JPH09161217A - 磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッドInfo
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- JPH09161217A JPH09161217A JP34618095A JP34618095A JPH09161217A JP H09161217 A JPH09161217 A JP H09161217A JP 34618095 A JP34618095 A JP 34618095A JP 34618095 A JP34618095 A JP 34618095A JP H09161217 A JPH09161217 A JP H09161217A
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- glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コアのギャップ形成面からの膜剥がれを防止
でき、ギャップ精度が安定し、コア割れを防止でき、補
強ガラスにひびが発生することを防止でき、ギャップ形
成部分の信頼性、電磁変換特性、磁気ヘッドの歩留りを
向上できるようにする。 【解決手段】 磁気ヘッドの製造工程では、コア１０，
２０の各ギャップ形成面１０ａ，２０ａに、スパッタに
よって順にガラス膜１１，２１、ＳｉＯ2 よりなるギャ
ップ材膜１２，２２、ガラス膜１３，２３を形成し、こ
れら各膜が形成された面同士を突き合わせ、加圧しなが
ら所定の温度下にて、コア１０，２０とガラス膜１１，
２１の間、および各膜間をそれぞれ固相接合によって接
合して、コア１０，２０間にギャップを形成する。
でき、ギャップ精度が安定し、コア割れを防止でき、補
強ガラスにひびが発生することを防止でき、ギャップ形
成部分の信頼性、電磁変換特性、磁気ヘッドの歩留りを
向上できるようにする。 【解決手段】 磁気ヘッドの製造工程では、コア１０，
２０の各ギャップ形成面１０ａ，２０ａに、スパッタに
よって順にガラス膜１１，２１、ＳｉＯ2 よりなるギャ
ップ材膜１２，２２、ガラス膜１３，２３を形成し、こ
れら各膜が形成された面同士を突き合わせ、加圧しなが
ら所定の温度下にて、コア１０，２０とガラス膜１１，
２１の間、および各膜間をそれぞれ固相接合によって接
合して、コア１０，２０間にギャップを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コアとコアとの間
にギャップ材を用いてギャップを形成する磁気ヘッドの
製造方法およびこの製造方法によって製造される磁気ヘ
ッドに関する。
にギャップ材を用いてギャップを形成する磁気ヘッドの
製造方法およびこの製造方法によって製造される磁気ヘ
ッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気ヘッドとして、例えばフェラ
イトによって形成された２つのコアの間に、ギャップ材
としてのＳｉＯ2 を用いてギャップを形成したものがあ
る。従来、このような磁気ヘッドの製造方法としては、
各コアのギャップ形成面にＳｉＯ2 、ガラスの順にスパ
ッタして２層膜を形成し、そのスパッタした面同士を突
き合わせ、加圧しながら所定の温度下にて固相接合しな
がら、ギャップを形成する方法があった。
イトによって形成された２つのコアの間に、ギャップ材
としてのＳｉＯ2 を用いてギャップを形成したものがあ
る。従来、このような磁気ヘッドの製造方法としては、
各コアのギャップ形成面にＳｉＯ2 、ガラスの順にスパ
ッタして２層膜を形成し、そのスパッタした面同士を突
き合わせ、加圧しながら所定の温度下にて固相接合しな
がら、ギャップを形成する方法があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
磁気ヘッドの製造方法では、コアのギャップ形成面から
膜（ＳｉＯ2 ）が剥がれてしまい、ギャップの精度が安
定しないという問題点があった。また、膜剥がれによ
り、コアが割れてしまったり、補強ガラスにひびが発生
するという問題点があった。また、ギャップ形成部分の
信頼性が低く、電磁変換特性が悪くなるという問題点が
あった。更に、以上のような問題点により、磁気ヘッド
の歩留りが低くなるという問題点があった。
磁気ヘッドの製造方法では、コアのギャップ形成面から
膜（ＳｉＯ2 ）が剥がれてしまい、ギャップの精度が安
定しないという問題点があった。また、膜剥がれによ
り、コアが割れてしまったり、補強ガラスにひびが発生
するという問題点があった。また、ギャップ形成部分の
信頼性が低く、電磁変換特性が悪くなるという問題点が
あった。更に、以上のような問題点により、磁気ヘッド
の歩留りが低くなるという問題点があった。
【０００４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その課題は、コアのギャップ形成面からの膜剥が
