JP2002001909A - スクリーン印刷版及びその製造方法 - Google Patents
スクリーン印刷版及びその製造方法Info
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Abstract
スト印刷膜を形成することが可能なスクリーン印刷版及
びその製造方法を提供する。 【解決手段】 メッシュ部2を構成するメッシュ線状部
2bの長手方向に直交する方向の断面形状を、印刷面側
に円弧部分が向くような略半円又は略半楕円形状とす
る。また、メッシュ部2の厚みAを1〜30μmとし、
印刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹部5の
深さBを1〜30μmとする。
Description
に用いられるスクリーン印刷版及びその製造方法に関
し、特に、薄膜印刷時におけるメッシュ跡の発生を防止
して、均一なペースト印刷膜の形成を可能にするための
印刷性の改良に関するものである。
ラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品は、
通常、電極ペーストを印刷・塗布することにより内部電
極パターンを多数配設したセラミックグリーンシートを
複数枚積層、圧着した後、これをカットして、個々の素
子を切り出した後、焼成する工程を経て製造されてい
る。そして、電極ペーストを印刷して、所定形状の電極
パターンを形成する方法として、スクリーン印刷法が一
般的に用いられている。
の小型化、高容量化などが進むにつれて、電極パターン
を形成したセラミックグリーンシートの積層枚数を増や
す高積層化が必要となり、これを実現するためには、電
極ペーストの印刷膜厚が薄く、均一性に優れ、しかも高
い寸法精度を有する電極パターンを形成することが必要
になっている。
ターン(ペースト印刷膜)を形成しようとすると、スク
リーン印刷版の版厚を薄くすることが有効で、特に、メ
ッシュ部と印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部が、めっき工法により一体形成されたスクリーン
印刷版は、めっき量制御により版厚みを薄くし、凹部の
深さを浅くすることが可能であることから薄膜印刷に適
している。
来のスクリーン印刷版を示す斜視図であり、図7はその
B−B線断面図を示している。このスクリーン印刷版5
1は、印刷すべきペーストを通過させる複数のメッシュ
開口穴52aを設けることにより形成された印刷パター
ン形状に略対応する平面形状を有するメッシュ部52
と、ペーストを通過させない非開口部53と、メッシュ
部52の、被印刷体54(図8)との対向面に形成され
た、所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部55とを一体に備えている。
形状)としては、三角形、四角形、あるいはその他の多
角形、円形など、種々の形状を採用することが可能であ
るが、このスクリーン印刷版51では、四角形のメッシ
ュ開口穴52aが形成されている。
を用いて印刷を行っている状態を示す断面図である。こ
のスクリーン印刷版51を用いてペースト56の印刷を
行う場合、図8に示すように、スキージ57をスクリー
ン印刷版51に押し付けて水平方向に移動させることに
より、ペースト56がメッシュ部52のメッシュ開口穴
52aを通過して、被印刷体54の表面に転写されるこ
とにより、ペースト56の印刷が行なわれる。
ては、メッシュ部52を構成するメッシュ線状部52b
の長手方向に直交する方向の断面形状が長方形であり、
被印刷体54に対して平行な面(下面)52cが形成さ
れているため、スクリーン印刷版51の厚みを薄くし
て、印刷塗布厚の薄いペースト印刷膜を得ようとする
と、印刷過程でメッシュ部52はスキージ57による上
方からの押圧力(以下、「スキージ圧」という)によ
り、図8に示すように、メッシュ部52の中央部及びそ
の近傍が凹状に変形し、一部のメッシュ線状部52bの
下面52cが、被印刷体54に接触(面接触)した状態
となる。
52cと被印刷体54が面接触した状態になってしまう
と、メッシュ開口穴52aを通過したペースト56が入
