JPH09162262A - ウエハの搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウエハ加工工場のクリーンルーム等の床面を自
由に走行可能にして小回がきくようにする。 【解決手段】パイプ材で形成されたシャシ１と、シャシ
１の下部に取付けられた走行輪６と、シャシ１の上部に
下面を開放して区画形成されウエハＷを並列収納したカ
セットＣを収容するクリーンチャンバ１２と、クリーン
チャンバ１２の上部に設けられクリーンチャンバ１２に
クリーンエアシャワをダウンフロウするシャワ機構１７
と、クリーンチャンバ１２の側部に設けられカセットＣ
を出入れ可能な扉１３と、シャシ１に支持されてクリー
ンチャンバ１２の内部に設置されカセットＣが載せられ
る荷台１５と、シャシ１と荷台１５との間に介装された
振動減衰部材１６と、シャシ１の下部に搭載されシャワ
機構１７の駆動源となるバッテリ７とを備えてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ加工工場の
クリーンルーム等でウエハを搬送する搬送台車に係る技
術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】最近、１２インチ径のウエハが主流にな
る等、ウエハ加工工場で取扱われるウエハが大型化する
傾向がある。このため、クリーンルーム等でウエハ（ウ
エハを並列収納したカセット）を人力で搬送することが
重量的，容積的に困難になってきている。

【０００３】従来、ウエハの搬送手段としては、例え
ば、クリーンルームの床面または天井面に専用レールを
配設し、カセットを載せた台車を専用レールに沿って走
行させるようにしたものが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述の従来のウエハの
搬送手段では、クリーンルームに配置されている全ての
加工エリアや各加工エリアのカセット受渡ポイントまで
専用レールを配設することが不可能である。また、技術
革新に対応して煩雑に配置が変更される加工エリアに対
して、常に専用レールを変更配設することは不可能であ
る。このため、カセットを人力で搬送しなければならな
い部分が残るという問題点がある。

【０００５】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、ウエハ加工工場のクリーンルーム等の床
面を自由に走行可能な小回のきくウエハの搬送台車を提
供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、本発明に係るウエハの搬送台車は、次のような手段
を採用する。

【０００７】即ち、請求項１では、パイプ材で形成され
たシャシと、シャシの下部に取付けられた走行輪と、シ
ャシの上部に下面を開放して区画形成されウエハを並列
収納したカセットを収容するクリーンチャンバと、クリ
ーンチャンバの上部に設けられクリーンチャンバにクリ
ーンエアシャワをダウンフロウするシャワ機構と、クリ
ーンチャンバの側部に設けられカセットを出入れ可能な
扉と、シャシに支持されてクリーンチャンバの内部に設
置されカセットが載せられる荷台と、シャシと荷台との
間に介装された振動減衰部材と、シャシの下部に搭載さ
れシャワ機構の駆動源となるバッテリとを備えてなる。

【０００８】この手段では、走行輪を備えているため、
ウエハ加工工場のクリーンルーム等の床面を自由な方向
へ走行可能である。走行中に生ずる床面の凹凸による振
動については、振動減衰部材によってウエハの保護が図
られる。また、走行中に遭遇する汚染空気については、
シャワ機構によりウエハの保護が図られる。また、走行
中に車体に接触する床面の埃については、荷台の設置高
さとシャワ機構とによりウエハの保護が図られる。ま
た、パイプ材のシャシは、車体を軽量化するとともに、
車体にある程度の耐荷重強度を備える。

【０００９】また、請求項２では、請求項１のウエハの
搬送台車において、バッテリで駆動される駆動部を走行
輪に連結したことを特徴とする。

【００１０】この手段では、走行輪が電動駆動され人力
の関与がより削減可能になる。

【００１１】また、請求項３では、請求項１または２の
ウエハの搬送台車において、バッテリに充電機を接続し
たことを特徴とする。

【００１２】この手段では、非走行時等を利用しての充
電が可能になり、汚染等の制約のあるクリーンルームの
内部でのバッテリ交換が不要となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るウエハの搬送
台車の実施の形態を図面に基いて説明する。

