JPH09161498A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
- Publication number
- JPH09161498A JPH09161498A JP31694095A JP31694095A JPH09161498A JP H09161498 A JPH09161498 A JP H09161498A JP 31694095 A JP31694095 A JP 31694095A JP 31694095 A JP31694095 A JP 31694095A JP H09161498 A JPH09161498 A JP H09161498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bit line
- circuit
- line
- potential
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不良ビット線をリファレンス線とイコライズ
することを防止する半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 列アドレス比較回路2が複数のビット線
の中から任意のビット線を特定するアドレス信号を受け
取り、前記特定されたビット線が正常なビット線か不良
ビット線かを、前記アドレス信号に基づいて判断し、判
断した情報を含む制御信号を選択イコライズ手段5に出
力する。前記特定されたビット線が正常なビット線であ
る場合、選択イコライズ手段5が前記特定されたビット
線の電位とリファレンス線の電位とを等しくする。前記
特定されたビット線が不良ビット線である場合、前記選
択イコライズ手段5が少なくとも1つの予備ビット線の
うちの1つの予備ビット線の電位と前記リファレンス線
の電位とを等しくする。
することを防止する半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 列アドレス比較回路2が複数のビット線
の中から任意のビット線を特定するアドレス信号を受け
取り、前記特定されたビット線が正常なビット線か不良
ビット線かを、前記アドレス信号に基づいて判断し、判
断した情報を含む制御信号を選択イコライズ手段5に出
力する。前記特定されたビット線が正常なビット線であ
る場合、選択イコライズ手段5が前記特定されたビット
線の電位とリファレンス線の電位とを等しくする。前記
特定されたビット線が不良ビット線である場合、前記選
択イコライズ手段5が少なくとも1つの予備ビット線の
うちの1つの予備ビット線の電位と前記リファレンス線
の電位とを等しくする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビット線の電圧と
リファレンス線の電圧との比較により読み出しを行う半
導体記憶装置に関するもので、特に選択イコライズ回路
および冗長救済機構を備ている半導体記憶装置に関す
る。
リファレンス線の電圧との比較により読み出しを行う半
導体記憶装置に関するもので、特に選択イコライズ回路
および冗長救済機構を備ている半導体記憶装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図8(a)は、冗長機構を持たない従来の
半導体記憶装置を示している。
半導体記憶装置を示している。
【0003】図8(a)の半導体記憶装置にアドレス情報
を含むアドレス信号が入力されると、アドレス情報を含
む信号に基づいて、メモリセルMS000、MS001
〜MS00n〜MS0n0、およびMS0n1〜MS0
nnの中から、例えばメモリセルMS001に格納され
ている情報が装置の外部に読み出される。メモリセルM
S000、MS001〜MS00n〜MS0n0、およ
びMS0n1〜MS0nnは、ワード線W0、W1〜W
nのそれぞれに接続されている。
を含むアドレス信号が入力されると、アドレス情報を含
む信号に基づいて、メモリセルMS000、MS001
〜MS00n〜MS0n0、およびMS0n1〜MS0
nnの中から、例えばメモリセルMS001に格納され
ている情報が装置の外部に読み出される。メモリセルM
S000、MS001〜MS00n〜MS0n0、およ
びMS0n1〜MS0nnは、ワード線W0、W1〜W
nのそれぞれに接続されている。
【0004】以下に、メモリセルMS001に格納され
ている情報を読み出す動作について述べる。メモリセル
に格納されている情報を読み出すときには、トランジス
タTs0およびTsrefのゲート電極に接続されてい
る線Sg0およびSgrがハイレベルになり、トランジ
スタTs0およびTsrefがオン状態になる。メモリ
セルMS001のゲート電極に所望の電圧を印加するた
めに、ゲート電極に接続されているゲート線W1に所望
の電圧を印可する。ここで、所望の電圧とは、従来の第
1の半導体記憶装置に供給される電源電圧と同じレベル
の電圧、または供給される電源電圧が昇圧回路(図示さ
れず)によって昇圧された電圧、つまり供給される電源
電圧よりも高いレベルの電圧である。メモリセルMS0
01に格納されている情報は、第1のビット線B00を
介して接続されているバイアス回路Bias0に送られ
る。このとき、スイツチ回路S00は、オン状態になっ
ており、第1のビット線B00は、第2のビット線B0
と電気的に接続されている。
ている情報を読み出す動作について述べる。メモリセル
に格納されている情報を読み出すときには、トランジス
タTs0およびTsrefのゲート電極に接続されてい
る線Sg0およびSgrがハイレベルになり、トランジ
スタTs0およびTsrefがオン状態になる。メモリ
セルMS001のゲート電極に所望の電圧を印加するた
めに、ゲート電極に接続されているゲート線W1に所望
の電圧を印可する。ここで、所望の電圧とは、従来の第
1の半導体記憶装置に供給される電源電圧と同じレベル
の電圧、または供給される電源電圧が昇圧回路(図示さ
れず)によって昇圧された電圧、つまり供給される電源
電圧よりも高いレベルの電圧である。メモリセルMS0
01に格納されている情報は、第1のビット線B00を
介して接続されているバイアス回路Bias0に送られ
る。このとき、スイツチ回路S00は、オン状態になっ
ており、第1のビット線B00は、第2のビット線B0
と電気的に接続されている。
【0005】バイアス回路Bias0は、差動増幅回路
100と接続されており、差動増幅回路100の入力部
102には、メモリセルMS001の閾値の電圧に基づ
いて、ビット線に電圧が現れる。バイアス回路は、図8
(b)に示すフィードバック回路を有している。なお、フ
ィードバック回路は、トランジスタからなる別の構成に
よっても実現することができ、図8(b)に示すものに限
定されない。フィードバック回路の動作を、以下に簡単
に説明する。
100と接続されており、差動増幅回路100の入力部
102には、メモリセルMS001の閾値の電圧に基づ
いて、ビット線に電圧が現れる。バイアス回路は、図8
(b)に示すフィードバック回路を有している。なお、フ
ィードバック回路は、トランジスタからなる別の構成に
よっても実現することができ、図8(b)に示すものに限
定されない。フィードバック回路の動作を、以下に簡単
に説明する。
【0006】メモリセルMS001の閾値電圧がゲート
線W1の電圧よりも高く設定されている場合、選択され
たメモリセルMS001は導通しない。このため、第1
のビット線B00の電圧がハイレベルに保たれる。その
結果、フィードバック回路の出力端子aの電圧がロウレ
ベルになり、転送ゲート用NチャネルトランジスタT1
が高抵抗状態になる。従って、メモリセルの閾値の電圧
がゲート電極の電圧よりも高く設定されているメモリセ
ルが選択された場合、第2のビット線B0はハイレベル
になり、差動増幅回路100の入力の端子102の電圧
がハイレベルになる。
線W1の電圧よりも高く設定されている場合、選択され
たメモリセルMS001は導通しない。このため、第1
のビット線B00の電圧がハイレベルに保たれる。その
結果、フィードバック回路の出力端子aの電圧がロウレ
ベルになり、転送ゲート用NチャネルトランジスタT1
が高抵抗状態になる。従って、メモリセルの閾値の電圧
がゲート電極の電圧よりも高く設定されているメモリセ
ルが選択された場合、第2のビット線B0はハイレベル
になり、差動増幅回路100の入力の端子102の電圧
がハイレベルになる。
【0007】一方、メモリセルMS001の閾値電圧が
ゲート線W1の電圧よりも低く設定されている場合、選
択されたメモリセルMS001は導通する。このため、
第1のビット線B00の電圧がロウレベルに保たれる。
その結果、フィードバック回路の出力端子aの電圧がハ
イレベルになり、転送ゲート用Nチャネルトランジスタ
T1が低抵抗状態になる。従って、メモリセルの閾値の
電圧がゲート電極の電圧よりも低く設定されているメモ
リセルが選択された場合、第2のビット線B0はローレ
ベルになり、差動増幅回路100の入力の端子102の
電圧がローレベルになる。
ゲート線W1の電圧よりも低く設定されている場合、選
択されたメモリセルMS001は導通する。このため、
第1のビット線B00の電圧がロウレベルに保たれる。
その結果、フィードバック回路の出力端子aの電圧がハ
イレベルになり、転送ゲート用Nチャネルトランジスタ
T1が低抵抗状態になる。従って、メモリセルの閾値の
電圧がゲート電極の電圧よりも低く設定されているメモ
リセルが選択された場合、第2のビット線B0はローレ
ベルになり、差動増幅回路100の入力の端子102の
電圧がローレベルになる。
【0008】同様に、リファレンスセルTrefの閾値
電圧が所定の値に設定されている場合、リファレンスセ
ルTrefのゲート電極に接続されているワード線Wr
efがハイレベルになり、差動増幅回路100の入力の
端子104に一定の電圧、つまり基準電圧であるリファ
レンス電圧が現れる。リファレンスセルは、トランジス
タから構成されていてもよい。スイッチ回路Sref
は、常にオン状態であるので、リファレンス線Bref
はリファレンス線Brと常に電気的に接続されている。
なお、スイッチ回路Srefは、スイッチ回路S00〜
S0nがオン状態になるときに、オン状態になるように
してもよい。
電圧が所定の値に設定されている場合、リファレンスセ
ルTrefのゲート電極に接続されているワード線Wr
efがハイレベルになり、差動増幅回路100の入力の
端子104に一定の電圧、つまり基準電圧であるリファ
レンス電圧が現れる。リファレンスセルは、トランジス
タから構成されていてもよい。スイッチ回路Sref
は、常にオン状態であるので、リファレンス線Bref
はリファレンス線Brと常に電気的に接続されている。
なお、スイッチ回路Srefは、スイッチ回路S00〜
S0nがオン状態になるときに、オン状態になるように
してもよい。
【0009】リファレンス電圧は、差動増幅回路100
の入力の端子102に現れる、ハイレベルおよびロウレ
ベルのほぼ真ん中のレベルになるように、リファレンス
セルTrefの閾値電圧が予め調整されている。ここ
で、ロウレベルとは例えば0ボルトであり、ハイレベル
とは例えば、5ボルトである。
の入力の端子102に現れる、ハイレベルおよびロウレ
ベルのほぼ真ん中のレベルになるように、リファレンス
セルTrefの閾値電圧が予め調整されている。ここ
で、ロウレベルとは例えば0ボルトであり、ハイレベル
とは例えば、5ボルトである。
【0010】差動増幅回路100は、入力の端子102
の電圧および入力の端子104の電圧の関係から、メモ
リセルに記憶されている情報が”0”であるか”1”で
あるかを判別する。そして、その判断した結果の信号が
端子106から外部の回路に出力される。
の電圧および入力の端子104の電圧の関係から、メモ
リセルに記憶されている情報が”0”であるか”1”で
あるかを判別する。そして、その判断した結果の信号が
端子106から外部の回路に出力される。
【0011】一般に、第1のビット線には多数のメモリ
セルのドレイン電極が並列に接続されていること、それ
によりビット線の配線が長くなることにより、そのよう
な半導体記憶装置では比較的大きな浮遊容量(寄生容
量)が存在する。このため、バイアス回路は、スイッチ
回路によって選択されたビット線の浮遊容量に電荷の充
電をするために、プリチャージを行う。バイアス回路の
バイアス用トランジスタTbias0およびTbias
rだけでなくフィードバック回路内のプリチャージ用ト
ランジスタTcharをも用いて、プリチャージが行わ
れる。プリチャージ中には、正確なビット線の電圧およ
びリファレンス電圧が得られれないため、差動増幅回路
100を動作させないようにしなければならない。この
ため、センスイネーブル信号Saenによって差動増幅
回路が動作しないように制御される。従って、プリチャ
ージ中には、差動増幅回路100が誤った出力信号を出
力しない。
セルのドレイン電極が並列に接続されていること、それ
によりビット線の配線が長くなることにより、そのよう
な半導体記憶装置では比較的大きな浮遊容量(寄生容
量)が存在する。このため、バイアス回路は、スイッチ
回路によって選択されたビット線の浮遊容量に電荷の充
電をするために、プリチャージを行う。バイアス回路の
バイアス用トランジスタTbias0およびTbias
rだけでなくフィードバック回路内のプリチャージ用ト