れを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定し、コア
割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生することを防
止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換特性、磁
気ヘッドの歩留りを向上できるようにした磁気ヘッドの
製造方法および磁気ヘッドを提供することにある。
ので、その課題は、コアのギャップ形成面からの膜剥が
れを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定し、コア
割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生することを防
止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換特性、磁
気ヘッドの歩留りを向上できるようにした磁気ヘッドの
製造方法および磁気ヘッドを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の磁気ヘッ
ドの製造方法は、コアとコアとの間にギャップ材を用い
てギャップを形成する磁気ヘッドの製造方法であって、
各コアのギャップ形成面に、スパッタによって順にガラ
ス膜、ギャップ材膜、ガラス膜を形成し、これら各膜が
形成された面同士を突き合わせ、加圧しながら所定の温
度条件下にて、コア、ガラス膜、ギャップ材膜の各間を
それぞれ固相接合して、コア間にギャップを形成するも
のである。
ドの製造方法は、コアとコアとの間にギャップ材を用い
てギャップを形成する磁気ヘッドの製造方法であって、
各コアのギャップ形成面に、スパッタによって順にガラ
ス膜、ギャップ材膜、ガラス膜を形成し、これら各膜が
形成された面同士を突き合わせ、加圧しながら所定の温
度条件下にて、コア、ガラス膜、ギャップ材膜の各間を
それぞれ固相接合して、コア間にギャップを形成するも
のである。
【０００６】請求項２記載の磁気ヘッドは、一方のコア
のギャップ形成面と他方のコアのギャップ形成面との間
に、ガラス層、ギャップ材層、ガラス層、ギャップ材
層、ガラス層の順に配列された各層からなり、コアとガ
ラス層との間および各層間が固相接合によって接合され
たギャップが形成されているものである。
のギャップ形成面と他方のコアのギャップ形成面との間
に、ガラス層、ギャップ材層、ガラス層、ギャップ材
層、ガラス層の順に配列された各層からなり、コアとガ
ラス層との間および各層間が固相接合によって接合され
たギャップが形成されているものである。
【０００７】請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法で
は、コア、ガラス膜、ギャップ材膜の各間がそれぞれ固
相接合によって接合されるので、コアのギャップ形成面
からの膜剥がれが防止される。
は、コア、ガラス膜、ギャップ材膜の各間がそれぞれ固
相接合によって接合されるので、コアのギャップ形成面
からの膜剥がれが防止される。
【０００８】請求項２記載の磁気ヘッドでは、コアとギ
ャップのガラス層との間およびギャップの各層間がそれ
ぞれ固相接合によって接合されているので、コアのギャ
ップ形成面からの膜剥がれが防止される。
ャップのガラス層との間およびギャップの各層間がそれ
ぞれ固相接合によって接合されているので、コアのギャ
ップ形成面からの膜剥がれが防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの
製造方法では、図１に示すように、互いに接合する２つ
のコア１０，２０のそれぞれについて、ギャップを形成
する側の面であるギャップ形成面１０ａ，２０ａを研磨
して鏡面加工する。なお、コア１０，２０の材料として
は例えばフェライトが用いられる。次に、各ギャップ形
成面１０ａ，２０ａに、スパッタ装置によりガラスをス
パッタして、２００〜１５００オングストロームの厚み
のガラス膜１１，２１を形成する。次に、ガラス膜１
１，２１の上に、スパッタ装置によりギャップ材として
のＳｉＯ2 をスパッタして、２０００〜４０００オング
ストロームの厚みのギャップ材膜１２，２２を形成す
る。次に、ギャップ材膜１２，２２の上に、スパッタ装
置によりガラスをスパッタして、２００〜１５００オン
グストロームの厚みのガラス膜１３，２３を形成する。
図２は、以上の工程によって形成された各膜１１〜１
３，２１〜２３を示すために、図１におけるＡ部を拡大
して示したものである。
製造方法では、図１に示すように、互いに接合する２つ
のコア１０，２０のそれぞれについて、ギャップを形成
する側の面であるギャップ形成面１０ａ，２０ａを研磨
して鏡面加工する。なお、コア１０，２０の材料として
は例えばフェライトが用いられる。次に、各ギャップ形