【００１４】この実施例では、図１，図２に示されるよ
うに、円形のパイプ材で箱形の骨組み形状にシャシ１を
形成してなるものを示してある。

【００１５】シャシ１は、ほぼ４角形の環状形に形成さ
れた両側面の２つの主パイプ１ａ，１ｂと、両主パイプ
１ａ，１ｂの間または主パイプ１ａ，１ｂの環状形の間
に掛渡されたタイパイプ１ｃとからなる。

【００１６】シャシ１の下部には、主パイプ１ａ，１ｂ
を下方へ突出させたバンパ２が設けられ、後述の駆動部
５，走行輪６等を衝突衝撃から保護している。このバン
パ２には、カバー３が取付けられている。

【００１７】シャシ１の下部のバンパ２の上方には、底
板４が水平に張設されている。

【００１８】底板４の下面には、駆動部５と走行輪６と
が取付けられている。駆動部５は、電動モータ５ａと減
速機５ｂとからなる。走行輪６は、図５に示されるよう
に駆動部５の減速機５ｂに連結された１輪の駆動走行輪
６ａと、少なくとも２輪の転回可能な操舵走行輪６ｂと
からなる。

【００１９】底板４の上面には、バッテリ７と充電機８
とカバー９とが搭載されている。バッテリ７は、前述の
駆動部５の電動モータ５ａと後述のシャワ機構１７の電
動モータ１７ａとに図示しない電気コードで接続され、
これ等の駆動源になっている。充電機８は、バッテリ７
に接続されて、電源Ｅからバッテリ７に充電することが
できるようになっている。カバー９は、ウエハＷへの電
気的影響を防止するためにバッテリ７，充電機８を絶縁
被覆す絶縁性の良好な合成樹脂材等からなる本体部９ａ
と、本体部９ａの内部を開閉点検可能な扉９ｂと、扉９
ｂを開閉可能にするヒンジ９ｃと、扉９ｂを開閉する際
に指で掴む摘み９ｄとからなる。

【００２０】シャシ１の中央部付近の後面側には、シャ
シ１の両主パイプ１ａ，１ｂの間に円形のパイプ材を掛
渡してなる手掛部１０が突出して設けられている。この
手掛部１０は、搬送作業員が手で掴むハンドルとなるも
ので、前述の駆動部５の電動モータ５ａと後述のシャワ
機構１７の電動モータ１７ａとを制御する操作スイッチ
１１が取付けられている。

【００２１】シャシ１の中央部付近から上方には、ウエ
ハＷへの電気的影響を防止する絶縁性の良好な合成樹脂
材等の板材で区画されたクリーンチャンバ１２が設けら
れている。このクリーンチャンバ１２は、ウエハＷを並
列収納したカセットＣを収容可能な容積を備えている。

【００２２】クリーンチャンバ１２の下面は、開放され
ている。

【００２３】クリーンチャンバ１２の側部には、カセッ
トＣを出入れする扉１３が設けられている。この扉１３
は、取手１３ａが取付けられた扉板１３ｂをヒンジ１３
ｃで観音開き可能にしてなるもので、取手１３ａに手を
掛けて簡単にカセットＣの出入れ口を広く開放すること
ができるようになっている。

【００２４】クリーンチャンバ１２の上部には、後述の
シャワ機構１７を点検等するための蓋１４が設けられて
いる。この蓋１４は、前面側に摘み１４ａが取付けられ
た湾曲形の蓋板１４ｂを後面側でヒンジ１４ｃにより開
閉可能にしてなるもので、指で摘み１４ａを掴んでクリ
ーンチャンバ１２の上面側（シャワ機構１７）を広く開
放することができるようになっている。

