしてワイヤ張力を下
げ、逆に後者が前者よりも高い場合には、その差に応じ
た分だけ可動プーリ２０Ａを下降させることによりワイ
ヤ長を増やしてワイヤ張力を高める。従って、ワーク２
８の切断抵抗等に起因してワイヤ張力が瞬間的に上昇し
た場合でも、これに応じて可動プーリ２０Ａが素早く上
昇駆動されることにより、ワイヤ張力の過度の上昇が避
けられ、これに起因するワイヤＷの断線が防止される。
れてボビン９Ｂに巻取られている状態では、固定プーリ
２２Ａに取付けられている側の張力検出器４０の検出値
（すなわちワーク加工位置よりも上流側におけるワイヤ
張力検出値）がワイヤ長調節手段６２に取り込まれる。
このワイヤ長調節手段６２は、上記張力検出値と予め設
定された基準張力値とを比較し、前者が後者よりも高い
場合には、その差に応じた分だけ可動プーリ２０Ａを上
昇させることによりワイヤ長を減らしてワイヤ張力を下
げ、逆に後者が前者よりも高い場合には、その差に応じ
た分だけ可動プーリ２０Ａを下降させることによりワイ
ヤ長を増やしてワイヤ張力を高める。従って、ワーク２
８の切断抵抗等に起因してワイヤ張力が瞬間的に上昇し
た場合でも、これに応じて可動プーリ２０Ａが素早く上
昇駆動されることにより、ワイヤ張力の過度の上昇が避
けられ、これに起因するワイヤＷの断線が防止される。
【００３２】一方、ワイヤ長操作装置１８Ａに設けられ
たエンコーダ５２の検出信号（すなわち可動プーリ２０
Ａの位置検出信号）は速度調節手段６４に取り込まれ
る。この速度調節手段６４は、上記可動プーリ２０Ａの
検出位置と予め設定された基準位置とを比較し、前者が
後者よりも高い場合には、可動プーリ２０Ａを下降させ
るべく、ワイヤ繰出しボビンであるボビン９Ａの回転速
度を増加させる。逆に、前者が後者よりも低い場合に
は、可動プーリ２０Ａを上昇させるべく、ワイヤ繰出し
ボビンであるボビン９Ａの回転速度を減少させる。この
ような制御により、定常状態では可動プーリ２０Ａがほ
ぼ基準位置に保持され、その移動しろが確保される。
たエンコーダ５２の検出信号（すなわち可動プーリ２０
Ａの位置検出信号）は速度調節手段６４に取り込まれ
る。この速度調節手段６４は、上記可動プーリ２０Ａの
検出位置と予め設定された基準位置とを比較し、前者が
後者よりも高い場合には、可動プーリ２０Ａを下降させ
るべく、ワイヤ繰出しボビンであるボビン９Ａの回転速
度を増加させる。逆に、前者が後者よりも低い場合に
は、可動プーリ２０Ａを上昇させるべく、ワイヤ繰出し
ボビンであるボビン９Ａの回転速度を減少させる。この
ような制御により、定常状態では可動プーリ２０Ａがほ
ぼ基準位置に保持され、その移動しろが確保される。
【００３３】すなわち、この装置では、可動プーリ２０
Ａ，２０Ｂの上下動によってワイヤ張力の瞬間的な増減
に対処可能とされながら、ボビン９Ａ，９Ｂの回転速度
調節によって各可動プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置が基準
位置に合わされることとなる。
Ａ，２０Ｂの上下動によってワイヤ張力の瞬間的な増減
に対処可能とされながら、ボビン９Ａ，９Ｂの回転速度
調節によって各可動プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置が基準
位置に合わされることとなる。
【００３４】なお、本発明はこれ以外にも次のような態
様をとることが可能である。
様をとることが可能である。
【００３５】(1) 上記実施態様ではレバー４４の回動に
よって可動プーリ２０Ａ，２０Ｂを変位させているが、
レールによる案内等で可動プーリ２０Ａ，２０Ｂを直線
移動させるようにしてもよい。この場合、位置を変化さ
せる手段としては、送りねじ機構やラック・ピニオン機
構等を用いればよい。また、可動プーリを揺動させる場
合もその駆動源は揺動シリンダ５０に限らず、例えばサ
ーボモータを用いるようにしてもよい。
よって可動プーリ２０Ａ，２０Ｂを変位させているが、
レールによる案内等で可動プーリ２０Ａ，２０Ｂを直線
移動させるようにしてもよい。この場合、位置を変化さ
せる手段としては、送りねじ機構やラック・ピニオン機
構等を用いればよい。また、可動プーリを揺動させる場
合もその駆動源は揺動シリンダ５０に限らず、例えばサ
ーボモータを用いるようにしてもよい。
【００３６】(2) 張力検出器４０の具体的な構成も特に
問わず、上記ロードセルの他、差動トランスとばねを組
み合わせたもの等でもよい。
問わず、上記ロードセルの他、差動トランスとばねを組
み合わせたもの等でもよい。
【００３７】(3) 可動プーリ２０Ａ，２０Ｂの可動範囲
を十分確保できるのであれば、速度調節手段６４は特に
要しない。ただし、この速度調節手段６４によって可動
プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置を安定化させ、その移動範
囲を削減すれば、その分装置全体をコンパクトにまとめ
ることが可能になる。
を十分確保できるのであれば、速度調節手段６４は特に
要しない。ただし、この速度調節手段６４によって可動
プーリ２０Ａ，２０Ｂの位置を安定化させ、その移動範
囲を削減すれば、その分装置全体をコンパクトにまとめ
ることが可能になる。
【００３８】(4) 上記実施例では、実際のワイヤ張力や
可動プーリ位置を基準張力や基準位置に近づける制御を
常時行っているが、これら基準張力や基準位置に幅をも
たせ（すなわち張力や可動プーリ位置の許容範囲を設定
し）、検出張力や検出位置が許容範囲内にある場合には