り込むスペースがなくなるため、図9に示すように、被
印刷体54に形成されたペースト印刷膜56aには、ペ
ースト56が印刷されないか、あるいは印刷されたとし
てもごく薄くしか印刷されない領域(いわゆるメッシュ
跡)56bが生じ、膜厚の薄い、均一なペースト印刷膜
を得ることができないという問題点がある。
あり、印刷厚みが薄い場合にも、膜厚が均一なペースト
印刷膜を形成することが可能なスクリーン印刷版及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。
に、本願発明(請求項1)のスクリーン印刷版は、印刷
パターン形状に略対応する形状の所定の領域に、印刷す
べきペーストを通過させる複数のメッシュ開口穴を配設
してなるメッシュ部と、前記メッシュ部の周囲に設けら
れた、ペーストを通過させない非開口部と、メッシュ部
の被印刷体に対向する印刷面側に形成された、所定の印
刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹部とを一
体に備えたスクリーン印刷版であって、前記メッシュ部
を構成するメッシュ線状部の長手方向に直交する方向の
断面形状が、前記印刷面側に円弧部分が向くような略半
円又は略半楕円形状を有していることを特徴としてい
る。
手方向の直交する方向の断面形状を、印刷面側に円弧部
分が向くような略半円又は略半楕円形状とすることによ
り、例えば、上方からスクリーン印刷版にスキージが押
圧され、メッシュ線状部の下面が被印刷体に当接する場
合にも、メッシュ線状部の下面と被印刷体の接触状態が
線接触の状態となり、前述の従来のスクリーン印刷版の
ように、メッシュ線状部の下面と被印刷体の接触状態が
面接触となることがないため、メッシュ開口穴を通過し
たペーストが入り込むスペースが確保される。したがっ
て、薄膜のペースト印刷膜を形成すべき場合にも、被印
刷体のペーストを印刷すべき領域に、いわゆるメッシュ
跡のない、均一なペースト印刷膜を形成することが可能
になる。
部の長手方向に直交する方向の断面形状が、前記印刷面
側に円弧部分が向くような略半円又は略半楕円形状を有
している」とは、厳密な意味合いで、メッシュ線状部の
断面形状が半円又は半楕円形状を有していることを要件
とするものではなく、断面形状において、一部に丸みを
帯びた部分を有する形状であって、円弧部分(丸みを帯
びた部分)が印刷面側に向き、印刷面と接触したときに
も、実質的に面接触とならずに、線接触となるような、
半円形状や半楕円形状に類似する種々の形状を含む広い
概念である。
は、導電ペースト、抵抗ペースト、接着剤ペースト、そ
の他の種々のペーストを含む広い概念である。
は、例えば、積層セラミック電子部品の製造に用いられ
るグリーンシート、セラミック焼結体、その他の種々の
印刷対象を意味する概念である。
記メッシュ部の厚みが1〜30μmの範囲にあるととも
に、前記凹部の深さが1〜30μmの範囲にあることを
特徴としている。
刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹部の深さ
を1〜30μmとする(すなわち、メッシュ部の周囲の
厚みをメッシュ部の厚みよりも1〜30μm厚くする)
ことにより、膜厚が薄く、形状精度の高いペースト印刷
膜を確実に形成することが可能になり、本願発明をより
実効あらしめることができる。
なくとも前記メッシュ部及び前記非開口部が、金属材料
から一体に形成されていることを特徴としている。
属材料を用いて一体に形成することにより、形状精度が
高く、耐久性に優れたスクリーン印刷版を得ることが可
能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができ
る。
印刷版の製造方法は、請求項1〜3のいずれかに記載の
スクリーン印刷版を製造する方法であって、(a)基材上
にメッシュ開口穴形成用レジストを配設する工程と、
(b)前記基材上に、電気めっき法により、膜厚が前記メ
ッシュ開口穴形成用レジストの膜厚より大きくなり、か
つ、断面形状が略半円又は略半楕円形状になるように金
属を析出させることにより、メッシュ線状部及びメッシ