成面１０ａ，２０ａに、スパッタ装置によりガラスをス
パッタして、２００〜１５００オングストロームの厚み
のガラス膜１１，２１を形成する。次に、ガラス膜１
１，２１の上に、スパッタ装置によりギャップ材として
のＳｉＯ2 をスパッタして、２０００〜４０００オング
ストロームの厚みのギャップ材膜１２，２２を形成す
る。次に、ギャップ材膜１２，２２の上に、スパッタ装
置によりガラスをスパッタして、２００〜１５００オン
グストロームの厚みのガラス膜１３，２３を形成する。
図２は、以上の工程によって形成された各膜１１〜１
３，２１〜２３を示すために、図１におけるＡ部を拡大
して示したものである。
【００１１】ガラス膜１１，２１，１３，２３を形成す
るガラスの組成は、例えば以下の通りである。 ＳｉＯ2 … ６０〜８０重量％ Ａｌ2 Ｏ3 … １〜２０重量％ Ｆｅ2 Ｏ3 …０．０１〜１重量％ ＴｉＯ2 …０．０１〜１重量％ ＣａＯ … １〜２０重量％ ＭｇＯ …０．０１〜１重量％ Ｍａ2 Ｏ … １〜２０重量％ Ｋ2 Ｏ … １〜２０重量％ ＳＯ3 …０．０１〜１重量％ ＺｒＯ2 …０．０１〜１重量％
るガラスの組成は、例えば以下の通りである。 ＳｉＯ2 … ６０〜８０重量％ Ａｌ2 Ｏ3 … １〜２０重量％ Ｆｅ2 Ｏ3 …０．０１〜１重量％ ＴｉＯ2 …０．０１〜１重量％ ＣａＯ … １〜２０重量％ ＭｇＯ …０．０１〜１重量％ Ｍａ2 Ｏ … １〜２０重量％ Ｋ2 Ｏ … １〜２０重量％ ＳＯ3 …０．０１〜１重量％ ＺｒＯ2 …０．０１〜１重量％
【００１２】上記組成のガラスの特性は以下の通りであ
る。 転移点（Ｔｇ）…４６０〜５６０℃ 軟化点（Ｔｅ）…５６０〜６６０℃ 熱膨張係数 …８５〜１０５×１０-7／℃ （０〜４００℃） 比重 …２．０〜２．８ｇ／ｃｍ3 屈折率 …１．０〜２．０
る。 転移点（Ｔｇ）…４６０〜５６０℃ 軟化点（Ｔｅ）…５６０〜６６０℃ 熱膨張係数 …８５〜１０５×１０-7／℃ （０〜４００℃） 比重 …２．０〜２．８ｇ／ｃｍ3 屈折率 …１．０〜２．０
【００１３】次に、図３に示すように、上記各膜１１〜
１３，２１〜２３が形成された面同士を突き合わせて、
コア１０，２０を専用の治具にセットして、加圧しなが
ら所定の温度条件下、例えば６８０〜７８０℃の温度で
加熱して、ガラス膜１３，２３を融合させると共に、コ
ア１０，２０とガラス膜１１，２１の間、ガラス膜１
１，２１とギャップ材膜１２，２２の間、ギャップ材膜
１２，２２とガラス膜１３，２３の間をそれぞれ固相接
合（固体内へのイオンの拡散による接合）して、コア１
０，２０間にギャップ３０を形成する。図４は、図３に
おけるＢ部を拡大して示したものである。なお、固相接
合を行う場合の加熱方法としては例えばバッチ式炉やト
ンネル式炉を用いることができ、加熱の際の雰囲気はＮ
2 を用い、加熱時間は３０〜６０分程度とする。
１３，２１〜２３が形成された面同士を突き合わせて、
コア１０，２０を専用の治具にセットして、加圧しなが
ら所定の温度条件下、例えば６８０〜７８０℃の温度で
加熱して、ガラス膜１３，２３を融合させると共に、コ
ア１０，２０とガラス膜１１，２１の間、ガラス膜１
１，２１とギャップ材膜１２，２２の間、ギャップ材膜
１２，２２とガラス膜１３，２３の間をそれぞれ固相接
合（固体内へのイオンの拡散による接合）して、コア１
０，２０間にギャップ３０を形成する。図４は、図３に
おけるＢ部を拡大して示したものである。なお、固相接
合を行う場合の加熱方法としては例えばバッチ式炉やト
ンネル式炉を用いることができ、加熱の際の雰囲気はＮ
2 を用い、加熱時間は３０〜６０分程度とする。
【００１４】図５は、上述の固相接合を行う場合の専用
の治具を示したものである。この治具４０は、対向する
２つの側部４１ａ，４１ｂを有するコ字状の枠体４１
と、枠体４１の一方の側部４１ａの内壁との間でコア１
０，２０を挟むための押さえブロック４２と、他方の側
部４１ｂに外側から螺入され、その先端部で押さえブロ
ック４２を押圧する締め付けねじ４３とを備えている。
上述の固相接合を行う場合は、図５に示したように、枠
体４１の一方の側部４１ａの内壁と押さえブロック４２
との間に、各膜１１〜１３，２１〜２３が形成された面
同士を突き合わせたコア１０，２０を挟み、締め付けね
じ４３を締め付けて、例えば１．５〜２．５ｋｇ重の圧
縮力をコア１０，２０に加える。この状態で、例えば６
８０〜７８０℃の温度で加熱すると、コア１０，２０の
膨張によりコア１０，２０には１０〜２０トン重の圧縮
力が加えられ、この圧縮力によって加圧された状態で固
相接合が行われる。
の治具を示したものである。この治具４０は、対向する
２つの側部４１ａ，４１ｂを有するコ字状の枠体４１
と、枠体４１の一方の側部４１ａの内壁との間でコア１
０，２０を挟むための押さえブロック４２と、他方の側
部４１ｂに外側から螺入され、その先端部で押さえブロ
ック４２を押圧する締め付けねじ４３とを備えている。