可動プーリ位置やボビン回転速度を変化させず、検出張
力や検出位置が上記許容範囲を逸脱した場合にのみこの
許容範囲内に張力や可動プーリ位置を収めるように可動
プーリ位置やボビン回転速度を変化させるといった制御
を行ってもよい。
可動プーリ位置を基準張力や基準位置に近づける制御を
常時行っているが、これら基準張力や基準位置に幅をも
たせ（すなわち張力や可動プーリ位置の許容範囲を設定
し）、検出張力や検出位置が許容範囲内にある場合には
可動プーリ位置やボビン回転速度を変化させず、検出張
力や検出位置が上記許容範囲を逸脱した場合にのみこの
許容範囲内に張力や可動プーリ位置を収めるように可動
プーリ位置やボビン回転速度を変化させるといった制御
を行ってもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上のように本発明は、ワイヤソーにお
けるワイヤ繰出し部材からガイドローラに至る領域及び
ガイドローラからワイヤ巻取り部材に至る領域でのワイ
ヤ張力をそれぞれ検出し、各検出張力を予め設定された
基準張力を近づけるようにワイヤ長を調節するものであ
るので、ワイヤ張力の急激な変化に迅速に対応してこの
ワイヤ張力を調節でき、張力変動に起因する加工精度の
悪化やワイヤ断線等の不都合を未然に防ぐことができる
効果がある。
けるワイヤ繰出し部材からガイドローラに至る領域及び
ガイドローラからワイヤ巻取り部材に至る領域でのワイ
ヤ張力をそれぞれ検出し、各検出張力を予め設定された
基準張力を近づけるようにワイヤ長を調節するものであ
るので、ワイヤ張力の急激な変化に迅速に対応してこの
ワイヤ張力を調節でき、張力変動に起因する加工精度の
悪化やワイヤ断線等の不都合を未然に防ぐことができる
効果がある。
【００４０】特に、上記ワイヤ長操作手段として、上記
ワイヤが掛けられる一対の固定プーリと、これら固定プ
ーリの間に配された可動プーリと、この可動プーリの位
置を変化させるプーリ位置操作手段とを備えたもので
は、ボビンと比べてはるかに慣性モーメントの小さい可
動プーリを移動させるだけの簡単な構成でワイヤ張力を
素早く変化させることができる効果がある。
ワイヤが掛けられる一対の固定プーリと、これら固定プ
ーリの間に配された可動プーリと、この可動プーリの位
置を変化させるプーリ位置操作手段とを備えたもので
は、ボビンと比べてはるかに慣性モーメントの小さい可
動プーリを移動させるだけの簡単な構成でワイヤ張力を
素早く変化させることができる効果がある。
【００４１】さらに、上記可動プーリの位置を検出する
プーリ位置検出手段と、検出される可動プーリの位置を
予め設定された基準位置に近づけるようにワイヤ繰出し
速度及びワイヤ巻取り速度をそれぞれ調節する速度調節
手段とを備え、定常状態で可動プーリの位置をほぼ基準
位置に保つようにすれば、可動プーリの移動範囲を削減
してその分装置全体をコンパクト化しながら、上記可動
プーリの移動による良好な張力制御を確保できる。
プーリ位置検出手段と、検出される可動プーリの位置を
予め設定された基準位置に近づけるようにワイヤ繰出し
速度及びワイヤ巻取り速度をそれぞれ調節する速度調節
手段とを備え、定常状態で可動プーリの位置をほぼ基準
位置に保つようにすれば、可動プーリの移動範囲を削減
してその分装置全体をコンパクト化しながら、上記可動
プーリの移動による良好な張力制御を確保できる。
【図１】本発明の実施の形態におけるワイヤ張力制御装
置の正面図である。
置の正面図である。
【図２】上記ワイヤ張力制御装置の平面図である。
【図３】上記ワイヤ張力制御装置が設けられたワイヤソ
ーの全体構成図である。
ーの全体構成図である。
【図４】上記ワイヤソーに装備されるコントローラの機
能構成を示すブロック図である。
能構成を示すブロック図である。
９Ａ，９Ｂ ボビン（ワイヤ繰出し部材及びワイヤ巻取
り部材） １１Ａ，１１Ｂ ボビン駆動モータ １６Ａ，１６Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ 固定プーリ １８Ａ，１８Ｂ ワイヤ張力操作装置 ２０Ａ，２０Ｂ 可動プーリ ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ ガイドローラ ２８ ワーク ４０ 張力検出器 ５０ 揺動シリンダ（可動プーリ位置操作手段） ５２ エンコーダ（可動プーリ位置検出手段） ６０ コントローラ ６２ ワイヤ長調節手段 ６４ 速度調節手段 Ｗ ワイヤ
り部材） １１Ａ，１１Ｂ ボビン駆動モータ １６Ａ，１６Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ 固定プーリ １８Ａ，１８Ｂ ワイヤ張力操作装置 ２０Ａ，２０Ｂ 可動プーリ ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ ガイドローラ ２８ ワーク ４０ 張力検出器 ５０ 揺動シリンダ（可動プーリ位置操作手段） ５２ エンコーダ（可動プーリ位置検出手段） ６０ コントローラ ６２ ワイヤ長調節手段 ６４ 速度調節手段 Ｗ ワイヤ
Claims (3)
- 【請求項１】 ワイヤ繰出し部材から繰り出された切断
用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてワイ
ヤ巻取り部材に巻き取られ、かつこのワイヤが軸方向に
駆動された状態で、ガイドローラ間に複数本並んだワイ
ヤに対してワークが切断送りされることによりこのワー