ュ部の周辺部を構成するメッシュ部形成用金属膜を形成
する工程と、(c)前記メッシュ線状部及び前記メッシュ
開口穴形成用レジストと、前記メッシュ部形成用金属膜
の一部の上に、前記凹部に対応する形状となるように凹
部形成用レジストを配設する工程と、(d)前記凹部形成
用レジストが形成された領域を除いて、前記メッシュ部
形成用金属膜上に、電気めっき法により金属を析出させ
て、前記凹部の周辺部を構成する周辺部形成用金属膜を
形成する工程と、(e)前記メッシュ開口穴形成用レジス
ト及び凹部形成用レジストを除去する工程と、(f)前記
基材から、形成されたスクリーン印刷版を剥離する工程
とを具備することを特徴としている。
は、上記(a),(b),(c),(d),(e),(f)の各工程
を経て、スクリーン印刷版を製造するようにしているの
で、めっき量を精度よく制御することにより、版厚みが
薄く、かつ、各部の寸法精度が高く、薄膜印刷に適した
スクリーン印刷版(すなわち、本願請求項1〜3のスク
リーン印刷版)を確実に製造することが可能になり、本
願発明を実効あらしめることができる。
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。
クリーン印刷版を要部を印刷面側から示した斜視図であ
る。図2は、図1のスクリーン印刷版のA−A線断面図
である。このスクリーン印刷版1は、ニッケル金属材料
により一体に形成されている。そして、印刷パターン形
状に略対応する形状の所定の領域に、印刷すべきペース
トを通過させる複数のメッシュ開口穴2aを配設してな
るメッシュ部2と、メッシュ部2の周囲に設けられた、
ペーストを通過させない非開口部3と、メッシュ部2の
被印刷体4(図3)に対向する印刷面側に形成された、
所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹
部5を備えている。
は、メッシュ部2を構成するメッシュ線状部2bは、長
手方向に直交する方向の断面形状が略半円形状で、印刷
面側に円弧部分が向くように構成されている。
においては、メッシュ部2の厚みA(図2)が1〜30
μm、印刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹
部5の深さB(図2)が1〜30μmになるように(す
なわち、メッシュ部2の周囲の厚みがメッシュ部2の厚
みよりも1〜30μm厚くなるように)構成されてい
る。
スクリーン印刷版1を用いてペーストの印刷を行う方法
について説明する。図3は、この実施形態のスクリーン
印刷版1を使用し、スキージ7によってペースト6の印
刷を行っている状態を示す断面図である。
にペースト6を供給し、スキージ7をスクリーン印刷版
1に押し付けて水平方向に移動させることにより、ペー
スト6がメッシュ部2のメッシュ開口穴2aを通過し
て、被印刷体4の表面に転写される。そして、このと
き、スクリーン印刷版1の凹部5の深さB(図2)が浅
く、かつ、メッシュ部2の厚みA(図2)が薄いため、
スキージ7の押圧力により、メッシュ部2の中央部が凹
状にへこんだ状態に変形し、メッシュ線状部2bの一部
はその下面が被印刷体4に接触した状態となる。
状部2bは、図2に示すように、長手方向に直交する方
向の断面形状が略半円形状となるように構成されている
ため、スキージ7により下方に押圧されたスクリーン印
刷版1のメッシュ線状部2bの下面と被印刷体4の接触
状態が線接触の状態となり、凹部5内には、ペースト6
が回り込むスペースが確保される。その結果、図4に示
すように、被印刷体4の所定の領域に、いわゆる、メッ
シュ跡のほとんどない、均一なペースト印刷膜6aを形
成することができる。
明のスクリーン印刷版の製造方法について説明する。こ
の実施形態のスクリーン印刷版は、以下に説明するよう
に、例えば、エレクトロフォーミング(電鋳法)を用い
て、容易かつ確実に製造することができる。以下、製造
工程を模式的に示す図5を参照しつつ、スクリーン印刷
版1の製造方法について説明する。
ステンレス鋼などの金属材料からなる基材11上にメッ
シュ開口穴形成用レジスト12を配設する。なお、この
実施形態では、フォトリソグラフィーにより、膜厚0.