【００２５】クリーンチャンバ１２の内部の下部側に
は、カセットＣを載せる荷台１５が設置されている。こ
の荷台１５は、図４に詳細に示されるように、パンチン
グ板のように小孔が多数穿孔されカセットＣの底面に当
接する棚板１５ａと、シャシ１に溶接等で固定された取
付ブラケット１５ｂと、棚板１５ａ，取付ブラケット１
５ｂを連結するボルト１５ｃとからなる。なお、棚板１
５ａ，取付ブラケット１５ｂの間には、シャシ１側（取
付ブラケット１５ｂ）の振動がウエハＷ（棚板１５ａ）
に伝達されるのを低減する振動減衰部材１６が装備され
ている。この振動減衰部材１６は、棚板１５ａ，取付ブ
ラケット１５ｂに当接する座板１６ａと、座板１６ａを
介して棚板１５ａ，取付ブラケット１５ｂを弾圧するコ
イルスプリング１６ｂとからなる。

【００２６】クリーンチャンバ１２の内部の上部側に
は、カセットＣにクリーンエアシャワをダウンフロウす
るシャワ機構１７が設置されている。このシャワ機構１
７は、図３に詳細に示されるように、前述のバッテリ７
を駆動源とする電動モータ１７ａと、電動モータ１７ａ
で回転駆動されるシロッコファンからなるブロア１７ｂ
と、クリーンチャンバ１２を区画する板材に開口されク
リーンチャンバ１２の外部から空気を導入する空気取入
口１７ｃと、ブロア１７ｂの送風をクリーンチャンバ１
２の下方へ案内する風胴１７ｄと、ブロア１７ｂの送風
が通過してクリーン化されるフィルタ１７ｅとからな
る。

【００２７】クリーンチャンバ１２の内部の上部側のシ
ャワ機構１７のフィルタ１７ｅの下方には、静電気を除
去する静電気除去機構１８が設置されている。

【００２８】このように構成された実施の形態では、パ
イプ材でシャシ１を形成しているため、車体全体が軽量
化されるとともに、車体にある程度の耐荷重強度が備え
られれる。また、構造が簡素であるため、安価，容易に
製造することができる。

【００２９】そして、使用に際しては、走行輪６を備え
ているため、従来のように専用レールに拘束されること
なく、ウエハ加工工場のクリーンルーム等の床面Ｆを自
由な方向へ走行可能である。従って、クリーンルームに
配置されている全ての加工エリアや、各加工エリアのカ
セット受渡ポイントまで走行することができ、人力によ
る搬送をほとんど消失させることができる。

【００３０】この走行では、操作スイッチ１１の操作に
より走行輪６の駆動走行輪６を回転駆動して自走させ、
手掛部１０の操作により走行輪６の操舵走行輪６ｂを転
回させて走行方向の変更を行うことになる。従って、近
接して設けられている操作スイッチ１１，手掛部１０の
操作で走行を制御することができるため、走行制御が容
易である。

【００３１】また、重量のあるバッテリ７，充電機８が
シャシ１の下部に搭載されているため、車体全体の重心
が低くなる。従って、走行姿勢が安定し不測に転倒，傾
倒することはない。

【００３２】また、床面Ｆでの自由な方向への走行中に
生ずる床面Ｆの凹凸による振動は、振動減衰部材１６に
よって減衰され、荷台１５の棚板１５ａにはほとんど伝
達されない。従って、荷台１５の棚板１５ａに載せられ
ているカセットＣに収納されているウエハＷが振動で欠
損したりカセットＣとの間で静電気を起生することがな
い。

【００３３】また、床面Ｆでの自由な方向への走行中に
遭遇する汚染空気は、シャワ機構１７を通過してクリー
ン化される。そして、ウエハＷには、常にクリーン化さ
れたクリーンエアシャワが浴びせられる。従って、ウエ
ハＷが汚染空気で汚染されることはない。なお、シャワ
機構１７のブロア１７ｂがシロッコファンであるため、
小型でもかなりの風量を得ることができる。

【００３４】また、床面Ｆでの自由な方向への走行中に
車体に接触する床面Ｆの埃は、ウエハＷの載置高さとな
る荷台１５の棚板１５ａが床面Ｆから一定の設置高さｄ
に設定されていること、ウエハＷに常にクリーン化され
たクリーンエアシャワが浴びせられることにより、ウエ
ハＷに接触することはない。