ランジスタTcharをも用いて、プリチャージが行わ
れる。プリチャージ中には、正確なビット線の電圧およ
びリファレンス電圧が得られれないため、差動増幅回路
100を動作させないようにしなければならない。この
ため、センスイネーブル信号Saenによって差動増幅
回路が動作しないように制御される。従って、プリチャ
ージ中には、差動増幅回路100が誤った出力信号を出
力しない。
【0012】以下に、図8(a)の半導体記憶装置のビッ
ト線および端子106における各電圧と時間との関係を
図9を用いて説明する。
ト線および端子106における各電圧と時間との関係を
図9を用いて説明する。
【0013】太線Vpは、メモリセルの閾値電圧がワー
ド線電圧よりも高く設定されている場合に、そのメモリ
セルが選択されたときのビット線の電圧を表している。
太い点線Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも低く設定されている場合に、メモリセルが選択さ
れたときのビット線の電圧を表している。太い破線Vr
efは、リファレンス電圧を表している。電圧Vout
eは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも低く
設定されている場合に差動増幅回路100の端子106
の電圧を表している。電圧Voutpは、メモリセルの
閾値電圧がワード線電圧よりも高く設定されている場合
に差動増幅回路100の端子106の電圧を表してい
る。なお、差動増幅回路100の端子106の電圧Vo
utpおよびVouteは、逆であってもよい。つま
り、電圧Voutpは、メモリセルの閾値電圧がワード
線電圧よりも低く設定されている場合に差動増幅回路1
00の端子106の電圧を表し、電圧Vouteは、メ
モリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも高く設定され
ている場合に差動増幅回路100の端子106の電圧を
表してもよい。
ド線電圧よりも高く設定されている場合に、そのメモリ
セルが選択されたときのビット線の電圧を表している。
太い点線Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも低く設定されている場合に、メモリセルが選択さ
れたときのビット線の電圧を表している。太い破線Vr
efは、リファレンス電圧を表している。電圧Vout
eは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも低く
設定されている場合に差動増幅回路100の端子106
の電圧を表している。電圧Voutpは、メモリセルの
閾値電圧がワード線電圧よりも高く設定されている場合
に差動増幅回路100の端子106の電圧を表してい
る。なお、差動増幅回路100の端子106の電圧Vo
utpおよびVouteは、逆であってもよい。つま
り、電圧Voutpは、メモリセルの閾値電圧がワード
線電圧よりも低く設定されている場合に差動増幅回路1
00の端子106の電圧を表し、電圧Vouteは、メ
モリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも高く設定され
ている場合に差動増幅回路100の端子106の電圧を
表してもよい。
【0014】プリチャージ信号Eqonが出力されてい
る期間Tpreでは、ビット線電圧VpおよびVeが一
時的に低レベルに落ち込んでいる。これは、初期状態で
はビット線がロウレベルになっているためである。期間
Tpreで、トランジスタTbias0およびTcha
rの両方によってチャージされたビット線では、徐々に
充電されて電位が上昇する。
る期間Tpreでは、ビット線電圧VpおよびVeが一
時的に低レベルに落ち込んでいる。これは、初期状態で
はビット線がロウレベルになっているためである。期間
Tpreで、トランジスタTbias0およびTcha
rの両方によってチャージされたビット線では、徐々に
充電されて電位が上昇する。
【0015】リファレンス線についても、ビット線と同
様に浮遊容量(寄生容量)が存在するため、リファレン
ス線に電荷を充電する必要がある。ビット線がチャージ
されると同時にリファレンス線が充電される。ビット線
と同様の理由で、リファレンス電圧Vrefが一時的に
低レベルになる。リファレンス電圧が適切なレベルにな
るまでの間、ある充電期間が必要である。
様に浮遊容量(寄生容量)が存在するため、リファレン
ス線に電荷を充電する必要がある。ビット線がチャージ
されると同時にリファレンス線が充電される。ビット線
と同様の理由で、リファレンス電圧Vrefが一時的に
低レベルになる。リファレンス電圧が適切なレベルにな
るまでの間、ある充電期間が必要である。
【0016】また、ノイズ期間Taの間、電圧Vpおよ
び電圧Veがリファレンス電圧Vrefより大きくなる
というノイズが発生する。ノイズ期間Taでは、リファ
レンス電圧Vefよりも低いはずのビット線の電圧Ve
がリファレンス電圧よりも高くなり、差動増幅回路の出
力端106の電圧Vouteが一時的にロウレベルの状
態に陥る。ノイズ期間Ta以降は、適切なビット線電圧
およびリファレンス電圧が得られており、電圧Vout
eはハイレベルの状態に戻る。このように、ビット線の
電圧Ve変動によって、差動増幅回路の出力端106の
電圧Vouteが変動するため、正しいデータが確定す
るまでに遅延時間Tnoiが必要になる。言い換える
と、正確なメモリセルに格納されている情報を読み出す
には、ノイズ期間Taを含む遅延時間Tnoiを必要と
する。つまり、チップ選択信号CE≠がハイレベルから
ロウレベルに推移してから正しいデータが出力されるま
での時間(チップイネーブルアクセス時間)、あるいは
チップ選択信号CE≠がロウレベルの状態でアドレス信
号が変化してから正しいデータが出力されるまでの時間
(アドレスアクセス時間)が増加することになる。な
お、印≠は、信号の論理否定を表している。例えば、信
号CE≠は、信号CEを論理否定した信号を表してい
る。
び電圧Veがリファレンス電圧Vrefより大きくなる
というノイズが発生する。ノイズ期間Taでは、リファ
レンス電圧Vefよりも低いはずのビット線の電圧Ve
がリファレンス電圧よりも高くなり、差動増幅回路の出
力端106の電圧Vouteが一時的にロウレベルの状
態に陥る。ノイズ期間Ta以降は、適切なビット線電圧
およびリファレンス電圧が得られており、電圧Vout
eはハイレベルの状態に戻る。このように、ビット線の
電圧Ve変動によって、差動増幅回路の出力端106の
電圧Vouteが変動するため、正しいデータが確定す
るまでに遅延時間Tnoiが必要になる。言い換える
と、正確なメモリセルに格納されている情報を読み出す
には、ノイズ期間Taを含む遅延時間Tnoiを必要と
する。つまり、チップ選択信号CE≠がハイレベルから
ロウレベルに推移してから正しいデータが出力されるま
での時間(チップイネーブルアクセス時間)、あるいは
チップ選択信号CE≠がロウレベルの状態でアドレス信
号が変化してから正しいデータが出力されるまでの時間
(アドレスアクセス時間)が増加することになる。な
お、印≠は、信号の論理否定を表している。例えば、信
号CE≠は、信号CEを論理否定した信号を表してい
る。
【0017】一般的に電源電圧が低い場合や動作温度が
高い場合に充電期間の相違が顕著に見られる傾向があ
る。なお、充電期間は、動作温度や電源電圧など多くの
要因によって変化し、一概に論ずることは難しい。
高い場合に充電期間の相違が顕著に見られる傾向があ
る。なお、充電期間は、動作温度や電源電圧など多くの
要因によって変化し、一概に論ずることは難しい。
【0018】リファレンス線の浮遊容量(寄生容量)と
ビット線の浮遊容量(寄生容量)とが異なるため、リフ
ァレンス線のプリチャージ期間とビット線のプリチャー
ジ期間とが異なる。このため、センス信号Saenが差
動増幅回路に入力され、差動増幅回路からの出力信号が
出力されるセンス期間Tsenであっても、正しい出力
信が出力されないノイズ期間(正しくセンスされない期
間)Taが存在する。従って、上述した従来の半導体記
憶装置には、アクセス時間が長くなるという問題点があ
った。
ビット線の浮遊容量(寄生容量)とが異なるため、リフ
ァレンス線のプリチャージ期間とビット線のプリチャー
ジ期間とが異なる。このため、センス信号Saenが差
動増幅回路に入力され、差動増幅回路からの出力信号が
出力されるセンス期間Tsenであっても、正しい出力
信が出力されないノイズ期間(正しくセンスされない期
間)Taが存在する。従って、上述した従来の半導体記
憶装置には、アクセス時間が長くなるという問題点があ
った。
【0019】上述した問題点を解決するために、ビット
線とリファレンス線を充電している期間の間、ビット線
とリファレンス線とを短絡するイコライズ回路によっ
て、ビット線とリファレンス線とを同じ電位にし、ビッ
ト線を充電する期間とリファレンス線を充電する期間と
を等しくして、充電期間の相違により発生するノイズを
押さえる手法が提案されている(特公平6−82520
号公報)。
線とリファレンス線を充電している期間の間、ビット線
とリファレンス線とを短絡するイコライズ回路によっ
て、ビット線とリファレンス線とを同じ電位にし、ビッ
ト線を充電する期間とリファレンス線を充電する期間と
を等しくして、充電期間の相違により発生するノイズを
押さえる手法が提案されている(特公平6−82520
号公報)。
【0020】この手法による半導体記憶装置を図10に
示す。上記半導体記憶装置は、図8(a)の半導体記憶装
置の構成に加えて、ビット線とリファレンス線とを短絡
するイコライズ回路を有している。イコライズ回路は、
プリチャージ期間に、イコライズ信号Eqonを受け取
り、ビット線とリファレンス線との間をNチャネルトラ
ンジスタTeqn1およびPチャネルトランジスタTe
qp1と、NチャネルトランジスタTeqn2およびP
チャネルトランジスタTeqp2を介してイコライズす
る。このことにより、ビット線の充電期間とファレンス
線の充電期間とを等しくすることができ、ビット線とリ
ファレンス線との充電期間の相違に起因して発生するノ
イズ期間Taが発生しない。
示す。上記半導体記憶装置は、図8(a)の半導体記憶装
置の構成に加えて、ビット線とリファレンス線とを短絡
するイコライズ回路を有している。イコライズ回路は、
プリチャージ期間に、イコライズ信号Eqonを受け取
り、ビット線とリファレンス線との間をNチャネルトラ
ンジスタTeqn1およびPチャネルトランジスタTe
qp1と、NチャネルトランジスタTeqn2およびP
チャネルトランジスタTeqp2を介してイコライズす
る。このことにより、ビット線の充電期間とファレンス
線の充電期間とを等しくすることができ、ビット線とリ
ファレンス線との充電期間の相違に起因して発生するノ
イズ期間Taが発生しない。
【0021】図11は、図10の半導体記憶装置のビッ
ト線における各電圧と時間との関係を示している。
ト線における各電圧と時間との関係を示している。
【0022】太線Vpは、メモリセルの閾値電圧がワー
ド線電圧よりも高く設定されている場合に、そのメモリ
セルが選択されたときのビット線の電圧を表している。
太い点線Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも低く設定されている場合に、メモリセルが選択さ
れたときのビット線の電圧を表している。太い破線Vr
efは、リファレンス電圧を表している。
ド線電圧よりも高く設定されている場合に、そのメモリ
セルが選択されたときのビット線の電圧を表している。
太い点線Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも低く設定されている場合に、メモリセルが選択さ
れたときのビット線の電圧を表している。太い破線Vr
efは、リファレンス電圧を表している。
【0023】プリチャージ期間Tpreの間、ビット線
およびリファレンス線がイコライズされているため電圧
Ve、電圧Vp、およびリファレンス電圧Vrefが同
電位になる。上述したようにイコライズすることによっ
て、従来の第2の半導体記憶装置では、図9に示される
ノイズ期間Taが存在しなくなり、電圧Vouteの余
分な充放電による遅延時間Tnoiも存在しない。この
ように、イコライズ回路は比較的簡単な構成で高速で正
確な読み出し動作を実現することができ、アクセスタイ
ム低減に有効な手段であると言える。
およびリファレンス線がイコライズされているため電圧
Ve、電圧Vp、およびリファレンス電圧Vrefが同
電位になる。上述したようにイコライズすることによっ
て、従来の第2の半導体記憶装置では、図9に示される
ノイズ期間Taが存在しなくなり、電圧Vouteの余
分な充放電による遅延時間Tnoiも存在しない。この
ように、イコライズ回路は比較的簡単な構成で高速で正
確な読み出し動作を実現することができ、アクセスタイ
ム低減に有効な手段であると言える。
【0024】しかしながら、イコライズ回路を冗長機構
を有する従来の半導体記憶装置に適用すると、後述する
ような問題が生じる。
を有する従来の半導体記憶装置に適用すると、後述する
ような問題が生じる。
【0025】図12、13および14は、冗長機構を有
する従来の半導体記憶装置を示している。