クが切断されるワイヤソーにおいて、上記ワイヤ繰出し
部材からガイドローラに至る領域及びガイドローラから
上記ワイヤ巻取り部材に至る領域でのワイヤ長をそれぞ
れ変化させるワイヤ長操作手段と、上記各領域でのワイ
ヤの張力を検出する張力検出手段と、この張力検出手段
により検出された張力を予め設定された基準張力に近づ
けるように上記ワイヤ長操作手段を作動させるワイヤ長
調節手段とを備えたことを特徴とするワイヤソーにおけ
るワイヤ張力制御装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のワイヤソーにおけるワイ
ヤ張力制御装置において、上記ワイヤ長操作手段とし
て、上記ワイヤが掛けられる一対の固定プーリと、これ
ら固定プーリの間に配された可動プーリと、この可動プ
ーリの位置を変化させるプーリ位置操作手段とを備えた
ことを特徴とするワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装
置。 - 【請求項３】 請求項２記載のワイヤソーにおけるワイ
ヤ張力制御装置において、ワイヤ繰出し側の可動プーリ
及びワイヤ巻取り側の可動プーリの位置をそれぞれ検出
するプーリ位置検出手段と、検出される各可動プーリの
位置をそれぞれ予め設定された位置に近づけるように上
記ワイヤ繰出し部材からのワイヤ繰出し速度とワイヤ巻
取り部材によるワイヤ巻取り速度とをそれぞれ調節する
速度調節手段とを備えたことを特徴とするワイヤソーに
おけるワイヤ張力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25531195A JP3105431B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25531195A JP3105431B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0994755A true JPH0994755A (ja) | 1997-04-08 |
| JP3105431B2 JP3105431B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=17277023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25531195A Expired - Lifetime JP3105431B2 (ja) | 1995-10-02 | 1995-10-02 | ワイヤソーにおけるワイヤ張力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3105431B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997031765A1 (fr) * | 1996-02-28 | 1997-09-04 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Appareil et procede d'usinage a fil coupant |
| EP0887137A2 (en) * | 1997-06-24 | 1998-12-30 | Nippei Toyama Corporation | Tension adjusting mechanism for wire saw |
| US5944007A (en) * | 1996-02-08 | 1999-08-31 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Wire type slicing machine and method |
| US6237585B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-05-29 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | Wire-sawing machine |
| JP2010208010A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-24 | Komatsu Ntc Ltd | トラバース制御方法およびその装置 |
| DE102011008397A1 (de) | 2010-01-20 | 2011-07-21 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Vefahren zum Aufschneiden eines Blocks und Drahtsäge |
| KR101230268B1 (ko) * | 2010-11-23 | 2013-02-06 | 한국생산기술연구원 | 와이어 소우 머신의 장력 조절 장치 |
| KR20160150010A (ko) | 2015-06-18 | 2016-12-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 멀티 와이어 소 |
| CN108217312A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 福建富易天龙智能科技有限公司 | 一种用于石膏绷带多线切割的上线方法和装置 |