上述の固相接合を行う場合は、図５に示したように、枠
体４１の一方の側部４１ａの内壁と押さえブロック４２
との間に、各膜１１〜１３，２１〜２３が形成された面
同士を突き合わせたコア１０，２０を挟み、締め付けね
じ４３を締め付けて、例えば１．５〜２．５ｋｇ重の圧
縮力をコア１０，２０に加える。この状態で、例えば６
８０〜７８０℃の温度で加熱すると、コア１０，２０の
膨張によりコア１０，２０には１０〜２０トン重の圧縮
力が加えられ、この圧縮力によって加圧された状態で固
相接合が行われる。
【００１５】以上の各工程の後、ギャップ３０の両側に
形成された図示しない凹部に補強ガラスを流し込んで溶
着して、図３に示したようにコア１０，２０間にギャッ
プ３０が形成された本実施の形態に係る磁気ヘッドが製
造される。この磁気ヘッドでは、図４に示したように、
２つのコア１０，２０のギャップ形成面１０ａ，２０ａ
の間に、ガラス層１１ａ、ギャップ材層１２ａ、ガラス
層１３ａ，２３ａ、ギャップ材層２２ａ、ガラス層２１
ａの順に配列された各層からなり、コア１０，２０とガ
ラス層１１ａ，２１ａとの間および各層間が固相接合に
よって接合されたギャップ３０が形成されている。な
お、ガラス層１１ａ、ギャップ材層１２ａ、ガラス層１
３ａ，２３ａ、ギャップ材層２２ａ、ガラス層２１ａ
は、それぞれ、ガラス膜１１、ギャップ材膜１２、ガラ
ス膜１３，２３、ギャップ材膜２２、ガラス膜２１に対
応したものである。
形成された図示しない凹部に補強ガラスを流し込んで溶
着して、図３に示したようにコア１０，２０間にギャッ
プ３０が形成された本実施の形態に係る磁気ヘッドが製
造される。この磁気ヘッドでは、図４に示したように、
２つのコア１０，２０のギャップ形成面１０ａ，２０ａ
の間に、ガラス層１１ａ、ギャップ材層１２ａ、ガラス
層１３ａ，２３ａ、ギャップ材層２２ａ、ガラス層２１
ａの順に配列された各層からなり、コア１０，２０とガ
ラス層１１ａ，２１ａとの間および各層間が固相接合に
よって接合されたギャップ３０が形成されている。な
お、ガラス層１１ａ、ギャップ材層１２ａ、ガラス層１
３ａ，２３ａ、ギャップ材層２２ａ、ガラス層２１ａ
は、それぞれ、ガラス膜１１、ギャップ材膜１２、ガラ
ス膜１３，２３、ギャップ材膜２２、ガラス膜２１に対
応したものである。
【００１６】このように、本実施の形態に係る磁気ヘッ
ドの製造方法および磁気ヘッドでは、コア１０，２０と
ガラス膜１１，２１（ガラス層１１ａ，２１ａ）の間、
ガラス膜１１，２１（ガラス層１１ａ，２１ａ）とギャ
ップ材膜１２，２２（ギャップ材層１２ａ，２２ａ）の
間、ギャップ材膜１２，２２（ギャップ材層１２ａ，２
２ａ）とガラス膜１３，２３（ガラス層１３ａ，２３
ａ）の間がそれぞれ固相接合によって接合されるので、
コア１０，２０のギャップ形成面１０ａ，２０ａからの
膜剥がれを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定
し、コア割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生する
ことを防止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換
特性を向上することができる。また、磁気ヘッドの歩留
りが向上するため、磁気ヘッドの製造コストを低減する
ことができる。
ドの製造方法および磁気ヘッドでは、コア１０，２０と
ガラス膜１１，２１（ガラス層１１ａ，２１ａ）の間、
ガラス膜１１，２１（ガラス層１１ａ，２１ａ）とギャ
ップ材膜１２，２２（ギャップ材層１２ａ，２２ａ）の
間、ギャップ材膜１２，２２（ギャップ材層１２ａ，２
２ａ）とガラス膜１３，２３（ガラス層１３ａ，２３
ａ）の間がそれぞれ固相接合によって接合されるので、
コア１０，２０のギャップ形成面１０ａ，２０ａからの
膜剥がれを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定
し、コア割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生する
ことを防止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換
特性を向上することができる。また、磁気ヘッドの歩留
りが向上するため、磁気ヘッドの製造コストを低減する
ことができる。
【００１７】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、例えば、ギャップ３０の各膜１１〜１３，２１〜２
３（各層１１ａ〜１３ａ，２１ａ〜２３ａ）の厚みや、
ガラス膜１１，２１，１３，２３（ガラス層１１ａ，２
１ａ，１３ａ，２３ａ）を形成するガラスの組成や、固
相接合を行う際の条件等について上記実施の形態で挙げ
たものは一例であり、これに限定されるものではない。
ず、例えば、ギャップ３０の各膜１１〜１３，２１〜２