する従来の半導体記憶装置を示している。
【0026】図12に示すように、このビット線冗長機
構は、列アドレス記意回路(Contexts Add
ressab1e Memory:以下CAM回路と略
記する)201、列アドレス比較回路202、およびマ
ルチプレクサ回路203によって実現される。
構は、列アドレス記意回路(Contexts Add
ressab1e Memory:以下CAM回路と略
記する)201、列アドレス比較回路202、およびマ
ルチプレクサ回路203によって実現される。
【0027】通常、チップの出荷テスト時において、全
てのビット線が正常に駆動するか否かが確認される。こ
の確認よって、不良ビット線の存在が認められたなら
ば、不良ビット線が存在する列アドレスを列アドレス記
憶回路201に記憶させる。もし、不良ビット線に接続
しているメモリセルに対して、書き込みまたは消去の動
作が行われた場合、列アドレス比較回路202が制御信
号を出力し、マルチプレクサ回路203が制御信号に基
づいて不良ビット線を介して出力される信号が予備ビッ
ト線を介して出力される信号に置き換えられる。
てのビット線が正常に駆動するか否かが確認される。こ
の確認よって、不良ビット線の存在が認められたなら
ば、不良ビット線が存在する列アドレスを列アドレス記
憶回路201に記憶させる。もし、不良ビット線に接続
しているメモリセルに対して、書き込みまたは消去の動
作が行われた場合、列アドレス比較回路202が制御信
号を出力し、マルチプレクサ回路203が制御信号に基
づいて不良ビット線を介して出力される信号が予備ビッ
ト線を介して出力される信号に置き換えられる。
【0028】また、不良ビット線に接続しているメモリ
セルに対して、読み出し動作が行われた場合、データ幅
に応じた数のビット線(不良ビット線を含む)、リファ
レンスビット線および予備ビット線にプリチャージが行
なわれ、イコライズ回路がビット線、リファレンスビッ
ト線および予備ビット線をイコライズする。その後、セ
ンス回路系205の差動増幅回路(図示されず)が、ビ
ット線または予備ビット線と、リファレンスビット線と
に現れる電圧を比較して、メモリセルに格納されている
情報を有する信号をデータバス204を介してマルチプ
レクサ回路203に送る。
セルに対して、読み出し動作が行われた場合、データ幅
に応じた数のビット線(不良ビット線を含む)、リファ
レンスビット線および予備ビット線にプリチャージが行
なわれ、イコライズ回路がビット線、リファレンスビッ
ト線および予備ビット線をイコライズする。その後、セ
ンス回路系205の差動増幅回路(図示されず)が、ビ
ット線または予備ビット線と、リファレンスビット線と
に現れる電圧を比較して、メモリセルに格納されている
情報を有する信号をデータバス204を介してマルチプ
レクサ回路203に送る。
【0029】列アドレス比較回路202は、入力された
列アドレス情報の信号と、列アドレス記憶回路が出力す
る信号(不良ビット線の情報を有する情報の信号)とを
受け取り比較する。列アドレス比較回路202がビット
線の中に不良ビット線が存在するか否かを判定し、判定
した情報を有する制御信号をマルチプレクサ回路に出力
する。マルチプレクサ回路203は制御信号を受けと
り、制御信号に基づいて、差動増幅回路から送られてき
た信号の中に不良ビット線からの信号が含まれている場
合、不良ビット線からの信号を予備ビット線からの信号
に置き換える。正常なビット線からの信号と予備ビット
線からの信号とがマルチプレクサ回路203から出力さ
れる。
列アドレス情報の信号と、列アドレス記憶回路が出力す
る信号(不良ビット線の情報を有する情報の信号)とを
受け取り比較する。列アドレス比較回路202がビット
線の中に不良ビット線が存在するか否かを判定し、判定
した情報を有する制御信号をマルチプレクサ回路に出力
する。マルチプレクサ回路203は制御信号を受けと
り、制御信号に基づいて、差動増幅回路から送られてき
た信号の中に不良ビット線からの信号が含まれている場
合、不良ビット線からの信号を予備ビット線からの信号
に置き換える。正常なビット線からの信号と予備ビット
線からの信号とがマルチプレクサ回路203から出力さ
れる。
【0030】図13は、センスアンプ回路系205を詳
細に示している。センスアンプ回路系205は、差動増
幅回路SA0〜SA7およびRSA、バイアス回路SB
ia0〜SBia7、RSBiaおよびBiar、およ
びスイッチ回路S0〜S7、RS、およびSrefを有
している。
細に示している。センスアンプ回路系205は、差動増
幅回路SA0〜SA7およびRSA、バイアス回路SB
ia0〜SBia7、RSBiaおよびBiar、およ
びスイッチ回路S0〜S7、RS、およびSrefを有
している。
【0031】メモリセルMS000〜MS700、およ
びBMSは、第1のビット線B000〜B700、およ
びBMSを介してスイッチ回路S0〜S7、およびRS
にそれぞれ接続されている。メモリセルMS000〜M
S700に記憶されている情報は、スイッチ回路S0〜
S7、およびRSと、バイアス回路SBia0〜SBi
a7、およびRSBiaとを介して差動増幅回路SA0
〜SA7およびRSAに入力される。メモリセルに格納
されているデータを比較するための基準となるデータが
リファレンスセルTrefに格納されている。
びBMSは、第1のビット線B000〜B700、およ
びBMSを介してスイッチ回路S0〜S7、およびRS
にそれぞれ接続されている。メモリセルMS000〜M
S700に記憶されている情報は、スイッチ回路S0〜
S7、およびRSと、バイアス回路SBia0〜SBi
a7、およびRSBiaとを介して差動増幅回路SA0
〜SA7およびRSAに入力される。メモリセルに格納
されているデータを比較するための基準となるデータが
リファレンスセルTrefに格納されている。
【0032】差動増幅回路SA0〜SA7およびRSA
は、それぞれイコライズ回路を有している。それぞれの
イコライズ回路は、プリチャージ信号Eqon0〜Eq
on7およびREqonを受け取る。プリチャージ信号
に基づき、プリチャージ信号を受け取ったイコライズ回
路を有する差動増幅回路に接続されているビット線とリ
ファレンス線とがイコラズされる。ビット線が不良ビッ
ト線であっても、不良ビット線であるビット線とリファ
レンス線とがイコラズされる。
は、それぞれイコライズ回路を有している。それぞれの
イコライズ回路は、プリチャージ信号Eqon0〜Eq
on7およびREqonを受け取る。プリチャージ信号
に基づき、プリチャージ信号を受け取ったイコライズ回
路を有する差動増幅回路に接続されているビット線とリ
ファレンス線とがイコラズされる。ビット線が不良ビッ
ト線であっても、不良ビット線であるビット線とリファ
レンス線とがイコラズされる。
【0033】
【発明が解決しようとする課題】上述した冗長機構を持
つ半導体記憶回路には、以下に示すような問題点があ
る。
つ半導体記憶回路には、以下に示すような問題点があ
る。
【0034】図14のバイアス回路Blas0、スイッ
チ回路S00、およびメモリセルMS000、MS00
1〜MS00nは、図8(a)に示すそれらのものと同様
の構成である。図14では、ビット線B0に接続される
イコライズ回路を省略している。
チ回路S00、およびメモリセルMS000、MS00
1〜MS00nは、図8(a)に示すそれらのものと同様
の構成である。図14では、ビット線B0に接続される
イコライズ回路を省略している。
【0035】メモリセルに起こる不良が、メモリセルが
常にオン状態になるような不良である場合、不良ビット
線B0およびB00とリファレンス線とをイコライズし
充電しようとしても、図14に示すように、電荷が不良
メモリセルMS000nを通ってソース線に流れてい
く。このため、所定の時間内に充分な充電ができなくな
る。その結果、ビット線およびリファレンス線の充電後
の電圧が所定の電圧より低くなってしまう。
常にオン状態になるような不良である場合、不良ビット
線B0およびB00とリファレンス線とをイコライズし
充電しようとしても、図14に示すように、電荷が不良
メモリセルMS000nを通ってソース線に流れてい
く。このため、所定の時間内に充分な充電ができなくな
る。その結果、ビット線およびリファレンス線の充電後
の電圧が所定の電圧より低くなってしまう。
【0036】図15は、このような半導体記憶装置にお
いて、メモリセルが常にオン状態になるような不良メモ
リセルを含むビット線上にある他のメモリセルの情報を
呼びだした場合の、各電圧と時間との関係を示してい
る。太線Vpは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも高く設定されている場合に、そのメモリセルが選
択されたときのビット線の電圧を表している。太い点線
Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも低
く設定されている場合に、メモリセルが選択されたとき
のビット線の電圧を表している。太い破線Vrefは、
リファレンス電圧を表している。
いて、メモリセルが常にオン状態になるような不良メモ
リセルを含むビット線上にある他のメモリセルの情報を
呼びだした場合の、各電圧と時間との関係を示してい
る。太線Vpは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧
よりも高く設定されている場合に、そのメモリセルが選
択されたときのビット線の電圧を表している。太い点線
Veは、メモリセルの閾値電圧がワード線電圧よりも低
く設定されている場合に、メモリセルが選択されたとき
のビット線の電圧を表している。太い破線Vrefは、
リファレンス電圧を表している。
【0037】プリチャージ期間Tpreに、フイードバ
ック回路内のプリチャージ用トランジスタ(図示され
ず)が、不良ビット線およびリファレンス線にプリチャ
ージを行っているが、不良メモリセルを介して流出して
ゆく電荷があるために、プリチャージを行っても、リフ
ァレンス線の電圧が所定の電圧より低くなる。
ック回路内のプリチャージ用トランジスタ(図示され
ず)が、不良ビット線およびリファレンス線にプリチャ
ージを行っているが、不良メモリセルを介して流出して
ゆく電荷があるために、プリチャージを行っても、リフ
ァレンス線の電圧が所定の電圧より低くなる。
【0038】プリチャージ期間Tpreが終了すると、
イコライズ用トランジスタ(図示されず)がオフ状態に
なるとともにプリチャージ用トランジスタがオフ状態に
なる。
イコライズ用トランジスタ(図示されず)がオフ状態に
なるとともにプリチャージ用トランジスタがオフ状態に
なる。
【0039】センスイネ−ブル信号Saenが入力さ
れ、センス期間Tsenに入ってから、バイアス用トラ
ンジスタによって所定のビット線電圧およびリファレン
ス電圧が得られるまで、さらにビット線およびリファレ
ンス線を充電する必要がある。このため、イコライズ回
路を用いたにもかかわらず、ノイズ期間Tbが存在す
る。また、データが確定するまでに遅延時間Tnoiを
もたらす。
れ、センス期間Tsenに入ってから、バイアス用トラ
ンジスタによって所定のビット線電圧およびリファレン
ス電圧が得られるまで、さらにビット線およびリファレ
ンス線を充電する必要がある。このため、イコライズ回
路を用いたにもかかわらず、ノイズ期間Tbが存在す
る。また、データが確定するまでに遅延時間Tnoiを
もたらす。
【0040】さらに、回路内部の信号遅延などによっ
て、イコライズ用トランジスタよりプリチャージ用トラ
ンジスタTの方が先にオフ状態になる場合、イコライズ
用トランジスタを通って不良メモリセルに電荷が流てい
く。イコライズ用トランジスタが完全にオフ状態になる
までの期間に、リファレンス線の電圧が低下していく。
このように、不良ビット線を正常なビット線と同じよう
にリファレンス線とイコライズすることにより、回路内
部の信号遅延によってノイズ期間が発生する可能性があ
る。
て、イコライズ用トランジスタよりプリチャージ用トラ
ンジスタTの方が先にオフ状態になる場合、イコライズ
用トランジスタを通って不良メモリセルに電荷が流てい
く。イコライズ用トランジスタが完全にオフ状態になる
までの期間に、リファレンス線の電圧が低下していく。
このように、不良ビット線を正常なビット線と同じよう
にリファレンス線とイコライズすることにより、回路内
部の信号遅延によってノイズ期間が発生する可能性があ
る。
【0041】上述したように、ビット線冗長救済機構を
有した半導体記憶装置にイコライズ回路を適応すると、
余分な充電期間が必要な分だけチップイネーブルアクセ
ス時間またはアドレスアクセス時間が増加したり、上記
の余分な充電期間に差動増幅回路の出力にノイズが発生
するといった弊害が起こる。
有した半導体記憶装置にイコライズ回路を適応すると、
余分な充電期間が必要な分だけチップイネーブルアクセ
ス時間またはアドレスアクセス時間が増加したり、上記
の余分な充電期間に差動増幅回路の出力にノイズが発生
するといった弊害が起こる。
【0042】上述した問題を解決するには、差動増幅回
路毎に独立したリファレンス線を設けることによって、
不良ビット線が選択されたとしても、正常なビット線に
影響を及ぼさないようにするといった手法が考えられ
る。しかしながら、差動増幅回路毎に独立したリファレ