| KR20190072129A (ko) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 주식회사 포스코 | 절단 강판 연결장치 및 이를 이용한 절단 강판 연결방법 |
| CN114654595A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-06-24 | 彩虹集团（邵阳）特种玻璃有限公司 | 一种降低切割机故障率的切割方法及系统 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007021193A1 (en) * | 2005-08-17 | 2007-02-22 | Global Tool Management As | A wire tension system for a diamond wire saw |
| EP3401069B1 (en) * | 2016-01-08 | 2021-10-20 | Liwen Chen | Wire sawing machine |
-
1995
- 1995-10-02 JP JP25531195A patent/JP3105431B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5944007A (en) * | 1996-02-08 | 1999-08-31 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Wire type slicing machine and method |
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| EP0887137A2 (en) * | 1997-06-24 | 1998-12-30 | Nippei Toyama Corporation | Tension adjusting mechanism for wire saw |
| EP0887137A3 (en) * | 1997-06-24 | 2001-04-18 | Nippei Toyama Corporation | Tension adjusting mechanism for wire saw |
| US6237585B1 (en) | 1998-08-20 | 2001-05-29 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | Wire-sawing machine |
| EP1110652A1 (en) * | 1998-08-20 | 2001-06-27 | Super Silicon Crystal Research Institute Corp. | A wire sawing machine with saw wire tension control |
| JP2010208010A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-24 | Komatsu Ntc Ltd | トラバース制御方法およびその装置 |
| DE102011008397A1 (de) | 2010-01-20 | 2011-07-21 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Vefahren zum Aufschneiden eines Blocks und Drahtsäge |
| DE102011008397B4 (de) * | 2010-01-20 | 2019-10-02 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Vefahren zum Aufschneiden eines Blocks und Drahtsäge |
| KR101230268B1 (ko) * | 2010-11-23 | 2013-02-06 | 한국생산기술연구원 | 와이어 소우 머신의 장력 조절 장치 |
| KR20160150010A (ko) | 2015-06-18 | 2016-12-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 멀티 와이어 소 |
| KR20190072129A (ko) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 주식회사 포스코 | 절단 강판 연결장치 및 이를 이용한 절단 강판 연결방법 |
| CN108217312A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 福建富易天龙智能科技有限公司 | 一种用于石膏绷带多线切割的上线方法和装置 |
| CN114654595A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-06-24 | 彩虹集团（邵阳）特种玻璃有限公司 | 一种降低切割机故障率的切割方法及系统 |
| CN114654595B (zh) * | 2022-04-08 | 2024-02-23 | 彩虹集团（邵阳）特种玻璃有限公司 | 一种降低切割机故障率的切割方法及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3105431B2 (ja) | 2000-10-30 |
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