1μmのメッシュ開口穴形成用レジスト12をパターニ
ングした。なお、メッシュ開口穴形成用レジスト12の
形成方法に特別の制約はなく、他の方法で形成すること
も可能であり、また、膜厚についてもその他の条件を考
慮して、種々の膜厚とすることができる。
11上に、電気めっき法により、ニッケルめっきを行
い、膜厚がメッシュ開口穴形成用レジストの膜厚0.1
μmより大きく、断面形状が略半円形状となるようにニ
ッケル(金属)を析出させることにより、ニッケルから
なるメッシュ線状部2b及びメッシュ部2の周辺部14
を構成するメッシュ部形成用金属膜15を形成する。こ
の実施形態では、めっき浴として、スルファミン酸ニッ
ケル浴を用いた。なお、メッシュ部2の厚みは、1〜3
0μmとすることが好ましく、この実施形態では18μm
とした。
線状部2b及びメッシュ開口穴形成用レジスト12と、
メッシュ部形成用金属膜15の一部の上に、凹部5に対
応する形状となるように凹部形成用レジスト16を配設
する。なお、この実施形態では、凹部形成用レジスト1
6を、フォトリソグラフィーによって形成し、その厚み
を30μmとした。
形成用レジスト16が形成された領域を除いて、メッシ
ュ部形成用金属膜15上に、凹部5の周辺部17を構成
する周辺部形成用金属膜18を形成する。なお、この実
施形態では、周辺部形成用金属膜18として、電気めっ
き法により、膜厚が12μmのニッケル金属膜を形成し
た。この実施形態では、めっき浴として、メッシュ部形
成用金属膜15を形成する場合と同様に、スルファミン
酸ニッケル浴を用いた。
開口穴形成用レジスト12及び凹部形成用レジスト16
を除去する。
1から剥離、除去することにより、メッシュ開口穴2a
及び断面形状が略半円形状のメッシュ線状部2bからな
るメッシュ部2、凹部5、メッシュ部2の周囲に設けら
れた、ペーストを通過させない非開口部3などを備え
た、本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版1
を得ることができる。なお、このスクリーン印刷版1の
メッシュ部2の厚みは18μm、凹部5の深さは12μm
である。
らなるスクリーン印刷版を製造する場合を例にとって説
明したが、本願発明のスクリーン印刷版は、構成材料に
特別の制約はなく、ニッケル以外の種々の材料を用いる
ことが可能である。
みを18μm、凹部の深さを12μmとした場合を例にと
って説明したが、メッシュ部の厚み、凹部の深さはこれ
に限られるものではなく、本願発明の範囲内において、
任意に変化させることが可能である。
の断面形状が略半円形状である場合を例にとって説明し
たが、略半楕円形状などの他の形状とすることが可能で
ある。
も、上記実施形態に限定されるものではなく、メッシュ
部の形状やメッシュ開口穴の平面形状その他に関し、発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。
スクリーン印刷版は、メッシュ部を構成するメッシュ線
状部の長手方向に直交する方向の断面形状を、印刷面側
に円弧部分が向くような略半円又は略半楕円形状とする
ようにしているので、例えば、上方からスクリーン印刷
版にスキージを押圧した場合において、メッシュ線状部
の下面が被印刷体に当接する場合にも、メッシュ線状部
の下面と被印刷体の接触状態が線接触の状態となり、メ
ッシュ開口穴を通過したペーストが入り込むスペースが
確保されることになり、薄膜のペースト印刷膜を形成す
べき場合にも、被印刷体のペーストを印刷すべき領域
に、いわゆるメッシュ跡のない、均一なペースト印刷膜
を形成することができる。
に、メッシュ部の厚みを1〜30μmとし、印刷パター
ン形状に対応する平面形状を有する凹部の深さを1〜3
0μmとする(すなわち、メッシュ部の周囲の厚みをメ
ッシュ部の厚みよりも1〜30μm厚くする)ようにし
た場合、膜厚が薄く、形状精度の高いペースト印刷膜を
確実に形成することが可能になり、本願発明をより実効
あらしめることができる。