ンス線を設けるといった構成では、読み出し精度を高め
るために、リファレンス線のリファレンスセルの各閾値
の電圧を厳密に等しく設定しなければならないという困
難な問題に加え、リファレンス線が増えることにより、
半導体記憶装置の面積が増大するという問題がある。従
って、上記手法は現実的とは言い難い。
路毎に独立したリファレンス線を設けることによって、
不良ビット線が選択されたとしても、正常なビット線に
影響を及ぼさないようにするといった手法が考えられ
る。しかしながら、差動増幅回路毎に独立したリファレ
ンス線を設けるといった構成では、読み出し精度を高め
るために、リファレンス線のリファレンスセルの各閾値
の電圧を厳密に等しく設定しなければならないという困
難な問題に加え、リファレンス線が増えることにより、
半導体記憶装置の面積が増大するという問題がある。従
って、上記手法は現実的とは言い難い。
【0043】また、出力データの幅(8bit、16b
itなど)が出力データ幅制御信号(byte≠信号な
ど)に応じて変えられる半導体記憶装置では、使用して
いないビット線をリファレンス線とイコライズすると、
所定の期間内に、そのビット線に寄生する配線容量や配
線抵抗によりビット線の充電が充分に行なわれない。こ
のことによりビット線のデータが確定するまでの時間が
長くなり、チップイネーブルアクセス時間および/また
はアドレスアクセス時間を遅くする。
itなど)が出力データ幅制御信号(byte≠信号な
ど)に応じて変えられる半導体記憶装置では、使用して
いないビット線をリファレンス線とイコライズすると、
所定の期間内に、そのビット線に寄生する配線容量や配
線抵抗によりビット線の充電が充分に行なわれない。こ
のことによりビット線のデータが確定するまでの時間が
長くなり、チップイネーブルアクセス時間および/また
はアドレスアクセス時間を遅くする。
【0044】本発明は、このような現状に鑑みてなされ
たものであり、その目的は、不良ビット線をリファレン
ス線とイコライズすることを防止することができる半導
体記憶装置を提供すること、およびデータの出力幅が可
変である半導体記憶装置において、不良ビット線および
使用されていないビット線をリファレンス線とイコライ
ズすることを防止することができる半導体記憶装置を提
供することである。
たものであり、その目的は、不良ビット線をリファレン
ス線とイコライズすることを防止することができる半導
体記憶装置を提供すること、およびデータの出力幅が可
変である半導体記憶装置において、不良ビット線および
使用されていないビット線をリファレンス線とイコライ
ズすることを防止することができる半導体記憶装置を提
供することである。
【0045】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、それぞれが複数のメモリセルに接続されている複数
のビット線と、それぞれが複数の予備メモリセルに接続
されている少なくとも1つの予備ビット線と、基準の電
位が与えられるリファレンス線と、複数のビット線の中
から任意のビット線を特定するアドレス信号を受け取
り、前記特定されたビット線が正常なビット線か不良ビ
ット線かを、前記アドレス信号に基づいて判断する判断
手段と、前記特定されたビット線が正常なビット線であ
る場合、前記特定されたビット線の電位と前記リファレ
ンス線の電位とを等しくし、前記特定されたビット線が
不良ビット線である場合、前記少なくとも1つの予備ビ
ット線のうちの1つの予備ビット線の電位と前記リファ
レンス線の電位とを等しくするイコライズ手段とを備
え、そのことにより上記目的が達成される。
は、それぞれが複数のメモリセルに接続されている複数
のビット線と、それぞれが複数の予備メモリセルに接続
されている少なくとも1つの予備ビット線と、基準の電
位が与えられるリファレンス線と、複数のビット線の中
から任意のビット線を特定するアドレス信号を受け取
り、前記特定されたビット線が正常なビット線か不良ビ
ット線かを、前記アドレス信号に基づいて判断する判断
手段と、前記特定されたビット線が正常なビット線であ
る場合、前記特定されたビット線の電位と前記リファレ
ンス線の電位とを等しくし、前記特定されたビット線が
不良ビット線である場合、前記少なくとも1つの予備ビ
ット線のうちの1つの予備ビット線の電位と前記リファ
レンス線の電位とを等しくするイコライズ手段とを備
え、そのことにより上記目的が達成される。
【0046】前記複数のメモリセルは、複数のメモリセ
ル群に分類されており、前記半導体記憶装置前記複数の
メモリセル群の中から任意のメモリセル群を選択するス
イッチ手段をさらに備えていてもよい。
ル群に分類されており、前記半導体記憶装置前記複数の
メモリセル群の中から任意のメモリセル群を選択するス
イッチ手段をさらに備えていてもよい。
【0047】前記判断手段が不良ビット線のアドレス情
報を予め記憶していてもよい。
報を予め記憶していてもよい。
【0048】前記半導体記憶装置は、前記特定されたビ
ット線が正常なビット線である場合、前記特定されたビ
ット線に電荷を所定の電位までチャージし、前記特定さ
れたビット線が不良ビット線である場合、前記少なくと
も1つの予備ビット線のうちの1つの予備ビット線に電
荷を前記所定の電位までチャージするバイアス手段をさ
らに備えていてもよい。
ット線が正常なビット線である場合、前記特定されたビ
ット線に電荷を所定の電位までチャージし、前記特定さ
れたビット線が不良ビット線である場合、前記少なくと
も1つの予備ビット線のうちの1つの予備ビット線に電
荷を前記所定の電位までチャージするバイアス手段をさ
らに備えていてもよい。
【0049】前記複数のビット線が少なくとも2つのビ
ット線群に分類されており、前記イコライズ手段が、デ
ータ幅制御信号を受け取り、前記少なくとも2つのビッ
ト線群のうちの1つのビット線群に属するビット線が正
常なビット線である場合、前記少なくとも2つビット線
群のうちの1つのビット線群に属するビット線の電位と
前記リファレンス線の電位とを前記データ幅制御信号に
応じて等しくし、前記少なくとも2つのビット線群のう
ちの1つのビット線群に属するビット線が不良ビット線
である場合、前記少なくとも1つの予備ビット線のうち
の1つの電位と前記リファレンス線の電位とを前記デー
タ幅制御信号に応じて等しくしてもよい。
ット線群に分類されており、前記イコライズ手段が、デ
ータ幅制御信号を受け取り、前記少なくとも2つのビッ
ト線群のうちの1つのビット線群に属するビット線が正
常なビット線である場合、前記少なくとも2つビット線
群のうちの1つのビット線群に属するビット線の電位と
前記リファレンス線の電位とを前記データ幅制御信号に
応じて等しくし、前記少なくとも2つのビット線群のう
ちの1つのビット線群に属するビット線が不良ビット線
である場合、前記少なくとも1つの予備ビット線のうち
の1つの電位と前記リファレンス線の電位とを前記デー
タ幅制御信号に応じて等しくしてもよい。
【0050】
【発明の実施の形態】以下に、本発明による半導体記憶
装置の第1の実施例を説明する。
装置の第1の実施例を説明する。
【0051】図1は、第1の実施例のブロック図であ
る。図1の半導体記憶装置は、列アドレス記憶回路(C
ontexts Addressab1e Memor
y:以下CAM回路と略記する)1、列アドレス比較回
路2、マルチプレクサ回路3、および選択イコライズ回
路5を含むセンスアンプ回路系4を備えている。この実
施例の半導体記憶装置に、アドレス信号が入力される
と、行アドレスおよび列アドレスにデコードされ、ワー
ド線およびビット線が選択的にイネーブル状態になる。
る。図1の半導体記憶装置は、列アドレス記憶回路(C
ontexts Addressab1e Memor
y:以下CAM回路と略記する)1、列アドレス比較回
路2、マルチプレクサ回路3、および選択イコライズ回
路5を含むセンスアンプ回路系4を備えている。この実
施例の半導体記憶装置に、アドレス信号が入力される
と、行アドレスおよび列アドレスにデコードされ、ワー
ド線およびビット線が選択的にイネーブル状態になる。
【0052】CAM回路1には、不良ビット線の列アド
レス情報が格納されている。不良ビット線とは、不良メ
モリセルに接続されているビット線および/またはビッ
ト線とそれに接続されるべきメモリセルとの電気的接続
が断たれているビット線などをいう。
レス情報が格納されている。不良ビット線とは、不良メ
モリセルに接続されているビット線および/またはビッ
ト線とそれに接続されるべきメモリセルとの電気的接続
が断たれているビット線などをいう。
【0053】列アドレス比較回路2は、CAM回路1か
らの不良ビット線の列アドレス情報と、列デコーダから
の列アドレス情報とを受け取る。列アドレス比較回路2
は、CAM回路1からの不良ビット線の列アドレス情報
と、列デコーダからの列アドレス情報とを比較し、列デ
コーダからの列アドレス情報が不良ビット線を示してい
る場合、制御信号をマルチプレクサ回路3および選択イ
コライズ回路5に出力する。その制御信号は、第1の制
御信号Match、および第2制御信号Pos0〜Po
s7、およびRPosを含んでいる。第1の制御信号M
atchは、選択ビット線(例えば、8ビット)の中に
不良ビット線が存在するか否かの情報を有している。ま
た、第2制御信号Pos0〜Pos7は、選択ビット線
の中のどのビット線が不良ビット線なのかの情報を有し
ている。第2制御信号RPosは、予備ビット線を選択
するための信号を有していてもよい。
らの不良ビット線の列アドレス情報と、列デコーダから
の列アドレス情報とを受け取る。列アドレス比較回路2
は、CAM回路1からの不良ビット線の列アドレス情報
と、列デコーダからの列アドレス情報とを比較し、列デ
コーダからの列アドレス情報が不良ビット線を示してい
る場合、制御信号をマルチプレクサ回路3および選択イ
コライズ回路5に出力する。その制御信号は、第1の制
御信号Match、および第2制御信号Pos0〜Po
s7、およびRPosを含んでいる。第1の制御信号M
atchは、選択ビット線(例えば、8ビット)の中に
不良ビット線が存在するか否かの情報を有している。ま
た、第2制御信号Pos0〜Pos7は、選択ビット線
の中のどのビット線が不良ビット線なのかの情報を有し
ている。第2制御信号RPosは、予備ビット線を選択
するための信号を有していてもよい。
【0054】選択イコライズ回路5は、制御信号(第1
の制御信号Match、および第2制御信号Pos0〜
Pos7、およびRPos)を受け取り、その制御信号
に従って、ビット線または予備ビット線とリファレンス
線とを同じ電位にする。選択ビット線(8ビット)の中
に不良ビット線が含まれている場合、選択イコライズ回
路5は、不良ビット線とリファレンス線とをイコライズ
する代わりに、予備ビット線とリファレンス線とをイコ
ライズする。
の制御信号Match、および第2制御信号Pos0〜
Pos7、およびRPos)を受け取り、その制御信号
に従って、ビット線または予備ビット線とリファレンス
線とを同じ電位にする。選択ビット線(8ビット)の中
に不良ビット線が含まれている場合、選択イコライズ回
路5は、不良ビット線とリファレンス線とをイコライズ
する代わりに、予備ビット線とリファレンス線とをイコ
ライズする。
【0055】また、メモリセルに格納されているデータ
は、センスアンプ回路系4を介してマルチプレクサ回路
3に送られる。なお、不良ビット線とリファレンス線と
はイコライズされないが、メモリセルに格納されている
データは、不良ビット線を含む選択ビット線、および予
備ビット線を介して出力される。
は、センスアンプ回路系4を介してマルチプレクサ回路
3に送られる。なお、不良ビット線とリファレンス線と
はイコライズされないが、メモリセルに格納されている
データは、不良ビット線を含む選択ビット線、および予
備ビット線を介して出力される。
【0056】マルチプレクサ回路3は、制御信号に基づ
いて、不良ビット線を介して出力されるデータの代わり
に、予備ビット線を介して出力されるデータを出力す
る。マルチプレクサ回路3が、正常なビット線を介して
出力されるデータを出力することは言うまでもない。正
常なビット線とは、不良ビット線以外のビット線をい
う。
いて、不良ビット線を介して出力されるデータの代わり
に、予備ビット線を介して出力されるデータを出力す
る。マルチプレクサ回路3が、正常なビット線を介して
出力されるデータを出力することは言うまでもない。正
常なビット線とは、不良ビット線以外のビット線をい
う。
【0057】マルチプレクサ回路3とセンスアンプ回路
系4とを接続する第1のデータバスのビット数は、8+
1ビットである。マルチプレクサ回路3から外部にデー
タを出力する第2のデータバスのビット数は、8ビット
である。言い換えると、選択ビット線の総数が2mであ
り、予備ビット線の総数がnである場合、第1のデータ
バスのビット数は、2m+nであり、第2のデータバス
のビット数は2mである。なお、マルチプレクサ回路3
が後述する図5に示すような構成であれば、選択ビット
線の総数が2mであり、予備ビット線の総数がnである
場合、第2のデータバスのビット数はmであってもよ
い。マルチプレクサ回路3の構成によって、第2のデー
タバスのビット数が増減する。
系4とを接続する第1のデータバスのビット数は、8+
1ビットである。マルチプレクサ回路3から外部にデー