【００３５】さらに、使用に際しては、図６に示すよう
に、クリーンチャンバ１２にカセットＣを収容して所定
の位置まで搬送する外に、クリーンチャンバ１２にカセ
ットＣを収容して一定の位置で駐車させ、ストッカとし
て機能させることも可能である。なお、駐車中に電源Ｅ
と充電機８とを電気コードＬで接続しておけば、駐車中
のシャワ機構１７の駆動が確保されるとともに、その後
の搬送の際の駆動部５の駆動も確実に行うことができ
る。

【００３６】以上、図示した実施の形態の外に、走行輪
６を改造して有線，無線による遠隔操作で走行させるよ
うに構成することも可能である。

【００３７】さらに、シャワ機構１７のブロア１７ｂを
駆動するバッテリ７と走行輪６の駆動部５を駆動するバ
ッテリ７と別個に搭載する構成とすることも可能であ
る。

【００３８】さらに、振動減衰機構１６を他の構造のバ
ネ材やゴム材で構成することも可能である。

【００３９】

【実施例】前述の図示した実施の形態では、１２インチ
径のウエハＷを２０枚程度並列収容したカセットＣを４
個クリーンチャンバ１２に収容するものとすると、車体
の高さａを１５００ｍｍとし、前後長ｂを１０５０ｍｍ
とし、左右長ｃを９００ｍｍとして、荷台１５の棚板１
５ａの床面Ｆから一定の高さｄを９００ｍｍとするのが
好適である。

【００４０】

【発明の効果】以上のように本発明に係るウエハの搬送
台車は、走行輪によりウエハ加工工場のクリーンルーム
等の床面を自由な方向へ走行可能であり、クリーンルー
ムに配置されている全ての加工エリアや各加工エリアの
カセット受渡ポイントまで走行することができ、人力に
よる搬送をほとんど消失させることができる効果があ
る。

【００４１】さらに、振動減衰機構，シャワ機構，荷台
の設置高さにより走行に伴う振動，汚染等の障害から搬
送中のウエハを保護することができる効果がある。

【００４２】さらに、シャシがパイプ材で形成されてい
るため、構造が簡素で製造が安価，容易であり、軽量で
耐荷重性が高く走行性に優れている効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハの搬送台車の実施の形態を
示す側面図である。

【図２】本発明に係るウエハの搬送台車の実施の形態を
示す後面図である。

【図３】図１の要部の拡大断面図である。

【図４】図１の他の要部の拡大断面図である。

【図５】図１のさらに他の要部の拡大断面図である。

【図６】本発明に係るウエハの搬送台車の実施の形態の
使用例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ シャシ ５ 駆動部 ６ 走行輪 ７ バッテリ ８ 充電機 １２ クリーンチャンバ １３ 扉 １５ 荷台 １６ 振動減衰部材 １７ シャワ機構 Ｃ カセット Ｗ ウエハ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パイプ材で形成されたシャシと、シャシ
   の下部に取付けられた走行輪と、シャシの上部に下面を
   開放して区画形成されウエハを並列収納したカセットを
   収容するクリーンチャンバと、クリーンチャンバの上部
   に設けられクリーンチャンバにクリーンエアシャワをダ
   ウンフロウするシャワ機構と、クリーンチャンバの側部
   に設けられカセットを出入れ可能な扉と、シャシに支持
   されてクリーンチャンバの内部に設置されカセットが載
   せられる荷台と、シャシと荷台との間に介装された振動
   減衰部材と、シャシの下部に搭載されシャワ機構の駆動
   源となるバッテリとを備えてなるウエハの搬送台車。
2. 【請求項２】 請求項１のウエハの搬送台車において、
   バッテリで駆動される駆動部を走行輪に連結したことを
   特徴とするウエハの搬送台車。
3. 【請求項３】 請求項１または２のウエハの搬送台車に
   おいて、バッテリに充電機を接続したことを特徴とする
   ウエハの搬送台車。