に、少なくともメッシュ部及び非開口部を、金属材料を
用いて一体に形成することにより、形状精度が高く、耐
久性に優れたスクリーン印刷版を得ることが可能にな
り、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
印刷版の製造方法は、基材上にメッシュ開口穴形成用レ
ジストを配設する工程、基材上に、電気めっき法によ
り、メッシュ線状部及びメッシュ部の周辺部を構成する
メッシュ部形成用金属膜を形成する工程、メッシュ線状
部及びメッシュ開口穴形成用レジストなどの上に、凹部
に相当する形状となるように凹部形成用レジストを形成
する工程、メッシュ部形成用金属膜上に、凹部の周辺部
を構成する周辺部形成用金属膜を形成する工程、メッシ
ュ開口穴形成用レジスト及び凹部形成用レジストを除去
する工程などを経てスクリーン印刷版を製造するように
しているので、めっき量を精度よく制御することによ
り、版厚みが薄く、かつ、各部の寸法精度が高く、薄膜
印刷に適したスクリーン印刷版(すなわち、本願請求項
1〜3のスクリーン印刷版)を確実に製造することが可
能になり、本願発明を実効あらしめることができる。
版の要部を印刷面側から示した斜視図である。
版を使用してペーストの印刷を行っている状態を示す断
面図である。
版を使用して、被印刷体上に形成したペースト印刷膜を
示す斜視図である。
スクリーン印刷版の製造方法の各工程を模式的に示す図
である。
印刷を行っている状態を示す断面図である。
上に形成したペースト印刷膜を示す斜視図である。
Claims (4)
- 【請求項1】印刷パターン形状に略対応する形状の所定
の領域に、印刷すべきペーストを通過させる複数のメッ
シュ開口穴を配設してなるメッシュ部と、 前記メッシュ部の周囲に設けられた、ペーストを通過さ
せない非開口部と、 メッシュ部の被印刷体に対向する印刷面側に形成され
た、所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部とを一体に備えたスクリーン印刷版であって、 前記メッシュ部を構成するメッシュ線状部の長手方向に
直交する方向の断面形状が、前記印刷面側に円弧部分が
向くような略半円又は略半楕円形状を有していることを
特徴とするスクリーン印刷版。 - 【請求項2】前記メッシュ部の厚みが1〜30μmの範
囲にあるとともに、前記凹部の深さが1〜30μmの範
囲にあることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印
刷版。 - 【請求項3】少なくとも前記メッシュ部及び前記非開口
部が、金属材料から一体に形成されていることを特徴と
する請求項1又は2記載のスクリーン印刷版。 - 【請求項4】請求項1〜3のいずれかに記載のスクリー
ン印刷版を製造する方法であって、 (a)基材上にメッシュ開口穴形成用レジストを配設する
工程と、 (b)前記基材上に、電気めっき法により、膜厚が前記メ
ッシュ開口穴形成用レジストの膜厚より大きくなり、か
つ、断面形状が略半円又は略半楕円形状になるように金
属を析出させることにより、メッシュ線状部及びメッシ
ュ部の周辺部を構成するメッシュ部形成用金属膜を形成
する工程と、 (c)前記メッシュ線状部及び前記メッシュ開口穴形成用
レジストと、前記メッシュ部形成用金属膜の一部の上
に、前記凹部に対応する形状となるように凹部形成用レ
ジストを配設する工程と、 (d)前記凹部形成用レジストが形成された領域を除い
て、前記メッシュ部形成用金属膜上に、電気めっき法に
より金属を析出させて、前記凹部の周辺部を構成する周
辺部形成用金属膜を形成する工程と、 (e)前記メッシュ開口穴形成用レジスト及び凹部形成用
レジストを除去する工程と、 (f)前記基材から、形成されたスクリーン印刷版を剥離
する工程とを具備することを特徴とするスクリーン印刷
版の製造方法。
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