タを出力する第2のデータバスのビット数は、8ビット
である。言い換えると、選択ビット線の総数が2mであ
り、予備ビット線の総数がnである場合、第1のデータ
バスのビット数は、2m+nであり、第2のデータバス
のビット数は2mである。なお、マルチプレクサ回路3
が後述する図5に示すような構成であれば、選択ビット
線の総数が2mであり、予備ビット線の総数がnである
場合、第2のデータバスのビット数はmであってもよ
い。マルチプレクサ回路3の構成によって、第2のデー
タバスのビット数が増減する。
【0058】なお、本実施例の半導体記憶装置に、チッ
プ選択信号CE≠がハイレベルからロウレベルに推移し
たり、チップ選択信号CE≠がロウレベルの状態でアド
レス信号が変化したりすると、読み出し動作を開始する
アドレス信号遷移検出回路(ATD回路)を設けてもよ
い。
プ選択信号CE≠がハイレベルからロウレベルに推移し
たり、チップ選択信号CE≠がロウレベルの状態でアド
レス信号が変化したりすると、読み出し動作を開始する
アドレス信号遷移検出回路(ATD回路)を設けてもよ
い。
【0059】以下に、センスアンプ回路系4の詳細な構
成の一例およびその動作を図2を用いて説明する。
成の一例およびその動作を図2を用いて説明する。
【0060】センスアンプ回路系4は、差動増幅回路S
A0〜SA7およびRSA、バイアス回路SBia0〜
SBia7、RSBiaおよびBiar、およびスイッ
チ回路S0〜S7、RS、およびSrefを有してい
る。
A0〜SA7およびRSA、バイアス回路SBia0〜
SBia7、RSBiaおよびBiar、およびスイッ
チ回路S0〜S7、RS、およびSrefを有してい
る。
【0061】メモリセルMS000〜MS700、およ
びRMSは、第1のビット線B000〜B700、およ
びBMSを介してスイッチ回路S0〜S7、およびRS
にそれぞれ接続されている。メモリセルMS000〜M
S700に記憶されている情報は、スイッチ回路S0〜
S7、およびRSと、バイアス回路SBia0〜SBi
a7、およびRSBiaとを介して差動増幅回路SA0
〜SA7およびRSAに入力される。メモリセルに格納
されているデータを比較するための基準となるデータが
リファレンスセルTrefに格納されている。
びRMSは、第1のビット線B000〜B700、およ
びBMSを介してスイッチ回路S0〜S7、およびRS
にそれぞれ接続されている。メモリセルMS000〜M
S700に記憶されている情報は、スイッチ回路S0〜
S7、およびRSと、バイアス回路SBia0〜SBi
a7、およびRSBiaとを介して差動増幅回路SA0
〜SA7およびRSAに入力される。メモリセルに格納
されているデータを比較するための基準となるデータが
リファレンスセルTrefに格納されている。
【0062】差動増幅回路SA0〜SA7およびRSA
は、それぞれ選択イコライズ回路を有している。それぞ
れの選択イコライズ回路は、プリチャージ信号Eqon
0〜Eqon7およびREqonと、制御信号(第1の
制御信号Match、および第2制御信号Pos0〜P
os7、およびRPos)とを受け取る。プリチャージ
信号、第1の制御信号、および第2制御信号に基づき、
プリチャージ信号を受け取った選択イコライズ回路を有
する差動増幅回路に接続されているビット線とリファレ
ンス線とがイコラズされる。
は、それぞれ選択イコライズ回路を有している。それぞ
れの選択イコライズ回路は、プリチャージ信号Eqon
0〜Eqon7およびREqonと、制御信号(第1の
制御信号Match、および第2制御信号Pos0〜P
os7、およびRPos)とを受け取る。プリチャージ
信号、第1の制御信号、および第2制御信号に基づき、
プリチャージ信号を受け取った選択イコライズ回路を有
する差動増幅回路に接続されているビット線とリファレ
ンス線とがイコラズされる。
【0063】バイアス回路SBia0〜SBia7、R
SBiaおよびBiarは、制御信号(第1の制御信号
Match、および第2制御信号Pos0〜Pos7、
およびRPos)およびバイアス信号Biasenを受
け取る。第1の制御信号、第2制御信号およびバイアス
信号に基づいて、制御信号を受けとったバイアス回路に
接続されているビット線が所定の電位になるのまでバイ
アスされる。
SBiaおよびBiarは、制御信号(第1の制御信号
Match、および第2制御信号Pos0〜Pos7、
およびRPos)およびバイアス信号Biasenを受
け取る。第1の制御信号、第2制御信号およびバイアス
信号に基づいて、制御信号を受けとったバイアス回路に
接続されているビット線が所定の電位になるのまでバイ
アスされる。
【0064】第1の制御信号Matchは、図3に示さ
れる第1の回路によって生成されてもよい。第1の回路
の回路は、n個の排他的論理和(XOR)素子と1つの
NAND素子を有している。排他的論理和(XOR)素
子の入力端子には、ビット線のアドレス情報を含む信号
Ba0〜Banと、不良ビット線の情報を含む信号RB
a0〜RBanとが入力される。ビット線のアドレス情
報が不良ビット線のアドレス情報である場合、ハイレベ
ルの第1の制御信号MatchがNAND素子の出力端
子から出力される。なお、nはビット線の数である。図
2に示される半導体記憶装置では、nは8である。
れる第1の回路によって生成されてもよい。第1の回路
の回路は、n個の排他的論理和(XOR)素子と1つの
NAND素子を有している。排他的論理和(XOR)素
子の入力端子には、ビット線のアドレス情報を含む信号
Ba0〜Banと、不良ビット線の情報を含む信号RB
a0〜RBanとが入力される。ビット線のアドレス情
報が不良ビット線のアドレス情報である場合、ハイレベ
ルの第1の制御信号MatchがNAND素子の出力端
子から出力される。なお、nはビット線の数である。図
2に示される半導体記憶装置では、nは8である。
【0065】以下に、メモリセルMS000に格納され
ているデータを読み出す場合について述べる。メモリセ
ルに格納されている情報を読み出すときには、トランジ
スタTs0およびTsrefのゲート電極に接続されて
いる線Sg0およびSgrがハイレベルになると、トラ
ンジスタTs0およびTsrefがオン状態になる。メ
モリセルMS000が接続されているビット線が正常な
ビット線である場合には、選択イコライズ回路は、プリ
チャージ信号Eqon0のレベルに応じて、ビット線B
0の電位とリファレンス線Brの電位が等しくなるよう
に、ビット線B0とリファレンス線Brとをイコライズ
する。バイアス回路SBia0およびBiarは、バイ
アス信号Biasenおよび制御信号に基づいて、ビッ
ト線B0およびリファレンス線Brのそれぞれに電荷を
所定の電位までチャージする。その結果、ビット線B0
とリファレンス線Brとか同電位にプリチャージされ
る。
ているデータを読み出す場合について述べる。メモリセ
ルに格納されている情報を読み出すときには、トランジ
スタTs0およびTsrefのゲート電極に接続されて
いる線Sg0およびSgrがハイレベルになると、トラ
ンジスタTs0およびTsrefがオン状態になる。メ
モリセルMS000が接続されているビット線が正常な
ビット線である場合には、選択イコライズ回路は、プリ
チャージ信号Eqon0のレベルに応じて、ビット線B
0の電位とリファレンス線Brの電位が等しくなるよう
に、ビット線B0とリファレンス線Brとをイコライズ
する。バイアス回路SBia0およびBiarは、バイ
アス信号Biasenおよび制御信号に基づいて、ビッ
ト線B0およびリファレンス線Brのそれぞれに電荷を
所定の電位までチャージする。その結果、ビット線B0
とリファレンス線Brとか同電位にプリチャージされ
る。
【0066】プリチャージ信号Eqon0のレベルに応
じて、選択イコライズ回路は、ビット線B0とリファレ
ンス線Brとをイコライズすることを停止する。また、
バイアス信号Biasenのレベルに応じて、バイアス
回路SBia0およびBiarも、ビット線B0とリフ
ァレンス線Brとにプリチャージすることを停止する。
なお、バイアス回路がプリチャージを停止した後に、選
択イコライズ回路がイコライズを停止することが好まし
い。
じて、選択イコライズ回路は、ビット線B0とリファレ
ンス線Brとをイコライズすることを停止する。また、
バイアス信号Biasenのレベルに応じて、バイアス
回路SBia0およびBiarも、ビット線B0とリフ
ァレンス線Brとにプリチャージすることを停止する。
なお、バイアス回路がプリチャージを停止した後に、選
択イコライズ回路がイコライズを停止することが好まし
い。
【0067】メモリセルMS000が接続されているワ
ード線W0があるレベルになると、差動増幅回路SA0
の入力端子21および22の電圧が、下記に示されるレ
ベルに確定される。
ード線W0があるレベルになると、差動増幅回路SA0
の入力端子21および22の電圧が、下記に示されるレ
ベルに確定される。
【0068】メモリセルMS000の閾値の電圧がゲー
ト線W0の電圧よりも高く設定されている場合、選択さ
れたメモリセルMS000は導通しない。このため、第
1のビット線B00の電圧がハイレベルに保たれる。そ
の結果、第1のビット線B00に接続されている第2の
ビット線B0電圧は、ハイレベルになり、差動増幅回路
SA0の入力の端子21の電圧がハイレベルになる。一
方、メモリセルMS000の閾値の電圧がゲート線W0
の電圧よりも低く設定されている場合、選択されたメモ
リセルMS000が導通する。このため、第1のビット
線B00の電圧がロウレベルに保たれる。その結果、第
1のビット線B00に接続されている第2のビット線B
0の電圧は、ロウレベルになり、差動増幅回路SA0の
入力の端子21の電圧がロウレベルになる。ワード線W
refがハイレベルになり、リファレンスセルTref
がオン状態になる。リファレンスセルTrefがオン状
態になると、基準電圧であるリファレンス電圧がリファ
レンス線Brefに現れる。リファレンスセルTref
の閾値電圧が所定の閾値に設定されている場合、差動増
幅回路SA0の入力の端子22に一定の電圧、つまりロ
ウレベルとハイレベルとの中間であるレベルがリファレ
ンス線Brefに現れる。
ト線W0の電圧よりも高く設定されている場合、選択さ
れたメモリセルMS000は導通しない。このため、第
1のビット線B00の電圧がハイレベルに保たれる。そ
の結果、第1のビット線B00に接続されている第2の
ビット線B0電圧は、ハイレベルになり、差動増幅回路
SA0の入力の端子21の電圧がハイレベルになる。一
方、メモリセルMS000の閾値の電圧がゲート線W0
の電圧よりも低く設定されている場合、選択されたメモ
リセルMS000が導通する。このため、第1のビット
線B00の電圧がロウレベルに保たれる。その結果、第
1のビット線B00に接続されている第2のビット線B
0の電圧は、ロウレベルになり、差動増幅回路SA0の
入力の端子21の電圧がロウレベルになる。ワード線W
refがハイレベルになり、リファレンスセルTref
がオン状態になる。リファレンスセルTrefがオン状
態になると、基準電圧であるリファレンス電圧がリファ
レンス線Brefに現れる。リファレンスセルTref
の閾値電圧が所定の閾値に設定されている場合、差動増
幅回路SA0の入力の端子22に一定の電圧、つまりロ
ウレベルとハイレベルとの中間であるレベルがリファレ
ンス線Brefに現れる。
【0069】差動増幅回路SA0が入力の端子21およ
び22の電圧レベルを比較し、その比較した結果の電圧
を第1のデータバス6を介してマルチプレクサ回路3に
出力する。
び22の電圧レベルを比較し、その比較した結果の電圧
を第1のデータバス6を介してマルチプレクサ回路3に
出力する。
【0070】メモリセルMS000が接続されているビ
ット線B0が不良ビット線である場合には、選択イコラ
イズ回路は、ビット線B0の代わりに、予備ビット線R
Bとリファレンス線Brの電位とが等しくなるように、
予備ビット線RBとリファレンス線Brとをイコライズ
する。予備ビット線に接続されているメモリセルには、
不良ビット線B0に接続されているメモリセルに格納さ
れるべきであったデータが予め格納されている。
ット線B0が不良ビット線である場合には、選択イコラ
イズ回路は、ビット線B0の代わりに、予備ビット線R
Bとリファレンス線Brの電位とが等しくなるように、
予備ビット線RBとリファレンス線Brとをイコライズ
する。予備ビット線に接続されているメモリセルには、
不良ビット線B0に接続されているメモリセルに格納さ
れるべきであったデータが予め格納されている。
【0071】選択イコライズ回路は、プリチャージ信号
REqonのレベルに応じて、ビット線RBの電位とリ
ファレンス線Brの電位とが等しくなるように予備ビッ
ト線RBとリファレンス線Brとをイコライズする。
REqonのレベルに応じて、ビット線RBの電位とリ
ファレンス線Brの電位とが等しくなるように予備ビッ
ト線RBとリファレンス線Brとをイコライズする。
【0072】バイアス回路RSBiaおよびBiar
は、バイアス信号Biasenおよび制御信号に基づい
て、予備ビット線RBおよびリファレンス線Brのそれ
ぞれに電荷を所定の電位になるまでチャージする。つま
り、予備ビット線RBはリファレンス線Brと同電位に
チャージされる。
は、バイアス信号Biasenおよび制御信号に基づい