３（各層１１ａ〜１３ａ，２１ａ〜２３ａ）の厚みや、
ガラス膜１１，２１，１３，２３（ガラス層１１ａ，２
１ａ，１３ａ，２３ａ）を形成するガラスの組成や、固
相接合を行う際の条件等について上記実施の形態で挙げ
たものは一例であり、これに限定されるものではない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の磁気
ヘッドの製造方法または請求項２記載の磁気ヘッドによ
れば、コアとギャップのガラス膜またはガラス層との間
およびギャップの各膜または各層間がそれぞれ固相接合
によって接合されるので、コアのギャップ形成面からの
膜剥がれを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定
し、コア割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生する
ことを防止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換
特性および磁気ヘッドの歩留りが向上するという効果を
奏する。
ヘッドの製造方法または請求項２記載の磁気ヘッドによ
れば、コアとギャップのガラス膜またはガラス層との間
およびギャップの各膜または各層間がそれぞれ固相接合
によって接合されるので、コアのギャップ形成面からの
膜剥がれを防止でき、その結果、ギャップ精度が安定
し、コア割れを防止でき、補強ガラスにひびが発生する
ことを防止でき、ギャップ形成部分の信頼性、電磁変換
特性および磁気ヘッドの歩留りが向上するという効果を
奏する。
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの製造
方法を説明するためのコアの断面図である。
方法を説明するためのコアの断面図である。
【図２】図１におけるＡ部を拡大して示す断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの製造
方法を説明するためのコアの断面図である。
方法を説明するためのコアの断面図である。
【図４】図３におけるＢ部を拡大して示す断面図であ
る。
る。
【図５】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの製造
方法で使用する治具にコアをセットした状態を示す断面
図である。
方法で使用する治具にコアをセットした状態を示す断面
図である。
１０，２０ コア １０ａ，２０ａ ギャップ形成面 １１，２１ ガラス膜 １１ａ，２１ａ ガラス層 １２，２２ ギャップ材膜 １２ａ，２２ａ ギャップ材層 １３，２３ ガラス膜 １３ａ，２３ａ ガラス層 ３０ ギャップ ４０ 治具
Claims (2)
- 【請求項１】 コアとコアとの間にギャップ材を用いて
ギャップを形成する磁気ヘッドの製造方法であって、 各コアのギャップ形成面に、スパッタによって順にガラ
ス膜、ギャップ材膜、ガラス膜を形成し、 これら各膜が形成された面同士を突き合わせ、加圧しな
がら所定の温度条件下にて、コア、ガラス膜、ギャップ
材膜の各間をそれぞれ固相接合して、コア間にギャップ
を形成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 一方のコアのギャップ形成面と他方のコ
アのギャップ形成面との間に、ガラス層、ギャップ材
層、ガラス層、ギャップ材層、ガラス層の順に配列され
た各層からなり、コアとガラス層との間および各層間が
固相接合によって接合されたギャップが形成されている
ことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34618095A JPH09161217A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34618095A JPH09161217A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09161217A true JPH09161217A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18381658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34618095A Pending JPH09161217A (ja) | 1995-12-12 | 1995-12-12 | 磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09161217A (ja) |
-
1995
- 1995-12-12 JP JP34618095A patent/JPH09161217A/ja active Pending
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