JPH09164655A - スクリーン印刷用スキージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長さの異なる数種類のものを簡単に得ること
のできるスクリーン印刷用スキージを提供する。 【解決手段】 複数の金属薄板製のスキージ本体１を折
り取り可能な薄肉部３により長さ方向に並列に連結す
る。薄肉部３で容易に折り取ることにより、長さの異な
るスキージ本体１を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スクリーン印刷法
により、たとえば、ＩＣやＬＳＩ用のプリント配線基板
にクリームはんだを印刷したり、ハイブリッドＩＣやセ
ラミック多層基板を含む各種回路基板、高周波フィルタ
類を含む複合セラミック電子部品、各種電子部品の製造
時に銅のような導電性インキなどを厚塗り印刷するのに
用いられるスキージに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のスクリーン印刷用スキージは、
一般にウレタンゴムからなるが、最近では金属薄板やウ
レタンゴムと金属薄板とを重合一体化したものもある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】スクリーン印刷用スキ
ージは、版（スクリーンマスク、スクリーンメッシュ）
の寸法に合わせて長さの異なる数種類のものが必要とさ
れる。こうした数種類のスキージを用意するに際して、
ウレタンゴムからなるスキージの場合は、予め長尺の帯
状のものを作っておいてもカッターナイフで所望長さに
容易に切断して得ることができるが、金属薄板からなる
スキージでは薄くて硬いため、きれいに切断することが
難しく、そのため、版の寸法に合った長さの異なるもの
を個々に製造しなければならず、コスト高になってい
た。

【０００４】本発明の目的は、こうした問題を解消する
ためになされたもので、金属薄板製のスキージも長さの
異なるものを容易に低コストで得ることができるスクリ
ーン印刷用スキージを提供するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、図１に例示す
るように、金属薄板製の複数のスキージ本体１を折り取
り可能な薄肉部３により長さ方向に並列に連結してある
ことを特徴とする。

【０００６】

【作用】複数のスキージ本体１は薄肉部３に沿って折り
取ることにより容易に分断でき、長さの異なる数種類の
ものを簡単に得ることができる。２個以上のスキージ本
体１を薄肉部３で連結したままの状態でも、印刷に使用
することができ、この場合薄肉部３でもクリームはんだ
をかき取ることができるので、クリームはんだのかき残
しラインが生じるようなことがない。

【０００７】

【発明の実施の形態】

（第１実施例）本発明の第１実施例を図１ないし図３に
基づき説明する。図１はスキージ本体の斜視図、図２は
スキージの斜視図であり、１はスキージ本体、２はホル
ダである。スキージ本体１は帯状の金属薄板（例えば、
３００μｍ厚）からなり、この複数個（図示例では３
個）が折り取り可能な薄肉部３（例えば、６０μｍ厚）
により長さ方向に並列に連結してある。スキージ本体１
の個々の長さは、図示例のように全て等しくするか、ま
たは全て異なるものとするか、または等しいものと異な
るものとを組合わせる。その他に、例えば、スクリーン
枠の一般的最小寸法に相当する長さのスキージ本体１を
中央部分に設け、その両側に長さ調整用の短い折り取り
部分を折り取り可能な薄肉部３を介して配しておいても
よい。この場合は薄肉部３に沿って短い折り取り部分を
折り取った後は、最小寸法に相当する長さのスキージ本
体１の両側には薄肉部３が存在しなくなる。また最小寸
法に相当する長さのスキージ本体１の一端側のみに調整
用折り取り部分を設ければ、折り取り作業は１回だけで
済むことになる。いずれにしてもスキージ本体１の個々
は取付孔４を有し、薄肉部３に沿って折り取られたスキ
ージ本体１の一つあるいは２個以上はこの取付孔４にビ
ス５を通すことによりホルダ２に押えプレート６でもっ
て挟持状に取り付けられる。勿論、ホルダ２と押えプレ
ート６との間の挟着力が高い場合は、取付孔４を設けな
くてもよく、この取付構造は、ホルダ２の構造に応じて
決定するものである。そのほかに例えば、図４のように
上記取付孔４に相当する部分８を合成樹脂、あるいはア
ルミニウム、亜鉛などの金属材でアウト成形やかしめ等
により一体的に設け、この別体部分８をホルダ２に取り
付けるなど種々設計変更できる。なお図４において中央
部分のスキージ本体１の長さＬ₁ は２５０μｍ、その両
側のスキージ本体１の長さＬ₂ は５０μｍで、その全長
Ｌは３５０μｍである。