て、予備ビット線RBおよびリファレンス線Brのそれ
ぞれに電荷を所定の電位になるまでチャージする。つま
り、予備ビット線RBはリファレンス線Brと同電位に
チャージされる。
【0073】プリチャージ信号REqon0のレベルに
応じて、選択イコライズ回路は、予備ビット線RBとリ
ファレンス線Brとをイコライズすることを停止する。
また、バイアス信号Biasenのレベルに応じて、バ
イアス回路RSBiaおよびBiarも、予備ビット線
RBとリファレンス線Brとにプリチャージすることを
停止する。
応じて、選択イコライズ回路は、予備ビット線RBとリ
ファレンス線Brとをイコライズすることを停止する。
また、バイアス信号Biasenのレベルに応じて、バ
イアス回路RSBiaおよびBiarも、予備ビット線
RBとリファレンス線Brとにプリチャージすることを
停止する。
【0074】メモリセルRMSが接続されているワード
線W0があるレベルになると、上述した差動増幅回路S
A0の入力端子21および22の電圧と同じように、差
動増幅回路RSAの入力端子23および24の電圧が確
定される。
線W0があるレベルになると、上述した差動増幅回路S
A0の入力端子21および22の電圧と同じように、差
動増幅回路RSAの入力端子23および24の電圧が確
定される。
【0075】以下に、センスアンプ回路系4のさらに詳
細な構成の一例を説明する。
細な構成の一例を説明する。
【0076】図4は、センスアンプ回路系4の、第0ビ
ットのビット線およびリファレンス線に接続している、
差動増幅回路30、バイアス回路31および32、選択
イコライズ回路36、およびスイッチ回路S00〜S0
nおよびSrefを示している。
ットのビット線およびリファレンス線に接続している、
差動増幅回路30、バイアス回路31および32、選択
イコライズ回路36、およびスイッチ回路S00〜S0
nおよびSrefを示している。
【0077】選択イコライズ回路36は、イコライズ用
トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、お
よびTeqp2と、AND回路an1、インバータを備
えている。イコライズ用トランジスタTeqn1および
Teqp1は、AND回路an1から出力される信号に
基づいて、第1のビット線BB0とリファレンス線BB
rとをイコライズする。また、イコライズ用トランジス
タTeqn2およびTeqp2は、AND回路an1か
ら出力される信号に基づいて、第2のビット線BB0と
リファレンス線Brとをイコライズする。
トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、お
よびTeqp2と、AND回路an1、インバータを備
えている。イコライズ用トランジスタTeqn1および
Teqp1は、AND回路an1から出力される信号に
基づいて、第1のビット線BB0とリファレンス線BB
rとをイコライズする。また、イコライズ用トランジス
タTeqn2およびTeqp2は、AND回路an1か
ら出力される信号に基づいて、第2のビット線BB0と
リファレンス線Brとをイコライズする。
【0078】差動増幅回路30の入力端子33は、バイ
アス回路31を介してスイッチ回路S00〜S0nに接
続されている。スイッチ回路S00〜S0nが信号Ba
0〜Banを受け取り、信号Ba0〜Banに応じてス
イッチ回路S00〜S0nに接続されているメモリセル
群MS000〜MS00n、...、MS0n0〜MS
0nnが選択される。ゲート線W0〜Wnの1つにある
レベルの信号を送ることによって、選択されたメモリセ
ル群の中から特定のメモリセルを選択することができ
る。
アス回路31を介してスイッチ回路S00〜S0nに接
続されている。スイッチ回路S00〜S0nが信号Ba
0〜Banを受け取り、信号Ba0〜Banに応じてス
イッチ回路S00〜S0nに接続されているメモリセル
群MS000〜MS00n、...、MS0n0〜MS
0nnが選択される。ゲート線W0〜Wnの1つにある
レベルの信号を送ることによって、選択されたメモリセ
ル群の中から特定のメモリセルを選択することができ
る。
【0079】バイアス回路31および32は、図8(b)
に示すフィードバック回路と同様のフィードバック回路
を有している。なお、フィードバック回路はトランジス
タを有する別の構成であっても実現でき、図8(b)に示
すフィードバック回路に限定されない。第1のビット線
B00の電圧がハイレベルである場合、フィードバック
回路の出力端子aの電圧がロウレベルになり、転送ゲー
ト用NチャネルトランジスタT1が高抵抗状態になる。
に示すフィードバック回路と同様のフィードバック回路
を有している。なお、フィードバック回路はトランジス
タを有する別の構成であっても実現でき、図8(b)に示
すフィードバック回路に限定されない。第1のビット線
B00の電圧がハイレベルである場合、フィードバック
回路の出力端子aの電圧がロウレベルになり、転送ゲー
ト用NチャネルトランジスタT1が高抵抗状態になる。
【0080】一方、第1のビット線B00の電圧がロウ
レベルである場合、フィードバック回路の出力端子aの
電圧がハイレベルになり、転送ゲート用Nチャネルトラ
ンジスタT1が低抵抗状態になる。
レベルである場合、フィードバック回路の出力端子aの
電圧がハイレベルになり、転送ゲート用Nチャネルトラ
ンジスタT1が低抵抗状態になる。
【0081】差動増幅回路30の入力端子34は、バイ
アス回路32およびスイッチ回路Srefを介してリフ
ァレンスメモリセルTrefに接続されている。リファ
レンスメモリセルTrefは、メモリセルと同じ構成で
あってもよい。差動増幅回路30は、入力端子33の電
圧と入力端子34の電圧とを比較し増幅する。つまり、
メモリセルに格納されているデータが増幅され、増幅さ
れたデータが出力端子35から出力される。
アス回路32およびスイッチ回路Srefを介してリフ
ァレンスメモリセルTrefに接続されている。リファ
レンスメモリセルTrefは、メモリセルと同じ構成で
あってもよい。差動増幅回路30は、入力端子33の電
圧と入力端子34の電圧とを比較し増幅する。つまり、
メモリセルに格納されているデータが増幅され、増幅さ
れたデータが出力端子35から出力される。
【0082】以下に、図4に示すセンスアンプ回路系4
の動作を説明する。
の動作を説明する。
【0083】半導体記憶装置に入力されるアドレス情報
が、列アドレスおよび行アドレスにデコードされ、それ
によって、ワード線およびビット線が選択される。さら
に、上記アドレス情報に基づき、スイッチ回路S00〜
S0nの中から1つのスイッチが選択される。その結
果、例えば、ビット線B0およびB00、およびワード
線W0が選択される。
が、列アドレスおよび行アドレスにデコードされ、それ
によって、ワード線およびビット線が選択される。さら
に、上記アドレス情報に基づき、スイッチ回路S00〜
S0nの中から1つのスイッチが選択される。その結
果、例えば、ビット線B0およびB00、およびワード
線W0が選択される。
【0084】列アドレス比較回路は、列アドレス記憶回
路に格納されている不良ビット線のアドレス情報とデコ
ードされた列アドレス情報とを比較し、列アドレス比較
回路制御信号(MatchおよびPos0)を適当な電
位に設定する。列アドレス比較回路から出力される、第
1の制御信号である信号Matchと第2の制御信号で
ある信号Pos0とをNAND演算した信号が、選択イ
コライズ回路36およびバイアス回路31に入力され
る。
路に格納されている不良ビット線のアドレス情報とデコ
ードされた列アドレス情報とを比較し、列アドレス比較
回路制御信号(MatchおよびPos0)を適当な電
位に設定する。列アドレス比較回路から出力される、第
1の制御信号である信号Matchと第2の制御信号で
ある信号Pos0とをNAND演算した信号が、選択イ
コライズ回路36およびバイアス回路31に入力され
る。
【0085】選択イコライズ回路36は、さらにイコラ
イズ信号Eqonを受け取り、上記NAND演算した信
号とイコライズ信号EqonとをAND演算した信号に
基づいて、選択イコライズ回路はビット線B0の電位と
リファレンス線Brの電位とを等しくし、選択イコライ
ズ回路はビット線BB0の電位とリファレンス線BBr
の電位とを等しくするようにイコライズする。具体的に
は、イコライズ用トランジスタTeqn1、Teqp
1、Teqn2、およびTeqp2が上記AND演算し
た信号に応じてオン状態になり、ビット線B0とリファ
レンス線Brとが短絡され、ビット線BB0とリファレ
ンス線BBrとが短絡される。
イズ信号Eqonを受け取り、上記NAND演算した信
号とイコライズ信号EqonとをAND演算した信号に
基づいて、選択イコライズ回路はビット線B0の電位と
リファレンス線Brの電位とを等しくし、選択イコライ
ズ回路はビット線BB0の電位とリファレンス線BBr
の電位とを等しくするようにイコライズする。具体的に
は、イコライズ用トランジスタTeqn1、Teqp
1、Teqn2、およびTeqp2が上記AND演算し
た信号に応じてオン状態になり、ビット線B0とリファ
レンス線Brとが短絡され、ビット線BB0とリファレ
ンス線BBrとが短絡される。
【0086】信号Matchおよび信号Pos0の両方
がハイレベルである場合、図中のビット線B00は不良
ビット線と判断される。この場合、ビット線が不良ビッ
ト線ならば、プリチャージ期間にはいってもイコライズ
用トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、
およびTeqp2がオフ状態に保たもたれ、ビット線と
リファレンス線と間のイコライズは行なわれない。
がハイレベルである場合、図中のビット線B00は不良
ビット線と判断される。この場合、ビット線が不良ビッ
ト線ならば、プリチャージ期間にはいってもイコライズ
用トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、
およびTeqp2がオフ状態に保たもたれ、ビット線と
リファレンス線と間のイコライズは行なわれない。
【0087】上記NAND演算した信号がハイレベルで
あり、バイアス信号Biasenがハイレベルであると
き、バイアス回路31および32がビット線およびリフ
ァレンス線に電荷を充電する。言い換えると、バイアス
回路31は、さらにバイアス信号Biasenを受け取
り、上記NAND演算した信号とバイアス信号Bias
enとをNAND演算した信号に基づいて、ビット線B
0に電荷が所定の電位になるまでチャージされる。ビッ
ト線が不良ビット線ならば、ビット線B0に電荷はチャ
ージされない。さらに、選択イコライズ回路36がハイ
レベルのプリチャージ信号Eqonを受け取り、イコラ
イズ用トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn
2、およびTeqp2をオン状態にして、リファレンス
線の電位とビット線の電位とを等しくする。
あり、バイアス信号Biasenがハイレベルであると
き、バイアス回路31および32がビット線およびリフ
ァレンス線に電荷を充電する。言い換えると、バイアス
回路31は、さらにバイアス信号Biasenを受け取
り、上記NAND演算した信号とバイアス信号Bias
enとをNAND演算した信号に基づいて、ビット線B
0に電荷が所定の電位になるまでチャージされる。ビッ
ト線が不良ビット線ならば、ビット線B0に電荷はチャ
ージされない。さらに、選択イコライズ回路36がハイ
レベルのプリチャージ信号Eqonを受け取り、イコラ
イズ用トランジスタTeqn1、Teqp1、Teqn
2、およびTeqp2をオン状態にして、リファレンス
線の電位とビット線の電位とを等しくする。
【0088】なお、チップ選択信号CE≠がハイレベル
からロウレベルに推移したり、CE≠がロウレベルの状
態でアドレス信号が変化したりすると、読み出し動作を
始める。上記チップ選択信号CE≠の推移に応じて、バ
イアス信号Biasenは、一定幅のパルス信号である
プリチャージ信号Eqonと、センスイネーブル信号S
aenとの論理和によってつくられる。
からロウレベルに推移したり、CE≠がロウレベルの状
態でアドレス信号が変化したりすると、読み出し動作を
始める。上記チップ選択信号CE≠の推移に応じて、バ
イアス信号Biasenは、一定幅のパルス信号である
プリチャージ信号Eqonと、センスイネーブル信号S
aenとの論理和によってつくられる。
【0089】プリチャージ用トランジスタTcharか
らビット線に過大な電流が供給されないように、フイー
ドバック回路内の電流制限用NチャネルトランジスタT
ilmのゲート電圧Vchrefは適切な電位が設定さ
れている。制御信号MatchおよびPos0の両方が
ハイレベルである場合、現在選択しているビット線が不
良ビット線である判断される。このとき、ハイレベルで
ある制御信号MatchおよびPos0は、バイアス回
路31および選択イコライズ回路36に入力されるプリ
チャージ信号Eqonおよびバイアス信号Biasen
を無効にする。選択したビット線が不良ビット線なら
ば、ビット線B0の代わりに予備ビット線がイコライズ
され、プリチャージされる。つまり、バイアス回路が予
備ビット線およびリファレンス線に電荷を充電する。さ