【０００８】上記スキージ本体１は、たとえば、図３に
示す電鋳工程を経て製造することができる。図３（Ａ）
はレジストのパターンニング過程を、同図（Ｂ）は電鋳
途中の過程を、同図（Ｃ）は電鋳終了過程をそれぞれ示
す。先ず、電鋳母型１０の表面に、フィルム状のフォト
レジストを重ね合わせるか、あるいは液体状のフォトレ
ジストを均一に塗布乾燥したうえで、この上にパターン
フィルムを密着させ、電子線や紫外線などの放射線エネ
ルギーを照射して焼き付け硬化させ、現像、乾燥の各処
理を行うという常套手段によって、図３（Ａ）のように
フォトレジスト膜１１をパターンニング形成する。その
フォトレジスト膜１１はスキージ外周部形成用のフォト
レジスト膜１１ａと薄肉部形成用のフォトレジスト膜１
１ｂとからなる。

【０００９】次いで、上記母型１０をスルファミン酸ニ
ッケル浴などの電鋳槽に移し、ＮｉあるいはＮｉ−Ｃｏ
合金で電鋳を行って、電鋳母型１０のフォトレジスト膜
１１ａ・１１ｂで覆われていない表面に、電着金属１２
をフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの厚みより少し厚く
なるまで電着する。その際、電着金属１２の成長は、同
図（Ｂ）のように、電着金属１２のフォトレジスト膜１
１ａ・１１ｂから離れる中間部１２ａが先行して成長
し、フォトレジスト膜１１ａ・１１ｂに接する端部１２
ｂの成長はそれよりも遅れがちになる。このような成長
過程で形成される電着金属１２の端部１２ｂの表面は凸
円弧状に形成される。更に電鋳を続けると、電着金属１
２の表面上のフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの近傍で
は、矢印ｍで示す直進的な電着以外に、矢印ｎで示すご
とくフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの表面を回り込む
ことによっても電着される。その結果、同図（Ｃ）のよ
うに電着金属１２はフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの
表面にまで張り出す状態に成長する。フォトレジスト膜
１１ｂを介して図中左右に隣り合う電着金属１２・１２
どうしは、フォトレジスト膜１１ｂの表面上に張り出し
て互いにくっつき合う薄肉部３を形成し、この薄肉部３
で連結される。その際、薄肉部３の表面には凹み７が形
成されるので、薄肉部３の折り取りがより容易に行え
る。電鋳後は、電鋳母型１０から剥離し、フォトレジス
ト膜１１ａを除去すると、電着金属１２からなる複数個
のスキージ本体１が薄肉部３で連結された状態にある電
鋳製品が得られる。なお、フォトレジスト膜１１ｂは軟
らかいのでスキージ本体１に付けたままでも折り取りに
支障を来すことはなく、またスキージングにも支障を来
すことはないが、フォトレジスト膜１１ａと同様に除去
するもよい。

【００１０】（第２実施例）複数個のスキージ本体１を
薄肉部３で連結した電鋳製品は、図５のように、１次電
鋳と２次電鋳とで製造することもできる。この場合は、
上記実施例の場合と同様に、先ず、電鋳母型１０の表面
に、スキージ外周部形成用のフォトレジスト膜１１ａと
薄肉部形成用のフォトレジスト膜１１ｂとをパターンニ
ング形成する（同図（Ａ））。次いで、上記母型１０を
スルファミン酸ニッケル浴などの電鋳槽に移し、Ｎｉあ
るいはＮｉ−Ｃｏ合金で１次電鋳を行って、同図（Ｂ）
のように電鋳母型１０のフォトレジスト膜１１ａ・１１
ｂで覆われていない表面に、電着金属１２をフォトレジ
スト膜１１ａ・１１ｂの厚み程度にまで電着する次い
で、Ｃｕで２次電鋳を行って、同図（Ｃ）のように１次
の電着金属１２の上に２次の電着金属１３を一体に形成
する。このとき、上記実施例の場合と同様に、電着金属
１２の表面上のフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの近傍
では、矢印ｍで示す直進的な電着以外に、矢印ｎで示す
ごとくフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの表面を回り込
むことによっても電着される。その結果、当該箇所での
電着金属１３はフォトレジスト膜１１ａ・１１ｂの表面
上に張り出す状態に成長し、フォトレジスト膜１１ｂの
表面上では互いにくっつき合う薄肉部３を形成する。２
次電鋳後は、電鋳母型１０から剥離し、フォトレジスト
膜１１ａを除去することにより、電着金属１２・１３か
らなる複数個のスキージ本体１が薄肉部３で連結された
状態にある電鋳製品が得られる。