らに、選択イコライズ回路がリファレンス線の電位と予
備ビット線の電位とを等しくする。このとき、第1の制
御信号Matchはハイレベルであり、第2の制御信号
RPosはロウレベルである。
らビット線に過大な電流が供給されないように、フイー
ドバック回路内の電流制限用NチャネルトランジスタT
ilmのゲート電圧Vchrefは適切な電位が設定さ
れている。制御信号MatchおよびPos0の両方が
ハイレベルである場合、現在選択しているビット線が不
良ビット線である判断される。このとき、ハイレベルで
ある制御信号MatchおよびPos0は、バイアス回
路31および選択イコライズ回路36に入力されるプリ
チャージ信号Eqonおよびバイアス信号Biasen
を無効にする。選択したビット線が不良ビット線なら
ば、ビット線B0の代わりに予備ビット線がイコライズ
され、プリチャージされる。つまり、バイアス回路が予
備ビット線およびリファレンス線に電荷を充電する。さ
らに、選択イコライズ回路がリファレンス線の電位と予
備ビット線の電位とを等しくする。このとき、第1の制
御信号Matchはハイレベルであり、第2の制御信号
RPosはロウレベルである。
【0090】次に、プリチャージ信号Eqonがロウレ
ベルになると、イコライズ用トランジスタがオフ状態に
なり、ビット線とリファレンス線とのイコライズが終了
し、センスイネーブル信号Saenがハイレベルにな
る。センスイネーブル信号Saenに応じて、センスア
ンプが動作状態になり選択されたメモリセルの閾値電圧
に基づいて、ハイレベルまたはロウレベルがセンスアン
プの出力信号D0から出力される。センスアンプから出
力された出力信号D0は、マルチプレクサ回路に入力さ
れる。出力信号D0が、不良ビット線に接続されたセン
スアンプからの出力信号であれば予備ビット線からのデ
ータと置き換えて出力する。
ベルになると、イコライズ用トランジスタがオフ状態に
なり、ビット線とリファレンス線とのイコライズが終了
し、センスイネーブル信号Saenがハイレベルにな
る。センスイネーブル信号Saenに応じて、センスア
ンプが動作状態になり選択されたメモリセルの閾値電圧
に基づいて、ハイレベルまたはロウレベルがセンスアン
プの出力信号D0から出力される。センスアンプから出
力された出力信号D0は、マルチプレクサ回路に入力さ
れる。出力信号D0が、不良ビット線に接続されたセン
スアンプからの出力信号であれば予備ビット線からのデ
ータと置き換えて出力する。
【0091】制御信号Matchがロウレベルであった
場合は、選択ビット線の中に不良ビット線が存在しない
ことを示している。このため、予備ビット線とリファレ
ンス線とのイコライズは不必要である。マルチプレクサ
回路3は、ビット線を介して出力されるデータを、他の
データと置き換えない。
場合は、選択ビット線の中に不良ビット線が存在しない
ことを示している。このため、予備ビット線とリファレ
ンス線とのイコライズは不必要である。マルチプレクサ
回路3は、ビット線を介して出力されるデータを、他の
データと置き換えない。
【0092】マルチプレクサ回路3は、図5に示される
第2の回路によって構成されてもよい。第2の回路は、
第1の制御信号Match、第2の制御信号Pos0〜
Posn、ビット線を介して出力されるデータD0〜D
n、および予備ビット線を介して出力されるデータRD
を受け取る。たとえば、第1の制御信号Matchがハ
イレベルであり、第2の制御信号Pos5がハイレベル
である場合、データD5の代わりに、データRDがOR
素子Orm5からデータDa5として出力される。な
お、nはビット線の数である。図2に示される半導体記
憶装置では、nは8である。
第2の回路によって構成されてもよい。第2の回路は、
第1の制御信号Match、第2の制御信号Pos0〜
Posn、ビット線を介して出力されるデータD0〜D
n、および予備ビット線を介して出力されるデータRD
を受け取る。たとえば、第1の制御信号Matchがハ
イレベルであり、第2の制御信号Pos5がハイレベル
である場合、データD5の代わりに、データRDがOR
素子Orm5からデータDa5として出力される。な
お、nはビット線の数である。図2に示される半導体記
憶装置では、nは8である。
【0093】本実施例の半導体記憶装置では、8つのビ
ット線につき1つの予備ビット線を有する構成について
説明してきたが、8つのビット線につき2つ以上の予備
ビット線を有する構成であってもよい。また、8つ以上
のビット線、例えば16つのビット線を有するものであ
っても、1つ以上の予備ビットを有していればよい。以
下に、図6および7を用いて、本発明の第2の実施例の
半導体記憶装置を説明する。本実施例の半導体記憶装置
では、データ幅制御信号Byte(ピン入力信号、By
te≠信号の反転信号)によってデータ出力幅(8、1
6ビット)を変更することができる。
ット線につき1つの予備ビット線を有する構成について
説明してきたが、8つのビット線につき2つ以上の予備
ビット線を有する構成であってもよい。また、8つ以上
のビット線、例えば16つのビット線を有するものであ
っても、1つ以上の予備ビットを有していればよい。以
下に、図6および7を用いて、本発明の第2の実施例の
半導体記憶装置を説明する。本実施例の半導体記憶装置
では、データ幅制御信号Byte(ピン入力信号、By
te≠信号の反転信号)によってデータ出力幅(8、1
6ビット)を変更することができる。
【0094】この半導体記憶装置は、差動増幅回路SA
0〜SA15を備えている。差動増幅回路SA0〜SA
15は、第1の実施例の差動増幅回路と同様の選択イコ
ライズ回路およびバイアス回路を有している。差動増幅
回路SA0〜SA7は、データ幅制御信号Byteを受
け取る。例えば、データ幅制御信号Byteがロウレベ
ルのとき、全ての差動増幅回路SA0〜SA15は、第
1の実施例の差動増幅回路と同様の動作を行う。データ
幅制御信号Byteがハイレベルのとき、差動増幅回路
SA0〜SA7の選択イコライズ回路およびバイアス回
路は動作しない。従って、差動増幅回路SA8〜SA1
5だけが、第1の実施例の差動増幅回路と同様の動作を
行う。また、本実施例の半導体記憶装置に、データ幅制
御信号の他に上位下位選択信号を受け取る手段を設ける
ことによって、本実施例の半導体記憶装置は、上位下位
選択信号がロウレベルの場合には、差動増幅回路SA0
〜SA7のみが動作し、上位下位選択信号がハイレベル
の場合には、差動増幅回路SA8〜SA15のみが動作
するような構成であってもよい。この場合、上位下位選
択信号は適当なアドレス信号(例えば、最下位アドレス
信号)から作られてもよい。上述したように、複数の差
動増幅回路のなかで使用していない差動増幅回路がある
場合、使用していない差動増幅回路の、選択イコライズ
回路およびバイアス回路が動作しないため、消費電力を
抑えることができるということは言うまでもない。
0〜SA15を備えている。差動増幅回路SA0〜SA
15は、第1の実施例の差動増幅回路と同様の選択イコ
ライズ回路およびバイアス回路を有している。差動増幅
回路SA0〜SA7は、データ幅制御信号Byteを受
け取る。例えば、データ幅制御信号Byteがロウレベ
ルのとき、全ての差動増幅回路SA0〜SA15は、第
1の実施例の差動増幅回路と同様の動作を行う。データ
幅制御信号Byteがハイレベルのとき、差動増幅回路
SA0〜SA7の選択イコライズ回路およびバイアス回
路は動作しない。従って、差動増幅回路SA8〜SA1
5だけが、第1の実施例の差動増幅回路と同様の動作を
行う。また、本実施例の半導体記憶装置に、データ幅制
御信号の他に上位下位選択信号を受け取る手段を設ける
ことによって、本実施例の半導体記憶装置は、上位下位
選択信号がロウレベルの場合には、差動増幅回路SA0
〜SA7のみが動作し、上位下位選択信号がハイレベル
の場合には、差動増幅回路SA8〜SA15のみが動作
するような構成であってもよい。この場合、上位下位選
択信号は適当なアドレス信号(例えば、最下位アドレス
信号)から作られてもよい。上述したように、複数の差
動増幅回路のなかで使用していない差動増幅回路がある
場合、使用していない差動増幅回路の、選択イコライズ
回路およびバイアス回路が動作しないため、消費電力を
抑えることができるということは言うまでもない。
【0095】差動増幅回路SA0〜SA7がプリチャー
ジされないため、メモリセルに格納されているデータを
読み出す時間を短くすることができる。
ジされないため、メモリセルに格納されているデータを
読み出す時間を短くすることができる。
【0096】本実施例の差動増幅回路SA0が第1の実
施例の差動増幅回路SA0と異なっている点を図7を用
いて説明する。第1の実施例の選択イコライズ回路で
は、プリチャージ信号Eqon、第1の制御信号Mat
chおよび第2の制御信号Pos0に基づいて、トラン
ジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、およびT
eqp2が制御されている。一方、第2の実施例の選択
イコライズ回路では、トランジスタTeqn1、Teq
p1、Teqn2、およびTeqp2がさらにデータ幅
制御信号Byte基づいて制御される。
施例の差動増幅回路SA0と異なっている点を図7を用
いて説明する。第1の実施例の選択イコライズ回路で
は、プリチャージ信号Eqon、第1の制御信号Mat
chおよび第2の制御信号Pos0に基づいて、トラン
ジスタTeqn1、Teqp1、Teqn2、およびT
eqp2が制御されている。一方、第2の実施例の選択
イコライズ回路では、トランジスタTeqn1、Teq
p1、Teqn2、およびTeqp2がさらにデータ幅
制御信号Byte基づいて制御される。
【0097】また、第1の実施例のバイアス回路でSB
la0は、バイアス信号Biasen第1の制御信号M
atchおよび第2の制御信号Pos0に基づいて、ト
ランジスタTbias0が制御されているが、第2の実
施例のバイアス回路40では、トランジスタTbias
0がさらにデータ幅制御信号Byte基づいて制御され
る。同様に、第2の実施例の差動増幅回路SA1〜SA
7は第1の実施例の差動増幅回路SA1〜SA7と異な
っている。
la0は、バイアス信号Biasen第1の制御信号M
atchおよび第2の制御信号Pos0に基づいて、ト
ランジスタTbias0が制御されているが、第2の実
施例のバイアス回路40では、トランジスタTbias
0がさらにデータ幅制御信号Byte基づいて制御され
る。同様に、第2の実施例の差動増幅回路SA1〜SA
7は第1の実施例の差動増幅回路SA1〜SA7と異な
っている。
【0098】差動増幅回路の数は16個である必要はな
く、例えば、差動増幅回路の数は、8、32、64、1
28であってもよい。また、データ幅制御信号Byte
が入力される差動増幅回路は、差動増幅回路SA0〜S
A7に限られず。全ての差動増幅回路の中から、特定の
差動増幅回路がデータ幅制御信号Byteによって、制
御されればよい。
く、例えば、差動増幅回路の数は、8、32、64、1
28であってもよい。また、データ幅制御信号Byte
が入力される差動増幅回路は、差動増幅回路SA0〜S
A7に限られず。全ての差動増幅回路の中から、特定の
差動増幅回路がデータ幅制御信号Byteによって、制
御されればよい。
【0099】
【発明の効果】本発明の半導体記憶装置によれば、半導
体記憶装置に入力されるアドレス信号によって表される
メモリセルに接続されているビット線が不良ビット線で
あるか否かを判断することができる。この判断に基づ
き、アドレス信号対応するメモリセルに接続されている
ビット線が不良ビット線である場合、その不良ビット線
の代わりに、予備ビット線の電位とリファレンス線の電
位とを選択イコライズ回路が等しくすることができる。
不良ビット線の電位とリファレンス線の電位とを等しく
しようとしないため、リファレンス線および不良ビット
線の電荷が不良ビット線を介してグランドに流れない。
従って、本発明の半導体記憶装置によれば、従来の半導
体記憶装置に比べて正確かつ高速である読み出し動作を
実現することができる。
体記憶装置に入力されるアドレス信号によって表される
メモリセルに接続されているビット線が不良ビット線で
あるか否かを判断することができる。この判断に基づ
き、アドレス信号対応するメモリセルに接続されている
ビット線が不良ビット線である場合、その不良ビット線
の代わりに、予備ビット線の電位とリファレンス線の電
位とを選択イコライズ回路が等しくすることができる。
不良ビット線の電位とリファレンス線の電位とを等しく
しようとしないため、リファレンス線および不良ビット
線の電荷が不良ビット線を介してグランドに流れない。
従って、本発明の半導体記憶装置によれば、従来の半導
体記憶装置に比べて正確かつ高速である読み出し動作を
実現することができる。
【0100】また、必要でないバイアス回路が動作しな
いため、本発明の半導体記憶装置は、消費電力を抑える
ことができる。
いため、本発明の半導体記憶装置は、消費電力を抑える
ことができる。
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】図1に示す一実施例のセンス回路系を示した構
成図である。
成図である。
【図3】第1の制御信号Matchを生成する回路を示
した図である。
した図である。