【００１１】この実施例のように１次電鋳と２次電鋳を
経てスキージ本体１を製造する際、１次電鋳をＮｉやＮ
ｉ−Ｃｏ合金で行うとともに、２次電鋳（スキージ面）
をＣｕのように１次電鋳の材料より軟らかい材料で行う
ことにより、折り取りラインに相当する凹み７部分が薄
肉厚であるが軟らかいため、使用時に不用意に破断する
のを抑制することができ、折り取り時には折り取り断面
にギザギザ状の凹凸が生じても平滑になるよう容易に後
加工できる。なお、このような１次電鋳と２次電鋳に硬
度差を持たせる電鋳材の１次と２次の組み合わせとして
は、Ｎｉ−Ｃｏ合金に対してＮｉ、光沢剤入りのＮｉに
対して無光沢のＮｉ、Ｆｅに対してＰｂ−Ｓｎ合金また
はＰｂ−Ｓｎ−Ｃｕ合金、Ｎｉに対してグラファイト、
二硫化モリブデン、テフロンをＮｉに共析したものなど
がある。

【００１２】（第３実施例）１次電鋳と２次電鋳を経て
スキージ本体１を製造するに際し、図６（Ａ）のように
電鋳母型１０の表面に、スキージ外周部形成用のフォト
レジスト膜１１ａをパターンニング形成する。次いで、
同図（Ｂ）のように電鋳母型１０のフォトレジスト膜１
１ａで覆われていない表面に、Ｃｕで１次電鋳を行って
電着金属１２をフォトレジスト膜１１ａの厚みより少し
薄い高さにまでべた状に電着する（例えば、６０μｍ
厚）。次いで、同図（Ｃ）のように電着金属１２の表面
に薄肉部形成用のフォトレジスト膜１１ｂをパターンニ
ング形成したうえで、ＮｉあるいはＮｉ−Ｃｏ合金で２
次電鋳を行って、１次の電着金属１２の上に２次の電着
金属１３（例えば、２４０μｍ厚）を一体に形成する。
２次電鋳後は、電鋳母型１０から剥離し、フォトレジス
ト膜１１ａを除去することにより電着金属１２・１３か
らなる薄肉部３を有するスキージ本体１の電鋳製品が得
られる。この実施例の場合、凹み７は各電着金属１３の
端部どうしが一体接続されないか、または僅かの厚さで
接続される。このように形成すれば２次電鋳の電着金属
１３が硬質であっても折り取りは、軟質の電着金属１２
だけで済み、折り取り作業を楽なものとすることができ
る。勿論、スクリーンに対しては２次電鋳の電着金属１
３が接し、寿命の長いものとなり、使用時や取扱時の凹
み７部分の不用意な破断は軟質の電着金属１２で抑制さ
れており、特に破断面が直接的にスクリーンと接し難い
ので、ギザギザ状の破断面のままでも使用できるととも
に、クリームはんだ印刷用スクリーンのようにメタルマ
スクの場合は、一般に銅より高硬度の金属材で形成され
るため、ギザギザ状の破断面が接してもメタルマスクの
性能に影響する程度の損傷は回避できる。なお、この実
施例の場合もフォトレジスト膜１１ｂは軟らかいのでス
キージ本体１に付けたままでも折り取りに支障を来すこ
とはないが、フォトレジスト膜１１ａと同様に溶解除去
するもよい。

【００１３】（第４実施例）図７のように、長尺状に予
めプレスした金属薄板１５の薄肉部３に相当する箇所を
露出させるようにレジスト膜１６を覆い、ハーフエッチ
ングすることによりスキージ本体１を製造することもで
きる。

【００１４】なお、本発明において折り取り可能な状態
とは手で直接折り取るほかに、ペンチやバイス等の簡単
な治具を用いて折り取ることをも含む意味に用いてお
り、切断機により直接切断するような場合を意味するも
のではない。

【００１５】

【発明の効果】本発明によれば、複数の金属薄板製のス
キージ本体１を折り取り可能な薄肉部３により長さ方向
に並列に連結してあるので、版のサイズに対応する長さ
の異なる数種類のスキージ本体１を簡単にかつ低コスト
で得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のスキージ本体の斜視図である。

【図２】第１実施例のスキージの斜視図である。

【図３】第１実施例のスキージ本体の電鋳製造工程図で
ある。

【図４】第１実施例のスキージの変形例を示す斜視図で
ある。

【図５】第２実施例のスキージ本体の電鋳製造工程図で
ある。

【図６】第３実施例のスキージ本体の電鋳製造工程図で
ある。

【図７】第４実施例のスキージ本体のエッチング製造工
程図である。

【符号の説明】

１ スキージ本体 ２ ホルダ ３ 薄肉部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の金属薄板製のスキージ本体１を折
   り取り可能な薄肉部３により長さ方向に並列に連結して
   あることを特徴とするスクリーン印刷用スキージ。