【図4】図2に示すセンス回路系を詳細に示した構成図
である。
である。
【図5】マルチプレクサ回路の一構成例を示す回路図で
ある。
ある。
【図6】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図7】図5に示す一実施例を詳細に示した構成図であ
る。
る。
【図8】(a)は従来の回路を示す回路図である。
(b)はフイードバック回路の一例を示す回路図であ
る。
(b)はフイードバック回路の一例を示す回路図であ
る。
【図9】図8(a)に示す従来の回路によるセンス回路
系の動作を示す波形である。
系の動作を示す波形である。
【図10】従来のイコライズ回路を示す回路図である。
【図11】図10に示すイコライズ回路を用いたセンス
回路系の理想的な動作を示す波形である。
回路系の理想的な動作を示す波形である。
【図12】従来の冗長回路を示す回路図である。
【図13】図12に示す従来の冗長回路を詳細に示した
回路図である。
回路図である。
【図14】不良ビット線を示す図である。
【図15】図12に示す従来の冗長回路の動作を示す波
形である。
形である。
1 列アドレス記憶回路 2 列アドレス比較回路 3 マルチプレクサ回路 4 センス回路系 5 選択イコライズ回路 6 第1のデータバス 7 第2のデータバス Tgate プリチャージ電流用ゲートトランジスタ Tilm プリチャージ電流制限用トランジスタ Vchref プリチャージ電流制限用リファレンス電
圧 W0〜Wn ワード線 B0〜B7 ビット線 D0〜D7 データバス Ts0,Tsref ソース接地用トランジスタ Ba0,Ba1 列アドレス線
圧 W0〜Wn ワード線 B0〜B7 ビット線 D0〜D7 データバス Ts0,Tsref ソース接地用トランジスタ Ba0,Ba1 列アドレス線
Claims (5)
- 【請求項1】 それぞれが複数のメモリセルに接続され
ている複数のビット線と、 それぞれが複数の予備メモリセルに接続されている少な
くとも1つの予備ビット線と、 基準の電位が与えられるリファレンス線と、 複数のビット線の中から任意のビット線を特定するアド
レス信号を受け取り、該特定されたビット線が正常なビ
ット線か不良ビット線かを、該アドレス信号に基づいて
判断する判断手段と、 該特定されたビット線が正常なビット線である場合、該
特定されたビット線の電位と該リファレンス線の電位と
を等しくし、 該特定されたビット線が不良ビット線である場合、該少
なくとも1つの予備ビット線のうちの1つの予備ビット
線の電位と該リファレンス線の電位とを等しくするイコ
ライズ手段と、 を備えた半導体記憶装置。 - 【請求項2】 前記複数のメモリセルは、複数のメモリ
セル群に分類されており、該複数のメモリセル群の中か
ら任意のメモリセル群を選択するスイッチ手段をさらに
備えた請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 【請求項3】 前記判断手段が不良ビット線のアドレス
情報を予め記憶している請求項1に記載の半導体記憶装
置。 - 【請求項4】 前記特定されたビット線が正常なビット
線である場合、該特定されたビット線に電荷を所定の電
位までチャージし、該特定されたビット線が不良ビット
線である場合、前記少なくとも1つの予備ビット線のう
ちの1つの予備ビット線に電荷を該所定の電位までチャ
ージするバイアス手段をさらに備えた請求項1に記載の
半導体記憶装置。 - 【請求項5】 前記複数のビット線が少なくとも2つの
ビット線群に分類されており、前記イコライズ手段が、
データ幅制御信号を受け取り、該少なくとも2つのビッ
ト線群のうちの1つのビット線群に属するビット線が正
常なビット線である場合、該少なくとも2つビット線群
のうちの1つのビット線群に属するビット線の電位と前
記リファレンス線の電位とを該データ幅制御信号に応じ
て等しくし、該少なくとも2つのビット線群のうちの1
つのビット線群に属するビット線が不良ビット線である
場合、前記少なくとも1つの予備ビット線のうちの1つ
の電位と該リファレンス線の電位とを該データ幅制御信
号に応じて等しくする請求項1に記載の半導体記憶装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31694095A JPH09161498A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31694095A JPH09161498A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09161498A true JPH09161498A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18082644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31694095A Pending JPH09161498A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09161498A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002367386A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
JP2002367385A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
US8681839B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-03-25 | International Business Machines Corporation | Calibration of multiple parallel data communications lines for high skew conditions |
US8767531B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-07-01 | International Business Machines Corporation | Dynamic fault detection and repair in a data communications mechanism |
US9715270B2 (en) | 2015-11-30 | 2017-07-25 | International Business Machines Corporation | Power reduction in a parallel data communications interface using clock resynchronization |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP31694095A patent/JPH09161498A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002367386A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
JP2002367385A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
US8681839B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-03-25 | International Business Machines Corporation | Calibration of multiple parallel data communications lines for high skew conditions |
US8767531B2 (en) | 2010-10-27 | 2014-07-01 | International Business Machines Corporation | Dynamic fault detection and repair in a data communications mechanism |
US9715270B2 (en) | 2015-11-30 | 2017-07-25 | International Business Machines Corporation | Power reduction in a parallel data communications interface using clock resynchronization |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6845047B2 (en) | Read circuit of nonvolatile semiconductor memory | |
US7672173B2 (en) | Non-volatile semiconductor memory device and semiconductor memory device | |
US6097638A (en) | Semiconductor memory device | |
CN101946287B (zh) | 用于非易失性存储器的低噪声感测放大器阵列和方法 | |
US5594691A (en) | Address transition detection sensing interface for flash memory having multi-bit cells | |
US20030189869A1 (en) | Semiconductor integrated circuit device having hierarchical power source arrangement | |
EP0401957A2 (en) | Circuit for repairing defective bit in semiconductor memory device and repairing method | |
US5699295A (en) | Current detection circuit for reading a memory in integrated circuit form | |
JP2780674B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JPH07192478A (ja) | メモリアレイ内のメモリセルによって記憶される複数個の可能な状態における1つの状態を定めるための基準、メモリ、アレイセルのしきい値電圧を読出すのに用いられる複数個の基準セルをプログラムするための装置、n個の基準セルをプログラムする方法、およびアレイセルを読出す方法 | |
JP2002117699A (ja) | 半導体装置及びそのテスト方法 | |
KR100558188B1 (ko) | 비휘발성 반도체 기억장치 및 행라인 단락 불량 검출방법 | |
JPH02252196A (ja) | 単一トランジスタメモリセルと共に使用する高速差動センスアンプ | |
US7075844B2 (en) | Parallel sense amplifier with mirroring of the current to be measured into each reference branch | |
JPH04259991A (ja) | 電流センスアンプ回路 | |
US7352618B2 (en) | Multi-level cell memory device and associated read method | |
US6418057B1 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device capable of correctly performing erasure/programming completion determination even in presence of defective bit | |
US6144600A (en) | Semiconductor memory device having first and second pre-charging circuits | |
JPH09161498A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP2790495B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
TWI246084B (en) | Method for eliminating crosstalk interference of contact/via-programmed read-only-memory | |
JPH08185698A (ja) | 半導体記憶装置 | |
JP4484344B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JPH10208492A (ja) | 半導体メモリ装置 | |
JPS61227288A (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020107 |